JPH08293534A

JPH08293534A - 被処理体の搬送装置

Info

Publication number: JPH08293534A
Application number: JP12086695A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Iwasaki; 達也岩▲崎▼; Yoshiharu Ota; 義治太田; Kiyohisa Tateyama; 清久立山
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Kyushu Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Kyushu Ltd
Priority date: 1995-04-20
Filing date: 1995-04-20
Publication date: 1996-11-05

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送路を移動自在な搬送装置本体１に駆動手
段２を介して取り付けられ、該駆動手段２の稼働により
アーム３、４を進退させて被処理体Ｐの受け渡しを行う
ように構成された搬送装置１２６において、駆動手段２
において発生したパーティクルを効果的に除去する。【構成】駆動手段２を覆うカバー７０と、該カバー７
０内を吸引する吸引手段７６を設けることにより、被処
理体Ｐの受け渡しを行う際に駆動手段２が稼働すること
によって発生したパーティクルがカバー７０の外部に漏
れ出ることを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ基板や半導体ウ
ェハなどの被処理体を搬送するための搬送装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＬＣＤ基板や半導体ウェハなど
の製造においては、被処理体であるＬＣＤ基板や半導体
ウェハの上面にレジストパターンを形成させるために、
いわゆるリソグラフィ処理が行われる。このリソグラフ
ィ処理は、被処理体の洗浄、被処理体の表面へのレジス
トの塗布、そのレジストの露光、現像など、種々の処理
工程を含んでいる。

【０００３】これらの処理工程行うための各処理装置を
一カ所に集約したシステムでは、所定枚数の被処理体を
収納しているカセットから取り出された被処理体を、洗
浄装置、レジストコータ、現像処理装置などといった各
処理装置の間で一枚づつ搬送し、その受け渡しを行う搬
送装置が設けられている。かような搬送装置は、搬送路
を移動自在な搬送装置本体に駆動手段を介して取り付け
られ、搬送装置本体によって所定の位置に移動した後、
駆動手段の稼働によって各処理装置に対して搬送用のア
ームを進入、退出させて被処理体の受け渡しを行うよう
に構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のような搬送装置
において、アームを進退させる駆動手段としては例えば
ベルト駆動手段などが広く用いられている。ところが、
ベルト駆動手段などを用いるとパーティクルが発生しや
すいといった問題が生じる。特に、ＬＣＤ基板などのよ
うな大型の被処理体を搬送する搬送装置では、基板の重
量が重いために駆動手段にかかる負荷が大きく、パーテ
ィクルが発生しやすい。こうして発生したパーティクル
が被処理体に付着すると、デバイス性能の劣化、歩留ま
りの低下といった問題を引き起こす。

【０００５】従って本発明は、駆動手段において発生し
たパーティクルを効果的に除去できる機構を備えた搬送
装置を得ることを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の如く搬
送路を移動自在な搬送装置本体に駆動手段を介して取り
付けられ、該駆動手段の稼働によりアームを進退させて
被処理体の受け渡しを行うように構成された搬送装置に
おいて、前記駆動手段を覆うカバーと、該カバー内を吸
引する吸引手段を設けたことを特徴としている。

【０００７】この装置においては、前記カバーにアーム
を嵌入させるためのスリットを形成し、該スリットの下
方にカバー内の気密性を高めるためのスカートを設ける
ことができる。また、前記駆動手段をベルト駆動手段と
し、該ベルト駆動手段の構成部材を前記カバー内に配置
する構成とすることが可能である。

【０００８】

【作用】本発明の搬送装置によれば、アームを進退させ
るための駆動手段がカバーで覆われているので、被処理
体の受け渡しを行う際に駆動手段が稼働することによっ
て発生したパーティクルがカバーの外部に漏れ出ること
を防止できる。従って、本発明の搬送装置によれば、駆
動手段において発生したパーティクルを搬送中に被処理
体に付着させることなく排除でき、被処理体を清浄な状
態で、各処理装置の間で授受することができるといった
特徴がある。

【０００９】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。先ず、
図４をもとにして処理システム全体から説明する。この
処理システムでは、被処理体としてのＬＣＤ基板Ｐを搬
入・搬出するローダ・アンローダ部（カセット・ステー
ション）１００、ＬＣＤ基板Ｐをブラシ洗浄するブラシ
洗浄装置１０２、ＬＣＤ基板Ｐを高圧ジェット水で洗浄
するジェット水洗浄装置１０４、ＬＣＤ基板Ｐの表面を
疏水化処理するアドヒージョン処理装置１１０、ＬＣＤ
基板Ｐを所定温度に冷却する冷却装置１０８、ＬＣＤ基
板Ｐの表面にレジストを塗布するレジスト塗布装置１１
２、レジスト塗布の後ＬＣＤ基板Ｐを加熱してプリベー
クまたはポストベークを行う加熱装置１１４、ＬＣＤ基
板Ｐの周縁部のレジストを除去するレジスト除去装置１
１６、および露光後にＬＣＤ基板Ｐ上のレジスト膜につ
いて現像・リンスを行う現像装置１０６を一体的に集合
化して作業効率の向上を図っている。

【００１０】システムの中央部には、長手方向に配置さ
れた廊下状の搬送路１２０、１２２が受け渡し部１２４
を介して一直線上に設けられている。各処理装置１０２
〜１１６は搬送路１２０、１２２に基板の出入口を向け
て配設され、第１の搬送装置１２６がローダ・アンロー
ダ部１００、処理装置１０２〜１０８および受け渡し部
１２４との間でＬＣＤ基板Ｐの受け渡しを行うために搬
送路１２０上を移動し、第２の搬送装置１２８が受け渡
し部１２４および処理装置１０８、１１０〜１１６との
間でＬＣＤ基板Ｐの受け渡しを行うために搬送路１２２
上を移動するようになっている。各搬送装置１２６、１
２８は、後述するように一対のアームを有しており、各
処理装置１０２〜１１６のチャンバにアクセスするとき
は一方のアームでチャンバから処理済みのＬＣＤ基板Ｐ
を搬出し、他方のアームで処理前のＬＣＤ基板Ｐをチャ
ンバに搬入する。

【００１１】ローダ・アンローダ部１００には、ＬＣＤ
基板Ｐを所定枚数たとえば２５枚ずつ収納して一括搬入
・搬出するための基板カセットＣを所定位置に（たとえ
ば図示のように４個一列に）載置するカセット載置台１
００ａと、各カセットＣから処理すべきＬＣＤ基板Ｐを
取り出し、処理済みのＬＣＤ基板Ｐを各カセットへ戻す
ローダ・アンローダ部搬送装置１３０が設けられてい
る。このローダ・アンローダ部搬送装置１３０は、本体
１３２によってカセットＣの配列方向に移動し、本体１
３２に搭載された板片状のピンセット１３４によって各
カセットＣ内にアクセスするようになっている。ピンセ
ット１３４には、複数個たとえば４個の孔１３４ａが形
成されており、第１の搬送装置１２６との間でＬＣＤ基
板Ｐの受け渡しが行われるときはこれらの孔１３４ａを
通って４本の基板支持ピン１３６がピンセット１３４の
上面（基板載置面）より上方に突出するようになってい
る。また、ピンセット１３４の両側には、ＬＣＤ基板Ｐ
の四隅を保持して位置合わせ（アライメント）を行う基
板位置合わせ装置１３８も併設されている。

【００１２】次に、図１〜図３を参照して本発明の実施
例における搬送装置１２６、１２８について説明する。
なお、搬送装置１２６と搬送装置１２８は同様の構成を
備えているので、以下、搬送装置１２６について説明
し、搬送装置１２８についての説明は省略する。図１は
搬送装置１２６の略平面図、図２は搬送装置１２６の基
端部の構成を示す縦断面図、図３は搬送装置１２６の先
端部の構成を示す縦断面図である。

【００１３】この搬送装置１２６は、搬送路１２０に沿
って移動し、任意の位置において昇降自在に構成された
搬送装置本体１と、該搬送装置本体１の上に、駆動手段
２を介して取り付けられた上アーム３及び下アーム４を
備えている。搬送装置本体１の稼働により、これら駆動
手段２と上アーム３及び下アーム４は、搬送路１２０に
沿って一体的に移動すると共に、任意の位置において一
体的に昇降し、かつ水平面内において一体的に回転す
る。また、駆動手段２の稼働により、上アーム３及び下
アーム４は、それぞれが独立して図１の矢印Ｘ方向（図
２、３においては図面に垂直方向）に進退する構成にな
っている。なお、搬送装置本体１は従来公知の慣用手段
で構成されるため、図１〜図３では搬送装置１２６の上
下アーム３、４及び駆動手段２の構成のみを示し、搬送
装置本体１についての具体的な構成については図示して
いない。

【００１４】図示のように、本実施例の上アーム３及び
下アーム４は、平面視でコ字状をなす上アーム先端部１
０および下アーム先端部１２を有している。なお、図１
では、下アーム先端部１２が上アーム先端部１０の下に
隠れて見えない。上アーム先端部１０には、図１に示す
ように、ＬＣＤ基板Ｐの四隅を保持するための突起状の
基板保持部１０ａが設けられている。下アーム先端部１
２にも同様の基板保持部１２ａ（図示せず）が設けられ
ている。これら上アーム先端部１０および下アーム先端
部１２の基端側は、アーム支持フレーム１４、１６の上
水平部１４ａ、１６ａの下面にそれぞれ固着されてい
る。アーム支持フレーム１４、１６は、図２、３に示す
ように、断面コ字状をなし、垂直部１４ｂ、１６ｂを介
して上水平部１４ａ、１６ａにそれぞれ水平な下水平部
１４ｃ、１６ｃを有している。

【００１５】次に、これら上アーム３及び下アーム４を
進退させるための駆動手段２を説明する。前述した断面
コ字状のアーム支持フレーム１４、１６の下水平部１４
ｃ、１６ｃの下面には、基台１９の上方において適宜支
持されたブラケット２０の上面に形成されたレール２
２、２４に摺動可能に係合したガイド部１７、１８がそ
れぞれ設けられている。図１に示すように、レール２
２、２４はＸ方向（図１において上下方向）に平行に配
設されている。これにより、アーム支持フレーム１４お
よび上アーム先端部１０から構成される上アーム３と、
アーム支持フレーム１６および上アーム先端部１２から
構成される下アーム４は、何れもＸ方向に進退移動自在
になっている。

【００１６】ブラケット２０の上方には、Ｘ方向に離間
してプーリ３０、３２及びプーリ３４、３６が設けら
れ、それらの内、プーリ３０とプーリ３４が対をなし、
プーリ３２とプーリ３６が対をなしている。なお、図２
は、プーリ３０、３２が配設された位置における縦断面
図を示し、図３は、プーリ３４、３６が配設された位置
における縦断面図を示している。プーリ３０とプーリ３
４には無端ベルト３８が巻回され、また、プーリ３２と
プーリ３６には無端ベルト４０が巻回されている。ま
た、無端ベルト３８はブラケット４２によってアーム支
持フレーム１４の下水平部１４ｃに接続され、無端ベル
ト４０はブラケット４３によってアーム支持フレーム１
４の下水平部１４ｃに接続されている。

【００１７】一方、プーリ３０とプーリ３２は、それぞ
れ軸受４４、４５を介してプーリ４６、４８に同軸結合
され、プーリ４６、４８はそれぞれ駆動ベルト５０、５
２を介してプーリ５４、５６に連結され、プーリ５４、
５６はそれぞれ駆動モータ５８、６０の回転軸に固着さ
れている。

【００１８】従って、モータ５８の回転軸が回転する
と、プーリ５４、駆動ベルト５０、プーリ４６を介して
プーリ３０が回転し、プーリ３０の回転駆動によって駆
動ベルト３８がＸ軸方向に移動し、駆動ベルト３８と一
緒に、アーム支持フレーム１４および上アーム先端部１
０から構成される上アーム３が一体的にレール２２上を
Ｘ軸方向に移動するようになっていて、その移動方向は
モータ５８の回転方向によって決まる。また同様に、モ
ータ６０の回転軸が回転すると、プーリ５６、駆動ベル
ト５２、プーリ４８を介してプーリ３２が回転し、プー
リ３２の回転駆動によって駆動ベルト４０がＸ軸方向に
移動し、駆動ベルト４０と一緒に、アーム支持フレーム
１６および上アーム先端部１２から構成される下アーム
４が一体的にレール２４上をＸ軸方向に移動するように
なっていて、その移動方向はモータ６０の回転方向によ
って決まる。

【００１９】図示の例では、以上の如く構成された駆動
手段２を覆うためのカバー７０が、上記基台１９の上に
装着されている。このカバー７０の上面には二つのスリ
ット７１及びスリット７２が形成されていて、上記断面
コ字状のアーム支持フレーム１４、１６の垂直部１４
ｂ、１６ｂが、それらスリット７１及びスリット７２内
に非接触状態で嵌入している。スリット７１及びスリッ
ト７２の長さは、前述した上アーム３と下アーム４の進
退移動を妨げない長さに形成されている。スリット７
１、スリット７２の周縁から下方に向かって、カバー７
０内の気密性を高めるための帯板状に延伸形成されたス
カート７３、７４がそれぞれ設けられている。そして、
前述のアーム支持フレーム１４、１６の下水平部１４
ｃ、１６ｃを移動自在に支持しているレール２２、２
４、各プーリ３０、３２、３４、３６、５４、５６、各
ベルト３８、４０、５０、５２、およびモータ５８、６
０等の、駆動手段２の各構成部材が、このカバー７０と
基台１９によって密閉された空間内部に配置されること
により、駆動手段２において発生したパーティクルがカ
バー７０の外部に飛散することを防止している。

【００２０】一方、基台１９には吸引管７５が開口し、
吸引手段である排気ファン７６に該吸引管７５の先端が
接続されている。この排気ファン７６の稼働によってカ
バー７０内を常時負圧にすることにより、駆動手段２に
おいて発生したパーティクルを除去すると共に、前述の
スリット７１、スリット７２から外部にパーティクルが
漏れ出ることを防いでいる。なお、排気ファン７６から
の排気は、処理システムの底部からシステム外に排出さ
れる。

【００２１】次に、本実施例の搬送装置１２６における
アーム機構の動作、特に上アーム３の動作について説明
する。なお、下アーム４も、上アーム３と同じ構成・機
能を有しているので、上アーム４と同様の動作を行う。

【００２２】先ず、上アーム先端部１０によってＬＣＤ
基板Ｐを受け取るときは、搬送装置本体１の稼働によっ
て、駆動手段２と上アーム３及び下アーム４は所定の位
置に移動され、回転、昇降移動して、上アーム３及び下
アーム４が処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・ア
ンローダ部１００に対向した状態となる。これら処理装
置１０２〜１１６もしくはローダ・アンローダ部１００
には、これから取り出されるＬＣＤ基板Ｐがその支持ピ
ンによって載置された状態になっている。上アーム３及
び下アーム４の移動終了後、駆動手段２においてモータ
５８が作動し、上アーム先端部１０が前進位置、つまり
基板保持部１０ａが処理装置１０２〜１１６もしくはロ
ーダ・アンローダ部１００にあるＬＣＤ基板Ｐの四隅の
真下になる位置まで、前進移動（往動）する。そして、
搬送装置本体１の稼働によって駆動手段２と上アーム３
及び下アーム４が一体的に所定の高さだけ上昇移動する
ことにより、ＬＣＤ基板Ｐはローダ・アンローダ部１０
０の基板支持ピン１３６または処理装置１０２〜１０８
内の基板支持ピンから上アーム先端部１０に移載され
る。上アーム先端部１０はほぼ水平状態でＬＣＤ基板Ｐ
を支持ピンから受け取るので、ＬＣＤ基板Ｐは上アーム
先端部１０の４個の基板保持部１０ａで規定される矩形
の基板載置位置に正しく移載される。こうしてＬＣＤ基
板Ｐを上アーム先端部１０で受け取った後、モータ５８
が先と逆回転作動し、上アーム先端部１０が基本位置、
つまり基板保持部１０ａが処理装置１０２〜１１６もし
くはローダ・アンローダ部１００内からＬＣＤ基板Ｐを
完全に取り出した位置まで、後退移動（復動）する。

【００２３】一方、上アーム先端部１０によって保持し
ているＬＣＤ基板Ｐを、処理装置１０２〜１１６もしく
はローダ・アンローダ部１００に対し受け渡す場合は、
先ず同様に搬送装置本体１の稼働によって、駆動手段２
と上アーム３及び下アーム４は所定の位置に移動され、
回転、昇降移動して、上アーム３及び下アーム４が任意
の処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・アンローダ
部１００に対向した状態となる。上アーム先端部１０に
は、４個の基板保持部１０ａによって所定位置に規定さ
れたＬＣＤ基板Ｐが保持された状態になっている。上ア
ーム３及び下アーム４の移動終了後、駆動手段２におい
てモータ５８が作動し、上アーム先端部１０が所定位
置、つまり基板保持部１０ａによって保持しているＬＣ
Ｄ基板Ｐを、処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・
アンローダ部１００内に完全に収納させる位置まで、前
進移動（往動）する。そして、搬送装置本体１の稼働に
よって駆動手段２と上アーム３及び下アーム４が一体的
に所定の距離だけ下降移動することにより、ＬＣＤ基板
Ｐは上アーム先端部１０からローダ・アンローダ部１０
０の基板支持ピン１３６または処理装置１０２〜１０８
内の基板支持ピンに移載される。ＬＣＤ基板Ｐは４個の
基板保持部１０ａによって所定位置に規定されているの
で、ＬＣＤ基板Ｐはローダ・アンローダ部１００の基板
支持ピン１３６または処理装置１０２〜１０８内の基板
支持ピンの上に、正しく移載される。こうしてＬＣＤ基
板Ｐをローダ・アンローダ部１００もしくは処理装置１
０２〜１０８内に搬入した後、モータ５８が先と逆回転
作動し、上アーム先端部１０が基本位置、つまり基板保
持部１０ａが処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・
アンローダ部１００内から完全に退出する位置まで、後
退移動（復動）する。

【００２４】以上、上アーム３について説明したが、下
アーム４によっても全く同様にＬＣＤ基板Ｐを処理室の
任意の処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・アンロ
ーダ部１００に適宜搬入し、また、処理装置１０２〜１
１６もしくはローダ・アンローダ部１００からＬＣＤ基
板Ｐを適宜搬出することができる。このように実施例の
搬送装置１２６にあっては、上アーム３と下アーム４の
二つを備えているので、一方のアームで処理装置１０２
〜１１６もしくはローダ・アンローダ部１００からＬＣ
Ｄ基板Ｐを搬出すると同時に、他方のアームでＬＣＤ基
板Ｐを処理装置１０２〜１１６もしくはローダ・アンロ
ーダ部１００に搬入することが可能である。

【００２５】一方、以上のように駆動手段２の稼働によ
って上アーム３および下アーム４でＬＣＤ基板Ｐの搬入
・搬出が行われると、レール２２、２４や各ベルト３
８、４０、５０、５２などにおける摩擦、モータの回転
などに起因してパーティクルが発生しやすい。もしパー
ティクルが被処理体に付着すると、ＬＣＤ基板Ｐの性能
劣化、歩留まりの低下といった問題を引き起こすので好
ましくない。そこで、本実施例の搬送装置１２６にあっ
ては、少なくともこうして駆動手段２が稼働している間
は、排気ファン７６の稼働によってカバー７０内を常時
負圧にすることにより、駆動手段２において発生したパ
ーティクルを除去する構成になっている。このように、
カバー７０内を排気することに伴って、カバー７０上面
に形成されたスリット７１、スリット７２から外気をカ
バー７０内に吸引することができるので、カバー７０内
で発生したパーティクルが外部に漏れ出ることが無く、
上アーム３や下アーム４で保持したＬＣＤ基板Ｐにパー
ティクルが付着することを防止できるといった特徴があ
る。また、本実施例ではスリット７１、スリット７２の
下方にスカート７３、７４を設けることによって、カバ
ー７０内の気密性を高め、スリット７１、７２から外部
へのパーティクルの漏出をより効率的に防ぐ構成になっ
ている。

【００２６】以上、本発明にかかる搬送装置の好適な実
施例について説明したが、何れにしても本発明によれば
駆動手段において発生したパーティクルを効果的に除去
できるので、被処理体にパーティクルが付着しないとい
った作用効果がある。但し、本発明は以上に説明した実
施例に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲
内で種々の変形・変更が可能である。たとえば、本発明
の搬送装置はＬＣＤ基板の搬送装置の他、半導体ウェハ
の搬送装置や、その他の高度な清浄さが要求される物品
の搬送装置において、同様に利用することができる。ま
た、カバー７０の形状、大きさ、スカート７３、７４の
長さなどは適宜設計変更することが可能である。また、
吸気管は、必ずしも基台１９に開口させなくても良く、
例えばカバー７０の側面や天井面に開口させてもかまわ
ない。また、複数箇所に開口させることも可能である。

【００２７】次に、図５を参考にして、以上のような搬
送装置１２６（１２８）における安全対策について説明
する。搬送装置１２６（１２８）において、作業者がメ
ンテナンスを行っている場合には、搬送装置１２６（１
２８）自体の稼働を停止させる必要がある。例えば、Ｌ
ＣＤ基板の搬送装置についていえば、ＬＣＤ基板自体が
大きいため、その搬送装置も大型である。そして、メン
テナンスを行う場合は作業者が搬送路１２０の中に入っ
て、アーム３、４等の点検、修理等の作業を執り行う場
合もある。かような場合に誤って搬送装置１２６（１２
８）を稼働させてしまうと、作業者が搬送装置本体１に
挟まれる心配があり、危険である。

【００２８】そこで、図示の例では搬送路１２０の前後
両端に光反射型のセンサ８０、８１を取り付け、搬送装
置本体１の前後面には光反射板（ミラー）８２、８３を
配置することによって、搬送路１２０内に人や物が入
り、光が遮断された場合には、搬送装置１２６（１２
８）の稼働を停止させインターロックする構成になって
いる。従って、この図５の搬送装置１２６（１２８）に
よれば、作業者が搬送路１２０の中に入って遮光してい
るときは、搬送装置１２６（１２８）の稼働が停止した
状態が維持されることとなるので、誤って作業者が搬送
装置本体１に挟まれる心配が無いといった特徴がある。
また、図示のように光反射型のセンサ８０、８１と光反
射板（ミラー）８２、８３の組合わせを利用すると、搬
送装置本体１が搬送路１２０の前後端に近付きすぎた場
合には光反射型のセンサの受光が妨げられることとな
り、異常が検知できるといった利点がある。なお、この
図５の実施例において、作業者が搬送路１２０の中に入
っている場合に、警告灯（パトライト）や音声等の適当
な表示手段によって注意を促すようにすると、より効果
的である。なお、上記センサは、上下方向に複数設ける
ようにしても良い。

【００２９】次に、図６を参考にして、処理システムの
受け渡し部１２４に、被処理体のアライメント機構９０
を設けた例について説明する。先に図４で説明したよう
に、第１の搬送装置１２６と第２の搬送装置１２８の間
では、受け渡し部１２４を介して被処理体の受け渡しが
行われる。これは、特にＬＣＤ基板Ｐのような大型の被
処理体を受け渡す場合は、その重さによってアームが撓
むので、第１の搬送装置１２６のアームと第２の搬送装
置１２８のアームと間で、直接被処理体を受け渡すこと
が困難であることに基づく。従って、例えば第１の搬送
装置１２６から第２の搬送装置１２８に被処理体を受け
渡す場合は、第１の搬送装置１２６によって搬送してき
た被処理体を受け渡し部１２４に一旦置き、その後第２
の搬送装置１２８によって被処理体を受け取るようにし
ている。またその逆に、第２の搬送装置１２８から第１
の搬送装置１２６に被処理体を受け渡す場合も同様に、
被処理体を受け渡し部１２４に一旦置いてから、被処理
体の受け渡しを行っている。

【００３０】そこで、図示の例では、受け渡し部１２４
に被処理体のアライメント機構９０を設けることによっ
て、第１の搬送装置１２６と第２の搬送装置１２８の間
で受け渡しを行う際に、受け渡し部１２４において一旦
位置合わせを行ってから被処理体を受け渡す構成になっ
ている。アライメント機構９０は、例えば図７に示すよ
うに、被処理体Ｐの対向する角部をプッシャ９１で対角
線上に押し合いながら位置合わせを行う構成、図８に示
すように、受け渡し部１２４にガイド９２を立設してお
き、被処理体Ｐを受け渡し部１２４においた際に、被処
理体Ｐの辺縁部をガイド９２の傾斜に沿って案内して位
置合わせを行う構成、など適宜採用することができる。
何れにしても、受け渡し部１２４に被処理体Ｐのアライ
メント機構９０を設けることによって、被処理体Ｐを正
しい位置に保持したまま第１の搬送装置１２６と第２の
搬送装置１２８の間で受け渡すことができ、処理の円滑
さが失われないといった特徴がある。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、駆動手段において発生
したパーティクルを効果的に除去できるといった効果が
ある。本発明によれば、被処理体をパーティクルの付着
しない清浄な状態で搬送できるといった作用効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る搬送装置の略平面図。

【図２】同実施例に係る搬送装置の基端部の構成を示す
縦断面図。

【図３】同実施例に係る搬送装置の先端部の構成を示す
縦断面図。

【図４】処理システム全体の斜視図。

【図５】安全対策を改善した搬送装置の説明図。

【図６】処理システムの受け渡し部に被処理体のアライ
メント機構を設けた搬送装置の説明図。

【図７】アライメント機構の説明図。

【図８】図７とは異なる構成のアライメント機構の説明
図。

【符号の説明】

ＰＬＣＤ基板１搬送装置本体２駆動手段３、４アーム７０カバー７６排気ファン１２６、１２８搬送装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者立山清久熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地東京エレクトロン九州株式会社熊本事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送路を移動自在な搬送装置本体に駆動
手段を介して取り付けられ、該駆動手段の稼働によりア
ームを進退させて被処理体の受け渡しを行うように構成
された搬送装置において、前記駆動手段を覆うカバー
と、該カバー内を吸引する吸引手段を設けたことを特徴
とする、被処理体の搬送装置。
【請求項２】前記カバーにはアームが嵌入するスリッ
トが形成されており、該スリットの下方にカバー内の気
密性を高めるためのスカートが設けられている、請求項
１に記載された被処理体の搬送装置。
【請求項３】前記駆動手段がベルト駆動手段であり、
該ベルト駆動手段を構成する部材が前記カバー内に配置
されている、請求項１または２に記載された被処理体の
搬送装置。