TWI762481B

TWI762481B - 清潔裝置及清潔方法

Info

Publication number: TWI762481B
Application number: TW106113342A
Authority: TW
Inventors: 三橋浩; 金子加津寛; 谷新太; 松本英樹
Original assignee: 日商阪東化學股份有限公司
Priority date: 2016-03-09
Filing date: 2017-04-21
Publication date: 2022-05-01
Also published as: KR102338895B1; TW201832835A; JP7316346B2; JP6383872B2; JP2022034005A; CN108698091A; JP7019527B2; KR20180120745A; JPWO2017155075A1; WO2017155075A1; JP2018164909A; CN108698091B

Abstract

本發明提供一種可自對象物的表面上高效率地去除比較大的異物及微細的異物兩者的清潔裝置及清潔方法。本發明是一種清潔裝置，其一面搬送板狀或膜狀的對象物一面去除表面的異物，其特徵在於：包括第1刷輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；清潔輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；一對對向輥，通過所述對象物而與所述第1刷輥及清潔輥相向，一同在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動；以及1個或多個電壓施加機構，對所述第1刷輥及所述清潔輥施加電壓；所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥施加與所述清潔輥同極性且絕對值高的電壓。

Description

清潔裝置及清潔方法

本發明是有關於一種清潔裝置及清潔方法。

近年來，開發有一種清潔裝置，所述清潔裝置用以去除附著於平板顯示器（Flat Panel Display，FPD）的玻璃基板、或樹脂基板、或搭載電子零件的印刷基板、或用以形成積層陶瓷電容器等的陶瓷生片（ceramic green sheet）、或樹脂薄板、或長條膜等對象物表面上的塵埃等異物。

作為此種清潔裝置，提出有如下的清潔裝置：利用帶電刷去除對象物表面的異物，並利用電場力（electric field force）且藉由清潔輥來搬送及回收該經去除的異物（參照日本專利特開2011-92846號公報）。

但是，於所述清潔裝置中，毫米尺寸的比較大的異物可藉由帶電刷來去除，但可能產生帶電刷不接觸對象物表面的部分，因此存在無法充分地去除該非接觸部分上所存在的異物（特別是微細的異物）之虞。另外，於所述清潔裝置中，如上所述不僅利用帶電刷自對象物表面上去除異物的效率難言充分，利用清潔輥的異物的搬送效率及回收效率亦難言充分。因此，所述清潔裝置於異物的去除效率等方面存在改善的餘地。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2011-92846號公報

[發明所欲解決之課題] 本發明是基於如上述情況而成者，其目的在於提供一種可自對象物的表面上高效率地去除比較大的異物及微細的異物兩者的清潔裝置及清潔方法。 [解決課題之手段]

為了解決所述課題而成的發明是一種清潔裝置，其一面搬送板狀或膜狀的對象物一面去除表面的異物，其特徵在於：包括第1刷輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；清潔輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；一對對向輥，通過所述對象物而與所述第1刷輥及清潔輥相向，一同在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動；以及1個或多個電壓施加機構，對所述第1刷輥及所述清潔輥施加電壓；所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥施加與所述清潔輥同極性且絕對值高的電壓。

該清潔裝置可藉由第1刷輥而自對象物上去除比較大的異物，並且可藉由清潔輥而自對象物上去除微細的異物。另外，藉由具備與第1刷輥及清潔輥對向的一對對向輥，可將第1刷輥及清潔輥有效地按壓於對象物上，因此可提高利用第1刷輥及清潔輥自對象物上去除異物的效率。進而，利用電壓施加機構對第1刷輥及清潔輥施加電壓，藉此可進一步提高利用第1刷輥及清潔輥自對象物上去除異物的效率。尤其，藉由對第1刷輥施加與清潔輥同極性且絕對值高的電壓，可使利用第1刷輥的比較大的異物的去除、及利用清潔輥的微細的異物的去除均變得有效率。如此，於該清潔裝置中，不僅可自對象物的表面上高效率地去除比較大的異物，亦可同時高效率地去除微細的異物。

較佳為所述第1刷輥在相對於所述對象物的搬送方向反轉的方向上旋轉驅動，所述清潔輥在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動。如此，藉由第1刷輥在相對於對象物的搬送方向反轉的方向上旋轉驅動，可有效地刮起並去除附著於對象物的表面上的比較大的異物。另外，藉由清潔輥在相對於對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動，可一面搬送對象物一面有效地去除附著於其表面上的微細的異物。

較佳為所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥施加-800 V以上、未滿-200 V的電壓，對所述清潔輥施加-200 V以上、未滿0 V的電壓。如此，藉由電壓施加機構對第1刷輥及清潔輥施加所述範圍的電壓，第1刷輥及清潔輥的電位分別變成適合於去除異物的電位，因此可更有效地去除比較大的異物及微細的異物。

較佳為所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥及所述清潔輥賦予絕對值為100 V以上、500 V以下的電位差。如此，藉由電壓施加機構以第1刷輥及清潔輥的電位差變成所述範圍的方式施加電壓，可使清潔輥及刷輥的電位分別變成適合於去除異物的電位，其結果，可更有效地去除比較大的異物及微細的異物。

較佳為所述一對對向輥的電位為規定的固定電位。如此，藉由將一對對向輥的電位設為規定的固定電位，可在第1刷輥與一個對向輥之間、及清潔輥與另一個對向輥之間分別有效地形成電場，因此可進一步提昇利用第1刷輥及清潔輥自對象物上去除異物的效率。

較佳為該清潔裝置具備回收藉由所述第1刷輥而自所述對象物上去除的異物的第1回收輥，且所述1個或多個電壓施加機構對所述第1回收輥施加與所述第1刷輥同極性且絕對值高的電壓。如此，藉由該清潔裝置具備第1回收輥，且對該第1回收輥施加與第1刷輥同極性且絕對值高的電壓，可利用第1回收輥回收藉由第1刷輥而自對象物上去除的異物。其結果，可維持第1刷輥的清潔性及電荷，並抑制異物的去除效率的下降。

較佳為所述1個或多個電壓施加機構對所述第1回收輥及所述第1刷輥賦予絕對值為200 V以上、600 V以下的電位差。如此，藉由對第1回收輥及第1刷輥賦予所述範圍的電位差，可利用第1回收輥有效地回收藉由第1刷輥而自對象物上去除的異物，因此可有效地維持第1刷輥的清潔性及電荷，並有效地抑制異物的去除效率下降。

較佳為所述第1回收輥的旋轉方向為相對於所述第1刷輥的旋轉方向反轉的方向，且相對於所述第1刷輥的旋轉速度，所述第1回收輥的旋轉速度為1.0倍以上、1.5倍以下。如此，藉由如所述般設定第1回收輥的旋轉條件，可提高利用第1回收輥自第1刷輥上回收異物的效率，因此可更有效地維持第1刷輥的清潔性及電荷，並更有效地抑制異物的去除效率的下降。

較佳為該清潔裝置進而具備回收藉由所述清潔輥而自所述對象物上去除的異物的第2刷輥，且所述第2刷輥在相對於所述清潔輥反轉的方向上旋轉驅動，作為其旋轉速度，相對於所述清潔輥的旋轉速度，較佳為1.0倍以上、1.5倍以下。如此，藉由該清潔裝置具備第2刷輥，可利用第2刷輥去除藉由清潔輥而自對象物上去除的異物。如此，藉由自清潔輥上去除異物，可維持清潔輥表面的清潔性及電荷，並抑制異物的去除效率下降。另外，藉由如所述般設定第2刷輥的旋轉條件，可進一步提高利用第2刷輥自清潔輥上回收異物的效率。

較佳為該清潔裝置進而具備回收藉由所述第2刷輥而自所述清潔輥上去除的異物的第2回收輥，且所述第2回收輥在相對於所述第2刷輥反轉的方向上旋轉驅動，作為其旋轉速度，相對於所述第2刷輥的旋轉速度，較佳為1.0倍以上、1.5倍以下。如此，藉由該清潔裝置具備第2回收輥，可利用第2回收輥回收藉由第2刷輥而自清潔輥上去除的異物。其結果，可維持第2刷輥，甚至清潔輥表面的清潔性及電荷，並抑制利用清潔輥去除異物的效率下降。另外，藉由如所述般設定第2回收輥的旋轉條件，可提高利用第2回收輥自第2刷輥上回收異物的效率，甚至可提高利用第2刷輥自清潔輥上回收異物的效率。

另外，為了解決所述課題而成的另一發明是一種清潔方法，其一面搬送板狀或膜狀的對象物一面去除表面的異物，其特徵在於：包括使在相對於搬送方向反轉的方向上，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動的刷輥抵接於被搬送的所述對象物上的步驟；以及使藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉旋轉驅動的清潔輥抵接於所述對象物上的步驟，且所述清潔方法對所述清潔輥施加電壓，並且對所述刷輥施加與朝所述清潔輥中的施加電壓同極性且絕對值高的電壓。

根據該清潔方法，可藉由刷輥而自對象物上去除比較大的異物，並且可藉由清潔輥而自對象物上去除微細的異物。另外，藉由對刷輥及清潔輥施加電壓，可進一步提高自所述對象物上去除異物的效率。尤其，藉由對刷輥施加與清潔輥同極性且絕對值高的電壓，可進一步提高自所述對象物上去除異物的效率。如此，於該清潔方法中，不僅可自對象物的表面上高效率地去除比較大的異物，亦可高效率地去除微細的異物。

較佳為於使刷輥抵接於所述對象物上的步驟中，將所述刷輥朝所述對象物中的陷入量設定成規定的值，且於使清潔輥抵接於所述對象物上的步驟中，以藉由規定的壓力來將所述清潔輥按壓於所述對象物上的方式設定。如此，藉由將刷輥的陷入量及清潔輥的壓力設為所述範圍，可更高效率地進行利用刷輥的比較大的異物的去除、及利用清潔輥的微細的異物的去除。

再者，於本說明書的各輥的旋轉方向的說明中，將在相對於對象物或其他輥的運動方向連帶旋轉的方向上旋轉的情況稱為「於正轉方向上旋轉」，反之稱為「於反轉方向上旋轉」。另外，所謂「大致垂直」，是指相對於垂直線的交叉角度為±10°以內，亦可為垂直。進而，所謂「大致平行」，是指兩條直線所形成的角的銳角超過0°、且為10°以內，或為平行。於本說明書中，對象物的「表側」及「背側」僅是為了方便的區分，未必對應於使用對象物時的表側及背側。 [發明的效果]

本發明的清潔裝置及清潔方法可自對象物的表面上高效率地去除比較大的異物及微細的異物兩者。

以下，一面適宜參照圖式一面對本發明的清潔裝置及清潔方法的一例進行詳細說明。關於本發明的具體的構成及細節，當然可於利用本發明的本質的範圍內適宜變更。

圖1及圖2中所示的該清潔裝置是一面於搬送方向D上搬送平板狀的對象物S，一面去除其表面（表側表面S1及背側表面S2）的異物者。該清潔裝置主要具備固定器1、外部搬送機構（上游側外部搬送機構2A及下游側外部搬送機構2B）、及清潔機構3。另外，該清潔裝置具備對後述的刷輥41、清潔輥51等進行電壓的施加等的電壓施加機構（於圖1及圖2中省略）。進而，該清潔裝置具備控制外部搬送機構、清潔機構3及電壓施加機構的控制機構。該控制機構可採用先前公知的各種控制機構，例如可包含個人電腦等。

[對象物] 對象物S於圖2中為平板狀的構件，但只要是板狀或膜狀的構件，則並無特別限制。具體而言，對象物的表面可如圖2中所示般平坦，但亦可存在凹陷。進而，於對象物中亦可存在孔等。

作為板狀的對象物，例如可列舉：FPD的玻璃基板、或樹脂基板、或電子零件搭載用印刷基板、或用以形成積層陶瓷電容器等的陶瓷生片、或樹脂薄板等。作為膜狀的對象物，例如可列舉樹脂膜等。

對象物的平均厚度並無特別限定，但作為其下限，較佳為30 μm，更佳為50 μm。若對象物的平均厚度未滿所述下限，則存在難以搬送對象物之虞。另一方面，作為對象物的平均厚度的上限，例如為5 mm。

[固定器] 固定器1是保持清潔機構3者。該固定器1是利用多根棒11及軸12將對向的一對板狀構件10之間連結而成者。

[外部搬送機構] 外部搬送機構是向對象物S賦予用於搬送的推進力者，其設置於清潔機構3的外部。該外部搬送機構具有配置於比清潔機構3更位於搬送方向上游側的上游側外部搬送機構2A、及配置於比清潔機構3更位於搬送方向下游側的下游側外部搬送機構2B。利用該外部搬送機構的對象物S的搬送速度只要是可藉由清潔機構3而自對象物S上去除異物的範圍，則並無特別限制。作為對象物S的搬送速度的下限，較佳為5 m/min，更佳為10 m/min。另一方面，作為對象物S的搬送速度的上限，較佳為30 m/min，更佳為20 m/min。若對象物S的搬送速度未滿所述下限，則存在異物去除所需的時間變長，異物的去除效率下降之虞。相反地，若對象物S的搬送速度超過所述上限，則存在無法藉由清潔機構3來充分地去除對象物S的表面的異物之虞。

＜上游側外部搬送機構＞上游側外部搬送機構2A是將對象物S搬入至清潔機構3中者，其具有多個帶搬送部20A。帶搬送部20A是於沿著搬送方向D分隔配置的一對輥21A之間捲掛環狀帶22A而成者。一對輥21A之中，一者為被賦予旋轉力的驅動輥，另一者為藉由驅動輥的旋轉而與環狀帶22A一同旋轉的從動輥。多個帶搬送部20A以固定間隔配置在與搬送方向D正交的水平方向（以下，亦稱為「搬送寬度方向」）上。

＜下游側外部搬送機構＞下游側外部搬送機構2B是自清潔機構3搬出對象物S者，其具有多個帶搬送部20B。將帶搬送部20B設為與上游側外部搬送機構2A的多個帶搬送部20A相同的構成。即，多個帶搬送部20B是於沿著搬送方向D分隔配置的包含驅動輥及從動輥的一對輥21B之間捲掛環狀帶22B而成者。多個帶搬送部20B亦以固定間隔配置於搬送寬度方向上。

[清潔機構] 清潔機構3是可進行對象物S的表側表面S1及背側表面S2的兩面的清潔的機構，其具有表側清潔機構3A及背側清潔機構3B。

＜表側清潔機構＞表側清潔機構3A是去除被搬送的對象物S的表側表面S1的異物的單元。該表側清潔機構3A具有表側刷輥單元4、表側清潔輥單元5及背側對向輥單元6。該清潔裝置將表側刷輥單元4及表側清潔輥單元5可裝卸地安裝於工廠等的地面的基座上所設置的固定器1上。固定器1可藉由螺桿等固著工具而固定於所述基座上，但較佳為不使用固著工具而以可移動的狀態載置。表側刷輥單元4及表側清潔輥單元5配設於被搬送的對象物S的上方（搬送路徑的上方），並可裝卸地保持於固定器1上。

[表側刷輥單元] 表側刷輥單元4是利用收容於框體40中的刷輥41去除對象物S的表側表面S1的異物的單元，適合於去除毫米尺寸的比較大的異物。於該表側刷輥單元4的框體40中，除刷輥41以外，收容有回收輥42、刀片43、異物回收部44及搬送輥45，整體經單元化。如此，藉由將表側刷輥單元4於固定器1上可裝卸地單元化，可自固定器1上容易地卸下表側刷輥單元4。其結果，於必須結合對象物S或異物的種類而更換刷輥41的情況下可連同單元一同更換，因此可簡便地進行異物的有效的去除。另外，藉由自固定器1上卸下表側刷輥單元4，可使與刷輥41對向的後述的對向金屬輥60露出而容易地進行更換或清洗，因此維護性優異。此外，關於收容於框體40中的刷輥41等，與組裝固定於固定器1上的情況相比，維護亦變得容易。

（框體）框體40是收容刷輥41等來進行單元化，並可於固定器1上裝卸者。該框體40包括：上游板及下游板，以與搬送面大致垂直的方式對向配設；一對側板，將上游板及下游板的側端部彼此連接；頂板，連接於上游板、下游板及一對側板的上端部；以及底板，連接於上游板、下游板及一對側板的下端部。於頂板中設置有在寬度方向上分隔的一對握持部40A。一對握持部40A是於表側刷輥單元4的裝卸時利用者。於底板中設置有開口部40B，後述的刷輥41的刷毛41C的前端部自該開口部40B突出。再者，作為構成框體40的材料，並無特別限制，例如可列舉不鏽鋼等。

（刷輥）刷輥41是抵接於被搬送的對象物S上並去除表側表面S1的異物、特別是比較大的異物（例如毫米尺寸的異物）的表側的第1刷輥。該刷輥41於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，藉由來自外部驅動源的動力，在相對於搬送方向D反轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動。再者，刷輥41較佳為於帶電狀態下，在相對於搬送方向D反轉的方向上旋轉驅動，但亦可於非帶電狀態下旋轉驅動。

如圖3所示，此種刷輥41具有圓柱狀的芯棒41A、及經由接著層41B而植入芯棒41A的外周面上的多個刷毛41C。

芯棒41A例如由金屬、碳材料、合成樹脂複合材料等具有導電性的材料形成。作為所述具有導電性的材料的體積電阻率的上限，例如為10⁵ Ωcm。藉由後述的電壓施加機構來對該芯棒41A施加電壓。另外，與後述的表側清潔輥單元5的清潔輥51相比，施加至芯棒41A中的電壓以變成同極性且絕對值變大的方式設定。

作為施加至芯棒41A中的電壓的下限，較佳為-800 V，更佳為-600 V。另一方面，作為所述電壓的上限，較佳為-200 V，更佳為-300 V。

作為刷毛41C，較佳為異物容易物理式地附著者，例如可列舉合成樹脂纖維製者。另外，作為刷毛41C，較佳為可帶有用以吸附附著於對象物S的表側表面S1上的異物的電荷者，例如可適宜地使用含有碳黑、碳纖維、金屬粉、金屬晶鬚等導電性材料的合成樹脂纖維製者。

刷毛41C的剖面形狀並無特別限定，例如可列舉：圓形狀、橢圓形狀、星型形狀等。另外，刷毛41C的外形亦無特別限定，例如可列舉：直線狀、波浪線形狀、將曲線與直線組合所構成的形狀等。再者，刷毛41C的表面積越大，越容易吸附異物。因此，作為刷毛41C，可使用可將表面積確保得大的剖面形狀為奇異形狀者，例如星型形狀者。

刷輥41以變成相對於對象物S的搬送方向D反轉的方向的方式旋轉驅動，藉此可於對象物S的表側表面S1上刮起附著的異物並使其附著於刷毛41C上。另外，對刷輥41施加電壓來使其帶電，藉此可使由電場力所產生的吸附力發揮作用，而有效地使對象物S的表側表面S1的異物吸附於刷毛41C上。尤其，藉由使刷輥41帶電，即便於對象物S上存在孔或表面的凹陷的情況下，亦可有效率地去除處於所述孔或凹陷中的異物。進而，藉由對芯棒41A施加所述範圍的電壓，可更有效地使比較大的異物自對象物S的表側表面S1吸附於刷輥41上。

進而，表側刷輥單元4的刷輥41藉由具有刷毛41C、在相對於搬送方向D反轉的方向上旋轉、及被施加與清潔輥51相比為同極性且絕對值大的電壓，可自對象物S的表側表面S1上去除毫米級的比較大的異物。

作為刷輥41朝對象物S中的平均壓接量的下限，較佳為0.3 mm，更佳為0.5 mm。另一方面，作為所述平均壓接量的上限，較佳為1.5 mm，更佳為1 mm。若所述平均壓接量未滿所述下限，則存在無法充分地刮起對象物S的表側表面S1的異物之虞。相反地，若所述平均壓接量超過所述上限，則刷毛41C與對象物S的表側表面S1之間的阻力變大，因此存在對象物S的搬送速度下降之虞，並且存在損傷對象物S的表側表面S1之虞。再者，「壓接量」是刷毛41朝對象物S中的陷入量，且是指自刷毛41C的平均長度減去芯棒41A的表面與對象物S的表側表面S1的最小距離所得的值。

作為刷輥41的圓周速度的下限，較佳為1 m/min，更佳為2 m/min。另一方面，作為刷輥41的圓周速度的上限，較佳為30 m/min，更佳為15 m/min。若刷輥41的圓周速度未滿所述下限，則存在無法充分地刮起對象物S的表側表面S1的異物之虞。相反地，若刷輥41的圓周速度超過所述上限，則刷毛41C與對象物S的表側表面S1之間的阻力變大，因此存在對象物S的搬送速度下降之虞，並且存在對象物S的表側表面S1受損之虞。另外，刷輥41的圓周速度B對於對象物S的搬送速度W的比率（B/W）的上限較佳為25%。若相對於對象物S的搬送速度W，刷輥41的圓周速度B過大，則存在難以藉由刷輥41來刮起比較大的異物之虞。

（回收輥）回收輥42是與刷輥41大致平行且與刷毛41C抵接，且回收附著於該刷毛41C上的異物的表側的第1回收輥。該回收輥42的直徑比刷輥41小，於刷輥41的上方，配置於比刷輥41更位於搬送方向上游側。藉由如此配置，可減少藉由後述的刀片43所刮取的異物再次附著於回收輥42等構件上等不良影響。

如圖4所示，回收輥42具備：由導電性材料形成的輥本體42A、及積層於其外周面上的耐蝕性層42B。作為輥本體42A的材質，只要是導電性材料，則並無特別限定，例如可列舉不鏽鋼、銅、鋁等金屬材料，或將導電性填料等導電材料調配至合成樹脂中而成的導電性樹脂材料等，該些之中，較佳為金屬材料。作為耐蝕性層42B，可設為藉由鍍鎳或鍍金等鍍敷處理所形成的金屬鍍敷層。但是，作為回收輥42，亦可使用整體由不鏽鋼等難以氧化的導電性材料形成，且不具有耐蝕性層42B者。

該回收輥42於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於刷輥41反轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上，藉由來自外部驅動源的動力來旋轉驅動。如此，藉由將回收輥42的旋轉方向設為相對於刷輥41反轉的方向，可提高異物的回收效率。作為相對於刷輥41的旋轉速度的回收輥42的旋轉速度的倍率的下限，較佳為1.0倍。另一方面，作為所述旋轉速度的倍率的上限，較佳為1.5倍。藉此，可有效地使異物自刷輥41移動至回收輥42上。但是，回收輥42的旋轉方向亦可為相對於刷輥41正轉的方向。

相對於朝刷輥41中的施加電壓，使朝回收輥42中的施加電壓變成同極性且絕對值變高。作為朝回收輥42中的施加電壓與朝刷輥41中的施加電壓的差的絕對值的下限，較佳為200 V，更佳為300 V。另一方面，作為所述差的絕對值的上限，較佳為600 V，更佳為500 V。另外，作為朝回收輥42中的施加電壓的下限，較佳為-1,500 V，更佳為-1,200 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-400 V，更佳為-600 V。藉由相對於朝刷輥41中的施加電壓，使朝回收輥42中的施加電壓變成同極性且絕對值變高，相對於刷輥41的刷毛41C的電位，回收輥42的外周面的電位為同極性且絕對值變高，因此可使附著於刷輥41上的異物吸附於回收輥42的外周面上。尤其，藉由將回收輥42與刷輥41的施加電壓的差設為所述範圍，進而將朝回收輥42中的施加電壓設為所述範圍，可使附著於刷輥41上的異物有效地吸附於回收輥42的外周面上。作為回收輥42的電阻的上限，較佳為10⁸ Ω。藉由將回收輥42的電阻設為10⁸ Ω以下，即便於對回收輥42進行表面處理的情況、或形成被膜的情況下，亦可藉由電壓的施加而使其有效地帶電。

（刀片）刀片43是自回收輥42上刮取並去除異物的第1刀片。該刀片43例如為具有彈性的矩形板狀構件。

該刀片43將前端部設為自由端，並且將基端部固定於刀片支撐部43a上。刀片43的作為自由端的前端部遍及回收輥42的軸方向而抵接於回收輥42的外周面上。刀片43較佳為以傾斜的狀態抵接於回收輥42的外周面上。於刀片43及回收輥42的接點處，作為刀片43與回收輥42的外周的假想切線的傾斜角的下限，較佳為5°，更佳為15°。另一方面，作為所述傾斜角的上限，較佳為30°，更佳為25°。於所述角度未滿所述下限的情況下，存在如下之虞：因壓接力的不足而無法藉由刀片43來充分地刮落異物，並產生擦過刀片43的異物再次附著於對象物S上的再轉印現象。另一方面，於所述傾斜角超過所述上限的情況下，存在刀片43被捲入至回收輥42的旋轉中而捲縮之虞。因此，以所述傾斜角變成所述範圍的方式使刀片43抵接於回收輥42上，藉此可有效地自回收輥42上刮落異物。另外，刀片43配置於比回收輥42更位於搬送方向上游側，即配置於搬送輥45的上方。藉此，可有效地活用搬送輥45的上方的空間，並可使表側刷輥單元4小型化。另外，可採用朝搬送方向上游側抽出後述的異物回收部44的構成，並提昇便利性。

作為刀片43的材質，並無特別限定，但較佳為具有彈性者，更佳為合成樹脂。具體而言，為了賦予適度的彈性，較佳為由例如熱固性聚胺基甲酸酯等合成樹脂形成。另外，為了減輕與所抵接的回收輥42的摩擦，刀片43之中，至少前端部可藉由氟樹脂等含有氟的化合物來進行氟塗佈。作為氟塗佈的平均厚度的下限，較佳為5 μm。另一方面，作為所述平均厚度的上限，較佳為15 μm。若所述平均厚度未滿所述下限，則存在摩擦減輕效果無法充分地顯現，刀片43容易被捲入至回收輥42的旋轉中之虞。另一方面，於所述平均厚度超過所述上限的情況下，存在產生氟塗佈的破損之虞。再者，刀片43的形狀並不限定於圖2的矩形板狀，亦可為自基端部至前端部為止彎折或彎曲的形狀。

（異物回收部）異物回收部44是回收及收容藉由刀片43而自回收輥42上刮落的異物的第1異物回收部。該異物回收部44配設於刀片43的前端部的下方、且比刷輥41更位於搬送方向上游側。而且，異物回收部44嵌入至框體40的上游板的開口部中，並可自該開口部朝搬送方向上游側抽出。於異物回收部44的上游側設置有握持部44A，利用該握持部44A而使異物回收部44的進出容易化。另外，異物回收部44因可朝搬送方向上游側抽出，故可維持將表側刷輥單元4固定於固定器1上的狀態而抽出來回收異物，便利性優異。

（搬送輥）搬送輥45是與後述的背側對向輥單元6的輔助輥62一同引導搬入至清潔機構3中的對象物S的移動者。另外，為了以適當的力使對象物S進入至相對於搬送方向D反轉的刷輥41的下方，搬送輥45及輔助輥62亦具有用以向對象物S賦予推進力的功能。該搬送輥45與後述的背側對向輥單元6的輔助輥62對向配置。搬送輥45在相對於搬送方向D正轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上旋轉。此處，當藉由輔助輥62與搬送輥45來夾入對象物S的力過強時，存在異物被擠壓於對象物S上而難以去除之虞、或損傷對象物S之虞。考慮到該些情況，搬送輥45以藉由0.49 N左右的力來按壓輔助輥62的方式配設。但是，所述按壓力可考慮對象物S的材質或厚度等而適宜調整。另外，當對象物S的硬度比較高，可僅藉由輔助輥62來使其進入至刷輥41的下方時，亦可自該清潔裝置中省略搬送輥45。

如圖5及圖6所示，搬送輥45具備芯軸45A、及多個樹脂部45B，所述樹脂部45B是積層於該芯軸45A的外周上的環狀構件，且沿著芯軸45A的軸方向分隔配置。如圖5及圖6所示，樹脂部45B於外周面上具有凹凸。如此，藉由將於外周面上具有凹凸的多個樹脂部45B分隔配置，可減小搬送輥45與對象物S的表側表面S1的接觸面積。其結果，當將對象物S搬入至清潔機構3中時，可抑制對象物S在搬送輥45與輔助輥62之間堵塞。

芯軸45A例如由不鏽鋼、銅、鋁等金屬形成。樹脂部45B例如由聚胺基甲酸酯等形成。作為該聚胺基甲酸酯，例如可列舉：丙烯酸混合胺基甲酸酯、氟混合胺基甲酸酯等。此處，「丙烯酸混合胺基甲酸酯」是將聚酯聚胺基甲酸酯或聚醚聚胺基甲酸酯作為主成分的樹脂，且是指（1）熱塑性聚胺基甲酸酯及矽・丙烯酸共聚樹脂的混合物，（2）包含丙烯酸樹脂（例如包含甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物的於主鏈上接枝胺基乙基而成的接枝化合物）及熱塑性聚胺基甲酸酯的混合物，或（3）包含丙烯酸樹脂、聚胺基甲酸酯及氟系表面塗佈劑的混合物。「氟混合胺基甲酸酯」是將聚胺基甲酸酯作為主成分的樹脂，且是指將熱塑性聚胺基甲酸酯與胺基甲酸酯・氟共聚物混合而成者。所謂「主成分」，是指含量最多的成分，例如為含有50質量%以上的成分。

（高度調節機構）表側刷輥單元4較佳為以可藉由高度調節機構來調節高度的方式構成。如此，可藉由高度調節機構來調節表側刷輥單元4的高度，藉此可調節刷輥41對於對象物S的壓接量，且利用刷輥41更有效率地進行比較大的異物的去除。

圖7～圖9表示經由表側刷輥單元4的高度調節機構將表側刷輥單元4配設於固定器1的板狀構件10上的狀態的一例（固定器1、高度調節機構及表側刷輥單元4的框體40的頂板103以外的構件省略圖示）。圖7～圖9的高度調節機構主要具備：大致板狀的固定構件101，固定於固定器1的板狀構件10上；滑動構件102，載置於該固定構件101的上表面上，可沿著搬送方向D進行水平移動、及上下移動；以及蓋104，包覆固定構件101。表側刷輥單元4的頂板103藉由滑動構件102來支撐長邊方向端部，並伴隨滑動構件102而上下移動。於圖7～圖9的高度調節機構中，可進而設置固定於板狀構件10上，並可測定滑動構件102等的垂直位置的量規，或用以固定滑動構件102的水平位置的調整工具。圖7表示以表側刷輥單元4的高度變成最小的方式調節的狀態。圖8及圖9表示以表側刷輥單元4的高度變成最大的方式調節的狀態。

於固定構件101的上表面的一部分中，形成有自搬送方向D的大致中央附近至下游側（圖7及圖8中為右側）為止高度逐漸增加的斜面。另一方面，滑動構件102的上表面變成大致水平面，但於下表面的一部分中形成有自搬送方向D的大致中央附近至下游側為止高度逐漸增加的斜面。固定構件101的上表面的斜面與滑動構件102的下表面的斜面具有相同的梯度並對接。因此，藉由使滑動構件102沿著搬送方向D水平移動，可一面將滑動構件102的上表面維持成大致水平面狀態一面使高度起伏。藉此，可變更由滑動構件102支撐的頂板103的高度（頂板103的上表面與板狀構件10的上端的距離L1及距離L2），並藉由該頂板103的高度變更來將表側刷輥單元4調節成所期望的高度。

於圖7～圖9的高度調節機構中，可將滑動構件102的比較大的水平移動無級地（steplessly）轉換成頂板103的比較微細的上下移動，因此可對應於對象物S的種類或厚度而無級地微調節刷輥單元4的高度。另外，圖7～圖9的高度調節機構因可配設於固定器1的上端附近，故可有效活用固定器1的空間，並且高度調節時的作業性優異。

但是，刷輥單元4的高度調節機構的方式或結構等並不受圖7～圖9限制。作為其他高度調節的方法，例如可列舉：將規定的高度的間隔物配置於固定器1中的刷輥單元4的固定部上的方法，或於表側刷輥單元4中設置突出部，並且沿著上下方向將與該突出部嵌合的軌道狀構件配置於固定器1上，而可無級地調節表側刷輥單元4的安裝高度的方法等。

[表側清潔輥單元] 表側清潔輥單元5是藉由收容於框體50中的清潔輥51來去除對象物S的表側表面S1的異物的單元。於該表側清潔輥單元5的框體50中，除清潔輥51以外，主要收容有刷輥52、回收輥53、刀片54及異物回收部55，整體經單元化。表側清潔輥單元5適合於比毫米尺寸小的微細的異物的去除，其於比表側刷輥單元4更鄰接於搬送方向下游側的位置上，可裝卸地配設於固定器1上。此處，清潔輥51為了有效地使微細的異物於其表面上移動，以與後述的對向樹脂輥61一同自對象物S的兩面施加壓力的方式設定。因此，假如於將表側清潔輥單元5配置在表側刷輥單元4的上游側的情況下，存在清潔輥51將比較大的異物擠壓並壓接於對象物S上，即便藉由刷輥41亦無法去除光所述異物之虞。因此，表側清潔輥單元5較佳為配置於表側刷輥單元4的下游側。

如此，藉由將表側清潔輥單元5於固定器1上可裝卸地單元化，可自固定器1上容易地卸下表側清潔輥單元5。其結果，於必須對應於對象物S或異物的種類而變更清潔輥51的情況下可連同單元一同更換，因此可簡便地進行異物的有效的去除。另外，藉由自固定器1上卸下表側清潔輥單元5，可使與清潔輥51對向的後述的對向樹脂輥61等露出而容易地進行更換或清洗，因此維護性優異。此外，關於收容於框體50中的清潔輥51等，藉由收容於框體50中來進行單元化，與組裝固定於裝置上的情況相比，維護亦變得容易。

（框體）框體50是收容清潔輥51等來進行單元化，並可於固定器1上裝卸者。與表側刷輥單元4同樣地，該框體50具有上游板、下游板、一對側板、頂板及底板。於頂板中設置有在搬送寬度方向上分隔的一對握持部50A。一對握持部50A是於表側清潔輥單元5的裝卸時利用者。於底板中設置有開口部50B，清潔輥51的一部分自該開口部50B突出。下游板自上方至下方為止彎折。再者，構成框體50的材料並無特別限制，例如可適宜地使用不鏽鋼等金屬。

（清潔輥）清潔輥51是去除對象物S的表側表面S1的異物、特別是比較微細的異物（例如比毫米尺寸小的異物）者，其於外周面藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於搬送方向D正轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動。如圖10所示，該清潔輥51是具有芯棒51A、形成於該芯棒51A的外周面上的內層部51B、及包覆該內層部51B的外周面的外層部51C的彈性輥。

芯棒51A藉由導電性材料而形成為圓柱狀。作為用於芯棒51A的導電性材料，例如可列舉金屬材料等，具體而言，與表側刷輥單元4的回收輥42的輥本體42A同樣地，可列舉不鏽鋼、銅、鋁等。

內層部51B是確保由清潔輥51及後述的對向樹脂輥61所產生的對於對象物S的固定的按壓力或夾持寬度者。即，內層部51B是確保對於對象物S的所期望的密接力或接觸寬度，並有助於自其表側表面S1上有效率地去除比較微細的異物者。作為形成該內層部51B的材料，較佳為具有彈性及導電性的樹脂材料，更佳為聚胺基甲酸酯、矽酮樹脂、天然橡膠、合成橡膠等含有樹脂成分與碳的樹脂材料。作為該聚胺基甲酸酯，可適宜地使用與所述搬送輥45的樹脂部45B的聚胺基甲酸酯相同者。作為形成內層部51B的材料，進而更佳為含有聚酯系聚胺基甲酸酯及碳黑的導電性彈性體。藉由該些材料，可充分地確保清潔輥51的彈性，避免因清潔輥51而將異物過度地擠壓於對象物S上，並抑制異物的去除效率的下降。

外層部51C是發揮如下的作用者：一面確保與對象物S的密接性，或不阻礙適度的表面電位的賦予，而確保清潔輥51的防污性或耐磨耗性，一面避免由濕氣等所引起的不良影響。作為該外層部51C的材料，只要是為了藉由電場力來吸附附著於對象物S的表側表面S1上的異物而可帶電者即可，例如可列舉丙烯酸混合聚胺基甲酸酯或氟混合聚胺基甲酸酯等聚胺基甲酸酯、或矽酮樹脂、天然橡膠、合成橡膠等，該些之中，較佳為聚胺基甲酸酯。如此，由聚胺基甲酸酯來形成外層部51C，藉此與由矽酮樹脂或丁基橡膠等來形成的情況相比，耐磨耗性提昇，另外，可減少由塑化劑或低分子量化合物的添加所引起的清潔輥51的污染。另外，外層部51C較佳為硬度比內層部51B高，具體而言，較佳為JIS-A硬度為50°以上。藉由外層部51C的JIS-A硬度為50°以上，可充分地確保清潔輥51的耐磨耗性。

藉由使用丙烯酸混合聚胺基甲酸酯作為外層部51C的材質，容易自對象物S的表側表面S1上去除帶負電的異物。另一方面，藉由使用氟混合聚胺基甲酸酯作為外層部51C的材質，容易使清潔輥51帶負電，且容易自對象物S上去除帶正電的異物。

再者，若外層部51C的黏著力過強，則當對象物S的厚度薄時，存在清潔輥51捲入對象物S之虞。因此，為了防止對象物S的捲入，較佳為於清潔輥51的表面（外層部51C）上形成有微小突起。作為形成該微小突起的具體的方法，較佳為於用於外層部51C的形成的熱塑性聚胺基甲酸酯等樹脂材料中調配成為所述微小突起的原料的粒子的方法。作為該粒子，可為定形粒子，亦可為不定形粒子，但就使微小突起的突出形狀均勻化的觀點而言，較佳為定形的球狀粒子。作為該球狀粒子的平均粒徑的下限，較佳為2 μm，更佳為2.5 μm。另一方面，作為所述平均粒徑的上限，較佳為5 μm，更佳為4.5 μm。另外，於該球狀粒子中，作為藉由與平均粒徑相關的標準偏差（σ）除以平均粒徑所求出的變動係數（CV（Coefficient of Variation）值）的下限，較佳為3.0%，更佳為3.5%。另一方面，作為所述變動係數的上限，較佳為5.0%，更佳為4.5%。此處，所謂「平均粒徑」，是指藉由雷射繞射・散射法所求出的體積平均粒徑（Mv）。

所述球狀粒子較佳為比熱塑性聚胺基甲酸酯更硬質。但是，所述球狀粒子若為如玻璃珠或陶瓷珠般過度地硬質者，則存在損傷對象物S之虞，因此較佳為樹脂製者。作為形成該球狀粒子的硬質的樹脂，例如可列舉三聚氰胺樹脂或丙烯酸樹脂等，其中，較佳為三聚氰胺樹脂。

作為外層部51C的平均厚度的下限，較佳為2 μm，更佳為5 μm。另一方面，作為外層部51C的平均厚度的上限，較佳為500 μm，更佳為300 μm。若外層部51C的平均厚度未滿所述下限，則存在無法使清潔輥51的表面充分地帶電，且無法充分地獲得異物的吸附效果之虞。相反地，若外層部51C的平均厚度超過所述上限，則存在無法獲得用以吸附異物的良好的帶電特性之虞。

清潔輥51藉由所述電壓施加機構而帶電，並被賦予表面電位（表面電荷）。即，清潔輥51於使表面帶電的狀態下抵接於對象物S的表側表面S1上，藉由電場力來吸附並去除附著於對象物S的表側表面S1上的比較微細的異物。如此，藉由使清潔輥51帶電，即便於對象物S上存在孔或表面的凹陷的情況下，亦可有效率地去除處於所述孔或凹陷中的異物。

相對於朝表側刷輥單元4的刷輥41中的施加電壓，使朝清潔輥51中的施加電壓變成同極性且絕對值變低。作為朝清潔輥51中的施加電壓的下限，例如為-400 V，較佳為-200 V。另一方面，所述施加電壓例如未滿0 V，較佳為-50 V以下。如此，藉由相對於朝表側刷輥單元4的刷輥41中的施加電壓，使朝清潔輥51中的施加電壓變成同極性且絕對值變低，可自對象物S的表側表面S1上去除比較微細的異物。尤其，藉由將朝清潔輥51中的施加電壓設為所述範圍，可自對象物S的表側表面S1上有效率地去除比較微細的異物。再者，作為清潔輥51的電阻的上限，較佳為10⁸ Ω。藉由清潔輥51的電阻為10⁸ Ω以下，當施加電壓時可使其有效地帶電。

再者，為了提高微細的異物的回收效率，清潔輥51較佳為設定成在與對向樹脂輥61之間向對象物S施加適當的壓力的高度。藉由清潔輥51及對向樹脂輥61而施加至對象物S中的壓力例如可設為線壓：2.4 kg/250 mm。此處，250 mm是本實施形態中的清潔輥51的外層部51C的軸方向長度。另外，清潔輥51亦兼具與對向樹脂輥61一同向對象物S賦予適當的推進力的功能。藉此，容易使對象物S進入至在相對於搬送方向D反轉的方向上旋轉的後述的背側刷輥單元7的刷輥71的下方。

（刷輥）刷輥52是回收清潔輥51自對象物S上去除的異物的表側的第2刷輥，其於清潔輥51的正上方，以與清潔輥51大致平行且抵接的方式配設。該刷輥52於帶電狀態下，在相對於清潔輥51反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上，藉由來自外部驅動源的動力來旋轉驅動。此種刷輥52具有圓柱狀的芯棒52A、及經由接著層52B而植入該芯棒52A的外周面上的多個刷毛52C（參照圖3），其詳細情況與表側刷輥單元4的刷輥41的芯棒41A及刷毛41C相同，因此省略重複說明。另外，相對於朝清潔輥51中的施加電壓，使朝刷輥52中的施加電壓（施加至芯棒52A中的電壓）變成同極性且絕對值變高。作為具體的朝刷輥52中的施加電壓的下限，與表側刷輥單元4的刷輥41同樣地，較佳為-800 V，更佳為-600 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-200 V，更佳為-300 V。

（回收輥）回收輥53是回收刷輥52自清潔輥51上回收的異物的表側的第2回收輥，其於刷輥52的上方，以與刷輥52大致平行且與刷毛52C抵接的方式配設。該回收輥53於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於刷輥52反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上，藉由來自外部驅動源的動力來旋轉驅動。回收輥53的詳細情況可設為與所述表側刷輥單元4的回收輥42相同，因此省略重複說明。

相對於朝刷輥52中的施加電壓，使朝回收輥53中的施加電壓變成同極性且絕對值變高。作為朝回收輥53中的施加電壓與朝刷輥52中的施加電壓的差的絕對值的下限，較佳為200 V，更佳為300 V。另一方面，作為所述差的絕對值的上限，較佳為600 V，更佳為500 V。另外，作為朝回收輥53中的施加電壓的下限，較佳為-1,500 V，更佳為-1,200 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-400 V，更佳為-600 V。藉由相對於朝刷輥52中的施加電壓，使朝回收輥53中的施加電壓變成同極性且絕對值變高，與刷輥52的刷毛52C的電位相比，回收輥53的外周面的電位為同極性且絕對值變高，因此可使附著於刷輥52上的異物吸附於回收輥53的外周面上。尤其，藉由將回收輥53與刷輥52的施加電壓的差設為所述範圍，進而將朝回收輥53中的施加電壓設為所述範圍，可使附著於刷輥52上的異物有效地吸附於回收輥53的外周面上。

回收輥53配置於比刷輥52更位於搬送方向下游側。藉此，即便回收輥53的直徑比刷輥52小，亦可藉由後述的刀片54來將異物刮落至搬送方向下游側，並可抑制異物再次吸附於刷輥52上。

回收輥53的旋轉方向可為相對於刷輥52正轉的方向及反轉的方向的任一方向，較佳為設為容易藉由後述的刀片54而自外周面上回收異物的旋轉方向。於本實施形態中，如圖2所示，將回收輥53的旋轉方向設為相對於刷輥52反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向），可提高利用刀片54的異物的回收效率。作為相對於刷輥52的旋轉速度的回收輥53的旋轉速度的倍率的下限，較佳為1.0倍。另一方面，作為所述旋轉速度的倍率的上限，較佳為1.5倍。藉此，可有效地使異物自刷輥52移動至回收輥53上。

（刀片）刀片54是自回收輥53上刮取異物的第2刀片。該刀片54及支撐其的刀片支撐部54a的詳細情況與所述表側刷輥單元4的刀片43及刀片支撐部43a相同。

（異物回收部）異物回收部55是回收及收容藉由刀片54而自回收輥53上刮落的異物者。該異物回收部55配設於刀片54的前端部的下方、且比刷輥52更位於搬送方向下游側。而且，異物回收部55嵌入至框體50的下游板的開口部中，並可經由該開口部而朝搬送方向下游側抽出。於異物回收部55的下游側設置有握持部55A，利用該握持部55A而使異物回收部55的進出容易化。另外，異物回收部55因可朝搬送方向下游側抽出，故就可維持將清潔輥單元5固定於固定器1上的狀態而抽出來回收異物這一點而言，便利性優異。

（高度調節機構）表側清潔輥單元5較佳為以可藉由高度調節機構來調節高度的方式構成。如此，藉由高度調節機構來調節表側清潔輥單元5的高度，藉此可調節清潔輥51對於對象物S的按壓力（夾持寬度），其結果，可高效率地進行微細的異物的去除。

作為表側清潔輥單元5的高度調節機構的具體例，例如可使用與作為表側刷輥單元4的高度調節機構所例示者相同的機構等。

如上所述，表側刷輥單元4及表側清潔輥單元5均可裝卸，因此可於各單元中獨立地設置高度調節機構。因此，即便於表側刷輥單元4的刷輥41對於對象物S的最適宜的壓接條件與表側清潔輥單元5的清潔輥51對於對象物S的最適宜的壓接條件不同的情況下，該清潔裝置亦可使各自的壓接狀態最適宜化。

[背側對向輥單元] 背側對向輥單元6是與表側刷輥單元4的刷輥41及表側清潔輥單元5的清潔輥51一同規定對象物S的搬送路徑者，其配設於對象物S的背側（搬送路徑的下方）。該背側對向輥單元6主要具備：包含作為背側的第1對向輥的對向金屬輥60與作為背側的第2對向輥的對向樹脂輥61的一對對向輥、及輔助輥62。就維護性的觀點而言，背側對向輥單元6較佳為可裝卸地安裝於固定器1上。

此處，為了準確地控制刷輥41的刷毛41C對於對象物S的壓接量，有利的是於對象物S的下表面保持對象物S的第1對向輥的硬度高。因此，藉由對向金屬輥60為比較硬質的金屬輥，可使表側刷輥單元4的刷輥41的刷毛41C適當地抵接於對象物S上，並自其表側表面S1上有效地去除比較大的異物。另一方面，清潔輥51為了使微細的異物高效率地吸附於其表面上，必須在與第2對向輥之間向對象物S施加適當的壓力，但若過度施加壓力，則將異物壓接於對象物S上，藉此存在難以回收之虞。因此，作為第2對向輥，例如如金屬般的硬度高的輥並不適合，較佳為具有與清潔輥51大致同等的硬度的樹脂輥。因此，藉由對向樹脂輥61為具有彈性的樹脂輥（彈性輥），可在與表側清潔輥單元5的清潔輥51之間向對象物S施加適當的壓力來提高密接性，並且確保適宜的夾持寬度，因此可藉由清潔輥51而自對象物S的表側表面S1上有效率地去除微細的異物。

（對向金屬輥）對向金屬輥60是經由對象物S而與表側刷輥單元4的刷輥41對向，且以抵接於對象物S上的方式配設於刷輥41的正下方的第1背側對向輥。該對向金屬輥60在相對於對象物S的搬送方向D正轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上旋轉驅動。即，對向金屬輥60在相對於表側刷輥單元4的刷輥41反轉的方向上旋轉驅動。對向金屬輥60的詳細情況與表側刷輥單元4的回收輥42相同。但是，對向金屬輥60藉由所述電壓施加機構而與地面電性連接，藉此，當刷輥41帶電時可產生適合於去除異物的電場。

為了防止損傷對象物S的背側表面S2，亦可於對向金屬輥60的表面上塗佈胺基甲酸酯樹脂等。當對對向金屬輥60進行過表面處理時或形成有被膜時，對向金屬輥60的電阻較佳為10⁸ Ω以下。藉由對向金屬輥42的電阻為10⁸ Ω以下，容易使對向金屬輥42與地面電性連接。

如上所述，刷輥41必須準確地控制刷朝對象物S中的陷入量。因此，與刷輥41對向的第1背側對向輥必須穩定地支撐對象物S。因此，作為第1背側對向輥，較佳為硬度高者，具體而言，如本實施形態般較佳為對向金屬輥60。但是，第1背側對向輥未必需要是金屬輥，亦可於可控制刷朝對象物S中的陷入量的範圍內使用硬度高的導電性樹脂輥等。

（對向樹脂輥）對向樹脂輥61經由對象物S而與表側清潔輥單元5的清潔輥51對向，並以抵接於對象物S上的方式配設於清潔輥51的正下方。該對向樹脂輥61在相對於對象物S的搬送方向D正轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上旋轉驅動。即，對向樹脂輥61在相對於清潔輥51正轉的方向上旋轉驅動。對向樹脂輥61的詳細情況與表側清潔輥單元5的清潔輥51大致相同。但是，於形成對向樹脂輥61的外層部時，作為用於形成微小突起的成為微小突起的原料的粒子，較佳為調配氧化鈦、鈦酸鋇等。藉由使用氧化鈦、鈦酸鋇等作為所述粒子，微小突起的密度變大，而可適當地搬送對象物S。另外，對向樹脂輥61藉由所述電壓施加機構而與地面電性連接，可在與帶電的清潔輥51之間產生適合於去除異物的電場。

如上所述，為了提高微細的異物的回收效率，清潔輥51以在與對向樹脂輥61之間向對象物S施加適當的壓力的方式設定。該壓力若過弱，則存在無法藉由清潔輥51與對向樹脂輥61而充分賦予用以使對象物S突入至背側刷單元7的刷輥71中的推進力之虞，若過強，則存在異物被擠壓並固著於對象物S上，而無法回收之虞。因此，為了調整該壓力，亦可設為使用彈性體等而可朝清潔輥51的方向按壓對向樹脂輥61的結構。

（輔助輥）輔助輥62是與表側刷輥單元4的搬送輥45一同引導對象物S的移動者，所述對象物S藉由上游側外部搬送機構2A而搬入至清潔機構3中。該輔助輥62的層結構等可設為與對向樹脂輥61相同。

＜背側清潔機構＞背側清潔機構3B是去除對象物S的背側表面S2的異物者。該背側清潔機構3B大概設為使表側清潔機構3A的上下翻轉的構成，具有背側刷輥單元7、背側清潔輥單元8及表側對向輥單元9。

[背側刷輥單元] 背側刷輥單元7是藉由刷輥71來去除對象物S的背側表面S2的異物者，其於對象物S的背側（搬送路徑的下方），比表側清潔機構3A的背側對向輥單元6更鄰接於搬送方向下游側來配設。該背側刷輥單元7主要具備刷輥71、回收輥72及刀片73，其基本構成與所述表側清潔機構3A的表側刷輥單元4相同。但是，與表側刷輥單元4相比，背側刷輥單元7於未設置相當於搬送輥45及異物回收部44的構件這一點等上不同。再者，於背側刷輥單元7中未設置相當於搬送輥45的構件的理由在於：雖然刷輥71在相對於搬送方向D反轉的方向上旋轉驅動，但為了朝刷輥71的下方進入，配置於比刷輥71更位於搬送方向上游的清潔輥51與對向樹脂輥61向對象物S賦予了適當的推進力。另外，背側刷輥單元7雖然未設置相當於異物回收部44的構件，但藉由其底部開口，可將異物朝單元外排出。自背側刷輥單元7中排出的異物與自後述的背側清潔輥單元8中排出的異物一同，由設置於固定器1的最下部的異物回收部13回收。就維護性的觀點而言，背側刷輥單元7較佳為可裝卸地安裝於固定器1上。

（刷輥）刷輥71是背側的第1刷輥，以藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態抵接於對象物S的背側表面S2上，並在相對於對象物S的搬送方向D反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上旋轉驅動，藉此去除對象物S的背側表面S2上的、毫米尺寸的比較大的異物。此種刷輥71具有圓柱狀的芯棒71A、及經由接著層71B而植入該芯棒71A的外周面上的多個刷毛71C（參照圖3），其詳細情況與表側刷輥單元4的刷輥41的芯棒41A及刷毛41C相同，因此省略重複說明。另外，相對於朝後述的背側清潔輥單元8的清潔輥80中的施加電壓，使朝刷輥71中的施加電壓（施加至芯棒71A中的電壓）變成同極性且絕對值變高。作為具體的朝刷輥71中的施加電壓的下限，與表側刷輥單元4的刷輥41同樣地，較佳為-800 V，更佳為-600 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-200 V，更佳為-300 V。

（回收輥）回收輥72是回收刷輥71自對象物S的背側表面S2上去除的異物的背側的第1回收輥，其於比刷輥71更下方，與刷輥71大致平行且與刷毛71C抵接來配設。該回收輥72於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於刷輥71反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上，藉由來自外部驅動源的動力來旋轉驅動。回收輥72的詳細情況可設為與所述表側刷輥單元4的回收輥42相同，因此省略重複說明。

相對於朝刷輥71中的施加電壓，使朝回收輥72中的施加電壓變成同極性且絕對值變高。作為朝回收輥72中的施加電壓與朝刷輥71中的施加電壓的差的絕對值的下限，較佳為200 V，更佳為300 V。另一方面，作為所述差的絕對值的上限，較佳為600 V，更佳為500 V。另外，作為朝回收輥72中的施加電壓的下限，較佳為-1,500 V，更佳為-1,200 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-400 V，更佳為-600 V。藉由相對於朝刷輥71中的施加電壓，使朝回收輥72中的施加電壓變成同極性且絕對值變高，相對於刷輥71的刷毛71C的電位，回收輥72的外周面的電位為同極性且絕對值變高，因此可使附著於刷輥71上的異物吸附於回收輥72的外周面上。尤其，藉由將回收輥72與刷輥71的施加電壓的差設為所述範圍，進而將朝回收輥72中的施加電壓設為所述範圍，可使附著於刷輥71上的異物有效地吸附於回收輥72的外周面上。

回收輥72的旋轉方向可為相對於刷輥71正轉的方向及反轉的方向的任一方向，較佳為於容易藉由後述的刀片73來回收外周面的異物的旋轉方向上進行驅動。於本實施形態中，如圖2所示，將回收輥72的旋轉方向設為相對於刷輥71反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向），可提高利用刀片73的異物的回收效率。作為相對於刷輥71的旋轉速度的回收輥72的旋轉速度的倍率的下限，較佳為1.0倍。另一方面，作為所述旋轉速度的倍率的上限，較佳為1.5倍。藉此，可有效地使異物自刷輥71移動至回收輥72上。

（刀片）刀片73是自回收輥72上刮取異物的第3刀片。該刀片73及支撐其的刀片支撐部73a的詳細情況與所述表側清潔機構3A的表側刷輥單元4的刀片43及刀片支撐部43a相同。

[背側清潔輥單元] 背側清潔輥單元8是藉由清潔輥80來去除對象物S的背側表面S2的微細的異物者，其於對象物S的背側（搬送路徑的下方），比背側刷輥單元7更鄰接於搬送方向下游側來配設。該背側清潔輥單元8主要具備清潔輥80、刷輥81、回收輥82、刀片83、及搬送輥85，其基本構成與所述表側清潔機構3A的表側清潔輥單元5相同。但是，與表側刷輥單元4相比，背側刷輥單元7具有搬送輥85這一點、及未設置相當於異物回收部55的構件這一點等不同。背側刷輥單元7未設置相當於異物回收部55的構件，反而其底部開口，可將異物朝單元外排出。自背側清潔輥單元8中排出的異物與自背側刷輥單元7中排出的異物一同，由設置於固定器1的最下部的異物回收部13回收。就維護性的觀點而言，背側清潔輥單元8較佳為可裝卸地安裝於固定器1上。

（清潔輥）清潔輥80是去除對象物S的背側表面S2的微細的異物的背側清潔輥，其配設於對象物S的背側（搬送路徑的下方）。該清潔輥80於外周面藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於搬送方向D正轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動。清潔輥80的詳細情況可設為與所述表側清潔輥單元5的清潔輥51相同，因此省略重複說明。

相對於朝背側刷輥單元7的刷輥71中的施加電壓，使朝清潔輥80中的施加電壓變成同極性且絕對值變低。作為朝清潔輥80中的施加電壓的下限，例如為-400 V，較佳為-200 V。另一方面，作為所述施加電壓，例如未滿0 V，較佳為-50 V以下。如此，藉由相對於朝背側刷輥單元7的刷輥71中的施加電壓，使朝清潔輥80中的施加電壓變成同極性且絕對值變低，可自對象物S的背側表面S2上去除比較微細的異物。尤其，藉由將朝清潔輥80中的施加電壓設為所述範圍，可自對象物S的背側表面S2上有效率地去除比較微細的異物。

（刷輥）刷輥81是回收清潔輥80自對象物S的背側表面S2上去除的微細的異物的背側的第2刷輥，其抵接於清潔輥80上並配設於清潔輥80的下方。該刷輥81於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於清潔輥80反轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動。與所述表側刷輥單元4的刷輥41同樣地，該刷輥81是經由接著層81B將多個刷毛81C植入芯棒81A上而成者，其詳細情況與表側刷輥單元4的刷輥41相同。

相對於朝清潔輥80中的施加電壓，使朝刷輥81中的施加電壓（施加至芯棒81A中的電壓）變成同極性且絕對值變高。作為具體的朝刷輥81中的施加電壓的下限，與表側刷輥單元4的刷輥41同樣地，較佳為-800 V，更佳為-600 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-200 V，更佳為-300 V。

（回收輥）回收輥82是回收刷輥81自清潔輥80上回收的微細的異物的背側的第2回收輥，其於刷輥81的下方，與刷輥81大致平行且與刷毛81C抵接來配設。該回收輥82於藉由所述電壓施加機構而帶電的狀態下，在相對於刷輥81反轉的方向（圖2的順時針旋轉方向）上，藉由來自外部驅動源的動力來旋轉驅動。回收輥82的詳細情況可設為與所述表側刷輥單元4的回收輥42相同，因此省略重複說明。

相對於朝刷輥81中的施加電壓，使朝回收輥82中的施加電壓變成同極性且絕對值變高。作為朝回收輥82中的施加電壓與朝刷輥81中的施加電壓的差的絕對值的下限，較佳為200 V，更佳為300 V。另一方面，作為所述差的絕對值的上限，較佳為600 V，更佳為500 V。另外，作為朝回收輥82中的施加電壓的下限，較佳為-1,500 V，更佳為-1,200 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，較佳為-400 V，更佳為-600 V。藉由相對於朝刷輥81中的施加電壓，使朝回收輥82中的施加電壓變成同極性且絕對值變高，與刷輥81的刷毛81C的電位相比，回收輥82的外周面的電位為同極性且絕對值變高，因此可使附著於刷輥81上的異物吸附於回收輥82的外周面上。尤其，藉由將回收輥82與刷輥81的施加電壓的差設為所述範圍，進而將朝回收輥82中的施加電壓設為所述範圍，可使附著於刷輥81上的異物有效地吸附於回收輥82的外周面上。

回收輥82的旋轉方向可為相對於刷輥81正轉的方向及反轉的方向的任一方向，較佳為於容易藉由後述的刀片83而自外周面上回收異物的旋轉方向上進行驅動。於本實施形態中，如圖2所示，將回收輥82的旋轉方向設為相對於刷輥81反轉的方向（圖2的順時針旋轉方向），可提高利用刀片83的異物的回收效率。作為相對於刷輥81的旋轉速度的回收輥82的旋轉速度的倍率的下限，較佳為1.0倍。另一方面，作為所述旋轉速度的倍率的上限，較佳為1.5倍。藉此，可有效地使異物自刷輥81移動至回收輥82上。

（刀片）刀片83是自回收輥81上刮取異物的第4刀片。該刀片83及支撐其的刀片支撐部83a的詳細情況與所述表側清潔機構3A的表側刷輥單元4的刀片43及刀片支撐部43a相同。

（搬送輥）搬送輥85是引導對象物S的搬送者，其配設於比清潔輥800更位於搬送方向下游側。作為該搬送輥85，可適宜地使用與對向樹脂輥61相同者。

[表側對向輥單元] 表側對向輥單元9是與背側刷輥單元7的刷輥71及背側清潔輥單元8的清潔輥80一同規定對象物S的搬送路徑者，其配設於對象物S的表側（搬送路徑的上方）。該表側對向輥單元9主要具備框體90、作為第1表側對向輥的對向金屬輥91、及作為第2表側對向輥的對向樹脂輥92，且可裝卸地配設於固定器1上。該清潔裝置將表側對向輥單元9可裝卸地配設於相對於工廠等的地面的基座而固定設置的裝置本體上。如此，藉由將表側對向輥單元9可裝卸地配設於固定器1上，可自固定器1上容易地卸下表側對向輥單元9，並使背側刷輥單元7的刷輥71及背側清潔輥單元8的清潔輥80露出。因此，可容易地進行刷輥71或清潔輥80的更換或清洗，故維護性優異。此外，關於收容於框體90中的對向金屬輥91及對向樹脂輥92，與組裝固定於固定器1上的情況相比，維護亦變得容易。

（框體）框體90是收容對向金屬輥91及對向樹脂輥92來進行單元化，並可於固定器1上裝卸者。於該框體90的頂板中，在與搬送方向D垂直的水平方向上分隔而設置有一對握持部90A。一對握持部90A是於表側對向輥單元9的裝卸時利用者。框體90於底板中設置有開口部90B，對向金屬輥91或對向樹脂輥92的一部分自該開口部90B突出。再者，構成框體90的材料並無特別限制，例如可適宜地使用不鏽鋼等金屬。

（對向金屬輥）對向金屬輥91經由對象物S而與背側刷輥單元7的刷輥71對向，且以抵接於對象物S上的方式配設於刷輥71的正上方。該對向金屬輥91是旋轉驅動者，在相對於背側刷輥單元7的刷輥71反轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上旋轉。對向金屬輥91的詳細情況與表側刷輥單元4的回收輥42相同。但是，對向金屬輥91藉由所述電壓施加機構而與地面電性連接，可在與刷輥71之間產生適合於去除異物的電場。

藉由對向金屬輥91為比較硬質的金屬輥，可使背側刷輥單元7的刷輥71的刷毛71C適當地抵接於對象物S上，因此可藉由刷輥71而自對象物S的背側表面S2上有效地去除比較大的異物。但是，表側對向輥未必需要是金屬輥，亦可使用導電性樹脂輥等。

（對向樹脂輥）對向樹脂輥92經由對象物S而與背側清潔輥單元8的清潔輥80對向，且以抵接於對象物S上的方式配設於清潔輥80的正上方。該對向樹脂輥92是旋轉驅動者，在相對於清潔輥80正轉的方向（圖2的逆時針旋轉方向）上旋轉。對向樹脂輥92的詳細情況與表側對向輥單元6的對向樹脂輥61相同。但是，對向樹脂輥92藉由所述電壓施加機構而與地面電性連接，可在與清潔輥80之間產生適合於去除異物的電場。

藉由對向樹脂輥92為具有彈性的樹脂輥，在與背側清潔輥單元8的清潔輥80之間可確保適宜的夾持寬度，因此可提高清潔輥80與對象物S的密接性，並可藉由清潔輥80而自對象物S的背側表面S2上有效地去除微細的異物。再者，於背側清潔機構3B的背側刷輥單元7、及背側清潔輥單元8中具備調節各自的高度的高度調節機構亦與表側清潔機構3A相同。

＜帶電電路＞如上所述，較佳為使回收輥42、回收輥53、回收輥72、回收輥82與清潔輥51、清潔輥80，及刷輥52、刷輥81的外周面帶電，且使刷輥41、刷輥71亦帶電。另外，較佳為使輔助輥62，對向金屬輥60、對向金屬輥91，對向樹脂輥61、對向樹脂輥92與地面電性連接。用以使該些輥帶電或與地面電性連接（亦包含固定成0 V）的帶電電路可使用已知的電路。作為電位差不同的2個輥經由長條狀的導電性異物等而短路時的安全對策，該帶電電路例如可將500 μA的電流設為閾值，並具備於閾值以上的電流流動時阻斷電路的機構（例如保險絲等）。

[單元及固定器的端子] 以下，對用於將各單元與外部電源或地面等電性連接的單元及固定器1的端子的一例進行說明。圖11表示配設於各單元的搬送寬度方向的一個端部或兩個端部上的單元側端子110表示。圖12表示配設於固定器1的內表面上的固定器側端子120。再者，該清潔裝置較佳為全部單元藉由該連接結構而與外部電源等電性連接，但一部分或全部的單元亦可藉由先前公知的連接結構而與外部電源等電性連接。

圖11的單元側端子110主要具備：沿著與搬送方向D平行的軸Z而平行地配設的2片單元側金屬板111、及於俯視下以分別包圍各單元側金屬板111的方式配設的2個蓋112。單元側金屬板111經由未圖示的配線而與各單元所具有的輥電性連接。再者，圖11的單元側端子110所具有的單元側金屬板111的片數為2片，但單元側金屬板111的片數可對應於各單元的輥數等而適宜變更。另外，關於蓋112的形狀，亦可對應於單元側金屬板111的片數等而適宜變更。

圖12的固定器側端子120分別具有：底座部121，由絕緣構件形成；2個固定器側金屬板122，配設於該底座部121的上表面上，並以可自上方插入所述單元側金屬板111、且可自兩面握持所插入的單元側金屬板111的方式彎折；以及圍繞部123，由絕緣構件形成，並以包圍各固定器側金屬板122的方式配設。固定器側金屬板122經由未圖示的配線等而與外部電源等電性連接。將2個圍繞部123設為其外表面可與單元側端子110的蓋112的內表面抵接的形狀。再者，圖12的固定器側端子120所具有的固定器側金屬板122的片數或圍繞部123的形狀，可對應於單元側端子110中的單元側金屬板111的片數或蓋112的形狀等而適宜變更。

將各單元安裝於固定器1上，藉此圖11的單元側端子110與圖12的固定器側端子120電性連接。具體而言，將單元側端子110的各單元側金屬板111插入至各固定器側端子120的固定器側金屬板122中，藉此兩金屬板電性連接，並且將單元側端子110的蓋112覆蓋於圍繞部123上而使蓋112及圍繞部123嵌合。如此，蓋112及圍繞部123成為將單元側端子110及固定器側端子120連接時的導件，因此可容易地使兩端子連接，且可牢固地固定經連接的兩端子。因此，藉由將所述單元側端子110及固定器側端子120用於該清潔裝置，安裝各單元的同時亦可容易地進行電性連接，因此可提昇便利性，且可形成牢固的連接結構，因此於運轉時即便產生振動等，亦容易將施加至各輥中的電壓保持成固定。

[對於輥的電壓施加機構] 於各單元中，通常在各輥的一個端部附近設置電壓施加機構（包含與地面電性連接的機構），並且所述單元側端子110及所述電壓施加機構之間藉由配線來電性連接。自外部電源等供給至各單元中的電壓經由所述單元側端子110、所述配線及所述電壓施加機構而供給至各輥中。於此情況下，用以驅動各輥的齒輪等驅動機構較佳為於使用由絕緣材料形成的構件後，設置於各輥的另一個端部附近。圖13表示如下的電壓施加機構作為所述電壓施加機構的一例，該電壓施加機構具備：圓錐狀的凹陷130a，設置於輥130的一個端面上；框體側電極131，具有半球狀的前端部，且該前端部抵接於輥130的圓錐狀的凹陷130a的內周面上；以及金屬製的板彈簧132，與該框體側電極131連結，且朝輥130側對框體側電極131施壓。當於搬送寬度方向上觀察時，輥130的中心軸及圓錐狀的凹陷的頂點與框體側電極131的前端部的半球的中心大致一致。再者，輥130及框體側電極131之間亦可處於利用導電性潤滑脂的潤滑脂潤滑下。

於該電壓施加機構中，單元側端子110及板彈簧132之間藉由未圖示的配線來電性連接，經由所述配線、板彈簧132、框體側電極131及凹陷130a而對輥130施加電壓。該電壓施加機構使框體側電極131抵接於輥130的中心軸附近，即輥130中的圓周速度比較小的部位上，藉此可抑制輥130及框體側電極131的磨耗。另外，使框體側電極131的半球狀的前端部接觸設置於輥130中的圓錐狀的凹陷，且藉由板彈簧132來朝輥130側對框體側電極131施壓，藉此即便於輥130振動的情況下，亦容易維持電性接觸。進而，使框體側電極131抵接於輥130的端面上，並藉由板彈簧132而於搬送寬度方向上對框體側電極131施壓，藉此即便輥130上下振動，板彈簧132的彎曲亦得到抑制，因此容易穩定地施壓。進而，使圓錐狀的凹陷130a的內周面及框體側電極131的半球狀的前端部抵接，藉此形成由凹陷130a及框體側電極131的前端部所圍成的空間，因此可將潤滑脂封入至該空間內來抑制其飛散。但是，為了進一步抑制潤滑脂的飛散，視需要亦可於電壓施加機構的周邊設置蓋等。

但是，各單元中的電壓施加機構並不限定於所述圖13中所示者，例如可列舉：於框體中設置導電性刷、導電性軸承等導電性滑動構件，並使該導電性滑動構件接觸各輥，藉此施加電壓的方法等。

[清潔方法] 對使用圖1及圖2的清潔裝置自對象物S上去除異物的清潔方法進行說明。該清潔方法包括：使在相對於搬送方向D反轉的方向上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動的刷輥41抵接於被搬送的對象物S上的步驟；以及使藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來進行旋轉的清潔輥51抵接於與刷輥41抵接後的對象物S上的步驟。進而，該清潔方法包括：使在相對於搬送方向D反轉的方向上，藉由與搬送方向D大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動的刷輥71抵接於與清潔輥51抵接後的對象物S上的步驟；以及使藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來進行旋轉的清潔輥80接觸與刷輥71抵接後的對象物S上的步驟。於該清潔方法中，對表側刷輥單元4的刷輥41施加與表側清潔輥單元5的清潔輥51同極性且絕對值高的電壓。另外，針對背側刷輥單元7的刷輥71，亦同樣地施加與背側清潔輥單元8的清潔輥80同極性且絕對值高的電壓。如此，藉由對刷輥41、刷輥71施加與清潔輥51、清潔輥80相比同極性且絕對值高的電壓，可藉由刷輥41、刷輥71來去除毫米水準的比較大的異物，並且可藉由清潔輥51、清潔輥80來去除微細的異物。關於該清潔方法中的朝各輥中的施加電壓、旋轉等的各種條件，可與所述的該清潔裝置相同，因此省略重複的說明。

[其他實施形態] 本發明並不限定於所述實施形態，除所述形態以外，能夠以施加了各種變更、改良的形態來實施。尤其，圖1及圖2僅為表示該清潔裝置的一例者，例如各輥的層結構亦可與圖2不同。

該清潔裝置的各輥之中，第1刷輥、清潔輥及一對對向輥以外的輥亦可為從動輥。如此，即便將該清潔裝置的輥的一部分設為從動輥，因該從動輥與旋轉驅動的其他輥或搬送物抵接，故亦可進行從動來發揮其功能。另外，第1刷輥的旋轉方向較佳為相對於對象物的搬送方向反轉的方向，但亦可為正轉的方向。進而，清潔輥的旋轉方向較佳為相對於對象物的搬送方向正轉的方向。

該清潔裝置只要至少具備1個第1刷輥、1個清潔輥、一對對向輥、及1個電壓施加機構即可，其他構成任意。另外，第1刷輥、清潔輥及一對對向輥亦可未經單元化，而直接固定於該清潔裝置的固定器上。

另外，於所述實施形態中，亦可於背側清潔輥單元及背側刷輥單元中分別設置異物回收部，而代替於背側清潔輥單元及背側刷輥單元的底部中設置開口。

進而，於本實施形態的一例中，使一對對向輥均與地面電性連接，但亦可採用其他構成。例如，可將一對對向輥均固定成0 V，亦可根據異物的帶電狀況，而固定成規定的正電位。應滿足的條件是相對於帶電的刷輥41及帶電的清潔輥51，向一對對向輥中施加成為基準的固定電位。因此，視需要亦可向一對對向輥的各輥中施加不同的固定電位。若固定電位與帶電的清潔輥51的電壓差過小，則無法產生用以去除異物的足夠的電場，因此作為該電位差的下限，較佳為50 V。

再者，於異物極端地帶負電的情況等下，將刷輥41、刷輥71、清潔輥51、清潔輥80設為正電位當然亦為本發明的思想的範圍內。於此情況下，關於一對對向輥，可與地面電性連接、或亦可施加成為基準的固定電位。作為該固定電位，可為0 V，根據異物的帶電狀況，亦可為規定的負電位或正電位。 [實施例]

以下，藉由實施例來說明本發明，但本發明並不由以下的實施例限定。

＜刷輥（刷毛）的最適宜化＞將選定就摩擦帶電性的觀點而言適合於去除異物的刷毛的材質作為目的，評價工件（對象物）及刷毛的帶電性並決定帶電序列。

作為刷毛，使用具有下述表1中所示的特性的材質者。下述表1中，「-」表示未測定對應的特性。

[表1]

作為對象物及異物，使用目標市場的對象物、及於該市場中成為問題的異物。具體而言，作為對象物，使用丙烯酸板、玻璃板、生片及聚對苯二甲酸乙二酯（Polyethylene terephthalate，PET）膜，作為異物，使用丙烯酸切削渣、銅粉、陶瓷渣（ceramics dregs）、玻璃切削渣、聚酯粒子及纖維。

摩擦帶電性是針對對象物及刷毛，藉由利用表面電位計測定使對象物彼此、對象物及刷毛、或刷毛彼此分別摩擦帶電時的極性來進行評價。另外，異物及對象物的帶電關係是藉由利用對象物加入異物並使其摩擦帶電後，吸引異物並利用數位靜電計測定帶電量來進行評價。將該些的評價結果作為帶電序列而示於圖14中。

通常，於帶電序列中，越是使用相對於對象物及異物為反極性的定位於儘可能遠離的場所的材質的刷毛，異物的吸附力變得越高。因此，根據圖14的結果，推測作為導電性聚酯的材質1及材質4適合於去除異物。

繼而，關於推測為最適合於去除異物的導電性聚酯，實施使用材質1及材質4的異物的去除性能的評價。於該評價中，使用圖1及圖2中所示的清潔裝置進行對象物S的異物的去除，並算出將表側刷輥單元4的刷輥41所具有的刷毛41C的材質設為材質1或材質4時的、朝異物回收部44中的異物回收率。作為對象物S，使用附著有陶瓷渣的生片。其結果，異物的回收率於使用材質1的情況下為86.6%，相對於此，於使用材質4的情況下為26.7%。因此，判斷作為刷毛，較佳為作為纖度比較大的纖維，即比較粗的纖維的材質1。再者，使用材質4時的回收率比使用摩擦帶電性同等的材質1時的回收率低的原因如以下般進行推測。即，可認為其原因在於：材質4是纖度比較小的纖維，即比較細的纖維，因此刷毛41C的剛性不足，無法挪動附著於對象物S上的比較大的陶瓷渣。

＜朝刷輥中的施加電壓的最適宜化＞朝刷輥中的施加電壓的最適宜化如圖15（A）所示般，使施加有規定的電壓的刷輥抵接於附著有塵土的對象物上，並將施加有該規定電壓的狀態保持10秒。繼而，如圖15（B）所示般，自對象物上抽離刷輥，將藉由塵土的去除所形成的帶狀區域的寬度作為塵土的吸附寬度（電場作用寬度）來進行評價。

作為刷輥的刷毛，使用於先前的評價中獲得適宜的結果的材質1的導電性聚酯。作為對象物，使用厚度為50 μm的PET膜。作為異物，使用粒徑為50 μm～150 μm的聚酯粒子。將施加至刷輥中的規定電壓設為0 V、-100 V、-400 V、-800 V或-1,600 V。將塵土的吸附寬度的評價結果示於圖16中。

如根據圖16而可知般，確認當朝刷輥中的施加電壓為-400 V時，塵土吸附寬度最大，即吸附性能最高。另外，根據圖16中所示的結果，作為朝刷輥中的施加電壓的下限，可以說較佳為-800 V，更佳為-600 V。另一方面，作為所述施加電壓的上限，可以說較佳為-200 V，更佳為-300 V。

＜刷的圓周速度及壓接量的研究＞使用圖1及圖2中所示的清潔裝置，一面使表側刷輥單元4的刷輥41的圓周速度與朝對象物中的壓接量而變化，一面進行對象物的異物去除。藉此，對刷輥的圓周速度、及刷輥朝對象物中的壓接量對異物去除造成的影響進行研究。

由刷輥的圓周速度所產生的影響是使刷輥的圓周速度B對於對象物的搬送速度W的比率（B/W）而變化，並作為與陶瓷渣的去除性的關係來進行評價。其結果，當B/W為50%（例如相對於對象物的搬送速度為12 m/min，刷輥的圓周速度為6 m/min）時，朝工件的入口側彈飛陶瓷渣。另一方面，若將刷輥的圓周速度變更成3 m/min而使B/W變成25%，則所述彈飛得到抑制。通常，小的異物比大的異物更容易被彈飛，因此判斷B/W較佳為25%以下。

刷輥朝對象物中的壓接量的影響藉由一面將壓接量變化成0.3 mm或0.6 mm，一面實施陶瓷渣的去除來進行評價。其結果，若將壓接量設為0.3 mm，則陶瓷渣的一部分擦過刷輥而殘存於對象物上。另一方面，若將壓接量設為0.6 mm，則可去除陶瓷渣。此處，壓接量越大，異物的去除性越提昇，但若過大，則因對象物的種類或狀態而產生擦傷。但是，壓接量的上限於各對象物中不同。因此，藉由使用高度調節機構調節刷輥單元的高度，即便於對象物的厚度、種類、狀態等不同的情況下，亦可使刷輥的壓接量最適宜化。

＜清潔性能的確認＞對該清潔裝置的清潔性能進行評價。具體而言，針對各種異物與對象物的組合，使用圖1及圖2中所示的清潔裝置，將各輥的圓周速度及施加電壓設為如表2般，並對清潔前後的對象物表面進行攝像，藉此進行評價。

將異物與對象物的具體的組合設為陶瓷衝頭渣及生片、皮脂及偏光板、棉纖維及丙烯酸板、聚酯纖維及生片、或聚酯粒子及PET膜。另外，將對象物的搬送速度設定成10 m/min。將各組合的攝像結果示於圖17～圖19的（A）～（F）中。圖17～圖19的（A）～（F）均是左圖為清潔前，右圖為清潔後的攝像結果。圖17的（A）的組合是對象物Sa為生片，異物Xa為陶瓷衝頭渣（φ 4 mm，厚度為120 μm）。圖17的（B）的組合是對象物Sb為生片，異物Xb為各種尺寸・形狀的陶瓷渣（長度為0.1 mm～3 mm，厚度為170 μm）。圖18的（C）的組合是對象物Sc為偏向板，異物Xc為皮脂。圖18的（D）的組合是對象物Sd為丙烯酸板，異物Xd為棉纖維。圖19的（E）的組合是對象物Se為生片，異物Xe為聚酯纖維（長度為2 mm～15 mm）。圖19的（F）的組合是對象物Sf為PET膜，異物Xf為聚酯粒子（粒徑為50 μm～150 μm）。

[表2]

如圖17～圖19所示般，可確認任一種組合均自對象物上適宜地去除異物。 [產業上之可利用性]

1‧‧‧固定器2A‧‧‧上游側外部搬送機構2B‧‧‧下游側外部搬送機構3‧‧‧清潔機構3A‧‧‧表側清潔機構3B‧‧‧背側清潔機構4‧‧‧表側刷輥單元5‧‧‧表側清潔輥單元6‧‧‧背側對向輥單元7‧‧‧背側刷輥單元8‧‧‧背側清潔輥單元9‧‧‧表側對向輥單元10‧‧‧板狀構件11‧‧‧棒12‧‧‧軸13、44、55‧‧‧異物回收部20A、20B‧‧‧帶搬送部21A、21B、130‧‧‧輥22A、22B‧‧‧環狀帶40、50、90‧‧‧框體40A、44A、50A、55A、90A‧‧‧握持部40B、50B、90B‧‧‧開口部41、52、71、81‧‧‧刷輥41A、51A、52A、71A、81A‧‧‧芯棒41B、52B、71B、81B‧‧‧接著層41C、52C、71C、81C‧‧‧刷毛42、53、72、82‧‧‧回收輥42A‧‧‧輥本體42B‧‧‧耐蝕性層43、54、73、83‧‧‧刀片43a、54a、73a、83a‧‧‧刀片支撐部45、85‧‧‧搬送輥45A‧‧‧芯軸45B‧‧‧樹脂部51、80‧‧‧清潔輥51B‧‧‧內層部51C‧‧‧外層部60、91‧‧‧對向金屬輥61、92‧‧‧對向樹脂輥62‧‧‧輔助輥101‧‧‧固定構件102‧‧‧滑動構件103‧‧‧頂板104、112‧‧‧蓋110‧‧‧單元側端子111‧‧‧單元側電極板120‧‧‧固定器側端子121‧‧‧底座部122‧‧‧固定器側電極板123‧‧‧圍繞部130a‧‧‧凹陷131‧‧‧框體側電極132‧‧‧板彈簧D‧‧‧搬送方向L1、L2‧‧‧距離S、Sa、Sb、Sc、Sd、Se、Sf‧‧‧對象物S1‧‧‧表側表面S2‧‧‧背側表面Xa、Xb、Xc、Xd、Xe、Xf‧‧‧異物Z‧‧‧軸

圖1是表示本發明的一實施例的清潔裝置的立體圖。圖2是圖1中所示的清潔裝置的示意剖面圖。圖3是圖1中所示的清潔裝置的刷輥的示意剖面圖。圖4是圖1中所示的清潔裝置的回收輥的示意剖面圖。圖5是圖1中所示的清潔裝置的搬送輥的示意正面圖。圖6是圖5的X-X線處的示意剖面圖。圖7是表示可應用於本發明的一實施例的清潔裝置的高度調節機構的一例的示意剖面圖。圖8是表示使用圖7的高度調節機構的高度調節的一步驟的示意剖面圖。圖9是表示圖8的高度調節機構的示意立體圖。圖10是圖1中所示的清潔裝置的清潔輥的示意剖面圖。圖11是表示可應用於本發明的一實施例的清潔裝置的單元側端子的示意立體圖。圖12是表示可應用於本發明的一實施例的清潔裝置的固定器側端子的示意立體圖。圖13是表示可應用於本發明的一實施例的清潔裝置的電壓施加機構的示意剖面圖。圖14是表示對象物、刷及異物的帶電序列的圖。圖15是用以說明刷輥單元中的刷輥的施加電壓的最適宜化的實驗方法的示意圖。圖16是表示相對於刷輥的施加電壓的異物的吸附寬度的測定結果的圖表。圖17是表示清潔性能的確認結果的對象物表面的攝像結果。圖18是表示清潔性能的確認結果的對象物表面的攝像結果。圖19是表示清潔性能的確認結果的對象物表面的攝像結果。

1‧‧‧固定器

2A‧‧‧上游側外部搬送機構

2B‧‧‧下游側外部搬送機構

3‧‧‧清潔機構

3A‧‧‧表側清潔機構

3B‧‧‧背側清潔機構

4‧‧‧表側刷輥單元

5‧‧‧表側清潔輥單元

6‧‧‧背側對向輥單元

7‧‧‧背側刷輥單元

8‧‧‧背側清潔輥單元

9‧‧‧表側對向輥單元

10‧‧‧板狀構件

11‧‧‧棒

12‧‧‧軸

13、44、55‧‧‧異物回收部

21A、21B‧‧‧輥

22A、22B‧‧‧環狀帶

40、50、90‧‧‧框體

40A、44A、50A、55A、90A‧‧‧握持部

40B、50B、90B‧‧‧開口部

41、52、71、81‧‧‧刷輥

42、53、72、82‧‧‧回收輥

43、54、73、83‧‧‧刀片

43a、54a、73a、83a‧‧‧刀片支撐部

45、85‧‧‧搬送輥

51、80‧‧‧清潔輥

60、91‧‧‧對向金屬輥

61、92‧‧‧對向樹脂輥

62‧‧‧輔助輥

D‧‧‧搬送方向

S‧‧‧對象物

S1‧‧‧表側表面

S2‧‧‧背側表面

Claims

一種清潔裝置，其一面搬送板狀或膜狀的對象物一面去除表面的異物，其特徵在於：包括第1刷輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；清潔輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；一對對向輥，通過所述對象物而與所述第1刷輥及清潔輥相向，一同在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動；以及1個或多個電壓施加機構，對所述第1刷輥及所述清潔輥施加電壓，所述第1刷輥及所述清潔輥抵接於所述對象物並去除所述對象物的表面的異物，所述一對對向輥以抵接於所述對象物上的方式配設於所述刷輥及所述清潔輥的正上方或正下方，所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥施加與所述清潔輥同極性且絕對值高的電壓，相對於所述刷輥及所述清潔輥，向所述一對對向輥中施加成為基準的固定電位，所述一對對向輥中的各輥具有不同的固定電位，相對於所述清潔輥成為基準的固定電位與所述清潔輥的電位差為50V以上，朝所述清潔輥中的施加電壓為-400V以上，未滿0V，朝所述刷輥中的施加電壓為-800V以上，-200V以下。
如申請專利範圍第1項所述的清潔裝置，其中所述第1刷輥在相對於所述對象物的搬送方向反轉的方向上旋轉驅動，所述清潔輥在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其中所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥施加-800V以上、未滿-200V的電壓，對所述清潔輥施加-200V以上、未滿0V的電壓。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其中所述1個或多個電壓施加機構對所述第1刷輥及所述清潔輥賦予絕對值為100V以上、500V以下的電位差。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其包括回收藉由所述第1刷輥而自所述對象物上去除的異物的第1回收輥，且所述1個或多個電壓施加機構對所述第1回收輥施加與所述第1刷輥同極性且絕對值高的電壓。
如申請專利範圍第5項所述的清潔裝置，其中所述1個或多個電壓施加機構對所述第1回收輥及所述第1刷輥賦予絕對值為200V以上、600V以下的電位差。
如申請專利範圍第5項所述的清潔裝置，其中所述第1回收輥的旋轉方向為相對於所述第1刷輥的旋轉方向反轉的方向，且相對於所述第1刷輥的旋轉速度，所述第1回收輥的旋轉速度為1.0倍以上、1.5倍以下。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的清潔裝置，其更包括回收藉由所述清潔輥而自所述對象物上去除的異物的第2刷輥，所述第2刷輥在相對於所述清潔輥反轉的方向上旋轉驅動，且相對於所述清潔輥的旋轉速度，其旋轉速度為1.0倍以上、1.5倍以下。
如申請專利範圍第8項所述的清潔裝置，其更包括回收藉由所述第2刷輥而自所述清潔輥上去除的異物的第2回收輥，所述第2回收輥在相對於所述第2刷輥反轉的方向上旋轉驅動，且相對於所述第2刷輥的旋轉速度，其旋轉速度為1.0倍以上、1.5倍以下。
一種清潔方法，其一面搬送板狀或膜狀的對象物一面去除表面的異物，其特徵在於：包括使用清潔裝置，包括第1刷輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；清潔輥，藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動；一對對向輥，通過所述對象物而與所述第1刷輥及清潔輥相向，一同在相對於所述對象物的搬送方向正轉的方向上旋轉驅動；以及1個或多個電壓施加機構，對所述第1刷輥及所述清潔輥施加電壓，所述第1刷輥及所述清潔輥抵接於所述對象物並去除所述對象物的表面的異物，所述一對對向輥以抵接於所述對象物上的方式配設於所述刷輥及所述清潔輥的正上方或正下方；使藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動的刷輥抵接於被搬送的所述對象物上的步驟；以及使藉由與搬送方向大致垂直且與搬送面大致平行的旋轉軸來旋轉驅動的清潔輥抵接於所述對象物上的步驟；且對所述清潔輥施加電壓，並且對所述刷輥施加與朝所述清潔輥中的施加電壓同極性且絕對值高的電壓；相對於所述刷輥及所述清潔輥，向所述一對對向輥中施加成為基準的固定電位，所述一對對向輥中的各輥具有不同的固定電位，相對於所述清潔輥成為基準的固定電位與所述清潔輥的電位差為50V以上，朝所述清潔輥中的施加電壓為-400V以上，未滿0V，朝所述刷輥中的施加電壓為-800V以上，-200V以下。
如申請專利範圍第10項所述的清潔方法，其中於使刷輥抵接於所述對象物上的步驟中，將所述刷輥朝所述對象物中的陷入量設定成規定的值，且於使清潔輥抵接於所述對象物上的步驟中，以藉由規定的壓力來將所述清潔輥按壓於所述對象物上的方式設定。