JP2015202471A

JP2015202471A - 薄形状物体用クリーニング装置

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Publication number: JP2015202471A
Application number: JP2014084084A
Authority: JP
Inventors: 康長田; Yasushi Osada
Original assignee: OSADA CORP; OSADA Corp KK
Current assignee: OSADA CORP; OSADA Corp KK
Priority date: 2014-04-16
Filing date: 2014-04-16
Publication date: 2015-11-16

Abstract

【課題】薄形状物体の表裏面だけでなく、薄形状物体の前後両端面をも安定・高品質・高能率にクリーニングすることのできる簡潔で安価な薄形状物体用クリーニング装置を提供するものである。【解決手段】吸引式ベルト搬送機構３１における搬送開始端と粘着式クリーニング機構６１おけるクリーニング開始端との間には、薄形状物体１１の前端面１１Ｆや後端面１１Ｂをクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段７１が、吸引式ベルト搬送機構３１の搬送面側と対面してその吸引式ベルト搬送機構３１の幅方向にわたり配置されている。【選択図】図１

Description

本発明は、フィルム・ラミネートフィルム・シート・ラミネートシート・プラスチック製薄板・プラスチック製薄型合板・半導体基板・プリント基板・木製薄板・薄型木版・木製薄型合板・金属製薄板・金属製薄型合板・金属箔・板ガラス・セラミック板・紙・板紙などの薄形状物体や、その他の薄形状物体（積層構造のものも含む）について、当該薄形状物体の被清掃面を高度に清浄化するためのクリーニング装置に関する。

空気中の浮遊物が付着することで生じる物体（物品）のコンタミネーション（略称：コンタミ）は、不可避的な自然現象の一つである。それは自明のとおり、浮遊微小粒子（塵埃など）や浮遊微生物（黴・細菌・ウイルスなど）を空気中から皆無することができず、物を生産したり加工したり取り扱ったりする建屋内などでも、この種の汚染が定常的に発生するからである。したがって、工場内でつくられる各種の製品などは、高度のコンタミ対策を講じないかぎり微視的レベルで汚染される。

コンタミについてさらにいうと、人体その他に悪影響を及ぼさないのであれば、これを無視してよいケースがかなりある。現状における大多数の製品も、種別や用途に鑑み、コンタミ対策を不要としている。これに対し、低汚染性や非汚染性が強く要求される「医療関係」・「食料品関係」・「半導体関係」などの分野では、クリーンルーム内で製品を製造・加工・包装するというコンタミ対策や、得られた製品をクリーニング装置に掛けるというコンタミ対策を実施している。

既述の薄形状物体用について、これのクリーニング装置としては、吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構との組み合わせからなるものが広く知られている。かかるクリーニング装置によるときは、吸引式ベルト搬送機構の無端ベルト搬送面で薄形状物体の片面（被吸引面）を吸引保持しながらこれを無端ベルトのエンドレス回転方向へと送り、当該搬送と同期して薄形状物体の他の片面（被清掃面）に粘着ローラを押し当てる。よって、薄形状物体の被清掃面に付着している汚染物が粘着ローラで粘着除去される。

上記薄形状物体用クリーニング装置はつぎの点で望ましい。その一つは薄形状物体の搬送手段が吸引式ベルト機構からなることである。これによるときは薄形状物体をベルト搬送面にしっかりと吸引させてこれを終始安定して搬送することができる。他の一つは粘着式クリーニング機構からなる薄形状物体の汚染物除去手段である。これは廉価な粘着ローラを主体にしたものであるから、イニシャルコストのみならずランニングコストをも抑制することができ、しかも、粘着ローラの強力な粘着性に依存して高い汚染物除去効果（クリーニング効果）を発揮する。

薄形状物体用クリーニング装置の先行技術について、吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構とを組み合わせたものは、下記の特許文献１（図２参照）に開示されている。この場合の各機構についても、吸引式ベルトを主体にした搬送機構は、クリーニング装置以外の技術分野でみられる汎用機構であり、粘着ローラを主体にした粘着式クリーニング機構も、粉塵除去技術などにおける常套手段となっている。

この種の汚染物除去については、また、クリーニング処理後の薄形状物体が再汚染されるのを回避しなければならない。その対策として、薄形状物体の汚染物除去を高クリーン雰囲気下で実施することが行われている。より具体的には、高クリーン度に保持されたクリーンルーム内で薄形状物体の汚染物を除去しているのである。

上記クリーンルームのような高クリーン雰囲気下で薄形状物体の汚染物を除去するときは、クリーニング処理後の薄形状物体を再汚染のない状態で取り扱うことができる。けれどもクリーンルームの場合は、一室全体とか建屋全体とかいう、きわめて大きな空間領域を定常的に高クリーン化することを要するので設備費や運転費が嵩む。このようなことから、必要最小限度の空間領域を高クリーン化するタイプのクリーンブースが実用化されている。下記の特許文献２に開示されたものは、典型的なクリーンブースの一例である。特許文献２に開示されたクリーンブースは、軽便かつコンパクトで内部空間も小さいから、クリーンルームと比べた場合に、設備費や運転費がかなり低減できることとなる。

特開２００７−２２２７７７号公報特開２００２−２８６２６５号公報

特許文献１に開示された薄形状物体用クリーニング装置は、薄形状物体の表面や裏面をクリーニングすることに終始した技術内容のものである。すなわち、この文献記載装置の場合、薄形状物体について、その表裏面のクリーニングはできるとしても、薄形状物体の前後両端面（極薄の前後面）や左右両端面（極薄の両側面）をクリーニングする手段がないため、この部分の汚染物を取り除くことができない。ゆえに、このような既成技術の場合は、かかる局部汚染が解消されないまま残されてしまう。

上記薄形状物体の端面汚染対策として、薄形状物体の前後両端面や左右両端面をクリーニングするときは、その表裏面クリーニングの場合と同様、適当な汚染物除去具を薄形状物体の端面にあてがいながら当該端面をブラッシングしたり払拭したり粘着剥離したりすればよいかのごとくである。しかしながら薄形状物体は薄くて撓みやすい。それゆえ、汚染物除去に必要な力をかけながら汚染物除去具を薄形状物体の端面にあてがった際など、薄形状物体の周縁部が変形して汚染物除去具が薄形状物体の端面に適切にフィットしなくなる。はなはだしいときは、あてがった汚染物除去具に起因して薄形状物体の周縁部が損傷したり破損したりすることもある。加えて薄形状物体は、その表面や裏面をクリーニングするために送りが掛けられているのである。ゆえに、薄形状物体の表裏面クリーニングと同期してその端面をもクリーニングするというときは、クリーニング難度がさらに高いものになる。

これまでの説明で明らかなように、薄形状物体について表裏面のみならず端面をも含めてこれをクリーニング処理するときは、上述した高難度の技術課題を克服しなければならないこととなる。

他方、薄形状物体用クリーニング装置に適用することのできるクリーンブースについていうと、特許文献２などにみられる既存のクリーンブースは、クリーニング装置とは別体かつ独立した構成のものである。この既存のクリーンブースは、もちろん、ブース内のクリーン化やクリーン状態の保持機能を満足させるものである。しかしながら、ブース構成を簡潔廉価にしたりクリーニング装置への適用を容易にしたりする点では、まだ、改善の余地が残されているものである。

本発明は上記のような技術課題に鑑み、薄形状物体の表裏面だけでなく薄形状物体の前後両端面をも安定・高品質・高能率にクリーニングすることのできる簡潔で安価な薄形状物体用クリーニング装置を提供しようとするものである。本発明は、また、安定クリーニング・高品質クリーニング・高能率・簡潔構成・低コストなどを満足させることのできるブース付きの薄形状物体用クリーニング装置を提供しようとするものである。

本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置、ならびに、本発明に係るブース付きの薄形状物体用クリーニング装置は、所期の目的を達成するために下記<01>〜<05>の課題解決手段を特徴とする。
<01> 吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構とが組み合わされたものであること、および、
吸引式ベルト搬送機構が、多数の吸気孔をエンドレス回転方向沿いに有する搬送用無端ベルトと、搬送用無端ベルトをエンドレス回転させるための駆動手段と、搬送用無端ベルトの吸気孔を通じて薄形状物体を搬送用無端ベルトの搬送面に吸着にするための吸気手段とを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構が一次クリーニング用の粘着ローラと二次クリーニング用の巻物状粘着ローラとを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラについては、搬送用無端ベルトの搬送開始端と搬送終了端との間に配置されて、そのローラ周面が、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着されて搬送される薄形状物体の被清掃面と接触自在に対応し、かつ、粘着式クリーニング機構の二次クリーニング用粘着ローラについては、そのローラ周面が、一次クリーニング用粘着ローラの周面と接触自在に対応していること、および、
吸引式ベルト搬送機構における吸気手段の吸引部については、搬送用無端ベルトのエンドレス回転空間内に配置されて搬送用無端ベルト搬送面の裏側から搬送用無端ベルトの吸気孔に通じていること、および、
クリーニング対象物として吸引式ベルト搬送機構で搬送される薄形状物体については、その搬送方向の先頭部側を前端部とし、かつ、その搬送方向の後尾部側を後端部として、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着保持されながら当該搬送用無端ベルトのエンドレス回転方向へ搬送されるものであり、かつ、その薄形状物体の表面が一次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされること、および、
一次クリーニング用の粘着ローラについては二次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされ、かつ、二次クリーニング用の粘着ローラについては、その巻物状のものが巻き戻し削除されたときに新たなローラ周面が露呈されるものであること
を前提とする薄形状物体用クリーニング装置において、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間には、薄形状物体の前端面や後端面をクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段が、吸引式ベルト搬送機構の搬送面側と対面してその吸引式ベルト搬送機構の幅方向にわたり配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
<02> 吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構とが組み合わされたものであること、および、
吸引式ベルト搬送機構が、多数の吸気孔をエンドレス回転方向沿いに有する搬送用無端ベルトと、搬送用無端ベルトをエンドレス回転させるための駆動手段と、搬送用無端ベルトの吸気孔を通じて薄形状物体を搬送用無端ベルトの搬送面に吸着にするための吸気手段とを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構が一次クリーニング用の粘着ローラと二次クリーニング用の巻物状粘着ローラとを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラについては、搬送用無端ベルトの搬送開始端と搬送終了端との間に配置されて、そのローラ周面が、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着されて搬送される薄形状物体の被清掃面と接触自在に対応し、かつ、粘着式クリーニング機構の二次クリーニング用粘着ローラについては、そのローラ周面が、一次クリーニング用粘着ローラの周面と接触自在に対応していること、および、
吸引式ベルト搬送機構における吸気手段の吸引部については、搬送用無端ベルトのエンドレス回転空間内に配置されて搬送用無端ベルト搬送面の裏側から搬送用無端ベルトの吸気孔に通じていること、および、
クリーニング対象物として吸引式ベルト搬送機構で搬送される薄形状物体については、その搬送方向の先頭部側を前端部とし、かつ、その搬送方向の後尾部側を後端部として、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着保持されながら当該搬送用無端ベルトのエンドレス回転方向へ搬送されるものであり、かつ、その薄形状物体の表面が一次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされること、および、
一次クリーニング用の粘着ローラについては二次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされ、かつ、二次クリーニング用の粘着ローラについては、その巻物状のものが巻き戻し削除されたときに新たなローラ周面が露呈されるものであること
を前提とする薄形状物体用クリーニング装置において、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間には、薄形状物体の前端面や後端面をクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段が、吸引式ベルト搬送機構の搬送面側と対面してその吸引式ベルト搬送機構の幅方向にわたり配置されていること、および、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間であって、その吸引式ベルト搬送機構の両側部には、薄形状物体の両側面をクリーニングするための払拭式の側面クリーニング手段が配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
<03> 端面クリーニング手段が、回転払拭ブラシと停止払拭ブラシと揺動払拭ブラシとのうちから選択されたいずれかのブラシを備えている上記<01>または<02>に記載された薄形状物体用クリーニング装置。
<04> 薄形状物体の表面をクリーニングするためのものとして上記<01>〜<03>のいずれに記載された薄形状物体用クリーニング装置を備えていること、および、
薄形状物体の裏面をクリーニングするためのものとして上記<01>〜<03>のいずれに記載された薄形状物体用クリーニング装置を備えていること、および、
薄形状物体の表面をクリーニングするための薄形状物体用クリーニング装置がその薄形状物体の表面と対応し、かつ、薄形状物体の裏面をクリーニングするための薄形状物体用クリーニング装置がその薄形状物体の裏面と対応するように、それぞれの薄形状物体用クリーニング装置が相対的な前後関係を保持して薄形状物体の進行方向沿いに配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
<05> 上記<01>〜<04>のいずれかに記載された薄形状物体用クリーニング装置とクリーンブースとを備えたものであること、および、
クリーンブースが底面を開放されたものからなるとともに、そのクリーンブースの周壁が可撓性を有するシート状材料で形成されていること、および、
薄形状物体用クリーニング装置の底面を除く周囲がクリーンブースで覆われており、かつ、薄形状物体用クリーニング装置を覆うクリーンブースの内部がそのクリーンブース外部よりも高圧に保持されるものであること、および、
薄形状物体用クリーニング装置を覆うクリーンブースが、薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材を介して支持されていること、および、
クリーンブースにおける周壁の下端部が薄形状物体用クリーニング装置の下端部よりも高位にあり、かつ、薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材で支持された当該クリーンブースが宙吊りされていること
を特徴とするブース付きの薄形状物体用クリーニング装置。

本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置によるときは、概略、つぎのようにして薄形状物体がクリーニングされる。

クリーニングの際に薄形状物体を搬送する吸引式ベルト搬送機構は、多数の吸気孔を有する搬送用無端ベルトで薄形状物体を確実に吸引保持してこれを安定搬送する。粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラは、搬送用無端ベルトで搬送される薄形状物体の表面または裏面に無理なく接触してその薄形状物体表面または薄形状物体裏面の汚染物を粘着除去する。除去された汚染物は、一次クリーニング用粘着ローラから二次クリーニング用巻物状粘着ローラへと転移する。よって、一次クリーニング用粘着ローラは長く清浄な状態を保つ。一方で端面クリーニング手段は、搬送状態にある薄形状物体の前端面・後端面・左端面・右端面などをクリーニングする。たとえば、回転払拭ブラシ・停止払拭ブラシ・揺動払拭ブラシなどを介してそれらの端面をクリーニングする。この端面クリーニングは粘着式クリーニング機構よりも先行する。かくて薄形状物体は、吸引式ベルト搬送機構を介して搬送される間に所定の各部をクリーニングされる。

本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置は、上記のようにして薄形状物体をクリーニングするものである。かかる本発明装置の場合、下記<11>〜<21>で述べるような効果を有する。
［安定クリーニング］
<11> クリーニング時の薄形状物体は、吸引式ベルト搬送機構の搬送用無端ベルトにより吸引保持されてずれ動くことなく安定搬送される。粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラは、この安定搬送状態にある薄形状物体の表面（裏面）に接触しつつ安定回転し、かつ、粘着性にて薄形状物体表面（裏面）の汚染物を粘着除去する。一方、端面クリーニング手段の場合は、安定搬送状態にある薄形状物体の前端面・後端面・左端面・右端面などに接触しながらそれらの端面を掻取作用や払拭作用でクリーニングする。本発明装置については、このように、クリーニング作用を行う能動的な各要素（搬送用無端ベルト・一次クリーニング用粘着ローラ・端面クリーニング用回転ブラシ等）が複雑化することのない回転運動で安定作動し、かつ、クリーニング処理される受動的な要素（薄形状物体）も搬送用無端ベルトにより吸引保持されて安定移動し、かつ、端面クリーニング手段も薄形状物体の各端面に接触して安定なクリーニング作用を行うものである。
<12> ゆえに本発明装置によるときは、薄形状物体の汚染物を除去する際の安定クリーニングを期すことができる。
［高品質クリーニング］
<13> 薄形状物体については、その「表面」および／または「裏面」のみをクリーニングするのが一般である。これに対する本発明の場合、薄形状物体の表裏面のみならず、その前後両端面や左右両端面をもクリーニングする。これは薄形状物体の表裏両面を粘着式クリーニング機構でクリーニングし、薄形状物体の前後両端面や左右両端面を端面クリーニング手段（回転払拭ブラシ・停止払拭ブラシ・揺動払拭ブラシなど）でクリーニングするのであるから、薄形状物体全体からみた汚染物の除去率が格段に高まり、クリーニング後の薄形状物体がより清浄なものになる。
<14> 端面クリーニング手段による薄形状物体の前端面クリーニングや後端面クリーニングについて、これを薄形状物体の表面側と裏面側との双方から行うときは、端面汚染物の取り残しがより生じがたいものになる。その理由は、薄形状物体の表面側から端面接触させたブラシのクリーニング作用が薄形状物体の裏面側端面領域にまで満足に及ばないという事態が生じるとしても、薄形状物体の裏面側から端面接触させたブラシのクリーニング作用がその薄形状物体の裏面側端面領域に対して十分に及び、それによって上記の事態に起因したクリーニング不足が解消されるからである。逆に、薄形状物体の裏面側から端面接触させたブラシのクリーニング作用が薄形状物体の表面側端面領域にまで満足に及ばない場合も、薄形状物体の表面側から端面接触させたブラシのクリーニング作用がその薄形状物体の表面側端面領域に対して十分に及ぶ。よってこの場合も、上記の事態に起因したクリーニング不足が解消される。
<15> 端面クリーニング手段を介した薄形状物体の端面クリーニングは、粘着式クリーニング機構による薄形状物体表面（薄形状物体裏面）の粘着クリーニングに先行して行われる。この端面クリーニング手段の一次的機能（主機能）は、もちろん薄形状物体の端面クリーニングであるが、その一方において、粘着式クリーニング機構に至る前の薄形状物体の表面（裏面）にも接触し、当該表面（裏面）を事前ブラッシングするという二次的機能も奏しているのである。すなわちこれは、粘着式クリーニング機構に掛けられる前の薄形状物体表面（薄形状物体裏面）が端面クリーニング手段を介して事前清掃を受けているのである。さらにいうと、薄形状物体の表面（裏面）などは、汚染物の一部が事前清掃作用で除去されたり、残部汚染物が事前清掃作用で取り除きやすい状態になっていたりするのである。したがってこの後、粘着式クリーニング機構でクリーニングされる薄形状物体の表面（裏面）は、このさらなるクリーニング処理によって汚染物を高率除去されたものに仕上がる。
<16> ゆえに本発明装置によるときは、薄形状物体をより高品質にクリーニングすることができる。
［高能率］
<17> 薄形状物体の表裏両面・前後両端面・左右両端面など、これらのクリーニングについては一連の流れ作業で同期的に行うことができる。また、薄形状物体の端面クリーニングと表裏面クリーニングとをクリーニング種ごとに間欠的に行うこともできる。もちろん各クリーニングについては間欠的に行うよりも同期的に行う方が能率よいといえるが、そのいずれであれ、クリーニングの流れ作業が実現するので、当該作業の高速性を保持することができる。
<18> ゆえに本発明装置によるときは、薄形状物体をクリーニング処理する際の高能率をはかることができる。
［簡潔構成と低コスト］
<19> 本発明装置で主要な構成要素は吸引式ベルト搬送機構・粘着式クリーニング機構・端面クリーニング手段の三つである。このうちの吸引式ベルト搬送機構については、吸気孔のある搬送用無端ベルトを吸引機構を組み合わせるだけで簡潔に構成することができ、しかも、搬送用無端ベルトのエンドレス回転空間を利用してそこに吸引機構の吸引端部側を介在配置させることにより、コンパクト構成をはかりながら搬送用無端ベルトの吸引作用の高めることができる。また、粘着式クリーニング機構や端面クリーニング手段も、吸引式ベルト搬送機構の搬送用無端ベルトに対応させて、それぞれのローラを所定位置に配置するだけであるから、各主要構成要素の相対関係において、きわめて簡潔な組み合わせ構成となる。
<20> さらに、安定クリーニング・高品質クリーニング・高能率を期すことのできる本発明装置の主要構成要素が上記「三つ」と数少なく、かつ、各主要構成要素の構成やそれらの組み合わせ構成も簡潔なものであるから、有用で有益な装置でありながらも、これの低コストを満足させることができる。
<21> ゆえに本発明装置によるときは、簡潔構成や低コストもはかることができる。

本発明に係るブース付き薄形状物体用クリーニング装置においては、クリーンブース内のクリーニング装置を介して薄形状物体のクリーニングが前記と同様に行われる。この場合の薄形状物体用クリーニング装置とクリーンブースについて、さらにいうと、クリーニング装置は底面を除く周囲が底面開放型のクリーンブースで覆われており、クリーンブースはその内部がクリーンブース外部よりも高圧に保持されている。したがって、クリーニング装置の周囲を覆うクリーンブースの場合、クリーンブース内部→クリーンブースの開放された底面→クリーンブース外部という気体の流れが生じてそのクリーンブース内部が定常的に清浄状態に保持される。それゆえ、クリーンブース内でクリーニング装置により汚染物を除去された薄形状物体の場合、もちろん再汚染などは起こらず、クリーンブース内と同等以上のクリーン度に保持される。

本発明に係るブース付き薄形状物体用クリーニング装置の場合、その主要構成要素が本発明に係る既述の薄形状物体用クリーニング装置と共通するものである。したがってブース付き当該装置の場合、上記<11>〜<21>で述べたと同様の効果があるが、当該装置については、そのブース構成によるところの下記<22>〜<>のような効果もある。
［安定なクリーン雰囲気］
<22> 底面開放型のクリーンブースは上記のとおり、薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材で支持されている。クリーンブースは、また、その内部へ清浄気体が定常的に供給されることにより、クリーンブース外の気圧よりも高圧状態を呈するものである。よってクリーンブース内からは、開放されたブース底面を通じてブース外へと気体が流れ出る。このクリーンブースの内部空間の場合、底面側を除く他の部分がすべて覆われているので、これらの部分からブース内への汚染物侵入はない。一方、開放されたブース底面について、ここも外向きの気流が生じているのでブース内への汚染物侵入がない。そればかりか、外向き気流がブース周囲の床面などにある塵埃その他の汚染原因物質を遠方へ吹き飛ばすので、ブース周辺についても一部清浄化される。
<23> ゆえにブース付きの本発明装置によるときは、清浄気体で満たされるブース内部のクリーン度が自明のとおり高いものになり、しかも、ブース底面側からの外向き気流で周辺環境をも清浄することができるので、ブース内部のクリーン雰囲気をより安定に保持するすることができる。
［実施形態の変化に対する適応性］
<24> ブース付き本発明装置の場合、これのみの単独使用はもちろんのこと、各種の製造ラインに組み込んで使用することも自由に行える。それは薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材を介して支持されたクリーンブースが当該装置と一体であること、クリーンブース底面が開放されていること、クリーンブース周壁が可撓性を有するシート状材料で形成されていること、クリーンブースの周壁下端部がクリーニング装置下端部よりも高位にあることによる。すなわちこれは、本発明装置に設けられた支持部材でクリーンブースが宙吊りされているのである。このブース付き本発明装置の場合、所要のスペースがあるかぎり、どこにでも自由に設置することができ、その場で随意に使用することができる。また、作業員などは、クリーンブース周壁（可撓性シート状材料）の裾部を持ち上げるとか、あるいは、二枚重ねで閉じられたブース周壁の一部を開けるなど、簡単な操作でブース内外に出入りすることができる。さらに、製造ラインの中間部位や端末などにブース付き本発明装置を組み込むときも、クリーンブース周壁のライン対応箇所を捲り上げ開放する、あるいは、その該当箇所を必要なだけ切除開放することにより、簡単に製造ラインに応じることができるようになる。
<25> ブース付き本発明装置は上記のとおり、単独使用や製造ライン組み込み使用など実施形態の変化に対する適応性も十分にある。
［クリーン雰囲気形成の低コスト］
<26> ブース付きの本発明装置におけるクリーンブースは、廉価で軽量な可撓性シート状材料を主体にして構成されるものである。これを宙吊りに支持するため、本発明装置に設けられる支持部材も、可撓性シート状材料が軽量なものであるから、特段の強度を要しない低廉材かつ軽量材でよいこととなる。さらに、本発明装置を利用したブース宙吊り支持構成であるので、支持部材の節減もはかれる。あとは、清浄気体を送り込むための送気手段をクリーンブースに接続すればよいだけである。
<27> ゆえにブース付きの本発明装置によるときは、クリーン雰囲気形成を低コストで実現することができる。
［クリーニング装置への負荷荷重の軽減］
<28> ブース付き本発明装置の場合は上記のように、クリーンブースの構成材料である可撓性シート状材料が軽量なものであり、かつ、これを支持するための支持部材も軽量でよいものである。したがって、本発明装置を基礎にしたクリーンブース支持構成であるといえども、本発明装置に与える負荷荷重は小さく、負荷荷重に起因して当該装置に好ましくない影響を与えることがない。
<29> ゆえにブース付きの本発明装置によるときは、クリーニング装置への負荷荷重を軽減することができ、それによって当該装置は、長く適正に作動することとなる。

本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置の一実施形態を略示した正面図である。図１の装置をより具体的に示した正面図である。図２の装置の右側面図である。本発明装置を介して端面クリーニングされている薄形状物体の前後両端面を略示した正面図である。本発明装置における前後両端面のクリーニング手段について他の実施形態を略示した要部正面図である。本発明における端面クリーニング手段についてこれに用いられる各種ブラシを略示した斜視図である。本発明装置の要部である端面クリーニング手段のうちで、薄形状物体の両側端面をクリーニングするための手段を略示した正面図である。本発明に係るブース付きの薄形状物体用クリーニング装置についてその一実施形態をブース切開状態で略示した正面図である。図８の装置についてブース切開状態で略示した左側面図である。

はじめに、本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置の一実施形態について添付の図面に基づき説明する。

図１〜図５の各図において、１１は薄形状物体、２１はケーシング、３１は吸引式ベルト搬送機構、４１は駆動手段、５１は吸気手段、６１は粘着式クリーニング機構をそれぞれ示す。さらに、図１〜図５の各図において、７１は薄形状物体１１の前端面１１Ｆと後端面１１Ｂとをクリーニングするための端面クリーニング手段を示し、８１は薄形状物体１１の左端面１１Ｌと右端面１１Ｒとをクリーニングするための端面クリーニング手段を示す。

本発明でクリーニング対象となる薄形状物体１１は、既述のフィルム・ラミネートフィルム・シート・ラミネートシート・プラスチック製薄板・プラスチック製薄型合板・半導体基板・プリント基板・木製薄板・薄型木版・木製薄型合板・金属製薄板・金属製薄型合板・金属箔・板ガラス・セラミック板・紙・板紙などの薄形状物体や、その他の薄形状物体（積層構造のものも含む）がこれに該当する。

ケーシング２１は金属製および／または合成樹脂製（ＦＲＰを含む）のフレームやパネルなどを主体にして構成される立体構造のものである。これは周知のように、所要の構成要素を内蔵するための内部空間を有するほか、必要な部品や部材を取り付けたり支持したりするための内部構造も備えている。ケーシング２１の底面にはキャスタ２４が取り付けられている。中空構造物としてケーシング２１の形態は、およそ直方体か立方体である。図１・図２で明らかなように、ケーシング２１は左右両側面に入口２２と出口２３を有しており、かつ、入口２２には薄形状物体１１用の給送コンベア２５、出口２３には薄形状物体１１用の受取コンベア２６とが装備されている。

吸引式ベルト搬送機構３１の場合、これは多数の吸気孔３３をエンドレス回転方向沿いに有する搬送用無端ベルト３２と、搬送用無端ベルト３２をエンドレス回転させるための駆動手段４１と、搬送用無端ベルト３２の吸気孔３３を通じて薄形状物体１１を搬送用無端ベルト３２の搬送面に吸着にするための吸気手段５１とを備えているものである。

搬送用無端ベルト３２はゴムとか合成樹脂などの周知材料を主体にしてつくられた無端ループ状のものである。これは穴明きベルトといわれたりもしている。この搬送用無端ベルト３２については、一つまたは二つ程度の広幅ベルトを採用する実施形態もあるが、図示例の場合は図３で明らかなように、細幅ベルトが多数あってそれが平行並列状態で並ぶという実施形態が採用されている。多数ある細幅の搬送用無端ベルト３２は、図１〜図３で明らかなように、ケーシング２１内で回転自在に支持された三本のコンベア軸３４ａ・３４ｂ・３４ｃの回りを周回するように掛け回されている。より具体的には、各搬送用無端ベルト３２は、各コンベア軸３４ａ・３４ｂ・３４ｃの外周面に等間隔で取り付けられたそれぞれのローラ３５に掛け回されて該各ベルト３２が平行並列しているものである。この場合のコンベア軸３４ｃは、搬送用無端ベルト３２に張りを与えるための機能を有する。したがって、このローラ３５付きのコンベア軸３４ｃは、テンションシャフトまたはテンションローラといわれたりする。

搬送用無端ベルト３２を所定の方向へエンドレス回転させるための駆動手段４１については、チェーン伝動系・ベルト伝動系・歯車伝動系のうちから選択されたいずれかの伝動系と、電動機（モータ）４２との組み合わせが採用されるものである。図示例の場合はその一例して図２に示すように、電動機４２とチェーン伝動系４３との組み合わせが採用されている。チェーン伝動系４３は周知の伝動用無端チェーン４４と複数のスプロケットギア４５ａ・４５ｂ・４５ｃとからなる。このうちで、スプロケットギア４５ａは電動機４２側の原動軸４２ｓに取り付けられており、スプロケットギア４５ｂはコンベア軸３４ａに取り付けられている。さらに、無端チェーン４４に張りを与えるための張力付加用のスプロケットギア４５ｃは、ケーシング２１内の所定部に揺動自在に設けられた揺動軸４６に取り付けられている。伝動用無端チェーン４４は、この三つのスプロケットギア４５ａ・４５ｂ・４５ｃに掛け回され、かつ、電動機４２の動力でエンドレス回転するようになっている。

吸引式ベルト搬送機構３１の吸気手段５１は、一例として周知の吸引式電気掃除機と同様の構成からなる。この場合の吸気手段５１の本体部は、吸引口５３と排気口５４とを有するハウジング５２内に、吸引用電動機を主体にした図示しない吸引機、図示しないフィルタ（例：ＨＥＰＡフィルタ・ＵＬＰＡフィルタ）、その他が内蔵されて構成されているものである。吸気手段５１には、また、多数の接続口を有する中空ヘッダ５６・５７が含まれている。両中空ヘッダ５６・５７は扁平な直方体型の中空形状をしており、その一つの面に多数の接続口が並んでいる。両中空ヘッダ５６・５７は、互いに対応する接続口相互が図２・図３のように配管５８で接続されているものである。したがって両中空ヘッダ５６・５７は相互に連通している。そのうちの一方の中空ヘッダ５６は、図１〜図３のように、吸引式ベルト搬送機構３１の搬送用無端ベルト３２内にある空間を利用してその内部空間に配置されている。この配置状態において、搬送用無端ベルト３２の内面と対面する中空ヘッダ５６の扁平面には、搬送用無端ベルト３２の吸気孔３３と連通可能な吸引孔（図示せず）が多数形成されている。一方の中空ヘッダ５７は、ケーシング２１内における搬送用無端ベルト３２の外方へ配置されてその位置に保持されている。中空ヘッダ５７は、さらに、配管５９を介して吸気手段５１（吸引機）に接続されている。

図１・図２を参照して明らかなように、粘着式クリーニング機構６１は一次クリーニング用の粘着ローラ６２と二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ６３とを備えてユニット化されている。このうちで一方の粘着ローラ６２は、ゴムロールまたは合成樹脂ロールの軸心部に軸が設けられているもの、しかも、そのロールに粘着剤が添加されているものである。ちなみに、この場合の粘着剤としては、周知のゴム系粘着剤・アクリル系粘着剤・シリコーン系粘着剤・ウレタン系粘着剤などのうちから適当なものが選択される。これに対し、二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ６３は、周知のように、粘着剤を塗布された長尺シートが芯軸の外周面に積層ロール状に巻き付けられたものである。これは使用済み部分を切除することで、未使用の粘着面が露呈するものである。

二つの粘着ローラ６２・６３は軸受用の内部ホルダ６４を介して回転自在に保持されるものである。より具体的にいうと、一次クリーニング用粘着ローラ６２の場合は内部ホルダ６４の先端部側に配置され、かつ、その内部ホルダ６４に設けられた軸受で回転自在に保持される。二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３の場合は、一次クリーニング用粘着ローラ６２の外周面に接してその内方に配置され、かつ、これも内部ホルダ６４の軸受で回転自在に保持される。いずれの粘着ローラ６２・６３も脱着可能な態様で内部ホルダ６４に保持されるが、二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３については、一次クリーニング用粘着ローラ６２側へ移動可能なように、その芯軸が内部ホルダ６４の長い軸孔に嵌め込まれる。さらに当該粘着ローラ６２には、他方の粘着ローラ６２と常に接触させるためのバネ６５（図１参照）も装着される。

内部ホルダ６４についていうと、これは図２で明らかなように外部ホルダ６６内に配置されているものである。内部ホルダ６４と外部ホルダ６６は、周知のシリンダ（エアシリンダ）６７を介して連結されている。それで内部ホルダ６４の場合は、シリンダ６７を伸縮操作することにより、外部ホルダ６６の先端側から突出したり没入したりするものである。このようしてユニット化された粘着式クリーニング機構６１は、一次クリーニング用粘着ローラ６２の周面が搬送用無端ベルト３２の搬送面側と対面するように、ケーシング２１内に配置されるものである。

上記のようにしてユニット化されている粘着式クリーニング機構６１については、たとえば図２において、その紙面と直行する方向へ押し込んだり引き出したりすることが可能なようにケーシング２１内に組み付けるのが望ましい。そのような場合、ケーシング２１内の一部と粘着式クリーニング機構６１の外部ホルダ６６に、家具の引出機構などで周知のスライドレールが設けられる。粘着式クリーニング機構６１は、そのスライドレールを介してケーシング内外に押し込まれたり引き出されたりする。

図１〜図５に例示された端面クリーニング手段７１、すなわち、薄形状物体１１の前後両端面をクリーニングするための端面クリーニング手段７１は、払拭式の部材を主体にしたものである。より具体的にいうと、その払拭式部材は払拭ブラシ７２からなる。図１〜図５に例示された払拭ブラシ７２は回転するので、回転払拭ブラシ７２ということができる。この回転払拭ブラシ７２は、金属製または周知の合成樹脂製からなる芯軸の外周面に繊維系の払拭材料が装着されたものである。払拭材料の一例として合成繊維モールをあげることができ、これが芯軸の外周面に巻き付け装着される。他の一例としてパイル状に起毛させた合成繊維をあげることができ、これが芯軸の外周面に巻き付け装着される。

端面クリーニング手段７１の払拭ブラシ７２は、開放面を有する吸引箱７３内に内装されて回転自在に保持されている。さらに、吸引箱７３の内部は、周知の吸引手段を介して吸引されるようになっている。それはたとえば、吸引箱７３に接続された吸引配管７４が吸気手段５１に接続されるとか、あるいは、別途に装備された吸引手段（吸気手段５１と同種）に接続されるというものである。

払拭ブラシ７２を内蔵した吸引箱７３は、その開放面が搬送用無端ベルト３２の搬送面側と対面するようにケーシング２１内に配置され、かつ、吸引箱７３の開放面より突出した払拭ブラシ７２が、搬送用無端ベルト３２の搬送面と近接または接触するものである。もちろんこの場合の払拭ブラシ７２は、吸引式ベルト搬送機構３１の全幅に対応するものである。さらに、この場合の払拭ブラシ７２は、吸引式ベルト搬送機構３１における搬送開始端（搬送用無端ベルト３２の送り開始端）と粘着式クリーニング機構６１におけるクリーニング開始端（一次クリーニング用粘着ローラ６２）との間に位置する。すなわち、払拭ブラシ７２は、搬送用無端ベルト３２の搬送面上において、粘着式クリーニング機構６１（一次クリーニング用粘着ローラ６２）よりも前段にある。

上述した実施形態において、吸引式ベルト搬送機構３１と粘着式クリーニング機構６１と端面クリーニング手段７１とによる組み合わせ機構（装置）はケーシング２１内に二基ある。図１・図２のケーシング２１内において、その一基は左半領域にあり、残る一基は右半領域にある。このうちで、左半領域にある一基の機構（装置）は薄形状物体１１の表面をクリーニングするためのものであり、右半領域にある一基の機構（装置）は薄形状物体１１の裏面をクリーニングするためのものある。この二基の機構（装置）は、薄形状物体１１の表面や裏面に対応させるべく、ケーシング２１内に対称的に装備しただけであり、実質的な構成上の相違はないものである。ただし、伝動用無端チェーン４４を利用した回転伝達の仕方は若干異なる。ちなみに、図２で左側にある払拭ブラシ７２の吸引式は、歯車を介してコンベア軸３４ａからの回転伝達を受けるようになっているのに対し、図２で右側にある払拭ブラシ７２の芯軸は、これに取り付けられたスプロケットギアに伝動用無端チェーン４４が掛け回されて回転伝達をうけるようになっている。

本発明において、薄形状物体１１の表面または裏面のいずれか一方のみをクリーニングするとき、上記左半領域ある機構（装置）、または、上記右半領域にある機構（装置）が省略されることとなる。

図１〜図５の実施形態において薄形状物体１１の各部をクリーニングするときは、自明のとおり、吸引式ベルト搬送機構３１・粘着式クリーニング機構６１・端面クリーニング手段７１をそれぞれ運転状態にする。これによって、薄形状物体１１の各部はつぎのようにクリーニングされる。

はじめに、薄形状物体１１はつぎコンベア２４を介してケーシング２１の入口２２からその内部に進入し、前段のつぎベルト搬送機構３１（前段の搬送用無端ベルト３２）上に乗る。ここで薄形状物体１１は前段の搬送用無端ベルト３２により吸引保持されて当該ベルトの移動方向に搬送される。

このようにして搬送される薄形状物体１１が端面クリーニング手段７１の回転払拭ブラシ７２にまで到来したとき、その薄形状物体１１の前端面１１Ｆが図４（Ａ）のように回転払拭ブラシ７２と接触し、その前端面１１Ｆの汚染物が回転払拭ブラシ７２で払拭除去される。この場合における前端面１１Ｆの下端部については、回転払拭ブラシ７２による払拭清掃作用がこの部分にまで及びがたいかのごとくである。とはいえ薄形状物体１１の前端面１１Ｆは、かなりの領域が回転払拭ブラシ７２と接触するので、その上端部から下端部側に至る約９０％程度の領域が払拭清掃されることとなる。

前段の搬送用無端ベルト３２を介して吸引搬送される薄形状物体１１は、この後、回転払拭ブラシ７２下を通過していく。そして薄形状物体１１の後端面１１Ｂが回転払拭ブラシ７２と接触するに至ったとき、当該後端面１１Ｂも図４（Ｂ）のように回転払拭ブラシ７２で払拭清掃（クリーニング）される。この場合の後端面１１Ｂも上記と同様、約９０％程度の領域が払拭清掃されることとなる。

上記のようにして薄形状物体１１が前段の回転払拭ブラシ７２を通過していくとき、その薄形状物体１１の表面は粘着清掃を受ける前の予備清掃をも受ける。これについては、薄形状物体１１の表面が回転払拭ブラシ７２で一次清掃されているともいえる。

上記の払拭清掃で回転払拭ブラシ７２に付着した汚染物（塵埃等）は、吸引箱７３に接続された吸引配管７４を通じて所定の処理部で捕捉除去処理される。

つぎに、薄形状物体１１は前段の搬送用無端ベルト３２の吸引搬送により粘着式クリーニング機構６１の一次クリーニング用の粘着ローラ６２と接触する。この粘着ローラ６２下を通過していく薄形状物体１１は、とくにその表面に付着している汚染物を粘着ローラ６２の周面で粘着除去されることとなる。一方、薄形状物体１１の前端面１１Ｆや後端面１１Ｂも、粘着ローラ６２によるクリーニング作用を受けるかのようであるが、粘着ローラ６２の場合は払拭ブラシ７２ほどの端面フィッティング性がないので、汚染物の粘着除去効果はそれほど期待できない。

上記の粘着クリーニングで一次クリーニング用粘着ローラ６２の周面に付着した汚染物は、当該粘着ローラ６２に接触している二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ６３へ転移する。すなわち、この際に捕捉した汚染物は、一次クリーニング用粘着ローラ６２よりも粘着力の強い二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３へ転移する。したがって、一次クリーニング用粘着ローラ６２の周面は定常的なクリーン性を保持することとなる。一方で二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３の場合は、クリーン度が所定値まで低下したときに、その汚れた最外周部が切除される。それによって二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３が再度クリーンな状態になる。

この後も前段の搬送用無端ベルト３２で搬送される薄形状物体１１は、ケーシング２１内を左半領域から右半領域へと進行し、今度は、薄形状物体１１の裏面側を主体にしたクリーニングが以下のようにして行われる。

すなわち薄形状物体１１は、ケーシング２１の左半領域にある前段の搬送用無端ベルト３２から、ケーシング２１の右半領域にある後段の搬送用無端ベルト３２へと移り変わるのである。これについて、前段の搬送用無端ベルト３２では、薄形状物体１１の裏面側が吸引されていたが、今度は、後段の搬送用無端ベルト３２で薄形状物体１１の表面側が吸引され、下を向いた薄形状物体１１の裏面がクリーニング対象面として露呈される。

後段の搬送用無端ベルト３２で吸引搬送されるときの薄形状物体１１が、後段にある端面クリーニング手段７１の回転払拭ブラシ７２にまで到来したとき、その薄形状物体１１の前端面１１Ｆが図４（Ｃ）のように回転払拭ブラシ７２と接触し、その前端面１１Ｆの汚染物が回転払拭ブラシ７２で払拭除去される。この場合における前端面１１Ｆの上端部については、回転払拭ブラシ７２による払拭清掃作用がこの部分にまで及びがたいかのごとくである。しかしながら前端面１１Ｆの上端部は、前段の回転払拭ブラシ７２を介してすでにクリーニングされているので問題ない。また、この場合における薄形状物体１１の前端面１１Ｆも、かなりの領域が回転払拭ブラシ７２と接触するので、その下端部から上端部側に至る約９０％程度の領域が払拭清掃されることとなる。

後段の搬送用無端ベルト３２を介して吸引搬送される薄形状物体１１は、この後、回転払拭ブラシ７２上を通過していく。そして薄形状物体１１の後端面１１Ｂが回転払拭ブラシ７２と接触するに至ったとき、当該後端面１１Ｂも図４（Ｄ）のように回転払拭ブラシ７２で払拭清掃（クリーニング）される。この場合の後端面１１Ｂも約９０％程度の領域が払拭清掃される。

上記のようにして薄形状物体１１が回転払拭ブラシ７２を通過していくとき、その薄形状物体１１の裏面は粘着清掃を受ける前の予備清掃をも受ける。これについては既述の場合と同様、薄形状物体１１の裏面が回転払拭ブラシ７２で一次清掃されているといえる。

また、上記の払拭清掃で回転払拭ブラシ７２に付着した汚染物（塵埃等）も既述の場合と同様、吸引箱７３に接続された吸引配管７４を通じて所定の処理部で捕捉除去処理される。

後段の搬送用無端ベルト３２で吸引搬送される薄形状物体１１はつぎに、粘着式クリーニング機構６１の一次クリーニング用の粘着ローラ６２と接触する。この粘着ローラ６２上を通過していく薄形状物体１１は、とくにその裏面に付着している汚染物を粘着ローラ６２の周面で粘着除去されることとなる。一方、薄形状物体１１の前端面１１Ｆや後端面１１Ｂも、粘着ローラ６２による汚染物の粘着除去効果はそれほどない。

上記後段の粘着クリーニングで一次クリーニング用粘着ローラ６２の周面に付着した汚染物は、当該粘着ローラ６２に接触している二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ６３へ転移するから、定常的なクリーン性を保持する。二次クリーニング用巻物状粘着ローラ６３も、クリーン度が所定値まで低下したときに、汚れのある最外周部が切除されて再度クリーン状態になる。

上記の実施形態における端面クリーニング手段７１は乾式のものである。これを湿式の端面クリーニング手段７１とする場合は図５のようなものになる。すなわち、図５に略示する湿式の端面クリーニング手段７１は、払拭ブラシ７２を湿潤状態にしたり液濡れ状態にしたりするための湿式供給管７５が吸引箱７３内に配管されているものである。この湿式供給管７５は図示しない液体供給系たとえば噴射ポンプを備えた液体供給系に接続されており、その先端部には周知のノズルが取り付けられている。

図５に例示された湿式供給管７５は、清浄水・消毒液・殺菌液・洗浄液などのうちから選択される適当な液を、そのまま、または、霧状や液滴状にして払拭ブラシ７２に吹き付け供給するものである。この場合の液は、常温、常温以下の低温、常温以上の高温など、いずれであってもよい。この場合の液は、また、揮発性のものであってもよいし、不揮発性のものであってもよい。

本発明において採用することのできる払拭ブラシ７２は、図６に略示するようなものであってもよい。このうちで、図６（Ａ）の払拭ブラシ７２は植毛型、図６（Ｂ）の払拭ブラシ７２はパッド型、図６（Ｃ）の払拭ブラシ７２はエンドレスベルト型（中空筒状）である。これらのブラシ部は、植物繊維・化学繊維・動物繊維のいずれか一つ以上を素材にして植毛状・布状・不織布状などとし、それを図示のような形態にしているものである。もちろん、このようにしてつくられる払拭ブラシ７２には除電ブラシも含まれる。

図６（Ａ）の払拭ブラシ７２としては、停止状態で用いる停止型（停止態様）と、同図の直線矢印方向に往復動させる直線揺動型（揺動態様）とがある。図６（Ｂ）の払拭ブラシ７２としては、停止状態で用いる停止型（停止態様）と、同図の直線矢印方向に往復動させる直線揺動型（揺動態様）と、同図の円弧矢印方向に往復動させる円弧揺動型（揺動態様）とがある。図６（Ｃ）の払拭ブラシ７２としては、停止状態で用いる停止型（停止態様）と、エンドレス連続回転型（回転態様）と、エンドレス間欠回転型（回転態様）とがある。

図１〜図５で説明した払拭ブラシ７２にも、停止型（停止態様）・直線揺動型（揺動態様）・円弧揺動型（揺動態様）・連続回転型（回転態様）・間欠回転型（回転態様）などがある。

図７の実施形態は、左右両端面用の端面クリーニング手段８１を介して薄形状物体１１の左端面１１Ｌや右端面１１Ｒをクリーニングする例を示したものである。

すなわち図７の実施形態においては、端面クリーニング手段８１の主要部材として、前例（払拭ブラシ７２）と同様の払拭ブラシ８２が用いられるものである。この場合、ケーシング２１内の前段領域には左端面用払拭ブラシ８２（二つ）と右端面用払拭ブラシ８２（二つ）とが配置されるとともに、ケーシング２１内の後段領域には左端面用払拭ブラシ８２（二つ）と右端面用払拭ブラシ８２（二つ）とが配置される。払拭ブラシ８２はもちろん左端面用が一つ、右端面用が一つであってもよい。払拭ブラシ８２は、搬送用無端ベルト３２の搬送開始端と払拭ブラシ７２との間、および／または、払拭ブラシ７２と一次クリーニング用粘着ローラ６２との間において、搬送用無端ベルト３２で吸引搬送される薄形状物体１１の左端面１１Ｌや右端面１１Ｒと接触対応するように配置される。この払拭ブラシ８２が回転式のものであるとき、その芯軸には前述した伝動系を介して電動機４２の回転が伝達されるように構成される。したがって、払拭ブラシ８２は図７の矢印方向に回転するようになる。

図７の実施形態において、薄形状物体１１が搬送用無端ベルト３２を介して同図の矢印方向へ吸引搬送されるとき、薄形状物体１１の左端面１１Ｌや右端面１１Ｒがつぎのようにして端面クリーニングされる。すなわち、はじめは、ケーシング２１内の前段領域にある各払拭ブラシ８２で薄形状物体１１の左端面１１Ｌや右端面１１Ｒが端面クリーニングされ、その後は、ケーシング２１内の後段領域にある各払拭ブラシ８２で薄形状物体１１の左端面１１Ｌや右端面１１Ｒが端面クリーニングされる。

図７の実施形態における払拭ブラシ８２については、垂直な芯軸を軸心にして水平回転するものであってもよい。また、図６で説明したようなブラシも、図７の実施形態に適用することができる。

本発明に係るブース付きの薄形状物体用クリーニング装置について、図８・図９を参照して説明する。

図８・図９における薄形状物体用クリーニング装置（ケーシング２１で示すもの）については、これまでに説明したと同様の構成のものである。そのケーシング２１が図示のごとくクリーンブース９１で覆われている。

クリーンブース９１は底面が開放されたものからなり、そのクリーンブース９１の周壁が可撓性を有するシート状材料９２で形成されている。シート状材料９２は、また、たとえば流体遮断性の高い合成樹脂（一例：ビニール）、金属膜および／または布材と合成樹脂シートとを貼り合わせた流体遮断性の高いラミネートシートなどからなる。シート状材料９２として透明や半透明のものが採用されることもある。クリーンブース９１については、たとえば、正面が二枚重ねのシート状になっていて、その重なり部分をめくることでブース内外に出入りすることができるものである。クリーンブース９１については、生産ラインとの結合のために、開口部を切り抜き形成することができる。また、そのような開口部９３が形成されていて、不使用時にそこがファスナ開閉自在な局部シートで閉じられていることもある。

クリーンブース９１を支持するための支持部材２７は、周知のアングル材・パイプ材・角材など、適当な材料を梁や桁にして枠型天井骨格のように構成され、それがケーシング２１の上部に組み付けられるものである。そのために、たとえばケーシング２１の上面には筒状の支持スタンド２８が取り付けられ、そこに支持部材２７の支柱部２９が脱着自在に差し込み挿入されている。クリーンブース９１の周壁を形成しているシート状材料９２は、支持部材２７を覆うべく、これに被せられてケーシング２１の周囲にブース空間を形成している。このクリーンブース９１は支持部材２７で宙吊りされている。

クリーンブース９１には、また、清浄気体を送り込むための周知の送風手段９４が接続される。送風手段９４は外気を取り込んでそれをＨＥＰＡフィルタなどで浄化し、その浄化気体を送気配管９５でクリーンブース９１内に供給するというものである。そのためにクリーンブース９１の天井には、送風手段９４に通じる送気配管９５の先端部が脱着自在に接続されている。図示例の送風手段９４は室外機として床面に設置されている。これについては、送風手段９４がクリーンブース９１の天井部に装備されるものもある。

薄形状物体用クリーニング装置が稼働しているときに上記クリーンブース９１内には、送風手段９４から送気配管９５を通じて浄化気体が定常的に送り込まれて清浄状態が保持される。このおときのクリーンブース９１の内部はそのクリーンブース外部よりも高圧に保持される。したがって、クリーンブース９１の裾部からクリーンブース外に向けて気体が吹き出すこととなる。

本発明に係る薄形状物体用クリーニング装置は、薄形状物体の表裏面だけでなく薄形状物体の前後両端面をも安定・高品質・高能率にクリーニングすることのできる簡潔で安価なものである。本発明に係るブース付きの薄形状物体用クリーニング装置は、安定クリーニング・高品質クリーニング・高能率・簡潔構成・低コストなどを満足させることができるものである。したがって、産業上の利用可能性が高いといえる。

１１薄形状物体
１１Ｆ薄形状物体の前端面
１１Ｂ薄形状物体の後端面
１１Ｌ薄形状物体の左端面
１１Ｒ薄形状物体の右端面
２１ケーシング
２２入口
２３出口
２４キャスタ
２５給送コンベア
２６受取コンベア
２７支持部材
２８支持スタンド
２９支柱部
３１吸引式ベルト搬送機構
３２搬送用無端ベルト
３３吸気孔
３４ａコンベア軸
３４ｂコンベア軸
３４ｃコンベア軸
３５ローラ
４１駆動手段
４２電動機
４２ａ原動軸
４３チェーン伝動系
４４伝動用無端チェーン
４５ａスプロケットギア
４５ｂスプロケットギア
４５ｃスプロケットギア
４６揺動軸
５１吸気手段
５２ハウジング
５３吸引口
５４排気口
５６中空ヘッダ
５７中空ヘッダ
５８配管
５９配管
６１粘着式クリーニング機構
６２一次クリーニング用の粘着ローラ
６３二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ
６４内部ホルダ
６５バネ
６６外部ホルダ
６７シリンダ
７１端面クリーニング手段（前後両端面用）
７２払拭ブラシ
７３吸引箱
７４吸引配管
７５湿式供給管
８１端面クリーニング手段（左右両端面用）
８２払拭ブラシ
９１クリーンブース
９２シート状材料９２
９３開口部
９４送風手段
９５送気配管

１１薄形状物体
１１Ｆ薄形状物体の前端面
１１Ｂ薄形状物体の後端面
１１Ｌ薄形状物体の左端面
１１Ｒ薄形状物体の右端面
２１ケーシング
２２入口
２３出口
２４キャスタ
２５給送コンベア
２６受取コンベア
２７支持部材
２８支持スタンド
２９支柱部
３１吸引式ベルト搬送機構
３２搬送用無端ベルト
３３吸気孔
３４ａコンベア軸
３４ｂコンベア軸
３４ｃコンベア軸
３５ローラ
４１駆動手段
４２電動機
４２ｓ原動軸
４３チェーン伝動系
４４伝動用無端チェーン
４５ａスプロケットギア
４５ｂスプロケットギア
４５ｃスプロケットギア
４６揺動軸
５１吸気手段
５２ハウジング
５３吸引口
５４排気口
５６中空ヘッダ
５７中空ヘッダ
５８配管
５９配管
６１粘着式クリーニング機構
６２一次クリーニング用の粘着ローラ
６３二次クリーニング用の巻物状粘着ローラ
６４内部ホルダ
６５バネ
６６外部ホルダ
６７シリンダ
７１端面クリーニング手段（前後両端面用）
７２払拭ブラシ
７３吸引箱
７４吸引配管
７５湿式供給管
８１端面クリーニング手段（左右両端面用）
８２払拭ブラシ
９１クリーンブース
９２シート状材料９２
９３開口部
９４送風手段
９５送気配管

Claims

吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構とが組み合わされたものであること、および、
吸引式ベルト搬送機構が、多数の吸気孔をエンドレス回転方向沿いに有する搬送用無端ベルトと、搬送用無端ベルトをエンドレス回転させるための駆動手段と、搬送用無端ベルトの吸気孔を通じて薄形状物体を搬送用無端ベルトの搬送面に吸着にするための吸気手段とを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構が一次クリーニング用の粘着ローラと二次クリーニング用の巻物状粘着ローラとを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラについては、搬送用無端ベルトの搬送開始端と搬送終了端との間に配置されて、そのローラ周面が、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着されて搬送される薄形状物体の被清掃面と接触自在に対応し、かつ、粘着式クリーニング機構の二次クリーニング用粘着ローラについては、そのローラ周面が、一次クリーニング用粘着ローラの周面と接触自在に対応していること、および、
吸引式ベルト搬送機構における吸気手段の吸引部については、搬送用無端ベルトのエンドレス回転空間内に配置されて搬送用無端ベルト搬送面の裏側から搬送用無端ベルトの吸気孔に通じていること、および、
クリーニング対象物として吸引式ベルト搬送機構で搬送される薄形状物体については、その搬送方向の先頭部側を前端部とし、かつ、その搬送方向の後尾部側を後端部として、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着保持されながら当該搬送用無端ベルトのエンドレス回転方向へ搬送されるものであり、かつ、その薄形状物体の表面が一次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされること、および、
一次クリーニング用の粘着ローラについては二次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされ、かつ、二次クリーニング用の粘着ローラについては、その巻物状のものが巻き戻し削除されたときに新たなローラ周面が露呈されるものであること
を前提とする薄形状物体用クリーニング装置において、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間には、薄形状物体の前端面や後端面をクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段が、吸引式ベルト搬送機構の搬送面側と対面してその吸引式ベルト搬送機構の幅方向にわたり配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
吸引式ベルト搬送機構と粘着式クリーニング機構とが組み合わされたものであること、および、
吸引式ベルト搬送機構が、多数の吸気孔をエンドレス回転方向沿いに有する搬送用無端ベルトと、搬送用無端ベルトをエンドレス回転させるための駆動手段と、搬送用無端ベルトの吸気孔を通じて薄形状物体を搬送用無端ベルトの搬送面に吸着にするための吸気手段とを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構が一次クリーニング用の粘着ローラと二次クリーニング用の巻物状粘着ローラとを備えていること、および、
粘着式クリーニング機構の一次クリーニング用粘着ローラについては、搬送用無端ベルトの搬送開始端と搬送終了端との間に配置されて、そのローラ周面が、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着されて搬送される薄形状物体の被清掃面と接触自在に対応し、かつ、粘着式クリーニング機構の二次クリーニング用粘着ローラについては、そのローラ周面が、一次クリーニング用粘着ローラの周面と接触自在に対応していること、および、
吸引式ベルト搬送機構における吸気手段の吸引部については、搬送用無端ベルトのエンドレス回転空間内に配置されて搬送用無端ベルト搬送面の裏側から搬送用無端ベルトの吸気孔に通じていること、および、
クリーニング対象物として吸引式ベルト搬送機構で搬送される薄形状物体については、その搬送方向の先頭部側を前端部とし、かつ、その搬送方向の後尾部側を後端部として、搬送用無端ベルトの搬送面に吸着保持されながら当該搬送用無端ベルトのエンドレス回転方向へ搬送されるものであり、かつ、その薄形状物体の表面が一次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされること、および、
一次クリーニング用の粘着ローラについては二次クリーニング用の粘着ローラを介してクリーニングされ、かつ、二次クリーニング用の粘着ローラについては、その巻物状のものが巻き戻し削除されたときに新たなローラ周面が露呈されるものであること
を前提とする薄形状物体用クリーニング装置において、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間には、薄形状物体の前端面や後端面をクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段が、吸引式ベルト搬送機構の搬送面側と対面してその吸引式ベルト搬送機構の幅方向にわたり配置されていること、および、
吸引式ベルト搬送機構における搬送開始端と粘着式クリーニング機構におけるクリーニング開始端との間であって、その吸引式ベルト搬送機構の両側部には、薄形状物体の両側端面をクリーニングするための払拭式の端面クリーニング手段が配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
端面クリーニング手段が、回転払拭ブラシと停止払拭ブラシと揺動払拭ブラシとのうちから選択されたいずれかのブラシを備えている請求項１または２に記載された薄形状物体用クリーニング装置。
薄形状物体の表面をクリーニングするためのものとして請求項１〜３のいずれに記載された薄形状物体用クリーニング装置を備えていること、および、
薄形状物体の裏面をクリーニングするためのものとして請求項１〜３のいずれに記載された薄形状物体用クリーニング装置を備えていること、および、
薄形状物体の表面をクリーニングするための薄形状物体用クリーニング装置がその薄形状物体の表面と対応し、かつ、薄形状物体の裏面をクリーニングするための薄形状物体用クリーニング装置がその薄形状物体の裏面と対応するように、それぞれの薄形状物体用クリーニング装置が相対的な前後関係を保持して薄形状物体の進行方向沿いに配置されていること
を特徴とする薄形状物体用クリーニング装置。
請求項１〜４のいずれかに記載された薄形状物体用クリーニング装置とクリーンブースとを備えたものであること、および、
クリーンブースが底面を開放されたものからなるとともに、そのクリーンブースの周壁が可撓性を有するシート状材料で形成されていること、および、
薄形状物体用クリーニング装置の底面を除く周囲がクリーンブースで覆われており、かつ、薄形状物体用クリーニング装置を覆うクリーンブースの内部がそのクリーンブース外部よりも高圧に保持されるものであること、および、
薄形状物体用クリーニング装置を覆うクリーンブースが、薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材を介して支持されていること、および、
クリーンブースにおける周壁の下端部が薄形状物体用クリーニング装置の下端部よりも高位にあり、かつ、薄形状物体用クリーニング装置に設けられた支持部材で支持された当該クリーンブースが宙吊りされていること
を特徴とするブース付きの薄形状物体用クリーニング装置。