JP2022034005A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物の表面から比較的大きな異物及び微細な異物の双方を効率良く除去する。
【解決手段】板状又はフィルム状の対象物Ｓを搬送しつつ表面の異物を除去するクリーニング装置であって、搬送される上記対象物Ｓの上方に着脱可能に配設され、表側ブラシローラ４１により上記対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を除去する表側ブラシローラユニット４と、上記対象物Ｓの上方かつ上記表側ブラシローラユニット４の搬送方向下流側に着脱可能に配設され、クリーニングローラ５１により上記対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を除去する表側クリーニングローラユニット５と、上記ブラシローラ４１及び／又はクリーニングローラ５１を帯電させるための帯電回路と、上記表側ブラシローラユニット４及び／又は表側クリーニングローラユニット５が装着されると同時に、上記ブラシローラ４１及び／又はクリーニングローラ５１と上記帯電回路とを電気的に接続する端子とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、クリーニング装置に関する。

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板や、樹脂基板や、電子部品を搭載するプリント基板や、積層セラミンクコンデンサ等を形成するためのセラミックグリーンシートや、樹脂薄板や、長尺フィルムなどの対象物表面に付着した塵埃等の異物を取り除くためのクリーニング装置が開発されている。

このようなクリーニング装置として、帯電ブラシで対象物表面の異物を除去し、この除去した異物を電界の力でクリーニングローラにより搬送及び回収するクリーニング装置が提案されている（特開２０１１－９２８４６号公報参照）。

しかし、上記クリーニング装置では、ミリサイズの比較的大きな異物については帯電ブラシにより除去可能であるが、帯電ブラシが対象物表面に接触しない部分が発生し得るため、その非接触部分に存在する異物（特に、微細な異物）を十分に除去できないおそれがある。また、上記クリーニング装置では、上述の通り帯電ブラシによる対象物表面からの異物の除去効率が十分であると言い難いばかりか、クリーニングローラによる異物の搬送効率及び回収効率も十分であるとは言い難い。そのため、上記クリーニング装置では、異物の除去効率等において改善の余地がある。

特開２０１１－９２８４６号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、対象物の表面から比較的大きな異物及び微細な異物の双方を効率良く除去することができるクリーニング装置及びクリーニング方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、板状又はフィルム状の対象物を搬送しつつ表面の異物を除去するクリーニング装置であって、搬送方向と略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で回転駆動される第１のブラシローラと、搬送方向と略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で回転駆動されるクリーニングローラと、上記対象物を介して上記第１のブラシローラ及びクリーニングローラと対向し、共に上記対象物の搬送方向に対し順回り方向に回転駆動される一対の対向ローラと、上記第１のブラシローラ及び上記クリーニングローラに電圧を印加する１又は複数の電圧印加機構とを備え、上記１又は複数の電圧印加機構が、上記第１のブラシローラに対し、上記クリーニングローラと同極性かつ絶対値において高い電圧を印加することを特徴とする。

当該クリーニング装置は、第１のブラシローラによって対象物から比較的大きな異物を除去できると共に、クリーニングローラによって対象物から微細な異物を除去できる。また、第１のブラシローラ及びクリーニングローラと対向する一対の対向ローラを備えることで、第１のブラシローラ及びクリーニングローラを対象物に効果的に押圧することができるため、第１のブラシローラ及びクリーニングローラによる対象物からの異物の除去効率を高めることができる。さらに、第１のブラシローラ及びクリーニングローラに対し電圧印加機構により電圧を印加することで、第１のブラシローラ及びクリーニングローラによる対象物からの異物の除去効率をさらに高めることができる。特に、第１のブラシローラに対し、クリーニングローラと同極性かつ絶対値において高い電圧を印加することで、第１のブラシローラによる比較的大きな異物の除去と、クリーニングローラによる微細な異物の除去とを共に効率化できる。このように、当該クリーニング装置では、対象物の表面から比較的大きな異物だけでなく微細な異物を共に効率良く除去することができる。

上記第１のブラシローラが上記対象物の搬送方向に対し逆回り方向に回転駆動され、上記クリーニングローラが上記対象物の搬送方向に対し順回り方向に回転駆動されるとよい。このように、第１のブラシローラが対象物の搬送方向に対し逆回り方向に回転駆動されることで、対象物の表面に付着する比較的大きい異物を効果的に掻き起こして除去することができる。また、クリーニングローラが対象物の搬送方向に対し順回り方向に回転駆動されることで、対象物を搬送しつつその表面に付着する微細な異物を効果的に除去することができる。

上記１又は複数の電圧印加機構が、上記第１のブラシローラに－８００Ｖ以上－２００Ｖ未満の電圧を印加し、上記クリーニングローラに－２００Ｖ以上０Ｖ未満の電圧を印加するとよい。このように、電圧印加機構が第１のブラシローラ及びクリーニングローラに上記範囲の電圧を印加することで、第１のブラシローラ及びクリーニングローラの電位がそれぞれ異物除去に適したものとなるため、比較的大きな異物及び微細な異物をより効果的に除去できる。

上記１又は複数の電圧印加機構が、上記第１のブラシローラ及び上記クリーニングローラに絶対値において１００Ｖ以上５００Ｖ以下の電位差を与えるとよい。このように、電圧印加機構が第１のブラシローラ及びクリーニングローラの電位差が上記範囲となるように電圧を印加することで、クリーニングローラ及びブラシローラの電位をそれぞれ異物除去に適したものとすることができ、その結果、比較的大きな異物及び微細な異物をさらに効果的に除去できる。

上記一対の対向ローラの電位が所定の固定電位であるとよい。このように、一対の対向ローラの電位を所定の固定電位とすることで、第１のブラシローラ及び一方の対向ローラの間と、クリーニングローラ及び他方の対向ローラの間とにそれぞれ効果的に電界を形成できるため、第１のブラシローラ及びクリーニングローラによる対象物からの異物除去効率をより向上できる。

当該クリーニング装置は、上記第１のブラシローラによって上記対象物から除去した異物を回収する第１の回収ローラを備え、上記１又は複数の電圧印加機構が、上記第１の回収ローラに対し、上記第１のブラシローラと同極性かつ絶対値において高い電圧を印加するとよい。このように、当該クリーニング装置が第１の回収ローラを備え、この第１の回収ローラに対し第１のブラシローラと同極性かつ絶対値において高い電圧を印加することで、第１のブラシローラによって対象物から除去した異物を第１の回収ローラにより回収することができる。その結果、第１のブラシローラの清浄性及び電荷を維持し、異物の除去効率の低下を抑制することができる。

上記１又は複数の電圧印加機構が、上記第１の回収ローラ及び上記第１のブラシローラに絶対値において２００Ｖ以上６００Ｖ以下の電位差を与えるとよい。このように、第１の回収ローラ及び第１のブラシローラに上記範囲の電位差を与えることで、第１のブラシローラによって対象物から除去した異物を第１の回収ローラによって効果的に回収できるため、第１のブラシローラの清浄性及び電荷を効果的に維持し、異物の除去効率低下を効果的に抑制することができる。

上記第１の回収ローラの回転方向が、上記第１のブラシローラの回転方向に対し逆回り方向であり、上記第１の回収ローラの回転速度が、上記第１のブラシローラの回転速度に対し１．０倍以上１．５倍以下であるとよい。このように、第１の回収ローラの回転条件を上述の通り設定することで、第１の回収ローラによる第１のブラシローラからの異物の回収効率を高めることができるため、第１のブラシローラの清浄性及び電荷をより効果的に維持し、異物の除去効率の低下をより効果的に抑制することができる。

当該クリーニング装置は、上記クリーニングローラにより上記対象物から除去した異物を回収する第２のブラシローラをさらに備え、上記第２のブラシローラが、上記クリーニングローラに対し逆回り方向に回転駆動されるとよく、その回転速度としては、上記クリーニングローラの回転速度に対し、１．０倍以上１．５倍以下が好ましい。このように、当該クリーニング装置が第２のブラシローラを備えることで、クリーニングローラにより対象物から除去した異物を第２のブラシローラによって除去することができる。このように、クリーニングローラから異物を除去することで、クリーニングローラ表面の清浄性及び電荷を維持し、異物の除去効率低下を抑制することができる。また、第２のブラシローラの回転条件を上述の通り設定することで、第２のブラシローラによるクリーニングローラからの異物の回収効率をより高めることができる。

当該クリーニング装置は、上記第２のブラシローラにより上記クリーニングローラから除去した異物を回収する第２の回収ローラをさらに備え、上記第２の回収ローラが、上記第２のブラシローラに対し逆回り方向に回転駆動されるとよく、その回転速度としては、上記第２のブラシローラの回転速度に対し１．０倍以上１．５倍以下が好ましい。このように、当該クリーニング装置が第２の回収ローラを備えることで、クリーニングローラから第２のブラシローラによって除去した異物を第２の回収ローラによって回収することができる。その結果、第２のブラシローラ、ひいてはクリーニングローラ表面の清浄性及び電荷が維持され、クリーニングローラによる異物の除去効率低下を抑制することができる。また、第２の回収ローラの回転条件を上述の通り設定することで、第２の回収ローラによる第２のブラシローラからの異物の回収効率を高め、ひいては第２のブラシローラによるクリーニングローラからの異物の回収効率を高めることができる。

また、上記課題を解決するためになされた別の発明は、板状又はフィルム状の対象物を搬送しつつ表面の異物を除去するクリーニング方法であって、搬送される上記対象物に、搬送方向と略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向に対し逆回り方向に回転駆動されるブラシローラを当接させる工程と、上記対象物に、搬送方向と略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で回転する回転駆動されるクリーニングローラを当接させる工程とを備え、上記クリーニングローラに電圧を印加すると共に、上記ブラシローラに上記クリーニングローラへの印加電圧と同極性かつ絶対値において高い電圧を印加する。

当該クリーニング方法によれば、ブラシローラによって対象物から比較的大きな異物を除去できると共に、クリーニングローラによって対象物から微細な異物を除去できる。また、ブラシローラ及びクリーニングローラに対し電圧を印加することで、上述の対象物からの異物除去の効率をより高めることができる。特に、ブラシローラに対しクリーニングローラと同極性かつ絶対値において高い電圧を印加することで、上述の対象物からの異物除去の効率をさらに高めることができる。このように、当該クリーニング方法では、対象物の表面から、比較的大きな異物だけでなく微細な異物を効率よく除去できる。

上記対象物にブラシローラを当接させる工程において、上記ブラシローラの上記対象物への食い込み量を所定の値に設定し、かつ上記対象物にクリーニングローラを当接させる工程において、上記クリーニングローラが上記対象物に所定の圧力で押圧されるよう設定するとよい。このように、ブラシローラの食い込み量及びクリーニングローラの圧力を上記範囲とすることで、ブラシローラによる比較的大きな異物の除去と、クリーニングローラによる微細な異物の除去とをより効率良く行うことができる。

なお、本明細書の各ローラの回転方向の説明において、対象物又は他のローラの運動方向に対し、連れ回り方向に回転していることを「順回り方向に回転」といい、その逆を「逆回り方向に回転」という。また、「略垂直」とは、垂直線に対する交差角度が±１０°以内であることを意味し、垂直であってもよい。さらに、「略平行」とは、二直線のなす角の鋭角が０°超１０°以内であるか、又は平行であることを意味する。本明細書において、対象物の「表側」及び「裏側」は、単に便宜上の区別であり、必ずしも対象物を使用する際の表側及び裏側に対応するものではない。

本発明のクリーニング装置及びクリーニング方法は、対象物の表面から比較的大きな異物及び微細な異物の双方を効率良く除去することができる。

本発明の一実施例に係るクリーニング装置を示す斜視図である。 図１に示すクリーニング装置の模式的断面図である。 図１に示すクリーニング装置のブラシローラの模式的断面図である。 図１に示すクリーニング装置の回収ローラの模式的断面図である。 図１に示すクリーニング装置の搬送ローラの模式的正面図である。 図５のＸ－Ｘ線における模式的断面図である。 本発明の一実施例に係るクリーニング装置に適用可能な高さ調節機構の一例を示す模式的断面図である。 図７の高さ調節機構を用いた高さ調節の一工程を示す模式的断面図である。 図８の高さ調節機構を示す模式的斜視図である。 図１に示すクリーニング装置のクリーニングローラの模式的断面図である。 本発明の一実施例に係るクリーニング装置に適用可能なユニット側端子を示す模式的斜視図である。 本発明の一実施例に係るクリーニング装置に適用可能なホルダ側端子を示す模式的斜視図である。 本発明の一実施例に係るクリーニング装置に適用可能な電圧印加機構を示す模式的断面図である。 対象物、ブラシ及び異物の帯電列を示す図である。 ブラシローラユニットにおけるブラシローラの印加電圧の最適化の実験方法を説明するための模式図である。 ブラシローラの印加電圧に対する異物の吸着幅の測定結果を示すグラフである。 クリーニング性能の確認結果を示す対象物表面の撮像結果である。 クリーニング性能の確認結果を示す対象物表面の撮像結果である。 クリーニング性能の確認結果を示す対象物表面の撮像結果である。

以下、本発明に係るクリーニング装置及びクリーニング方法の一例について、適宜図面を参照しつつ詳説する。本発明の具体的な構成及び細部については、本発明の本質を利用する範囲内で適宜変更できることは言うまでもない。

図１及び図２に示す当該クリーニング装置は、平板状の対象物Ｓを搬送方向Ｄに搬送しつつその表面（表側表面Ｓ１及び裏側表面Ｓ２）の異物を除去するものである。当該クリーニング装置は、ホルダ１と、外部搬送機構（上流側外部搬送機構２Ａ及び下流側外部搬送機構２Ｂ）と、クリーニング機構３とを主に備えている。また、当該クリーニング装置は、後述するブラシローラ４１、クリーニングローラ５１等に電圧の印加等を行う電圧印加機構（図１及び図２では省略）を備えている。さらに、当該クリーニング装置は、外部搬送機構、クリーニング機構３及び電圧印加機構を制御する制御機構を備えている。この制御機構は、従来公知の種々のものを採用でき、例えばパーソナルコンピューター等から構成することができる。

〔対象物〕
対象物Ｓは、図２では平板状の部材であるが、板状又はフィルム状の部材であれば特に制限はない。具体的には、対象物の表面は、図２に示すように平坦であってもよいが、窪みが存在していてもよい。さらに、対象物には、孔等が存在していてもよい。

板状の対象物としては、例えばＦＰＤのガラス基板や、樹脂基板や、電子部品搭載用プリント基板や、積層セラミックコンデンサ等を形成するためのセラミックグリーンシートや、樹脂薄板等が挙げられる。フィルム状の対象物としては、例えば樹脂フィルム等が挙げられる。

対象物の平均厚さは、特に限定されるものではないが、その下限としては、３０μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。対象物の平均厚さが上記下限に満たないと、対象物を搬送し難くなるおそれがある。一方、対象物の平均厚さの上限としては、例えば５ｍｍである。

［ホルダ］
ホルダ１は、クリーニング機構３を保持するものである。このホルダ１は、対向する一対の板状部材１０の間を複数のロッド１１及びシャフト１２により連結したものである。

［外部搬送機構］
外部搬送機構は、対象物Ｓに搬送のための推進力を付与するものであり、クリーニング機構３の外部に設けられる。この外部搬送機構は、クリーニング機構３よりも搬送方向上流側に配置される上流側外部搬送機構２Ａと、クリーニング機構３よりも搬送方向下流側に配置される下流側外部搬送機構２Ｂとを有する。この外部搬送機構による対象物Ｓの搬送速度は、クリーニング機構３により対象物Ｓから異物を除去できる範囲であれば特に制限はない。対象物Ｓの搬送速度の下限としては、５ｍ／ｍｉｎが好ましく、１０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、対象物Ｓの搬送速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、２０ｍ／ｍｉｎがより好ましい。対象物Ｓの搬送速度が上記下限に満たないと、異物除去に要する時間が長くなり、異物の除去効率が低下するおそれがある。逆に、対象物Ｓの搬送速度が上記上限を超えると、クリーニング機構３により対象物Ｓの表面の異物を十分に除去できなくなるおそれがある。

＜上流側外部搬送機構＞
上流側外部搬送機構２Ａは、対象物Ｓをクリーニング機構３に搬入するものであり、複数のベルト搬送部２０Ａを有している。ベルト搬送部２０Ａは、搬送方向Ｄに沿って離間して配置される一対のローラ２１Ａの間に無端ベルト２２Ａが巻き掛けられたものである。一対のローラ２１Ａのうち、一方は回転力が付与される駆動ローラであり、他方は駆動ローラの回転により無端ベルト２２Ａと共に回転する従動ローラである。複数のベルト搬送部２０Ａは、搬送方向Ｄに直交する水平方向（以下、「搬送幅方向」ともいう）に一定間隔で配置されている。

＜下流側外部搬送機構＞
下流側外部搬送機構２Ｂは対象物Ｓをクリーニング機構３から搬出するものであり、複数のベルト搬送部２０Ｂを有している。ベルト搬送部２０Ｂは、上流側外部搬送機構２Ａの複数のベルト搬送部２０Ａと同様な構成とされている。すなわち、複数のベルト搬送部２０Ｂは、搬送方向Ｄに沿って離間して配置される駆動ローラ及び従動ローラにより構成される一対のローラ２１Ｂの間に無端ベルト２２Ｂが巻き掛けられたものである。複数のベルト搬送部２０Ｂも搬送幅方向に一定間隔で配置されている。

［クリーニング機構］
クリーニング機構３は、対象物Ｓの表側表面Ｓ１及び裏側表面Ｓ２の両面のクリーニングが可能な機構であり、表側クリーニング機構３Ａ及び裏側クリーニング機構３Ｂを有している。

＜表側クリーニング機構＞
表側クリーニング機構３Ａは、搬送される対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を除去するユニットである。この表側クリーニング機構３Ａは、表側ブラシローラユニット４、表側クリーニングローラユニット５及び裏側対向ローラユニット６を有している。当該クリーニング装置は、工場等の床面の基台上に設置されるホルダ１に、表側ブラシローラユニット４及び表側クリーニングローラユニット５が着脱可能に装着される。ホルダ１は、上記基台上にネジ等の固着具により固定されていてもよいが、固着具を用いず移動可能な状態で載置されていることが好ましい。表側ブラシローラユニット４及び表側クリーニングローラユニット５は、搬送される対象物Ｓの上方（搬送経路の上方）に配設され、ホルダ１に着脱可能に保持される。

〔表側ブラシローラユニット〕
表側ブラシローラユニット４は、筐体４０に収容されたブラシローラ４１により対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を除去するユニットであり、ミリサイズの比較的大きな異物の除去に好適である。この表側ブラシローラユニット４の筐体４０には、ブラシローラ４１の他に、回収ローラ４２、ブレード４３、異物回収部４４及び搬送ローラ４５が収容され、全体がユニット化されている。このように表側ブラシローラユニット４がホルダ１に着脱可能にユニット化されることで、表側ブラシローラユニット４をホルダ１から容易に取り外すことができる。その結果、対象物Ｓや異物の種類にあわせてブラシローラ４１を交換する必要がある場合にユニットごと交換することができるため、効果的な異物の除去を簡便に行うことができる。また、表側ブラシローラユニット４をホルダ１から取り外すことで、ブラシローラ４１に対向する後述の対向金属ローラ６０を露出させて交換や洗浄を容易に行えるため、メンテナンス性に優れる。加えて、筐体４０に収容されるブラシローラ４１等に関しても、ホルダ１に組み込み固定する場合に比べて、メンテナンスが容易となる。

（筐体）
筐体４０は、ブラシローラ４１等を収容してユニット化し、ホルダ１に着脱可能とするものである。この筐体４０は、搬送面に略垂直となるように対向して配設される上流板及び下流板と、上流板及び下流板の側端部同士を接続する一対の側板と、上流板、下流板及び一対の側板の上端部に接続される天板と、上流板、下流板及び一対の側板の下端部に接続される底板とを有する。天板には、幅方向において離間している一対の把持部４０Ａが設けられている。一対の把持部４０Ａは、表側ブラシローラユニット４の着脱時に利用されるものである。底板には開口部４０Ｂが設けられ、この開口部４０Ｂから後述するブラシローラ４１のブラシ毛４１Ｃの先端部が突出している。なお、筐体４０を構成する材料としては、特に制限はないが、例えばステンレス等が挙げられる。

（ブラシローラ）
ブラシローラ４１は、搬送される対象物Ｓに当接して表側表面Ｓ１の異物、特に比較的大きな異物（例えばミリサイズの異物）を除去する表側の第１のブラシローラである。このブラシローラ４１は、上記電圧印加機構により帯電した状態で外部駆動源からの動力により搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向Ｄに対して逆回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動される。なお、ブラシローラ４１は、帯電状態で搬送方向Ｄに対して逆回り方向に回転駆動することが好ましいが、非帯電状態で回転駆動してもよい。

このようなブラシローラ４１は、図３に示すように円柱状の芯棒４１Ａと、芯棒４１Ａの外周面に接着層４１Ｂを介して植設される複数のブラシ毛４１Ｃとを有する。

芯棒４１Ａは、例えば金属、カーボン材、合成樹脂複合材等の導電性を有する材料により形成される。上記導電性を有する材料の体積抵抗率の上限としては、例えば１０^５Ωｃｍである。この芯棒４１Ａには、後述する電圧印加機構により電圧が印加される。また、芯棒４１Ａに印加される電圧は、後述する表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１よりも同極性かつ絶対値が大きくなるように設定される。

芯棒４１Ａに印加される電圧の下限としては、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

ブラシ毛４１Ｃとしては、物理的に異物が付着し易いものが好ましく、例えば合成樹脂繊維製のものが挙げられる。また、ブラシ毛４１Ｃとしては、対象物Ｓの表側表面Ｓ１に付着する異物を吸着するための電荷を帯電し得るものが好ましく、例えばカーボンブラック、炭素繊維、金属粉、金属ウィスカ等の導電性材料を含有する合成樹脂繊維製のものが好適に使用できる。

ブラシ毛４１Ｃの断面形状は特に限定されるものではなく、例えば円形状、楕円形状、星型形状等が挙げられる。また、ブラシ毛４１Ｃの外形も特に限定されるものではなく、例えば直線状、波曲線形状、曲線と直線とが組み合わされて構成された形状等が挙げられる。なお、ブラシ毛４１Ｃは、表面積が大きいほど異物を吸着し易くなる。そのため、ブラシ毛４１Ｃとしては、表面積を大きく確保できる断面形状が異形状のもの、例えば星型形状のものを用いることができる。

ブラシローラ４１は、対象物Ｓの搬送方向Ｄに対して逆回り方向となるよう回転駆動されることにより、対象物Ｓの表側表面Ｓ１に付着の異物を掻き起こしてブラシ毛４１Ｃに付着させることができる。また、ブラシローラ４１に電圧を印加して帯電させることで、電界の力による吸着力を作用させ、効果的に対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物をブラシ毛４１Ｃに吸着させることができる。特に、ブラシローラ４１を帯電させることで、対象物Ｓに孔や表面の窪みが存在する場合においても、上記孔や窪みの中にある異物を効率的に除去することができる。さらに、上記範囲の電圧を芯棒４１Ａに印加することで、比較的大きな異物を対象物Ｓの表側表面Ｓ１からより効果的にブラシローラ４１に吸着させることができる。

さらに、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１は、ブラシ毛４１Ｃを有すること、搬送方向Ｄに対して逆回り方向に回転すること、及びクリーニングローラ５１よりも同極性かつ絶対値の大きい電圧が印加されることで、ミリオーダーの比較的大きな異物を対象物Ｓの表側表面Ｓ１から除去することができる。

ブラシローラ４１の対象物Ｓへの平均圧接量の下限としては、０．３ｍｍが好ましく、０．５ｍｍがより好ましい。一方、上記平均圧接量の上限としては、１．５ｍｍが好ましく、１ｍｍがより好ましい。上記平均圧接量が上記下限未満であると、対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、上記平均圧接量が上記上限を超えると、ブラシ毛４１Ｃと対象物Ｓの表側表面Ｓ１との間の抵抗が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがある共に対象物Ｓの表側表面Ｓ１を傷付けるおそれがある。なお、「圧接量」とは、対象物Ｓへのブラシ毛４１の食い込み量であり、ブラシ毛４１Ｃの平均長さから、芯棒４１Ａの表面と対象物Ｓの表側表面Ｓ１との最小距離を差分した値を意味する。

ブラシローラ４１の周速度の下限としては、１ｍ／ｍｉｎが好ましく、２ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、ブラシローラ４１の周速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、１５ｍ／ｍｉｎがより好ましい。ブラシローラ４１の周速度が上記下限に満たないと、対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、ブラシローラ４１の周速度が上記上限を超えると、ブラシ毛４１Ｃと対象物Ｓの表側表面Ｓ１との間の抵抗が大きくなるため、対象物Ｓの搬送速度が低下するおそれがあると共に対象物Ｓの表側表面Ｓ１が傷付くおそれがある。また、対象物Ｓの搬送速度Ｗに対するブラシローラ４１の周速度Ｂの比率（Ｂ／Ｗ）の上限は、２５％が好ましい。対象物Ｓの搬送速度Ｗに対しブラシローラ４１の周速度Ｂが大きすぎると、比較的大きな異物をブラシローラ４１により掻き起こすのが困難となるおそれがある。

（回収ローラ）
回収ローラ４２は、ブラシローラ４１と略平行かつブラシ毛４１Ｃと当接し、このブラシ毛４１Ｃに付着した異物を回収する表側の第１の回収ローラである。この回収ローラ４２は、ブラシローラ４１よりも小径であり、ブラシローラ４１の上方においてブラシローラ４１よりも搬送方向上流側に配置されている。このように配置することにより、後述するブレード４３で掻き取られた異物が回収ローラ４２等の部材に再付着するなどの悪影響を低減できる。

回収ローラ４２は、図４に示すように、導電性材料により形成されるローラ本体４２Ａと、その外周面に積層される耐食性層４２Ｂとを備える。ローラ本体４２Ａの材質としては、導電性材料であれば特に限定されないが、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料や、合成樹脂に導電性フィラー等の導電材料を配合した導電性樹脂材料などが挙げられ、これらの中で金属材料が好ましい。耐食性層４２Ｂとしては、ニッケルメッキや金メッキ等のメッキ処理により形成される金属メッキ層とすることができる。但し、回収ローラ４２としては、全体がステンレス等の酸化し難い導電性材料により形成され、耐食性層４２Ｂを有さないものを用いてもよい。

この回収ローラ４２は、上記電圧印加機構により帯電した状態で、外部駆動源からの動力によりブラシローラ４１に対して逆回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動される。このように回収ローラ４２の回転方向をブラシローラ４１に対して逆回り方向とすることで、異物の回収効率が高めることができる。ブラシローラ４１の回転速度に対する回収ローラ４２の回転速度の倍率の下限としては、１．０倍が好ましい。一方、上記回転速度の倍率の上限としては、１．５倍が好ましい。これにより、ブラシローラ４１から回収ローラ４２に効果的に異物を移動させることができる。但し、回収ローラ４２の回転方向は、ブラシローラ４１に対して順回り方向であってもよい。

回収ローラ４２への印加電圧は、ブラシローラ４１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。回収ローラ４２への印加電圧とブラシローラ４１への印加電圧の差の絶対値の下限としては、２００Ｖが好ましく、３００Ｖがより好ましい。一方、上記差の絶対値の上限としては、６００Ｖが好ましく、５００Ｖがより好ましい。また、回収ローラ４２への印加電圧の下限としては、－１，５００Ｖが好ましく、－１，２００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－４００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。回収ローラ４２への印加電圧をブラシローラ４１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにすることで、回収ローラ４２の外周面の電位がブラシローラ４１のブラシ毛４１Ｃの電位に対して同極性かつ絶対値が高くなるので、ブラシローラ４１に付着した異物を回収ローラ４２の外周面に吸着させることができる。特に、回収ローラ４２とブラシローラ４１との印加電圧の差を上記範囲とし、さらに回収ローラ４２への印加電圧を上記範囲とすることで、ブラシローラ４１に付着した異物を回収ローラ４２の外周面に効果的に吸着させることができる。回収ローラ４２の電気抵抗の上限としては、１０^８Ωが好ましい。回収ローラ４２の電気抵抗を１０^８Ω以下とすることで、回収ローラ４２に表面処理を行った場合や、被膜を形成した場合においても、電圧の印加によって効果的に帯電させることができる。

（ブレード）
ブレード４３は、回収ローラ４２から異物を掻き取って除去する第１のブレードである。このブレード４３は、例えば弾性を有する矩形板状部材である。

このブレード４３は、先端部が自由端とされていると共に、根元部がブレード支持部４３ａに固定されている。ブレード４３の自由端である先端部は、回収ローラ４２の軸方向に亘って回収ローラ４２の外周面に当接している。ブレード４３は、傾斜した状態で回収ローラ４２の外周面に当接していることが好ましい。ブレード４３及び回収ローラ４２の接点において、ブレード４３と回収ローラ４２の外周の仮想接線との傾斜角の下限としては、５°が好ましく、１５°がより好ましい。一方、上記傾斜角の上限としては、３０°が好ましく、２５°がより好ましい。上記角度が上記下限未満の場合、圧接力の不足によってブレード４３で異物を十分に掻き落とすことができず、ブレード４３をすり抜けた異物が対象物Ｓに再付着してしまう再転写現象が生じるおそれがある。一方、上記傾斜角が上記上限を超える場合、回収ローラ４２の回転に巻き込まれてブレード４３がめくれるおそれがある。従って、上記傾斜角が上記範囲となるようにブレード４３を回収ローラ４２に当接させることで、回収ローラ４２から効果的に異物を掻き落とすことができる。また、ブレード４３は、回収ローラ４２よりも搬送方向上流側、すなわち搬送ローラ４５の上方に配置されている。これにより、搬送ローラ４５の上方のスペースを有効に活用することができ、表側ブラシローラユニット４を小型化することができる。また、後述の異物回収部４４を搬送方向上流側に引き出す構成を採用し、利便性を向上することができる。

ブレード４３の材質としては、特に限定されないが、弾性を有するものが好ましく、合成樹脂がより好ましい。具体的には、適度な弾性を付与するため、例えば熱硬化性ポリウレタン等の合成樹脂により形成されているとよい。また、ブレード４３のうち少なくとも先端部は、当接する回収ローラ４２との摩擦軽減のため、フッ素樹脂等のフッ素含有化合物によりフッ素コーティングされていてもよい。フッ素コーティングの平均厚さの下限としては、５μｍが好ましい。一方、上記平均厚さの上限としては、１５μｍが好ましい。上記平均厚さが上記下限未満では摩擦軽減効果が十分に発現せず、ブレード４３が回収ローラ４２の回転に巻き込まれ易くなるおそれがある。一方、上記平均厚さが上記上限を超える場合、フッ素コーティングの割れが発生するおそれがある。なお、ブレード４３の形状は、図２の矩形板状に限定されず、根元部から先端部にかけて屈曲又は湾曲した形状であってもよい。

（異物回収部）
異物回収部４４は、ブレード４３によって回収ローラ４２から掻き落とされた異物を回収及び収容する第１の異物回収部である。この異物回収部４４は、ブレード４３の先端部の下方かつ、ブラシローラ４１よりも搬送方向上流側に配設されている。そして、異物回収部４４は、筐体４０の上流板の開口部に嵌め込まれ、この開口部から搬送方向上流側に引き出し可能とされている。異物回収部４４の上流側には、把持部４４Ａが設けられており、この把持部４４Ａを利用して異物回収部４４の出し入れが容易化されている。また、異物回収部４４は、搬送方向上流側に引き出すことが可能であるため、表側ブラシローラユニット４をホルダ１に固定した状態のまま引き出して異物を回収することができ、利便性に優れる。

（搬送ローラ）
搬送ローラ４５は、後述する裏側対向ローラユニット６の補助ローラ６２と共に、クリーニング機構３に搬入される対象物Ｓの移動をガイドするものである。また、搬送ローラ４５及び補助ローラ６２は、搬送方向Ｄに対して逆回りするブラシローラ４１の下方に対象物Ｓを適切な力で進入させるために、対象物Ｓに推進力を与えるための機能も有する。この搬送ローラ４５は、後述の裏側対向ローラユニット６の補助ローラ６２に対向して配置されている。搬送ローラ４５は、搬送方向Ｄに対して順回り方向（図２の反時計回り方向）に回転する。ここで、補助ローラ６２と搬送ローラ４５とで対象物Ｓを挟み込む力が強すぎる場合、異物が対象物Ｓに押し付けられて除去しにくくなるおそれや、対象物Ｓに傷を付けてしまうおそれがある。これらを考慮して、搬送ローラ４５は、補助ローラ６２を０．４９Ｎ程度の力で押圧するように配設されている。但し、上記押圧力は、対象物Ｓの材質や厚み等を考慮して適宜調整することができる。また、対象物Ｓの硬度が比較的高く、補助ローラ６２だけでブラシローラ４１の下方に進入させることができる場合は、当該クリーニング装置から搬送ローラ４５を省略することも可能である。

搬送ローラ４５は、図５及び６に示すように、芯軸４５Ａと、この芯軸４５Ａの外周に積層されるリング状部材であって、芯軸４５Ａの軸方向に沿って離間して配置されている複数の樹脂部４５Ｂとを備える。樹脂部４５Ｂは、図５及び６に示すように、外周面に凹凸を有する。このように、外周面に凹凸を有する複数の樹脂部４５Ｂが離間して配置されていることで、搬送ローラ４５と対象物Ｓの表側表面Ｓ１との接触面積を小さくすることができる。その結果、クリーニング機構３に対象物Ｓが搬入される際に搬送ローラ４５と補助ローラ６２との間に対象物Ｓが詰まることを抑制できる。

芯軸４５Ａは、例えばステンレス、銅、アルミニウム等の金属により形成されている。樹脂部４５Ｂは、例えばポリウレタン等により形成されている。このポリウレタンとしては、例えばアクリル混合ウレタン、フッ素混合ウレタン等が挙げられる。ここで、「アクリル混合ウレタン」とは、ポリエステルポリウレタン又はポリエーテルポリウレタンを主成分とする樹脂であって、（１）熱可塑性ポリウレタン及びシリコン・アクリル共重合樹脂の混合物、（２）アクリル樹脂（例えばメタクリル酸－メタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）及び熱可塑性ポリウレタンからなる混合物、又は（３）アクリル樹脂、ポリウレタン及びフッ素系表面コーティング剤からなる混合物を意味する。「フッ素混合ウレタン」とは、ポリウレタンを主成分とする樹脂で、熱可塑性ポリウレタンにウレタン・フッ素共重合体を混合したものを意味する。「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば５０質量％以上含有される成分である。

（高さ調節機構）
表側ブラシローラユニット４は、高さ調節機構により高さ調節が可能に構成されているとよい。このように、高さ調節機構により表側ブラシローラユニット４の高さ調節を可能とすることで、対象物Ｓに対するブラシローラ４１の圧接量を調節し、ブラシローラ４１による比較的大きな異物の除去をより効率的に行うことができる。

図７～９に、ホルダ１の板状部材１０に、表側ブラシローラユニット４の高さ調節機構を介して表側ブラシローラユニット４を配設した状態の一例を示す（ホルダ１、高さ調節機構及び表側ブラシローラユニット４の筐体４０の天板１０３以外の部材は図示略）。図７～９の高さ調節機構は、ホルダ１の板状部材１０に固定されている略板状の固定部材１０１と、この固定部材１０１の上面に載置され、搬送方向Ｄに沿った水平移動、及び上下移動が可能なスライド部材１０２と、固定部材１０１を被覆するカバー１０４とを主に備える。表側ブラシローラユニット４の天板１０３は、スライド部材１０２によって長手方向端部が支持され、スライド部材１０２に伴って上下移動する。図７～９の高さ調節機構には、板状部材１０に固定され、スライド部材１０２等の垂直位置を測定可能なゲージや、スライド部材１０２の水平位置を固定するための調整具をさらに設けてもよい。図７は、表側ブラシローラユニット４の高さが最小となるように調節した状態を示す。図８及び９は、表側ブラシローラユニット４の高さが最大になるように調節した状態を示す。

固定部材１０１の上面の一部には、搬送方向Ｄの略中央付近から下流側（図７及び８では右側）にかけて高さが漸増する斜面が形成されている。一方、スライド部材１０２は、上面が略水平面となっているが、下面の一部には搬送方向Ｄの略中央付近から下流側にかけて高さが漸増する斜面が形成されている。固定部材１０１の上面の斜面と、スライド部材１０２の下面の斜面とは、同一の勾配を有し、突き合わされている。そのため、スライド部材１０２を搬送方向Ｄに沿って水平移動させることで、スライド部材１０２の上面を略水平面状態に維持しつつ高さを上下させることができる。これにより、スライド部材１０２によって支持されている天板１０３の高さ（天板１０３の上面と板状部材１０の上端との距離Ｌ１及びＬ２）を変更し、この天板１０３の高さ変更によって表側ブラシローラユニット４を所望の高さに調節することができる。

図７～９の高さ調節機構では、スライド部材１０２の比較的大きな水平移動を天板１０３の比較的微細な上下移動に無段階で変換することができるため、対象物Ｓの種類や厚みに応じてブラシローラユニット４の高さを無段階で微調節することができる。また、図７～９の高さ調節機構は、ホルダ１の上端付近に配設できるため、ホルダ１の空間を有効活用できると共に、高さ調節時の作業性に優れる。

但し、ブラシローラユニット４の高さ調節機構の方式や構造等は、図７～９に制限されない。他の高さ調節の方法としては、例えばホルダ１におけるブラシローラユニット４の固定部に所定の高さのスペーサを配置する方法や、表側ブラシローラユニット４に突出部を設けると共に、この突出部と嵌合するレール状部材をホルダ１に上下方向に沿って配置し、無段階に表側ブラシローラユニット４の取り付け高さを調節できるようにする方法等が挙げられる。

〔表側クリーニングローラユニット〕
表側クリーニングローラユニット５は、筐体５０に収容されたクリーニングローラ５１により対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物を除去するユニットである。この表側クリーニングローラユニット５の筐体５０には、クリーニングローラ５１の他に、ブラシローラ５２、回収ローラ５３、ブレード５４及び異物回収部５５が主に収容され、全体がユニット化されている。表側クリーニングローラユニット５は、ミリサイズよりも小さい微細な異物の除去に好適であり、表側ブラシローラユニット４よりも搬送方向下流側の隣接した位置に、ホルダ１に着脱可能に配設されている。ここで、クリーニングローラ５１は、微細な異物を効果的にその表面に移動させるために、後述する対向樹脂ローラ６１と共に対象物Ｓの両面から圧力を加えるように設定されている。従って、もしも表側クリーニングローラユニット５を表側ブラシローラユニット４の上流側に配置した場合、クリーニングローラ５１が比較的大きな異物を対象物Ｓに押し付けて圧着し、ブラシローラ４１によっても上記異物を除去しきれないおそれがある。そのため、表側クリーニングローラユニット５は、表側ブラシローラユニット４の下流側に配置することが好ましい。

このように表側クリーニングローラユニット５がホルダ１に着脱可能にユニット化されることで、表側クリーニングローラユニット５をホルダ１から容易に取り外すことができる。その結果、対象物Ｓや異物の種類に対応してクリーニングローラ５１を変更する必要がある場合にユニットごと交換することができるため、効果的な異物の除去を簡便に行うことができる。また、表側クリーニングローラユニット５をホルダ１から取り外すことで、クリーニングローラ５１に対向する後述の対向樹脂ローラ６１等を露出させて交換や洗浄を容易に行えるため、メンテナンス性に優れる。加えて、筐体５０に収容されるクリーニングローラ５１等に関しても、筐体５０に収容してユニット化することで、装置に組み込み固定する場合に比べてメンテナンスが容易となる。

（筐体）
筐体５０は、クリーニングローラ５１等を収容してユニット化し、ホルダ１に着脱可能とするものである。この筐体５０は、表側ブラシローラユニット４と同様に、上流板、下流板、一対の側板、天板及び底板を有する。天板には、搬送幅方向に離間している一対の把持部５０Ａが設けられている。一対の把持部５０Ａは、表側クリーニングローラユニット５の着脱時に利用されるものである。底板には開口部５０Ｂが設けられ、この開口部５０Ｂからクリーニングローラ５１の一部が突出している。下流板は、上方から下方にかけて屈曲している。なお、筐体５０を構成する材料には、特に制限はなく、例えばステンレス等の金属が好適に用いられる。

（クリーニングローラ）
クリーニングローラ５１は、対象物Ｓの表側表面Ｓ１の異物、特に比較的微細な異物（例えばミリサイズよりも小さい異物）を除去するものであり、外周面が上記電圧印加機構により帯電した状態で搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向Ｄに対して順回り方向（図２の反時計回り方向）に回転駆動される。このクリーニングローラ５１は、図１０に示すように、芯棒５１Ａと、この芯棒５１Ａの外周面に形成される内層部５１Ｂと、この内層部５１Ｂの外周面を被覆する外層部５１Ｃとを有する弾性ローラである。

芯棒５１Ａは、導電性材料により円柱状に形成されている。芯棒５１Ａに用いる導電性材料としては、例えば金属材料等が挙げられ、具体的には表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２のローラ本体４２Ａと同様にステンレス、銅、アルミニウム等が挙げられる。

内層部５１Ｂは、クリーニングローラ５１及び後述する対向樹脂ローラ６１による対象物Ｓへの一定の押圧力やニップ幅を確保するものである。すなわち、内層部５１Ｂは、対象物Ｓに対する所望の密着力や接触幅を確保し、その表側表面Ｓ１からの比較的微細な異物の効率的な除去に寄与するものである。この内層部５１Ｂを形成する材料としては、弾性及び導電性を有している樹脂材料が好ましく、ポリウレタン、シリコーン樹脂、天然ゴム、合成ゴム等の樹脂成分とカーボンとを含有する樹脂材料がより好ましい。このポリウレタンとしては、上述の搬送ローラ４５の樹脂部４５Ｂのポリウレタンと同様のものが好適に用いられる。内層部５１Ｂを形成する材料としては、ポリエステル系ポリウレタン及びカーボンブラックを含有する導電性エラストマーがさらに好ましい。これらの材料により、クリーニングローラ５１の弾性が十分に確保され、クリーニングローラ５１によって対象物Ｓに異物が過度に押し付けられることを回避し、異物の除去効率の低下を抑制できる。

外層部５１Ｃは、対象物Ｓとの密着性や、適度な表面電位の付与を阻害することなく、クリーニングローラ５１の防汚性や耐摩耗性を確保しつつ、湿気等による悪影響を回避する役割を果たすものである。この外層部５１Ｃの材料としては、対象物Ｓの表側表面Ｓ１に付着した異物を電界の力により吸着するために帯電し得るものであればよく、例えばアクリル混合ポリウレタンやフッ素混合ポリウレタン等のポリウレタンや、シリコーン樹脂、天然ゴム、合成ゴムなどが挙げられ、これらの中でポリウレタンが好ましい。このように、外層部５１Ｃをポリウレタンで形成することで、シリコーン樹脂やブチルゴム等で形成する場合に比べて耐摩耗性が向上し、また可塑剤や低分子量化合物の添加によるクリーニングローラ５１の汚染を低減することができる。また、外層部５１Ｃは、内層部５１Ｂよりも硬度が高いことが好ましく、具体的にはＪＩＳ－Ａ硬度が５０°以上であることが好ましい。外層部５１ＣのＪＩＳ－Ａ硬度が５０°以上であることで、クリーニングローラ５１の耐摩耗性を十分に確保することができる。

外層部５１Ｃの材質としてアクリル混合ポリウレタンを用いることにより、マイナスに帯電した異物を対象物Ｓの表側表面Ｓ１から除去し易くなる。一方、外層部５１Ｃの材質としてフッ素混合ポリウレタンを用いることにより、クリーニングローラ５１をマイナスに帯電させ易くなり、プラスに帯電した異物を対象物Ｓから除去し易くなる。

なお、外層部５１Ｃの粘着力が強すぎると、対象物Ｓの厚みが薄い場合にクリーニングローラ５１が対象物Ｓを巻き込んでしまうおそれがある。そこで、クリーニングローラ５１の表面（外層部５１Ｃ）には、対象物Ｓの巻き込みを防止するために、微小突起が形成されていることが好ましい。この微小突起を形成する具体的な方法としては、外層部５１Ｃの形成に用いる熱可塑性ポリウレタン等の樹脂材料に上記微小突起の素となる粒子を配合する方法が好ましい。この粒子としては、定形粒子でも不定形粒子でもよいが、微小突起の突出形状を均一化させる観点から定形の球状粒子が好ましい。この球状粒子の平均粒子径の下限としては、２μｍが好ましく、２．５μｍがより好ましい。一方、上記平均粒子径の上限としては、５μｍが好ましく、４．５μｍがより好ましい。また、この球状粒子において、平均粒子径に係る標準偏差（σ）を平均粒子径で除すことで求められる変動係数（ＣＶ値）の下限としては、３．０％が好ましく、３．５％がより好ましい。一方、上記変動係数の上限としては、５．０％が好ましく、４．５％がより好ましい。ここで「平均粒子径」とは、レーザー回折・散乱法によって求められる体積平均粒子径（Ｍｖ）を意味している。

上記球状粒子は、熱可塑性ポリウレタンよりも硬質であることが好ましい。但し、上記球状粒子は、ガラスビーズやセラミックスビーズのように過度に硬質なものであると対象物Ｓを傷付けてしまうおそれがあるため、樹脂製のものが好ましい。この球状粒子を形成する硬質な樹脂としては、例えばメラミン樹脂やアクリル樹脂等が挙げられ、なかでもメラミン樹脂が好ましい。

外層部５１Ｃの平均厚さの下限としては、２μｍが好ましく、５μｍがより好ましい。一方、外層部５１Ｃの平均厚さの上限としては、５００μｍが好ましく、３００μｍがより好ましい。外層部５１Ｃの平均厚さが上記下限に満たないと、クリーニングローラ５１の表面を十分に帯電させることができず、異物の吸着効果が十分に得られないおそれがある。逆に、外層部５１Ｃの平均厚さが上記上限を超えると、異物を吸着するための良好な帯電特性が得られないおそれがある。

クリーニングローラ５１は、上記電圧印加機構によって帯電させられ、表面電位（表面電荷）が与えられる。すなわち、クリーニングローラ５１は、表面を帯電させた状態で対象物Ｓの表側表面Ｓ１に当接し、電界の力により対象物Ｓの表側表面Ｓ１に付着する比較的微細な異物を吸着して除去する。このように、クリーニングローラ５１を帯電させることで、対象物Ｓに孔や表面の窪みが存在する場合においても、上記孔や窪みの中にある異物を効率的に除去することができる。

クリーニングローラ５１への印加電圧は、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が低くなるようにする。クリーニングローラ５１への印加電圧の下限としては、例えば－４００Ｖであり、－２００Ｖが好ましい。一方、上記印加電圧は、例えば０Ｖ未満であり、－５０Ｖ以下が好ましい。このようにクリーニングローラ５１への印加電圧を表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が低くなるようにすることで、比較的微細な異物を対象物Ｓの表側表面Ｓ１から除去することができる。特に、クリーニングローラ５１への印加電圧を上記範囲とすることで、比較的微細な異物を対象物Ｓの表側表面Ｓ１から効率的に除去することができる。なお、クリーニングローラ５１の電気抵抗の上限としては、１０^８Ωが好ましい。クリーニングローラ５１の電気抵抗が１０^８Ω以下であることで、電圧を印加したときに効果的に帯電させることができる。

なお、クリーニングローラ５１は、微細な異物の回収効率を高めるために、対向樹脂ローラ６１との間で対象物Ｓに適切な圧力をかけられる高さに設定されていることが好ましい。クリーニングローラ５１及び対向樹脂ローラ６１によって対象物Ｓに加える圧力は、例えば線圧：２．４ｋｇ／２５０ｍｍとすることができる。ここで、２５０ｍｍは、本実施形態におけるクリーニングローラ５１の外層部５１Ｃの軸方向長さである。また、クリーニングローラ５１は、対向樹脂ローラ６１と共に、対象物Ｓに適切な推進力を与える機能も兼ねていている。これにより、搬送方向Ｄに対して逆回り方向に回転している後述の裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１の下方に対象物Ｓを進入させ易くなる。

（ブラシローラ）
ブラシローラ５２は、クリーニングローラ５１が対象物Ｓから除去した異物を回収する表側の第２のブラシローラであり、クリーニングローラ５１の直上においてクリーニングローラ５１に略平行かつ当接するよう配設されている。このブラシローラ５２は、帯電状態で、外部駆動源からの動力により、クリーニングローラ５１に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）に回転駆動される。このようなブラシローラ５２は、円柱状の芯棒５２Ａと、この芯棒５２Ａの外周面に接着層５２Ｂを介して植設される複数のブラシ毛５２Ｃとを有し（図３参照）、その詳細は表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１の芯棒４１Ａ及びブラシ毛４１Ｃと同様であるため、重複説明は省略する。また、ブラシローラ５２への印加電圧（芯棒５２Ａに印加される電圧）は、クリーニングローラ５１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。具体的なブラシローラ５２への印加電圧の下限としては、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１と同様に、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

（回収ローラ）
回収ローラ５３は、ブラシローラ５２がクリーニングローラ５１から回収した異物を回収する表側の第２の回収ローラであり、ブラシローラ５２の上方においてブラシローラ５２と略平行かつブラシ毛５２Ｃと当接するように配設される。この回収ローラ５３は、上記電圧印加機構により帯電した状態で、外部駆動源からの動力によりブラシローラ５２に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）に回転駆動される。回収ローラ５３の詳細は、上述の表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２と同様とすることができるため、重複説明は省略する。

回収ローラ５３への印加電圧は、ブラシローラ５２への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。回収ローラ５３への印加電圧とブラシローラ５２への印加電圧との差の絶対値の下限としては、２００Ｖが好ましく、３００Ｖがより好ましい。一方、上記差の絶対値の上限としては、６００Ｖが好ましく、５００Ｖがより好ましい。また、回収ローラ５３への印加電圧の下限としては、－１，５００Ｖが好ましく、－１，２００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－４００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。回収ローラ５３への印加電圧をブラシローラ５２への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにすることで、回収ローラ５３の外周面の電位がブラシローラ５２のブラシ毛５２Ｃの電位よりも同極性かつ絶対値が高くなるので、ブラシローラ５２に付着した異物を回収ローラ５３の外周面に吸着させることができる。特に、回収ローラ５３とブラシローラ５２との印加電圧の差を上記範囲とし、さらに回収ローラ５３への印加電圧を上記範囲とすることで、ブラシローラ５２に付着した異物を回収ローラ５３の外周面に効果的に吸着させることができる。

回収ローラ５３は、ブラシローラ５２よりも搬送方向下流側に配置されている。これにより、回収ローラ５３がブラシローラ５２よりも小径であっても、後述するブレード５３によって搬送方向下流側に異物を掻き落とすことができ、ブラシローラ５２への異物の再吸着を抑制できる。

回収ローラ５３の回転方向は、ブラシローラ５２に対して順回り方向及び逆回り方向のいずれの方向であってもよく、後述するブレード５４により外周面から異物を回収し易い回転方向とするとよい。本実施形態では、回収ローラ５３の回転方向は、図２に示すようにブラシローラ５２に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）とされ、ブレード５４による異物の回収効率が高められている。ブラシローラ５２の回転速度に対する回収ローラ５３の回転速度の倍率の下限としては、１．０倍が好ましい。一方、上記回転速度の倍率の上限としては、１．５倍が好ましい。これにより、ブラシローラ５２から回収ローラ５３に効果的に異物を移動させることができる。

（ブレード）
ブレード５４は、回収ローラ５３から異物を掻き取る第２のブレードである。このブレード５４及びこれを支持するブレード支持部５３ａの詳細は、上述の表側ブラシローラユニット４のブレード４３及びブレード支持部４３ａと同様である。

（異物回収部）
異物回収部５５は、ブレード５４によって回収ローラ５３から掻き落とされた異物を回収及び収容するものである。この異物回収部５５は、ブレード５４の先端部の下方かつ、ブラシローラ５２よりも搬送方向下流側に配設されている。そして、異物回収物５５は、筐体５０の下流板の開口部に嵌め込まれ、この開口部を介して搬送方向下流側に引き出し可能とされている。異物回収部５５の下流側には把持部５５Ａが設けられており、この把持部５５Ａを利用して異物回収部５５の出し入れが容易化されている。また、異物回収部５５は搬送方向下流側に引き出すことが可能であるため、クリーニングローラユニット５をホルダ１に固定した状態のまま引き出して異物を回収することができるという点で利便性に優れる。

（高さ調節機構）
表側クリーニングローラユニット５は、高さ調節機構により高さ調節が可能に構成されているとよい。このように、高さ調節機構で表側クリーニングローラユニット５の高さを調節することで、対象物Ｓに対するクリーニングローラ５１の押圧力（ニップ幅）を調節し、その結果、微細な異物の除去を効率良く行うことができる。

表側クリーニングローラユニット５の高さ調節機構の具体例としては、例えば表側ブラシローラユニット４の高さ調節機構として例示したものと同様の機構等を用いることができる。

上述の通り、表側ブラシローラユニット４及び表側クリーニングローラユニット５は、いずれも着脱可能であるため、ユニットごとに独立して高さ調節機構を設けることが可能である。そのため、当該クリーニング装置は、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１よる対象物Ｓへの最適な圧接条件と、表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１による対象物Ｓへの最適な圧接条件とが異なる場合においても、それぞれの圧接状態を最適化することができる。

〔裏側対向ローラユニット〕
裏側対向ローラユニット６は、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１及び表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１と共に対象物Ｓの搬送経路を規定するものであり、対象物Ｓの裏側（搬送経路の下方）に配設されている。この裏側対向ローラユニット６は、裏側の第１の対向ローラである対向金属ローラ６０及び裏側の第２の対向ローラである対向樹脂ローラ６１からなる一対の対向ローラと補助ローラ６２とを主に備えている。裏側対向ローラユニット６は、メンテナンス性の観点から、ホルダ１に着脱可能に装着されていることが好ましい。

ここで、対象物Ｓに対するブラシローラ４１のブラシ毛４１Ｃの圧接量を正確に制御するためには、対象物Ｓをその下面で保持する第１の対向ローラの硬度が高い方が有利である。そのため、対向金属ローラ６０が比較的硬質な金属ローラであることで、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１のブラシ毛４１Ｃを対象物Ｓに適切に当接させてその表側表面Ｓ１から比較的大きな異物を効果的に除去することができる。一方、クリーニングローラ５１は、微細な異物を効率よくその表面に吸着させるために、第２の対向ローラとの間で対象物Ｓに適切な圧力をかける必要があるが、圧力をかけすぎると異物を対象物Ｓに圧着することで回収を困難にするおそれがある。従って、第２の対向ローラとしては、例えば金属のような硬度の高いローラは適しておらず、クリーニングローラ５１とほぼ同等の硬度を有する樹脂ローラであることが好ましい。そのため、対向樹脂ローラ６１が弾性を有する樹脂ローラ（弾性ローラ）であることで、表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１との間で対象物Ｓに適切な圧力をかけて密着性を高めると共に、好適なニップ幅を確保できるため、クリーニングローラ５１によって対象物Ｓの表側表面Ｓ１から微細な異物を効率的に除去することができる。

（対向金属ローラ）
対向金属ローラ６０は、対象物Ｓを介して表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１に対向し、かつ対象物Ｓに当接するようにブラシローラ４１の直下に配設されている第１の裏側対向ローラである。この対向金属ローラ６０は、対象物Ｓの搬送方向Ｄに対して順回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動されている。すなわち、対向金属ローラ６０は、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１に対して逆回り方向に回転駆動されている。対向金属ローラ６０の詳細は、表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２と同様である。但し、対向金属ローラ６０は上記電圧印加機構により電気的に接地され、これにより、ブラシローラ４１が帯電されている場合に異物の除去に好適な電界を生じさせることができる。

対向金属ローラ６０の表面には、対象物Ｓの裏側表面Ｓ２に傷を付けることを防止するために、ウレタン樹脂等がコーティングされていてもよい。対向金属ローラ６０に表面処理を行った場合や被膜を形成した場合、対向金属ローラ６０の電気抵抗は、１０^８Ω以下であることが好ましい。対向金属ローラ４２の電気抵抗が１０^８Ω以下であることで、対向金属ローラ４２を電気的に接地し易くなる。

上述のとおり、ブラシローラ４１は、対象物Ｓへのブラシの食い込み量が正確に制御されている必要がある。このためには、ブラシローラ４１に対向する第１の裏側対向ローラが安定して対象物Ｓを支持する必要がある。従って、第１の裏側対向ローラとしては、硬度が高いものが好ましく、具体的には本実施形態のように対向金属ローラ６０が好ましい。但し、第１の裏側対向ローラは必ずしも金属ローラである必要はなく、対象物Ｓへのブラシの食い込み量を制御できる範囲で硬度の高い導電性樹脂ローラなどを用いてもよい。

（対向樹脂ローラ）
対向樹脂ローラ６１は、対象物Ｓを介して表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１に対向し、対象物Ｓに当接するようにクリーニングローラ５１の直下に配設されている。この対向樹脂ローラ６１は、対象物Ｓの搬送方向Ｄに対して順回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動されている。すなわち、対向樹脂ローラ６１は、クリーニングローラ５１に対して順回り方向に回転駆動されている。対向樹脂ローラ６１の詳細は、表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１とほぼ同様である。但し、対向樹脂ローラ６１の外層部の形成においては、微小突起の形成のために用いる微小突起の素となる粒子として、酸化チタン、チタン酸バリウム等を配合することが好ましい。上記粒子として酸化チタン、チタン酸バリウム等を用いることで、微小突起の密度が粗くなり、対象物Ｓを適切に搬送することができるようになる。また、対向樹脂ローラ６１は上記電圧印加機構により電気的に接地されており、帯電されたクリーニングローラ５１との間に異物の除去に好適な電界を生じさせることができる。

上述のとおり、クリーニングローラ５１は、微細な異物の回収効率を高めるために、対向樹脂ローラ６１との間で対象物Ｓに適切な圧力をかけるように設定される。この圧力は、低すぎると、クリーニングローラ５１と対向樹脂ローラ６１とで、対象物Ｓを裏側ブラシユニット７のブラシローラ７１に突入させるための推進力を十分与えることができなくなるおそれがあり、高すぎると異物が対象物Ｓに押し付けられて固着し、回収できなくなるおそれがある。そのため、この圧力を調整するために、弾性体などを用いて、対向樹脂ローラ６１をクリーニングローラ５１の方向に押圧できる構造としてもよい。

（補助ローラ）
補助ローラ６２は、上流側外部搬送機構２Ａによりクリーニング機構３に搬入される対象物Ｓの移動を表側ブラシローラユニット４の搬送ローラ４５と共にガイドするものである。この補助ローラ６２の層構造等は、対向樹脂ローラ６１と同様とすることができる。

＜裏側クリーニング機構＞
裏側クリーニング機構３Ｂは、対象物Ｓの裏側表面Ｓ２の異物を除去するものである。この裏側クリーニング機構３Ｂは、概ね表側クリーニング機構３Ａの上下を反転させた構成とされており、裏側ブラシローラユニット７、裏側クリーニングローラユニット８及び表側対向ローラユニット９を有している。

〔裏側ブラシローラユニット〕
裏側ブラシローラユニット７は、ブラシローラ７１により対象物Ｓの裏側表面Ｓ２の異物を除去するものであり、対象物Ｓの裏側（搬送経路の下方）において表側クリーニング機構３Ａの裏側対向ローラユニット６よりも搬送方向下流側に隣接して配設されている。この裏側ブラシローラユニット７は、ブラシローラ７１、回収ローラ７２及びブレード７３を主に備えており、その基本構成は上述の表側クリーニング機構３Ａの表側ブラシローラユニット４と同様である。但し、裏側ブラシローラユニット７は、表側ブラシローラユニット４と比較し、搬送ローラ４５及び異物回収部４４に相当する部材が設けられていない点等で異なっている。なお、裏側ブラシローラユニット７に搬送ローラ４５に相当する部材が設けられていない理由は、ブラシローラ７１が搬送方向Ｄに対して逆回り方向に回転駆動されているものの、ブラシローラ７１よりも搬送方向上流に配置されているクリーニングローラ５１と対向樹脂ローラ６１とが、ブラシローラ７１の下方への進入のために適切な推進力を対象物Ｓに与えているからである。また、裏側ブラシローラユニット７は、異物回収部４４に相当する部材が設けられていないが、その底部が開口していることによりユニット外に異物を排出することができる。裏側ブラシローラユニット７から排出された異物は、後述する裏側クリーニングローラユニット８から排出された異物と共に、ホルダ１の最下部に設けられた異物回収部１３により回収される。裏側ブラシローラユニット７は、メンテナンス性の観点から、ホルダ１に着脱可能に装着されていることが好ましい。

（ブラシローラ）
ブラシローラ７１は、上記電圧印加機構により帯電した状態で対象物Ｓの裏側表面Ｓ２に当接し、対象物Ｓの搬送方向Ｄに対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）に回転駆動されることで、対象物Ｓの裏側表面Ｓ２におけるミリサイズの比較的大きな異物を除去する裏側の第１のブラシローラである。このようなブラシローラ７１は、円柱状の芯棒７１Ａと、この芯棒７１Ａの外周面に接着層７１Ｂを介して植設される複数のブラシ毛７１Ｃとを有し（図３参照）、その詳細は表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１の芯棒４１Ａ及びブラシ毛４１Ｃと同様であるため重複説明は省略する。また、ブラシローラ７１への印加電圧（芯棒７１Ａに印加される電圧）は、後述の裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。具体的なブラシローラ７１への印加電圧の下限としては、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１と同様に、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

（回収ローラ）
回収ローラ７２は、ブラシローラ７１が対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から除去した異物を回収する裏側の第１の回収ローラであり、ブラシローラ７１よりも下方においてブラシローラ７１と略平行かつブラシ毛７１Ｃと当接して配設される。この回収ローラ７２は、上記電圧印加機構により帯電した状態で外部駆動源からの動力によりブラシローラ７１に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）に回転駆動される。回収ローラ７２の詳細は、上述の表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２と同様とすることができるため、重複説明は省略する。

回収ローラ７２への印加電圧は、ブラシローラ７１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。回収ローラ７２への印加電圧とブラシローラ７１への印加電圧との差の絶対値の下限としては、２００Ｖが好ましく、３００Ｖがより好ましい。一方、上記差の絶対値の上限としては、６００Ｖが好ましく、５００Ｖがより好ましい。また、回収ローラ７２への印加電圧の下限としては、－１，５００Ｖが好ましく、－１，２００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－４００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。回収ローラ７２への印加電圧をブラシローラ７１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにすることで、回収ローラ７２の外周面の電位がブラシローラ７１のブラシ毛７１Ｃの電位に対して同極性かつ絶対値が高くなるので、ブラシローラ７１に付着した異物を回収ローラ７２の外周面に吸着させることができる。特に、回収ローラ７２とブラシローラ７１との印加電圧の差を上記範囲とし、さらに回収ローラ７２への印加電圧を上記範囲とすることで、ブラシローラ７１に付着した異物を回収ローラ７２の外周面に効果的に吸着させることができる。

回収ローラ７２の回転方向は、ブラシローラ７１に対して順回り方向及び逆回り方向のいずれの方向であってもよく、後述するブレード７３により外周面の異物を回収し易い回転方向で駆動するとよい。本実施形態では、回収ローラ７２の回転方向は、図２に示すようにブラシローラ７１に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）とされ、ブレード７３による異物の回収効率が高められている。ブラシローラ７１の回転速度に対する回収ローラ７２の回転速度の倍率の下限としては、１．０倍が好ましい。一方、上記回転速度の倍率の上限としては、１．５倍が好ましい。これにより、ブラシローラ７１から回収ローラ７２に効果的に異物を移動させることができる。

（ブレード）
ブレード７３は、回収ローラ７２から異物を掻き取る第３のブレードである。このブレード７３及びこれを支持するブレード支持部７３ａの詳細は、上述の表側クリーニング機構３Ａの表側ブラシローラユニット４のブレード４３及びブレード支持部４３ａと同様である。

〔裏側クリーニングローラユニット〕
裏側クリーニングローラユニット８は、クリーニングローラ８０により対象物Ｓの裏側表面Ｓ２の微細な異物を除去するものであり、対象物Ｓの裏側（搬送経路の下方）において裏側ブラシローラユニット７よりも搬送方向下流側に隣接して配設されている。この裏側クリーニングローラユニット８は、クリーニングローラ８０、ブラシローラ８１、回収ローラ８２、ブレード８３、及び搬送ローラ８５を主に備えており、その基本構成は上述の表側クリーニング機構３Ａの表側クリーニングローラユニット５と同様である。但し、裏側ブラシローラユニット７は、表側ブラシローラユニット４と比較し、搬送ローラ８５を有する点や、異物回収部５５に相当する部材が設けられていない点等が異なる。裏側ブラシローラユニット７は、異物回収部５５に相当する部材が設けられていない代わりに、その底部が開口し、ユニット外に異物を排出可能とされている。裏側クリーニングローラユニット８から排出された異物は、裏側ブラシローラユニット７から排出された異物と共に、ホルダ１の最下部に設けられた異物回収部１３により回収される。裏側クリーニングローラユニット８は、メンテナンス性の観点から、ホルダ１に着脱可能に装着されていることが好ましい。

（クリーニングローラ）
クリーニングローラ８０は、対象物Ｓの裏側表面Ｓ２の微細な異物を除去する裏側クリーニングローラであり、対象物Ｓの裏側（搬送経路の下方）に配設されている。このクリーニングローラ８０は、外周面が上記電圧印加機構により帯電した状態で搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向Ｄに対して順回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動される。クリーニングローラ８０の詳細は、上述の表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１と同様とすることができるため、重複説明は省略する。

クリーニングローラ８０への印加電圧は、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が低くなるようにする。クリーニングローラ８０への印加電圧の下限としては、例えば－４００Ｖであり、－２００Ｖが好ましい。一方、上記印加電圧としては、例えば０Ｖ未満であり、－５０Ｖ以下が好ましい。このように、クリーニングローラ８０への印加電圧を裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が低くなるようにすることで、比較的微細な異物を対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から除去することができる。特に、クリーニングローラ８０への印加電圧を上記範囲とすることで、比較的微細な異物を対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から効率的に除去することができる。

（ブラシローラ）
ブラシローラ８１は、クリーニングローラ８０が対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から除去した微細な異物を回収する裏側の第２のブラシローラであり、クリーニングローラ８０に当接してクリーニングローラ８０の下方に配設されている。このブラシローラ８１は、上記電圧印加機構により帯電した状態で搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸でクリーニングローラ８０に対して逆回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動される。このブラシローラ８１は、上述の表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１と同様に、芯棒８１Ａに接着層８１Ｂを介して複数のブラシ毛８１Ｃを植設したものであり、その詳細は表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１と同様である。

ブラシローラ８１への印加電圧（芯棒８１Ａに印加される電圧）は、クリーニングローラ８０への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。具体的なブラシローラ８１への印加電圧の下限としては、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１と同様に、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

（回収ローラ）
回収ローラ８２は、ブラシローラ８１がクリーニングローラ８０から回収した微細な異物を回収する裏側の第２の回収ローラであり、ブラシローラ８１の下方においてブラシローラ８１と略平行かつブラシ毛８１Ｃと当接して配設される。この回収ローラ８２は、上記電圧印加機構により帯電した状態で外部駆動源からの動力によりブラシローラ８１に対して逆回り方向（図２の時計回り方向）に回転駆動される。回収ローラ８２の詳細は、上述の表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２と同様とすることができるため、重複説明は省略する。

回収ローラ８２への印加電圧は、ブラシローラ８１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにする。回収ローラ８２への印加電圧とブラシローラ８１への印加電圧の差の絶対値の下限としては、２００Ｖが好ましく、３００Ｖがより好ましい。一方、上記差の絶対値の上限としては、６００Ｖが好ましく、５００Ｖがより好ましい。また、回収ローラ８２への印加電圧の下限としては、－１，５００Ｖが好ましく、－１，２００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－４００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。回収ローラ８２への印加電圧をブラシローラ８１への印加電圧に対して同極性かつ絶対値が高くなるようにすることで、回収ローラ８２の外周面の電位がブラシローラ８１のブラシ毛８１Ｃの電位よりも同極性かつ絶対値が高くなるので、ブラシローラ８１に付着した異物を回収ローラ８２の外周面に吸着させることができる。特に、回収ローラ８２とブラシローラ８１との印加電圧の差を上記範囲とし、さらに回収ローラ８２への印加電圧を上記範囲とすることで、ブラシローラ８１に付着した異物を回収ローラ８２の外周面に効果的に吸着させることができる。

回収ローラ８２の回転方向は、ブラシローラ８１に対して順回り方向及び逆回り方向のいずれの方向であってもよく、後述するブレード８３により外周面から異物を回収し易い回転方向で駆動するとよい。本実施形態では、回収ローラ８２の回転方向は、図２に示すようにブラシローラ８１に対して逆回り方向（図２の時計回り方向）とされ、ブレード８３による異物の回収効率が高められている。ブラシローラ８１の回転速度に対する回収ローラ８２の回転速度の倍率の下限としては、１．０倍が好ましい。一方、上記回転速度の倍率の上限としては、１．５倍が好ましい。これにより、ブラシローラ８１から回収ローラ８２に効果的に異物を移動させることができる。

（ブレード）
ブレード８３は、回収ローラ８１から異物を掻き取る第４のブレードである。このブレード８３及びこれを支持するブレード支持部８３ａの詳細は、上述の表側クリーニング機構３Ａの表側ブラシローラユニット４のブレード４３及びブレード支持部４３ａと同様である。

（搬送ローラ）
搬送ローラ８５は、対象物Ｓの搬送をガイドするものであり、クリーニングローラ８００よりも搬送方向下流側に配設されている。この搬送ローラ８５としては、対向樹脂ローラ６１と同様のものが好適に用いられる。

〔表側対向ローラユニット〕
表側対向ローラユニット９は、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１及び裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０と共に対象物Ｓの搬送経路を規定するものであり、対象物Ｓの表側（搬送経路の上方）に配設されている。この表側対向ローラユニット９は、筐体９０と、第１の表側対向ローラである対向金属ローラ９１と、第２の表側対向ローラである対向樹脂ローラ９２とを主に備えており、ホルダ１に着脱可能に配設されている。当該クリーニング装置は、工場等の地面の基台に対して固定設置される装置本体に、表側対向ローラユニット９が着脱可能に配設される。このように表側対向ローラユニット９がホルダ１に着脱可能に配設されることで、表側対向ローラユニット９をホルダ１から容易に取り外し、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１及び裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０を露出させることができる。そのため、ブラシローラ７１やクリーニングローラ８０の交換や洗浄を容易に行えることから、メンテナンス性に優れる。加えて、筐体９０に収容される対向金属ローラ９１及び対向樹脂ローラ９２に関しても、ホルダ１に組み込み固定する場合に比べて、メンテナンスが容易となる。

（筐体）
筐体９０は、対向金属ローラ９１及び対向樹脂ローラ９２を収容してユニット化し、ホルダ１に着脱可能とするものである。この筐体９０の天板には、搬送方向Ｄに垂直な水平方向に離間して一対の把持部９０Ａが設けられている。一対の把持部９０Ａは、表側対向ローラユニット９の着脱時に利用されるものである。筐体９０は、底板に開口部９０Ｂが設けられており、この開口部９０Ｂから対向金属ローラ９１や対向樹脂ローラ９２の一部が突出している。なお、筐体９０を構成する材料には、特に制限はなく、例えばステンレス等の金属が好適に用いられる。

（対向金属ローラ）
対向金属ローラ９１は、対象物Ｓを介して裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１に対向し、かつ対象物Ｓに当接するようにブラシローラ７１の直上に配設されている。この対向金属ローラ９１は、回転駆動されるものであり、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１に対して逆回り方向（図２の反時計回り方向）に回転する。対向金属ローラ９１の詳細は、表側ブラシローラユニット４の回収ローラ４２と同様である。但し、対向金属ローラ９１は上記電圧印加機構により電気的に接地されており、ブラシローラ７１との間に異物の除去に好適な電界を生じさせることができる。

対向金属ローラ９１が比較的硬質な金属ローラであることで、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１のブラシ毛７１Ｃを対象物Ｓに適切に当接させることができるため、ブラシローラ７１によって対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から比較的大きな異物を効果的に除去することができる。但し、表側対向ローラは必ずしも金属ローラである必要はなく、導電性樹脂ローラなどを用いてもよい。

（対向樹脂ローラ）
対向樹脂ローラ９２は、対象物Ｓを介して裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０に対向し、かつ対象物Ｓに当接するようにクリーニングローラ８０の直上に配設されている。この対向樹脂ローラ９２は、回転駆動されるものであり、クリーニングローラ８０に対して順回り方向（図２の反時計回り方向）に回転する。対向樹脂ローラ９２の詳細は、表側対向ローラユニット６の対向樹脂ローラ６１と同様である。但し、対向樹脂ローラ９２は上記電圧印加機構により電気的に接地されており、クリーニングローラ８０との間に異物の除去に好適な電界を生じさせることができる。

対向樹脂ローラ９２が弾性を有する樹脂ローラであることで、裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０との間で好適なニップ幅を確保できるため、クリーニングローラ８０と対象物Ｓとの密着性を高めることができ、クリーニングローラ８０によって対象物Ｓの裏側表面Ｓ２から微細な異物を効果的に除去することができる。なお、裏側クリーニング機構３Ｂの裏側ブラシローラユニット７、及び裏側クリーニングローラユニット８に、それぞれの高さを調節する高さ調節機構が備えられているのも、表側クリーニング機構３Ａと同様である。

＜帯電回路＞
上述のように、回収ローラ４２，５３，７２，８２と、クリーニングローラ５１，８０と、ブラシローラ５２，８１の外周面とは帯電させられ、ブラシローラ４１，７１も帯電させることが好ましい。また、補助ローラ６２、対向金属ローラ６０，９１、対向樹脂ローラ６１，９２は電気的に接地させることが好ましい。これらのローラを帯電又は電気的に接地（０Ｖに固定することも含む）させるための帯電回路は、既知の回路を用いることができる。この帯電回路は、電位差が異なる２つのローラが、長尺状の導電性異物などを介して短絡した場合の安全対策として、例えば５００μＡの電流を閾値とし、閾値以上の電流が流れた場合に回路を遮断する機構（例えばヒューズ等）を備えている。

［ユニット及びホルダの端子］
以下、各ユニットを外部電源やグラウンド等と電気的に接続するために用いられるユニット及びホルダ１の端子の一例について説明する。図１１には、各ユニットの搬送幅方向の一方又は両方の端部に配設されるユニット側端子１１０を示す。図１２には、ホルダ１の内面に配設されるホルダ側端子１２０を示す。なお、当該クリーニング装置は、全ユニットがこの接続構造によって外部電源等と電気的に接続されることが好ましいが、一部又は全部のユニットが従来公知の接続構造によって外部電源等と電気的に接続されていてもよい。

図１１のユニット側端子１１０は、搬送方向Ｄと平行な軸Ｚに沿って平行に配設される２枚のユニット側金属板１１１と、平面視において各ユニット側金属板１１１をそれぞれ取り囲むように配設される２つのカバー１１２とを主に備える。ユニット側金属板１１１は、各ユニットが有するローラに図示しない配線を介して電気的に接続されている。なお、図１１のユニット側端子１１０が有するユニット側金属板１１１の枚数は２枚であるが、ユニット側金属板１１１の枚数は各ユニットのローラ数等に応じて適宜変更可能である。また、カバー１１２の形状についても、ユニット側金属板１１１の枚数等に応じて適宜変更可能である。

図１２のホルダ側端子１２０は、絶縁部材により形成される土台部１２１と、この土台部１２１の上面に配設され、上述のユニット側金属板１１１を上方から挿入でき、かつ挿入されたユニット側金属板１１１を両面から把持できるように折り曲げられた２つのホルダ側金属板１２２と、絶縁部材により形成され、各ホルダ側金属板１２２を取り囲むように配設される囲繞部１２３とをそれぞれ有する。ホルダ側金属板１２２は、図示しない配線等を介して外部電源等に電気的に接続されている。２つの囲繞部１２３は、その外面がユニット側端子１１０のカバー１１２の内面と当接できる形状とされている。なお、図１２のホルダ側端子１２０が有するホルダ側金属板１２２の枚数や囲繞部１２３の形状は、ユニット側端子１１０におけるユニット側金属板１１１の枚数やカバー１１２の形状等に応じて適宜変更可能である。

各ユニットをホルダ１に装着することで、図１１のユニット側端子１１０が図１２のホルダ側端子１２０に電気的に接続される。具体的には、ユニット側端子１１０の各ユニット側金属板１１１が各ホルダ側端子１２０のホルダ側金属板１２２に挿入されることで両金属板が電気的に接続されると共に、ユニット側端子１１０のカバー１１２が囲繞部１２３に覆い被さるようにしてカバー１１２及び囲繞部１２３が嵌合する。このように、カバー１１２及び囲繞部１２３は、ユニット側端子１１０及びホルダ側端子１２０を接続する際のガイドとなるため、両端子を容易に接続させることができ、かつ接続された両端子を強固に固定できる。そのため、当該クリーニング装置に上述のユニット側端子１１０及びホルダ側端子１２０を用いることで、各ユニットの装着と同時に電気的にも容易に接続することができるため利便性を向上でき、かつ強固な接続構造を形成できるため稼働時に振動等が生じても各ローラに印加する電圧を一定に保ち易い。

［ローラへの電圧印加機構］
各ユニットには、通常各ローラの一方の端部付近に電圧印加機構（電気的に接地させる機構を含む）が設けられると共に、上述のユニット側端子１１０及び上記電圧印加機構の間が配線により電気的に接続される。外部電源等から各ユニットに供給される電圧は、上述のユニット側端子１１０、上記配線及び上記電圧印加機構を介して各ローラに供給される。この場合、各ローラを駆動させるための歯車等の駆動機構は、絶縁材料により形成される部材を用いた上で、各ローラの他方の端部付近に設けるとよい。図１３には、上記電圧印加機構の一例として、ローラ１３０の一方の端面に設けられた円錐状の窪み１３０ａと、半球状の先端部を有し、この先端部がローラ１３０の円錐状の窪み１３０ａの内周面に当接している筐体側電極１３１と、この筐体側電極１３１に連結され、筐体側電極１３１をローラ１３０側に与圧する金属製の板バネ１３２とを備える電圧印加機構を示す。ローラ１３０の中心軸及び円錐状の窪みの頂点と、筐体側電極１３１の先端部の半球の中心とは、搬送幅方向視において略一致する。なお、ローラ１３０及び筐体側電極１３１の間は、導電性グリースによるグリース潤滑下としてもよい。

この電圧印加機構では、ユニット側端子１１０及び板バネ１３２の間が図示しない配線により電気的に接続され、上記配線、板バネ１３２、筐体側電極１３１及び窪み１３０ａを介してローラ１３０に電圧が印加される。この電圧印加機構は、ローラ１３０の中心軸付近、すなわちローラ１３０における比較的周速度の小さい部位に筐体側電極１３１を当接させることで、ローラ１３０及び筐体側電極１３１の摩耗を抑制できる。また、ローラ１３０に設けた円錐状の窪みに筐体側電極１３１の半球状の先端部を接触させ、かつ筐体側電極１３１を板バネ１３２によりローラ１３０側に与圧することにより、ローラ１３０が振動した場合においても電気的接触を維持し易くなる。さらに、筐体側電極１３１をローラ１３０の端面に当接させ、板バネ１３２で筐体側電極１３１を搬送幅方向に与圧することで、ローラ１３０が上下に振動しても板バネ１３２のたわみが抑制されるため、安定して与圧し易くなる。さらに、円錐状の窪み１３０ａの内周面及び筐体側電極１３１の半球状の先端部を当接させることで、窪み１３０ａ及び筐体側電極１０１の先端部により囲まれる空間が形成されるため、この空間にグリースを封入してその飛散を抑制することができる。但し、電圧印加機構の周辺には、グリースの飛散をより抑制するため、必要に応じてカバー等を設けてもよい。

但し、各ユニットにおける電圧印加機構は、上述の図１３に示すものに限定されず、例えば筐体に導電性ブラシ、導電性軸受等の導電性摺動部材を設け、この導電性摺動部材を各ローラに接触させることで電圧を印加させる方法等が挙げられる。

［クリーニング方法］
図１及び図２のクリーニング装置を用いて対象物Ｓから異物を除去するクリーニング方法について説明する。当該クリーニング方法は、搬送される対象物Ｓに、搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向Ｄと逆回り方向に回転駆動されるブラシローラ４１を当接させる工程と、ブラシローラ４１と当接した後の対象物Ｓに、搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で回転するクリーニングローラ５１を当接させる工程とを有する。さらに、当該クリーニング方法は、クリーニングローラ５１に当接させた後の対象物Ｓに、搬送方向Ｄと略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で搬送方向Ｄと逆回り方向に回転駆動されるブラシローラ７１を当接させる工程と、ブラシローラ７１と当接した後の対象物Ｓに、搬送方向と略垂直かつ搬送面と略平行な回転軸で回転するクリーニングローラ８０を接触させる工程を有する。当該クリーニング方法では、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１に対して、表側クリーニングローラユニット５のクリーニングローラ５１と同極性かつ絶対値が高い電圧を印加する。また、裏側ブラシローラユニット７のブラシローラ７１に対しも同様に、裏側クリーニングローラユニット８のクリーニングローラ８０と同極性かつ絶対値が高い電圧を印加する。このように、ブラシローラ４１，７１に対しクリーニングローラ５１，８０よりも同極性かつ絶対値の高い電圧を印加することで、ブラシローラ４１，７１によりミリレベルの比較的大きな異物を除去できると共にクリーニングローラ５１，８０により微細な異物を除去できる。このクリーニング方法における各ローラへの印加電圧、回転等の各種条件については、上述の当該クリーニング装置と同様とできるため重複した説明を省略する。

〔その他の実施形態〕
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。特に、図１及び図２は、当該クリーニング装置の一例を示したものに過ぎず、例えば各ローラの層構造は図２と異なっていてもよい。

当該クリーニング装置の各ローラのうち、第１のブラシローラ、クリーニングローラ及び一対の対向ローラ以外のローラは、従動ローラであってもよい。このように、当該クリーニング装置のローラの一部を従動ローラとしても、この従動ローラは、回転駆動される他のローラや搬送物と当接しているため従動してその機能を発揮することができる。また、第１のブラシローラの回転方向は、対象物の搬送方向に対し逆回り方向が好ましいが、順回り方向であってもよい。さらに、クリーニングローラの回転方向は、対象物の搬送方向に対し順回り方向が好ましい。

当該クリーニング装置は、第１のブラシローラと、クリーニングローラと、一対の対向ローラと電圧印加機構とを少なくとも１つずつ備えればよく、他の構成は任意である。また、第１のブラシローラ、クリーニングローラ及び一対の対向ローラは、ユニット化されておらず、当該クリーニング装置のホルダに直接固定されていてもよい。

また、上記実施形態において、裏側クリーニングローラユニット及び裏側ブラシローラユニットの底部に開口を設けることに代えて、裏側クリーニングローラユニット及び裏側ブラシローラユニットにそれぞれ異物回収部を設けてもよい。

さらに、本実施形態の一例では、一対の対向ローラをいずれも電気的に接地させたが、他の構成を採用してもよい。例えば、一対の対向ローラをいずれも０Ｖに固定しても良く、異物の帯電状況によっては、所定のプラス電位に固定することもできる。満たすべき条件としては、帯電されたブラシローラ４１及び帯電されたクリーニングローラ５１に対して基準となる固定電位を一対の対向ローラに印加するということである。従って、必要に応じて、一対の対向ローラのそれぞれに異なる固定電位を印加することもできる。固定電位と帯電されたクリーニングローラ５１との電圧差が小さすぎると異物の除去のための十分な電界を生じさせることができないため、この電位差の下限としては、５０Ｖが好ましい。

なお、異物が極端にマイナスに帯電している場合などは、ブラシローラ４１，７１、クリーニングローラ５１，８０をプラス電位とすることも本発明の思想の範囲内であることは言うまでもない。この場合においても、一対の対向ローラについては、電気的に接地させてもよく、又は基準となる固定電位を印加してもよい。この固定電位としては、０Ｖでもよく、異物の帯電状況によっては所定のマイナス電位又はプラス電位でもよい。

以下、実施例により本発明を説明するが、本発明は以下の実施例により限定されるものではない。

＜ブラシローラ（ブラシ毛）の最適化＞
摩擦帯電性の観点から異物除去に適したブラシ毛の材質を選定することを目的とし、ワーク（対象物）及びブラシ毛の帯電性を評価し帯電列を決定した。

ブラシ毛としては、下記表１に示す特性を有する材質のものを用いた。下記表１中、「－」は、該当する特性を測定していないことを示す。

対象物及び異物としては、狙い市場の対象物と、その市場で問題となっている異物とを用いた。具体的には、対象物としてはアクリル板、ガラス板、グリーンシート及びＰＥＴフィルムを用い、異物としてはアクリル削りカス、銅粉、セラミックスカス（セラカス）、ガラス削りカス、ポリエステル粒子及び繊維を用いた。

摩擦帯電性は、対象物及びブラシ毛については、対象物同士、対象物及びブラシ毛、又はブラシ毛同士をそれぞれ摩擦帯電させたときの極性を表面電位計で測定することで評価した。また、異物及び対象物の帯電関係は、異物を対象物で挟み込んで摩擦帯電させた後、異物を吸引してデジタルエレクトロメーターで帯電量を測定することで評価した。これらの評価結果は、図１４に帯電列として示す。

一般的に、帯電列において、対象物及び異物に対して逆極性のなるべく離れた場所に位置付けられる材質を用いたブラシ毛ほど異物の吸着力が高くなる。そのため、図１４の結果から、導電性ポリエステルである材質１及び材質４が異物除去に適していると推察される。

次に、最も異物除去に適していると推察される導電性ポリエステルに関し、材質１及び材質４を用いた異物の除去性能の評価を実施した。この評価では、図１及び図２に示すクリーニング装置を用いて対象物Ｓの異物の除去を行い、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１が有するブラシ毛４１Ｃの材質を材質１又は材質４とした場合の異物回収部４４への異物回収率を算出した。対象物Ｓとしては、セラミックスカスを付着させたグリーンシートを用いた。その結果、異物の回収率は、材質１を用いた場合は８６．６％であったのに対し、材質４を用いた場合は２６．７％であった。そのため、ブラシ毛としては、繊度が比較的大きい繊維、すなわち比較的太い繊維である材質１が好ましいと判断される。なお、材質４を用いた場合の回収率が、摩擦帯電性が同等である材質１を用いた場合の回収率よりも低くなった原因は、以下の通りと推察される。すなわち、材質４は、繊度が比較的小さい繊維、すなわち比較的細い繊維であるため、ブラシ毛４１Ｃの剛性が不足し、対象物Ｓに付着した比較的大きなセラミックスカスを動かすことができなかったためであると考えられる。

＜ブラシローラへの印加電圧の最適化＞
ブラシローラへの印加電圧の最適化は、図１５（Ａ）に示すようにゴミを付着させた対象物に、所定の電圧を印加したブラシローラを当接させ、この所定電圧を印加している状態を１０秒間保持した。次に、図１５（Ｂ）に示すように対象物からブラシローラを引き離し、ゴミの除去により形成された帯状領域の幅をゴミの吸着幅（電界作用幅）として評価した。

ブラシローラのブラシ毛としては、先の評価で好適な結果が得られた材質１の導電性ポリエステルを用いた。対象物としては、厚みが５０μｍであるＰＥＴフィルムを用いた。異物としては、粒径が５０μｍ～１５０μｍのポリエステル粒子を用いた。ブラシローラに印加する所定電圧は、０Ｖ、－１００Ｖ、－４００Ｖ、－８００Ｖ又は－１，６００Ｖとした。ゴミの吸着幅の評価結果は、図１６に示す。

図１６から分かるように、ブラシローラへの印加電圧が－４００Ｖのときに最もゴミ吸着幅が大きいこと、つまり吸着能が高いことが確認された。また、図１６に示す結果から、ブラシローラへの印加電圧の下限としては、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましいといえる。一方、上記印加電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましいといえる。

＜ブラシの周速度及び圧接量の検討＞
図１及び図２に示すクリーニング装置を用い、表側ブラシローラユニット４のブラシローラ４１の周速度と対象物への圧接量とを変量させながら対象物の異物除去を行った。これにより、ブラシローラの周速度、及びブラシローラの対象物への圧接量が異物除去に与える影響について検討した。

ブラシローラの周速度による影響は、対象物の搬送速度Ｗに対するブラシローラの周速度Ｂの比率（Ｂ／Ｗ）を変量し、セラミックスカスの除去性との関係として評価した。その結果、Ｂ／Ｗを５０％（例えば対象物の搬送速度１２ｍ／ｍｉｎに対してブラシローラの周速度６ｍ／ｍｉｎ）のとき、セラミックスカスをワークの入口側にはじき飛ばした。一方、ブラシローラの周速度を３ｍ／ｍｉｎに変更してＢ／Ｗを２５％にすると、上述のはじき飛ばしが抑えられた。一般的に、大きい異物より小さい異物の方がはじき飛ばされやすいため、Ｂ／Ｗは２５％以下であることが好ましいと判断される。

対象物へのブラシローラの圧接量の影響は、圧接量を０．３ｍｍ又は０．６ｍｍに変量しながら、セラミックスカスの除去を実施することで評価した。その結果、圧接量を０．３ｍｍとすると、セラミックスカスの一部がブラシローラをすり抜けて対象物上に残存した。一方、圧接量を０．６ｍｍとすると、セラミックスカスを除去できた。ここで、圧接量は、大きくするほど異物の除去性が向上するが、あまり大きくし過ぎると対象物の種類や状態によっては擦り傷が発生する。但し、圧接量の上限は対象物毎に異なる。そのため、高さ調節機構を用いてブラシローラユニットの高さを調節することで、対象物の厚さ、種類、状態等が異なる場合においてもブラシローラの圧接量を最適化することができる。

＜クリーニング性能の確認＞
当該クリーニング装置のクリーニング性能を評価した。具体的には、種々の異物と対象物との組み合わせについて、図１及び図２に示すクリーニング装置を用い、各ローラの周速度及び印加電圧を表２の通りとし、クリーニング前後の対象物表面を撮像することで評価した。

具体的な異物と対象物との組み合わせは、セラミックパンチカス及びグリーンシート、皮脂及び偏光板、綿繊維及びアクリル板、ポリエステル繊維及びグリーンシート、又はポリエステル粒子及びＰＥＴフィルムとした。また、対象物の搬送速度は１０ｍ／ｍｉｎに設定した。各組み合わせの撮像結果については、図１７～図１９の（Ａ）～（Ｆ）に示す。図１７～１９の（Ａ）～（Ｆ）は、いずれも左図がクリーニグ前、右図がクリーニング後の撮像結果である。図１７の（Ａ）の組み合わせは、対象物Ｓａがグリーンシート、異物Ｘａがセラミックパンチカス（φ４ｍｍ、厚さ１２０μｍ）である。図１７の（Ｂ）の組み合わせは、対象物Ｓｂがグリーンシート、異物Ｘｂが様々なサイズ・形状のセラミックカス（長さ０．１～３ｍｍ、厚さ１７０μｍ）である。図１８の（Ｃ）の組み合わせは、対象物Ｓｃが偏向板、異物Ｘｃが皮脂である。図１８の（Ｄ）の組み合わせは、対象物Ｓｄがアクリル板、異物Ｘｄが綿繊維である。図１９の（Ｅ）の組み合わせは、対象物Ｓｅがグリーンシート、異物Ｘｅがポリエステル繊維（長さ２～１５ｍｍ）である。図１９の（Ｆ）の組み合わせは、対象物ＳｆがＰＥＴフィルム、異物Ｘｆがポリエステル粒子（粒径５０～１５０μｍ）である。

図１７～図１９に示す通り、いずれの組み合わせについても、対象物から異物が好適に除去されていることが確認できた。

本発明のクリーニング装置及びクリーニング方法は、対象物の表面から比較的大きな異物及び微細な異物の双方を効率良く除去することができる。

１ ホルダ
２Ａ 上流側外部搬送機構
２Ｂ 下流側外部搬送機構
３ クリーニング機構
４ 表側ブラシローラユニット
４１ ブラシローラ
４２ 回収ローラ
４３ ブレード
４５ 搬送ローラ
５ 表側クリーニングローラユニット
５１ クリーニングローラ
５１Ａ 芯棒
５１Ｂ 内層部
５１Ｃ 外層部
５２ ブラシローラ
５３ 回収ローラ
５４ ブレード
６ 裏側対向ローラユニット
６０ 対向金属ローラ
６１ 対向樹脂ローラ
６２ 補助ローラ
７ 裏側ブラシローラユニット
７１ ブラシローラ
７２ 回収ローラ
７３ ブレード
８ 裏側クリーニングローラユニット
８０ クリーニングローラ
８１ ブラシローラ
８１Ａ 芯棒
８１Ｂ 接着層
８１Ｃ ブラシ毛
８２ 回収ローラ
８３ ブレード
９ 表側対向ローラユニット
９１ 対向金属ローラ
９２ 対向樹脂ローラ
１０１ 固定部材
１０２ スライド部材
１０３ 天板
１０４ カバー
１１０ ユニット側端子
１１１ ユニット側電極板
１１２ カバー
１２０ ホルダ側端子
１２１ 土台部
１２２ ホルダ側電極板
１２３ 囲繞部
１３０ ローラ
１３０ａ 窪み
１３１ 筐体側電極
１３２ 板バネ
Ｓ 対象物
Ｓ１ 表側表面
Ｓ２ 裏側表面
Ｄ 搬送方向

Claims (1)

1. 板状又はフィルム状の対象物を搬送しつつ表面の異物を除去するクリーニング装置であって、
   搬送される上記対象物の上方に着脱可能に配設され、表側ブラシローラにより上記対象物の表側表面の異物を除去する表側ブラシローラユニットと、
   上記対象物の上方かつ上記表側ブラシローラユニットの搬送方向下流側に着脱可能に配設され、表側クリーニングローラにより上記対象物の表側表面の異物を除去する表側クリーニングローラユニットと、
   上記表側ブラシローラ及び／又は表側クリーニングローラを帯電させるための帯電回路と、
   上記表側ブラシローラユニット及び／又は表側クリーニングローラユニットが装着されると同時に、上記表側ブラシローラ及び／又は表側クリーニングローラと上記帯電回路とを電気的に接続する端子と、
   搬送される上記対象物の下方に着脱可能に配設され、上記表側ブラシローラの直下に位置する第一の裏側対向ローラと、上記表側クリーニングローラの直下に位置する第二の裏側対向ローラとを含む裏側対向ローラユニットと
   を備え、
   上記対象物の搬送速度Ｗに対する前記表側ブラシローラの周速度Ｂの比率Ｂ／Ｗが２５％以下であるクリーニング装置。

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