TWI546132B - 潔淨裝置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 192
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 71
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 50
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 50
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- RVCKCEDKBVEEHL-UHFFFAOYSA-N 2,3,4,5,6-pentachlorobenzyl alcohol Chemical compound OCC1=C(Cl)C(Cl)=C(Cl)C(Cl)=C1Cl RVCKCEDKBVEEHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/04—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by a combination of operations
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
- B03C3/02—Plant or installations having external electricity supply
- B03C3/04—Plant or installations having external electricity supply dry type
- B03C3/10—Plant or installations having external electricity supply dry type characterised by presence of electrodes moving during separating action
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/12—Brushes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
- B08B1/54—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members using mechanical tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B6/00—Cleaning by electrostatic means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
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- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0028—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by adhesive surfaces
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0055—After-treatment, e.g. cleaning or desmearing of holes
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
- Y10S134/902—Semiconductor wafer
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Description
本發明係關於利用靜電力去除存在於被潔淨體表面之塵埃之潔淨裝置,更具體地,係關於當被潔淨體係例如,玻璃基板、印刷電路板(PCB、PCBA等)、薄膜、薄片、塑料板等表面平滑性比較高的材料時能夠適用的潔淨裝置。
已知有一種潔淨系統,係一邊使潔淨滾輪與被潔淨體的表面接觸的同時旋轉,一邊利用靜電力去除附著在被潔淨體表面之塵埃等的異物(參照專利文獻1)。
在前述潔淨系統中,由於前述異物會逐漸地蓄積在潔淨滾輪表面,所以有必要定期地進行從其表面去除異物的維護作業。因此,本發明的申請人為了不用定期地實施前述維護作業,就能夠長期穩定地持續進行通過潔淨滾輪之吸附去除塵埃的動作,已經就另外設置有與潔淨滾輪接觸的轉印滾輪和帶電控制滾輪等的潔淨裝置先提出了申請(參照專利文獻2)。
第8圖係示意性地顯示了構成習知的潔淨裝置100之主要部件的配置的側面圖。潔淨裝置100係包括潔淨滾輪111、轉印滾輪112、帶電控制滾輪113、刷滾輪114、金屬滾輪15以及潔淨刀片116構成。
潔淨滾輪111係可在表面帶有利用靜電力來吸附附著在被潔淨體S之表面S1上之塵埃的電荷者。在潔淨滾輪111之與被潔淨體S的相反側,設有一邊與潔淨滾輪111的表面接觸一邊旋轉的轉印滾輪112和一邊與前述轉印滾輪112的表面接觸一邊旋轉的帶電控制滾輪113。
轉印滾輪112係使用可在表面帶有利用靜電力來吸附附著在潔淨滾輪111之表面之塵埃的材料形成的。轉印滾輪112通過一邊與潔淨滾輪111之表面接觸一邊旋轉,根據潔淨滾輪111與轉印滾輪112的表面之特性的差異,在轉印滾輪112與潔淨滾輪111之間產生電位差。
為了能夠將藉由靜電力來吸附附著在被潔淨體S之表面S1上之塵埃的電荷施予潔淨滾輪111以及轉印滾輪112,在帶電控制滾輪113之芯金113a上,連接外部電源120。
另外,以與轉印滾輪112接觸且可旋轉之方式設置有刷滾輪114,該刷滾輪114係朝與轉印滾輪112的連動旋轉方向相反的方向旋轉,用來刮掉附著在轉印滾輪112表面之塵埃者。
金屬滾輪115以與刷滾輪114接觸的方式設置,朝前述刷滾輪114的連動旋轉方向旋轉。為了在與轉印滾輪112之間產生電位差,施加電壓,在金屬滾輪115上連接外部電源121。此外,在金屬滾輪115的附近,設置有用來刮除塵埃的潔淨刀片116。
在上述潔淨裝置100中,在潔淨滾輪111表面附著之塵埃被靜電力轉印(轉移)至轉印滾輪112,被轉印至轉印滾輪112的塵埃被刷滾輪114刮除。被該刷滾輪114刮除的塵埃被靜電
力吸附至金屬滾輪115,吸附在金屬滾輪115上之塵埃被潔淨刀片116從金屬滾輪115上刮除。
但是,在潔淨裝置100中,由於係將附著在潔淨滾輪111上的塵埃轉印至轉印滾輪112,為了不降低塵埃之從潔淨滾輪111朝轉印滾輪112的轉印效率,必須適當地選擇、設定轉印滾輪112的材質和表面特性等。如果這些條件不適當,那麼就會有塵埃之從潔淨滾輪111朝轉印滾輪112的轉印效率降低,潔淨滾輪111的潔淨度降低的危險。
另外,在潔淨裝置100中,由於設置轉印滾輪112,不僅花費部件成本,而且也需要配置的空間,所以,期望更進一步的改良來實現裝置成本的削減和構造的小型化,。
另外,上述潔淨裝置100係設想在被潔淨體S朝一個方向搬送的情形時構成的,期望實現一种不但在被潔淨體S朝一個方向搬送的情形,即使朝兩個方向搬送的情形下也能夠適當使用的潔淨裝置。
[專利文獻1]日本特開2010-99565號公報
[專利文獻2]日本特許第4886097號公報
本發明係鑑於上述課題而研創者,其目的在於提供一種能夠提高附著在潔淨滾輪表面之塵埃的除去效率,提高潔淨滾輪的潔淨度,能夠謀求裝置的成本削減以及構造的小型化,而且不僅在被潔淨體朝一個方向,即使是朝兩個方向搬送的情形下
也能適合使用的方便性高的潔淨裝置。
為了達到上述目的,本發明之潔淨裝置(1)之特徵在於:係為利用靜電力去除存在於被潔淨體表面之塵埃的潔淨裝置,係具備有:潔淨滾輪,與前述被潔淨體表面接觸;以及刷體,與前述潔淨滾輪接觸,而去除前述潔淨滾輪表面之塵埃。
根據上述潔淨裝置(1),由於前述刷體與前述潔淨滾輪接觸,因此能夠藉由前述刷體去除在前述潔淨滾輪表面上存在的塵埃,從而能夠比習知的設有轉印滾輪的裝置提高前述塵埃的去除效率,能夠提高前述潔淨滾輪表面的潔淨度。此處,被潔淨體表面是指,成為被潔淨體與外部空間的邊界的面,不但包含一個方向的面(上側),也包含另一個方向的面(下側)的情形。
此外,本發明之潔淨裝置(2)之特徵在於,在前述潔淨裝置(1)中,還具有:金屬滾輪,與前述刷體接觸而從前述刷體接受塵埃的;刀片體,去除附著在前述金屬滾輪上之塵埃;以及電荷施予構件,施予電荷於前述潔淨滾輪、前述刷體、及前述金屬滾輪。
根據上述潔淨裝置(2),藉由靜電力附著在前述潔淨滾輪表面之塵埃被前述刷體刮除,由前述刷體刮除的塵埃藉由靜電力被吸附到前述金屬滾輪,被前述金屬滾輪吸附的塵埃被前述刀體從前述金屬滾輪刮除。因此,藉由前述潔淨滾輪之塵埃的吸附除去動作不僅能夠穩定持續進行,而且係省略了習知使用的轉印滾輪的構造,從而能夠謀求裝置的成本削減以及構造的小型化。
此外,本發明之潔淨裝置(3)之特徵在於,在前述潔淨裝置(1)或者(2)中,裝備有複數個前述刷體。
根據上述潔淨裝置(2),由於裝備有複數個前述刷體,所以能夠在複數個地方使刷體相對於前述潔淨滾輪滑動接觸,能夠提高附著在前述潔淨滾輪表面的塵埃的除去效率,能夠提高前述潔淨滾輪的潔淨度。
此處,所謂裝備有複數個前述刷體之形態,不但包括裝備有複數個與前述潔淨滾輪大致相同長度的前述刷體的形態,也包括長度比前述潔淨滾輪短(比如一半左右)的複數個的前述刷體,配設在與前述潔淨滾輪的軸方向錯開的位置的形態。
此外,本發明之潔淨裝置(4)之特徵在於,在前述潔淨裝置(3)中,複數個的前述刷體係以相互朝相反方向進行旋轉之方式構成。
根據上述潔淨裝置(4),由於係複數個的前述刷體能夠相互朝相反方向旋轉之構成,例如,在使用2支刷體時,通過在各個刷體的旋轉速度之間設定差,能夠使前述潔淨滾輪朝旋轉速度大的一方的刷體的連動旋轉方向旋轉。從而,通過設定各刷體的旋轉速度,不僅能夠使前述潔淨滾輪朝一個方向,而且也能夠使其朝相反方向旋轉,不需選擇被潔淨體的搬送方向,即,能夠作為在任意搬送方向都能夠應對的便利性高的裝置。
此外,本發明之潔淨裝置(5)之特徵在於,在上述潔淨裝置(3)中,複數個的前述刷體係以朝同一方向進行旋轉之方式構成。
根據上述潔淨裝置(5),在被潔淨體的搬送方向係一個方向即可的情況時,由於只需使潔淨滾輪朝一個方向旋轉即可,所以通過設為使複數個前述刷體向同一方向旋轉的構成,能
夠更加簡化裝置的構成,實現成本削減。
此外,本發明之潔淨裝置(6)之特徵在於,在上述潔淨裝置(1)至(5)的任一裝置中,前述刷體的旋轉速度係可以任意地設定。
根據上述潔淨裝置(6),由於前述刷體的旋轉速度可以任意設定,所以通過設定前述刷體的旋轉速度,及其旋轉方向,能夠調整前述潔淨滾輪的旋轉速度,以及旋轉方向。
例如,使複數個刷體互相朝同一方向旋轉的構成的情況下,能夠容易地使前述潔淨滾輪朝各刷體的連動旋轉方向旋轉。另一方面,使各刷體互相朝相反方向旋轉的構成的情況下,例如,2根刷體,如果將各自的旋轉速度設定為相同速度,就能夠控制使前述潔淨滾輪的旋轉停止,通過將各刷體的旋轉速度設定為不同速度,就可以控制使前述潔淨滾輪朝所期望的方向旋轉。
例如,使各刷體的旋轉速度能夠設定為數個階段(例如,低速、中速、高速),如果將各刷體的旋轉速度設定為中速,則能夠控制前述潔淨滾輪的旋轉停止,另外,設定一個刷體的旋轉速度為低速,另一個刷體的旋轉速度為高速,則能夠控制前述潔淨滾輪朝另一個刷體的連動旋轉方向旋轉。
相反,如果設定一個刷體的旋轉速度為高速,另一個刷體的旋轉速度為低速,則可以控制前述潔淨滾輪朝一個刷體的連動旋轉方向旋轉。這樣,能夠適當切換被潔淨體的搬送方向,使之能夠應對需要朝雙方向搬送的搬送系統,成為便利性高的裝置。
此外,本發明之潔淨裝置(7)之特徵在於,在上述潔
淨裝置(1)或者(2)中,裝備有單數個前述刷體。
根據上述潔淨裝置(7),通過設為使前述刷體朝與前述潔淨滾輪相反的方向旋轉,能夠通過前述刷體有效地進行從前述潔淨滾輪表面刮除塵埃的構成,可以更加簡化裝置的構成,從而能夠實現成本的削減。
此外,本發明之潔淨裝置(8)之特徵在於,在上述潔淨裝置(7)中,前述刷體的旋轉速度係可以任意地設定。
根據上述潔淨裝置(8),可以根據前述潔淨體表面存在的塵埃的狀況,將前述旋轉速度設定至最佳速度。
此外,本發明之潔淨裝置(9)之特徵在於,使用上述潔淨裝置(1)至(8)中的任意二個裝置,且使與前述被潔淨體表面接觸而去除塵埃的潔淨滾輪,配置在前述被潔淨體上面側以及前述被潔淨體下面側的上下兩面側。
根據上述潔淨裝置(9),一次操作就可以同時去除存在於前述被潔淨體的上下兩表面的塵埃,能夠提供作業效率極其高的潔淨裝置。
1、1A、1B、1C‧‧‧潔淨裝置
2‧‧‧潔淨滾輪
3、3A、3B‧‧‧刷滾輪
3a‧‧‧芯金
3b‧‧‧刷部
4‧‧‧金屬滾輪
5‧‧‧刀片
10‧‧‧框架單元
11、12‧‧‧側板部
13、14‧‧‧上側角鋼構件
15、16‧‧‧下側角鋼構件
23A、23B‧‧‧刷驅動馬達
30‧‧‧金屬滾輪驅動馬達
第1圖係示意性地表示構成本發明實施形態之潔淨裝置之主要部件之配置的側面圖。
第2圖係從正面下方觀看實施形態之潔淨裝置的立體圖。
第3圖係從背面下方觀看實施形態之潔淨裝置的立體圖。
第4圖係第3圖中的IV-IV線的主要部份的剖面圖。
第5圖係示意性地表示構成另外一個實施形態之潔淨裝置的
主要部件之配置的側面圖。
第6圖係示意性地表示構成又一個實施形態之潔淨裝置的主要部件之配置的側面圖。
第7圖係示意性地表示構成又一個實施形態之潔淨裝置的主要部件之配置的側面圖。
第8圖係示意性地表示構成習知潔淨裝置的主要部件之配置的側面圖。
以下根據圖式說明本發明之潔淨裝置的實施形態。
第1圖係示意性地表示構成實施形態之潔淨裝置的主要部件的配置的側面圖。
潔淨裝置1係一邊使潔淨滾輪2之表面與被潔淨體S之表面(這種情況下為下面)S1接觸的同時旋轉,一邊使其相對於被潔淨體S作相對移動,利用潔淨滾輪2上所被施予的靜電力去除附著在被潔淨體S之表面S1上的塵埃(例如,導體或者電介體等的微小塵埃)者。
潔淨裝置1包括,與被潔淨體S之表面S1接觸的潔淨滾輪2;和與前述潔淨滾輪2接觸去除潔淨滾輪2表面之塵埃的2根刷滾輪3A、3B;和與這些刷滾輪3A、3B接觸收取來自各刷滾輪3A、3B之塵埃的金屬滾輪4;和去除附著在前述金屬滾輪4上的塵埃的刀片5而構成。
這些潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B,金屬滾輪4,由具有絕緣性的構件(未圖示)以可以旋轉的方式支撐,另外,在潔淨裝置1上,設置有用以給潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B,金屬滾
輪4施予電荷的後述的電荷施予機構。
潔淨滾輪2係可在表面帶有利用靜電力來吸附附著在被潔淨體料S表面S1上之異物的電荷者,係利用潔淨滾輪2表面的帶電性藉由靜電力吸附塵埃者。
在潔淨滾輪2的斜下方,設置有一邊與潔淨滾輪2表面接觸一邊互相朝相反方向旋轉,去除潔淨滾輪2表面之塵埃的左右一對的刷滾輪3A、3B。刷滾輪3A、3B係能夠個別地設定旋轉速度的構成,為了在刷滾輪3A、3B與潔淨滾輪2之間產生電位差,前述刷滾輪3A、3B係在潔淨時被施加與潔淨滾輪2之表面所帶有之電荷相同符號電位的構成。
刷滾輪3A、3B係在芯金3a上具有合成樹脂製的刷部(毛部)3b者。刷部3b的剖面外形狀沒有特別限定,例如,可以採用,圓形、橢圓形、多角形、波曲線形、或者曲線和直線的組合構成的形狀等。
刷滾輪3A、3B的旋轉方向,固定為互相朝相反方向旋轉的方向。這是因為如果係旋轉方向可以切換的構成,則與潔淨滾輪2等滑動接觸的刷部3b的接觸方向發生變化,這時由於毛尖部的跳轉等,使塵埃飛散,此外,由於與潔淨滾輪2的滑動接觸狀態的變化,有可能使塵埃的除去效率低下之故。
在刷滾輪3A、3B的下方,配設有相對於刷滾輪3A一邊接觸一邊朝帶動轉動方向旋轉,同時,相對於刷滾輪3B一邊接觸一邊朝與帶動轉動方向相反方向旋轉的金屬滾輪4。金屬滾輪4也係為了與潔淨滾輪2之間產生預定的電位差,被施加與潔淨時潔淨滾輪2之表面所帶有之電荷相同符號電位的構成。前述
金屬滾輪4係從刷滾輪3A、3B去除塵埃者。
在金屬滾輪4的附近,配設有在前端刮除部刮除附著在金屬滾輪4表面之塵埃的潔淨刀片5,附著在金屬滾輪4表面上之塵埃被潔淨刀片5刮除,被回收到未圖示的塵埃回收部。刀片5,由如合成樹脂製(例如,熱硬化性聚氨酯樹脂)的彈性體等形成,被保持器具(未圖示)保持。
在上述的潔淨裝置1中,由於係能夠將刷滾輪3A、3B各自的旋轉速度設定(變速)為任意旋轉速度的構成,所以通過刷滾輪3A、3B的旋轉速度的設定狀態,可以使潔淨滾輪2不但朝一個方向,而且還可以朝相反方向旋轉。
例如,將刷滾輪3A的旋轉速度提高到比刷滾輪3B的旋轉速度高的情形下,能夠使潔淨滾輪2朝旋轉速度大的一方的刷滾輪3A的連動旋轉方向(箭頭α’方向)旋轉,從而能夠一邊在箭頭α方向搬送被潔淨體S,一邊進行潔淨。
另一方面,將刷滾輪3B的旋轉速度提高到比刷滾輪3A的旋轉速度高的情形下,能夠使潔淨滾輪2朝旋轉速度大的一方的刷滾輪3B的帶動旋轉方向(箭頭β’方向)旋轉,從而能夠一邊在箭頭β方向搬送被潔淨體S,一邊進行潔淨。
此外,也可以將刷滾輪3A和刷滾輪3B的旋轉速度設定為同樣的速度,控制使潔淨滾輪2的旋轉停止。
刷滾輪3A、3B的旋轉速度的設定方法,可以採用各種方法,例如,可以係能夠分別設定(變速)切換成3個階段(低速、中速、高速)的構成,通過這些旋轉速度的組合,亦即刷滾輪3A高速、刷滾輪3B低速的組合,或者刷滾輪3A低速、刷滾輪
3B高速的組合,或者刷滾輪3A、3B都中速的組合等,能夠容易地進行切換控制上述潔淨滾輪2旋轉方向。
根據上述潔淨裝置1,如果將潔淨滾輪2與潔淨對象之被潔淨體S上附著的塵埃接觸,塵埃就被從被潔淨體S的表面S1去除,被潔淨滾輪2的表面吸附。
該潔淨滾輪2旋轉,潔淨滾輪2的表面所吸附的塵埃與刷滾輪3A、3B接觸,塵埃就被刷滾輪3A、3B從潔淨滾輪2的表面刮除,之後,由金屬滾輪4的表面吸附。隨著這個金屬滾輪4的旋轉,在金屬滾輪4表面所附著的塵埃最終被刀片5刮除。
通過上述構成,塵埃被刷滾輪3A、3B效果良好地從潔淨滾輪2之表面刮除,不再返回到被潔淨體S之表面S1上。從而,能夠長期持續進行塵埃的吸附動作。
第2圖係從正面下方觀看實施形態之潔淨裝置的立體圖。第3圖係從背面下方觀看的立體圖。另外,第4圖係第3圖中的IV-IV線的主要部份的剖面圖。
潔淨裝置1通過框架單元10作為一體構造被單元化。框架單元10包括以可以旋轉的方式支撐潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B,及金屬滾輪4的矩形形狀的左右側板11、12,和將這些側板11、12的四個角互相連結的上側角鋼構件13、14,和下側角鋼構件15、16而構成。
側板部11、12由絕緣性(例如,聚醛樹脂等的樹脂)的材質構成,在側板部11、12上,在預定位置上分別形成用來安裝潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B,及金屬滾輪4的各旋轉軸的安裝
孔。
在這些各個安裝孔內,分別嵌入潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B及金屬滾輪4的旋轉軸所插通的軸承17a,電極部17b以能夠電性接觸的方式嵌入這些各個軸承17a的外輪部上。此外,在這些各個安裝孔的外側面,安裝有為了防止軸承17a從安裝孔脫卸的固定用的絕緣性的輪狀蓋子構件17c。
從而能夠從電極部17b,通過軸承17a,為潔淨滾輪2,刷滾輪3A、3B及金屬滾輪4施加各自預定的電荷。包括這些各穿通孔中所嵌入的軸承17a及電極部17b構成電荷施予機構。
在插通側板部11的刷滾輪3A、3B之旋轉軸的端部,裝有分別以絕緣體形成的滑輪18、19。此外,在插通側板部12的金屬滾輪4之旋轉軸的端部,裝有以絕緣體形成的滑輪20。
在下側角鋼構件15、16的一端側部底面,固定大致L字形狀的安裝板21的一邊側面,在安裝板21的另一邊側面,通過輔助板22,安裝刷驅動馬達23A、23B。在安裝板21的另一邊側面,在左右兩個位置形成長孔形狀的能夠插通刷驅動馬達23A、23B的旋轉軸的插通孔21a,另外,在插通孔21a的兩側分別形成長孔形狀的用來安裝固定輔助板22的固定構件(螺栓)41的安裝孔21b。在插通安裝板21的插通孔21a的刷驅動馬達23A、23B的旋轉軸的前端裝有各自以絕緣體形成的滑輪24、25。
刷滾輪3A的滑輪18和刷驅動馬達23A的滑輪24被由傳動帶26捲繞,同樣刷滾輪3B的滑輪19和刷驅動馬達23B的滑輪25被由傳動帶27捲繞。通過驅動控制每個刷驅動馬達23A、
23B,能夠將刷滾輪3A、3B的旋轉速度分別設定(變速)為預定的速度。
另外,在下側角鋼構件15、16的另一端側部底面上,固定大致L字形狀的安裝板28的一邊側面,安裝有金屬滾輪驅動馬達30的輔助板29通過固定部件(螺栓)42,安裝在安裝板28的另一邊側面。在安裝板28的另一邊的側面的左右幾個位置上形成安裝孔28a,前述安裝孔28a是用來通過固定構件(螺栓)42固定輔助板29的,在輔助板29的上部的左右兩個位置形成長孔形狀的插通孔29a,前述插通孔29a是用來插入固定構件42的。
在輔助板29的大致中央部附近,形成通過金屬滾輪驅動馬達30的旋轉軸30a的插通孔29b,在插通了插通孔29a的金屬滾輪驅動馬達30的旋轉軸30a的前端部裝有由絕緣體形成的滑輪31。從而,金屬滾輪4的滑輪20和金屬滾輪驅動馬達30的滑輪31,被傳動帶32捲繞,因此通過驅動控制金屬滾輪驅動馬達30,就能夠將金屬滾輪4的旋轉速度設定為預定的速度。
如第4圖所示,刀片5固定在刀片安裝部33。收集被該刀片5剝離的塵埃的塵埃回收部(未圖示)安裝在刀片5的下側。
其次,基於第4圖說明實施形態之潔淨裝置1。在本實施形態中,將其構成作為刷滾輪3A、3B的旋轉速度能夠分別設定切換為3階段(低速、中速、高速的預定值),進行說明。但是,刷滾輪3A、3B的旋轉速度的設定(變速)方法,不限於該形態。
首先,在一邊沿著箭頭α方向搬送被潔淨體S一邊
潔淨的情形時,為使刷滾輪3A的旋轉速度高速,另一方面為使刷滾輪3B的旋轉速度低速,進行刷驅動馬達23A、23B的驅動切換控制。該驅動切換控制最佳為例如,能夠與搬送被潔淨體S的搬送用的輸送機(未圖示)的動作(搬送方向的切換動作)連動的構成。
由於通過上述的驅動切換控制,刷滾輪3A的旋轉速度比刷滾輪3B的旋轉速度大,所以潔淨滾輪2朝刷滾輪3A的連動旋轉方向(箭頭α’方向)旋轉,從而能夠一邊沿箭頭α方向搬送被潔淨體S一邊進行潔淨。
此外,在暫時中斷被潔淨體S的搬送的情形等,暫時停止搬送用輸送機(未圖示)的流動時,進行刷驅動馬達23A、23B的驅動切換控制,使刷滾輪3A的旋轉速度為中速,同時使刷滾輪3B的旋轉速度也為中速。
通過上述驅動切換控制,刷滾輪3A的旋轉速度與刷滾輪3B的旋轉速度成為相同速度,所以能夠停止潔淨滾輪2的旋轉,能夠暫時中斷被潔淨體S的搬送。
另外,在一邊沿與箭頭α方向相反方向的箭頭β方向搬送被潔淨體S,一邊潔淨的情形時,進行刷驅動馬達23A、23B的驅動切換控制,使刷滾輪3A的旋轉速度低速,另一方面,使刷滾輪3B的旋轉速度高速。該驅動切換控制亦最佳為例如,與搬送被潔淨體S的搬送輸送機(未圖示)的動作(搬送方向的切換動作)連動的構成。
通過上述驅動切換控制,刷滾輪3B的旋轉速度比刷滾輪3A的旋轉速度大,所以潔淨滾輪2朝刷滾輪3B的連動旋轉
方向(箭頭β’方向)旋轉,從而能夠一邊沿箭頭β方向搬送被潔淨體S一邊進行潔淨。
根據上述實施形態之潔淨裝置1,由於係使刷滾輪3A、3B與潔淨滾輪2接觸,所以潔淨滾輪2之表面存在的塵埃能夠被複數個的刷滾輪3A、3B去除,從而能夠比習知的設有轉印滾輪的裝置(參照第8圖),提高塵埃的除去效率,能夠提高潔淨滾輪2表面之清淨度。
另外,根據上述潔淨裝置1,由於係被靜電力吸附在潔淨滾輪2表面之塵埃被刷滾輪3A、3B刮除,被刷滾輪3A、3B刮除的塵埃由靜電力被金屬滾輪4吸附,金屬滾輪4吸附的塵埃被刀片5從金屬滾輪4刮除,所以不僅係通過潔淨滾輪2的塵埃吸附動作能夠穩定長期持續進行,還係省略以往所使用的轉印滾輪的構造,從而能夠謀求裝置的成本削減,以及構造的小型化。
另外,根據上述潔淨裝置1,由於係複數個的刷滾輪3A、3B互相朝相反的方向旋轉構成,且可以任意設定刷滾輪3A、3B的旋轉速度,所以通過給刷滾輪3A、3B的旋轉速度設定差,從而使潔淨滾輪2不僅能夠朝一個方向,也能夠朝相反方向旋轉,不僅能夠沿一個方向搬送被潔淨體S,也能夠沿相反方向搬送。還能夠通過設定刷滾輪3A、3B的旋轉速度為同一速度,停止潔淨滾輪2的旋轉,從而可以作為能夠應對朝任何方向搬送,便利性高的裝置。
在上述實施形態中,關於使用2根刷滾輪3A、3B作為去除潔淨滾輪2之表面之塵埃的刷體的情形進行了說明,也
可以係使用3根以上的刷滾輪的構成。
例如,相對於潔淨滾輪2左右對稱地配設2的倍數的滾輪(4根、6根等),右側的複數的刷滾輪群和左側的複數的刷滾輪群,通過這些刷滾輪群互相朝相反方向旋轉的構成,能夠進行和上述同樣的控制。在這種情況下,最佳為適當配設(增設)與左右刷滾輪群相對應的金屬滾輪。
另外,在上述實施形態中,係配設2根刷滾輪3A、3B,互相朝相反方向旋轉的構成,在潔淨滾輪2的旋轉方向朝一個方向即可的情況時(即,被潔淨體S的搬送方向僅朝一個方向即可時),也可以係使刷滾輪3A、3B朝同一方向旋轉的構成。
另外,潔淨滾輪2的旋轉方向僅係一個方向即可的情況時,刷滾輪可以係1根構成,在這種情況時,作為如第5圖所示的潔淨裝置1A的構成,係使刷滾輪3朝與潔淨滾輪2相反方向旋轉,能夠有效地進行通過刷滾輪3之從潔淨滾輪2表面的刮除塵埃。如果係第5圖所示之潔淨裝置1A的構成,則作為構成簡單的裝置,能夠更加謀求成本的削減。
另外,相反也可以係使用3根以上的刷滾輪的構成。
另外,在上述實施形態中,就有關使用與潔淨滾輪2大致相同長度的刷滾輪3A、3B的情形進行了說明,也可以係組合使用複數根與潔淨滾輪2不同長度的刷滾輪的構成。例如,採用比潔淨滾輪2長度短(例如,一半左右)的複數的刷滾輪,還可以配設在錯開潔淨滾輪2的軸方向位置的形態。根據前述形態,通過使用短的刷滾輪,能夠削減構件成本,另外,能夠謀求構造的小型化。
另外,在上述實施形態中,關於在被潔淨體S的下側配設潔淨裝置1,潔淨被潔淨體S的下面的情形進行了說明,如第6圖所示,還可以係在被潔淨體S的上側配設潔淨裝置1B,潔淨被潔淨體S的上面的構成。
另外,如第7圖所示,還可以係在被潔淨體S的下側配設潔淨裝置1A,在上側配設潔淨裝置1B,同時潔淨被潔淨體S的上下面的潔淨裝置1C的構成。通過在被潔淨體S上面一側及前述被潔淨體S下面一側的上下兩面配設潔淨滾輪2,所以一次操作就可以同時去除被潔淨材料S的上下兩表面存在的塵埃,從而能夠提供作業效率極高的潔淨裝置1C。
在將潔淨裝置如潔淨裝置1B那樣配設在被潔淨體S的上側的情形時,為了能夠按照被潔淨體S的表面的凹凸等的形狀適當地按壓上面,最佳為將潔淨滾輪2設為上下可以搖動的構成。例如,可以採用框架單元10整體能夠上下搖動的構成,或者在框架單元10上另外設置使潔淨滾輪2可以沿著弧形搖動的旋轉支撐機構(未圖示),以該旋轉支撐機構的旋轉軸為中心使潔淨滾輪2可以在上下方向旋轉(搖動)的構成等。
另外,刀片5的安裝位置,不限於第4圖所示的位置,最佳為考慮框架單元10的構造等,配設在適合從金屬滾輪4上刮除塵埃的位置。
1‧‧‧潔淨裝置
2‧‧‧潔淨滾輪
3A、3B‧‧‧刷滾輪
3a‧‧‧芯金
3b‧‧‧刷部
4‧‧‧金屬滾輪
5‧‧‧刀片
S‧‧‧被潔淨體
S1‧‧‧表面
Claims (8)
- 一種利用靜電力去除存在於被潔淨體表面之塵埃的潔淨裝置,係具備:潔淨滾輪,與前述被潔淨體表面接觸,藉由靜電力吸附前述塵埃;以及刷滾輪,與前述潔淨滾輪接觸而去除前述潔淨滾輪表面之塵埃;並且形成在前述潔淨滾輪施予用來利用靜電力使存在於前述被潔淨體表面之塵埃吸附於前述潔淨滾輪的表面之電荷之構成。
- 如申請專利範圍第1項所述之潔淨裝置,還具備有:金屬滾輪,與前述刷滾輪接觸而從前述刷滾輪收取塵埃;刀片體,去除附著在前述金屬滾輪之塵埃;以及電荷施予機構,施予電荷於前述潔淨滾輪、前述刷滾輪、及前述金屬滾輪。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之潔淨裝置,其中,相對於前述潔淨滾輪裝備有複數個前述刷滾輪。
- 如申請專利範圍第3項所述之潔淨裝置,其中,複數個前述刷滾輪係以互相朝相反方向進行旋轉之方式構成。
- 如申請專利範圍第3項所述之潔淨裝置,其中,複數個前述刷滾輪係以朝同一方向進行旋轉之方式構成。
- 如申請專利範圍第3項所述之潔淨裝置,其中,複數個前述刷滾輪的旋轉速度係能夠分別任意地設定。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之潔淨裝置,其中,前述刷滾輪的旋轉速度能夠任意地設定。
- 一種潔淨裝置,係使用2個如前述申請專利範圍第1至第7項中任一項所述之潔淨裝置,且使與前述被潔淨體表面接觸而去除塵埃的潔淨滾輪,配置在前述被潔淨體上面側以及前述被潔淨體下面側的上下兩面側。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012129341 | 2012-06-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201404489A TW201404489A (zh) | 2014-02-01 |
TWI546132B true TWI546132B (zh) | 2016-08-21 |
Family
ID=49711656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW102118917A TWI546132B (zh) | 2012-06-06 | 2013-05-29 | 潔淨裝置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6124885B2 (zh) |
KR (1) | KR101718199B1 (zh) |
CN (1) | CN104334290B (zh) |
IN (1) | IN2014MN02505A (zh) |
TW (1) | TWI546132B (zh) |
WO (1) | WO2013183248A1 (zh) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015135456A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-27 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
JP6382622B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-08-29 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラ |
KR102454775B1 (ko) | 2015-02-18 | 2022-10-17 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기판 세정 장치, 기판 세정 방법 및 기판 처리 장치 |
JP6113785B2 (ja) * | 2015-05-22 | 2017-04-12 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
CN104967045B (zh) * | 2015-06-02 | 2018-07-31 | 国家电网公司 | 带电拆除异物专用操作头 |
JP2017104868A (ja) * | 2017-03-14 | 2017-06-15 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
CN109201547A (zh) * | 2017-06-30 | 2019-01-15 | 中电海康集团有限公司 | 晶圆清洗装置 |
CN107537800B (zh) * | 2017-09-04 | 2020-06-16 | 东莞市沃顿印刷有限公司 | 一种新型原材料除尘机 |
CN107838072A (zh) * | 2017-10-30 | 2018-03-27 | 国网福建省电力有限公司 | 瓷瓶表面自动清洗机 |
CN107962011A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-04-27 | 东莞市锐祥智能卡科技有限公司 | 一种sim卡双芯片槽清洁装置 |
CN108015035A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-05-11 | 苏州统硕科技有限公司 | 自动化板清机 |
CN108529291A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-14 | 张吉超 | 一种纺织用布匹除杂装置 |
CN108606731B (zh) * | 2018-06-08 | 2021-04-09 | 安徽风向标清洁设备有限公司 | 用于扫地机的刷毛机构 |
CN108940939A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-07 | 东莞市光纳光电科技有限公司 | 一种具备自清洁能力的指纹识别屏 |
CN108745980B (zh) * | 2018-07-03 | 2021-04-06 | 佛山市佳世达薄膜科技有限公司 | 一种薄膜分卷装置 |
JP6979448B2 (ja) * | 2018-12-04 | 2021-12-15 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
JP2019051517A (ja) * | 2018-12-04 | 2019-04-04 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置 |
KR102016268B1 (ko) * | 2018-12-06 | 2019-08-28 | 정진욱 | 미세먼지 포집 장치 |
JP7161418B2 (ja) | 2019-01-30 | 2022-10-26 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材のセルフクリーニング方法 |
KR102118144B1 (ko) * | 2020-01-06 | 2020-06-02 | 함창석 | 이물질 제거 능력이 개선된 식품 포장비닐용 제대기 |
CN112431001A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-03-02 | 南通金鹏玻纤制品有限公司 | 一种玻纤布表面毛丝清除装置及其工作方法 |
CN112893322B (zh) * | 2021-01-19 | 2022-06-17 | 江苏亚宝绝缘材料股份有限公司 | 一种聚酰亚胺薄膜的生产设备 |
CN114101131B (zh) * | 2021-11-22 | 2022-09-02 | 南通宝鹏健身器材科技有限公司 | 一种pu杠铃片内层板材清洁处理装置 |
CN115318757B (zh) * | 2022-07-11 | 2023-08-18 | 星源电子科技(深圳)有限公司 | 一种清洁效果好的气动滚轮粘尘治具 |
CN115446028B (zh) * | 2022-08-26 | 2023-04-14 | 南通鑫科智能科技有限公司 | 一种锂电池半成品检验设备 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5248320B2 (zh) | 1972-02-16 | 1977-12-08 | ||
JPS6242754Y2 (zh) * | 1979-02-17 | 1987-11-02 | ||
JPS5646015U (zh) * | 1979-09-13 | 1981-04-24 | ||
JPS6468206A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-14 | Shishido Seidenki Kk | Duster |
JPH08203851A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Sony Corp | 清浄化装置 |
JPH09267945A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Tec Corp | 画像形成装置 |
JP2002244522A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-30 | Ricoh Co Ltd | 放電生成物除去方法及び画像形成装置 |
JP2003005599A (ja) * | 2001-06-18 | 2003-01-08 | Ricoh Co Ltd | クリーニング装置、プロセスカートリッジ、および画像形成装置 |
JP2003225625A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Reyoon Kogyo:Kk | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 |
JP2005218923A (ja) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Nagaoka Seisakusho:Kk | 基板塵埃除去装置 |
JP2006251492A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Murata Mach Ltd | クリーニング装置 |
CN201098690Y (zh) * | 2007-10-31 | 2008-08-13 | 南通中利机电制造厂 | 金属膜清除导电轮装置 |
JP5491017B2 (ja) | 2008-10-22 | 2014-05-14 | バンドー化学株式会社 | クリーニングシステム |
TWI483789B (zh) * | 2009-03-23 | 2015-05-11 | Bando Chemical Ind | Clean system |
-
2013
- 2013-05-27 KR KR1020147035162A patent/KR101718199B1/ko active IP Right Grant
- 2013-05-27 JP JP2014519822A patent/JP6124885B2/ja active Active
- 2013-05-27 CN CN201380027542.1A patent/CN104334290B/zh active Active
- 2013-05-27 WO PCT/JP2013/003343 patent/WO2013183248A1/ja active Application Filing
- 2013-05-29 TW TW102118917A patent/TWI546132B/zh active
-
2014
- 2014-12-09 IN IN2505MUN2014 patent/IN2014MN02505A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2013183248A1 (ja) | 2016-01-28 |
IN2014MN02505A (zh) | 2015-07-17 |
KR20150013303A (ko) | 2015-02-04 |
KR101718199B1 (ko) | 2017-03-20 |
WO2013183248A1 (ja) | 2013-12-12 |
CN104334290B (zh) | 2016-11-09 |
CN104334290A (zh) | 2015-02-04 |
JP6124885B2 (ja) | 2017-05-10 |
TW201404489A (zh) | 2014-02-01 |
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