JP2015178091A - クリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラ - Google Patents

Abstract

【課題】被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去する機構又は粘着力を利用して除去する機構をそれぞれ単独で使用した場合の欠点を補うことのできるクリーニング装置を提供すること。【解決手段】所定の電荷を帯電させたクリーニングローラ１１を回転させながら被クリーニング体Ｓの表面に接触させ、被クリーニング体Ｓの表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニット１０と、粘着ローラ３１を回転させながら被クリーニング体Ｓの表面に接触させ、被クリーニング体Ｓの表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラユニット３０とを備え、クリーニングユニット１０が、被クリーニング体Ｓの搬送方向に対して粘着ローラユニット３０の手前に配置されている。【選択図】図３

Description

本発明は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を除去するクリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラに関し、より詳細には、被クリーニング体が、例えばフィルム、シート、ガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ、ＰＣＢＡなど）、プラスチック板などの薄物である場合に適するクリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラに関する。

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、又はフィルム材料などの薄い被クリーニング体の表面上に付着した塵埃を取り除くためのクリーニング装置が開発されている。

このようなクリーニング装置としては、前記被クリーニング体の表面上に付着した塵埃を粘着力で除去する構成のもの（下記の特許文献１を参照）や、前記被クリーニング体の表面上に付着した塵埃を静電気力を利用して除去する構成のもの（下記の特許文献２、３を参照）が知られている。

上記した従来のクリーニング装置では、前記被クリーニング体の表面上から塵埃を除去する手段として、表面に粘着層を備えた粘着ローラだけ、または、表面に所定の電荷を帯電させたクリーニングローラだけが使用されている。

前記被クリーニング体の表面上に付着した塵埃を粘着力だけで除去する機構は、前記塵埃を前記被クリーニング体の表面上から物理的に剥がし取ることができる。そのため、使用する粘着ローラの粘着力を高めることにより、種類の異なる塵埃に対応させることが可能となる。一方で前記被クリーニング体の表面上から剥がし取られた塵埃が前記粘着ローラの表面上に蓄積していくため、頻繁に前記粘着ローラのメンテナンス作業を行わなければならず、連続使用時間が短いという課題があった。

一方、前記被クリーニング体の表面上に付着している塵埃を静電気力だけで除去する機構は、前記被クリーニング体の表面上の塵埃を電気的に除去（吸着）し、搬送することができるため、前記クリーニングローラのメンテナンス作業を行う頻度が少なくて済み、連続使用時間を長くすることができる。一方で種類の異なる（帯電する極性等が異なる）塵埃については一つのクリーニングローラで除去しきれない場合もあり、様々な種類の塵埃を効率よく除去するためには、塵埃の種類に応じた帯電特性を有するユニット（例えば、プラスの極性を有するクリーニングローラやマイナスの極性を有するクリーニングローラ等）を複数設置しなければならないという課題や、帯電しない塵埃や粘着性の高いゴミについては十分に除去しきれない虞があるという課題があった。

特許第４７３３６０７号公報 特表２０１０−１０９７５５号公報 特開２００３−２２５６２５号公報

課題を解決するための手段及びその効果

本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去する機構又は粘着力を利用して除去する機構をそれぞれ単独で使用した場合の欠点を補うことのできるクリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラを提供することを目的としている。

上記目的を達成するために本発明に係るクリーニング装置（１）は、所定の電荷を帯電させたクリーニングローラを回転させながら、被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニットと、粘着ローラを回転させながら、前記被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラユニットとを備え、前記クリーニングユニットが、前記被クリーニング体の搬送方向に対して前記粘着ローラユニットの手前に配置されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（１）によれば、前記クリーニングユニットが、前記被クリーニング体の搬送方向に対して前記粘着ローラユニットの手前に配置されているので、前記被クリーニング体は、前記クリーニングユニットを通過した後に前記粘着ローラユニットを通過することとなる。
すなわち、前記クリーニングユニットにおいて、前記被クリーニング体表面の塵埃が静電気力を利用して除去された後、前記粘着ローラユニットにおいて、前記クリーニングユニットで除去されなかった塵埃が粘着力によって前記被クリーニング体表面から物理的に剥がし取られて除去される。したがって、帯電特性の異なる前記クリーニングユニットを複数配置しなくても、前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとを併用することで、様々な種類の塵埃に容易に対応させることが可能となる。

また、前記クリーニングローラでクリーニングされた後に前記粘着ローラユニットでクリーニングされるので、前記粘着ローラだけを使用してクリーニングする場合と比較して前記粘着ローラに付着する塵埃の量を大幅に減らすことができ、連続使用時間を大幅に延ばすことができる。
したがって、前記粘着ローラユニットや前記クリーニングユニットをそれぞれ単独で使用する場合と比較して、種類の異なる塵埃を効率良く除去することができ、また連続使用時間を大幅に延ばすことができ、クリーニング工程の効率を高めることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（２）は、上記クリーニング装置（１）において、前記粘着ローラユニットが、前記粘着ローラの表面に接触させて回転させながら、該粘着ローラ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラを備えていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（２）によれば、前記転写ローラによって前記粘着ローラの表面に付着している塵埃が捕捉されるので、前記粘着ローラの表面に塵埃を蓄積させることなく、前記粘着ローラの表面を清浄な状態に保つことができ、前記粘着ローラによる塵埃の除去性能を長期間維持することができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（３）は、上記クリーニング装置（２）において、前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（３）によれば、前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けているので、前記粘着ローラと前記転写ローラとが同一点で再接触する頻度を少なくすることができ、前記粘着ローラの汚染された箇所（塵埃の付着箇所）に対して前記転写ローラの汚染されていない箇所が接触する確率を高めることができ、前記粘着ローラから前記転写ローラへの塵埃の転写性能を向上させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（４）は、上記クリーニング装置（２）又は（３）において、前記転写ローラの粘着力が、前記粘着ローラの粘着力よりも大きいことを特徴としている。

上記クリーニング装置（４）によれば、前記粘着ローラに付着している塵埃を前記転写ローラで確実に捕捉することができ、前記転写ローラによる塵埃の転写性能を向上させることができ、前記粘着ローラによる塵埃の除去性能を長期間維持することができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（５）は、上記クリーニング装置（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記クリーニングローラの外層部と前記粘着ローラの粘着層とが、ポリウレタンを含む樹脂で形成されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（５）によれば、前記クリーニングローラの外層部と前記粘着ローラの粘着層とが、ポリウレタンを含む樹脂で形成されているので、これら各ローラに必要な機能を、前記ポリウレタンを含む樹脂により発揮させることができる。例えば、前記クリーニングローラの外層部が熱可塑性ポリウレタンを含む樹脂で形成されている場合、シリコーン樹脂やブチルゴムなどで形成されている場合と比べて耐摩耗性に優れ、可塑剤や低分子量物による汚染を減らすことができるという効果を得ることができる。また、前記粘着ローラの粘着層が、熱硬化性ポリウレタンを含む樹脂で形成されている場合、上記効果に加え、ブチルゴムと比較して圧縮永久歪が小さいので、形状（真円）安定性に優れ、また、可塑剤を含まないので、硬度の経時変化が少なく、長期間安定した粘着力を発揮させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（６）は、上記クリーニング装置（１）〜（５）のいずれかにおいて、前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとを互いに入れ替えて設置可能な複数のガイド部が形成されたフレーム体を備えていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（６）によれば、前記フレーム体には前記複数のガイド部が形成されているので、前記クリーニングユニットや前記粘着ローラユニットを簡単に多連配置することが可能となり、また、装置構成の自由度を高めることができ、前記被クリーニング体の種類や前記塵埃の種類に応じた最適なシステムを構築することができる。例えば、前記ガイド部に設置する前記クリーニングユニットの数を増やして、前記粘着ローラユニットによる塵埃の回収量をさらに減らすことにより連続使用時間をさらに延ばす構成、又は前記粘着ローラユニットの数を増やして、仕上げ精度をさらに向上させる構成などが採用され得る。また、前記被クリーニング体の搬送方向を変えた場合に、前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとを入れ替えるだけで対応可能となり、作業工程での利便性を高めることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（７）は、上記クリーニング装置（１）〜（６）のいずれかにおいて、前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きく、且つ所定の周速以下となるように構成されていることを特徴としている。

前記被クリーニング体の先端部が前記クリーニングローラを通過して前記粘着ローラに搬入されるまでの間に、前記被クリーニング体の先端部が前記クリーニングローラと前記粘着ローラとの隙間に落ち込む経路をとった場合や前記被クリーニング体の先端部に反りが生じた場合には、前記被クリーニング体の先端部分にたわみが発生する虞がある。当該たわみは、搬送中における前記被クリーニング体の折れや皺を誘発する虞があり、また、前記被クリーニング体が積層物であるときは、該積層物の剥離につながる虞がある。

上記クリーニング装置（７）によれば、前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きくなるように構成されているので、前記被クリーニング体の先端部分にたわみが生じた場合であっても搬送中に前記たわみを除々に解消することができる。また、前記粘着ローラの周速が前記所定の周速以下となるように構成されているので、前記被クリーニング体に過度な張力が加わらないように構成することができ、前記被クリーニング体の伸びや裂けといった変形を防止することができ、前記被クリーニング体に損傷を与えることなく良好なクリーニングを行うことができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（８）は、上記クリーニング装置（１）〜（６）のいずれかにおいて、前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラを同一の動力源から得た動力で駆動させ、かつ前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速を同期させる、又は前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動させる駆動機構を備えていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（８）によれば、前記駆動機構によって、前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラが同一の動力源から動力を得て駆動されるので、コンパクトな装置構造にすることができる。また、前記駆動機構によって前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速を同期させるように駆動されるので、前記被クリーニング体がフィルムやシートなどの薄物であったとしても、これらフィルムやシートにたわみや皺を生じさせることなく搬送しながら塵埃を除去することができる。または、前記駆動機構によって前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動されるので、前記被クリーニング体の先端部分でたわみが生じた場合であっても搬送中に前記たわみを除々に解消することができ、前記被クリーニング体の搬送性を向上させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（９）は、上記クリーニング装置（１）〜（６）のいずれか２つの装置を用い、前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去する前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（９）によれば、前記被クリーニング体の上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、かつ上記クリーニング装置（１）で得られる効果を得ることができる極めて効率の高いクリーニング装置を提供することができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（１０）は、上記クリーニング装置（９）において、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラの前後、及び／又は前記被クリーニング体下面側に配置された前記粘着ローラユニットの前記粘着ローラの前後に搬送ローラが近設されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（１０）によれば、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラの前後、及び／又は前記被クリーニング体下面側に配置された前記粘着ローラユニットの前記粘着ローラの前後に搬送ローラが近設されているので、前記クリーニングローラの前後、及び／又は前記粘着ローラの前後に生じる空間（隙間）が前記搬送ローラによって狭められる。そのため、前記クリーニングローラの前後、及び／又は前記粘着ローラの前後に生じていた空間に前記被クリーニング体が落ち込んで、前記被クリーニング体にたわみや皺が生じることを防止することができ、前記被クリーニング体の搬入及び搬出を精度良く行うことができ、搬送性を向上させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（１１）は、上記クリーニング装置（９）又は（１０）において、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラ及び前記被クリーニング体下面側に配置された前記粘着ローラユニットの前記粘着ローラを同一の動力源から得た動力で駆動させ、かつ前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速を同期させる、又は前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動させる駆動機構を備えていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（１１）によれば、前記駆動機構によって、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラが同一の動力源から動力を得て駆動されるので、コンパクトな装置構造にすることができる。また、前記駆動機構によって前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速が同期されるように駆動されるので、前記被クリーニング体がフィルムやシートなどの薄物であったとしても、これらにたわみや皺を生じさせることなく搬送しながら塵埃を除去することができる。または、前記駆動機構によって前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動されるので、前記被クリーニング体の先端部分でたわみが生じた場合であっても搬送中に前記たわみを除々に解消することができ、前記被クリーニング体の搬送性を向上させることができる。

また、本発明に係るクリーニング装置（１２）は、上記クリーニング装置（１１）において、前記駆動機構が、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラと、前記被クリーニング体上面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラとを前記同一の動力源から得た動力で駆動させるように構成されていることを特徴としている。

上記クリーニング装置（１２）によれば、前記駆動機構によって、前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラと、前記被クリーニング体上面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラとが前記同一の動力源から動力を得て駆動されるので、コンパクトな装置構造にすることができる。

また、本発明に係る粘着ローラユニット（１）は、被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラを備え、所定の電荷を帯電させたクリーニングローラを回転させながら、前記被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニットと併用されることを特徴としている。

上記粘着ローラユニット（１）によれば、前記クリーニングユニットと併用されるので、静電気力を利用して塵埃を除去するだけでなく、前記粘着ローラの粘着力によって前記被クリーニング体表面に付着している塵埃を物理的に除去することができ、帯電特性の異なる前記クリーニングユニットを複数配置しなくても、様々な種類の塵埃に容易に対応させることが可能となる。したがって、前記クリーニングユニットだけを使用する場合と比較して、種類の異なる塵埃を効率良く除去することができ、塵埃の除去精度（仕上げ精度）を容易に高めることができるクリーニング装置を構築することができる。

また、本発明に係る粘着ローラユニット（２）は、上記粘着ローラユニット（１）において、前記粘着ローラが、前記被クリーニング体の搬送方向に対して前記クリーニングローラの後方に配設され、前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きく、且つ所定の周速以下となるように構成されていることを特徴としている。

上記粘着ローラユニット（２）によれば、前記粘着ローラが前記クリーニングローラの後方に配置されるので、前記クリーニングローラで除去しきれなかった塵埃を前記粘着ローラの粘着力によって前記被クリーニング体表面から物理的に除去することができ、帯電特性の異なる前記クリーニングユニットを複数配置しなくても、様々な種類の塵埃に容易に対応させることができ、塵埃の除去精度（仕上げ精度）を容易に高めることができる。また、前記粘着ローラが前記クリーニングローラの後方に配置されるので、前記粘着ローラに付着する塵埃の量を大幅に減らすことができ、前記粘着ローラだけを使用してクリーニングする場合と比較して連続使用時間を大幅に延ばすことができ、クリーニング工程の効率を高めることができる。

また、前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きくなるように構成されているので、前記被クリーニング体の先端部分にたわみが生じた場合であっても搬送中に前記たわみを除々に解消することができる。また、前記粘着ローラの周速が前記所定の周速以下となるように構成されているので、前記被クリーニング体に過度な張力が加わらないように構成することができ、前記被クリーニング体の伸びや裂けといった変形を防止することができ、前記被クリーニング体に損傷を与えることなく良好なクリーニングを行うことができる。

また、本発明に係る粘着ローラユニット（３）は、上記粘着ローラユニット（１）又は（２）において、前記粘着ローラの表面に接触させて回転させながら、該粘着ローラ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラを備えていることを特徴としている。

上記粘着ローラユニット（３）によれば、前記転写ローラによって前記粘着ローラ表面の塵埃が捕捉されるので、前記粘着ローラの表面を清浄な状態に保つことができ、前記粘着ローラのクリーニング性能を長期間維持することができる。

また、本発明に係る粘着ローラユニット（４）は、上記粘着ローラユニット（３）において、前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けていることを特徴としている。

上記粘着ローラユニット（４）によれば、前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けているので、前記粘着ローラと前記転写ローラとが同一点で接触する頻度を少なくすることができ、粘着ローラの汚染された箇所（塵埃が付着した箇所）に対して転写ローラの汚染されていない個所が接触する確率を高めることができ、前記粘着ローラから前記転写ローラへの塵埃の転写性能を向上させることができる。

また、本発明に係る粘着ローラユニット（５）は、上記粘着ローラユニット（３）又は（４）において、前記転写ローラの粘着力が、前記粘着ローラの粘着力よりも大きいことを特徴としている。

上記粘着ローラユニット（５）によれば、前記粘着ローラに付着した塵埃を前記転写ローラで確実に捕捉することができ、前記粘着ローラの表面を清浄な状態に保つことができる。

また、本発明に係る粘着ローラは、被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラであって、前記被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングローラと併用されることを特徴としている。

上記粘着ローラによれば、前記クリーニングローラと併用されるので、静電気力を利用して塵埃を除去するだけでなく、前記粘着ローラの粘着力によって前記被クリーニング体表面に付着している塵埃を除去することができ、帯電特性の異なる前記クリーニングユローラを複数配置しなくても、様々な種類の塵埃に容易に対応させることが可能となる。したがって、前記クリーニングローラだけを使用する場合と比較して、種類の異なる塵埃を効率良く除去することができ、塵埃の除去精度（仕上げ精度）を容易に高めることができるクリーニングシステムを構築することができる。

実施の形態（１）に係るクリーニング装置を構成するクリーニングユニット及び粘着ローラユニットを正面上方から見た斜視図である。 実施の形態（１）に係るクリーニング装置を構成するクリーニングユニット及び粘着ローラユニットを背面上方から見た斜視図である。 図１におけるIII−III線断面図である。 実施の形態（１）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。 実施の形態（１）に係るクリーニング装置を構成するフレーム体を正面上方から見た斜視図である。 実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する下面側のクリーニングユニットを正面上方から見た斜視図である。 実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する上下面の粘着ローラユニットを正面上方から見た斜視図である。 実施の形態（２）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。 実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成するフレーム体を正面上方から見た斜視図である。 実施の形態（３）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（３）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。 実施の形態（４）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（４）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。 実施の形態（５）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（５）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した左側面図である。 実施の形態（５）に係るクリーニング装置の粘着ローラユニットの一部切欠背面図である。 実施の形態（６）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（６）に係るクリーニング装置の粘着ローラユニットの底面図である。 実施の形態（７）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（７）に係るクリーニング装置を構成する粘着ローラユニットの背面図である。 実施の形態（７）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した左側面図である。 被クリーニング体の先端部がクリーニングローラから粘着ローラまで搬送されるときの経路を説明するための図である。 実施の形態（８）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。 実施の形態（９）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。

以下、本発明に係るクリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラの実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態（１）に係るクリーニング装置を構成するクリーニングユニット及び粘着ローラユニットを正面上方から見た斜視図であり、図２は、背面上方から見た斜視図である。図３は、図１におけるIII−III線断面図である。図４は、実施の形態（１）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。また、図５は、実施の形態（１）に係るクリーニング装置を構成するフレーム体を正面上方から見た斜視図である。なお、図３については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略している。

クリーニング装置１は、被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニット１０と、被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラユニット３０とを含んで構成され、クリーニングユニット１０が被クリーニング体の搬送方向（矢印α）に対して粘着ローラユニット３０の手前に（前方に隣接して）配置されるように、クリーニングユニット１０と粘着ローラユニット３０とが図５に示すフレーム体４０に設置される構成となっている。

クリーニングユニット１０は、図３に示すように、クリーニングローラ１１を回転させながら、被クリーニング体Ｓの表面（上面）Ｓ１に接触させ、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１上に付着している塵埃（例えば、導体あるいは誘電体などの微小な塵埃）を、クリーニングローラ１１に付与された静電気力を利用して取り除くものである。

クリーニングユニット１０は、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ１１と、このクリーニングローラ１１に接触してクリーニングローラ１１表面の塵埃を除去するブラシローラ１２と、ブラシローラ１２に接触しながら回転してブラシローラ１２から塵埃を受取る金属ローラ１３と、金属ローラ１３に付着した塵埃を除去するブレード１４と、ブレード１４によって金属ローラ１３から掻き取られた塵埃を回収する塵埃受け部１５とを備え、一体構造としてユニット化されている。クリーニングユニット１０は、クリーニングローラ１１にブラシローラ１２を接触させ、ブラシローラ１２に金属ローラ１３を接触させて塵埃を除去する構成となっているので、塵埃の搬送経路が短いコンパクトなユニット構造となっている。

クリーニングローラ１１は、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷（プラス又はマイナスの電荷）を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ１１表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。

クリーニングローラ１１は、芯金（芯棒）１１ａと、芯金１１ａを覆う円筒状の内層部１１ｂと、内層部１１ｂを覆う薄膜円筒状の外層部１１ｃとを含んで構成されている。内層部１１ｂには、導電性を有する弾性部材（例えば、カーボン（導電材）を含むポリエステル系ウレタン等）が用いられている。外層部１１ｃを構成する材料としては、ポリウレタン樹脂、例えば、アクリル混合ウレタンあるいはフッ素混合ウレタンなどが挙げられ、被クリーニング体Ｓ表面に付着する塵埃を静電気により吸着する電荷を帯電し得るようになっている。前記アクリル混合ウレタンとは、ポリエステルポリウレタンまたはポリエーテルポリウレタンを主成分とし、(i)熱可塑性ウレタン樹脂とシリコン・アクリル共重合樹脂の混合物、(ii)アクリル樹脂（例えば、メタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）と熱可塑性ウレタン樹脂からなる混合物、(iii)アクリル樹脂・ウレタン樹脂・フッ素系表面コーティング剤からなる混合物を意味する。前記アクリル混合ウレタンを用いることにより、マイナスに帯電しやすい塵埃が被クリーニング体Ｓから除去されやすくなる。

また、前記フッ素混合ウレタンとは、ポリウレタンを主成分とするもので、熱可塑性ウレタン樹脂にウレタン・フッ素共重合体を混合したものを意味する。前記フッ素混合ウレタンを用いることにより、プラスに帯電しやすい塵埃が被クリーニング体Ｓから除去されやすくなる。外層部１１ｃの厚さは、帯電特性などの観点から２μｍ〜５００μｍ程度が好ましく、より好ましくは、５μｍ〜５０μｍ程度である。

クリーニングローラ１１の斜め上方には、クリーニングローラ１１の表面に接触させつつ相互に逆方向に回転させながら、クリーニングローラ１１の表面の塵埃を除去するブラシローラ１２が設けられている。

ブラシローラ１２は、クリーニングローラ１１との間に電位差を生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ１１の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。ブラシローラ１２は、芯金１２ａに合成樹脂製のブラシ部（毛部）１２ｂを有するものである。なお、ブラシ部１２ｂの毛部断面形状や外形は、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形形状や波曲線形状、曲線と直線とが組み合わされて構成された形状のものなどが採用され得る。

ブラシローラ１２の斜め上方には、ブラシローラ１２に対し連れ回り方向に接触しながら回転する金属ローラ１３が配設されている。この金属ローラ１３も、クリーニングローラ１１との間で所定の電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ１１の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。金属ローラ１３は、静電気を利用してブラシローラ１２から塵埃を受け取る機能を有している。

また、金属ローラ１３の近傍には、金属ローラ１３の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード１４が、金属ローラ１３外周面に接触させた状態で配設され、ブレード１４の先端部によって金属ローラ１３の表面上に付着する塵埃が掻き取られるようになっている。ブレード１４は、例えば、合成樹脂製（例えば、熱硬化性ウレタン樹脂）の弾性体などで形成されている。

クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３は、図１、図２に示した左右の側板部１６、１７にそれぞれ回転可能に軸支され、側板部１６、１７は上部連結板１８で連結されている。

側板部１６、１７は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂製）の材質で構成され、側板部１６、１７の両側には、図５に示すフレーム体４０の左右のガイドレール４７Ａ、４７Ｂに係合させるための係合片１６ａ、１７ａが形成されている。また、側板部１６、１７の対向面には、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３の各回転軸を取り付けるための取付孔（いずれも図示せず）が所定の位置にそれぞれ形成されている。

これら各取付孔には、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３の回転軸が挿着される軸受（図示せず）がそれぞれ組み込まれ、図示しないこれら各軸受の外輪部に図示しない電極部が電気的に接触して通電可能な状態で組み込まれている。これら電極に通電するための通電コネクタ１９が上部連結板１８上に配設されている。

図示しない前記電極部から前記軸受を介して、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各貫通孔に組み込まれた前記軸受及び電極部を含んで電荷付与機構が構成されている。

次にクリーニングユニット１０の駆動機構について説明する。側板部１６に挿着されたクリーニングローラ１１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車２１Ａとアイドル歯車２２とが装着され、ローラ駆動用歯車２１Ａには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８（図５参照）が歯合される機構になっている。

また、側板部１６に挿着された金属ローラ１３の回転軸の端部には、絶縁体で形成された金属ローラ用歯車２３Ａが装着されている。金属ローラ用歯車２３Ａは、アイドル歯車２２と歯合されており、金属ローラ１３は、クリーニングローラ１１の回転駆動により回転駆動されるようになっている。

また、側板部１７に挿着されたクリーニングローラ１１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車２１Ｂが装着され、ローラ駆動用歯車２１Ｂには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車４９（図４参照）が歯合される機構になっている。

また、側板部１７に挿着された金属ローラ１３の回転軸の端部には、絶縁体で形成された金属ローラ用歯車２３Ｂが装着され、ブラシローラ１２の回転軸の端部には、金属で形成されたブラシローラ用歯車２４が装着されている。ブラシローラ用歯車２４は、金属ローラ用歯車２３Ｂと歯合されており、ブラシローラ１２は、金属ローラ１３の回転駆動により連れ回り方向に回転駆動されるようになっている。

粘着ローラユニット３０は、図３に示すように、粘着ローラ３１を回転させながら、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に接触させ、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１上に付着している塵埃を、粘着ローラ３１の粘着力を利用して取り除くものである。

粘着ローラユニット３０は、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に接触させる粘着ローラ３１と、粘着ローラ３１表面に接触させて回転させながら、粘着ローラ３１表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラ３２とを備え、一体構造としてユニット化されている。

粘着ローラ３１は、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に付着している塵埃を粘着力を利用して剥ぎ取るものであり、芯棒３１ａと、芯棒３１ａを覆う厚膜円筒状の粘着層３１ｂとを含んで構成されている。粘着層３１ｂには、ポリウレタン樹脂、より好ましくは熱硬化性ポリウレタン樹脂を含む材料が用いられ、種類の異なる塵埃を吸着するための所定の粘着力が得られるように形成されている。

転写ローラ３２は、粘着ローラ３１に対し連れ回り方向に接触しながら回転するように粘着ローラ３１の斜め上方に配設されている。転写ローラ３２も、芯棒３２ａと、芯棒３２ａを覆う厚膜円筒状の粘着層３２ｂとを含んで構成されている。粘着層３２ｂは、ポリウレタン樹脂、より好ましくは熱硬化性ポリウレタン樹脂を含む材料で構成されている。粘着ローラ３１に付着した塵埃を確実に捕捉（転写）するために、転写ローラ３２の粘着力が粘着ローラ３１の粘着力よりも大きくなるように構成されている。

粘着ローラ３１及び転写ローラ３２は、図１、図２に示した左右の側板部３３、３４にそれぞれ回転可能に軸支され、側板部３３、３４は上部連結板３５で連結されている。側板部３３、３４は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂製）の材質で構成され、側板部３３、３４の両側には、図５に示すフレーム体４０の左右のガイドレール４７Ａ、４７Ｂに係合させるための係合片３３ａ、３４ａが形成されている。また、側板部３３、３４の対向面には、粘着ローラ３１及び転写ローラ３２の各回転軸を取り付けるための取付孔が所定の位置にそれぞれ形成されている。

なお、粘着ローラ３１及び転写ローラ３２の外径は、同径にする必要はなく、粘着ローラ３１から転写ローラ３２への塵埃の転写（移行）性を向上させるために、外径差を設けることが好ましい。粘着ローラ３１の外径を転写ローラ３２の外径よりも大きくする構成、又は転写ローラ３２の外径を粘着ローラ３１の外径よりも大きくする構成が採用され得る。

次に粘着ローラユニット３０の駆動機構について説明する。図２に示すように、側板部３３に挿着された粘着ローラ３１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車３６Ａが装着され、ローラ駆動用歯車３６Ａには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８（図５参照）が歯合される機構になっている。

また、図１〜３に示すように、側板部３４に挿着された粘着ローラ３１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車３６Ｂが装着され、ローラ駆動用歯車３６Ｂには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４９（図４参照）が歯合される機構になっている。なお、転写ローラ３２は、粘着ローラ３１の回転駆動により連れ回り回転するようになっている。

上記したクリーニングユニット１０及び粘着ローラユニット３０は、図５に示したフレーム体４０に設置される構成となっている。フレーム体４０には、クリーニングユニット１０と粘着ローラユニット３０とを互いに入れ替えて設置可能な左右２対のガイド部４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂが形成されている。ガイド部４１Ａ、４１Ｂに、クリーニングユニット１０の側板部１６、１７をそれぞれ係合させ、ガイド部４２Ａ、４２Ｂに、粘着ローラユニット３０の側板部３３、３４をそれぞれ係合させて、上下方向にスライド可能な態様で設置されるようになっている。

一方側のガイド部４１Ａとガイド部４２Ａは、台座部４３Ａと、台座部４３Ａ上に配設された底板４４Ａと、底板４４Ａの一辺に立設された背板４５Ａと、背板４５Ａの上部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ａと、底板の上面３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｂと、上部の各側枠板４６ａと下部の各側枠板４６ｂの端面に取り付けられた細板状のガイドレール部材４７Ａとにより、一体的に構成されている。

各側枠板４６ａ、４６ｂと各ガイドレール部材４７Ａとの連結によって平面視略Ｌ字状の係合部４７ａが形成されている。これら係合部４７ａにクリーニングユニット１０の側板部１６の係合片１６ａと粘着ローラユニット３０の側板部３３の係合片３３ａとが係合されるようになっている。

また、他方側のガイド部４１Ｂとガイド部４２Ｂは、上記同様に台座部４３Ｂと、台座部４３Ｂ上に配設された底板４４Ｂと、底板４４Ｂの一辺に立設された背板４５Ｂと、背板４５Ｂ上部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｃと、底板４４Ｂの上面３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｄと、上部の各側枠板４６ｃと下部の各側枠板４６ｄの端面に取り付けられた細板状のガイドレール部材４７Ｂとにより、一体的に構成されている。各側枠板４６ｃ、４６ｄと各ガイドレール部材４７Ｂとの連結によって平面視略Ｌ字状の係合部４７ｂが形成されている。

これら係合部４７ｂにクリーニングユニット１０の側板部１７の係合片１７ａと粘着ローラユニット３０の側板部３４の係合片３４ａとが係合されるようになっている。フレーム体４０は、一方側のガイド部４１Ａ及びガイド部４２Ａと、他方側のガイド部４１Ｂ及びガイド部４２Ｂとが、左右の連結板５０により連結された構成となっている。

上記実施の形態（１）に係るクリーニング装置１によれば、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニット１０と、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラユニットと３０を備え、クリーニングユニット１０が、被クリーニング体Ｓの搬送方向に対して粘着ローラユニット３０の手前に配置されているので、被クリーニング体Ｓは、クリーニングユニット１０を通過した後に粘着ローラユニット３０を通過することとなる。

すなわち、クリーニングユニット１０において、被クリーニング体上面Ｓ１の塵埃が静電気力を利用して除去された後、粘着ローラユニット３０において、クリーニングユニット１０で除去されなかった塵埃が粘着力によって被クリーニング体表面Ｓ１から物理的に剥がし取られて除去される。クリーニングユニット１０の後方に粘着ローラユニット３０が隣接して配設されているので、帯電特性の異なる複数のクリーニングユニット１０を配置しなくても、様々な種類の塵埃に容易に対応させることが可能となる。

また、粘着ローラユニット３０でクリーニングされる前にクリーニングローラ１０でクリーニングされるので、粘着ローラ３１だけを使用する場合と比較して、粘着ローラ３１に付着する塵埃の量を大幅に減らすことができ、連続使用時間を大幅に延ばすことができる。

また、粘着ローラユニット３０では、粘着ローラ３１の表面に付着している塵埃が転写ローラ３２によって捕捉されるので、粘着ローラ３１の表面に塵埃を蓄積させることなく、粘着ローラ３１の表面を清浄な状態に保つことができ、粘着ローラ３１による塵埃の除去性能を維持することができる。また、粘着ローラ３１のメンテナンス作業の頻度を大幅に減らすことができる。

したがって、粘着ローラユニット３０やクリーニングユニット１０をそれぞれ単独で使用する場合と比較して、種類の異なる塵埃を効率良く除去することができ、また連続使用時間を大幅に延ばすことができ、クリーニング工程の効率を高めることができる。

また、上記クリーニング装置１は、クリーニングユニット１０と粘着ローラユニット３０とを互いに入れ替えて設置可能な複数のガイド部４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂが形成されたフレーム体４０を備えているので、帯電特性の異なるクリーニングユニットや粘着力の異なる粘着ローラユニット等への交換が容易に行え、装置構成の自由度を高めることができ、被クリーニング体Ｓの種類や塵埃の種類に応じて最適な構成に設定することができる。また、被クリーニング体Ｓの搬送方向を変えた場合に、クリーニングユニット１０と粘着ローラユニット３０とを入れ替えるだけで対応可能となり、作業工程での利便性を高めることができる。

また、上記クリーニング装置１は、クリーニングローラ１１の回転軸の一端側に装着されたローラ駆動用歯車２１Ｂと、粘着ローラ３１の回転軸の一端側に装着されたローラ駆動用歯車３６Ｂとが、同一の駆動源となるローラ駆動用モータ（図示せず）の回転力が伝達される歯車４９（図４参照）に歯合され、また、クリーニングローラ１１の回転軸の他端側に装着されたローラ駆動用歯車２１Ａと、粘着ローラ３１の回転軸の他端側に装着されたローラ駆動用歯車３６Ａとが、同一の駆動源となるローラ駆動用モータ（図示せず）の回転力が伝達される歯車４８（図５参照）に歯合された駆動機構を備えている。

したがって、当該駆動機構によって、クリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１が同一の動力源から動力を得て駆動され、かつクリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１の周速を同期させているので、クリーニングローラ１１又は粘着ローラ３１の周速を変更しても、これらローラの周速を常に同期させることができ、被クリーニング体Ｓがフィルムやシートなどの薄物であったとしても、搬送中にたわみや皺を発生させることなく塵埃を除去することができる。

また、上記クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ１１の外層部１１ｃが熱可塑性ポリウレタンを含む樹脂で形成されているので、シリコーン樹脂やブチルゴムなどで形成されている場合と比べて耐摩耗性に優れ、可塑剤や低分子量物による汚染が少ないという効果を得ることができる。

また、粘着ローラ３１の弾性層３１ｂが、熱硬化性ポリウレタンを含む樹脂で形成されているので、上記効果に加え、ブチルゴムと比較して圧縮永久歪が小さく、形状（真円）安定性に優れ、また、可塑剤を含まないので、硬度の経時変化が少なく、長期間安定した粘着力を発揮することができる。

なお、上記実施の形態（１）では、前記駆動機構によって、クリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１の周速を同期させている場合について説明したが、別の実施の形態では、前記駆動機構を構成する各歯車のモジュール、歯数、ギア比を調整することによって、クリーニングローラ１１の周速より粘着ローラ３１の周速が大きくなるように駆動させる構成にすることもできる。

また、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１とは、外径が略同一であるが、さらに別の実施の形態では、クリーニングローラ１１の内層部１１ｂの肉厚を大きくして、接地しているときのローラのたわみ量を増やす一方、粘着ローラ３１の粘着層３１ｂには歪みが小さい樹脂を用いて真円安定性を高める（各ローラの弾性変形量を調整する）ことによって、クリーニング時における粘着ローラ３１の見かけ上の外周が、クリーニングローラ１１の見かけ上の外周よりも大きくなるように外周差を生じる設計を行う。この外周差によって所定の周速差を生じるように、すなわち、粘着ローラ３１の周速がクリーニングローラ１１の周速より大きくなるように調整する構成が採用され得る。

周速差は、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１との軸間距離、粘着ローラ３１の外径、被クリーニング体Ｓの長さ等を考慮して、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１との間で生じ得る被クリーニング体Ｓの最大たわみ量が、被クリーニング体Ｓの搬送終了時（被クリーニング体Ｓの後端部分がクリーニングローラ１１を通過する時）に解消できるように調整することが好ましい。

図６は、実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを示した断面図である。図７は、実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する下面側のクリーニングユニットを正面上方から見た斜視図である。図８は、実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成する上下面の粘着ローラユニットを正面上方から見た斜視図である。図９は、実施の形態（２）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。図１０は、実施の形態（２）に係るクリーニング装置を構成するフレーム体を正面上方から見た斜視図である。なお、図６については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略している。

実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａは、クリーニングユニット１０と粘着ローラユニット３０とが上側に配設され、その下側にクリーニングユニット１０Ａと粘着ローラユニット３０Ａとが配設されており、これら上下のユニットの間に被クリーニング体Ｓを通過させることで、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１と下面Ｓ２とを同時にクリーニング可能な構成となっている。なお、図１〜５に示したクリーニング装置１と同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、ここではその説明を省略する。

上側に配置されるクリーニングユニット１０及び粘着ローラユニット３０は、後述する駆動機構を除いて、実施の形態（１）に係るクリーニング装置１のクリーニングユニット１０及び粘着ローラユニット３０と略同様な構成となっている。

クリーニングユニット１０の下側に配置されたクリーニングユニット１０Ａは、図６に示すように、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させるクリーニングローラ１１と、クリーニングローラ１１の前後に近設された搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂと、クリーニングローラ１１に接触してクリーニングローラ１１表面の塵埃を除去するブラシローラ１２と、ブラシローラ１２に接触しながら回転してブラシローラ１２から塵埃を受取る金属ローラ１３と、金属ローラ１３に付着した塵埃を除去するブレード１４とを含んで構成されている。

クリーニングローラ１１は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷（プラス又はマイナスの電荷）を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ１１表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。

クリーニングローラ１１の斜め下方には、クリーニングローラ１１の表面に接触しながら相互に逆方向に回転し、クリーニングローラ１１の表面の塵埃を除去するブラシローラ１２が設けられている。

ブラシローラ１２の斜め下方には、ブラシローラ１２に対し連れ回り方向に接触しながら回転する金属ローラ１３が配設されている。金属ローラ１３の近傍には、金属ローラ１３の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード１４が配設され、ブレード１４の先端部によって金属ローラ１４の表面上に付着する塵埃が掻き取られ、下方に設置された図示しない塵埃受け部に回収されるようになっている。

クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３は、図７に示した左右の側板部１６Ａ、１７Ａにそれぞれ回転可能に軸支されている。これら側板部１６Ａ、１７Ａの対向面には、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３の回転軸が挿着される軸受（図示せず）がそれぞれ組み込まれ、図示しないこれら各軸受の外輪部に図示しない電極部が電気的に接触して通電可能な状態で組み込まれている。側板部１６Ａには、これら電極に通電するための通電コネクタ１９Ａが配設されている。

図示しない前記電極部から前記軸受を介して、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２及び金属ローラ１３に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各貫通孔に組み込まれた前記軸受及び電極部を含んで電荷付与機構が構成されている。

搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂは、被クリーニング体Ｓを搬送するための金属製のローラであり、側板部１６Ａ、１７Ａの上部に取り付けられた取付板５６、５７にそれぞれ回転可能に支持されている。搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂの外径は、クリーニングローラ１１との間の隙間を少なくするために、クリーニングローラ１１の外径よりも小さく設定（クリーニングローラ１１の半径以下に設定）されている。また、搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂの周面上部とクリーニングローラ１１の周面上部とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂ及びクリーニングローラ１１が配設されている。

クリーニングローラ１１の両端の回転軸には、ピッチ円直径がクリーニングローラ１１の外径と一致するプーリー５２Ａ、５２Ｂが配設されている。また、搬送ローラ５１Ａ両端の回転軸には、ピッチ円直径が搬送ローラ５１Ａの外径と一致するプーリー５３Ａ、５３Ｂが配設され、搬送ローラ５１Ｂ両端の回転軸にも、ピッチ円直径が搬送ローラ５１Ｂの外径と一致するプーリー５４Ａ、５４Ｂが配設されている。

クリーニングローラ１１及び搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂの一端側のプーリー５２Ａ、５３Ａ、５４Ａには丸ベルト５５Ａが巻き掛けられ、他端側のプーリー５２Ｂ、５３Ｂ、５４Ｂにも同様に丸ベルト５５Ｂが巻き掛けられている。この構成によって、搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂがクリーニングローラ１１の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂがクリーニングローラ１１と同じ周速度で、同一方向に回転駆動されるようになっている。

次に上下のクリーニングユニット１０、１０Ａの駆動機構について説明する。下側のクリーニングユニット１０Ａの側板部１６Ａに挿着されたクリーニングローラ１１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車２１Ｃとアイドル歯車２２Ａとが装着され、ローラ駆動用歯車２１Ｃには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８Ａ（図１０参照）が歯合される機構になっている。

また、下側のクリーニングユニット１０Ａの側板部１６Ａに挿着された金属ローラ１３の回転軸の端部には、絶縁体で形成された金属ローラ用歯車２３Ｃが装着されている。金属ローラ用歯車２３Ｃは、アイドル歯車２２Ａと歯合されており、金属ローラ１３は、クリーニングローラ１１の回転駆動により駆動されるようになっている。

また、上側のクリーニングユニット１０のローラ駆動用歯車２１Ａ及びアイドル歯車２２（図１参照）は、下側のクリーニングユニット１０Ａのローラ駆動用歯車２１Ｃ及びアイドル歯車２２Ａ（図７参照）と歯合されており、上側のクリーニングローラ１１は、下側のクリーニングローラ１１の回転駆動により駆動されるようになっている。

また、下側のクリーニングユニット１０Ａの側板部１７Ａに挿着されたクリーニングローラ１１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車２１Ｄが装着され、ローラ駆動用歯車２１Ｄには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車４９Ａ（図９参照）が歯合される機構になっている。

また、下側のクリーニングユニット１０Ａの側板部１７Ａに挿着された金属ローラ１３の回転軸の端部には、絶縁体で形成された金属ローラ用歯車２３Ｄが装着され、ブラシローラ１２の回転軸の端部には、金属で形成されたブラシローラ用歯車２４Ａが装着されている。ブラシローラ用歯車２４Ａは、金属ローラ用歯車２３Ｄと歯合されており、ブラシローラ１２は、金属ローラ１３の回転駆動により連れ回り方向に回転駆動されるようになっている。

また、図９に示すように、上側のクリーニングユニット１０のローラ駆動用歯車２１Ｂは、下側のクリーニングユニット１０Ａのローラ駆動用歯車２１Ｄと歯合されており、上側のクリーニングローラ１１は、下側のクリーニングローラ１１の回転駆動により駆動されるようになっている。

粘着ローラユニット３０の下側に配置された粘着ローラユニット３０Ａは、粘着ローラ３１を回転させながら、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させ、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に付着している塵埃を、粘着ローラ３１の粘着力を利用して取り除くものである。

粘着ローラユニット３０Ａは、図６に示すように、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させる粘着ローラ３１と、粘着ローラ３１の前後に近設された搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂと、粘着ローラ３１に接触して粘着ローラ３１表面の塵埃を粘着力により受け取る転写ローラ３２とを備え、一体構造としてユニット化されている。

粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に付着している塵埃を粘着力を利用して剥ぎ取るものである。転写ローラ３２は、粘着ローラ３１に対し連れ回り方向に接触しながら回転するように粘着ローラ３１の斜め下方に配設されている。粘着ローラ３１に付着した塵埃を確実に捕捉（転写）するために、転写ローラ３２の粘着力が、粘着ローラ３１の粘着力よりも大きくなるように構成されている。

粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１及び転写ローラ３２は、図８に示した左右の側板部３３Ａ、３４Ａにそれぞれ回転可能に軸支されている。側板部３３Ａ、３４Ａは、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂製）の材質で構成されている。側板部３３Ａ、３４Ａには、粘着ローラ３１及び転写ローラ３２の各回転軸を取り付けるための取付孔が所定の位置にそれぞれ形成されている。

なお、粘着ローラ３１及び転写ローラ３２の外径は、同径にする必要はなく、粘着ローラ３１から転写ローラ３２への塵埃の移行（転写）性を向上させるために、外径差を設けることが好ましい。粘着ローラ３１の外径を転写ローラ３２の外径よりも大きくする構成、又は転写ローラ３２の外径を粘着ローラ３１の外径よりも大きくする構成が採用され得る。

搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂは、被クリーニング体Ｓを搬送するための金属製のローラであり、側板部３３Ａ、３４Ａの上部に取り付けられた左右の取付板６６、６７にそれぞれ回転可能に支持されている。搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂの外径は、粘着ローラ３１との間の隙間を少なくするために、粘着ローラ３１の外径よりも小さく設定（粘着ローラ３１の半径以下に設定）されている。また、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂの周面上部と粘着ローラ３１の周面上部とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂ及び粘着ローラ３１が配設されている。

また、粘着ローラ３１の両端の回転軸には、ピッチ円直径が粘着ローラ３１の外径と一致するプーリー６２Ａ、６２Ｂが配設されている。また、搬送ローラ６１Ａ両端の回転軸には、ピッチ円直径が搬送ローラ６１Ａの外径と一致するプーリー６３Ａ、６３Ｂが配設され、搬送ローラ６１Ｂ両端の回転軸にも、ピッチ円直径が搬送ローラ６１Ｂの外径と一致するプーリー６４Ａ、６４Ｂが配設されている。

粘着ローラ３１及び搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂの一端側のプーリー６２Ａ、６３Ａ、６４Ａには丸ベルト６５Ａが巻き掛けられ、他端側のプーリー６２Ｂ、６３Ｂ、６４Ｂにも同様に丸ベルト６５Ｂが巻き掛けられている。この構成によって、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが粘着ローラ３１の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが粘着ローラ３１と同じ周速度で、同一方向に回転駆動されるようになっている。

次に粘着ローラユニット３０、３０Ａの駆動機構について説明する。図８に示すように、側板部３３Ａに挿着された粘着ローラ３１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車３６Ｃが装着され、ローラ駆動用歯車３６Ｃには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８Ａ（図１０参照）が歯合される構成になっている。また、図８、９に示すように、側板部３４Ａに挿着された粘着ローラ３１の回転軸の端部には、絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車３６Ｄが装着され、ローラ駆動用歯車３６Ｄには、図示しない駆動用モータの回転力が伝達される歯車４９Ａ（図９参照）が歯合される機構になっている。なお、上側の粘着ローラユニット３０の粘着ローラ３１は、下側の粘着ローラ３１の回転駆動により連れ回り回転するようになっている。

上記した上下のクリーニングユニット１０、１０Ａ及び粘着ローラユニット３０、３０Ａは、図１０に示したフレーム体４０Ａに設置される構成となっている。フレーム体４０Ａには、上下のクリーニングユニット１０、１０Ａと粘着ローラユニット３０、３０Ａとを互いに入れ替えて設置可能な左右２対のガイド部４１Ｃ、４１Ｄ、４２Ｃ、４２Ｄが形成されている。ガイド部４１Ｃ、４１Ｄに、クリーニングユニット１０、１０Ａの側板部１６、１６Ａ、１７、１７Ａをそれぞれ係合させ、ガイド部４２Ｃ、４２Ｄに、粘着ローラユニット３０、３０Ａの側板部３３、３３Ａ、３４、３４Ａをそれぞれ係合させて、上下方向にスライド可能な態様で設置されるようになっている。

一方側のガイド部４１Ｃとガイド部４２Ａは、台座部４３Ｃと、台座部４３Ｃの一端側上面に配設された底板４４Ｃと、底板４４Ｃの一辺に立設された背板４５Ｃと、背板４５Ｃの上部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ａと、背板４５Ｃの中間部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｅと、底板４４Ｃの上面３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｂと、上部の各側枠板４６ａ、中間部の各側枠板４６ｅ、及び下部の各側枠板４６ｂの端面に取り付けられた細板状のガイドレール部材４７Ｃとにより、一体的に構成されている。

各側枠板４６ａ、４６ｅ、４６ｂと各ガイドレール部材４７Ｃとの連結によって平面視略Ｌ字状の係合部４７ｃが形成されている。これら係合部４７ｃにクリーニングユニット１０、１０Ａの側板部１６、１６Ａの係合片１６ａと粘着ローラユニット３０、３０Ａの側板部３３、３３Ａの係合片３３ａとが係合されるようになっている。

また、他方側のガイド部４１Ｄとガイド部４２Ｄは、台座部４３Ｃと、台座部４３Ｃの他端側上面に配設された底板４４Ｄと、底板４４Ｄの一辺に立設された背板４５Ｄと、背板４５Ｄ上部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｃと、背板４５Ｄの中間部内面の３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｆと、底板４４Ｄの上面３箇所（両側部及び中央部）に立設された側枠板４６ｄと、上部の各側枠板４６ｃ、中間部の各側枠板４６ｆ、及び下部の各側枠板４６ｄの端面に取り付けられた細板状のガイドレール部材４７Ｄとにより一体的に構成されている。

各側枠板４６ｃ、４６ｆ、４６ｄと各ガイドレール部材４７Ｄとの連結によって平面視略Ｌ字状の係合部４７ｄが形成されている。これら係合部４７ｄにクリーニングユニット１０、１０Ａの側板部１７、１７Ａの係合片１７ａと粘着ローラユニット３０、３０Ａの側板部３４、３４Ａの係合片３４ａとが係合されるようになっている。

フレーム体４０Ａは、一方側のガイド部４１Ｃ及びガイド部４２Ｃと、他方側のガイド部４１Ｄ及びガイド部４２Ｄとが、台座部４３Ｃにより連結された構成となっている。また、台座部４３Ｃには、上面が開口された矩形箱形状をした塵埃受け部４３ｄが配設されている。

上記した実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａによれば、被クリーニング体Ｓの上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、かつ上記した実施の形態（１）に係るクリーニング装置１で得られる効果と同様の効果を得ることができる極めて効率の高いクリーニング装置を提供することができる。

また、クリーニング装置１Ａによれば、被クリーニング体下面Ｓ２側に配置されたクリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の前後に搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂが近設され、また、被クリーニング体下面Ｓ２側に配置された粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の前後に搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが近設されている。

したがって、クリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１の前後に生じる空間がこれら搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂ、６１Ａ、６１Ｂによって狭められる。そのため、クリーニングローラ１１や粘着ローラ３１の前後に生じていた空間に被クリーニング体Ｓが落ち込んで、被クリーニング体Ｓにたわみや皺が生じることを防止することができ、被クリーニング体Ｓの搬入及び搬出を精度良く行うことができ、搬送性を向上させることができる。

また、クリーニング装置１Ａは、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の回転軸の一端側に装着されたローラ駆動用歯車２１Ｃと、粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の回転軸の一端側に装着されたローラ駆動用歯車３６Ｃとが、同一の駆動源となるローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８Ａ（図１０参照）に歯合された駆動機構を備え、また、クリーニングローラ１１の回転軸の他端側に装着されたローラ駆動用歯車２１Ｄと、粘着ローラ３１の回転軸の他端側に装着されたローラ駆動用歯車３６Ｄとが、同一の駆動源となるローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車４９Ａ（図９参照）に歯合された駆動機構を備えている。

したがって、当該駆動機構によって、クリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１が同一の動力源から動力を得て駆動され、かつクリーニングローラ１１及び粘着ローラ３１の周速を同期させているので、クリーニングローラ１１又は粘着ローラ３１の周速を変更しても、これらローラの周速を常に同期させることができ、被クリーニング体Ｓがフィルムやシートなどの薄物であったとしても、搬送中にたわみや皺を発生させることなく塵埃を除去することができる。

また、クリーニング装置１Ａは、被クリーニング体下面Ｓ２側に配置されたクリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の回転軸の両端部に装着されたローラ駆動用歯車２１Ｃ、２１Ｄと、被クリーニング体上面Ｓ１側に配置されたクリーニングユニット１０のクリーニングローラ１１の回転軸の両端部に装着されたローラ駆動用歯車２１Ａ、２１Ｂとがそれぞれ歯合され、また、ローラ駆動用歯車２１Ｃ、２１Ｄには、ローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車４８Ａ、４９Ａ（図９、１０参照）が歯合されているので、被クリーニング体下面Ｓ２側に配置されたクリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１と、被クリーニング体上面Ｓ１側に配置されたクリーニングユニット１０のクリーニングローラ１１とが同一の動力源から動力を得て駆動されることとなり、コンパクトな装置構造とすることができる。

なお、上記した実施の形態に係るクリーニング装置１Ａでは、クリーニングローラ１１と搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂとの周速度を同期させる手段として、プーリー５２Ａ、５２Ｂ、プーリー５３Ａ、５３Ｂ、プーリー５４Ａ、５４Ｂを使用し、粘着ローラ３１と搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂとの周速度を同期させる手段として、プーリー６２Ａ、６２Ｂ、プーリー６３Ａ、６３Ｂ、プーリー６４Ａ、６４Ｂを使用したが、別の実施の形態に係るクリーニング装置では、上記したこれらプーリーに代えて、ギア（歯車）やローラを適用することができる。

また、上記実施の形態（２）では、前記駆動機構によって、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１及び粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の周速を同期させている場合について説明したが、別の実施の形態では、前記駆動機構を構成する各歯車のモジュール、歯数、ギア比等を調整することによって、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の周速より粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の周速が大きくなるように駆動させる構成にすることもできる。

また、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１とは、外径が略同一であるが、さらに別の実施の形態では、クリーニングローラ１１の内層部の肉厚を大きくして、クリーニングユニット１０のクリーニングローラ１１が接地しているときのローラのたわみ量を増やす一方、粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の粘着層には歪みが小さい樹脂を用いて真円安定性を高める（各ローラの弾性変形量を調整する）ことにより、クリーニング時における粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の見かけ上の外周が、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の見かけ上の外周よりも大きくなるように外周差を生じる設計を行う。この外周差によって所定の周速差を生じるように、すなわち、粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１の周速がクリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１の周速より大きくなるように調整する構成が採用され得る。

周速差は、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１と粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１との軸間距離、粘着ローラ３１の外径、被クリーニング体Ｓの長さ等を考慮して、クリーニングユニット１０Ａのクリーニングローラ１１と粘着ローラユニット３０Ａの粘着ローラ３１との間で生じ得る被クリーニング体Ｓの最大たわみ量が、被クリーニング体Ｓの搬送終了時（被クリーニング体Ｓの後端部分がクリーニングローラ１１を通過する時）に解消できるように調整することが好ましい。

図１１は、実施の形態（３）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。図１２は、実施の形態（３）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。なお、図１１については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略している。また、図６〜図１０に示したクリーニング装置１Ａと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａでは、上下１組のクリーニングユニット１０、１０Ａと、上下１組の粘着ローラユニット３０、３０Ａとが配設された上下２連形式となっていたが、実施の形態（３）に係るクリーニング装置１Ｂでは、上下２組のクリーニングユニット１０、１０Ａ及びクリーニングユニット１０Ｂ、１０Ｃと、上下１組の粘着ローラユニット３０、３０Ａとが配設された上下３連形式となっている。なお、図示しないフレーム体には、上下３連形式に合わせて、３連式のガイド部を備えたフレーム体が採用されている。

また、クリーニング装置１Ｂを構成する上下１組のクリーニングユニット１０、１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂ、１０Ｃとでは、クリーニングユニット１０、１０Ａのクリーニングローラ１１の外周面に帯電される電荷の符号と、クリーニングユニット１０Ｂ、１０Ｃクリーニングローラ１１Ａの外周面に帯電される電荷とが逆となるように帯電制御が行われるようになっている。

実施の形態（３）に係るクリーニング装置１Ｂによれば、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１及び下面Ｓ２に付着するプラス帯電性の塵埃をマイナスに帯電させた一方の上下のクリーニングローラ１１で除去する一方、マイナス帯電性の塵埃をプラスに帯電させた他方の上下のクリーニングローラ１１Ａで除去することができ、クリーニングユニットを増設して除去できる塵埃の範囲を広げることにより、粘着ローラユニット３０、３０Ａによる塵埃の回収量を一層減らすことにより連続使用時間をさらに延ばすことができる。

図１３は、実施の形態（４）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。図１４は、実施の形態（４）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した右側面図である。なお、図１３については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略している。また、図６〜図１０に示したクリーニング装置１Ａと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａでは、上下１組のクリーニングユニット１０、１０Ａと、上下１組の粘着ローラユニット３０、３０Ａとが配設された上下２連形式となっていたが、実施の形態（４）に係るクリーニング装置１Ｃでは、上下１組のクリーニングユニット１０、１０Ａと、上下２組の粘着ローラユニット３０、３０Ａ及び粘着ローラユニット３０Ｂ、３０Ｃとが配設された上下３連形式となっている。粘着ローラユニット３０、３０Ａの粘着ローラ３１の粘着力と、粘着ローラユニット３０Ｂ、３０Ｃの粘着ローラ３１Ａの粘着力とは、同じ粘着力である必要はなく、一方を他方よりも強い粘着力のものにすることができる。なお、図示しないフレーム体には、上下３連形式に合わせて、３連式のガイド部を備えたフレーム体が採用されている。

実施の形態（４）に係るクリーニング装置１Ｃによれば、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１及び下面Ｓ２に付着する帯電性の塵埃をクリーニングユニット１０、１０Ａで除去し、その後さらに、上下２組の粘着ローラユニット３０、３０Ａ及び粘着ローラユニット３０Ｂ、３０Ｃによって、被クリーニング体Ｓの上下面に残った塵埃を粘着力で物理的に剥ぎ取り除去する操作を２回連続して行うことができ、粘着ローラユニットの増設によって仕上げ精度をさらに向上させることができる。

図１５は、実施の形態（５）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。図１６は、実施の形態（５）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した左側面図である。図１７は、実施の形態（５）に係るクリーニング装置の粘着ローラユニットの一部切欠背面図である。なお、図１５については、図を見易いものとするため断面部分のハッチングを省略している。また、図１〜図４に示したクリーニング装置１と同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、ここではその説明を省略する。

実施の形態（１）に係るクリーニング装置１では、粘着ローラユニット３０が１本の粘着ローラ３１と１本の転写ローラ３２とを含んで構成されているが、実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄでは、粘着ローラユニット３０Ｄが、並列に配置された２本の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと、１本の転写ローラ３２Ｂとを含んで構成されている点が大きく相違している。被クリーニング体Ｓを図中のα方向に搬送しながら、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１のクリーニングを行う場合の各ローラの回転方向及び各歯車の回転方向を図中に矢印で示している。

クリーニングユニット１０Ｄは、クリーニングローラ１１と、ブラシローラ１２と、金属ローラ１３と、ブレード１４と、塵埃受け部１５Ａ、１５Ｂとを備え、一体構造としてユニット化され、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に付着している塵埃をクリーニングローラ１１に付与された静電気力を利用して取り除くものである。

クリーニングユニット１０Ｄは、実施の形態（１）で示したクリーニングユニット１０と同様のクリーニング機能を備えており、クリーニングユニット１０と同様に、クリーニングローラ１１、ブラシローラ１２、及び金属ローラ１３にそれぞれ所定の電荷を与える電荷付与機構が装備されている。また、塵埃受け部１５Ａ、１５Ｂは、ブラシローラ１２や金属ローラ１３から掻き落とされた塵埃を受ける上段受け部１５ａと、クリーニングローラ１１の下部近傍位置に設けられ、クリーニングローラ１１から落下した塵埃を受ける下段受け部１５ｂとを有する２段構成となっている。

クリーニングユニット１０Ｄの駆動機構は、図１、２、４に示したクリーニングユニット１０の駆動機構と略同様に構成されているので、同一機能を有する構成部品に同一符号を付し、ここではその説明を省略する。なお、クリーニングユニット１０Ｄでは、左側面側（側板部１６Ｂ側）にローラ駆動用歯車２１Ｂ、ブラシローラ用歯車２４、金属ローラ用歯車２３Ｂが配設され、図示しない右側面側の側板部にローラ駆動用歯車２１Ａ、アイドル歯車２２、金属ローラ用歯車２３Ａ（図２参照）が配設されている。

図示しない駆動モータからの駆動力が、左側面側（側板部１６Ｂ側）の歯車４８Ｂを介してローラ駆動用歯車２１Ｂに伝達されるとともに、図示しない右側面側の歯車（モータ駆動力伝達歯車）を介して、図示しない右側面側のローラ駆動用歯車２１Ａ、アイドル歯車２２、金属ローラ用歯車２３Ａ（図２参照）に伝達されるようになっている。

粘着ローラユニット３０Ｄは、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１に接触させる２本の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの表面にそれぞれ接触させて回転させながら粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラ３２Ｂとを備え、一体構造としてユニット化されている。

転写ローラ３２Ｂよりも曲率半径の小さな粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃは、図１７に示すように、所定間隔を設けて左右の側板部３３Ｂ、３４Ｂにそれぞれ回転可能に軸支され、側板部３３Ｂ、３４Ｂは上部連結板３５Ａで連結されている。

転写ローラ３２Ｂは、側板部３３Ｂ、３４Ｂの内側に配設された取付部材３７に回転可能に軸支され、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに対して連れ回り回転するように粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに接触させた状態で、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃ上に配設されている。また、上部連結板３５Ａと取付部材３７との間には圧縮バネ３８が介装されており、圧縮バネ３８の弾性力によって転写ローラ３２Ｂが粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃを適度に押圧するように構成されている。

また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと転写ローラ３２Ｂとには外径差が設けられ、転写ローラ３２Ｂの外径が粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの外径よりも大きくなるように構成されている。転写ローラ３２Ｂと粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとを同じ外径にした場合、同一点での接触が続くこととなり、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃから転写ローラ３２Ｂへの塵埃の転写が十分に行えない虞がある。そのため、同一点での接触頻度を減らすとともに、転写面積を増やすために、転写ローラ３２Ｂの外径が粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの外径よりも大きい構成になっている。

なお、同一点での接触頻度を減らすために、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと転写ローラ３２Ｂとの外径の比が整数比とならないように、外径サイズを設定することが好ましい。また、対象とする被クリーニング体Ｓの長さ以上の走行で初めて同一点で接触するように設計することが好ましい。例えば、外径が２０．２ｍｍの粘着ローラ、外径が３９ｍｍの転写ローラを使用した場合、各ローラの円周の最小公倍数の関係から理論上、約１２．４ｍの走行で初めて同一点で接触することとなり、同一点での接触頻度を大幅に減らすことが可能となる。

粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの軸間距離は、粘着ローラユニット３０Ｄの幅に基づいて最大限に離すことができる距離（幅）に設定されている。この設定により、転写ローラ３２Ｂの重心位置が粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃ側に近づくため、転写ローラ３２Ｂ及び粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの安定した回転が可能となる。

また、転写ローラ３２Ｂの粘着力が、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力よりも大きくなるように構成されている。例えば、転写ローラ３２Ｂには、ローラタック力評価方法による粘着力が０．８ｍＮ／ｍｍの粘着特性を有するもの、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃには、ローラタック力評価方法による粘着力が０．０４ｍＮ／ｍｍの粘着特性を有するものが好適に採用され得る。

上記ローラタック力評価方法による粘着力は、試験装置及び器具として、ＰＩＣＭＡ ＴＡＣＫ ＴＥＳＴＥＲ II（東洋精機製）、スライドガラス１２０２（水縁磨）、（アズワン製）を使用し、試験条件は、下降速度：３０ｃｍ／ｍｉｎ、上昇速度：１００ｃｍ／ｍｉｎに設定し、相手材はスライドガラス、保持時間は１０ｓｅｃ、荷重は５００ｇの条件で測定した結果である。

測定及び評価の手順は、（１）評価対象のローラおよび相手材のスライドガラスをエタノールで洗浄し、表面の異物や油分を除去する。（２）相手材となるスライドガラスをセットした治具をタックテスター本体に取り付ける。（３）ローラ表面が測定の頂点となるようにローラを配置する。（４）タックメーターをゼロ調整する。（５）装置のスタートボタンを押し、測定を開始する。（６）測定値をｍＮに換算後、スライドガラスの幅の除算し、ｍＮ／ｍｍとした。

なお、転写ローラ３２Ｂ、及び粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃは、上記した粘着力を有するものに限定されるものではなく、転写ローラ３２Ｂの粘着力が、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力よりも大きくなるように構成されていればよく、転写ローラ３２Ｂ及び粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力の大きさや、転写ローラ３２Ｂと粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとの粘着力の差は、被クリーニング体Ｓの材質や厚みなどの特性や付着する塵埃の種類などを考慮して適宜調整することが可能となっている。

また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃには、同じ粘着力のものを使用する必要はなく、塵埃の種類や被クリーニング体Ｓの種類等に応じて一方を他方よりも強い粘着力のものにするなどの設定が可能である。

次に粘着ローラユニット３０Ｄの駆動機構について説明する。図１６、図１７に示すように、側板部３３Ｂの外側には、回転軸３９Ａ、３９Ｂが軸支され、下側の一方の回転軸３９Ａに内側歯車３６Ｅと外側歯車３６Ｆとが装着され、上側の他方の回転軸３９Ｂに内側歯車３６Ｇと外側歯車３６Ｈが装着され、粘着ローラ３１Ｃの回転軸に粘着ローラ用歯車３６Ｉが装着されている。

駆動用モータ（図示せず）の回転力が伝達される歯車４８Ｂが一方の回転軸３９Ａの内側歯車３６Ｅに歯合され、回転軸３９Ａの外側歯車３６Ｆが他方の回転軸３９Ｂの外側歯車３６Ｈに歯合され、回転軸３９Ｂの内側歯車３６Ｇが粘着ローラ用歯車３６Ｉに歯合されている。この連結形態により、図示しない駆動用モータの駆動力が、歯車４８Ｂ、内側歯車３６Ｅ、外側歯車３６Ｆ、外側歯車３６Ｈ、内側歯車３６Ｇ、及び粘着ローラ用歯車３６Ｉを介して粘着ローラ３１Ｃに伝達され、粘着ローラ３１Ｃが回転駆動される。

粘着ローラ３１Ｃの回転に伴って、転写ローラ３２Ｂが連れ回り方向に回転し、この転写ローラ３２Ｂの回転に伴って、粘着ローラ３１Ｂが連れ回り方向に回転するようになっている。また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの周速がクリーニングローラ１１の周速より大きくなるように、前記駆動機構を構成する歯車３６Ｅ〜３６Ｉのモジュール、歯数、及びギア比等が調整されている。

粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとクリーニングローラ１１と周速差は、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとの軸間距離、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの外径、被クリーニング体Ｓの長さ等を考慮して、クリーニングローラ１１と粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとの間で生じ得る被クリーニング体Ｓの最大たわみ（反りも含む）量が、被クリーニング体Ｓの搬送終了時（被クリーニング体Ｓの後端部分がクリーニングローラ１１を通過する時）に解消できるように調整されている。

また、クリーニングユニット１０Ｄと、粘着ローラユニット３０Ｄとを装着するフレーム体（図示せず）には、２連形式に合わせて、図５に示したものと略同様の２連式のガイド部を備えたフレーム体が採用される。

実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄによれば、実施の形態（１）に係るクリーニング装置１と同様の効果を得ることができる他、粘着ローラユニット３０Ｄ内に、曲率半径の小さな２本の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃが並列配設された構成となっているので、ユニット幅を変更（大きく）することなく、被クリーニング体Ｓに接触させる粘着ローラの本数を２本に増やすことができ、コンパクトな構造で塵埃を除去する精度を向上させることができる。また、曲率半径が小さい粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃが採用されているので、被クリーニング体Ｓがフィルムやシートなどの薄物である場合であっても、このような被クリーニング体Ｓが、粘着力によって粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに巻き取られる現象を防止することができる。

また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの上に載置された転写ローラ３２Ｂによって、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの水平レベルが精度良く維持されるため、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと被クリーニング体Ｓとの点接触を防いで、線での接触に優れることとなり、圧力分布を生じさせないようにして粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃによる塵埃の除去精度を高めることができる。

また、転写ローラ３２Ｂと粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとに外径差を設けているので、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと転写ローラ３２Ｂとが同一点で再接触する頻度を少なくすることができ、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの汚染された箇所（塵埃の付着箇所）に対して転写ローラ３２Ｂの汚染されていない箇所が接触する確率を高めることができ、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃから転写ローラ３２Ｂへの塵埃の転写性能を向上させることができる。

また、転写ローラ３２Ｂの粘着力が、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力よりも大きいので、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに付着している塵埃を転写ローラ３２Ｂで確実に捕捉することができ、転写ローラ３２Ｂによる塵埃の転写性能を向上させることができ、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃによる塵埃の除去性能を長期間維持することができる。

また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの周速が、クリーニングローラ１１の周速より大きくなるように構成されているので、被クリーニング体Ｓの先端部分にたわみや反りが生じた場合であっても搬送中に前記たるみ等を除々に解消することができる。また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの周速が所定の周速以下、すなわち、被クリーニング体Ｓに過度な張力が加わらない周速以下となっているので、被クリーニング体Ｓの伸びや裂けといった変形を防止することができ、被クリーニング体Ｓに損傷を与えることのない良好なクリーニングを行うことができる。

図１８は、実施の形態（６）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。図１９は、実施の形態（６）に係るクリーニング装置を構成する粘着ローラユニットの底面図である。なお、図１８については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略し、図１５に示したクリーニング装置１Ｄと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

実施の形態（６）に係るクリーニング装置１Ｅが、実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄと相違する点は、粘着ローラユニット３０Ｅの構造にある。実施の形態（６）に係るクリーニング装置１Ｅでは、粘着ローラユニット３０Ｅの粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅの前後に補助ベルト軸７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃが設けられ、これら補助ベルト軸７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃと粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅとに、補助ベルト７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄが、それぞれ軸方向に所定間隔毎に巻き掛けられている。なお、粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅには、軸方向に所定間隔を設けて補助ベルト巻き掛け部３１ｄ、３１ｅがそれぞれ互い違いに形成されている。

上記実施の形態（６）に係るクリーニング装置１Ｅによれば、上記実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄと略同様の効果が得られる他、粘着ローラユニット３０Ｅを構成する粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅと補助ベルト軸７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃとにそれぞれ補助ベルト７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄが一定の狭い間隔で互い違いに巻き掛けられているので、被クリーニング体Ｓが粘着ローラユニット３０Ｅを通過するときに、被クリーニング体Ｓの反りや粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅへの巻き込み等を確実に防止することができ、被クリーニング体Ｓが特に薄物である場合の搬送性を向上させることができる。

図２０は、実施の形態（７）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。図２１は、実施の形態（７）に係るクリーニング装置を構成する粘着ローラユニットの背面図である。図２２は、実施の形態（７）に係るクリーニング装置の駆動機構を示した左側面図である。なお、図２０については、図を見易いものとするため断面部分のハッチングを省略している。また、図６〜図１０、図１５に示したクリーニング装置１Ａ、１Ｄと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、ここではその説明を省略する。

実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆは、クリーニングユニット１０Ｅと粘着ローラユニット３０Ｆとが上側に配設され、その下側にクリーニングユニット１０Ｆと粘着ローラユニット３０Ｇとが配設されており、これら上下のユニットの間に被クリーニング体Ｓを通過させることで、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１と下面Ｓ２とを同時にクリーニング可能な構成となっている。被クリーニング体Ｓを図中のα方向に搬送しながら、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１及び下面Ｓ２のクリーニングを行う場合の各ローラの回転方向及び各歯車の回転方向を図中に矢印で示している。

上側に配置されるクリーニングユニット１０Ｅ及び粘着ローラユニット３０Ｆは、後述する駆動機構を除いて、実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄのクリーニングユニット１０Ｄ及び粘着ローラユニット３０Ｄと略同様な構成となっている。

下側のクリーニングユニット１０Ｆのクリーニングローラ１１の右側面側の回転軸には、図７に示したローラ駆動用歯車２１Ｃ（図示せず）が装着され、一方、上側のクリーニングユニット１０Ｅのクリーニングローラ１１の右側面側の回転軸には、図１、２に示したローラ駆動用歯車２１Ａ、アイドル歯車２２（図示せず）が装着されている。

右側面側では、ローラ駆動用歯車２１Ｃとローラ駆動用歯車２１Ａとが歯合され、上側のクリーニングユニット１０Ｅのクリーニングローラ１１は、下側のクリーニングユニット１０Ｆのクリーニングローラ１１の回転に伴って連れ回り方向に回転駆動されるように構成されている。

また、上側のクリーニングユニット１０Ｅの右側面側では、アイドル歯車２２が金属ローラ用歯車２３Ａ（図示せず）と歯合され、クリーニングローラ１１の連れ回りにより金属ローラ１３も回転するようになっている。

また、図２１に示すように、上側の粘着ローラユニット３０Ｆの側板部３４Ｂに挿着された粘着ローラ３１Ｃの回転軸には、歯車３６Ｋが装着されている。歯車３６Ｋは、下側の粘着ローラユニット３０Ｇの側板部３４Ｃに挿着された粘着ローラ３１Ｃの回転軸に装着された歯車３６Ｊと歯合されている。下側の粘着ローラユニット３０Ｇの粘着ローラ３１Ｃの回転に伴って、上側の粘着ローラユニット３０Ｆの粘着ローラ３１Ｃが連れ回り方向に回転駆動するように構成されている。そして、上側の粘着ローラユニット３０Ｆの粘着ローラ３１Ｃの回転に伴って、転写ローラ３２Ｂが連れ回り方向に回転し、この転写ローラ３２Ｂの回転に伴って、粘着ローラ３１Ｂが連れ回り方向に回転するようになっている。

クリーニングユニット１０Ｅの下側に配置されたクリーニングユニット１０Ｆは、実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａのクリーニングユニット１０Ａと略同様の構成部品を含んで構成されており、図２０に示すように、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させるクリーニングローラ１１と、クリーニングローラ１１の前後に近設された搬送ローラ５１Ａ、５１Ｂと、クリーニングローラ１１に接触してクリーニングローラ１１表面の塵埃を除去するブラシローラ１２と、ブラシローラ１２に接触しながら回転してブラシローラ１２から塵埃を受取る金属ローラ１３と、金属ローラ１３に付着した塵埃を除去するブレード１４とを含んで構成されている。

また、図２２に示した下側のクリーニングユニット１０Ｆの駆動機構は、図９に示したクリーニングユニット１０Ａの駆動機構と略同様に構成されており、同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、ここではその説明を省略する。

粘着ローラユニット３０Ｆの下側に配置された粘着ローラユニット３０Ｇは、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃを回転させながら、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させ、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に付着している塵埃を、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力を利用して取り除くものである。

粘着ローラユニット３０Ｇは、図２０に示すように、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ２に接触させる２本の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの表面に接触させて回転させながら、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラ３２Ｂとを含んで構成され、一体構造としてユニット化されている。

転写ローラ３２Ｂよりも曲率半径の小さな粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃは、所定間隔を設けて左右の側板部３３Ｃ、３４Ｃにそれぞれ回転可能に軸支され、側板部３３Ｃ、３４Ｃは下部連結板３５Ｂで連結されている。

転写ローラ３２Ｂは、側板部３３Ｃ、３４Ｃの内側に配設された取付部材３７Ａに回転可能に軸支され、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに対して連れ回り回転するように粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに接触させた状態で配設されている。また、下部連結板３５Ｂと取付部材３７Ａとの間に介装された圧縮バネ３８の弾性力によって転写ローラ３２Ｂが粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃを適度に押圧し、互いを密着させるようになっている。

また、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと転写ローラ３２Ｂとには外径差が設けられ、転写ローラ３２Ｂの外径が粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの外径よりも大きくなるように構成されている。なお、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃと転写ローラ３２Ｂとの外径の比は、同一点での接触頻度を減らすため、整数比とならないように外径サイズを設定することが好ましい。例えば、外径が２０．２ｍｍの粘着ローラ、外径が３９ｍｍの転写ローラを使用することができる。粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの軸間距離は、粘着ローラユニット３０Ｄの幅に基づいて最大限に離すことができる距離（幅）に設定されている。

また、転写ローラ３２Ｂの粘着力が、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力よりも大きくなるように構成されている。例えば、転写ローラ３２Ｂには、ローラタック力評価方法による粘着力が０．８ｍＮ／ｍｍの粘着特性を有するもの、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃには、ローラタック力評価方法による粘着力が０．０４ｍＮ／ｍｍの粘着特性を有するものが好適に採用され得る。なお、粘着ローラユニット３０Ｆ、３０Ｇの粘着ローラ３１Ｂの粘着力と、粘着ローラ３１Ｃの粘着力とは、同じ粘着力である必要はなく、塵埃の種類や被クリーニング体Ｓの種類等に応じて一方を他方よりも強い粘着力のものにするなどの設定を行うことができる。

次に粘着ローラユニット３０Ｇの駆動機構について説明する。図２１、図２２に示すように、側板部３３Ｃの外側には、回転軸３９Ｃ、３９Ｄが軸支され、上側の一方の回転軸３９Ｃには、内側歯車３６Ｅと外側歯車３６Ｆが装着され、下側の他方の回転軸３９Ｄには、内側歯車３６Ｇと外側歯車３６Ｈが装着され、粘着ローラ３１Ｃの回転軸には、粘着ローラ用歯車３６Ｉが装着されている。

駆動用モータ（図示せず）の回転力が伝達される歯車４８Ｃが、一方の回転軸３９Ｃの内側歯車３６Ｅに歯合され、回転軸３９Ｃの外側歯車３６Ｆが、他方の回転軸３９Ｄの外側歯車３６Ｈに歯合され、回転軸３９Ｄの内側歯車３６Ｇが粘着ローラ用歯車３６Ｉに歯合されている。この連結形態により、駆動用モータの駆動力が、歯車４８Ｃ、内側歯車３６Ｅ、外側歯車３６Ｆ、外側歯車３６Ｈ、内側歯車３６Ｇ、及び粘着ローラ用歯車３６Ｉを介して粘着ローラ３１Ｃに伝達され、粘着ローラ３１Ｃが回転駆動される。粘着ローラ３１Ｃの回転に伴って、転写ローラ３２Ｂが連れ回り回転し、この転写ローラ３２Ｂの回転に伴って、粘着ローラ３１Ｂが連れ回り回転するようになっている。

また、粘着ローラユニット３０Ｇの粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの周速が、クリーニングユニット１０Ｆのクリーニングローラ１１の周速より大きく、且つ所定の周速以下となるように、前記駆動機構を構成する歯車３６Ｅ〜３６Ｉのモジュール、歯数、及びギア比等が調整されている。

このような周速差を設ける理由は、被クリーニング体Ｓの先端部をクリーニングローラ１１から粘着ローラ３１Ｂまで搬送する間に生じるたわみを搬送中に解消するためである。

図２３を用いてより具体的に説明する。図２３では、説明を容易にするため、外径φ１のクリーニングローラ１１と外径φ２（φ１＞φ２）の粘着ローラ３１Ｂとが、所定の軸間距離Ｌ_ABを設けて並列に配設され、被クリーニング体Ｓがクリーニングローラ１１から粘着ローラ３１Ｂに搬送される場合について説明する。

搬送対象物である被クリーニング体Ｓが、フィルムやシート等の剛性が小さい（たわみやすい）薄物である場合、被クリーニング体Ｓの先端部が、クリーニングローラ１１から粘着ローラ３１Ｂを通過する際に、最大で線ＡＣＢで示した太線の経路を通る。

搬送方向の長さ（軸間距離）Ｌ_ABに対して、線ＡＣＢの経路長はＬ_AC＋Ｌ_CBとなり（Ｌ_AC＝（Ｌ_AB ²＋φ２²）^1/2 、Ｌ_CB＝π×φ２÷２）、実際の搬送経路の長さと搬送方向の長さとには、最大で（Ｌ_AC＋Ｌ_CB）−Ｌ_ABの経路差が生じ、該経路差によって被クリーニング体Ｓ先端部にたわみが生じる。例えば、φ１＝３９ｍｍ、φ２＝２０．２ｍｍ、Ｌ_AB＝６０ｍｍとした場合、線ＡＣＢの経路長（Ｌ_AC＋Ｌ_CB）は９５ｍｍとなり、最大で９５ｍｍ−６０ｍｍ＝３５ｍｍの経路差が生じることになる。

この経路差に起因するたわみを被クリーニング体Ｓの搬送中に解消するために、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃとクリーニングローラ１１とに所定の周速差が設けられている。設定する周速差は、搬送対象の被クリーニング体Ｓの長さによって変えることができ、例えば、上記の例で、長さ１０００ｍｍの被クリーニング体Ｓを搬送する場合、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの周速がクリーニングローラ１１の周速の１．０３５倍になるように構成すれば、被クリーニング体Ｓの後端部がクリーニングローラ１１を通過するまでに、前記経路差に起因するたわみを解消することができる。

すなわち、長さＸｍｍの被クリーニング体Ｓを搬送する場合、粘着ローラ３１Ｂの周速がクリーニングローラ１１の周速の［１＋｛（Ｌ_AC＋Ｌ_CB）−Ｌ_AB｝／Ｘ］倍となるように構成することが好ましい。粘着ローラ３１Ｂの周速の上限値は、クリーニングローラ１１の周速の［１＋｛（Ｌ_AC＋Ｌ_CB）−Ｌ_AB｝／Ｘ］倍よりも大きくてもよいが、搬送中の被クリーニング体Ｓに過剰な張力がかからない値（被クリーニング体Ｓに延びや裂け等の変形・破損が生じない値）に設定される。

また、上下１組のクリーニングユニット１０Ｅ、１０Ｆと、上下１組の粘着ローラユニット３０Ｆ、３０Ｇとを装着するフレーム体（図示せず）には、上下２連形式に合わせて、図１０に示したものと略同様の２連式のガイド部を備えたフレーム体が採用される。

実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆによれば、被クリーニング体Ｓの上下両表面に存在する塵埃を一度の操作で同時に除去することができ、かつ上記した実施の形態（２）に係るクリーニング装置１Ａ及び実施の形態（５）に係るクリーニング装置１Ｄで得られる効果と同様の効果を得ることができる極めて効率の高いクリーニング装置を提供することができる。

図２４は、実施の形態（８）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。なお、図２４については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略し、図１８、図２０に示したクリーニング装置１Ｅ、１Ｆと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

実施の形態（８）に係るクリーニング装置１Ｇが、実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆと相違する構成は、上下の粘着ローラユニット３０Ｈ、３０Ｉの構造にある。実施の形態（８）に係るクリーニング装置１Ｇでは、上下の粘着ローラユニット３０Ｈ、３０Ｉの粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅの前後に補助ベルト軸７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃが設けられ、補助ベルト７２ａが補助ベルト軸７１Ａと粘着ローラ３１Ｄとに所定間隔毎に巻き掛けられ、補助ベルト７２ｂが、補助ベルト軸７１Ｂと粘着ローラ３１Ｄとに所定間隔毎に巻き掛けられ、補助ベルト７２ｃが、補助ベルト軸７１Ｂと粘着ローラ３１Ｅとに所定間隔毎に巻き掛けられ、補助ベルト７２ｄが、補助ベルト軸７１Ｃと粘着ローラ３１Ｅとに所定間隔毎に巻き掛けられている。

上下のクリーニングユニット１０Ｅ、１０Ｆと上下の粘着ローラユニット３０Ｈ、３０Ｉの駆動機構は、図２２に示したクリーニング装置１Ｆの駆動機構と同様に構成されているのでここではその説明を省略する。

上記実施の形態（８）に係るクリーニング装置１Ｇによれば、上記実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆと略同様の効果が得られる他、上下の粘着ローラユニット３０Ｈ、３０Ｉを構成する粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅと補助ベルト軸７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃとにそれぞれ補助ベルト７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄが一定の狭い間隔で互い違いに巻き掛けられているので、被クリーニング体Ｓが粘着ローラユニット３０Ｈ、３０Ｉ間を通過するときに、被クリーニング体Ｓの反りや下側の粘着ローラ３１Ｄ、３１Ｅへの巻き込み等を確実に防止することができ、被クリーニング体Ｓが特に薄物である場合の搬送性を向上させることができる。

図２５は、実施の形態（９）に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した断面図である。なお、図２５については、図を見易いものとするため、断面部分のハッチングを省略している。また、図２０に示したクリーニング装置１Ｆと同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。

被クリーニング体Ｓを図中のα方向に搬送しながら、被クリーニング体Ｓの上面Ｓ１及び下面Ｓ２のクリーニングを行う場合の各ローラの回転方向は図中に矢印で示したとおりとなっている。

実施の形態（９）に係るクリーニング装置１Ｈが実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆと相違する主な点は、粘着ローラユニット３０Ｊ、３０Ｋの構成にある。実施の形態（９）に係るクリーニング装置１Ｈでは、下側の粘着ローラユニット３０Ｋの粘着ローラ３１Ｂの前に搬送ローラ６１Ａが近設され、粘着ローラ３１Ｃの後に搬送ローラ６１Ｂが近設されている。

下側の粘着ローラ３１Ｂの両端の回転軸には、ピッチ円直径が粘着ローラ３１Ｂの外径と一致する図示しないプーリーが配設され、搬送ローラ６１Ａ両端の回転軸には、ピッチ円直径が搬送ローラ６１Ａの外径と一致する図示しないプーリーが配設され、搬送ローラ６１Ｂ両端の回転軸にも、ピッチ円直径が搬送ローラ６１Ｂの外径と一致する図示しないプーリーが配設されている。そして、下側の粘着ローラ３１Ｂ及び搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂの一端側のプーリーには丸ベルト６５Ａが巻き掛けられ、他端側のプーリーにも同様に図示しない丸ベルトが巻き掛けられている。この構成によって、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが粘着ローラ３１Ｂの回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが粘着ローラ３１Ｂと同じ周速度で、同一方向に回転駆動されるようになっている。

また、上側の粘着ローラユニット３０Ｊの粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃは、下側の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに接して（又は被クリーニング体Ｓを挟んだ状態で）連れ回り回転し、上側の転写ローラ３２Ｂは、上側の粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃに接して連れ回り回転するようになっている。

なお、粘着ローラユニット３０Ｊ、３０Ｋの粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの粘着力は、同じ粘着力でなくてもよく、塵埃の種類や被クリーニング体Ｓの種類等に応じて一方を他方よりも強い粘着力のものにするなどの設定を行うことができる。

上下１組のクリーニングユニット１０Ｅ、１０Ｆの駆動機構は、図２２に示した上下１組のクリーニングユニット１０Ｅ、１０Ｆの駆動機構と略同様に構成されている。また、上下１組の粘着ローラユニット３０Ｊ、３０Ｋの駆動機構には、図２２に示した上下１組の粘着ローラユニット３０Ｆ、３０Ｇの駆動機構と略同様の形態のものが採用され得るが、この形態に限定されるものではなく、例えば、次のような機構も採用され得る。

すなわち、下側の粘着ローラユニット３０Ｋを構成する粘着ローラ３１Ｂの回転軸の両端に、図示しないローラ駆動用歯車が装着され、該ローラ駆動用歯車は、図２２に示した歯車４８Ｃに相当する歯車（駆動源からの動力伝達用歯車）に歯合され、当該歯車の駆動により、下側のクリーニングローラ１１と下側の粘着ローラ３１Ｂとが同一の動力源からの動力を得て駆動する構成にすることができる。そして、下側の転写ローラ３２Ｂは、下側の粘着ローラ３１Ｂに接して連れ回り回転し、下側の粘着ローラ３１Ｃは、下側の転写ローラ３２Ｂに接して連れ回り回転する構成にすることができる。

また、上下１組のクリーニングユニット１０Ｅ、１０Ｆと、上下１組の粘着ローラユニット３０Ｊ、３０Ｋとを装着するフレーム体（図示せず）には、上下２連形式に合わせて、図１０に示したものと略同様の２連式のガイド部を備えたフレーム体が採用される。

実施の形態（９）に係るクリーニング装置１Ｈによれば、上記実施の形態（７）に係るクリーニング装置１Ｆと略同様の効果を得ることができ、さらに、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃの前後に搬送ローラ６１Ａ、６１Ｂが配設されているので、搬送ローラ６１Ａと粘着ローラ３１Ｂとのローラ間ピッチ、粘着ローラ３１Ｂ、３１Ｃのローラ間ピッチ、及び粘着ローラ３１Ｃと搬送ローラ６２Ｂとのローラ間ピッチを狭くすることができる。そのため、被クリーニング体Ｓが薄物のフィルムやシートであったとしても、このような被クリーニング体Ｓがこれらローラの間に落ち込んで、被クリーニング体Ｓに皺などの破損が生じたりすることを防止することができ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ、１Ｈ クリーニング装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ クリーニングユニット
１１、１１Ａ クリーニングローラ
１２、１２Ａ ブラシローラ
１３、１３Ａ 金属ローラ
１４ ブレード
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ、３０Ｆ、３０Ｇ、３０Ｈ、３０Ｉ、３０Ｊ、３０Ｋ 粘着ローラユニット
３１、３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１Ｄ、３１Ｅ 粘着ローラ
３２、３２Ａ、３２Ｂ 転写ローラ
４０、４０Ａ フレーム体

Claims (18)

1. 所定の電荷を帯電させたクリーニングローラを回転させながら、被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニットと、
   粘着ローラを回転させながら、前記被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラユニットとを備え、
   前記クリーニングユニットが、前記被クリーニング体の搬送方向に対して前記粘着ローラユニットの手前に配置されていることを特徴とするクリーニング装置。
2. 前記粘着ローラユニットが、前記粘着ローラの表面に接触させて回転させながら、前記粘着ローラ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラを備えていることを特徴とする請求項１記載のクリーニング装置。
3. 前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けていることを特徴とする請求項２記載のクリーニング装置。
4. 前記転写ローラの粘着力が、前記粘着ローラの粘着力よりも大きいことを特徴とする請求項２又は請求項３記載のクリーニング装置。
5. 前記クリーニングローラの外層部と前記粘着ローラの粘着層とが、ポリウレタンを含む樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
6. 前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとを互いに入れ替えて設置可能な複数のガイド部が形成されたフレーム体を備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
7. 前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きく、且つ所定の周速以下となるように構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
8. 前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラを同一の動力源から得た動力で駆動させ、かつ前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速を同期させる、又は前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動させる駆動機構を備えていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
9. 請求項１〜６のいずれかの項に記載のクリーニング装置のいずれか２つの装置を用い、
   前記被クリーニング体表面に接触して塵埃を除去する前記クリーニングユニットと前記粘着ローラユニットとが、前記被クリーニング体上面側及び前記被クリーニング体下面側の上下両面側に配置されていることを特徴とするクリーニング装置。
10. 前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラの前後、及び／又は前記被クリーニング体下面側に配置された前記粘着ローラユニットの前記粘着ローラの前後に搬送ローラが近設されていることを特徴とする請求項９記載のクリーニング装置。
11. 前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラ及び前記被クリーニング体下面側に配置された前記粘着ローラユニットの前記粘着ローラを同一の動力源から得た動力で駆動させ、
    かつ前記クリーニングローラ及び前記粘着ローラの周速を同期させる、又は前記クリーニングローラの周速より前記粘着ローラの周速が大きくなるように駆動させる駆動機構を備えていることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載のクリーニング装置。
12. 前記駆動機構が、
    前記被クリーニング体下面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラと、前記被クリーニング体上面側に配置された前記クリーニングユニットの前記クリーニングローラとを前記同一の動力源から得た動力で駆動させるように構成されていることを特徴とする請求項１１記載のクリーニング装置。
13. 被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラを備え、
    所定の電荷を帯電させたクリーニングローラを回転させながら、前記被クリーニング体の表面に接触させ、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングユニットと併用されることを特徴とする粘着ローラユニット。
14. 前記粘着ローラが、前記被クリーニング体の搬送方向に対して前記クリーニングローラの後方に配設され、
    前記粘着ローラの周速が、前記クリーニングローラの周速より大きく、且つ所定の周速以下となるように構成されていることを特徴とする請求項１３記載の粘着ローラユニット。
15. 前記粘着ローラの表面に接触させて回転させながら、該粘着ローラ表面の塵埃を粘着力を利用して受け取る転写ローラを備えていることを特徴とする請求項１３又は請求項１４記載の粘着ローラユニット。
16. 前記転写ローラと前記粘着ローラとに外径差を設けていることを特徴とする請求項１５記載の粘着ローラユニット。
17. 前記転写ローラの粘着力が、前記粘着ローラの粘着力よりも大きいことを特徴とする請求項１５又は請求項１６記載の粘着ローラユニット。
18. 被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を粘着力を利用して除去する粘着ローラであって、
    前記被クリーニング体の表面に接触させて回転させながら、前記被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングローラと併用されることを特徴とする粘着ローラ。

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