CN108778535A - 清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。本发明是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。优选为具备用以调节所述表侧刷辊单元、及所述表侧树脂辊单元各自的高度的高度调节机构。

Description

清洁装置

技术领域

本发明涉及一种清洁装置。

背景技术

近年来，开发有一种清洁装置，所述清洁装置用以去除附着于平板显示器(FlatPanel Display，FPD)用的玻璃基板、或树脂基板、或电子零件搭载用印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片(ceramic green sheet)、或树脂薄板、或长条膜等对象物表面上的尘埃等异物。

作为此种清洁装置，例如提出有如下的清洁装置：利用带电刷去除对象物表面的异物，并利用电场力(electric field force)且利用清洁辊来搬送及回收所述经去除的异物(参照日本专利特开2011-92846号公报)。

但是，在现有的清洁装置中，通常将带电刷或清洁辊固定于装置的框体内，因此在装置的维护时必须将装置分解，在维护性的方面存在问题。另外，具备带电刷的清洁装置可利用带电刷来去除毫米尺寸的比较大的异物，但存在产生带电刷不接触对象物表面的部分，而无法去除所述非接触部分上所存在的异物(特别是微细的异物)的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011-92846号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是基于如上述情况而成的，其目的在于提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。

解决问题的技术手段

为了解决所述课题而成的发明是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。

所述清洁装置将去除对象物的表侧表面的异物的表侧刷辊及表侧清洁辊分别加以单元化并可装卸地配设，由此可容易地卸下表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元。因此，所述清洁装置的各构成要素的维护容易进行。

此外，所述清洁装置在对象物的上方具备自对象物的表侧表面上去除异物的表侧刷辊及表侧清洁辊，由此不仅可自对象物的表侧表面上去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物。即，所述清洁装置可利用表侧刷辊而自对象物的表侧表面上刮取并去除毫米尺寸的比较大的异物，并且可利用表侧清洁辊而自对象物的表侧表面上吸附去除微细的异物。如此，所述清洁装置可去除在FPD或半导体等的制造工序中所产生的各种尺寸或材质的异物，因此与现有的清洁装置相比，清洁性格外优异。

所述清洁装置优选为具备用以调节表侧刷辊单元、及表侧清洁辊单元各自的高度的高度调节机构。如此，通过所述清洁装置具备高度调节机构，可调节对于对象物的表侧刷辊的压接量或表侧清洁辊的按压力(夹持宽度)。由此，可高效率地进行利用表侧刷辊的比较大的异物的去除、及利用表侧清洁辊的微细的异物的去除。尤其，因表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元可装卸，故可在各个单元中设置独立的高度调节机构，而调节各自的高度。由此，即便表侧刷辊与对象物的最适宜的压接条件不同于表侧清洁辊与对象物的最适宜的压接条件，也可利用独立的高度调节机构，而分别使对于对象物的压接条件最适宜化。

表侧刷辊单元优选为具备：表侧刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1回收辊，以与所述表侧刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及第1刀片，抵接于所述第1回收辊表面上，并去除附着的异物。在此种表侧刷辊单元中，表侧刷辊在相对于搬送方向反转的方向上旋转驱动，由此可刮起并有效地去除附着于对象物的表侧表面上的异物、特别是毫米尺寸的比较大的异物。另外，在使利用表侧刷辊而自对象物上去除的比较大的异物附着于第1回收辊上后，可利用第1刀片来去除。因此，可减少自对象物的表侧表面上去除的异物继续附着于表侧刷辊上的可能性，并将表侧刷辊维持成清洁的状态。其结果，可利用表侧刷辊更有效地进行自对象物的表侧表面上的比较大的异物的去除。

表侧刷辊单元优选为具备搬送辊，所述搬送辊具有与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴，配设于表侧刷辊的搬送方向上游侧，并辅助对象物的搬送。通过具备此种搬送辊，可引导对象物而顺利地搬送。

表侧刷辊单元优选为在表侧刷辊的搬送方向上游侧具备第1异物回收部，所述第1异物回收部至少收容利用第1刀片所去除的异物。通过具备此种第1异物回收部，可一面抑制利用第1刀片自第1回收辊上所刮取的异物在单元内的飞散一面回收。另外，通过将第1异物回收部配置于表侧刷辊的搬送方向上游侧，可采用朝搬送方向上游侧抽出第1异物回收部的构成，而可容易地取出第1异物回收部中所回收的异物。

表侧清洁辊单元优选为具备：表侧清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；刷辊，以与所述表侧清洁辊大致平行且抵接的方式配设，且在相对于表侧清洁辊反转的方向上旋转驱动；第2回收辊，以与所述刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及第2刀片，抵接于所述第2回收辊表面上，并去除附着的异物。在此种表侧清洁辊单元中，在将利用表侧清洁辊而自对象物的表侧表面上去除的微细的异物经由刷辊搬送至第2回收辊上后，可利用第2刀片来刮取并去除。因此，可减少自对象物的表侧表面上去除的异物继续附着于表侧清洁辊上的可能性，并将表侧清洁辊维持成清洁的状态。其结果，可利用表侧清洁辊更有效地进行自对象物的表侧表面上的微细的异物的去除。

表侧清洁辊单元优选为在表侧清洁辊的搬送方向下游侧具备第2异物回收部，所述第2异物回收部至少收容利用第2刀片所去除的异物。通过具备此种第2异物回收部，可一面抑制利用第2刀片自第2回收辊上所刮取的异物在单元内的飞散一面回收。另外，通过将第2异物回收部配置于表侧清洁辊的搬送方向下游侧，可采用朝搬送方向下游侧抽出第2异物回收部的构成，第2异物回收部中所回收的异物的取出变得容易。

所述清洁装置优选为具备背侧相向辊单元，所述背侧相向辊单元包含：第1背侧相向辊，对应于表侧刷辊单元的表侧刷辊而设置于对象物下方；及第2背侧相向辊，对应于表侧清洁辊单元的表侧清洁辊而设置于对象物下方。通过具备此种背侧相向辊单元，可利用第1背侧相向辊来准确地进行对象物的搬送，并且可利用第2背侧相向辊来更高效率地进行利用表侧清洁辊的微细的异物的去除。

背侧相向辊单元优选为具备设置于第1背侧相向辊的搬送方向上游侧，并辅助对象物的搬送的辅助辊。如此，通过具备辅助辊，当将对象物搬入至表侧刷辊单元中时，辅助辊可引导对象物而准确地进行搬送。其结果，可抑制由对象物的前端部的接触所引起的表侧清洁辊的损伤、或对象物的搬送不良等。

所述清洁装置优选为具备：背侧刷辊单元，配设于对象物的下方且所述背侧相向辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧刷辊去除对象物的背侧表面的异物；背侧清洁辊单元，配设于所述对象物的下方且所述背侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧清洁辊去除对象物的背侧表面的异物；以及可装卸地配设的表侧相向辊单元，包含第1表侧相向辊，对应于所述背侧刷辊单元的背侧刷辊而设置于所述对象物上方，及第2表侧相向辊，对应于所述背侧清洁辊单元的背侧清洁辊而设置于所述对象物上方。如此，通过具备背侧清洁辊单元及背侧刷辊单元，可去除对象物的背侧表面的异物。另外，通过具备表侧相向辊单元，可利用第1表侧相向辊来更准确地进行对象物的搬送，并且可利用第2表侧相向辊来高效率地进行利用背侧清洁辊的微细的异物的去除。进而，通过将所述表侧相向辊单元设为可装卸，在维护时可卸下，其结果，可容易地进行背侧刷辊单元及背侧清洁辊单元的维护、特别是背侧刷辊及背侧清洁辊的维护。

再者，在本说明书的各辊的旋转方向的说明中，将在相对于对象物或其他辊的运动方向连带旋转的方向上旋转的情况称为“在正转方向上旋转”，反之称为“在反转方向上旋转”。另外，所谓“大致垂直”，是指相对于垂直线的交叉角度为±10°以内，也可为垂直。进而，所谓“大致平行”，是指两条直线所形成的角的锐角超过0°、且为10°以内，或为平行。在本说明书中，对象物的“表侧”及“背侧”仅是为了方便的区分，未必对应于使用对象物时的表侧及背侧。

发明的效果

本发明可提升装置的维护性，并且不仅可去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物。

附图说明

[图1]表示本发明的一实施例的清洁装置的立体图。

[图2]图1中所示的清洁装置的示意剖面图。

[图3]图1中所示的清洁装置的刷辊的示意剖面图。

[图4]图1中所示的清洁装置的回收辊的示意剖面图。

[图5]图1中所示的清洁装置的搬送辊的示意正面图。

[图6]图5的X-X线处的示意剖面图。

[图7]表示可应用于本发明的一实施例的清洁装置的高度调节机构的一例的示意剖面图。

[图8]表示使用图7的高度调节机构的高度调节的一工序的示意剖面图。

[图9]表示图8的高度调节机构的示意立体图。

[图10]图1中所示的清洁装置的清洁辊的示意剖面图。

[图11]表示可应用于本发明的一实施例的清洁装置的单元侧端子的示意立体图。

[图12]表示可应用于本发明的一实施例的清洁装置的固定器侧端子的示意立体图。

[图13]表示可应用于本发明的一实施例的清洁装置的电压施加机构的示意剖面图。

[图14]表示对象物、刷及异物的带电序列的图。

[图15]用以说明刷辊单元中的刷辊的施加电压的最适宜化的实验方法的示意图。

[图16]表示相对于刷辊的施加电压的异物的吸附宽度的测定结果的图表。

[图17]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。

[图18]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。

[图19]表示清洁性能的确认结果的对象物表面的摄像结果。

具体实施方式

以下，一面适宜参照附图一面对本发明的清洁装置的一例进行详细说明。关于本发明的具体的构成及细节，当然可在利用本发明的本质的范围内适宜变更。

<清洁装置>

图1及图2中所示的所述清洁装置是一面在搬送方向D上搬送平板状的对象物S，一面去除其表面(表侧表面S1及背侧表面S2)的异物者。所述清洁装置主要具备固定器1、外部搬送机构(上游侧外部搬送机构2A及下游侧外部搬送机构2B)、及清洁机构3。

〔对象物〕

对象物S在图2中为平板状的构件，但只要是板状或膜状的构件，则并无特别限制。具体而言，对象物的表面可如图2中所示那样平坦，但也可存在凹陷。进而，在对象物中也可存在孔等。

作为板状的对象物，例如可列举：FPD的玻璃基板、或树脂基板、或电子零件搭载用印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片、或树脂薄板等。作为膜状的对象物，例如可列举树脂膜等。

对象物的平均厚度并无特别限定，但作为其下限，优选为30μm，更优选为50μm。若对象物的平均厚度未满所述下限，则存在难以搬送对象物的问题。另一方面，作为对象物的平均厚度的上限，例如为5mm。

[固定器]

固定器1是保持清洁机构3者。所述固定器1是利用多根棒11及轴12将相向的一对板状构件10之间连结而成者。

[外部搬送机构]

外部搬送机构是向对象物S赋予用于搬送的推进力者，其设置于清洁机构3的外部。所述外部搬送机构具有配置于比清洁机构3更位于搬送方向上游侧的上游侧外部搬送机构2A、及配置于比清洁机构3更位于搬送方向下游侧的下游侧外部搬送机构2B。利用所述外部搬送机构的对象物s的搬送速度只要是可利用清洁机构3而自对象物S上去除异物的范围，则并无特别限制。作为对象物S的搬送速度的下限，优选为5m/min，更优选为10m/min。另一方面，作为对象物S的搬送速度的上限，优选为30m/min，更优选为20m/min。若对象物S的搬送速度未满所述下限，则存在异物去除所需的时间变长，异物的去除效率下降的问题。相反地，若对象物S的搬送速度超过所述上限，则存在无法利用清洁机构3来充分地去除对象物S的表面的异物的问题。

<上游侧外部搬送机构>

上游侧外部搬送机构2A是将对象物S搬入至清洁机构3中者，其具有多个带搬送部20A。带搬送部20A是在沿着搬送方向D分隔配置的一对辊21A之间卷挂环状带22A而成者。一对辊21A之中，一者为被赋予旋转力的驱动辊，另一者为通过驱动辊的旋转而与环状带22A一同旋转的从动辊。多个带搬送部20A以固定间隔配置在与搬送方向D正交的水平方向(以下，也称为“搬送宽度方”)上。

<下游侧外部搬送机构>

下游侧外部搬送机构2B是自清洁机构3搬出对象物S者，其具有多个带搬送部20B。将带搬送部20B设为与上游侧外部搬送机构2A的多个带搬送部20A相同的构成。即，多个带搬送部20B是在沿着搬送方向D分隔配置的包含驱动辊及从动辊的一对辊21B之间，卷挂环状带22B而成者。多个带搬送部20B也以固定间隔配置于搬送宽度方向上。

[清洁机构]

清洁机构3是可进行对象物S的表侧表面S1及背侧表面S2的两面的清洁的机构，其具有表侧清洁机构3A及背侧清洁机构3B。

<表侧清洁机构>

表侧清洁机构3A是去除被搬送的对象物S的表侧表面S1的异物的单元。所述表侧清洁机构3A具有表侧刷辊单元4、表侧清洁辊单元5及背侧相向辊单元6。所述清洁装置将表侧刷辊单元4及表侧清洁辊单元5可装卸地安装于工厂等的地面的基座上所设置的固定器1上。固定器1可利用螺杆等固着工具而固定于所述基座上，但优选为不使用固着工具而以可移动的状态载置。表侧刷辊单元4及表侧清洁辊单元5配设于被搬送的对象物S的上方(搬送路径的上方)，并可装卸地保持于固定器1上。

〔表侧刷辊单元〕

表侧刷辊单元4是利用收容于框体40中的刷辊41去除对象物S的表侧表面S1的异物的单元，适合于去除毫米尺寸的比较大的异物。在所述表侧刷辊单元4的框体40中，除刷辊41以外，收容有回收辊42、刀片43、异物回收部44及搬送辊45，整体经单元化。如此，通过将表侧刷辊单元4在固定器1上可装卸地单元化，可自固定器1上容易地卸下表侧刷辊单元4。其结果，在必须结合对象物S或异物的种类而更换刷辊41的情况下可连同单元一同更换，因此可简便地进行异物的有效的去除。另外，通过自固定器1上卸下表侧刷辊单元4，可使与刷辊41相向的后述的相向金属辊60露出而容易地进行更换或清洗，因此维护性优异。此外，关于收容于框体40中的刷辊41等，与组装固定于固定器1上的情况相比，维护也变得容易。

(框体)

框体40是收容刷辊41等来进行单元化，并可在固定器1上装卸者。所述框体40包括：上游板及下游板，以与搬送面大致垂直的方式相向配设；一对侧板，将上游板及下游板的侧端部彼此连接；顶板，连接于上游板、下游板及一对侧板的上端部；以及底板，连接于上游板、下游板及一对侧板的下端部。在顶板中设置有在宽度方向上分隔的一对握持部40A。一对握持部40A是在表侧刷辊单元4的装卸时利用者。在底板中设置有开口部40B，后述的刷辊41的刷毛41C的前端部自所述开口部40B突出。再者，作为构成框体40的材料，并无特别限制，例如可列举不锈钢等。

(刷辊)

刷辊41是抵接于被搬送的对象物S上并去除表侧表面S1的异物、特别是比较大的异物(例如毫米尺寸的异物)的表侧刷辊。所述刷辊41在带电状态下，通过来自外部驱动源的动力，在相对于搬送方向D反转的方向(图2的顺时针旋转方向)上，通过与搬送方向D大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动。再者，刷辊41优选为在带电状态下，在相对于搬送方向D反转的方向上旋转驱动，但也可在非带电状态下旋转驱动，也可在相对于搬送方向D正转的方向上旋转驱动。

如图3所示，此种刷辊41具有圆柱状的芯棒41A、及经由接着层41B而植入芯棒41A的外周面上的多个刷毛41C。

芯棒41A例如由金属、碳材料、合成树脂复合材料等具有导电性的材料形成。作为所述具有导电性的材料的体积电阻率的上限，例如为10⁵Ωcm。通过后述的外部电源等电压施加机构来对所述芯棒41A施加电压。另外，与后述的表侧清洁辊单元5的清洁辊51相比，施加至芯棒41A中的电压以变成同极性且绝对值变大的方式设定。

作为施加至芯棒41A中的电压的下限，优选为-800V，更优选为-600V。另一方面，作为所述电压的上限，优选为-200V，更优选为-300V。

作为刷毛41C，优选为异物容易物理式地附着者，例如可列举合成树脂纤维制者。另外，作为刷毛41C，优选为可带有用以吸附附着于对象物S的表侧表面S1上的异物的电荷者，例如可适宜地使用含有碳黑、碳纤维、金属粉、金属晶须等导电性材料的合成树脂纤维制者。

刷毛41C的剖面形状并无特别限定，例如可列举：圆形状、椭圆形状、星型形状等。另外，刷毛41C的外形也无特别限定，例如可列举：直线状、波浪线形状、将曲线与直线组合所构成的形状等。再者，刷毛41C的表面积越大，越容易吸附异物。因此，作为刷毛41C，可使用可将表面积确保得大的剖面形状为奇异形状者，例如星型形状者。

刷辊41以变成相对于对象物S的搬送方向D反转的方向的方式旋转驱动，由此可在对象物S的表侧表面S1上刮起附着的异物并使其附着于刷毛41C上。另外，对刷辊41施加电压来使其带电，由此可使由电场力所产生的吸附力发挥作用，而有效地使对象物S的表侧表面S1的异物吸附于刷毛41C上。尤其，通过使刷辊41带电，即便在对象物S上存在孔或表面的凹陷的情况下，也可有效率地去除处于所述孔或凹陷中的异物。进而，通过对芯棒41A施加所述范围的电压，可更有效地使比较大的异物自对象物S的表侧表面S1吸附于刷辊41上。

进而，表侧刷辊单元4的刷辊41通过具有刷毛41C、在相对于搬送方向D反转的方向上旋转、及被施加与清洁辊51相比为同极性且绝对值大的电压，可自对象物S的表侧表面S1上去除毫米级的比较大的异物。

作为刷辊41朝对象物S中的平均压接量的下限，优选为0.3mm，更优选为0.5mm。另一方面，作为所述平均压接量的上限，优选为1.5mm，更优选为1mm。若所述平均压接量未满所述下限，则存在无法充分地刮起对象物S的表侧表面S1的异物的问题。相反地，若所述平均压接量超过所述上限，则刷毛41C与对象物S的表侧表面S1之间的阻力变大，因此存在对象物S的搬送速度下降的问题，并且存在损伤对象物S的表侧表面S1的问题。再者，“压接量”是刷毛41朝对象物S中的陷入量，且是指自刷毛41C的平均长度减去芯棒41A的表面与对象物S的表侧表面S1的最小距离所得的值。

作为刷辊41的圆周速度的下限，优选为1m/min，更优选为2m/min。另一方面，作为刷辊41的圆周速度的上限，优选为30m/min，更优选为15m/min。若刷辊41的圆周速度未满所述下限，则存在无法充分地刮起对象物S的表侧表面S1的异物的问题。相反地，若刷辊41的圆周速度超过所述上限，则刷毛41C与对象物S的表侧表面S1之间的阻力变大，因此存在对象物S的搬送速度下降的问题，并且存在对象物S的表侧表面S1受损的问题。另外，刷辊41的圆周速度B相对于对象物S的搬送速度W的比率(B/W)的上限优选为25％。若相对于对象物S的搬送速度W，刷辊41的圆周速度B过大，则存在难以利用刷辊41来刮起比较大的异物的问题。

(回收辊)

回收辊42是与刷辊41大致平行且与刷毛41C抵接，且回收附着于所述刷毛41C上的异物的第1回收辊。所述回收辊42的直径比刷辊41小，在刷辊41的上方，配置于比刷辊41更位于搬送方向上游侧。通过如此配置，可减少利用后述的刀片43所刮取的异物再次附着于回收辊42等构件上等不良影响。

如图4所示，回收辊42具备：由导电性材料形成的辊本体42A、及层叠于其外周面上的耐蚀性层42B。作为辊本体42A的材质，只要是导电性材料，则并无特别限定，例如可列举不锈钢、铜、铝等金属材料，或将导电性填料等导电材料调配至合成树脂中而成的导电性树脂材料等，这些之中，优选为金属材料。作为耐蚀性层42B，可设为通过镀镍或镀金等镀敷处理所形成的金属镀敷层。但是，作为回收辊42，也可使用整体由不锈钢等难以氧化的导电性材料形成，且不具有耐蚀性层42B者。

所述回收辊42在通过外部电源而带电的状态下，在相对于刷辊41反转的方向(图2的顺时针旋转方向)上，通过来自外部驱动源的动力来旋转驱动。如此，通过将回收辊42的旋转方向设为相对于刷辊41反转的方向，可提高异物的回收效率。作为相对于刷辊41的旋转速度的回收辊42的旋转速度的倍率的下限，优选为1.0倍。另一方面，作为所述旋转速度的倍率的上限，优选为1.5倍。由此，可有效地使异物自刷辊41移动至回收辊42上。但是，回收辊42的旋转方向也可为相对于刷辊41正转的方向。

相对于朝刷辊41中的施加电压，使朝回收辊42中的施加电压变成同极性且绝对值变高。作为朝回收辊42中的施加电压与朝刷辊41中的施加电压的差的绝对值的下限，优选为200V，更优选为300V。另一方面，作为所述差的绝对值的上限，优选为600V，更优选为500V。另外，作为朝回收辊42中的施加电压的下限，优选为-1,500V，更优选为-1,200V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-400V，更优选为-600V。通过相对于朝刷辊41中的施加电压，使朝回收辊42中的施加电压变成同极性且绝对值变高，相对于刷辊41的刷毛41C的电位，回收辊42的外周面的电位为同极性且绝对值变高，因此可使附着于刷辊41上的异物吸附于回收辊42的外周面上。尤其，通过将回收辊42与刷辊41的施加电压的差设为所述范围，进而将朝回收辊42中的施加电压设为所述范围，可使附着于刷辊41上的异物有效地吸附于回收辊42的外周面上。作为回收辊42的电阻的上限，优选为10⁸Ω。通过将回收辊42的电阻设为10⁸Ω以下，即便在对回收辊42进行表面处理的情况、或形成被膜的情况下，也可通过电压的施加而使其有效地带电。

(刀片)

刀片43是自回收辊42上刮取并去除异物的第1刀片。所述刀片43例如为具有弹性的矩形板状构件。

所述刀片43将前端部设为自由端，并且将基端部固定于刀片支撑部43a上。刀片43的作为自由端的前端部遍及回收辊42的轴方向而抵接于回收辊42的外周面上。刀片43优选为以倾斜的状态抵接于回收辊42的外周面上。在刀片43与回收辊42的接点处，作为刀片43与回收辊42的外周的假想切线的倾斜角的下限，优选为5°，更优选为15°。另一方面，作为所述倾斜角的上限，优选为30°，更优选为25°。在所述角度未满所述下限的情况下，存在如下问题：因压接力的不足而无法利用刀片43来充分地刮落异物，并产生擦过刀片43的异物再次附着于对象物S上的再转印现象。另一方面，在所述倾斜角超过所述上限的情况下，存在刀片43被卷入至回收辊42的旋转中而卷缩的问题。因此，以所述倾斜角变成所述范围的方式使刀片43抵接于回收辊42上，由此可有效地自回收辊42上刮落异物。另外，刀片43配置于比回收辊42更位于搬送方向上游侧，即配置于搬送辊45的上方。由此，可有效地活用搬送辊45的上方的空间，并可使表侧刷辊单元4小型化。另外，可采用朝搬送方向上游侧抽出后述的异物回收部44的构成，并提升便利性。

作为刀片43的材质，并无特别限定，但优选为具有弹性者，更优选为合成树脂。具体而言，为了赋予适度的弹性，优选为由例如热固性聚氨基甲酸酯等合成树脂形成。另外，为了减轻与所抵接的回收辊42的摩擦，刀片43之中，至少前端部可利用氟树脂等含有氟的化合物来进行氟涂布。作为氟涂布的平均厚度的下限，优选为5μm。另一方面，作为所述平均厚度的上限，优选为15μm。若所述平均厚度未满所述下限，则存在摩擦减轻效果无法充分地显现，刀片43容易被卷入至回收辊42的旋转中的问题。另一方面，在所述平均厚度超过所述上限的情况下，存在产生氟涂布的破损的问题。再者，刀片43的形状并不限定于图2的矩形板状，也可为自基端部至前端部为止弯折或弯曲的形状。

(异物回收部)

异物回收部44是回收及收容利用刀片43自回收辊42上刮落的异物的第1异物回收部。所述异物回收部44配设于刀片43的前端部的下方、且比刷辊41更位于搬送方向上游侧。而且，异物回收部44嵌入至框体40的上游板的开口部中，并可自所述开口部朝搬送方向上游侧抽出。在异物回收部44的上游侧设置有握持部44A，利用所述握持部44A而使异物回收部44的进出容易化。另外，异物回收部44因可朝搬送方向上游侧抽出，故可维持将表侧刷辊单元4固定于固定器1上的状态而抽出来回收异物，便利性优异。

(搬送辊)

搬送辊45是与后述的背侧相向辊单元6的辅助辊62一同引导搬入至清洁机构3中的对象物S的移动者。另外，为了以适当的力使对象物S进入至相对于搬送方向D反转的刷辊41的下方，搬送辊45及辅助辊62也具有用以向对象物S赋予推进力的功能。所述搬送辊45与后述的背侧相向辊单元6的辅助辊62相向配置。搬送辊45在相对于搬送方向D正转的方向(图2的逆时针旋转方向)上旋转。此处，当利用辅助辊62与搬送辊45来夹入对象物S的力过强时，存在异物被挤压于对象物S上而难以去除的问题、或损伤对象物S的问题。考虑到这些情况，搬送辊45以利用0.49N左右的力来按压辅助辊62的方式配设。但是，所述按压力可考虑对象物S的材质或厚度等而适宜调整。另外，当对象物S的硬度比较高，可仅利用辅助辊62来使其进入至刷辊41的下方时，也可自所述清洁装置中省略搬送辊45。

如图5及图6所示，搬送辊45具备芯轴45A、及多个树脂部45B，所述树脂部45B是层叠于所述芯轴45A的外周上的环状构件，且沿着芯轴45A的轴方向分隔配置。如图5及图6所示，树脂部45B在外周面上具有凹凸。如此，通过将在外周面上具有凹凸的多个树脂部45B分隔配置，可减小搬送辊45与对象物S的表侧表面S1的接触面积。其结果，当将对象物S搬入至清洁机构3中时，可抑制对象物S在搬送辊45与辅助辊62之间堵塞。

芯轴45A例如由不锈钢、铜、铝等金属形成。树脂部45B例如由聚氨基甲酸酯等形成。作为所述聚氨基甲酸酯，例如可列举：丙烯酸混合氨基甲酸酯、氟混合氨基甲酸酯等。此处，“丙烯酸混合氨基甲酸酯”是将聚酯聚氨基甲酸酯或聚醚聚氨基甲酸酯作为主成分的树脂，且是指(1)热塑性聚氨基甲酸酯及硅·丙烯酸共聚树脂的混合物，(2)包含丙烯酸树脂(例如包含甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物的在主链上接枝氨基乙基而成的接枝化合物)及热塑性聚氨基甲酸酯的混合物，或(3)包含丙烯酸树脂、聚氨基甲酸酯及氟系表面涂布剂的混合物。“氟混合氨基甲酸酯”是将聚氨基甲酸酯作为主成分的树脂，且是指将热塑性聚氨基甲酸酯与氨基甲酸酯·氟共聚物混合而成者。所谓“主成分”，是指含量最多的成分，例如为含有50质量％以上的成分。

(高度调节机构)

表侧刷辊单元4优选为以可利用高度调节机构来调节高度的方式构成。如此，可利用高度调节机构来调节表侧刷辊单元4的高度，由此可调节刷辊41对于对象物S的压接量，且利用刷辊41更有效率地进行比较大的异物的去除。

图7～图9表示经由表侧刷辊单元4的高度调节机构将表侧刷辊单元4配设于固定器1的板状构件10上的状态的一例(固定器1、高度调节机构及表侧刷辊单元4的框体40的顶板103以外的构件省略图示)。图7～图9的高度调节机构主要具备：大致板状的固定构件101，固定于固定器1的板状构件10上；滑动构件102，载置于所述固定构件101的上表面上，可沿着搬送方向D进行水平移动、及上下移动；以及盖104，包覆固定构件101。表侧刷辊单元4的顶板103利用滑动构件102来支撑长边方向端部，并伴随滑动构件102而上下移动。在图7～图9的高度调节机构中，可进而设置固定于板状构件10上，并可测定滑动构件102等的垂直位置的量规，或用以固定滑动构件102的水平位置的调整工具。图7表示以表侧刷辊单元4的高度变成最小的方式调节的状态。图8及图9表示以表侧刷辊单元4的高度变成最大的方式调节的状态。

在固定构件101的上表面的一部分中，形成有自搬送方向D的大致中央附近至下游侧(图7及图8中为右侧)为止高度逐渐增加的斜面。另一方面，滑动构件102的上表面变成大致水平面，但在下表面的一部分中形成有自搬送方向D的大致中央附近至下游侧为止高度逐渐增加的斜面。固定构件101的上表面的斜面与滑动构件102的下表面的斜面具有相同的梯度并对接。因此，通过使滑动构件102沿着搬送方向D水平移动，可一面将滑动构件102的上表面维持成大致水平面状态一面使高度起伏。由此，可变更由滑动构件102支撑的顶板103的高度(顶板103的上表面与板状构件10的上端的距离L1及距离L2)，并通过所述顶板103的高度变更来将表侧刷辊单元4调节成所期望的高度。

在图7～图9的高度调节机构中，可将滑动构件102的比较大的水平移动无级地(steplessly)转换成顶板103的比较微细的上下移动，因此可对应于对象物S的种类或厚度而无级地微调节刷辊单元4的高度。另外，图7～图9的高度调节机构因可配设于固定器1的上端附近，故可有效活用固定器1的空间，并且高度调节时的作业性优异。

但是，刷辊单元4的高度调节机构的方式或结构等并不受图7～图9限制。作为其他高度调节的方法，例如可列举：将规定的高度的间隔物配置于固定器1中的刷辊单元4的固定部上的方法，或在表侧刷辊单元4中设置突出部，并且沿着上下方向将与所述突出部嵌合的轨道状构件配置于固定器1上，而可无级地调节表侧刷辊单元4的安装高度的方法等。

〔表侧清洁辊单元〕

表侧清洁辊单元5是利用收容于框体50中的清洁辊51来去除对象物S的表侧表面S1的异物的单元。在所述表侧清洁辊单元5的框体50中，除清洁辊51以外，主要收容有刷辊52、回收辊53、刀片54及异物回收部55，整体经单元化。表侧清洁辊单元5适合于比毫米尺寸小的微细的异物的去除，其在比表侧刷辊单元4更邻接于搬送方向下游侧的位置上，可装卸地配设于固定器1上。此处，清洁辊51为了有效地使微细的异物在其表面上移动，以与后述的相向树脂辊61一同自对象物S的两面施加压力的方式设定。因此，假如在将表侧清洁辊单元5配置在表侧刷辊单元4的上游侧的情况下，存在清洁辊51将比较大的异物挤压并压接于对象物S上，即便利用刷辊41也无法去除光所述异物的问题。因此，表侧清洁辊单元5优选为配置于表侧刷辊单元4的下游侧。

如此，通过将表侧清洁辊单元5在固定器1上可装卸地单元化，可自固定器1上容易地卸下表侧清洁辊单元5。其结果，在必须对应于对象物S或异物的种类而变更清洁辊51的情况下可连同单元一同更换，因此可简便地进行异物的有效的去除。另外，通过自固定器1上卸下表侧清洁辊单元5，可使与清洁辊51相向的后述的相向树脂辊61等露出而容易地进行更换或清洗，因此维护性优异。此外，关于收容于框体50中的清洁辊51等，通过收容于框体50中来进行单元化，与组装固定于装置上的情况相比，维护也变得容易。

(框体)

框体50是收容清洁辊51等来进行单元化，并可在固定器1上装卸者。与表侧刷辊单元4同样地，所述框体50具有上游板、下游板、一对侧板、顶板及底板。在顶板中设置有在搬送宽度方向上分隔的一对握持部50A。一对握持部50A是在表侧清洁辊单元5的装卸时利用者。在底板中设置有开口部50B，清洁辊51的一部分自所述开口部50B突出。下游板自上方至下方为止弯折。再者，构成框体50的材料并无特别限制，例如可适宜地使用不锈钢等金属。

(清洁辊)

清洁辊51是去除对象物S的表侧表面S1的异物、特别是比较微细的异物(例如比毫米尺寸小的异物)者，其在外周面带电的状态下，在相对于搬送方向D正转的方向(图2的逆时针旋转方向)上，通过与搬送方向D大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动。如图10所示，所述清洁辊51是具有芯棒51A、形成于所述芯棒51A的外周面上的内层部51B、及包覆所述内层部51B的外周面的外层部51C的弹性辊。

芯棒51A通过导电性材料而形成为圆柱状。作为用于芯棒51A的导电性材料，例如可列举金属材料等，具体而言，与表侧刷辊单元4的回收辊42的辊本体42A同样地，可列举不锈钢、铜、铝等。

内层部51B是确保由清洁辊51及后述的相向树脂辊61所产生的对于对象物S的固定的按压力或夹持宽度者。即，内层部51B是确保对于对象物S的所期望的密接力或接触宽度，并有助于自其表侧表面S1上有效率地去除比较微细的异物者。作为形成所述内层部51B的材料，优选为具有弹性及导电性的树脂材料，更优选为聚氨基甲酸酯、硅酮树脂、天然橡胶、合成橡胶等含有树脂成分与碳的树脂材料。作为所述聚氨基甲酸酯，可适宜地使用与所述搬送辊45的树脂部45B的聚氨基甲酸酯相同者。作为形成内层部51B的材料，进而更优选为含有聚酯系聚氨基甲酸酯及碳黑的导电性弹性体。利用这些材料，可充分地确保清洁辊51的弹性，避免因清洁辊51而将异物过度地挤压于对象物S上，并抑制异物的去除效率的下降。

外层部51C是发挥如下的作用者：一面确保与对象物S的密接性，或不阻碍适度的表面电位的赋予，而确保清洁辊51的防污性或耐磨耗性，一面避免由湿气等所引起的不良影响。作为所述外层部51C的材料，只要是为了通过电场力来吸附附着于对象物S的表侧表面S1上的异物而可带电者即可，例如可列举丙烯酸混合聚氨基甲酸酯或氟混合聚氨基甲酸酯等聚氨基甲酸酯、或硅酮树脂、天然橡胶、合成橡胶等，这些之中，优选为聚氨基甲酸酯。如此，由聚氨基甲酸酯来形成外层部51C，由此与由硅酮树脂或丁基橡胶等来形成的情况相比，耐磨耗性提升，另外，可减少由塑化剂或低分子量化合物的添加所引起的清洁辊51的污染。另外，外层部51C优选为硬度比内层部51B高，具体而言，优选为日本工业标准(JapaneseIndustrial Standards，JIS)-A硬度为50°以上。通过外层部51C的JIS-A硬度为50°以上，可充分地确保清洁辊51的耐磨耗性。

通过使用丙烯酸混合聚氨基甲酸酯作为外层部51C的材质，容易自对象物S的表侧表面S1上去除带负电的异物。另一方面，通过使用氟混合聚氨基甲酸酯作为外层部51C的材质，容易使清洁辊51带负电，且容易自对象物S上去除带正电的异物。

再者，若外层部51C的粘着力过强，则当对象物S的厚度薄时，存在清洁辊51卷入对象物S的问题。因此，为了防止对象物S的卷入，优选为在清洁辊51的表面(外层部51C)上形成有微小突起。作为形成所述微小突起的具体的方法，优选为在用于外层部51C的形成的热塑性聚氨基甲酸酯等树脂材料中调配成为所述微小突起的原料的粒子的方法。作为所述粒子，可为定形粒子，也可为不定形粒子，但就使微小突起的突出形状均匀化的观点而言，优选为定形的球状粒子。作为所述球状粒子的平均粒径的下限，优选为2μm，更优选为2.5μm。另一方面，作为所述平均粒径的上限，优选为5μm，更优选为4.5μm。另外，在所述球状粒子中，作为利用与平均粒径相关的标准偏差(σ)除以平均粒径所求出的变动系数(CV(Coefficient of Variation)值)的下限，优选为3.0％，更优选为3.5％。另一方面，作为所述变动系数的上限，优选为5.0％，更优选为4.5％。此处，所谓“平均粒径”，是指利用激光衍射·散射法所求出的体积平均粒径(Mv)。

所述球状粒子优选为比热塑性聚氨基甲酸酯更硬质。但是，所述球状粒子若为如玻璃珠或陶瓷珠那样过度地硬质者，则存在损伤对象物S的问题，因此优选为树脂制者。作为形成所述球状粒子的硬质的树脂，例如可列举三聚氰胺树脂或丙烯酸树脂等，其中，优选为三聚氰胺树脂。

作为外层部51C的平均厚度的下限，优选为2μm，更优选为5μm。另一方面，作为外层部51C的平均厚度的上限，优选为500μm，更优选为300μm。若外层部51C的平均厚度未满所述下限，则存在无法使清洁辊51的表面充分地带电，且无法充分地获得异物的吸附效果的问题。相反地，若外层部5iC的平均厚度超过所述上限，则存在无法获得用以吸附异物的良好的带电特性的问题。

清洁辊51通过利用外部电源的电压的施加而带电，并被赋予表面电位(表面电荷)。即，清洁辊51在使表面带电的状态下抵接于对象物S的表侧表面S1上，利用电场力来吸附并去除附着于对象物S的表侧表面S1上的比较微细的异物。如此，通过使清洁辊51带电，即便在对象物S上存在孔或表面的凹陷的情况下，也可有效率地去除处于所述孔或凹陷中的异物。

相对于朝表侧刷辊单元4的刷辊41中的施加电压，使朝清洁辊51中的施加电压变成同极性且绝对值变低。作为朝清洁辊51中的施加电压的下限，例如为-400V，优选为-200V。另一方面，所述施加电压例如未满0V，优选为-50V以下。如此，通过相对于朝表侧刷辊单元4的刷辊41中的施加电压，使朝清洁辊51中的施加电压变成同极性且绝对值变低，可自对象物S的表侧表面S1上去除比较微细的异物。尤其，通过将朝清洁辊51中的施加电压设为所述范围，可自对象物S的表侧表面S1上有效率地去除比较微细的异物。再者，作为清洁辊51的电阻的上限，优选为10⁸Ω。通过清洁辊51的电阻为10⁸Ω以下，当施加电压时可使其有效地带电。

再者，为了提高微细的异物的回收效率，清洁辊51优选为设定成在与相向树脂辊61之间向对象物S施加适当的压力的高度。利用清洁辊51及相向树脂辊61而施加至对象物S中的压力例如可设为线压：2.4kg/250mm。此处，250mm是本实施方式中的清洁辊51的外层部51C的轴方向长度。另外，清洁辊51也兼具与相向树脂辊61一同向对象物S赋予适当的推进力的功能。由此，容易使对象物S进入至在相对于搬送方向D反转的方向上旋转的后述的背侧刷辊单元7的刷辊71的下方。

(刷辊)

刷辊52是回收清洁辊51自对象物S上去除的异物者，其在清洁辊51的正上方，以与清洁辊51大致平行且抵接的方式配设。所述刷辊52在带电状态下，在相对于清洁辊51反转的方向(图2的逆时针旋转方向)上，通过来自外部驱动源的动力来旋转驱动。此种刷辊52具有圆柱状的芯棒52A、及经由接着层52B而植入所述芯棒52A的外周面上的多个刷毛52C(参照图3)，其详细情况与表侧刷辊单元4的刷辊41的芯棒41A及刷毛41C相同，因此省略重复说明。另外，相对于朝清洁辊51中的施加电压，使朝刷辊52中的施加电压(施加至芯棒52A中的电压)变成同极性且绝对值变高。作为具体的朝刷辊52中的施加电压的下限，与表侧刷辊单元4的刷辊41同样地，优选为-800V，更优选为-600V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-200V，更优选为-300V。

(回收辊)

回收辊53是回收刷辊52自清洁辊51上回收的异物的第2回收辊，其在刷辊52的上方，以与刷辊52大致平行且与刷毛52C抵接的方式配设。所述回收辊53在带电状态下，在相对于刷辊52反转的方向(图2的逆时针旋转方向)上，通过来自外部驱动源的动力来旋转驱动。回收辊53的详细情况可设为与所述表侧刷辊单元4的回收辊42相同，因此省略重复说明。

相对于朝刷辊52中的施加电压，使朝回收辊53中的施加电压变成同极性且绝对值变高。作为朝回收辊53中的施加电压与朝刷辊52中的施加电压的差的绝对值的下限，优选为200V，更优选为300V。另一方面，作为所述差的绝对值的上限，优选为600V，更优选为500V。另外，作为朝回收辊53中的施加电压的下限，优选为-1500V，更优选为-1200V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-400V，更优选为-600V。通过相对于朝刷辊52中的施加电压，使朝回收辊53中的施加电压变成同极性且绝对值变高，与刷辊52的刷毛52C的电位相比，回收辊53的外周面的电位为同极性且绝对值变高，因此可使附着于刷辊52上的异物吸附于回收辊53的外周面上。尤其，通过将回收辊53与刷辊52的施加电压的差设为所述范围，进而将朝回收辊53中的施加电压设为所述范围，可使附着于刷辊52上的异物有效地吸附于回收辊53的外周面上。

回收辊53配置于比刷辊52更位于搬送方向下游侧。由此，即便回收辊53的直径比刷辊52小，也可利用后述的刀片53来将异物刮落至搬送方向下游侧，并可抑制异物再次吸附于刷辊52上。

回收辊53的旋转方向可为相对于刷辊52正转的方向及反转的方向的任一方向，优选为设为容易利用后述的刀片54而自外周面上回收异物的旋转方向。在本实施方式中，如图2所示，将回收辊53的旋转方向设为相对于刷辊52反转的方向(图2的逆时针旋转方向)，可提高利用刀片54的异物的回收效率。作为相对于刷辊52的旋转速度的回收辊53的旋转速度的倍率的下限，优选为1.0倍。另一方面，作为所述旋转速度的倍率的上限，优选为1.5倍。由此，可有效地使异物自刷辊52移动至回收辊53上。

(刀片)

刀片54是自回收辊53上刮取异物的第2刀片。所述刀片54及支撑其的刀片支撑部53a的详细情况与所述表侧刷辊单元4的刀片43及刀片支撑部43a相同。

(异物回收部)

异物回收部55是回收及收容利用刀片54而自回收辊53上刮落的异物者。所述异物回收部55配设于刀片54的前端部的下方、且比刷辊52更位于搬送方向下游侧。而且，异物回收物55嵌入至框体50的下游板的开口部中，并可经由所述开口部而朝搬送方向下游侧抽出。在异物回收部55的下游侧设置有握持部55A，利用所述握持部55A而使异物回收部55的进出容易化。另外，异物回收部55因可朝搬送方向下游侧抽出，故就可维持将清洁辊单元5固定于固定器1上的状态而抽出来回收异物这一点而言，便利性优异。

(高度调节机构)

表侧清洁辊单元5优选为以可利用高度调节机构来调节高度的方式构成。如此，利用高度调节机构来调节表侧清洁辊单元5的高度，由此可调节清洁辊51对于对象物S的按压力(夹持宽度)，其结果，可高效率地进行微细的异物的去除。

作为表侧清洁辊单元5的高度调节机构的具体例，例如可使用与作为表侧刷辊单元4的高度调节机构所例示的相同的机构等。

如上所述，表侧刷辊单元4及表侧清洁辊单元5均可装卸，因此可在各单元中独立地设置高度调节机构。因此，即便在表侧刷辊单元4的刷辊41对象物S的最适宜的压接条件与表侧清洁辊单元5的清洁辊51对于对象物S的最适宜的压接条件不同的情况下，所述清洁装置也可使各自的压接状态最适宜化。

〔背侧相向辊单元〕

背侧相向辊单元6是与表侧刷辊单元4的刷辊41及表侧清洁辊单元5的清洁辊51一同规定对象物S的搬送路径者，其配设于对象物S的背侧(搬送路径的下方)。所述背侧相向辊单元6主要具备：包含作为第1背侧相向辊的相向金属辊60与作为第2背侧相向辊的相向树脂辊61的一对相向辊、及辅助辊62。就维护性的观点而言，背侧相向辊单元6优选为可装卸地安装于固定器1上。

此处，为了准确地控制刷辊41的刷毛41C对于对象物S的压接量，有利的是在对象物S的下表面保持对象物S的第1相向辊的硬度高。因此，通过相向金属辊60为比较硬质的金属辊，可使表侧刷辊单元4的刷辊41的刷毛41C适当地抵接于对象物S上，并自其表侧表面S1上有效地去除比较大的异物。另一方面，清洁辊51为了使微细的异物高效率地吸附于其表面上，必须在与第2相向辊之间向对象物S施加适当的压力，但若过度施加压力，则将异物压接于对象物S上，由此存在难以回收的问题。因此，作为第2相向辊，例如如金属那样的硬度高的辊并不适合，优选为具有与清洁辊51大致同等的硬度的树脂辊。因此，通过相向树脂辊61为具有弹性的树脂辊(弹性辊)，可在与表侧清洁辊单元5的清洁辊51之间向对象物S施加适当的压力来提高密接性，并且确保适宜的夹持宽度，因此可利用清洁辊51而自对象物S的表侧表面S1上有效率地去除微细的异物。

(相向金属辊)

相向金属辊60是经由对象物S而与表侧刷辊单元4的刷辊41相向，且以抵接于对象物S上的方式配设于刷辊41的正下方的第1背侧相向辊。所述相向金属辊60在相对于对象物S的搬送方向D正转的方向(图2的顺时针旋转方向)上旋转驱动。即，相向金属辊60在相对于表侧刷辊单元4的刷辊41反转的方向上旋转驱动。相向金属辊60的详细情况与表侧刷辊单元4的回收辊42相同。但是，相向金属辊60不与外部电源连接而与地面电性连接，由此，当刷辊41带电时可产生适合于去除异物的电场。

(相向树脂辊)

相向树脂辊61经由对象物S而与表侧清洁辊单元5的清洁辊51相向，并以抵接于对象物S上的方式配设于清洁辊51的正下方。所述相向树脂辊61在相对于对象物S的搬送方向D正转的方向(图2的顺时针旋转方向)上旋转驱动。即，相向树脂辊61在相对于清洁辊51正转的方向上旋转驱动。相向树脂辊61的详细情况与表侧清洁辊单元5的清洁辊51大致相同。但是，在形成相向树脂辊61的外层部时，作为用于形成微小突起的成为微小突起的原料的粒子，优选为调配氧化钛、钛酸钡等。通过使用氧化钛、钛酸钡等作为所述粒子，微小突起的密度变大，而可适当地搬送对象物S。另外，相向树脂辊61不与外部电源连接而与地面电性连接，可在与带电的清洁辊51之间产生适合于去除异物的电场。

(辅助辊)

辅助辊62是与表侧刷辊单元4的搬送辊45一同引导对象物S的移动者，所述对象物S通过上游侧外部搬送机构2A而搬入至清洁机构3中。所述辅助辊62的层结构等可设为与相向树脂辊61相同。

<背侧清洁机构>

背侧清洁机构3B是去除对象物S的背侧表面S2的异物者。所述背侧清洁机构3B大概设为使表侧清洁机构3A的上下翻转的构成，具有背侧刷辊单元7、背侧清洁辊单元8及表侧相向辊单元9。

〔背侧刷辊单元〕

背侧刷辊单元7是利用刷辊71来去除对象物S的背侧表面S2的异物者，其在对象物S的背侧(搬送路径的下方)，比表侧清洁机构3A的背侧相向辊单元6更邻接于搬送方向下游侧来配设。所述背侧刷辊单元7主要具备刷辊71、回收辊72及刀片73，其基本构成与所述表侧清洁机构3A的表侧刷辊单元4相同。但是，与表侧刷辊单元4相比，背侧刷辊单元7在未设置相当于搬送辊45及异物回收部44的构件这一点等上不同。再者，在背侧刷辊单元7中未设置相当于搬送辊45的构件的理由在于：虽然刷辊71在相对于搬送方向D反转的方向上旋转驱动，但为了朝刷辊71的下方进入，配置于比刷辊71更位于搬送方向上游的清洁辊51与相向树脂辊61向对象物S赋予了适当的推进力。另外，背侧刷辊单元7虽然未设置相当于异物回收部44的构件，但通过其底部开口，可将异物朝单元外排出。自背侧刷辊单元7中排出的异物与自后述的背侧清洁辊单元8中排出的异物一同由设置于固定器1的最下部的异物回收部13回收。就维护性的观点而言，背侧刷辊单元7优选为可装卸地安装于固定器1上。

(刷辊)

刷辊71是背侧刷辊，以带电状态抵接于对象物S的背侧表面S2上，并在相对于对象物S的搬送方向D反转的方向(图2的逆时针旋转方向)上旋转驱动，由此去除对象物S的背侧表面S2上且毫米尺寸的比较大的异物。此种刷辊71具有圆柱状的芯棒71A、及经由接着层71B而植入所述芯棒71A的外周面上的多个刷毛71C(参照图3)，其详细情况与表侧刷辊单元4的刷辊41的芯棒41A及刷毛41C相同，因此省略重复说明。另外，相对于朝后述的背侧清洁辊单元8的清洁辊80中的施加电压，使朝刷辊71中的施加电压(施加至芯棒71A中的电压)变成同极性且绝对值变高。作为具体的朝刷辊71中的施加电压的下限，与表侧刷辊单元4的刷辊41同样地，优选为-800V，更优选为-600V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-200V，更优选为-300V。

(回收辊)

回收辊72是回收刷辊71自对象物S的背侧表面S2上去除的异物的第3回收辊，其在比刷辊71更下方，与刷辊71大致平行且与刷毛71C抵接来配设。所述回收辊72在带电状态下，在相对于刷辊71反转的方向(图2的逆时针旋转方向)上，通过来自外部驱动源的动力来旋转驱动。回收辊72的详细情况可设为与所述表侧刷辊单元4的回收辊42相同，因此省略重复说明。

相对于朝刷辊71中的施加电压，使朝回收辊72中的施加电压变成同极性且绝对值变高。作为朝回收辊72中的施加电压与朝刷辊71中的施加电压的差的绝对值的下限，优选为200V，更优选为300V。另一方面，作为所述差的绝对值的上限，优选为600V，更优选为500V。另外，作为朝回收辊72中的施加电压的下限，优选为-1,500V，更优选为-1,200V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-400V，更优选为-600V。通过相对于朝刷辊71中的施加电压，使朝回收辊72中的施加电压变成同极性且绝对值变高，相对于刷辊71的刷毛71C的电位，回收辊72的外周面的电位为同极性且绝对值变高，因此可使附着于刷辊71上的异物吸附于回收辊72的外周面上。尤其，通过将回收辊72与刷辊71的施加电压的差设为所述范围，进而将朝回收辊72中的施加电压设为所述范围，可使附着于刷辊71上的异物有效地吸附于回收辊72的外周面上。

回收辊72的旋转方向可为相对于刷辊71正转的方向及反转的方向的任一方向，优选为在容易利用后述的刀片73来回收外周面的异物的旋转方向上进行驱动。在本实施方式中，如图2所示，将回收辊72的旋转方向设为相对于刷辊71反转的方向(图2的逆时针旋转方向)，可提高利用刀片73的异物的回收效率。作为相对于刷辊71的旋转速度的回收辊72的旋转速度的倍率的下限，优选为1.0倍。另一方面，作为所述旋转速度的倍率的上限，优选为1.5倍。由此，可有效地使异物自刷辊71移动至回收辊72上。

(刀片)

刀片73是自回收辊72上刮取异物的第3刀片。所述刀片73及支撑其的刀片支撑部73a的详细情况与所述表侧清洁机构3A的表侧刷辊单元4的刀片43及刀片支撑部43a相同。

〔背侧清洁辊单元〕

背侧清洁辊单元8是利用清洁辊80来去除对象物S的背侧表面S2的微细的异物者，其在对象物S的背侧(搬送路径的下方)，比背侧刷辊单元7更邻接于搬送方向下游侧来配设。所述背侧清洁辊单元8主要具备清洁辊80、刷辊81、回收辊82、刀片83、及搬送辊85，其基本构成与所述表侧清洁机构3A的表侧清洁辊单元5相同。但是，与表侧刷辊单元4相比，背侧刷辊单元7具有搬送辊85这一点、及未设置相当于异物回收部55的构件这一点等不同。背侧刷辊单元7未设置相当于异物回收部55的构件，反而其底部开口，可将异物朝单元外排出。自背侧清洁辊单元8中排出的异物与自背侧刷辊单元7中排出的异物一同，由设置于固定器1的最下部的异物回收部13回收。就维护性的观点而言，背侧清洁辊单元8优选为可装卸地安装于固定器1上。

(清洁辊)

清洁辊80是去除对象物S的背侧表面S2的微细的异物的背侧清洁辊，其配设于对象物S的背侧(搬送路径的下方)。所述清洁辊80在外周面带电的状态下，在相对于搬送方向D正转的方向(图2的顺时针旋转方向)上，通过与搬送方向D大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动。清洁辊80的详细情况可设为与所述表侧清洁辊单元5的清洁辊51相同，因此省略重复说明。

相对于朝背侧刷辊单元7的刷辊71中的施加电压，使朝清洁辊80中的施加电压变成同极性且绝对值变低。作为朝清洁辊80中的施加电压的下限，例如为-400V，优选为-200V。另一方面，作为所述施加电压，例如未满0V，优选为-50V以下。如此，通过相对于朝背侧刷辊单元7的刷辊71中的施加电压，使朝清洁辊80中的施加电压变成同极性且绝对值变低，可自对象物S的背侧表面S2上去除比较微细的异物。尤其，通过将朝清洁辊80中的施加电压设为所述范围，可自对象物S的背侧表面S2上有效率地去除比较微细的异物。

(刷辊)

刷辊81是回收清洁辊80自对象物S的背侧表面S2上去除的微细的异物者，其抵接于清洁辊80上并配设于清洁辊80的下方。所述刷辊81在带电状态下，在相对于清洁辊80反转的方向(图2的顺时针旋转方向)上，通过与搬送方向D大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动。与所述表侧刷辊单元4的刷辊41同样地，所述刷辊81是经由接着层81B将多个刷毛81C植入芯棒81A上而成的，其详细情况与表侧刷辊单元4的刷辊41相同。

相对于朝清洁辊80中的施加电压，使朝刷辊81中的施加电压(施加至芯棒81A中的电压)变成同极性且绝对值变高。作为具体的朝刷辊81中的施加电压的下限，与表侧刷辊单元4的刷辊41同样地，优选为-800V，更优选为-600V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-200V，更优选为-300V。

(回收辊)

回收辊82是回收刷辊81自清洁辊80上回收的微细的异物的第4回收辊，其在刷辊81的下方，与刷辊81大致平行且与刷毛81C抵接来配设。所述回收辊82在带电状态下，在相对于刷辊81反转的方向(图2的顺时针旋转方向)上，通过来自外部驱动源的动力来旋转驱动。回收辊82的详细情况可设为与所述表侧刷辊单元4的回收辊42相同，因此省略重复说明。

相对于朝刷辊81中的施加电压，使朝回收辊82中的施加电压变成同极性且绝对值变高。作为朝回收辊82中的施加电压与朝刷辊81中的施加电压的差的绝对值的下限，优选为200V，更优选为300V。另一方面，作为所述差的绝对值的上限，优选为600V，更优选为500V。另外，作为朝回收辊82中的施加电压的下限，优选为-1,500V，更优选为-1,200V。另一方面，作为所述施加电压的上限，优选为-400V，更优选为-600V。通过相对于朝刷辊81中的施加电压，使朝回收辊82中的施加电压变成同极性且绝对值变高，与刷辊81的刷毛81C的电位相比，回收辊82的外周面的电位为同极性且绝对值变高，因此可使附着于刷辊81上的异物吸附于回收辊82的外周面上。尤其，通过将回收辊82与刷辊81的施加电压的差设为所述范围，进而将朝回收辊82中的施加电压设为所述范围，可使附着于刷辊81上的异物有效地吸附于回收辊82的外周面上。

回收辊82的旋转方向可为相对于刷辊81正转的方向及反转的方向的任一方向，优选为在容易利用后述的刀片83而自外周面上回收异物的旋转方向上进行驱动。在本实施方式中，如图2所示，将回收辊82的旋转方向设为相对于刷辊81反转的方向(图2的顺时针旋转方向)，可提高利用刀片83的异物的回收效率。作为相对于刷辊81的旋转速度的回收辊82的旋转速度的倍率的下限，优选为1.0倍。另一方面，作为所述旋转速度的倍率的上限，优选为1.5倍。由此，可有效地使异物自刷辊81移动至回收辊82上。

(刀片)

刀片83是自回收辊81上刮取异物的第4刀片。所述刀片83及支撑其的刀片支撑部83a的详细情况与所述表侧清洁机构3A的表侧刷辊单元4的刀片43及刀片支撑部43a相同。

(搬送辊)

搬送辊85是引导对象物S的搬送者，其配设于比清洁辊800更位于搬送方向下游侧。作为所述搬送辊85，可适宜地使用与相向树脂辊61相同者。

〔表侧相向辊单元〕

表侧相向辊单元9是与背侧刷辊单元7的刷辊71及背侧清洁辊单元8的清洁辊80一同规定对象物S的搬送路径者，其配设于对象物S的表侧(搬送路径的上方)。所述表侧相向辊单元9主要具备框体90、作为第1表侧相向辊的相向金属辊91、及作为第2表侧相向辊的相向树脂辊92，且可装卸地配设于固定器1上。所述清洁装置将表侧相向辊单元9可装卸地配设于相对于工厂等的地面的基座而固定设置的装置本体上。如此，通过将表侧相向辊单元9可装卸地配设于固定器1上，可自固定器1上容易地卸下表侧相向辊单元9，并使背侧刷辊单元7的刷辊71及背侧清洁辊单元8的清洁辊80露出。因此，可容易地进行刷辊71或清洁辊80的更换或清洗，故维护性优异。此外，关于收容于框体90中的相向金属辊91及相向树脂辊92，与组装固定于固定器1上的情况相比，维护也变得容易。

(框体)

框体90是收容相向金属辊91及相向树脂辊92来进行单元化，并可在固定器1上装卸者。在所述框体90的顶板中，在与搬送方向D垂直的水平方向上分隔而设置有一对握持部90A。一对握持部90A是在表侧相向辊单元9的装卸时利用者。框体90在底板中设置有开口部90B，相向金属辊91或相向树脂辊92的一部分自所述开口部90B突出。再者，构成框体90的材料并无特别限制，例如可适宜地使用不锈钢等金属。

(相向金属辊)

相向金属辊91经由对象物S而与背侧刷辊单元7的刷辊71相向，且以抵接于对象物S上的方式配设于刷辊71的正上方。所述相向金属辊91是旋转驱动者，在相对于背侧刷辊单元7的刷辊71反转的方向(图2的逆时针旋转方向)上旋转。相向金属辊91的详细情况与表侧刷辊单元4的回收辊42相同。但是，相向金属辊91不与外部电源连接而与地面电性连接，可在与刷辊71之间产生适合于去除异物的电场。

通过相向金属辊91为比较硬质的金属辊，可使背侧刷辊单元7的刷辊71的刷毛71C适当地抵接于对象物S上，因此可利用刷辊71而自对象物S的背侧表面S2上有效地去除比较大的异物。

(相向树脂辊)

相向树脂辊92经由对象物S而与背侧清洁辊单元8的清洁辊80相向，且以抵接于对象物S上的方式配设于清洁辊80的正上方。所述相向树脂辊92是旋转驱动者，在相对于清洁辊80正转的方向(图2的逆时针旋转方向)上旋转。相向树脂辊92的详细情况与表侧相向辊单元6的相向树脂辊61相同。但是，相向树脂辊92不与外部电源连接而与地面电性连接，可在与清洁辊80之间产生适合于去除异物的电场。

通过相向树脂辊92为具有弹性的树脂辊，在与背侧清洁辊单元8的清洁辊80之间可确保适宜的夹持宽度，因此可提高清洁辊80与对象物S的密接性，并可利用清洁辊80而自对象物S的背侧表面S2上有效地去除微细的异物。再者，在背侧清洁机构3B的背侧刷辊单元7、及背侧清洁辊单元8中具备调节各自的高度的高度调节机构也与表侧清洁机构3A相同。

<带电电路>

如上所述，优选为使回收辊42、回收辊53、回收辊72、回收辊82与清洁辊51、清洁辊80，及刷辊52、刷辊81的外周面带电，且使刷辊41、刷辊71也带电。另外，优选为使辅助辊62，相向金属辊60、相向金属辊91，相向树脂辊61、相向树脂辊92与地面电性连接。用以使这些辊带电或与地面电性连接(也包含固定成0V)的带电电路可使用已知的电路。作为电位差不同的2个辊经由长条状的导电性异物等而短路时的安全对策，所述带电电路例如可将500μA的电流设为阈值，并具备在阈值以上的电流流动时阻断电路的机构(例如保险丝等)。

[单元及固定器的端子]

以下，对用于将各单元与外部电源或地面等电性连接的单元及固定器1的端子的一例进行说明。图11表示配设于各单元的搬送宽度方向的一个端部或两个端部上的单元侧端子110表示。图12表示配设于固定器1的内表面上的固定器侧端子120。再者，所述清洁装置优选为全部单元通过所述连接结构而与外部电源等电性连接，但一部分或全部的单元也可通过现有公知的连接结构而与外部电源等电性连接。

图11的单元侧端子110主要具备：沿着与搬送方向D平行的轴Z而平行地配设的2片单元侧金属板111、及在俯视下以分别包围各单元侧金属板111的方式配设的2个盖112。单元侧金属板111经由未图示的配线而与各单元所具有的辊电性连接。再者，图11的单元侧端子110所具有的单元侧金属板111的片数为2片，但单元侧金属板111的片数可对应于各单元的辊数等而适宜变更。另外，关于盖112的形状，也可对应于单元侧金属板111的片数等而适宜变更。

图12的固定器侧端子120分别具有：底座部121，由绝缘构件形成；2个固定器侧金属板122，配设于所述底座部121的上表面上，并以可自上方插入所述单元侧金属板111、且可自两面握持所插入的单元侧金属板111的方式弯折；以及围绕部123，由绝缘构件形成，并以包围各固定器侧金属板122的方式配设。固定器侧金属板122经由未图示的配线等而与外部电源等电性连接。将2个围绕部123设为其外表面可与单元侧端子110的盖112的内表面抵接的形状。再者，图12的固定器侧端子120所具有的固定器侧金属板122的片数或围绕部123的形状，可对应于单元侧端子110中的单元侧金属板111的片数或盖112的形状等而适宜变更。

将各单元安装于固定器1上，由此图11的单元侧端子110与图12的固定器侧端子120电性连接。具体而言，将单元侧端子110的各单元侧金属板111插入至各固定器侧端子120的固定器侧金属板122中，由此两金属板电性连接，并且将单元侧端子110的盖112覆盖于围绕部123上而使盖112及围绕部123嵌合。如此，盖112及围绕部123成为将单元侧端子110及固定器侧端子120连接时的导件，因此可容易地使两端子连接，且可牢固地固定经连接的两端子。因此，通过将所述单元侧端子110及固定器侧端子120用于所述清洁装置，安装各单元的同时也可容易地进行电性连接，因此可提升便利性，且可形成牢固的连接结构，因此在运转时即便产生振动等，也容易将施加至各辊中的电压保持成固定。

[对于辊的电压施加机构]

在各单元中，通常在各辊的一个端部附近设置电压施加机构(包含与地面电性连接的机构)，并且所述单元侧端子110及所述电压施加机构之间利用配线来电性连接。自外部电源等供给至各单元中的电压经由所述单元侧端子110、所述配线及所述电压施加机构而供给至各辊中。在此情况下，用以驱动各辊的齿轮等驱动机构优选为在使用由绝缘材料形成的构件后，设置于各辊的另一个端部附近。图13表示如下的电压施加机构作为所述电压施加机构的一例，所述电压施加机构具备：圆锥状的凹陷130a，设置于辊130的一个端面上；框体侧电极131，具有半球状的前端部，且所述前端部抵接于辊130的圆锥状的凹陷130a的内周面上；以及金属制的板弹簧132，与所述框体侧电极131连结，且朝辊130侧对框体侧电极131施压。当在搬送宽度方向上观察时，辊130的中心轴及圆锥状的凹陷的顶点与框体侧电极131的前端部的半球的中心大致一致。再者，辊130及框体侧电极131之间也可处于利用导电性润滑脂的润滑脂润滑下。

在所述电压施加机构中，单元侧端子110及板弹簧132之间利用未图示的配线来电性连接，经由所述配线、板弹簧132、框体侧电极131及凹陷130a而对辊130施加电压。所述电压施加机构使框体侧电极131抵接于辊130的中心轴附近，即辊130中的圆周速度比较小的部位上，由此可抑制辊130及框体侧电极131的磨耗。另外，使框体侧电极131的半球状的前端部接触设置于辊130中的圆锥状的凹陷，且利用板弹簧132来朝辊130侧对框体侧电极131施压，由此即便在辊130振动的情况下，也容易维持电性接触。进而，使框体侧电极131抵接于辊130的端面上，并利用板弹簧132而在搬送宽度方向上对框体侧电极131施压，由此即便辊130上下振动，板弹簧132的弯曲也得到抑制，因此容易稳定地施压。进而，使圆锥状的凹陷130a的内周面及框体侧电极131的半球状的前端部抵接，由此形成由凹陷130a及框体侧电极101的前端部所围成的空间，因此可将润滑脂封入至所述空间内来抑制其飞散。但是，为了进一步抑制润滑脂的飞散，视需要也可在电压施加机构的周边设置盖等。

但是，各单元中的电压施加机构并不限定于所述图13中所示的，例如可列举：在框体中设置导电性刷、导电性轴承等导电性滑动构件，并使所述导电性滑动构件接触各辊，由此施加电压的方法等。

[清洁方法]

对使用图1及图2的清洁装置自对象物S上去除异物的清洁方法进行说明。在所述清洁方法中，对表侧刷辊单元4的刷辊41施加与表侧清洁辊单元5的清洁辊51同极性且绝对值高的电压。另外，针对背侧刷辊单元7的刷辊71，也同样地施加与背侧清洁辊单元8的清洁辊80同极性且绝对值高的电压。如此，通过对刷辊41、刷辊71施加与清洁辊51、清洁辊80相比同极性且绝对值高的电压，可利用刷辊41、刷辊71来去除毫米水平的比较大的异物，并且可利用清洁辊51、清洁辊80来去除微细的异物。关于所述清洁方法中的朝各辊中的施加电压、旋转等的各种条件，可与所述的所述清洁装置相同，因此省略重复的说明。

〔其他实施方式〕

本发明并不限定于所述实施方式，除所述形态以外，能够以施加了各种变更、改良的形态来实施。尤其，图1及图2仅为表示所述清洁装置的一例者，例如各辊的层结构也可与图2不同。

表侧清洁辊单元及背侧清洁辊单元的清洁辊也可不带电。在此情况下，作为所述清洁辊，例如可使用：粘着辊、或具有吸附性的树脂辊等。另外，所述清洁装置的一部分或全部的辊也可为从动辊。即便所述清洁装置的全部的辊为从动辊，通过利用外部搬送机构等向对象物赋予充分的推进力，各辊也可伴随对象物的搬送而从动并发挥其功能。

所述清洁装置只要至少具备表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元即可，其他构成任意。另外，在刷辊单元中，仅刷辊为必需构成，在清洁辊单元中，仅清洁辊为必需构成。

另外，在所述实施方式中，也可在背侧清洁辊单元及背侧刷辊单元中分别设置异物回收部，而代替在背侧清洁辊单元及背侧刷辊单元的底部中设置开口。

进而，在本实施方式的一例中，使一对相向辊均与地面电性连接，但也可采用其他构成。例如，可将一对相向辊均固定成0V，也可根据异物的带电状况，而固定成规定的正电位。应满足的条件是相对于带电的刷辊41及带电的清洁辊51，向一对相向辊中施加成为基准的固定电位。因此，视需要也可向一对相向辊的各辊中施加不同的固定电位。若固定电位与带电的清洁辊51的电压差过小，则无法产生用以去除异物的足够的电场，因此作为所述电位差的下限，优选为50V。

再者，在异物极端地带负电的情况等下，将刷辊41、刷辊71、清洁辊51、清洁辊80设为正电位当然也为本发明的思想的范围内。在此情况下，关于一对相向辊，可与地面电性连接、或也可施加成为基准的固定电位。作为所述固定电位，可为0V，根据异物的带电状况，也可为规定的负电位或正电位。

[实施例]

以下，通过实施例来说明本发明，但本发明并不由以下的实施例限定。

<刷辊(刷毛)的最适宜化>

将选定就摩擦带电性的观点而言适合于去除异物的刷毛的材质作为目的，评价工件(对象物)及刷毛的带电性并决定带电序列。

作为刷毛，使用具有下述表1中所示的特性的材质者。下述表1中，“-”表示未测定对应的特性。

[表1]

作为对象物及异物，使用目标市场的对象物、及在所述市场中成为问题的异物。具体而言，作为对象物，使用丙烯酸板、玻璃板、生片及聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethyleneterephthalate，PET)膜，作为异物，使用丙烯酸切削渣、铜粉、陶瓷渣(ceramics dregs)、玻璃切削渣、聚酯粒子及纤维。

摩擦带电性是针对对象物及刷毛，通过利用表面电位计测定使对象物彼此、对象物及刷毛、或刷毛彼此分别摩擦带电时的极性来进行评价。另外，异物及对象物的带电关系是通过利用对象物加入异物并使其摩擦带电后，吸引异物并利用数字静电计测定带电量来进行评价。将这些的评价结果作为带电序列而示于图14中。

通常，在带电序列中，越是使用相对于对象物及异物为反极性的定位于尽可能远离的场所的材质的刷毛，异物的吸附力变得越高。因此，根据图14的结果，推测作为导电性聚酯的材质1及材质4适合于去除异物。

继而，关于推测为最适合于去除异物的导电性聚酯，实施使用材质1及材质4的异物的去除性能的评价。在所述评价中，使用图1及图2中所示的清洁装置进行对象物S的异物的去除，并算出将表侧刷辊单元4的刷辊41所具有的刷毛41C的材质设为材质1或材质4时的朝异物回收部44中的异物回收率。作为对象物S，使用附着有陶瓷渣的生片。其结果，异物的回收率在使用材质1的情况下为86.6％，相对于此，在使用材质4的情况下为26.7％。因此，判断作为刷毛，优选为作为纤度比较大的纤维，即比较粗的纤维的材质1。再者，使用材质4时的回收率比使用摩擦带电性同等的材质1时的回收率低的原因如以下那样进行推测。即，可认为其原因在于：材质4是纤度比较小的纤维，即比较细的纤维，因此刷毛41C的刚性不足，无法挪动附着于对象物S上的比较大的陶瓷渣。

<朝刷辊中的施加电压的最适宜化>

朝刷辊中的施加电压的最适宜化如图15(A)所示那样，使施加有规定的电压的刷辊抵接于附着有尘土的对象物上，并将施加有所述规定电压的状态保持10秒。继而，如图15(B)所示那样，自对象物上抽离刷辊，将通过尘土的去除所形成的带状区域的宽度作为尘土的吸附宽度(电场作用宽度)来进行评价。

作为刷辊的刷毛，使用在现有的评价中获得适宜的结果的材质1的导电性聚酯。作为对象物，使用厚度为50μm的PET膜。作为异物，使用粒径为50μm～150μm的聚酯粒子。将施加至刷辊中的规定电压设为0V、-100V、-400V、-800V或-1600V。将尘土的吸附宽度的评价结果示于图16中。

如根据图16而可知那样，确认当朝刷辊中的施加电压为-400V时，尘土吸附宽度最大，即吸附性能最高。另外，根据图16中所示的结果，作为朝刷辊中的施加电压的下限，可以说优选为-800V，更优选为-600V。另一方面，作为所述施加电压的上限，可以说优选为-200V，更优选为-300V。

<刷的圆周速度及压接量的研究>

使用图1及图2中所示的清洁装置，一面使表侧刷辊单元4的刷辊41的圆周速度与朝对象物中的压接量而变化，一面进行对象物的异物去除。由此，对刷辊的圆周速度、及刷辊朝对象物中的压接量对异物去除造成的影响进行研究。

由刷辊的圆周速度所产生的影响是使刷辊的圆周速度B对于对象物的搬送速度W的比率(B/W)而变化，并作为与陶瓷渣的去除性的关系来进行评价。其结果，当B/W为50％(例如相对于对象物的搬送速度为12m/min，刷辊的圆周速度为6m/min)时，朝工件的入口侧弹飞陶瓷渣。另一方面，若将刷辊的圆周速度变更成3m/min而使B/W变成25％，则所述弹飞得到抑制。通常，小的异物比大的异物更容易被弹飞，因此判断B/W优选为25％以下。

刷辊朝对象物中的压接量的影响通过一面将压接量变化成0.3mm或0.6mm，一面实施陶瓷渣的去除来进行评价。其结果，若将压接量设为0.3mm，则陶瓷渣的一部分擦过刷辊而残存于对象物上。另一方面，若将压接量设为0.6mm，则可去除陶瓷渣。此处，压接量越大，异物的去除性越提升，但若过大，则因对象物的种类或状态而产生擦伤。但是，压接量的上限在各对象物中不同。因此，通过使用高度调节机构调节刷辊单元的高度，即便在对象物的厚度、种类、状态等不同的情况下，也可使刷辊的压接量最适宜化。

<清洁性能的确认>

对所述清洁装置的清洁性能进行评价。具体而言，针对各种异物与对象物的组合，使用图1及图2中所示的清洁装置，将各辊的圆周速度及施加电压设为如表2那样，并对清洁前后的对象物表面进行摄像，由此进行评价。

将异物与对象物的具体的组合设为陶瓷冲头渣及生片、皮脂及偏光板、棉纤维及丙烯酸板、聚酯纤维及生片、或聚酯粒子及PET膜。另外，将对象物的搬送速度设定成10m/min。将各组合的摄像结果示于图17～图19的(A)～(F)中。图17～图19的(A)～(F)均是左图为苦泥前，右图为清洁后的摄像结果。图17的(A)的组合是对象物Sa为生片，异物Xa为陶瓷冲头渣(厚度为120μm)。图17的(B)的组合是对象物Sb为生片，异物Xb为各种尺寸·形状的陶瓷渣(长度为0.1mm～3mm，厚度为170μm)。图18的(C)的组合是对象物Sc为偏向板，异物Xc为皮脂。图18的(D)的组合是对象物Sd为丙烯酸板，异物Xd为棉纤维。图19的(E)的组合是对象物Se为生片，异物Xe为聚酯纤维(长度为2mm～15mm)。图19的(F)的组合是对象物Sf为PET膜，异物Xf为聚酯粒子(粒径为50μm～150μm)。

[表2]

如图17～图19所示那样，可确认任一种组合均自对象物上适宜地去除异物。

产业上的可利用性

本发明的清洁装置可提升维护性，并且不仅可去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物，因此可适宜地用于附着于板状或膜状的对象物的表面上的尘埃等异物的去除。

符号的说明

1：固定器

2A：上游侧外部搬送机构

2B：下游侧外部搬送机构

3：清洁机构

4：表侧刷辊单元

41：刷辊

42：回收辊

43：刀片

45：搬送辊

5：表侧清洁辊单元

51：清洁辊

51A：芯棒

51B：内层部

51C：外层部

52：刷辊

53：回收辊

54：刀片

6：背侧相向辊单元

60：相向金属辊

61：相向树脂辊

62：辅助辊

7：背侧刷辊单元

71：刷辊

72：回收辊

73：刀片

8：背侧清洁辊单元

80：清洁辊

81：刷辊

81A：芯棒

81B：接着层

81C：刷毛

82：回收辊

83：刀片

9：表侧相向辊单元

91：相向金属辊

92：相向树脂辊

101：固定构件

102：滑动构件

103：顶板

104：盖

110：单元侧端子

111：单元侧电极板

112：盖

120：固定器侧端子

121：底座部

122：固定器侧电极板

123：围绕部

130：辊

130a：凹陷

131：框体侧电极

132：板弹簧

S：对象物

S1：表侧表面

S2：背侧表面

D：搬送方向

Claims (10)

1.一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于包括：

表侧刷辊单元，能够装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及

表侧清洁辊单元，能够装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其包括用以调节所述表侧刷辊单元、及所述表侧清洁辊单元各自的高度的高度调节机构。

3.根据权利要求1或2所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元包括：

所述表侧刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；

第1回收辊，以与所述表侧刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及

第1刀片，抵接于所述第1回收辊表面上，并去除附着的异物。

4.根据权利要求3所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元具备搬送辊，所述搬送辊具有与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴，配设于所述表侧刷辊的搬送方向上游侧，并辅助所述对象物的搬送。

5.根据权利要求3或4所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元在所述表侧刷辊的搬送方向上游侧具备第1异物回收部，所述第1异物回收部至少收容利用所述第1刀片所去除的异物。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的清洁装置，其中所述表侧清洁辊单元包括：

所述表侧清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；

刷辊，以与所述表侧清洁辊大致平行且抵接的方式配设，且相对于所述表侧清洁辊而在反转的方向上旋转驱动；

第2回收辊，以与所述刷辊大致平行且抵接的方式配设；

第2刀片，抵接于所述第2回收辊表面上，并去除附着的异物。

7.根据权利要求6所述的清洁装置，其中所述表侧清洁辊单元在所述表侧清洁辊的搬送方向下游侧具备第2异物回收部，所述第2异物回收部至少收容利用所述第2刀片所去除的异物。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的清洁装置，其包括背侧相向辊单元，所述背侧相向辊单元包含：第1背侧相向辊，对应于所述表侧刷辊单元的表侧刷辊而设置于所述对象物下方；及第2背侧相向辊，对应于所述表侧清洁辊单元的表侧清洁辊而设置于所述对象物下方。

9.根据权利要求8所述的清洁装置，其中所述背侧相向辊单元具备设置于所述第1背侧相向辊的搬送方向上游侧，并辅助所述对象物的搬送的辅助辊。

10.根据权利要求8或9所述的清洁装置，其包括：

背侧刷辊单元，配设于所述对象物的下方且所述背侧相向辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧刷辊去除对象物的背侧表面的异物；

背侧清洁辊单元，配设于所述对象物的下方且所述背侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧清洁辊去除对象物的背侧表面的异物；以及

能够装卸地配设的表侧相向辊单元，包含第1表侧相向辊，对应于所述背侧刷辊单元的背侧刷辊而设置于所述对象物上方，及第2表侧相向辊，对应于所述背侧清洁辊单元的背侧清洁辊而设置于所述对象物上方。