CN104334290B - 洁净装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够效率高地去除尘埃，能够实现装置的成本削减且小型化的洁净装置，利用静电力去除被洁净体S表面上存在的尘埃的洁净装置1，装备有与被洁净体表面S1接触的洁净滚轮2以及与所述洁净滚轮2接触的去除洁净滚轮2表面上的尘埃的刷滚轮3A、3B。因为洁净滚轮2表面上的尘埃被刷滚轮3A、3B除去，所以能够效率高地去除尘埃。

Description

洁净装置

技术领域

本发明涉及利用静电力去除存在于被洁净体表面上的尘埃的洁净装置，更具体地，涉及当被洁净体是例如玻璃基板、印刷电路板(PCB、PCBA等)、薄膜、薄片、塑料板等表面平滑性比较高的材料时能够适用的洁净装置。

背景技术

已知有一种洁净系统，是一边使洁净滚轮与被洁净体的表面的接触的同时旋转，一边利用静电力去除附着在被洁净体表面上的尘埃等的异物的(参照专利文献1)。

在上述洁净系统中，由于所述异物会逐渐地蓄积在洁净滚轮表面，所以有必要定期地进行从其表面去除异物的维护作业。因此，本发明的申请人为了不用定期地实施上述维护作业，就能够长期稳定地持续进行通过洁净滚轮的吸附去除尘埃的动作，已经就另外设置有与洁净滚轮接触的转印滚轮和带电控制滚轮等的洁净装置先提出了申请(参照专利文献2)。

图8是示意性地显示了构成已知的洁净装置100的主要部件的配置的侧面图。洁净装置100是包括洁净滚轮111、转印滚轮112、带电控制滚轮113、刷滚轮114、金属滚轮115以及洁净刀片116而构成。

洁净滚轮111是能够在表面上带有利用静电力来吸附附着在被洁净体S表面S1上的尘埃的电荷的滚轮。在洁净滚轮111的与被洁净体S的相反一侧，设有一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转的转印滚轮112和一边与所述转印滚轮112的表面接触一边旋转的带电控制滚轮113。

转印滚轮112是使用可在表面上带有利用静电力来吸附附着在洁净滚轮111的表面上的尘埃的材料形成的。转印滚轮112通过一边与洁净滚轮111的表面接触一边旋转，根据洁净滚轮111与转印滚轮112的表面的特性的差异，在转印滚轮112与洁净滚轮111之间产生电位差。

为了能够将利用静电力来吸附附着在被洁净体S的表面S1上的尘埃的电荷施加给洁净滚轮111以及转印滚轮112，在带电控制滚轮113的芯金113a上，连接外部电源120。

另外，以与转印滚轮112接触且可旋转的方式设置有刷滚轮114，该刷滚轮114是朝着与转印滚轮112的连动旋转方向相反的方向旋转，用来刮掉附着在转印滚轮112表面上的尘埃。

金属滚轮115以与刷滚轮114接触的方式设置，朝上述刷滚轮114的连动旋转方向旋转。为了在与转印滚轮112之间产生电位差，施加电压，在金属滚轮115上连接外部电源121。此外，在金属滚轮115的附近，设置有用来刮除尘埃的洁净刀片116。

在上述洁净装置100中，在洁净滚轮111表面上附着的尘埃被静电力转印(转移)至转印滚轮112，被转印至转印滚轮112的尘埃被刷滚轮114刮除。被该刷滚轮114刮除的尘埃被静电力吸附至金属滚轮115，吸附在金属滚轮115上的尘埃被洁净刀片116从金属滚轮115上刮除。

但是，在洁净装置100中，由于是将附着在洁净滚轮111上的尘埃转印至转印滚轮112的，为了不降低尘埃的从洁净滚轮111朝转印滚轮112的转印效率，必须适当地选择、设定转印滚轮112的材质和表面特性等。如果这些条件不适当，那么就会有尘埃从洁净滚轮111向转印滚轮112的转印效率降低，洁净滚轮111的洁净度降低的危险。

另外，在洁净装置100中，由于设置转印滚轮112，不仅花费部件成本，而且也需要配置的空间，所以，期望更进一步的改良来实现装置成本的削减和构造的小型化。

另外，上述洁净装置100是设想在被洁净体S朝一个方向搬送的情形时构成的，期望实现一种不但在被洁净体S朝一个方向搬送的情形，即使朝两个方向搬送的情形下也能够适当使用的洁净装置。

[专利文献1]日本特开2010-99565号公报

[专利文献2]日本特许第4886097号公报

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够提高附着在洁净滚轮表面上的尘埃的除去效率，提高洁净滚轮的洁净度，能够实现装置的成本削减以及构造的小型化，而且不仅在被洁净体朝一个方向，即使是朝两个方向搬送的情形下也能适合使用的方便性高的洁净装置。

为了达到上述目的，本发明涉及的洁净装置(1)，其特征在于，是利用静电力去除在被洁净体表面存在的尘埃的洁净装置，具有与所述被洁净体表面接触的洁净滚轮以及与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体。

根据上述洁净装置(1)，由于所述刷体与所述洁净滚轮接触，因此能够通过所述刷体去除在所述洁净滚轮表面上存在的尘埃，从而能够比已知的设有转印滚轮的装置提高所述尘埃的去除效率，能够提高所述洁净滚轮表面的洁净度。此处，被洁净体表面是指，成为被洁净体与外部空间的边界的面，不但包含一个方向的面(上侧)，也包含另一个方向的面(下侧)的情形。

此外，本发明涉及的洁净装置(2)，其特征在于，在所述洁净装置(1)上，还具有与所述刷体接触，从所述刷体接受尘埃的金属滚轮和去除附着在所述金属滚轮上的尘埃的刀片体；以及为所述洁净滚轮、所述刷体和所述金属滚轮施加电荷的电荷施加构件。

根据上述洁净装置(2)，通过静电力附着在所述洁净滚轮表面上的尘埃被所述刷体刮除，由所述刷体刮除的尘埃通过静电力被吸附到所述金属滚轮，被所述金属滚轮吸附的尘埃被所述刀体从所述金属滚轮上刮除。因此，通过所述洁净滚轮的尘埃的吸附除去动作不仅能够稳定持续进行，而且是省略了已知所使用转印滚轮的构造，从而能够实现装置的成本削减以及构造的小型化。

此外，本发明涉及的洁净装置(3)，其特征在于，在所述洁净装置(1)或者(2)中，装备有复数个所述刷体。

根据上述洁净装置(3)，由于装备有复数个所述刷体，所以能够在复数个地方使刷体相对于所述洁净滚轮滑动接触，能够提高附着在所述洁净滚轮表面的尘埃的除去效率，能够提高所述洁净滚轮的洁净度。

此外，所谓装备有复数个所述刷体的形态，不但包括装备有复数个与所述洁净滚轮大致相同长度的所述刷体的形态，也包括长度比所述洁净滚轮短(比如一半左右)的复数个的所述刷体，配设在与所述洁净滚轮的轴方向错开的位置的形态。

此外，本发明涉及的洁净装置(4)，其特征在于，在所述洁净装置(3)中，复数个所述刷体是以相互朝相反方向进行旋转的方式构成的。

根据上述洁净装置(4)，由于是复数个所述刷体以相互朝相反方向进行旋转的方式构成的，例如，在使用2支刷体时，通过在各个刷体的旋转速度之间设定差，能够使所述洁净滚轮朝旋转速度大的一方的刷体的连动旋转方向旋转。从而，通过设定各刷体的旋转速度，不仅能够使所述洁净滚轮朝一个方向，而且也能够使其朝相反方向旋转，不需选择被洁净体的搬送方向，即，能够作为在任意搬送方向都能够应对的便利性高的装置。

此外，本发明涉及的洁净装置(5)，其特征在于，在上述洁净装置(3)中，复数个的所述刷体是朝同一方向进行旋转的方式构成的。

根据上述洁净装置(5)，在被洁净体的搬送方向是一个方向即可的情况时，由于只需使洁净滚轮朝一个方向旋转即可，所以通过设为使复数个所述刷体向同一方向旋转的构成，能够更加简化装置的构成，实现成本削减。

此外，本发明涉及的洁净装置(6)，其特征在于，在上述洁净装置(1)～(5)的任一装置中，所述刷体的旋转速度可以任意设定。

根据上述洁净装置(6)，由于所述刷体的旋转速度可以任意设定，所以通过设定所述刷体的旋转速度及其旋转方向，能够调整所述洁净滚轮的旋转速度以及旋转方向。

例如，在复数个刷体互相朝同一方向旋转的构成的情况下，能够容易地使所述洁净滚轮朝各刷体的连动旋转方向旋转。另一方面，在各刷体互相朝相反方向旋转的构成的情况下，例如，2根刷体，如果将各自的旋转速度设定为相同速度，就能够控制使所述洁净滚轮的旋转停止，通过将各刷体的旋转速度设定为不同速度，就可以控制使所述洁净滚轮朝所期望的方向旋转。

例如，使各刷体的旋转速度能够设定为数个阶段(例如，低速、中速、高速)，如果将各刷体的旋转速度设定为中速，则能够控制所述洁净滚轮的旋转停止，另外，设定一个刷体的旋转速度为低速，另一个刷体的旋转速度为高速，就能够控制所述洁净滚轮朝另一个刷体的连动旋转方向旋转。

相反，如果设定一个刷体的旋转速度为高速，另一个刷体的旋转速度为低速，就可以控制所述洁净滚轮朝一个刷体的连动旋转方向旋转。这样，能够适当切换被洁净体的搬送方向，使之能够应对需要朝双方向搬送的搬送系统，成为便利性高的装置。

此外，本发明涉及的洁净装置(7)，其特征在于，在上述洁净装置(1)或者(2)中，装备有单数个所述刷体。

根据上述洁净装置(7)，通过设为使所述刷体朝与所述洁净滚轮相反的方向旋转，能够通过所述刷体有效地进行从所述洁净滚轮表面刮除尘埃的构成，可以更加简化装置的构成，从而能够实现成本的削减。

此外，本发明涉及的洁净装置(8)，其特征在于，在上述洁净装置(7)中，所述刷体的旋转速度可以任意设定。

根据上述洁净装置(8)，可以根据所述洁净体表面存在的尘埃的状况，将所述旋转速度设定至最佳速度。

此外，本发明涉及的洁净装置(9)，其特征在于，使用上述洁净装置(1)～(8)中的任意二个装置，与上述被洁净体表面接触而去除尘埃的洁净滚轮配置在所述被洁净体上面侧以及所述被洁净体下面侧的上下两面侧。

根据上述洁净装置(9)，一次操作就可以同时去除存在于所述被洁净体的上下两表面的尘埃，能够提供作业效率极其高的洁净装置。

附图说明

图1是示意性地表示构成本发明实施方式的洁净装置的主要部件的配置的侧面图。

图2是从正面下方观看实施方式的洁净装置的立体图。

图3是从背面下方观看实施方式的洁净装置的立体图。

图4是第3图中的IV-IV线的主要部份的剖面图。

图5是示意性地表示构成另外一个实施方式的洁净装置的主要部件配置的侧面图。

图6是示意性地表示构成又一个实施方式的洁净装置的主要部件的配置的侧面图。

图7是示意性地表示构成又一个实施方式的洁净装置的主要部件的配置的侧面图。

图8是示意性地表示构成已知洁净装置的主要部件的配置的侧面图。

具体实施方式

以下通过附图说明本发明的洁净装置的实施方式。

图1是示意性地表示构成本发明实施方式的洁净装置的主要部件的配置的侧面图。

洁净装置1是一边使洁净滚轮2的表面与被洁净体S表面(这种情况下为下面)S1接触的同时旋转，一边使其相对于被洁净体S作相对移动，利用洁净滚轮2上被施加的静电力去除附着在被洁净体S表面S1上的尘埃的装置(例如，导体或者电介体等的微小尘埃)。

洁净装置1包括与被洁净体S表面S1接触的洁净滚轮2；与所述洁净滚论2接触去除洁净滚论2表面上的尘埃的2根刷滚轮3A、3B；与这些刷滚轮3A、3B接触收取来自各刷滚轮3A、3B的尘埃的金属滚轮4以及去除附着在所述金属滚轮4上的尘埃的刀片5而构成。

这些洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B以及金属滚轮4，由具有绝缘性的构件(未图示)以可以旋转的方式支撑，另外，在洁净装置1上，设置有用以给洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B，金属滚轮4施加电荷的后述的电荷施加机构。

洁净滚轮2可以在表面带有利用静电力来吸附附着在被洁净体S表面S1上的异物的电荷，是利用洁净滚轮2表面的带电性通过静电力吸附尘埃的。

在洁净滚轮2的斜下方，设置有一边与洁净滚轮2表面接触一边互相朝相反方向旋转，去除洁净滚轮2表面的尘埃的左右一对的刷滚轮3A、3B。刷滚轮3A、3B是能够分别地设定旋转速度而构成，为了在刷滚轮3A、3B与洁净滚轮2之间产生电位差，所述刷滚轮3A、3B在洁净时被施加以与洁净滚轮2的表面所带有的电荷相同符号电位的电荷。

刷滚轮3A、3B在芯金3a上具有合成树脂制的刷部(毛部)3b。刷部3b的断面外形状没有特别限定，例如，可以采用，圆形、椭圆形、多角形、波曲线形或者曲线和直线的组合构成的形状等。

刷滚轮3A、3B的旋转方向，固定为互相朝相反方向旋转的方法。这是因为如果是旋转方向可以切换的构成，则与洁净滚轮2等滑动接触的刷部3b的接触方向发生变化，这时由于毛尖部的跳转等，使尘埃飞散，此外，由于与洁净滚轮2的滑动接触状态的变化，有可能使尘埃的除去效率低下的缘故。

在刷滚轮3A、3B的下方，配设有相对于刷滚轮3A一边接触一边朝带动转动方向旋转，同时，相对于刷滚轮3B一边接触一边朝与带动转动方向相反方向旋转的金属滚轮4。金属滚轮4也是为了与洁净滚轮2之间产生指定的电位差，被施加与洁净时洁净滚轮2的表面所带有的电荷相同符号电位的构成。所述金属滚轮4是从刷滚轮3A、3B去除尘埃的滚轮。

在金属滚轮4的附近，配设有在前端刮除部刮除附着在金属滚轮4表面的尘埃的洁净刀片5，附着在金属滚轮4表面上的尘埃被洁净刀片5刮除，被回收到未图示的尘埃回收部。刀片5由如合成树脂制(例如，热硬化性聚氨酯树脂)的弹性体等形成，被保持器具(未图示)保持。

在上述洁净装置1中，由于是能够将刷滚轮3A、3B各自的旋转速度设定(变速)为任意旋转速度的构成，所以通过刷滚轮3A、3B的旋转速度的设定状态，可以使洁净滚轮2不但朝一个方向，而且还可以朝相反方向旋转。

例如，将刷滚轮3A的旋转速度提高到比刷滚轮3B的旋转速度高的情形下，能够使洁净滚轮2朝旋转速度大的一方的刷滚轮3A的连动旋转方向(箭头α′方向)旋转，从而能够一边在箭头α方向搬送被洁净体S，一边进行洁净。

另一方面，将刷滚轮3B的旋转速度提高到比刷滚轮3A的旋转速度高的情形下，能够使洁净滚轮2朝旋转速度大的一方的刷滚轮3B的带动旋转方向(箭头β′方向)旋转，从而能够一边在箭头β方向搬送被洁净体S，一边进行洁净。

此外，也可以将刷滚轮3A和刷滚轮3B的旋转速度设定为同样的速度，控制使洁净滚轮2的旋转停止。

刷滚轮3A、3B的旋转速度的设定方法，可以采用各种方法，例如，可以是能够分别设定(变速)切换成3个阶段(低速、中速、高速)的构成，通过这些旋转速度的组合，亦即刷滚轮3A高速、刷滚轮3B低速的组合，或者刷滚轮3A低速、刷滚轮3B高速的组合，或者刷滚轮3A、3B都中速的组合等，能够容易地进行切换控制上述洁净滚轮2旋转方向。

根据上述洁净装置1，如果将洁净滚轮2与洁净对象的被洁净体S上附着的尘埃接触，尘埃就被从被洁净体S的表面S1去除，被洁净滚轮2的表面吸附。

该洁净滚轮2旋转，洁净滚轮2的表面所吸附的尘埃与刷滚轮3A、3B接触，尘埃就被刷滚轮3A、3B从洁净滚轮2的表面刮除，之后，由金属滚轮4的表面吸附。随着这个金属滚轮4的旋转，在金属滚轮4表面所附着的尘埃最终被刀片5刮除。

通过上述构成，尘埃被刷滚轮3A、3B效果良好地从洁净滚轮2的表面刮除，不再返回到被洁净体S的表面S1上。从而，能够长期持续进行尘埃的吸附动作。

图2是从正面下方观看实施方式的洁净装置1的立体图。图3是从背面下方观看的立体图。另外，图4是图3中的IV-IV线的主要部分的剖面图。

洁净装置1是通过框架单元10作为一体构造而被单元化的。框架单元10包括以可以旋转的方式支撑洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B和金属滚轮4的矩形形状的左右侧板11、12以及将这些侧板11、12的四个角互相连结的上侧角钢构件13、14和下侧角钢构件15、16而构成。

侧板部11、12由绝缘性(例如，聚醛树脂等的树脂)的材质构成，在侧板部11、12上，在预定位置上分别形成用来安装洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B及金属滚轮4的各旋转轴的安装孔。

在这些各个安装孔内，分别嵌入洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B及金属滚轮4的旋转轴所插通的轴承17a，电极部17b以能够电性接触的方式嵌入这些各个轴承17a的外轮部上。此外，在这些各个安装孔的外侧面，安装有为了防止轴承17a从安装孔脱卸的固定用的绝缘性的轮状盖子构件17c。

从而能够从电极部17b，通过轴承17a，为洁净滚轮2，刷滚轮3A、3B及金属滚轮4施加各自预定的电荷。包括这些各穿通孔中所嵌入的轴承17a及电极部17b构成电荷施加机构。

在插通侧板部11的刷滚轮3A、3B的旋转轴的端部，装有分别以绝缘体形成的滑轮18、19。此外，在插通侧板部12的金属滚轮4的旋转轴的端部，装有以绝缘体形成的滑轮20。

在下侧角钢构件15、16的一端侧部底面，固定近似L字形状的安装板21的一边侧面，在安装板21的另一边侧面，通过辅助板22，安装刷驱动马达23A、23B。在安装板21的另一边侧面，在左右两个位置形成长孔形状的能够插通刷驱动马达23A、23B的旋转轴的插通孔21a，另外，在插通孔21a的两侧分别形成长孔形状的用来安装固定辅助板22的固定构件(螺栓)41的安装孔21b。在插通安装板21的插通孔21a的刷驱动马达23A、23B的旋转轴的前端装有各自以绝缘体形成的滑轮24、25。

刷滚轮3A的滑轮18和刷驱动马达23A的滑轮24被由传动带26卷绕，同样刷滚轮3B的滑轮19和刷驱动马达23B的滑轮25被由传动带27卷绕。通过驱动控制每个刷驱动马达23A、23B，能够将刷滚轮3A、3B的旋转速度分别设定(变速)为预定的速度。

另外，在下侧角钢构件15、16的另一端侧部底面上，固定近似L字形状的安装板28的一边侧面，安装有金属滚轮驱动马达30的辅助板29通过固定部件(螺栓)42，安装在安装板28的另一边侧面。在安装板28的另一边的侧面的左右几个位置上形成安装孔28a，所述安装孔28a是用来通过固定构件(螺栓)42固定辅助板29的，在辅助板29的上部的左右两个位置形成长孔形状的插通孔29a，所述插通孔29a是用来插入固定构件42的。

在辅助板29的近似中央部附近，形成通过金属滚轮驱动马达30的旋转轴30a的插通孔29b，在插通了插通孔29b的金属滚轮驱动马达30的旋转轴30a的前端部装有由绝缘体形成的滑轮31。从而，金属滚轮4的滑轮20和金属滚轮驱动马达30的滑轮31，被传动带32卷绕，因此通过驱动控制金属滚轮驱动马达30，就能够将金属滚轮4的旋转速度设定为指定的速度。

如图4所示，刀片5固定在刀片安装部33。收集被该刀片5剥离的尘埃的尘埃回收部(未图示)安装在刀片5的下侧。

其次，基于图4说明实施方式的洁净装置1。在本实施方式中，将其构成作为刷滚轮3A、3B的旋转速度能够分别设定切换为3阶段(低速、中速、高速的预定值)，进行说明。但是，刷滚轮3A、3B的旋转速度的设定(变速)方法，不限于该方式。

首先，在一边沿着箭头α方向搬送被洁净体S一边洁净的情形时，为使刷滚轮3A的旋转速度高速，另一方面为使刷滚轮3B的旋转速度低速，进行刷驱动马达23A、23B的驱动切换控制。该驱动切换控制最佳为例如，能够与搬送被洁净体S的搬送用的输送机(未图示)的动作(搬送方向的切换动作)连动的构成。

由于通过上述的驱动切换控制，刷滚轮3A的旋转速度比刷滚轮3B的旋转速度大，所以洁净滚轮2朝刷滚轮3A的连动旋转方向(箭头α′方向)旋转，从而能够一边沿箭头α方向搬送被洁净体S一边进行洁净。

此外，在暂时中断被洁净体S的搬送的情形等，暂时停止搬送用输送机(未图示)的流动时，进行刷驱动马达23A、23B的驱动切换控制，使刷滚轮3A的旋转速度为中速，同时使刷滚轮3B的旋转速度也为中速。

通过上述驱动切换控制，刷滚轮3A的旋转速度与刷滚轮3B的旋转速度成为相同速度，所以能够停止洁净滚轮2的旋转，能够暂时中断被洁净体S的搬送。

另外，在一边沿与箭头α方向相反方向的箭头β方向搬送被洁净体S，一边洁净的情形时，进行刷驱动马达23A、23B的驱动切换控制，使刷滚轮3A的旋转速度低速，另一方面，使刷滚轮3B的旋转速度高速。该驱动切换控制也最佳为例如，与搬送被洁净体S的搬送输送机(未图示)的动作(搬送方向的切换动作)连动的构成。

通过上述驱动切换控制，刷滚轮3B的旋转速度比刷滚轮3A的旋转速度大，所以洁净滚轮2朝刷滚轮3B的连动旋转方向(箭头β′方向)旋转，从而能够一边沿箭头β方向搬送被洁净体S一边进行洁净。

根据上述实施方式的洁净装置1，由于是使刷滚轮3A、3B与洁净滚轮2接触，所以洁净滚轮2的表面存在的尘埃能够被复数个的刷滚轮3A、3B去除，从而能够比习知的设有转印滚轮的装置(参照第8图)，提高尘埃的除去效率，能够提高洁净滚轮2表面的清净度。

另外，根据上述洁净装置1，由于是被静电力吸附在洁净滚轮2表面的尘埃被刷滚轮3A、3B刮除，被刷滚轮3A、3B刮除的尘埃由静电力被金属滚轮4吸附，金属滚轮4吸附的尘埃被刀片5从金属滚轮4刮除，所以不仅是通过洁净滚轮2的尘埃吸附动作能够稳定长期持续进行，还是省略以往所使用的转印滚轮的构造，从而能够实现装置的成本削减，以及构造的小型化。

另外，根据上述洁净装置1，由于是复数个的刷滚轮3A、3B互相朝相反的方向旋转构成，且可以任意设定刷滚轮3A、3B的旋转速度，所以通过给刷滚轮3A、3B的旋转速度设定差，从而使洁净滚轮2不仅能够朝一个方向，也能够朝相反方向旋转，不仅能够沿一个方向搬送被洁净体S，也能够沿相反方向搬送。还能够通过设定刷滚轮3A、3B的旋转速度为同一速度，停止洁净滚轮2的旋转，从而可以作为能够应对朝任何方向搬送，便利性高的装置。

在上述实施方式中，关于使用2根刷滚轮3A、3B作为去除洁净滚轮2的表面上尘埃的刷体的情形进行了说明，还可以是使用3根以上的刷滚轮的构成。

例如，相对于洁净滚轮2左右对称地配设2的倍数的滚轮(4根、6根等)，右侧的复数个的刷滚轮群和左侧的复数额的刷滚轮群，通过这些刷滚轮群互相朝相反方向旋转的构成，能够进行和上述同样的控制。在这种情况下，最佳为适当配设(增设)与左右刷滚轮群相对应的金属滚轮。

另外，在上述实施方式中，是配设2根刷滚轮3A、3B，互相朝相反方向旋转的构成，在洁净滚论2的旋转方向朝一个方向即可的情况时(即，被洁净体S的搬送方向仅朝一个方向即可时)，还可以是使刷滚轮3A、3B朝同一方向旋转的构成。

另外，洁净滚轮2的旋转方向仅是一个方向即可的情况时，刷滚轮可以是1根构成，在这种情况时，作为如图5所示的洁净装置1A的构成，是使刷滚轮3朝与洁净滚轮2相反方向旋转，能够有效地进行通过刷滚轮3的从洁净滚轮2表面的刮除尘埃。如果是图5所示的洁净装置1A的构成，则作为构成简单的装置，能够更加实现成本的削减。

另外，相反也可以是使用3根以上的刷滚轮的构成。

另外，在上述实施方式中，就有关使用与洁净滚轮2大致相同长度的刷滚轮3A、3B的情形进行了说明，也可以是组合使用复数根与洁净滚轮2不同长度的刷滚轮的构成。例如，采用比洁净滚轮2长度短(例如，一半左右)的复数的刷滚轮，还可以配设在错开洁净滚轮2的轴方向位置的方式。根据所述方式，通过使用短的刷滚轮，能够削减构件成本，另外，能够实现构造的小型化。

另外，在上述实施方式中，关于在被洁净体S的下侧配设洁净装置1，洁净被洁净体S的下面的情形进行了说明，如图6所示，还可以是在被洁净体S的上侧配设洁净装置1B，洁净被洁净体S的上面的构成。

另外，如图7所示，还可以是在被洁净体S的下侧配设洁净装置1A，在上侧配设洁净装置1B，同时洁净被洁净体S的上下面的洁净装置1C的构成。通过在被洁净体S上面一侧及前述被洁净体S下面一侧的上下两面配设洁净滚轮2，所以一次操作就可以同时去除被洁净材料S的上下两表面存在的尘埃，从而能够提供作业效率极高的洁净装置1C。

在将洁净装置如洁净装置1B那样配设在被洁净体S的上侧的情形时，为了能够按照被洁净体S的表面的凹凸等的形状适当地按压上面，最佳为将洁净滚轮2设为上下可以摇动的构成。例如，可以采用框架单元10整体能够上下摇动的构成，或者在框架单元10上另外设置使洁净滚轮2可以沿着弧形摇动的旋转支撑机构(未图示)，以该旋转支撑机构的旋转轴为中心使洁净滚轮2可以在上下方向旋转(摇动)的构成等。

另外，刀片5的安装位置，不限于图4所示的位置，最佳为考虑框架单元10的构造等，配设在适合从金属滚轮4上刮除尘埃的位置。

产业上的利用可能性

作为去除玻璃基板、印刷基板、薄膜、片材、塑料板等半导体装置搭载用所广泛使用的基板的尘埃的洁净装置，在半导体装置领域可以广泛利用。

符号说明

1 洁净装置

1A、1B、1C 洁净装置

2 洁净滚轮

3A、3B 刷滚轮

3 刷滚轮

4 金属滚轮

5 刀片

10 框架单元

11、12 侧板部

13、14 上侧角钢构件

15、16 下侧角钢构件

23A、23B 刷驱动马达

30 金属滚轮驱动马达

S 被洁净体

S1 表面

Claims (8)

1.一种利用静电力去除在被洁净体表面上存在的尘埃的洁净装置，其特征在于，具有与所述被洁净体表面接触且通过静电力吸附所述尘埃的洁净滚轮、与所述洁净滚轮接触而去除所述洁净滚轮表面上的尘埃的刷体以及为所述洁净滚轮和所述刷体施加电荷的电荷施加机构，形成所述洁净滚轮上被付与用来利用静电力使所述被洁净体表面上存在的尘埃吸附到所述洁净滚轮的表面的电荷的构成。

2.根据权利要求1所述的洁净装置，其特征在于，所述洁净滚轮的旋转方向与所述被洁净体的搬送方向相同，所述刷体的旋转方向为所述洁净滚轮的连动旋转方向。

3.根据权利要求1所述的洁净装置，其特征在于，相对于所述洁净滚轮，装备有复数个所述刷体。

4.根据权利要求3所述的洁净装置，其特征在于，复数个所述刷体是以互相朝相反方向进行旋转的方式构成的。

5.根据权利要求3所述的洁净装置，其特征在于，复数个所述刷体是以朝同一方向进行旋转的方式构成的。

6.根据权利要求3所述的洁净装置，其特征在于，复数个所述刷体的旋转速度可以各自任意设定。

7.根据权利要求1或者权利要求2所述的洁净装置，其特征在于，所述刷体的旋转速度可以任意设定。

8.一种洁净装置，其特征在于，是使用上述权利要求1～7中所述洁净装置中的任意二个装置，且使与所述被洁净体表面接触去除尘埃的洁净滚轮配置在所述被洁净体上面侧以及所述被洁净体下面侧的上下两面侧。