KR20130056659A - 대면적 기판의 접촉식 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것으로, 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되며, 각각 다수의 롤러를 구비하여 기판의 배면을 지지하여 이송하는 다수의 이송축들과, 상기 제1 및 제2지지블록의 외측에서 상기 이송축들을 회전시키는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 이송축들의 사이에 위치하여, 상기 구동부의 구동력에 따라 회전하는 회전축과, 상기 회전축에 설치되어 상기 이송축들에 의해 이송되는 기판의 배면을 접촉식으로 세정하는 브러시를 포함한다. 본 발명은 기판을 이송하는 이송축들의 사이에 위치하여, 상기 이송축들의 롤러의 위치에서 제공되는 브러시를 이용하여 상기 기판 배면의 롤러 자국을 효과적으로 세정할 수 있어, 구성이 간단하고, 별도의 공간을 마련하지 않고도 기판 배면의 세정이 가능한 효과가 있다.

Description

대면적 기판의 접촉식 세정장치{Contact type cleaning device for large area substrate}

본 발명은 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송장치의 롤러에 의해 이송되는 기판의 배면에서 롤러의 자국을 세정할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판디스플레이 장치의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판은 다수의 롤러가 결합된 이송축들에 아랫면이 지지된 상태로 이송되면서, 세정, 건조 등의 처리가 이루어진다.

상기 롤러는 수지재이며, 기판과 접촉시 기판의 배면에 롤러의 자국이 남게 된다. 이와 같은 롤러 자국은 기판의 배면에 형성되기 때문에 일반적인 세정수의 공급 등으로는 세정이 어려운 문제점이 있었다.

물론 공개특허 10-2007-0067942호 등을 통해 이미 알려진 바와 같이 기판의 상면과 배면을 접촉식으로 세정하는 한 쌍의 롤브러시를 사용하여 기판의 배면을 세정할 수는 있으나, 기판의 상면에 이미 소자가 형성된 경우에는 롤브러시를 사용할 수 없으며, 롤브러시는 기판의 전체에 접촉되는 것으로 접촉식 세정이 불필요한 부분까지 세정되며, 그 구조가 복잡하고 제작 비용이 많이 들고, 공간을 많이 차지하기 때문에 필요한 위치마다 설치하는 것이 불가능한 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 간단한 구조를 가지며, 설치를 위하여 특별히 공간을 마련하지 않고도 기판 배면의 롤러 자국을 세정할 수 있는 대면적 기판의 접촉식 세정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되며, 각각 다수의 롤러를 구비하여 기판의 배면을 지지하여 이송하는 다수의 이송축들과, 상기 제1 및 제2지지블록의 외측에서 상기 이송축들을 회전시키는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 이송축들의 사이에 위치하여, 상기 구동부의 구동력에 따라 회전하는 회전축과, 상기 회전축에 설치되어 상기 이송축들에 의해 이송되는 기판의 배면을 접촉식으로 세정하는 브러시를 포함한다.

본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 기판을 이송하는 이송축들의 사이에 위치하여, 상기 이송축들의 롤러의 위치에서 제공되는 브러시를 이용하여 상기 기판 배면의 롤러 자국을 효과적으로 세정할 수 있어, 구성이 간단하고, 별도의 공간을 마련하지 않고도 기판 배면의 세정이 가능한 효과가 있다. 또한 브러시를 이송축의 롤러와 동일한 위치에 위치시켜 기판 배면의 롤러 자국을 세정하기 때문에 기판의 불필요한 다른 부분을 세정하지 않고 효과적인 롤러 자국 제거가 가능한 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성도이다.

이하, 본 발명 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성도이고, 도 2는 도 1에서 A-A 단면의 구성도이다.

도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 한 쌍의 지지블록(10)과, 상기 한 쌍의 지지블록(10)에 양단이 회전가능하게 지지되며, 각각에 다수의 롤러(21)가 결합 되어, 상기 롤러(21)로 기판(S)의 배면을 지지하여 이송하는 다수의 이송축(20)과, 상기 한 쌍의 지지블록(10)의 외측에서 상기 이송축(20)들의 동기를 맞춰 회전시키는 구동부(30)와, 상기 이송축(20)의 사이에 위치하며 상기 구동부(30)의 구동에 따라 회전하면서 상기 롤러(21)와의 접촉으로 기판(S)의 배면에 발생한 롤러자국을 접촉식으로 세정하는 세정부(40)를 포함하여 구성된다.

상기 세정부(40)는 상기 구동부(30)의 구동력을 전달받는 기어부(41)와, 상기 기어부(41)를 통해 구동력을 전달받아 회전하며, 상기 이송축(20)의 사이에서 그 이송축(20)들과 평행하게 위치하는 회전축(42)과, 상기 회전축(42)에 다수로 결합되되, 그 결합위치가 상기 이송축(20)들의 롤러(21)의 위치에 대응하여, 상기 회전축(42)의 회전에 따라 회전하면서 기판(S)의 배면 롤러 자국을 세정하는 브러시(43)와, 상기 한 쌍의 지지블럭(10) 각각에 삽입되어 상기 회전축(42)을 회전가능하게 지지하는 베어링(44)을 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 지지블록(10)에는 각각 베어링이 삽입 설치될 수 있도록 상하가 분리될 수 있는 구조이며, 상호 평행하게 배치된다.

그리고 상기 베어링에는 장축인 이송축(20)의 양단측이 삽입되어, 그 이송축(20)이 회전 가능한 상태로 지지 된다. 상기 이송축(20)의 양단끝에는 기어(22)가 결합되어 있으며, 구동부(30)의 제1기어(32)를 통해 구동부(30)의 구동축(31)의 회전력을 전달받아 각 이송축(20)이 동일방향 동일속도로 회전하게 된다.

상기 이송축(20)들에는 각각 다수의 롤러(21)들이 결합 되어 있으며, 그 롤러(21)는 이송축(20)의 회전에 따라 회전하면서, 기판(S)의 배면을 지지하여 기판(S)을 일정한 방향으로 이동시키게 된다.

상기 이송축(20)들의 롤러(21)에 배면이 접촉되어 이송되는 기판(S)의 배면에는 롤러(21)의 접촉에 따라 롤러 자국이 발생하게 된다.

상기 이송축(20)들의 사이에서 그 이송축(20)들과 동일 높이에서 평행하게 위치하는 세정부(40)의 회전축(42)의 양단에는 기어(41)가 고정되어, 상기 구동부(30)에서 제공되는 제2기어(33)와 맞물려 회전력이 전달된다.

상기 회전축(42)은 지지블록(10)에서 베어링(44)에 의해 회전가능한 상태로 지지된다.

상기 회전축(42)의 회전에 따라 그 회전축(42)에 마련된 다수의 브러시(43)가 회전하면서, 기판(S)의 배면에 접촉된다.

상기 브러시(43)의 기판(S) 접촉위치는 상기 이송축(20)의 롤러(21)의 기판(S) 접촉위치와 동일하며, 따라서 롤러(21)와의 접촉에 의하여 기판(S)의 배면에 생긴 롤러 자국을 제거할 수 있게 된다.

상기 세정부(40)의 회전축(42)의 설치위치는 앞서 설명한 바와 같이 이송축(20)들의 사이이며, 따라서 본 발명은 기판(S)의 배면을 세정하기 위한 세정부(40)를 위하여 별도의 공간을 마련하지 않아도 되며, 기존의 설비의 설계를 변경하지 않고도 적용함이 가능하게 된다.

상기 회전축(42)과 브러시(43)는 이송축(20)의 회전 방향과 동일한 방향으로 회전하거나, 반대 방향으로 회전할 수 있다.

도 3과 도 4는 각각 상기 회전축(42)과 브러시(43)의 회전방향을 제어하기 위한 구동부(30)와 기어(41)의 연결관계를 보인 구성도이다.

도 3에 도시한 바와 같이 상기 구동부(30)의 구동축(31)에는 상기 이송축(20)의 기어(22)에 맞물려 그 이송축(20)에 동력을 전달하는 제1기어(32)와, 상기 세정부(40)의 기어(41)에 맞물려 회전축(42)에 동력을 전달하는 제2기어(33)가 동일한 방향에 있도록 배치된다.

이와 같은 배치로 상기 세정부(40)의 회전축(42)의 회전방향은 상기 이송축(20)의 회전방향과 동일한 방향이 된다.

이와 반대로 도 4에 도시한 바와 같이 상기 제2기어(33)가 제1기어(32)와는 설치 방향이 반대로 배치되어 상기 기어(41)에 맞물려 있는 경우 구동축(31)의 회전에 따라 제1기어(32)와 제2기어(33)가 동일한 방향으로 회전하게 되나, 제1기어(32)에 의해 동력을 전달받아 회전하는 이송축(20)의 회전방향과 제2기어(33)에 의해 동력을 전달받아 회전하는 회전축(42)의 회전방향은 반대 방향이 된다.

실험적으로 상기 회전축(42)이 이송축(20)의 회전방향과 반대로 회전할 때 브러시에 의한 기판(S) 배면의 세정이 더 우수한 것으로 확인되었다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치는, 설치를 위한 별도의 공간이 필요 없으며, 또한 별도의 구동원을 사용하지 않고 설치가 가능하게 된다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대면적 기판의 접촉식 세정장치의 구성도이다.

도 5를 참조하면 상기 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 구성과 동일하나, 상기 회전축(42)의 설치위치가 연속적으로 배치되는 이송축(20) 중 하나를 대체하여 그 위치에 회전축(42)을 설치한 상태이다.

즉, 다수의 이송축(20) 중 임의의 이송축(20)을 제거한 상태에서 그 이송축(20)의 위치에 상기 브러시(43)를 구비하는 회전축(42)을 설치한다.

상기와 기판(S)의 이송에는 관여하지 않는 회전축(42)이 하나의 이송축(20)을 대체하여 설치되는 경우에도 기판(S)의 이송에는 문제가 발생하지 않는다.

이와 같은 구조는 세정부(40)를 설치하기 위하여 별도의 공간이 필요 없을 뿐만 아니라, 기존의 지지블록(10)을 가공하지 않고도 세정부(40)의 설치가 가능하게 되어, 작업이 용이하게 비용을 더욱 절감할 수 있는 특징이 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

10:지지블록 20:이송축
21:롤러 22,41:기어
30:구동부 31:구동축
32:제1기어 33:제2기어
40:세정부 42:회전축
43:브러시 44:베어링

Claims (4)

1. 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되며, 각각 다수의 롤러를 구비하여 기판의 배면을 지지하여 이송하는 다수의 이송축들과, 상기 제1 및 제2지지블록의 외측에서 상기 이송축들을 회전시키는 구동부를 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서,
   상기 이송축들의 사이에 위치하여, 상기 구동부의 구동력에 따라 회전하는 회전축; 및
   상기 회전축에 설치되어 상기 이송축들에 의해 이송되는 기판의 배면을 접촉식으로 세정하는 브러시를 포함하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 브러시는,
   상기 이송축들의 롤러에 대응하는 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 회전축은,
   상기 이송축과 동일방향 또는 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 회전축은,
   상기 다수의 이송축 중 선택된 하나를 제거한 위치에 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 접촉식 세정장치.
   

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