JP4762850B2 - 回転ロールの洗浄機構及び回転ロールの洗浄方法 - Google Patents
回転ロールの洗浄機構及び回転ロールの洗浄方法 Download PDFInfo
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Description
24 レジスト塗布処理ユニット
90 回転ロール
110 第1のブロック
111 洗浄液吐出口
112 吸引口
130 第2のブロック
131 排気口
140 第3のブロック
141 滞留部
142 洗浄液誘導部
160 排出口
H 洗浄液
G ガラス基板
Claims (19)
- ノズルから基板に塗布液が吐出される前に,ノズルから塗布液が供給される回転ロールの洗浄機構であって,
回転ロールの表面の一部をその表面に沿って覆い,当該回転ロールの表面との間に円弧状で狭小な隙間を形成するカバー体と,
前記カバー体と前記回転ロールの表面との間の円弧状で狭小な隙間に正圧で洗浄液を吐出する洗浄液吐出口と,を有し,
前記隙間は,前記洗浄液が正圧を維持したまま流れるように形成されていることを特徴とする,回転ロールの洗浄機構。 - 前記洗浄液吐出口は,前記カバー体に形成されていることを特徴とする,請求項1に記載の回転ロールの洗浄機構。
- ノズルから塗布液が供給される回転ロールの最上部を回転の基点にして,回転ロールが回転方向に3/4回転した位置から1回転する位置までの間に,前記洗浄液吐出口が設けられていることを特徴とする,請求項1又は2のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記回転ロールが1/2回転した位置から3/4回転する位置までの間には,前記洗浄液吐出口から回転ロールの表面を伝って流れ落ちる洗浄液を前記回転ロールの表面において滞留させる滞留部材が設けられ,
前記洗浄液吐出口から回転ロールの表面を伝って流れ落ちる洗浄液によって当該回転ロールの表面を洗浄し,前記滞留部材で滞留された洗浄液によって回転ロールの表面をさらに洗浄することを特徴とする,請求項3に記載の回転ロールの洗浄機構。 - 前記滞留部材は,上方からの洗浄液を受け止めて滞留させ,当該洗浄液によって回転ロールの表面を洗浄するための滞留部と,前記滞留部の洗浄液を回転ロールの表面に沿って下方に流し,当該洗浄液によって回転ロールの表面をさらに洗浄するための洗浄液誘導部とを備えていることを特徴とする,請求項4に記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記滞留部は,滞留部材の回転ロールの表面側の上部に凹状に形成され,
前記洗浄液誘導部は,前記回転ロールの表面をその表面に沿って覆い,その回転ロールの表面との間に円弧状で狭小な隙間を形成していることを特徴とする,請求項5に記載の回転ロールの洗浄機構。 - 前記洗浄液誘導部は,前記回転ロールの最下部まで形成され,
前記回転ロールの最下部の位置には,洗浄液の排出口が設けられていることを特徴とする,請求項5又は6のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。 - 前記排出口には,洗浄液を吸引するための吸引装置が接続されていることを特徴とする,請求項7に記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記洗浄液吐出口よりも前記回転ロールの回転方向側には,回転ロールの表面の洗浄液を吸引して除去する吸引口が設けられていることを特徴とする,請求項3〜8のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- ノズルから塗布液が供給される回転ロールの最上部を回転の基点にして,回転ロールが1/4回転した位置から1/2回転する位置までの間と,回転ロールが1/2回転した位置から3/4回転する位置までの間に,前記洗浄液吐出口が設けられていることを特徴とする,請求項1又は2のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記洗浄液吐出口は,2箇所に設けられ,
前記カバー体は,前記回転ロールの下部側の少なくとも前記2箇所の洗浄液吐出口の間の回転ロールの表面を円弧状で狭小な隙間を介して覆うように形成されていることを特徴とする,請求項10に記載の回転ロールの洗浄機構。 - 前記2箇所の洗浄液吐出口の間のカバー体には,洗浄液の排出口が形成されていることを特徴とする,請求項11に記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記排出口は,前記回転ロールの最下部に対向する位置に形成されていることを特徴とする,請求項12に記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記排出口には,洗浄液を吸引するための吸引装置が接続されていることを特徴とする,請求項12又は13のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記回転ロールの1/2回転から3/4回転までの間に位置する前記洗浄液吐出口のさらに回転方向側には,回転ロールの表面の洗浄液を吸引して除去する吸引口が設けられていることを特徴とする,請求項10〜14のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記吸引口のさらに回転方向側には,回転ロールの表面を乾燥させるための排気口が設けられていることを特徴とする,請求項9又は15のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 前記洗浄液吐出口は,回転ロールの長手方向に沿って上下2列に並べて形成され,当該2列の洗浄液吐出口は,互いに千鳥状に配置されていることを特徴とする,請求項1〜16のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構。
- 請求項9,15又は16のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構を用いた回転ロールの洗浄方法であって,
洗浄液吐出口から洗浄液を供給しながら,回転ロールを回転させる洗浄工程と,
前記洗浄液吐出口からの洗浄液の供給を停止し,前記洗浄工程よりも速い速度で前記回転ロールを回転させ,前記回転ロールの表面の洗浄液を吸引口により吸引して除去する乾燥工程と,を有することを特徴とする,回転ロールの洗浄方法。 - 請求項9,15又は16のいずれかに記載の回転ロールの洗浄機構を用いた回転ロールの洗浄方法であって,
回転ロールを回転させながら,洗浄液吐出口から洗浄液を吐出する吐出工程と,
前記吐出工程と同じ速度で前記回転ロールを回転させながら,前記回転ロールの表面の洗浄液を吸引口により吸引して除去する吸引工程と,を有し,
前記吐出工程と吸引工程は,交互に行われ,
前記吐出工程においては,前記吸引口からの洗浄液の吸引は停止し,
前記吸引工程においては,前記洗浄液吐出口からの洗浄液の供給は停止していることを特徴とする,回転ロールの洗浄方法。
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