JP2018051439A - クリーンローラ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの変形、損傷、破損などの発生の抑制と、塵埃取ロールで取った塵埃の粘着テープロールへの粘着効率の向上との両立を図ること。【解決手段】この発明は、上粘着テープロール３において、上第１ガイド機構３４と、上第１押圧機構３５と、上第２ガイド機構３６と、上第２押圧機構３７とを備えるものである。この結果、この発明は、ワークの変形、損傷、破損などの発生の抑制と、塵埃取ロールで取った塵埃の粘着テープロールへの粘着効率の向上との両立を図ることができる。【選択図】 図２

Description

この発明は、ワークの表面に付着した塵埃を除去するクリーンローラ装置に関するものである。

従来のクリーンローラ装置には、たとえば、特許文献１に示すように、フレームに回転自在に支持されている粘着ラバーロールと粘着テープロールとを備えるものがある。このようなクリーンローラ装置は、粘着テープロールの両端の支持軸が、スライド回転軸受を介してフレームに対し上下方向にスライド可能に支持されていて、またスライド回転軸受には、加圧機構が設けられている。このクリーンローラ装置では、加圧機構を作動させて、スライド回転軸受、支持軸を介して粘着テープロールと粘着ラバーロールとの間の圧力、また、粘着ラバーロールを介して粘着ラバーロールと基板又はシートとの間の圧力を調整して、基板又はシートの表面に付着した塵埃を効率良く除去している。

特開２０００−８４５１４号公報

ところで、従来のクリーンローラ装置においては、加圧機構の圧力が粘着テープロールの両端の支持軸に加わるので、粘着テープロールが変形する傾向にある。この粘着テープロールは、粘着テープロールの軸方向の長さが長くなればなる程、その中央側がワークから離れる方向（上下方向）に変形する。

このため、従来のクリーンローラ装置は、変形した粘着テープロールと粘着ラバーロールとの間において不均等な圧力分布が発生する場合がある。その不均等な圧力分布は、粘着ラバーロールと基板又はシートとの間にも作用し、それによって、粘着ラバーロールの塵埃を均一に除去できないことがある。

さらに、従来のクリーンローラ装置は、粘着ラバーロール、粘着テープロールなどのロールユニットをフレームから小さな力で簡単に引き出す手段が設けられていない。このため、従来のクリーンローラ装置は、ロールユニットをフレームから小さな力で簡単に引き出すことが困難である。

この発明が解決しようとする課題は、塵埃取ロール（いわゆる、ゴミ取ロール）で取った塵埃（いわゆる、ゴミ）を塵埃取ロールから粘着テープロールに効率良く粘着することができるクリーンローラ装置を提供することにある。

また、この発明が解決しようとする課題は、塵埃取ロールで取った塵埃を塵埃取ロールから粘着テープロールに効率良く粘着して、ワークの表面に付着した塵埃を効率良く除去することができるクリーンローラ装置を提供することにある。

さらに、この発明が解決しようとする課題は、ロールユニットをフレームから小さな力で簡単に引き出すことができるクリーンローラ装置を提供することにある。

この発明のクリーンローラ装置は、ワークの表面に付着した塵埃をワークの表面から取る塵埃取ロールと、塵埃取ロールで取った塵埃を塵埃取ロールから粘着する粘着テープロールをワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする第１ガイド機構と、粘着テープロールを第１ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて塵埃取ロールに押圧させる第１押圧機構と、塵埃取ロール、粘着テープロール、第１ガイド機構および第１押圧機構をワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする第２ガイド機構と、塵埃取ロール、粘着テープロール、第１ガイド機構および第１押圧機構を第２ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて、塵埃取ロールをワークの表面に、第１押圧機構による粘着テープロールの塵埃取ロールへの押圧力よりも小さく制御された押圧力で、押圧させる第２押圧機構と、を備える、ことを特徴とする。

この発明のクリーンローラ装置は、第１押圧機構が、第１ガイド機構に粘着テープロールと共に第１ガイド機構のガイド方向に移動可能にガイドされている押圧ロールと、押圧ロールを第１ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて粘着テープロールに押圧させる押圧アクチュエータと、を有する、ことが好ましい。

この発明のクリーンローラ装置は、押圧ロールが、押圧アクチュエータにより、粘着テープロールの中央部分を押圧する、ことが好ましい。

また、この発明のクリーンローラ装置は、粘着テープロールに当接する当接ロールを備える、ことを特徴とする。

この発明のクリーンローラ装置は、当接ロールが、粘着テープロールの中央部分に当接する、ことが好ましい。

この発明のクリーンローラ装置は、粘着テープロールおよび当接ロールをワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドするガイド機構と、当接ロールをガイド機構のガイド方向に沿って移動させて粘着テープロールに押圧させ、かつ、粘着テープロールをガイド機構のガイド方向に沿って移動させて塵埃取ロールに押圧させる押圧アクチュエータと、を備える、ことが好ましい。

さらに、この発明のクリーンローラ装置は、ワークを搬送する搬送ロールと、搬送ロール、塵埃取ロールおよび粘着テープロールが配置されているフレームと、を備え、搬送ロール、塵埃取ロール、粘着テープロールのうち少なくとも搬送ロールが、ロールユニットを構成し、ロールユニットとフレームとには、ロールユニットをフレームに対して搬送ロールの軸心方向もしくはほぼ軸心方向に移動可能にガイドするガイド機構と、てこによりロールユニットをフレームに対してガイド機構のガイド方向に沿って初期移動させる初期移動機構とが、設けられている、ことを特徴とする。

この発明のクリーンローラ装置は、初期移動機構が、ワークの搬送方向に配置されている第１レバーおよび第２レバーと、第１レバーの中間部をロールユニットのワークの搬送方向上流側に、ワークの搬送方向およびガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付ける第１支点部材と、第２レバーの中間部をロールユニットのワークの搬送方向下流側に、ワークの搬送方向およびガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付ける第２支点部材と、第１レバーの一端部と第２レバーの一端部とに、ワークの搬送方向およびガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付けられている力点部材と、フレームのワークの搬送方向上流側に設けられていて、第１レバーの他端部が当接する第１作用点部材と、フレームのワークの搬送方向下流側に設けられていて、第２レバーの他端部が当接する第２作用点部材と、を有し、第１レバー、第２レバーのうち少なくともいずれか一方には、長孔が第１レバー、第２レバーのうち少なくともいずれか一方の長手方向に設けられていて、長孔には、力点部材が第１レバー、第２レバーのうち少なくともいずれか一方の長手方向に移動可能に嵌合されていて、力点部材と第１支点部材との間の距離が、第１支点部材と第１作用点部材との間の距離よりも長く、力点部材と第２支点部材との間の距離が、第２支点部材と第２作用点部材との間の距離よりも長い、ことが好ましい。

この発明のクリーンローラ装置は、塵埃取ロールで取った塵埃を塵埃取ロールから粘着テープロールに効率良く粘着することができる。また、この発明のクリーンローラ装置は、塵埃取ロールで取った塵埃を塵埃取ロールから粘着テープロールに効率良く粘着して、ワークの表面に付着した塵埃を効率良く除去することができる。さらに、この発明のクリーンローラ装置は、ロールユニットをフレームから小さな力で簡単に引き出すことができる。

図１は、この発明にかかるクリーンローラ装置の実施形態１を示す一部概略側面図（一部左側面図）である。 図２は、上第２押圧機構と下押圧機構との作動開始状態を示す説明側面図（図１に対応する側面図）である。 図３は、上第１押圧機構の押圧アクチュエータの作動開始状態を示す説明側面図（図１に対応する側面図）である。 図４は、クリーンローラ装置の作動開始状態を示す説明側面図（図１に対応する側面図）である。 図５は、上第２押圧機構と下押圧機構との作動開始状態を示す説明正面図（図２におけるＶ矢視図）である。 図６は、上第１押圧機構の押圧アクチュエータの作動開始状態を示す説明正面図（図３におけるＶＩ矢視図）である。 図７は、クリーンローラ装置の作動開始状態を示す説明正面図（図４におけるＶＩＩ矢視図）である。 図８は、上ロールユニットを示す概略斜視図である。 図９は、中ロールユニットを示す概略斜視図である。 図１０は、下ロールユニットを示す概略斜視図である。 図１１は、中ロールユニットを示す概略側面図（図１に対応する側面図）である。 図１２は、中ロールユニットを示す概略平面図（図１１におけるＸＩＩ矢視図）である。 図１３は、中ロールユニットをフレームから引き出した状態示す概略平面図（図１２に対応する平面図）である。 図１４は、この発明にかかるクリーンローラ装置の実施形態２を示す説明側面図（図２に対応する説明側面図）である。

以下、この発明にかかるクリーンローラ装置の実施形態（実施例）の１例を図面に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１の構成の説明）
図１〜図１３は、この発明にかかるクリーンローラ装置の実施形態１を示す。以下、この実施形態１にかかるワークＷの表面に付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置１の構成について説明する。なお、ワークＷは、たとえば、電子部品が実装されている基板や液晶パネルなどの各種の基板、あるいは、基板の原料となるフィルム状の部材やシート状等である。なお、図１、図８〜図１３において、符号「Ｘ」は、たとえば水平方向といったワークＷを搬送する方向である。なお、搬送方向Ｘの上流側（図１において左側）を前側（正面側）とし、搬送方向Ｘの下流側（図１において右側）を後側（背面側）とする。また、図８〜図１０、図１２、図１３において、符号「Ｙ」は、ロールの軸心方向もしくはほぼ軸心方向（以下、「軸心方向」と称する）であり、搬送方向Ｘに対して垂直もしくはほぼ垂直である。また、図１、図８〜図１１において、符号「Ｚ」は、鉛直方向であり、搬送方向Ｘおよび軸心方向Ｙに対して垂直もしくはほぼ垂直となっている。

（クリーンローラ装置１の説明）
クリーンローラ装置１は、フレーム２と、上ロールユニット３と、中ロールユニット４と、下ロールユニット５と、初期移動機構６と、を備える。クリーンローラ装置１は、フレーム２の内部に搬入されたワークＷの表面に付着した塵埃を、上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５により除去する。

（フレーム２の説明）
フレーム２は、図１、図１１〜図１３に示すように、この例では、金属製の支柱や金属製の板などの構造部材を組み合わせることで構成されている。フレーム２の前面側および後面側には、ワークＷを搬入または搬出するための開口部がそれぞれ設けられている。フレーム２の左側面は、上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５を、フレーム２の内部から引き出すための開口部を有する。フレーム２の引き出し用の開口部には、引き出し用の開口部を開閉する開閉扉２０が開閉可能に設けられている。

フレーム２の内部には、上ロールユニット３、中ロールユニット４、下ロールユニット５が、上、中、下の引き出しガイド機構２３、２４、２５を介して、軸心方向Ｙに移動可能に収納されてかつ支持されている。上、中、下の引き出しガイド機構２３、２４、２５は、フレーム２に軸心方向Ｙに敷設されている固定ガイドレールと、上ロールユニット３、中ロールユニット４、下ロールユニット５に軸心方向Ｙに敷設されている移動ガイドレールと、から構成されている。

上引き出しガイド機構２３の固定ガイドレールは、フレーム２の前後両面の上部に上下２段にそれぞれ設けられている。上引き出しガイド機構２３の移動ガイドレールは、上ロールユニット３の前後両面の上側と中側とにそれぞれ設けられている。また、中引き出しガイド機構２４の固定ガイドレールは、フレーム２の前後両面の中部にそれぞれ設けられている。中引き出しガイド機構２４の移動ガイドレールは、中ロールユニット４の前後両面にそれぞれ設けられている。また、下引き出しガイド機構２５の固定ガイドレールは、フレーム２の前後両面の下部にそれぞれ設けられている。下引き出しガイド機構２５の移動ガイドレールは、下ロールユニット５の前後両面にそれぞれ設けられている。

以上の上、中、下の引き出しガイド機構２３、２４、２５は、上ロールユニット３、中ロールユニット４、下ロールユニット５がフレーム２に対して軸心方向Ｙへ移動するのを、ガイドするものである。

フレーム２と、上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５との間には、ストッパ機構（図示せず）が配置されている。このストッパ機構は、フレーム２の内部から引き出された上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５を、フレーム２内部に収納した時に、上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５がフレーム２内部の所定の位置に位置させるものである。

（中ロールユニット４の説明）
中ロールユニット４は、図９に示すように、中支持部材４０と、２本の下塵埃取ロール４１と、複数本の上搬送ロール４２と、複数本の下搬送ロール４３と、から構成されている。なお、図２、図３、図４においては、図面の簡略化のために、１本の下塵埃取ロール４１を図示する。

中支持部材４０は、この例では、金属製の支柱や金属製の板などの構造部材を組み合わせることにより構成されている。中支持部材４０の前後両側面には、中引き出しガイド機構２４の移動ガイドレールが固定されている。中支持部材４０の左右の垂直板部材には、２本の下塵埃取ロール４１の左右両端部と、複数本の上搬送ロール４２の左右両端部と、複数本の下搬送ロール４３の左右両端部とが、それぞれ回転可能に取り付けられている。中支持部材４０の左側端面には、引き出し用の取手４５が設けられている（図１１〜図１３を参照）。

（下塵埃取ロール４１の説明）
２本の下塵埃取ロール４１は、搬送方向Ｘに所定の間隔を開けた状態で配置されている。２本の下塵埃取ロール４１は、回転軸と、ラバーロール体と、から構成されている。２本の下塵埃取ロール４１は、ラバーロール体で、ワークＷの下面に付着した塵埃を取る。

回転軸の両端部は、左右の垂直板部材に回転可能に支持されている。回転軸には、駆動モータの駆動力が駆動力伝達機構を介して伝達される。駆動力伝達機構は、この例では、非接触状態で駆動モータの駆動力を回転軸に伝達する磁気駆動力伝達機構である。磁気駆動力伝達機構は、磁気式（マグネット式）のカップリング部、磁気式のギアおよびギア輪列を有する。また、ラバーロール体は、回転軸の外側に軸心方向Ｙに所定の長さに亘って設けられている。ラバーロール体は、表面側に、たとえば、シリコンゴムなどの塵埃を取る性能に優れている材質から構成されている層が設けられ、ワークＷの下面に付着した塵埃を効率良く取ることができる。

（上搬送ロール４２、下搬送ロール４３の説明）
複数本の上搬送ロール４２と複数本の下搬送ロール４３とは、鉛直方向ＺにワークＷの厚さ分の間隔を開けた状態かつ鉛直方向Ｚに対向した状態で配置されている。また、複数本の上搬送ロール４２、複数本の下搬送ロール４３は、搬送方向Ｘに所定の間隔を開けた状態で配置されている。搬送方向Ｘに沿う下搬送ロール４３と下塵埃取ロール４１とが、交互に配置されている。

上搬送ロール４２および下搬送ロール４３の回転軸の両端部は、左右の垂直板部材に回転可能に支持されている。この回転軸には、駆動モータの駆動力が、駆動力伝達機構４４を介して伝達される。駆動力伝達機構４４は、この例では、非接触状態で駆動モータの駆動力を回転軸に伝達する磁気駆動力伝達機構である。磁気駆動力伝達機構４４は、磁気式（マグネット式）のカップリング部、磁気式のギアおよびギア輪列を有する。また、回転軸には、複数枚の回転搬送円板が所定の間隔を開けた状態で配置されている。複数枚の回転搬送円板は、ワークＷの上面、下面に接触して、回転軸の回転力により、ワークＷを搬送方向Ｘに搬送する。

（上ロールユニット３の説明）
上ロールユニット３は、図８に示すように、上支持部材３０と、２本の上塵埃取ロール３１と、２本の上粘着テープロール３２と、２本の上当接ロール３３と、２組の上第１ガイド機構３４と、２個の上第１押圧機構３５と、２組の上第２ガイド機構３６と、２個の上第２押圧機構３７と、から構成されている。

なお、図２、図３、図４においては、図面の簡略化のために、１本の上塵埃取ロール３１、１本の上粘着テープロール３２、１本の上当接ロール３３、１組の上第１ガイド機構３４、１個の上第１押圧機構３５、１組の上第２ガイド機構３６および１個の上第２押圧機構３７を図示する。上支持部材３０は、この例では、金属製の支柱や金属製の板などの構造部材を組み合わせることにより構成されている。上支持部材３０の前後両側面の上側と中側とには、上引き出しガイド機構２３の移動ガイドレールがそれぞれ固定されている。

（上第２ガイド機構３６の説明）
上第２ガイド機構３６は、固定ガイド部３６０と、移動ガイド部３６１と、から構成されている。固定ガイド部３６０は、上支持部材３０に固定されている。移動ガイド部３６１は、固定ガイド部３６０に鉛直方向Ｚ、すなわち、ワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能に設けられている。

固定ガイド部３６０は、上支持部材３０と兼用するものであっても良い。移動ガイド部３６１には、上塵埃取ロール３１、上粘着テープロール３２、上当接ロール３３、上第１ガイド機構３４および上第１押圧機構３５が装備されている。この結果、上第２ガイド機構３６は、上塵埃取ロール３１、上粘着テープロール３２、上当接ロール３３、上第１ガイド機構３４および上第１押圧機構３５を、鉛直方向Ｚに移動可能にガイドする。

（上第２押圧機構３７の説明）
上第２押圧機構３７は、上第２ガイド機構３６の固定ガイド部３６０と移動ガイド部３６１との間に介在されている。上第２押圧機構３７は、たとえばアクチュエータの一種であるエアシリンダであり、固定ガイド部３６０の軸心方向Ｙの中央もしくはほぼ中央に配置されている（図６参照）。上第２押圧機構３７は、図示しない制御装置により制御される。

（上第１ガイド機構３４の説明）
上第１ガイド機構３４は、固定ガイド部３４０と、上移動ガイド部３４１と、下移動ガイド部３４２と、から構成されている。固定ガイド部３４０は、上第２ガイド機構３６の移動ガイド部３６１に固定されている。上移動ガイド部３４１および下移動ガイド部３４２は、固定ガイド部３４０に鉛直方向Ｚ、すなわち、ワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能に設けられている。

固定ガイド部３４０は、上第２ガイド機構３６の移動ガイド部３６１と兼用するものであっても良い。上移動ガイド部３４１には、上当接ロール３３が装備されている。下移動ガイド部３４２には、上粘着テープロール３２が装備されている。この結果、上第１ガイド機構３４は、上粘着テープロール３２と上当接ロール３３とを、鉛直方向Ｚに移動可能にガイドする。なお、上粘着テープロール３２は、ワークＷの塵埃除去作業が行われていない時には、上塵埃取ロール３１に当接していない。

（上第１押圧機構３５の説明）
上第１押圧機構３５は、この例では、押圧ロールと、押圧アクチュエータ３５０と、を有する。押圧ロールは、この例では、上当接ロール３３であり、この上当接ロール３３は、前記の通り、上粘着テープロール３２と共に上第１ガイド機構３４のガイド方向、すなわち、鉛直方向Ｚに移動可能にガイドされている。また、押圧アクチュエータ３５０は、上第１ガイド機構３４の固定ガイド部３４０と上移動ガイド部３４１との間に介在されている。押圧アクチュエータ３５０は、軸心方向Ｙの左右両端部にそれぞれ配置されている。押圧アクチュエータ３５０は、たとえばアクチュエータの一種であるエアシリンダであり、上第１ガイド機構３４の固定ガイド部３４０に固定されている（図６参照）。上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０は、上第２押圧機構３７と同様に、図示しない制御装置により制御される。すなわち、上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０の押圧力と上第２押圧機構３７の押圧力とは、上塵埃取ロール３１のワークＷへの押圧力が上粘着テープロール３２の上塵埃取ロール３１への押圧力よりも小さくなるように、制御装置により制御される。

（上塵埃取ロール３１の説明）
２本の上塵埃取ロール３１は、前記の２本の下塵埃取ロール４１と同様もしくはほぼ同様に、搬送方向Ｘに所定の間隔を開けた状態で配置されている。なお、２本の上塵埃取ロール３１の構成および配置は、上述した２本の下塵埃取ロール４１と同様であるので、その説明を省略するが、この上塵埃取ロール３１の回転時の両端側が、上第２ガイド機構３６の移動ガイド部３６１に移動可能に支持されている点で相違している。

（上粘着テープロール３２の説明）
２本の上粘着テープロール３２は、搬送方向Ｘに所定の間隔を開けた状態で配置されている。上粘着テープロール３２は、図８に示すように、テープロール体３２０と、ホルダ３２１と、回転軸と、から構成されている。２本の上粘着テープロール３２は、テープロール体３２０で、上塵埃取ロール３１で取った塵埃を上塵埃取ロール３１から粘着（粘着転写）する。テープロール体３２０は、巻き芯筒に粘着テープを多数枚巻回して構成されている。粘着テープは、巻回しの外側が粘着面となっていて、この粘着面が上塵埃取ロール３１のラバーロール体で取った塵埃を粘着するものである。この粘着面の塵埃に対する粘着力は、ラバーロール体の塵埃に対する取る力よりも大きい。粘着テープは、例えば、紙やプラスチックなどの基材に、例えば、ゴム系やアクリル系などの粘着剤を塗布して粘着剤層を形成することにより構成されている。また、ホルダ３２１は、円板形状をなしていて、テープロール体３２０の巻き芯筒の両端中に着脱可能に嵌入される。また、回転軸は、ホルダ３２１の中心に固定されている。テープロール体３２０の両端の回転軸は、上第１ガイド機構３４の下移動ガイド部３４２に回転可能に支持されている。

（上当接ロール３３の説明）
２本の上当接ロール３３は、搬送方向Ｘに所定の間隔を開けた状態で配置されている。それぞれの上当接ロール３３は、回転軸と、ロール体と、から構成され、ロール体で、それぞれの上粘着テープロール３２の中央部分に当接する。この回転軸の両端部は、上第１ガイド機構３４の上移動ガイド部３４１に回転可能に支持されている。また、ロール体は、回転軸の外側に軸心方向Ｙに所定の長さに亘って設けられている。ロール体は、上粘着テープロール３２に当接して、上粘着テープロール３２を鉛直方向Ｚに上から下に押し下げる（押圧する）。なお、ロール体は、ワークＷに接触しないことから、塵埃を取る機能がない。

（下ロールユニット５の説明）
下ロールユニット５は、図１０に示すように、下支持部材５０と、２本の下粘着テープロール５２と、２本の下当接ロール５３と、２組の下ガイド機構５４と、２個の下押圧機構５５と、から構成されている。なお、図２、図３、図４においては、図面の簡略化のために、１本の下粘着テープロール５２、１本の下当接ロール５３、１組の下ガイド機構５４、１個の下押圧機構５５を図示する。なお、下支持部材５０は上支持部材３０と同様の構成であり、下粘着テープロール５２は上粘着テープロール３２と同様の構成であるので、その説明を省略する。

（下ガイド機構５４の説明）
下ガイド機構５４は、固定ガイド部５４０と、上移動ガイド部５４１と、下移動ガイド部５４２と、から構成されている。固定ガイド部５４０は、下支持部材５０に固定されている。上移動ガイド部５４１および下移動ガイド部５４２は、固定ガイド部５４０に鉛直方向Ｚ、すなわち、ワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能に設けられている。

固定ガイド部５４０は、下支持部材５０と兼用するものであっても良い。上移動ガイド部５４１には、下粘着テープロール５２が装備されている。下移動ガイド部５４２には、下当接ロール５３が装備されている。この結果、下ガイド機構５４は、下粘着テープロール５２と下当接ロール５３とを、鉛直方向Ｚに移動可能にガイドする。なお、下粘着テープロール５２は、ワークＷの塵埃除去作業が行われていない時には、下当接ロール５３に当接していない。

（下押圧機構５５の説明）
下押圧機構５５は、下ガイド機構５４の固定ガイド部５４０と下移動ガイド部５４２との間に介在されている。なお、下押圧機構５５の構成および配置は、上述した第１押圧機構３５と同様であるので、その説明を省略する。また、下当接ロール５３は、上述した上当接ロール３３と同様の構成であるので、その説明を省略する。

（初期移動機構６の説明）
初期移動機構６は、図９、図１１〜図１３に示すように、フレーム２と中ロールユニット４とに設けられている。初期移動機構６は、てこ（てこの原理）により中ロールユニット４をフレーム２に対して中引き出しガイド機構２４のガイド方向、すなわち、軸心方向Ｙに沿って右側から左側に初期移動させるものである。初期移動機構６は、フレーム２および中ロールユニット４の左側面側、すなわち、開閉扉２０側に配置されている。初期移動機構６は、第１レバー６１、第２レバー６２、第１支点部材６３、第２支点部材６４、力点部材６０、第１作用点部材６５および第２作用点部材６６を有する。図１２に示すように、第１レバー６１および第２レバー６２は、ワークＷの搬送方向Ｘに配置されている。すなわち、第１レバー６１は、ワークＷの搬送方向Ｘ上流側（前側）に配置されている。一方、第２レバー６２は、ワークＷの搬送方向Ｘ下流側（後側）に配置されている。

第１レバー６１の中間部は、中支持部材４０の前側に、第１支点部材６３により、ワークＷの搬送方向Ｘおよび中引き出しガイド機構２４のガイド方向（軸心方向Ｙ）に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付けられている。一方、第２レバー６２の中間部は、中支持部材４０の後側に、第２支点部材６４により、ワークＷの搬送方向Ｘおよび中引き出しガイド機構２４のガイド方向（軸心方向Ｙ）に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付けられている。

第１レバー６１の一端部と第２レバー６２の一端部とには、力点部材６０がワークＷの搬送方向Ｘおよび中引き出しガイド機構２４のガイド方向（軸心方向Ｙ）に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付けられている。力点部材６０は、この例では、操作レバーである。力点部材６０の下端は、ピン形状をなす。力点部材６０の下端のピン形状の軸は、鉛直方向Ｚと平行もしくはほぼ平行である。

フレーム２の前側には、第１作用点部材６５がブラケットを介して設けられている。第１作用点部材６５には、第１レバー６１の他端部が当接する。フレーム２の後側には、第２作用点部材６６がブラケットを介して設けられている。第２作用点部材６６には、第２レバー６２の他端部が当接する。

第１支点部材６３、第２支点部材６４、第１作用点部材６５および第２作用点部材６６は、ピン形状をなす。ピン形状の第１支点部材６３、第２支点部材６４、第１作用点部材６５および第２作用点部材６６の軸は、鉛直方向Ｚと平行もしくはほぼ平行である。また、第１レバー６１の一端部には、長孔６７が第１レバー６１の長手方向に設けられている。第１レバー６１の長孔６７には、力点部材６０の下端が第１レバー６１の長手方向に移動可能に嵌合されている。また、第２レバー６２の一端部には、円形孔が設けられている。第２レバー６２の円形孔には、力点部材６０の下端が回転可能に嵌合されている。

力点部材６０と第１支点部材６３との間の距離Ａは、第１支点部材６３と第１作用点部材６５との間の距離Ｂよりも長い。また、力点部材６０と第２支点部材６４との間の距離Ａは、第２支点部材６４と第２作用点部材６６との間の距離Ｂよりも長い。たとえば、Ａ：Ｂ≒３．５：１である。

（実施形態１の作用の説明）
この実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、以上のごとき構成からなり、以下、その作用について説明する。

図２、図５は、初期状態を示す。まず、上ロールユニット３において、制御装置の制御により、上第２押圧機構３７のロッドを、図２、図５中の矢印方向に伸長させると、移動ガイド部３６１が、固定ガイド部３６０（上支持部材３０と兼用である）に対して、図２、図５中の矢印方向に、押し下げられる。すると、上塵埃取ロール３１、上粘着テープロール３２、上当接ロール３３、上第１ガイド機構３４および上第１押圧機構３５も、固定ガイド部３６０に対して、図２、図５中の矢印方向に押し下げられる。そして、上塵埃取ロール３１が所定の位置に達した時点で、上第２押圧機構３７のロッドの伸長を止めることで、図３、図４、図６、図７に示すように、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１との間には、ワークＷの厚さと同等もしくはほぼ同等の隙間が形成される。なお、この隙間は、小さいので、図３、図４、図６、図７においては、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１とが接しているように図示されている。

なお、下ロールユニット５においても同様の動作を行い、下当接ロール５３が下粘着テープロール５２に当接し、さらに、下粘着テープロール５２が下塵埃取ロール４１に当接した時点で、下押圧機構５５のロッドの伸長を止める。すると、図３、図６に示すように、下当接ロール５３が下粘着テープロール５２の中間部分に、さらに下粘着テープロール５２が下塵埃取ロール４１に、それぞれ所定の押圧力で当接する。

次に、図３、図６に示す状態において、制御装置の制御により、押圧アクチュエータ３５０のロッドを、図３、図６中の矢印方向に、伸長させる。すると、上第１ガイド機構３４の上移動ガイド部３４１が、固定ガイド部３４０（上第２ガイド機構３６の移動ガイド部３６１と兼用である）に対して、図３、図６中の矢印方向に、押し下げられる。これに伴って、上移動ガイド部３４１に装備されている上当接ロール３３（上第１押圧機構３５の押圧ロールと兼用である）も、固定ガイド部３４０に対して、図３、図６中の矢印方向に、押し下げられる。これにより、図４、図７に示すように、上当接ロール３３が上粘着テープロール３２に当接する。

さらに、制御装置の制御により、上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０のロッドを、図４、図７中の矢印方向に伸長させる。すると、上当接ロール３３がさらに押し下げられて、この上当接ロール３３が当接している上粘着テープロール３２も、下移動ガイド部３４２を伴って、固定ガイド部３４０に対して、図４、図７中の矢印方向に押し下げられる。この結果、図４、図７に示すように、上当接ロール３３が上粘着テープロール３２の中間部分に所定の押圧力で当接し、さらに上粘着テープロール３２が上塵埃取ロール３１に所定の押圧力で当接する。この時点で、上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０のロッドの伸長を止め、ワークＷの塵埃除去作業の準備が完了する。

すなわち、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１との間には、ワークＷの厚さと同等もしくはほぼ同等の隙間が形成されている。また、上塵埃取ロール３１には、上粘着テープロール３２が所定の押圧力で当接し、下塵埃取ロール４１には、下粘着テープロール５２が所定の押圧力で当接している。また、上粘着テープロール３２の中間部分には、上当接ロール３３が所定の押圧力で当接し、下粘着テープロール５２の中間部分には、下当接ロール５３が所定の押圧力で当接している。

ここで、上ロールユニット３において、上塵埃取ロール３１のワークＷへの押圧力は、上粘着テープロール３２の上塵埃取ロール３１への押圧力よりも小さく制御された押圧力である。すなわち、上第２押圧機構３７の押圧力と上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０の押圧力とは、制御装置により制御される。

そして、ワークＷを、搬入手段を介して、クリーンローラ装置１に搬入させると、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１とは、ワークＷの上面と下面との２つの表面上を、回転しながら当接して、ワークＷの表面に付着している塵埃を取る。これにより、ワークＷの上面と下面との２つの表面に付着している塵埃は、除去される。一方、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１とで取られた塵埃は、上塵埃取ロール３１と下塵埃取ロール４１とに所定の押圧力で当接している上粘着テープロール３２と下粘着テープロール５２とに粘着される。

以上のようにして、ワークＷの上面と下面との２つの表面に付着している塵埃は、上ロールユニット３、中ロールユニット４および下ロールユニット５により除去される。塵埃が除去されたワークＷは、搬出手段を介して、クリーンローラ装置１から外部に搬出される。これにより、ワークＷの塵埃除去作業が完了する。

ここで、上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に塵埃がある程度粘着された時点で、テープロール体３２０、５２０の粘着テープのうち、塵埃が粘着された粘着テープを切り取る。これにより、テープロール体３２０、５２０の粘着テープは、塵埃が粘着されていない新しいものとなり、上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１で取った塵埃を粘着することができる。

なお、塵埃が粘着された粘着テープを切り取る場合は、ワークＷの塵埃除去作業を一旦中断させて、開閉扉２０を開いて、フレーム２内部から上ロールユニット３、下ロールユニット５を引き出す。この場合においては、伸長状態（図４、図７に示す状態）にある上第２押圧機構３７のロッド、押圧アクチュエータ３５０のロッド、下押圧機構５５のロッドを短縮させて、各ロール（すなわち、上当接ロール３３、上粘着テープロール３２、上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１、下粘着テープロール５２、下当接ロール５３）を、初期状態とする。そして、粘着テープの切取が完了した時点で、上ロールユニット３、下ロールユニット５をフレーム２内部に収納させて、開閉扉２０を閉じる。このとき、上ロールユニット３、下ロールユニット５は、ストッパ機構により、所定の位置に位置する。

ここで、初期移動機構６による中ロールユニット４の引き出し操作について図１２、図１３を参照して説明する。まず、操作レバーである力点部材６０を、握って、図１２中の矢印方向に引く。すると、第１レバー６１の一端部、第２レバー６２の一端部が、第１支点部材６３、第２支点部材６４を中心として、図１２中の矢印方向に回動する。すなわち、第１レバー６１の一端部は、第１支点部材６３を中心として、時計方向に回動し、第２レバー６２の一端部は、第２支点部材６４を中心として、反時計方向に回動する。

これにより、第１レバー６１および第２レバー６２の他端部が、第１作用点部材６５、第２作用点部材６６に当接する。この結果、てこの原理により、小さい力で、中ロールユニット４がフレーム２の内部から、図１３中の矢印方向に、若干引き出される。すなわち、初期移動機構６のてこの原理により、小さい力で、相互に磁気吸引力が作用している磁気駆動力伝達機構４４の駆動側磁気部材（駆動モータに連結されている部材）から従動側磁気部材（中ロールユニット４に取り付けられている部材）を引き離すことができる。また、初期移動機構６の操作により、中ロールユニット４をフレーム２の内部から若干引き出した時点で、中ロールユニット４の取手４５を握って、中ロールユニット４をフレーム２の内部から引き出す。

（実施形態１の効果の説明）
この実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、以上のごとき構成および作用からなり、以下、その効果について説明する。

本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３において、上粘着テープロール３２をワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする上第１ガイド機構３４と、上粘着テープロール３２を上第１ガイド機構３４のガイド方向に沿って移動させて上塵埃取ロール３１に押圧させる上第１押圧機構３５と、上塵埃取ロール３１、上粘着テープロール３２、上第１ガイド機構３４および上第１押圧機構３５をワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする上第２ガイド機構３６と、上塵埃取ロール３１、上粘着テープロール３２、上第１ガイド機構３４および上第１押圧機構３５を上第２ガイド機構３６のガイド方向に沿って移動させて、上塵埃取ロール３１をワークＷの表面に押圧させる上第２押圧機構３７と、を備える。

このため、上ロールユニット３においては、上塵埃取ロール３１のワークＷへの押圧力が、上粘着テープロール３２の上塵埃取ロール３１への押圧力よりも小さく制御された押圧力である。すなわち、上第２押圧機構３７の押圧力および上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０の押圧力が、制御装置により制御される。そのため、上塵埃取ロール３１のワークＷへの押圧力が、上粘着テープロール３２の上塵埃取ロール３１への押圧力よりも小さいので、ワークＷへの負担を軽減することができる。一方、上粘着テープロール３２の上塵埃取ロール３１への押圧力が上塵埃取ロール３１のワークＷへの押圧力よりも大きいので、上塵埃取ロール３１で取った塵埃を上粘着テープロール３２に確実に粘着することができる。これにより、従来のクリーンローラ装置と比較して、上ロールユニット３における上塵埃取ロール３１で取った塵埃の上粘着テープロール３２への粘着効率の向上を図ることができる。しかも、この上ロールユニット３における上塵埃取ロール３１で取った塵埃の上粘着テープロール３２への粘着効率の向上と、ワークＷの変形、損傷、破損などの発生の抑制との両立を図ることができる。

しかも、上述のように押圧力を制御装置により制御する機構のため、従来のクリーンローラ装置のように、加圧機構と粘着テープロールとの間、粘着テープロールと粘着ラバーロールとの間、および上粘着ラバーロールと下粘着ラバーロールとの間に、緩衝機構を設ける必要がない。したがって、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、従来のクリーンローラ装置と比較して、安価に提供することができる。その上、緩衝機構において新たな塵埃が発生してワークＷの２つの表面に付着することを防ぐことができる。これにより、ワークＷの２つの表面から塵埃を確実に除去することができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３において、上第１押圧機構３５が、上第１ガイド機構３４に上粘着テープロール３２と共に上第１ガイド機構３４のガイド方向に移動可能にガイドされている押圧ロールとしての上当接ロール３３と、押圧ロールとしての上当接ロール３３を上第１ガイド機構３４のガイド方向に沿って移動させて上粘着テープロール３２に押圧させる押圧アクチュエータ３５０と、を有している。このため、押圧アクチュエータ３５０の押圧力が上当接ロール３３を介して上粘着テープロール３２に加わるので、従来のクリーンローラ装置と比較して、上粘着テープロール３２の変形を抑制することができる。この結果、上ロールユニット３における上塵埃取ロール３１で取った塵埃の上粘着テープロール３２への粘着効率を確実に向上させることができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３において、押圧ロールとしての上当接ロール３３が、押圧アクチュエータ３５０により、上粘着テープロール３２の中央部分を押圧する。このため、従来のクリーンローラ装置と比較して、上粘着テープロール３２の変形をさらに抑制することができる。この結果、上ロールユニット３における上塵埃取ロール３１で取った塵埃の上粘着テープロール３２への粘着効率をさらに確実に向上させることができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３、下ロールユニット５において、上当接ロール３３、下当接ロール５３が上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に当接する。このため、従来のクリーンローラ装置と比較して、上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２の変形を抑制することができる。この結果、上ロールユニット３、下ロールユニット５において、上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１で取った塵埃を上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に効率良く粘着して、ワークＷの２つの表面に付着した塵埃を効率良く除去することができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３、下ロールユニット５において、上当接ロール３３、下当接ロール５３が上粘着テープロール３２の中央部分、下粘着テープロール５２の中央部分に当接する。このため、従来のクリーンローラ装置と比較して、上粘着テープロール３２の変形をさらに抑制することができる。この結果、上ロールユニット３、下ロールユニット５において、上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１で取った塵埃を上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に確実に効率良く粘着して、ワークＷの２つの表面に付着した塵埃を確実に効率良く除去することができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、上ロールユニット３において、上粘着テープロール３２および上当接ロール３３をワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする上第１ガイド機構３４と、上当接ロール３３を上第１ガイド機構３４のガイド方向に沿って移動させて上粘着テープロール３２に押圧させ、かつ、上粘着テープロール３２を上第１ガイド機構３４のガイド方向に沿って移動させて上塵埃取ロール３１に押圧させる上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０と、を備えている。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、下ロールユニット５において、下粘着テープロール５２および下当接ロール５３をワークＷの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする下ガイド機構５４と、下当接ロール５３を下ガイド機構５４のガイド方向に沿って移動させて下粘着テープロール５２に押圧させ、かつ、下粘着テープロール５２を下ガイド機構５４のガイド方向に沿って移動させて下塵埃取ロール４１に押圧させる下押圧機構５５と、を備えている。

このため、上第１押圧機構３５の押圧アクチュエータ３５０、下押圧機構５５の押圧力が上当接ロール３３、下当接ロール５３を介して上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に加わる。これにより、従来のクリーンローラ装置と比較して、上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２の変形をさらに抑制することができる。この結果、上ロールユニット３、下ロールユニット５において、上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１で取った塵埃を上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２にさらに確実に効率良く粘着して、ワークＷの２つの表面に付着した塵埃をさらに確実に効率良く除去することができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、中ロールユニット４において、上搬送ロール４２、下搬送ロール４３が、中ロールユニット４を構成し、中ロールユニット４とフレーム２とには、中ロールユニット４をフレーム２に対して上搬送ロール４２、下搬送ロール４３の軸心方向Ｙもしくはほぼ軸心方向Ｙに移動可能にガイドする中引き出しガイド機構２４と、てこにより中ロールユニット４をフレーム２に対して中引き出しガイド機構２４のガイド方向に沿って初期移動させる初期移動機構６とが、設けられている。このため、従来のクリーンローラ装置と比較して、中ロールユニット４をフレーム２から小さな力で簡単に引き出すことができる。しかも、駆動力伝達機構として、磁気駆動力伝達機構４４を使用しても、初期移動機構６のてこの原理により、相互に磁気吸引力が作用している磁気駆動力伝達機構４４の駆動側磁気部材（駆動モータに連結されている部材）から従動側磁気部材（中ロールユニット４に取り付けられている部材）を小さな力で簡単に引き離すことができる。すなわち、中ロールユニット４をフレーム２から小さな力で簡単に引き出すことができる。

また、本実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、初期移動機構６が、第１レバー６１、第２レバー６２、第１支点部材６３、第２支点部材６４、力点部材６０、第１作用点部材６５および第２作用点部材６６を有し、第１レバー６１に長孔６７が第１レバー６１の長手方向に設けられていて、長孔６７には力点部材６０が第１レバー６１の長手方向に移動可能に嵌合されていて、力点部材６０と第１支点部材６３との間の距離Ａが、第１支点部材６３と第１作用点部材６５との間の距離Ｂよりも長く、力点部材６０と第２支点部材６４との間の距離Ａが、第２支点部材６４と第２作用点部材６６との間の距離Ｂよりも長い。このため、従来のクリーンローラ装置と比較して、中ロールユニット４をフレーム２から小さな力でさらに簡単に引き出すことができる。

（実施形態２の説明）
図１４は、この発明にかかるクリーンローラ装置の実施形態２を示す。以下、この実施形態２にかかるクリーンローラ装置１Ａについて説明する。前記の実施形態１にかかるクリーンローラ装置１は、例えば、図２〜図４に示すように、１本の上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に対して、１本の上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１を備えるものである。これに対して、この実施形態２にかかるクリーンローラ装置１Ａは、１本の上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に対して、２本の上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１を備えるものである。

この実施形態２にかかるクリーンローラ装置１Ａは、以上のごとき構成からなるので、前記の実施形態１にかかるクリーンローラ装置１と同様の作用効果を達成することができる。特に、この実施形態２にかかるクリーンローラ装置１Ａは、１本の上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２に対して、２本の上塵埃取ロール３１、下塵埃取ロール４１を備えるものであるから、ワークＷの表面に付着した塵埃をさらに効率良く除去することができる。

なお、この実施形態２にかかるクリーンローラ装置１Ａは、図１４に示す装置を、１つ備えるものでも良く、複数備えるものでも良い。また、前記の実施形態１にかかるクリーンローラ装置１も、同様に、図２〜図４に示す装置を、１つ備えるものでも良く、複数備えるものでも良い。ここで、図２〜図４に示す装置を２つ備えたものは、前記の実施形態１中の図１、図８、図１０に示すものである。

（実施形態１、２以外の例の説明）
なお、前記の実施形態１、２においては、下ロールユニット５が、下ガイド機構５４と、下押圧機構５５と、を備える例について説明するものである。しかしながら、この発明においては、下ロールユニット５が、上ロールユニット３と同様に、第１ガイド機構、第１押圧機構、第２ガイド機構および第２押圧機構を備えるものであっても良い。

また、前記の実施形態１、２においては、上ロールユニット３が上第１ガイド機構３４、上第１押圧機構３５、上第２ガイド機構３６および上第２押圧機構３７を備えるものである。しかしながら、この発明においては、上ロールユニット３が下ロールユニット５と同様にガイド機構と、押圧機構と、を備えるものであっても良い。すなわち、第２ガイド機構および第２押圧機構は、上ロールユニット３と下ロールユニット５のうち少なくともいずれか一方に備えるものであれば良い。

さらに、前記の実施形態１、２においては、駆動力伝達機構４４として、非接触状態で駆動モータの駆動力を回転軸に伝達する磁気駆動力伝達機構４４を使用するものである。しかしながら、この発明においては、駆動力伝達機構として、磁気駆動力伝達機構以外の駆動力伝達機構、たとえば、歯車式（機械式）のギアやベルトなどから構成されている駆動力伝達機構を使用しても良い。

さらにまた、前記の実施形態１、２においては、上当接ロール３３、下当接ロール５３は、１本で、上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２の中央部分に当接するものである。しかしながら、この発明においては、上当接ロール３３、下当接ロール５３が、複数本であっても良いし、また、上粘着テープロール３２、下粘着テープロール５２の両端部分あるいは軸心方向Ｙに全体に亘って当接するものであっても良いし、さらに、上ロールユニット３、下ロールユニット５のいずれか一方に設けるものであっても良い。

さらにまた、前記の実施形態１、２においては、上ロールユニット３、中ロールユニット４、下ロールユニット５が、フレーム２に、上、中、下の引き出しガイド機構２３、２４、２５を介して、個別に、軸心方向Ｙに移動可能にガイドされている。しかしながら、この発明においては、上ロールユニット３と中ロールユニット４とが一体で、中ロールユニット４と下ロールユニット５とが一体で、あるいは、上ロールユニット３と中ロールユニット４と下ロールユニット５とが一体で、ガイド機構を介して、ガイドされるものであっても良い。

さらにまた、前記の実施形態１、２においては、初期移動機構６を中ロールユニット４とフレーム２とに設けるものである。しかしながら、この発明においては、初期移動機構６を、上ロールユニット３とフレーム２とに、また、下ロールユニット５とフレーム２とに、設けても良い。

さらにまた、前記の実施形態１、２においては、初期移動機構６の第１レバー６１の一端部に長孔６７を設けたものである。しかしながら、この発明においては、第２レバー６２の一端部に長孔６７を設けたものであっても良いし、第１レバー６１の一端部と第２レバー６２の一端部とにそれぞれ長孔６７を設けたものであっても良い。

なお、この発明は、前記の実施形態１、２により限定されるものではない。

１、１Ａ…クリーンローラ装置、２…フレーム、２０…開閉扉、２３…上引き出しガイド機構、２４…中引き出しガイド機構、２５…下引き出しガイド機構、３…上ロールユニット、３０…上支持部材、３１…上塵埃取ロール、３２…上粘着テープロール、３２０…テープロール体、３２１…ホルダ、３３…上当接ロール（押圧ロール）、３４…上第１ガイド機構、３４０…固定ガイド部、３４１…上移動ガイド部、３４２…下移動ガイド部、３５…上第１押圧機構、３５０…押圧アクチュエータ、３６…上第２ガイド機構、３６０…固定ガイド部、３６１…移動ガイド部、３７…上第２押圧機構、４…中ロールユニット、４０…中支持部材、４１…下塵埃取ロール、４２…上搬送ロール、４３…下搬送ロール、４４…駆動力伝達機構（磁気駆動力伝達機構）、４５…取手、５…下ロールユニット、５０…下支持部材、５２…下粘着テープロール、５２０…テープロール体、５２１…ホルダ、５３…下当接ロール、５４…下ガイド機構、５４０…固定ガイド部、５４１…上移動ガイド部、５４２…下移動ガイド部、５５…下押圧機構、６…初期移動機構、６０…力点部材、６１…第１レバー、６２…第２レバー、６３…第１支点部材、６４…第２支点部材、６５…第１作用点部材、６６…第２作用点部材、６７…長孔、Ａ…力点部材６０と第１支点部材６３との間の距離、力点部材６０と第２支点部材６４との間の距離、Ｂ…第１支点部材６３と第１作用点部材６５との間の距離、第２支点部材６４と第２作用点部材６６との間の距離、Ｗ…ワーク、Ｘ…搬送方向（前後方向）、Ｙ…軸心方向（左右方向）、Ｚ…鉛直方向（上下方向）。

Claims (8)

1. ワークの表面に付着した塵埃を前記ワークの表面から取る塵埃取ロールと、
   前記塵埃取ロールで取った塵埃を前記塵埃取ロールから粘着する粘着テープロールを前記ワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする第１ガイド機構と、
   前記粘着テープロールを前記第１ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて前記塵埃取ロールに押圧させる第１押圧機構と、
   前記塵埃取ロール、前記粘着テープロール、前記第１ガイド機構および前記第１押圧機構を前記ワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドする第２ガイド機構と、
   前記塵埃取ロール、前記粘着テープロール、前記第１ガイド機構および前記第１押圧機構を前記第２ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて、前記塵埃取ロールを前記ワークの表面に、前記第１押圧機構による前記粘着テープロールの前記塵埃取ロールへの押圧力よりも小さく制御された押圧力で、押圧させる第２押圧機構と、
   を備える、
   ことを特徴とするクリーンローラ装置。
2. 前記第１押圧機構は、
   前記第１ガイド機構に前記粘着テープロールと共に前記第１ガイド機構のガイド方向に移動可能にガイドされている押圧ロールと、
   前記押圧ロールを前記第１ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて前記粘着テープロールに押圧させる押圧アクチュエータと、
   を有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンローラ装置。
3. 前記押圧ロールは、前記押圧アクチュエータにより、前記粘着テープロールの中央部分を押圧する、
   ことを特徴とする請求項２に記載のクリーンローラ装置。
4. 前記粘着テープロールに当接する当接ロールを備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンローラ装置。
5. 前記当接ロールは、前記粘着テープロールの中央部分に当接する、
   ことを特徴とする請求項４に記載のクリーンローラ装置。
6. 前記粘着テープロールおよび前記当接ロールを前記ワークの表面に対して垂直方向もしくはほぼ垂直方向に移動可能にガイドするガイド機構と、
   前記当接ロールを前記ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて前記粘着テープロールに押圧させ、かつ、前記粘着テープロールを前記ガイド機構のガイド方向に沿って移動させて前記塵埃取ロールに押圧させる押圧アクチュエータと、
   を備える、
   ことを特徴とする請求項４または５に記載のクリーンローラ装置。
7. ワークを搬送する搬送ロールと、
   前記搬送ロール、前記塵埃取ロールおよび前記粘着テープロールが配置されているフレームと、
   を備え、
   前記搬送ロール、前記塵埃取ロール、前記粘着テープロールのうち少なくとも前記搬送ロールは、ロールユニットを構成し、
   前記ロールユニットと前記フレームとには、前記ロールユニットを前記フレームに対して前記搬送ロールの軸心方向もしくはほぼ軸心方向に移動可能にガイドするガイド機構と、てこにより前記ロールユニットを前記フレームに対して前記ガイド機構のガイド方向に沿って初期移動させる初期移動機構とが、設けられている、
   ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンローラ装置。
8. 前記初期移動機構は、
   前記ワークの搬送方向に配置されている第１レバーおよび第２レバーと、
   前記第１レバーの中間部を前記ロールユニットの前記ワークの搬送方向上流側に、前記ワークの搬送方向および前記ガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付ける第１支点部材と、
   前記第２レバーの中間部を前記ロールユニットの前記ワークの搬送方向下流側に、前記ワークの搬送方向および前記ガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付ける第２支点部材と、
   前記第１レバーの一端部と前記第２レバーの一端部とに、前記ワークの搬送方向および前記ガイド機構のガイド方向に対して垂直もしくはほぼ垂直な軸回りに回転可能に取り付けられている力点部材と、
   前記フレームの前記ワークの搬送方向上流側に設けられていて、前記第１レバーの他端部が当接する第１作用点部材と、
   前記フレームの前記ワークの搬送方向下流側に設けられていて、前記第２レバーの他端部が当接する第２作用点部材と、
   を有し、
   前記第１レバー、前記第２レバーのうち少なくともいずれか一方には、長孔が前記第１レバー、前記第２レバーのうち少なくともいずれか一方の長手方向に設けられていて、
   前記長孔には、前記力点部材が前記第１レバー、前記第２レバーのうち少なくともいずれか一方の長手方向に移動可能に嵌合されていて、
   前記力点部材と前記第１支点部材との間の距離は、前記第１支点部材と前記第１作用点部材との間の距離よりも長く、
   前記力点部材と前記第２支点部材との間の距離は、前記第２支点部材と前記第２作用点部材との間の距離よりも長い、
   ことを特徴とする請求項７に記載のクリーンローラ装置。
   
   
   

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