JP4450825B2 - 基板処理方法及びレジスト表面処理装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の基板処理装置においては、上記の作用効果に加えて、減圧乾燥装置を用いる従来の基板処理装置に比して、搬送ロボットは不要であり、装置構成の大幅な簡易化および低コスト化をはかれるとともに、基板をうちわのようにたわませてしまってローディング/アンローディングの際に位置ずれや衝突・破損等のエラーを起こさなくて済むことや、支持ピンを用いなくて済むのでレジスト表面処理の際に基板上のレジストに転写跡が発生しないこと等の利点もある。
更に、本発明においては、基板上のレジストに薬液成分含有空気を吹き付ける前に乾燥用空気を吹き付けてその風圧の物理力で乾かし、レジスト表面に非常に薄い変質膜またはその前置膜を形成するのが好ましい。このような前置膜の上から上記薬液成分含有空気を吹き付けることで、レジスト表面の変質層を再現性よく安定に形成することができる。
30 塗布プロセス部
46 レジスト表面処理ユニット(VD)
104 コロ搬送路
106 乾燥用ガス吹き付け部106
108 第1薬液成分含有ガス吹き付け部
110 第2薬液成分含有ガス吹き付け部
120 空気供給部
122,138,154 送風機
114,130,146 噴射ノズル
116,132,148 吸い込み口
118,134,150 ガス案内板
126,142 排気部
136 薬液蒸気生成部
170 コロ
Claims (10)
- 被処理基板上にレジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記基板上に塗布されたレジストの表面に変質層を作るために、前記レジストと化学反応する薬液成分を空気に混合してなる薬液成分含有空気を前記基板上のレジストの表面に所定の風圧で吹き付けるレジスト表面処理工程と、
露光処理に先立って、前記レジスト中の残存溶媒を蒸発させ、かつ前記レジストの前記基板に対する密着性を高めるために前記基板を加熱するプリベーク工程と
を有する基板処理方法。 - 前記レジスト塗布工程と前記レジスト表面処理工程との間に、前記基板上のレジストの表面に乾燥用空気を所定の風圧で吹き付ける乾燥用ガス吹き付け工程を有する、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記薬液成分含有空気の薬液成分は現像液またはHMDSの蒸気である、請求項1または請求項2に記載の基板処理方法。
- レジストを塗布した直後の被処理基板に対向して配置される第1のノズルを有し、前記基板上に塗布されたレジストの表面に変質層を作るために、前記レジストと化学反応する薬液成分を空気に混合してなる薬液成分含有空気を前記第1のノズルより噴射して前記基板上のレジストに所定の風圧で吹き付ける薬液成分含有ガス吹き付け部と、
前記薬液成分含有空気が前記基板上のレジスト表面の全領域に吹き付けられるように前記第1のノズルと前記基板との間で相対的な移動を行わせる移動機構と
を有するレジスト表面処理装置。 - 前記基板に対向して配置される第2のノズルを有し、乾燥用空気を前記第2のノズルより噴射して前記基板上のレジストに所定の風圧で吹き付ける乾燥用ガス吹き付け部を有し、
前記第1のノズルによる前記第1のガスの吹き付けに先立って前記第2のガスが前記基板上のレジスト表面の全領域に吹き付けられるように、前記移動機構により前記第2のノズルと前記基板との間で相対的な移動を行わせる、請求項4に記載のレジスト表面処理装置。 - 前記薬液成分含有ガス吹き付け部が、前記搬送路に沿って前記第1のノズルを複数本多段に配置する、請求項4または請求項5に記載のレジスト表面処理装置。
- 前記第1のノズルが、前記搬送路を横断する方向に延びるスリット型の吐出口を有する長尺形ノズルである、請求項4〜6のいずれか一項に記載のレジスト表面処理装置。
- 前記第2のノズルが、前記搬送路を横断する方向に延びるスリット型の吐出口を有する長尺形ノズルである、請求項4〜7のいずれか一項に記載のレジスト表面処理装置。
- 被処理基板を略水平に支持して所定の搬送方向に平流しで搬送するための搬送路と、
前記搬送路上を平流しで移動中の前記基板上にレジストを塗布するレジスト塗布処理部と、
前記レジスト塗布処理部よりも搬送方向の下流側で、前記搬送路上を平流しで移動中の前記基板に対して、前記基板上に塗布されたレジストの表面に変質層を作るために、前記レジストと化学反応する薬液成分を空気に混合してなる薬液成分含有空気を前記基板上のレジストの表面に所定の風圧で吹き付けるレジスト表面処理部と、
前記レジスト表面処理部よりも搬送方向の下流側で、露光処理に先立って、前記レジスト中の残存溶媒を蒸発させ、かつ前記レジストの前記基板に対する密着性を高めるために、前記搬送路上を平流しで移動中の前記基板を加熱するプリベーク処理部と
を有する基板処理装置。 - 前記レジスト塗布処理部と前記レジスト表面処理部との間で、前記搬送路上を平流しで移動中の前記基板に対して、前記基板上のレジストの表面に乾燥用空気を所定の風圧で吹き付ける乾燥用ガス吹き付け部を有する、請求項9に記載の基板処理装置。
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