JP5229702B2 - クリーンローラ装置 - Google Patents
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Description
図1から図3に、クリーンローラ装置10の全体構成を示す。図1は、クリーンローラ装置10の左側面図であり、図2は、クリーンローラ装置10の正面図である。また、図3は、クリーンローラ装置10の右側面図である。また、図4は、クリーンローラ装置10の平面図である。なお、図1および図3では、クリーンローラ装置10のうち、ワークWを搬送する部位が分かるように、当該ワークWの搬送にかかわる部分を透視して示している。
図1、図2および図3等に示すように、クリーンローラ装置10が具備するクリーンユニット40には、ベースロール対50Aと、可動ロール対50Bとが設けられている。ベースロール対50Aは、粘着ラバーローラ体51が摺動せずに固定的に設けられている(以下、必要に応じて、この粘着ラバーローラ体51を固定粘着ラバーローラ体51A(塵埃吸着ローラ体に対応)と称呼する。)。一方、可動ロール対50Bは、粘着ラバーローラ体51が図6における左右方向(矢示A方向;鉛直方向とは交差する摺動方向)に移動可能に設けられている。このようなベースロール対50Aおよび可動ロール対50Bが、それぞれ上下方向に並ぶように配置されている。
続いて、クリーンローラ装置10が具備する、制御手段としての制御部100について、図8に基づいて説明する。制御部100には、基板検出センサからの検出信号が入力される。また、制御部100は、不図示のCPU、メモリ(ROM、RAM、不揮発性メモリ等)、バス、タイマ、インターフェース等を有していて、上述のメモリの中の、所定のシーケンス制御に関するプログラムおよびデータがCPUで実行され、制御部100の各構成が協働することにより、機能的には、図8のブロック図に示すような構成が実現される。
以上のような構成を具備するクリーンローラ装置10の動作に関して、以下に説明する。最初に、クリーンローラ装置10に粘着テープロール70を取り付けて、クリーンローラ装置10が作動可能な状態とする。
以上のような構成のクリーンローラ装置10によれば、ワークWが粘着ラバーローラ体51A,51Bで挟み込まれている状態のときには、制御部100は、リニアアクチュエータ63を作動させる。それにより、ロータリアクチュエータ52のみが作動しているときよりも、大きな付勢力を粘着ラバーローラ体51に与える。このようにリニアアクチュエータ63およびロータリアクチュエータ52の作動を制御すれば、ワークWの先端が粘着ラバーローラ体51A,51Bで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークWの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、より強い押圧力の付与により、粘着ラバー層512から粘着テープロール70に対して、塵埃を良好に転写可能となる。
以上、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置10について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
52…ロータリアクチュエータ(第2の駆動源に対応)、60…粘着テープ保持部、61…回転保持部、62…支持スライダ、63…リニアアクチュエータ(第3の駆動源に対応)、80,80a,80b,80c…基板検出センサ、90…操作パネル、94…速度調整ツマミ、100…制御部(制御手段に対応)、101…主制御部、102…モータ制御部、103…リニアアクチュエータ制御部、104…ロータリアクチュエータ制御部、511…回転軸、512…粘着ラバー層、513…マウント部材、518…当接ベアリング
Claims (6)
- フィルムが貼付されているワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、
第1の駆動源の作動により駆動させられると共に、上記ワークの一方の面に、上記ワークの移動に伴って転動しつつ接触し、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持する塵埃吸着ローラ体と、
上記ワークの他方の面に、上記ワークの移動に伴って転動しつつ接触すると共に、上記塵埃吸着ローラ体とで上記ワークを鉛直方向に沿って移動させるベースローラ体と、
粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、
上記塵埃吸着ローラ体を上記ベースローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第2の駆動源と、
上記粘着テープロールを上記塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第3の駆動源と、
上記ワークの有無を検出する基板検出センサと、
上記基板検出センサでの上記ワークの検出から所定時間が経過する前には上記第2の駆動源のみを作動させると共に、上記所定時間の経過後の上記ワークが上記塵埃吸着ローラ体と上記ベースローラ体とで挟み込まれている状態のときには少なくとも上記第3の駆動源を作動させて、上記所定時間の経過前よりも大きな付勢力を上記塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御する制御手段と、
を具備することを特徴とするクリーンローラ装置。 - 請求項1記載のクリーンローラ装置において、
前記制御手段は、上記所定時間の経過後は、前記第2の駆動源の作動を停止させ、かつ前記第3の駆動源のみを作動させると共に、前記第3の駆動源は、前記制御手段によって前記第2の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を前記塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御される、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。 - 請求項1または2記載のクリーンローラ装置において、
前記塵埃吸着ローラ体は、前記鉛直方向とは交差する摺動方向に沿って摺動可能に設けられていると共に、
前記ベースローラ体は、上記摺動方向に沿って摺動しない構成となっている、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。 - 請求項3記載のクリーンローラ装置において、
前記粘着テープ保持部は、前記粘着テープロールが前記摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されている、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のクリーンローラ装置において、
前記第2の駆動源は、押さえアームに回転トルクを与えるロータリアクチュエータであると共に、
前記第3の駆動源は、リニアアクチュエータである、
ことを特徴とするクリーンローラ装置。 - 請求項1記載のクリーンローラ装置において、
前記基板検出センサは、
前記ワークの投入を検出する第1の基板検出センサと、
前記ワークの鉛直方向における下端を検出する第2の基板検出センサと、
を備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
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