JP2023132071A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表面に凹凸や段差がある対象物であっても、異なるサイズの異物を除去することができるクリーニング装置を提供する。【解決手段】対象物表面に接触するクリーニングローラ１０と、このクリーニングローラと回転軸が平行に配設され、上記対象物表面に接触するローラ状のクリーニングブラシ２０と、上記対象物表面に搬送方向上流側から圧縮空気を吐出するエアノズル３０とを備え、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングローラの回転方向が搬送方向に対して順方向であり、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングブラシの回転方向が搬送方向に対して逆方向であり、搬送方向の上流側から、エアノズル、クリーニングブラシ、クリーニングローラの順に配置されており、上記圧縮空気が上記対象物表面に吹き付けられる吹付位置が、上記クリーニングブラシが上記対象物表面に接触する位置よりも搬送方向上流側である。【選択図】図２

Description

本発明は、クリーニング装置に関する。

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料等の対象物表面に付着する塵埃などの異物を取り除くためのクリーニング装置が開発されている。

このようなクリーニング装置として、対象物の搬送方向に対して逆方向となるように回転しつつ対象物表面に接触するクリーニングブラシと、対象物の搬送方向に対して順方向となるように回転しつつ対象物表面に接触するクリーニングローラとを備えるクリーニング装置が提案されている（特開２０１６－２１５１５５号公報参照）。

このクリーニング装置を用いれば、クリーニングブラシによりミリサイズの比較的大きな異物を効果的に掻き起こし、クリーニングローラにより主に微細な異物を除去できるため、異なるサイズの異物を効果的に除去することができる。

特開２０１６－２１５１５５号公報

上記従来のクリーニング装置は、表面が比較的平坦な対象物に付着した異物を効果的に除去することができる一方で、特に対象物の表面に凹凸や段差がある場合、この凹凸や段差の陰に位置した異物は、除去され難い傾向となる。

本発明はこのような不都合に鑑みてなされたものであり、表面に凹凸や段差がある対象物であっても、異なるサイズの異物を効果的に除去することができるクリーニング装置の提供を目的とする。

本発明の一実施形態に係るクリーニング装置は、搬送される対象物表面のクリーニング装置であって、上記対象物の搬送方向と垂直かつ対象物表面と平行な回転軸を中心として回転可能に配設され、上記対象物表面に接触するクリーニングローラと、このクリーニングローラと回転軸が平行に配設され、回転しつつ上記対象物表面に接触するローラ状のクリーニングブラシと、上記対象物表面に上記搬送方向上流側から圧縮空気を吐出する空気吐出口を有するエアノズルとを備え、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングローラの回転方向が上記搬送方向に対して順方向であり、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングブラシの回転方向が上記搬送方向に対して逆方向であり、上記搬送方向の上流側から、上記エアノズル、上記クリーニングブラシ、上記クリーニングローラの順に配置されており、上記圧縮空気が上記対象物表面に吹き付けられる吹付位置が、上記クリーニングブラシが上記対象物表面に接触する位置よりも上記搬送方向上流側である。

ここで、「平行」とは、正確に平行である場合に加え、実質的に平行、換言すればなす角度が±１０°以内、好ましくは±５°以内を含む概念である。また、「垂直」とは、なす角度が正確に９０°である場合に加え、実質的に垂直、換言すればなす角度が９０°±１０°以内、好ましくは９０°±５°以内を含む概念である。

本発明のクリーニング装置は、表面に凹凸や段差がある対象物であっても、異なるサイズの異物を効果的に除去することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係るクリーニング装置の外観を示す模式的斜視図である。 図２は、図１のクリーニング装置のＡ－Ａ線での内部を示す模式的構造図である。 図３は、図１のクリーニングローラ及びクリーニングブラシ付近を示す模式的部分拡大図である。 図４は、図２のエアノズル付近を示す模式的部分拡大図である。 図５は、図２のエアノズルの空気吐出面に対して平行方向から見た模式図である。 図６は、図２のエアノズルの空気吐出面に対して垂直方向から見た模式的正面図である。 図７は、図２のエアノズルの角度を説明するための模式的説明図である。

［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。

本発明の一実施形態に係るクリーニング装置は、搬送される対象物表面のクリーニング装置であって、上記対象物の搬送方向と垂直かつ対象物表面と平行な回転軸を中心として回転可能に配設され、上記対象物表面に接触するクリーニングローラと、このクリーニングローラと回転軸が平行に配設され、回転しつつ上記対象物表面に接触するローラ状のクリーニングブラシと、上記対象物表面に上記搬送方向上流側から圧縮空気を吐出する空気吐出口を有するエアノズルとを備え、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングローラの回転方向が上記搬送方向に対して順方向であり、上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングブラシの回転方向が上記搬送方向に対して逆方向であり、上記搬送方向の上流側から、上記エアノズル、上記クリーニングブラシ、上記クリーニングローラの順に配置されており、上記圧縮空気が上記対象物表面に吹き付けられる吹付位置が、上記クリーニングブラシが上記対象物表面に接触する位置よりも上記搬送方向上流側である。

当該クリーニング装置では、クリーニングブラシが対象物表面に接触する位置よりも搬送方向上流側に圧縮空気を吹き付けることで、対象物の表面に凹凸や段差がある場合であっても、異物が舞い上げられ、主にそのままクリーニングブラシに衝突する。このため、舞い上げられた異物は、クリーニングブラシが掻き起こすミリサイズの比較的大きな異物とともにクリーニングブラシに回収される。また、当該クリーニング装置では、対象物表面に残る微細な異物は、クリーニングブラシより搬送方向下流側に配置されるクリーニングローラにより除去することができる。従って、当該クリーニング装置は、表面に凹凸や段差がある対象物であっても、異なるサイズの異物を効果的に除去することができる。

上記圧縮空気がイオン風であるとよい。このように上記圧縮空気をイオン風とすることで、異物の電荷が中和されクリーニングブラシの帯電傾向に対して反発する異物を減らすことができるので、異物を効果的に除去することができる。

上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシが、帯電した状態で上記対象物表面に接触するとよい。このように上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシを、帯電した状態で上記対象物表面に接触させることで、静電気の力により、さらに効果的に異物を除去することができる。

上記圧縮空気、上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシの電位が同極性であるとよい。このように上記圧縮空気、上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシの電位を同極性とすることで、さらに効果的に異物を除去することができる。

上記クリーニングブラシより上記搬送方向上流側に配設され、上記対象物表面に接触しつつ上記対象物の搬送を補助するガイドローラを備え、上記ガイドローラが上記対象物表面に接触する位置は、上記吹付位置よりも上記搬送方向上流側であるとよい。このように上記ガイドローラが上記対象物表面に接触する位置を上記吹付位置よりも上記搬送方向上流側とすることで、上記吹付位置を上記クリーニングブラシに近接させることができる。これにより吹き付けられた圧縮空気により舞い上げられた異物が上記クリーニングブラシに衝突し易くなるため、異物の回収率を高めることができる。

上記エアノズルの空気吐出口の中心と上記吹付位置とを結ぶ上記圧縮空気の吐出軸を、上記吹付位置における上記対象物表面の法線に対して対称に折り返した反射軸が、上記クリーニングブラシの回転軸より上記対象物表面側で上記クリーニングブラシ表面と交差するとよい。上記対象物に付着する異物は、上記圧縮空気により主に上記反射軸方向に舞い上げられる。従って、上記反射軸が上記クリーニングブラシの回転軸より上記対象物表面側で上記クリーニングブラシ表面と交差することで、舞い上がった異物を上記クリーニングブラシでより確実に回収することができる。

上記圧縮空気の上記吹付位置における吐出角としては、３０度以上４５度以下が好ましい。上記吐出角を上記範囲内とすることで、舞い上がった異物を上記クリーニングブラシでより確実に回収することができる。

上記エアノズルの空気吐出口の中心と上記吹付位置との離間距離としては、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下が好ましい。上記離間距離を上記範囲内とすることで、舞い上がった異物を上記クリーニングブラシでより確実に回収することができる。

上記圧縮空気の圧力としては、０．３ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下が好ましい。上記圧力を上記範囲内とすることで、舞い上がった異物を上記クリーニングブラシでより確実に回収することができる。

上記圧縮空気の上記空気吐出口における風速としては、１９０ｍ／秒以上３８０ｍ／秒以下が好ましい。上記風速を上記範囲内とすることで、舞い上がった異物を上記クリーニングブラシでより確実に回収することができる。

上記エアノズルが、断面が円形状の複数の上記空気吐出口を有しているとよく、上記空気吐出口の直径としては、０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下が好ましい。このようにエアノズルに比較的小径の空気吐出口を複数設けることで、上記対象物表面の場所の違いによって、吹き付けられる圧縮空気の圧力がばらつくことを抑止できるので、異物の除去効率を高めることができる。

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の一実施形態に係るクリーニング装置について、図面を参照しつつ説明する。

図１から図４に示すクリーニング装置１は、搬送される対象物Ｓ表面のクリーニング装置である。当該クリーニング装置１は、クリーニングローラ１０と、クリーニングブラシ２０と、エアノズル３０とを備え、搬送方向Ｄ（図１から図４の白抜矢印方向）の上流側から、エアノズル３０、クリーニングブラシ２０、クリーニングローラ１０の順に配置されている。また、当該クリーニング装置１は、ガイドローラ４０と、搬送機構５０とを備える。

＜対象物＞
当該クリーニング装置１で異物除去する対象物Ｓは、フィルム状又は板状のものが好ましく、例えば対象物Ｓとして、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）のガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料等を挙げることができる。

当該クリーニング装置１は、表面に凹凸又は段差を有する対象物Ｓに対して好適に用いることができる。表面に凹凸又は段差を有する対象物Ｓでは、異物が凹凸の凹部や段差の角部に付着し易い。当該クリーニング装置１は、このような凹凸の凹部や段差の角部に付着した異物であっても、容易に除去することができる。このような対象物Ｓとしては、例えば表面に微細配線を有するプリント基板を挙げることができる。上記プリント基板では、微細配線間に凹部が形成され、この凹部に異物が入り込み易い。

対象物Ｓの平均厚さは、特に限定されるものではないが、対象物Ｓの平均厚さの下限としては、例えば３０μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。一方、対象物Ｓの平均厚さの上限は、対象物Ｓの表面面積にもよるが、例えば５ｃｍが好ましく、３ｃｍがより好ましい。対象物Ｓの平均厚さが上記下限未満であると、あるいは上記上限を超えると、対象物Ｓを搬送し難くなるおそれがある。

対象物Ｓの搬送速度の下限は特に限定されるものではないが、例えば５ｍ／ｍｉｎが好ましく、１０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、対象物Ｓの搬送速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、２０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。対象物Ｓの搬送速度が上記下限未満であると、異物除去に要する時間が長くなり、異物の除去効率が低下するおそれがある。逆に、対象物Ｓの搬送速度が上記上限を超えると、クリーニングローラ１０により対象物Ｓ表面の異物を十分に吸着できなくなるおそれがある。

＜クリーニングローラ＞
クリーニングローラ１０は、対象物Ｓの搬送方向Ｄと垂直かつ対象物Ｓ表面と平行な回転軸を中心として回転可能に配設され、対象物Ｓ表面に接触する。

対象物Ｓ表面との接点部分でのクリーニングローラ１０の回転方向は、搬送方向Ｄに対して順方向である。クリーニングローラ１０は、駆動装置により順方向に回転駆動されてもよいが、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする構成とすることができる。連れ回りする構成においては、駆動装置は不要である。クリーニングローラ１０は、表面が搬送される対象物Ｓと接触することにより順方向に連れ回りする。

クリーニングローラ１０は、帯電した状態で対象物Ｓ表面に接触する。このようにクリーニングローラ１０を、帯電した状態で対象物Ｓ表面に接触させることで、静電気の力により対象物Ｓ表面に付着の異物がクリーニングローラ１０表面に吸着するので、さらに効果的に異物を除去することができる。

クリーニングローラ１０は、例えば円柱状の芯金１１と、この芯金１１の周面を覆う円筒状の内層部１２と、この内層部１２の外周面を覆う薄膜円筒状の外層部１３とを有する構成とすることができる。

上記内層部１２の材質として、導電性を有する弾性部材が用いられる。このような弾性部材として、例えばカーボンを含むポリエステル系ウレタン等が挙げられる。

上記外層部１３の材質としては、対象物Ｓ表面に付着の異物を電界の力により吸着する電荷を帯電し得るものであればよく、例えばアクリル混合ポリウレタンやフッ素混合ポリウレタンなどのポリウレタンが挙げられる。外層部１３をポリウレタンで形成することで、シリコーン樹脂やブチルゴムなどで形成する場合に比べて耐摩耗性が優れ、可塑剤や低分子量物による汚染を低減することができる。

上記アクリル混合ポリウレタンとは、ポリエステルポリウレタン又はポリエーテルポリウレタンを主成分とし、さらに（１）熱可塑性ポリウレタン及びシリコン・アクリル共重合樹脂、（２）アクリル樹脂（例えばメタクリル酸－メタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）及び熱可塑性ポリウレタン、又は（３）アクリル樹脂、ポリウレタン及びフッ素系表面コーティング剤を含む混合物を意味する。外層部１３の材質としてアクリル混合ポリウレタンを用いることにより、マイナスに帯電し易い異物が対象物Ｓ表面から除去され易くなる。なお、「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば５０質量％以上含有される成分である。

また、上記フッ素混合ポリウレタンとは、ポリウレタンを主成分とするもので、熱可塑性ポリウレタン及びウレタン・フッ素共重合体を含む混合物を意味する。外層部１３の材質としてフッ素混合ポリウレタンを用いることにより、プラスに帯電し易い異物が対象物Ｓから除去され易くなる。

外層部１３の平均厚さの下限としては、２μｍが好ましく、５μｍがより好ましい。一方、外層部１３の平均厚さの上限としては、５００μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。外層部１３の平均厚さが上記下限未満であると、クリーニングローラ１０表面を十分に帯電させることができず、異物の吸着効果が十分に得られないおそれがある。逆に、外層部１３の平均厚さが上記上限を超えると、異物を吸着するための良好な帯電特性が得られないおそれがある。

＜クリーニングブラシ＞
クリーニングブラシ２０は、ローラ状であり、図３に示すように、円柱状の芯金２１と、この芯金２１の周面への複数の毛の植設により形成されるブラシ部２２とを有する。クリーニングブラシ２０は、クリーニングローラ１０と回転軸が平行に配設され、回転しつつ対象物Ｓ表面に接触する。

対象物Ｓ表面との接点部分でのクリーニングブラシ２０の回転方向は、搬送方向Ｄに対して逆方向である。換言すれば、クリーニングブラシ２０は、駆動装置により逆方向に回転駆動されている。クリーニングブラシ２０は、対象物Ｓ表面との接点部分で搬送方向Ｄと逆方向となるよう回転することにより、対象物Ｓ表面に付着の異物を掻き起こし、この掻き起こした異物がブラシ部２２に付着する。

ブラシ部２２を形成する毛として、物理的に異物が付着し易いものが好ましく、例えば合成樹脂製の繊維が挙げられる。また、ブラシ部２２を形成する毛として、対象物Ｓ表面に付着の異物を電界の力により吸着する電荷を帯電し得るものが好ましく、例えばカーボンブラック、炭素繊維、金属粉、金属ウィスカ等の導電性材料を含有する合成樹脂製の繊維が好適に使用できる。

ブラシ部２２の毛の断面形状は特に限定されるものではなく、ブラシ部２２として、例えば毛の断面形状が円形状、楕円形状、星型形状等のものを用いることができる。また、ブラシ部２２の毛の外形も特に限定されるものではなく、ブラシ部２２の毛として、例えば外形が直線状、波曲線形状、曲線と直線とが組み合わされて構成された形状等のものを用いることができる。なお、ブラシ部２２の毛の表面積が大きいほど異物を吸着し易くなるので、ブラシ部２２を形成する毛として、例えば断面形状が星型形状のものが好適に使用できる。

クリーニングブラシ２０も、クリーニングローラ１０と同様に帯電した状態で対象物Ｓ表面に接触する。これにより、電界の力による吸着力も作用するので、より効果的に対象物Ｓ表面の異物をブラシ部２２に吸着及び移動させることができる。なお、電界の力が作用しなくても上記異物はブラシ部２２に付着するので、クリーニングブラシ２０は必ずしも帯電させなくてもよい。

クリーニングローラ１０及びクリーニングブラシ２０の電位は、同極性であるとよい。一般に対象物Ｓの種類や異物の種類に応じて、異物は正又は負のいずれかに帯電し易い傾向を示す。このため、クリーニングローラ１０及びクリーニングブラシ２０の電位は、除去したい異物の帯電とは逆の極性とすることが好ましく、この場合においてクリーニングローラ１０及びクリーニングブラシ２０の電位は、同極性となる。

クリーニングブラシ２０の対象物Ｓへの平均圧接量の下限としては、０．０３ｍｍが好ましく、０．０５ｍｍがより好ましい。一方、上記平均圧接量の上限としては、１．５ｍｍが好ましく、１ｍｍがより好ましい。上記平均圧接量が上記下限未満であると、対象物Ｓ表面の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、上記平均圧接量が上記上限を超えると、ブラシ部２２及び対象物Ｓ表面間の摩擦力が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがある。なお、「圧接量」とは、クリーニングブラシ２０と対象物Ｓとの接点部分における芯金２１表面及び対象物Ｓ間の距離とブラシ部２２の毛の長さとの差を意味し、「平均圧接量」とは、ブラシ部２２が１回転する際に対象物Ｓの表面と接触する全ての毛の圧接量の平均を指す。

クリーニングブラシ２０の周速度の下限としては、１ｍ／ｍｉｎが好ましく、３ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、クリーニングブラシ２０の周速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、１５ｍ／ｍｉｎがより好ましい。クリーニングブラシ２０の周速度が上記下限未満であると、対象物Ｓ表面の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、クリーニングブラシ２０の周速度が上記上限を超えると、ブラシ部２２及び対象物Ｓ表面間の摩擦力が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがある。

＜エアノズル＞
エアノズル３０は、図４に示すように、対象物Ｓ表面に搬送方向Ｄ上流側から圧縮空気Ａを吐出する空気吐出口３１を有する。圧縮空気Ａが対象物Ｓ表面に吹き付けられる吹付位置Ｘが、クリーニングブラシ２０が対象物Ｓ表面に接触する位置よりも搬送方向Ｄ上流側である。

エアノズル３０から吐出される圧縮空気Ａは、吹付位置Ｘで対象物Ｓに吹き付けられ、その圧縮空気Ａの圧力により異物が舞い上げられる。圧縮空気Ａは、搬送方向Ｄ上流側から吹き付けられるため、舞い上がった異物は搬送方向Ｄ下流側に移動する。この異物のうち、下流側に位置するクリーニングブラシ２０のブラシ部２２に衝突したものは、直接ブラシ部２２により回収され、クリーニングブラシ２０より手前に落下し対象物Ｓ表面に留まるものはクリーニングブラシ２０が対象物Ｓから掻き起こすことで回収される。

対象物Ｓの表面に凹凸や段差がある場合、対象物Ｓの移動で生じる振動等により異物は凹凸や段差部分に集まり偏在し易い。凹凸や段差部分は、一般に清掃が難しく異物の回収率は低下し易い。これに対し当該クリーニング装置１では、圧縮空気Ａの圧力により異物を舞い上げることで、凹凸や段差部分に偏在している異物を直接的にブラシ部２２で回収することができる。また、直接的にブラシ部２２で回収できず対象物Ｓ表面に落下した異物は、落下した段階では対象物Ｓの平坦部分と凹凸や段差部分とに等しい密度で付着すると考えられ、凹凸や段差部分に偏在しない。このため、クリーニングブラシ２０及びクリーニングローラ１０によりクリーニングする際に凹凸や段差部分に存在する異物の数は、大幅に低減されると考えられる。つまり、当該クリーニング装置１では、清掃が難しい凹凸や段差部分に存在する異物の数を低減することで、全体として異物の回収率を高めることができる。

エアノズル３０は、図５及び図６に示すように、圧縮空気Ａが流入する空気流入口３２と、圧縮空気Ａを吹き出す空気吹出面３３とを有する。空気吹出面３３は、吐出軸Ｉに対して垂直に配設される。空気吐出口３１は、この空気吹出面３３に設けられている。

エアノズル３０は、図５に示すように、空気流入口３２から空気吹出面３３へ向かって拡幅していることが好ましい。このようにエアノズル３０を拡幅させることで、対象物Ｓ表面の幅方向（平面視で搬送方向Ｄに垂直方向）に対して均一に圧縮空気Ａを吹き付けることができる。空気吹出面３３の幅方向の長さは、圧縮空気Ａを吹き付けるべき対象物Ｓ表面の領域の幅に応じて決定されるが、例えば対象物Ｓ表面の幅と同一とすることができる。なお、エアノズル３０の幅方向とは、空気吹出面３３と平行で、かつ対象物Ｓ表面の幅方向とも平行な方向を指す。

一方、エアノズル３０は、図４に示すように、高さ方向の厚さは一定であることが好ましい。このようにエアノズル３０の高さ方向の厚さを一定とすることで、圧縮空気Ａの指向性を高め、吹出方向を一定の方向に制御し易くなる。なお、エアノズル３０の高さ方向とは、空気吹出面３３と平行で、かつエアノズル３０の幅方向と垂直な方向を指す。

エアノズル３０は、図６に示すように、断面が円形状の複数の空気吐出口３１を有している。空気吐出口３１の直径の下限としては、０．５ｍｍが好ましく、０．７ｍｍがより好ましい。一方、空気吐出口３１の直径の上限としては、３．０ｍｍが好ましく、２．５ｍｍがより好ましい。空気吐出口３１の直径が上記下限未満であると、圧損が大きくなり、空気吐出口３１から圧縮空気Ａを吹き出す際に必要なエネルギーが増大するおそれがある。逆に、空気吐出口３１の直径が上記上限を超えると、吹き出される圧縮空気Ａの風速が低下し、圧縮空気Ａにより異物を舞い上げる効果が低下するおそれがある。

このようにエアノズル３０に比較的小径の空気吐出口３１を複数設けることで、対象物Ｓ表面の場所の違いによって、吹き付けられる圧縮空気Ａの圧力がばらつくことを抑止できるので、異物の除去効率を高めることができる。

なお、空気吐出口３１の個数や配列は特に限定されるものではないが、空気吹出面３３から一様に圧縮空気Ａが吐出されるように決定することができる。例えば図６に示すエアノズル３０では、複数の空気吐出口３１が一列に配置されている。このように一列に配置されている場合、吹付位置Ｘにおいて圧縮空気Ａが吹き付けられる対象物Ｓ表面の領域が搬送方向Ｄに対して狭くなるため、異物を舞い上げ易い。

隣接する空気吐出口３１の中心間距離（ピッチ）の下限としては、２ｍｍが好ましく、
２．５ｍｍがより好ましい。一方、上記ピッチの上限としては、４ｍｍが好ましく、３．５ｍｍがより好ましい。上記ピッチが上記下限未満であると、単位長当たりの空気吐出口３１の個数が増え過ぎるため、吹付位置Ｘでの圧縮空気Ａの圧力が低下し、異物を十分に舞い上げられないおそれがある。逆に、上記ピッチが上記上限を超えると、対象物Ｓ表面の場所の違いによって、吹き付けられる圧縮空気Ａの圧力がばらつき易く、舞い上がった異物を回収し難くなるおそれがある。

空気吐出口３１の個数は、エアノズル３０の幅と上記ピッチとから決まるが、２０個以上４０個以下が好ましい。空気吐出口３１の個数を上記範囲内とすることで、吹付位置Ｘでの圧縮空気Ａの圧力の低下及びばらつきを抑止することができる。

少なくとも一部、好ましくは全ての空気吐出口３１において、図７に示すように、エアノズル３０の空気吐出口３１の中心と吹付位置Ｘとを結ぶ圧縮空気Ａの吐出軸Ｉを、吹付位置Ｘにおける対象物Ｓ表面の法線ｎに対して対称に折り返した反射軸Ｒが、クリーニングブラシ２０の回転軸Ｍより対象物Ｓ表面側でクリーニングブラシ２０表面と交差するとよい。すなわち、図７に示すように、クリーニングブラシ２０のブラシ部２２の毛の先端を通る曲面と反射軸Ｒとの交差位置Ｙは、クリーニングブラシ２０の回転軸Ｍより対象物Ｓ表面側に位置している。対象物Ｓに付着する異物は、圧縮空気Ａにより主に反射軸Ｒ方向に舞い上げられる。従って、反射軸Ｒがクリーニングブラシ２０の回転軸Ｍより対象物Ｓ表面側でクリーニングブラシ２０表面と交差することで、舞い上がった異物をクリーニングブラシ２０でより確実に回収することができる。

なお、複数の空気吐出口３１に対して、それぞれ吐出軸Ｉが規定されるが、これらの吐出軸Ｉは平行であることが好ましい。複数の吐出軸Ｉを平行とすることで、対象物Ｓ表面の場所の違いによって、吹き付けられる圧縮空気Ａの圧力がばらつくことを抑止できるので、異物の除去効率を高めることができる。

エアノズル３０の少なくとも一部、好ましくは全ての空気吐出口３１の中心と吹付位置Ｘとの間で吐出軸Ｉと交差する他のローラがなく、かつ吹付位置Ｘとクリーニングブラシ２０表面との間で反射軸Ｒと交差する他のローラがないことが好ましい。このような他のローラを設けないことで、空気吐出口３１から吐出される圧縮空気Ａの進行を妨げるものがなくなるので、異物の除去効率を高めることができる。

圧縮空気Ａはイオン風であることが好ましい。このように圧縮空気Ａをイオン風とすることで、異物の電荷が中和されクリーニングブラシ２０の帯電傾向に対して反発する異物を減らすことができるので、異物を効果的に除去することができる。

また、圧縮空気Ａ、クリーニングローラ１０及びクリーニングブラシ２０の電位が同極性であるとよい。上述のようにクリーニングローラ１０及びクリーニングブラシ２０の電位をともに、除去したい異物の帯電とは逆の極性とすることで、効果的に異物を除去することができる。対象物Ｓは、この除去したい異物の帯電と同じ極性に帯電し易い。除去したい異物の帯電とは逆の極性の圧縮空気Ａを対象物Ｓに吹き付けると、対象物Ｓの帯電を中和することができる。対象物Ｓの帯電により異物が対象物Ｓに強く吸着することを抑止できるので、さらに効果的に異物を除去することができる。

圧縮空気Ａの吹付位置Ｘにおける吐出角θｉ（法線ｎと吐出軸Ｉとのなす角）の下限としては、３０度が好ましく、３５度がより好ましい。一方、吐出角θｉの上限としては、４５度が好ましく、４０度がより好ましい。吐出角θｉが上記下限未満であると、異物が対象物Ｓ表面に再付着し易くなるため、異物の回収率が低下するおそれがある。逆に、吐出角θｉが上記上限を超えると、舞い上がった異物がクリーニングブラシ２０により回収し切れず、周囲に飛散するおそれがある。

エアノズル３０の少なくとも一部、好ましくは全ての空気吐出口３１において、空気吐出口３１の中心と吹付位置Ｘとの離間距離の下限としては、５ｍｍが好ましく、７ｍｍがより好ましい。一方、上記離間距離の上限としては、１５ｍｍが好ましく、１３ｍｍがより好ましい。上記離間距離が上記下限未満であると、対象物Ｓ表面の場所の違いによって、吹き付けられる圧縮空気Ａの圧力がばらつき易く、舞い上がった異物を回収し難くなるおそれがある。逆に、上記離間距離が上記上限を超えると、吹付位置Ｘでの圧縮空気Ａの圧力が低下し、異物を十分に舞い上げられないおそれがある。

エアノズル３０の少なくとも一部、好ましくは全ての空気吐出口３１において、クリーニングブラシ２０表面との交差位置Ｙと吹付位置Ｘとの離間距離の下限としては、５ｍｍが好ましく、７ｍｍがより好ましい。一方、上記離間距離の上限としては、１５ｍｍが好ましく、１３ｍｍがより好ましい。上記離間距離が上記下限未満であると、クリーニングブラシ２０が回収した異物を再度吹き飛ばし、回収率をかえって低下させるおそれがある。逆に、上記離間距離が上記上限を超えると、舞い上がった異物がクリーニングブラシ２０により回収し切れず、周囲に飛散するおそれがある。

エアノズル３０の少なくとも一部、好ましくは全ての空気吐出口３１において、空気吐出口３１の中心から吹付位置Ｘを経てクリーニングブラシ２０表面との交差位置Ｙへ至る圧縮空気Ａの径路長の下限としては、１０ｍｍが好ましく、１５ｍｍがより好ましい。一方、上記径路長の上限としては、３０ｍｍが好ましく、２５ｍｍがより好ましい。上記径路長が上記下限未満であると、舞い上がった異物を回収し難くなるおそれがある。逆に、上記径路長が上記上限を超えると、舞い上がった異物がクリーニングブラシ２０により回収し切れず、周囲に飛散するおそれがある。

圧縮空気Ａの圧力の下限としては、０．３ＭＰａが好ましく、０．４ＭＰａがより好ましい。一方、圧縮空気Ａの圧力の上限としては、０．６ＭＰａが好ましく、０．５ＭＰａがより好ましい。圧縮空気Ａの圧力が上記下限未満であると、異物を十分に舞い上げられないおそれがある。逆に、圧縮空気Ａの圧力が上記上限を超えると、舞い上がった異物が周囲に飛散し易くなり、舞い上がった異物をクリーニングブラシ２０で回収し難くなるおそれがある。なお、圧縮空気Ａの圧力とは、エアノズル３０内での圧力を指す。

圧縮空気Ａの空気吐出口３１における風速の下限としては、１９０ｍ／秒が好ましく、２４０ｍ／秒がより好ましい。一方、上記風速の上限としては、３８０ｍ／秒が好ましく、３３０ｍ／秒がより好ましい。上記風速が上記下限未満であると、異物を十分に舞い上げられないおそれがある。逆に、上記風速が上記上限を超えると、舞い上がった異物が周囲に飛散し易くなり、舞い上がった異物をクリーニングブラシ２０で回収し難くなるおそれがある。

圧縮空気Ａの０．３ＭＰａ換算での流量の下限としては、２００Ｌ／ｍｉｎが好ましく、２５０Ｌ／ｍｉｎがより好ましい。一方、上記流量の上限としては、４００Ｌ／ｍｉｎが好ましく、３００Ｌ／ｍｉｎがより好ましい。上記流量が上記下限未満であると、異物を十分に舞い上げられないおそれがある。逆に、上記流量が上記上限を超えると、舞い上がった異物が周囲に飛散し易くなり、舞い上がった異物をクリーニングブラシ２０で回収し難くなるおそれがある。

＜ガイドローラ＞
ガイドローラ４０は、クリーニングブラシ２０より搬送方向Ｄ上流側に配設され、対象物Ｓ表面に接触しつつ対象物Ｓの搬送を補助する。

ガイドローラ４０は、クリーニングブラシ２０と回転軸が平行に回転自在に配設される。このガイドローラ４０は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。すなわち、対象物Ｓの表面との接点部分でのガイドローラ４０の回転方向は、搬送方向Ｄに対して順方向である。なお、ガイドローラ４０は、回転駆動される構成としてもよい。例えば対象物Ｓの搬送方向Ｄに対して順方向となるようガイドローラ４０を回転駆動することで、当該クリーニング装置１内における対象物Ｓの搬送速度を一定とすることができる。

ガイドローラ４０が対象物Ｓ表面に接触する位置の対象物Ｓを挟んで反対側の面に接触する他のローラが設けられているとよい。当該クリーニング装置１では、図４に示すように、この他のローラとして、後述する上流側搬送機構５０ａの一方の搬送ローラ５２が用いられている。以下、上記他のローラが上流側搬送機構５０ａの一方の搬送ローラ５２である場合を例にとり説明を続けるが、上記他のローラは、搬送ローラ５２に限定されるものではなく、例えば上記他のローラとして専用のガイドローラ４０を設けてもよい。

ガイドローラ４０は、搬送ローラ５２との間を対象物Ｓの両面がこれら２つのローラの周面に接触する程度の間隙を有するよう配設される。当該クリーニング装置１では、対象物Ｓをガイドローラ４０及び搬送ローラ５２の間に挿入することで、対象物Ｓの進行方向を制御できる。例えば対象物Ｓが薄いフィルム状などの場合、先端が曲がり易いが、このような場合でもガイドローラ４０及び搬送ローラ５２間への挿入により上記先端の曲がりが抑制され、クリーニングブラシ２０及び後述する第２対向電極ローラ２６間に対象物Ｓ先端を容易かつ確実に進入させることができる。

ガイドローラ４０の材質は、対象物Ｓとの間の摩擦力が小さいものが好ましく、ガイドローラ４０を形成する材料として金属や樹脂などを用いることができる。

ガイドローラ４０が対象物Ｓ表面に接触する位置は、吹付位置Ｘよりも搬送方向Ｄ上流側である。また、ガイドローラ４０とクリーニングブラシ２０との間に対象物Ｓ表面に接触する他のローラが配設されていないことが好ましい。このようにガイドローラ４０が対象物Ｓ表面に接触する位置を吹付位置Ｘよりも搬送方向Ｄ上流側とすることで、吹付位置Ｘがクリーニングブラシ２０に近接させることができる。これにより吹き付けられた圧縮空気Ａにより舞い上げられた異物がクリーニングブラシ２０に衝突し易くなるため、異物の回収率を高めることができる。

＜搬送機構＞
搬送機構５０は、対象物Ｓに搬送のための推進力を付与するものである。この搬送機構５０は、クリーニングブラシ２０よりも搬送方向Ｄ上流側に配置される上流側搬送機構５０ａと、クリーニングローラ１０よりも搬送方向Ｄ下流側に配置される下流側搬送機構５０ｂとを有する。

（上流側搬送機構）
上流側搬送機構５０ａは、対象物Ｓを搬入し、クリーニングブラシ２０へ挿入するものであり、図１に示すように、複数のベルト搬送部５１を有している。各ベルト搬送部５１は、図２に示すように、搬送方向Ｄに沿って離間して配置される一対の搬送ローラ５２の間に無端ベルト５３が巻き掛けられたものである。

一対の搬送ローラ５２のうち、一方は回転力が付与される駆動ローラであり、他方は駆動ローラの回転により無端ベルト５３と連れ回りする従動ローラである。複数のベルト搬送部５１は、搬送方向Ｄに直交する水平方向に一定間隔で配置されている。

（下流側搬送機構）
下流側搬送機構５０ｂは、クリーニングローラ１０を通過した対象物Ｓを搬出するものである。下流側搬送機構５０ｂは、上流側搬送機構５０ａと同様に構成できるので、詳細説明を省略する。

＜その他の構成＞
（第１異物回収機構）
当該クリーニング装置１は、クリーニングローラ１０に付着した異物を回収する第１異物回収機構として、例えば図３に示すように、ブラシローラ１４、第１集塵ローラ１５、第１スクレーパー１６及び第１異物回収部１７を有していてもよい。

ブラシローラ１４は、クリーニングローラ１０と回転軸が平行に配設され、帯電した状態でクリーニングローラ１０表面に接触する。クリーニングローラ１０表面との接点部分でのブラシローラ１４の回転方向は、クリーニングローラ１０の回転方向に対して逆方向であることが好ましい。このようにブラシローラ１４の回転方向をクリーニングローラ１０の回転方向に対して逆方向とすることで、クリーニングローラ１０に付着した異物を効率的に回収することができる。なお、ブラシローラ１４は、後述するクリーニングブラシ２０と同様の構成とすることができる。

ブラシローラ１４の電位は、クリーニングローラ１０の電位と同極性かつ絶対値が大きいことが好ましい。このようにブラシローラ１４の電位をクリーニングローラ１０の電位と同極性かつ絶対値が大きいものとすることで、クリーニングローラ１０に付着している異物は、上記接点部分でクリーニングローラ１０からブラシローラ１４へ移動し易くなる。従って、クリーニングローラ１０に付着した異物をより確実に回収することができる。

第１集塵ローラ１５は、クリーニングローラ１０と回転軸が平行に配設され、帯電した状態でブラシローラ１４の表面に接触する。ブラシローラ１４の表面との接点部分での第１集塵ローラ１５の回転方向は、ブラシローラ１４の回転方向に対して逆方向であることが好ましい。このように第１集塵ローラ１５の回転方向をブラシローラ１４の回転方向に対して逆方向とすることで、ブラシローラ１４に付着した異物を効率的に回収することができる。

第１集塵ローラ１５は、導電性材料により構成することができる。上記導電性材料としては、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。第１集塵ローラ１５として銅やアルミニウム等の酸化し易い導電性材料を使用する場合には、第１集塵ローラ１５の表面にニッケルめっきや金めっき等の耐食性のめっき処理を行なうことが好ましい。

第１集塵ローラ１５の電位は、ブラシローラ１４の電位と同極性かつ絶対値が大きいことが好ましい。このように第１集塵ローラ１５の電位をブラシローラ１４の電位と同極性かつ絶対値が大きいものとすることで、ブラシローラ１４に付着している異物は、上記接点部分でブラシローラ１４から第１集塵ローラ１５へ移動し易くなる。従って、ブラシローラ１４に付着した異物をより確実に回収することができる。

第１スクレーパー１６は、例えば矩形状の板であり、その矩形を構成する１辺が第１集塵ローラ１５の回転軸方向にわたって第１集塵ローラ１５表面に接触する（以降、第１集塵ローラ１５に接している部分を「先端部」ともいう）。第１スクレーパー１６は、その先端部が下方となるように配置されており、第１集塵ローラ１５表面との接触位置において、第１集塵ローラ１５の回転方向が下方から上方となる位置に配設されている。

第１スクレーパー１６は、熱硬化性ポリウレタン等の合成樹脂製の弾性体などで形成される。第１集塵ローラ１５の回転に伴い、第１スクレーパー１６の先端部によって第１集塵ローラ１５表面に付着した異物が掻き取られる。これにより、第１集塵ローラ１５表面が異物の除去された清浄な状態となる。

第１異物回収部１７は、トレイ状であり、第１スクレーパー１６の先端部下方に配設されている。第１スクレーパー１６により掻き取られた異物はこの第１異物回収部１７内に落下及び回収される。

（第２異物回収機構）
また、当該クリーニング装置１は、クリーニングブラシ２０に付着した異物を回収する第２異物回収機構として、例えば図３に示すように、第２集塵ローラ２３、第２スクレーパー２４及び第２異物回収部２５を有していてもよい。

第２集塵ローラ２３は、クリーニングブラシ２０と回転軸が平行に配設され、帯電した状態でクリーニングブラシ２０表面に接触する。第２集塵ローラ２３は、第１集塵ローラ１５と同様の導電性材料により構成することができる。

クリーニングブラシ２０表面との接点部分での第２集塵ローラ２３の回転方向は、クリーニングブラシ２０の回転方向に対して逆方向であることが好ましい。また、第２集塵ローラ２３の電位は、クリーニングブラシ２０の電位と同極性かつ絶対値が大きいことが好ましい。このように構成することで、クリーニングブラシ２０に付着した異物を効率的に回収することができる。

第２スクレーパー２４は、例えば矩形状の板であり、その矩形を構成する１辺が第２集塵ローラ２３の回転軸方向にわたって第２集塵ローラ２３表面に接触する。第２スクレーパー２４は、接触する対象が第２集塵ローラ２３である点を除き、第１スクレーパー１６と同様であるので、詳細説明を省略する。

第２異物回収部２５は、トレイ状であり、第２スクレーパー２４の先端部下方に配設されている。第２スクレーパー２４により掻き取られた異物はこの第２異物回収部２５内に落下及び回収される。

（第１対向電極ローラ）
当該クリーニング装置１は、対象物Ｓのクリーニングローラ１０と接触する面とは反対側の面と接触する第１対向電極ローラ１８を備えてもよい。

第１対向電極ローラ１８は、クリーニングローラ１０と回転軸が平行かつ対向する位置に回転自在に配設され、帯電した状態で対象物Ｓの裏面に接触する。この第１対向電極ローラ１８は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。すなわち、対象物Ｓの裏面との接点部分での第１対向電極ローラ１８の回転方向は、搬送方向Ｄに対して順方向である。

第１対向電極ローラ１８は、一部又は全部が導電性材料で形成される。このような導電性材料としては、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。第１対向電極ローラ１８は、上記導電性材料のみで形成することもできるが、図３に示すように、上記導電性材料で形成された芯金１８ａの外周面を合成樹脂等の絶縁層１８ｂが覆うような構成としてもよい。

第１対向電極ローラ１８には、クリーニングローラ１０に印加される電圧よりも同極性で低い電圧又は正負が逆の電圧が印加される。あるいは、第１対向電極ローラ１８は接地される。これにより、クリーニングローラ１０の電界の力による吸着効果が促進され、対象物Ｓのクリーニングローラ１０側の面に付着する異物がクリーニングローラ１０に吸着され易くなる。

（第２対向電極ローラ）
当該クリーニング装置１は、対象物Ｓのクリーニングブラシ２０と接触する面とは反対側の面と接触する第２対向電極ローラ２６を備えてもよい。

第２対向電極ローラ２６は、クリーニングブラシ２０と回転軸が平行かつ対向する位置に回転自在に配設され、帯電した状態で対象物Ｓの裏面に接触する。この第２対向電極ローラ２６は、対象物Ｓの搬送に伴って連れ回りする。すなわち、対象物Ｓの裏面との接点部分での第２対向電極ローラ２６の回転方向は、搬送方向Ｄに対して順方向である。

第２対向電極ローラ２６は、一部又は全部が導電性材料で形成される。第２対向電極ローラ２６に用いられる導電性材料及び第２対向電極ローラ２６の構成は、第１対向電極ローラ１８と同様とすることができる。

第２対向電極ローラ２６には、クリーニングブラシ２０に印加される電圧よりも同極性で低い電圧又は正負が逆の電圧が印加される。あるいは、第２対向電極ローラ２６は接地される。これにより、クリーニングブラシ２０の電界の力による吸着効果が促進され、対象物Ｓのクリーニングブラシ２０側の面に付着する異物がクリーニングブラシ２０に吸着され易くなる。

＜利点＞
当該クリーニング装置１では、クリーニングブラシ２０が対象物Ｓ表面に接触する位置よりも搬送方向Ｄ上流側に圧縮空気Ａを吹き付けることで、対象物Ｓの表面に凹凸や段差がある場合であっても、異物が舞い上げられ、主にそのままクリーニングブラシ２０に衝突する。このため、舞い上げられた異物は、クリーニングブラシ２０が掻き起こすミリサイズの比較的大きな異物とともにクリーニングブラシ２０に回収される。また、当該クリーニング装置１では、対象物Ｓ表面に残る微細な異物は、クリーニングブラシ２０より搬送方向Ｄ下流側に配置されるクリーニングローラ１０により除去することができる。従って、当該クリーニング装置１は、表面に凹凸や段差がある対象物Ｓであっても、異なるサイズの異物を効果的に除去することができる。

［その他の実施形態］
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。

上記実施形態では、クリーニングローラ及びクリーニングブラシが、帯電した状態で対象物表面に接触する場合を説明したが、帯電は必須の構成要件ではなく、クリーニングローラ及びクリーニングブラシの両方あるいはいずれか一方が帯電していない状態で対象物表面に接触する場合も本発明の意図するところである。

上記実施形態では、エアノズルが、断面が円形状の複数の空気吐出口を有している場合を説明したが、空気吐出口の断面形状は円形に限定されるものではない。また、エアノズルが空気吐出口を１つしか有していないクリーニング装置も本発明の意図するところである。エアノズルは、例えば断面が長方形状の１つの空気吐出口を有する構成であってもよい。

上記実施形態では、吹付位置が、ガイドローラが対象物表面に接触する位置よりも搬送方向下流側である場合を説明したが、吹付位置は、ガイドローラが対象物表面に接触する位置よりも上流側であってもよい。また、ガイドローラを備えないクリーニング装置も本発明の意図するところである。

上記実施形態では、当該クリーニング装置がガイドローラを備える場合を説明したが、対象物が、例えば先端の折れ曲がり難い板状のようなものであり、先端をクリーニングブラシ及び第２対向電極ローラ間に進入させ易い場合、ガイドローラは省略してもよい。

また、搬送機構は、上述の構成に限定されるものではない。対象物を搬送できる限り任意の構成を採用可能である。

本発明のクリーニング装置は、表面に凹凸や段差がある対象物であっても、異なるサイズの異物を効果的に除去することができる。

１ クリーニング装置
１０ クリーニングローラ
１１ 芯金
１２ 内層部
１３ 外層部
１４ ブラシローラ
１５ 第１集塵ローラ
１６ 第１スクレーパー
１７ 第１異物回収部
１８ 第１対向電極ローラ
１８ａ 芯金
１８ｂ 絶縁層
２０ クリーニングブラシ
２１ 芯金
２２ ブラシ部
２３ 第２集塵ローラ
２４ 第２スクレーパー
２５ 第２異物回収部
２６ 第２対向電極ローラ
３０ エアノズル
３１ 空気吹出口
３２ 空気流入口
３３ 空気吹出面
４０ ガイドローラ
５０ 搬送機構
５０ａ 上流側搬送機構
５０ｂ 下流側搬送機構
５１ ベルト搬送部
５２ 搬送ローラ
５３ 無端ベルト
Ｓ 対象物
Ｄ 搬送方向
Ａ 圧縮空気
Ｘ 吹付位置
Ｙ 交差位置
Ｉ 吐出軸
Ｒ 反射軸
ｎ 法線
Ｍ 回転軸
θｉ 吐出角

Claims (11)

1. 搬送される対象物表面のクリーニング装置であって、
   上記対象物の搬送方向と垂直かつ対象物表面と平行な回転軸を中心として回転可能に配設され、上記対象物表面に接触するクリーニングローラと、
   このクリーニングローラと回転軸が平行に配設され、回転しつつ上記対象物表面に接触するローラ状のクリーニングブラシと、
   上記対象物表面に上記搬送方向上流側から圧縮空気を吐出する空気吐出口を有するエアノズルと
   を備え、
   上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングローラの回転方向が上記搬送方向に対して順方向であり、
   上記対象物表面との接点部分での上記クリーニングブラシの回転方向が上記搬送方向に対して逆方向であり、
   上記搬送方向の上流側から、上記エアノズル、上記クリーニングブラシ、上記クリーニングローラの順に配置されており、
   上記圧縮空気が上記対象物表面に吹き付けられる吹付位置が、上記クリーニングブラシが上記対象物表面に接触する位置よりも上記搬送方向上流側であるクリーニング装置。
2. 上記圧縮空気がイオン風である請求項１に記載のクリーニング装置。
3. 上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシが、帯電した状態で上記対象物表面に接触する請求項２に記載のクリーニング装置。
4. 上記圧縮空気、上記クリーニングローラ及び上記クリーニングブラシの電位が同極性である請求項３に記載のクリーニング装置。
5. 上記クリーニングブラシより上記搬送方向上流側に配設され、上記対象物表面に接触しつつ上記対象物の搬送を補助するガイドローラを備え、
   上記ガイドローラが上記対象物表面に接触する位置は、上記吹付位置よりも上記搬送方向上流側である請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
6. 上記エアノズルの空気吐出口の中心と上記吹付位置とを結ぶ上記圧縮空気の吐出軸を、上記吹付位置における上記対象物表面の法線に対して対称に折り返した反射軸が、上記クリーニングブラシの回転軸より上記対象物表面側で上記クリーニングブラシ表面と交差する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
7. 上記圧縮空気の上記吹付位置における吐出角が、３０度以上４５度以下である請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
8. 上記エアノズルの空気吐出口の中心と上記吹付位置との離間距離が５ｍｍ以上１５ｍｍ以下である請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
9. 上記圧縮空気の圧力が、０．３ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下である請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
10. 上記圧縮空気の上記空気吐出口における風速が、１９０ｍ／秒以上３８０ｍ／秒以下である請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
11. 上記エアノズルが、断面が円形状の複数の上記空気吐出口を有し、
    上記空気吐出口の直径が、０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ以下である請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のクリーニング装置。
    
    
    
    

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