KR101510771B1 - 기판 이송 가이드 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이송장치에 의해 이송되는 기판이 처음 가이드롤러에 안내될 때, 기판의 선단 모서리부가 가이드롤러의 가이드면에 접촉함으로써 발생되는 가이드롤러의 손상을 최소화하고, 기판의 측면이 가이드롤러에 지지되어 안내되는 과정에서 지속적으로 발생하는 마찰력을 최소화하여 가이드롤러의 가이드면이 빨리 마모되는 것을 방지함으로써 가이드롤러의 교체에 따른 유지관리시의 번거로움을 해소하고 교체비용을 절감할 수 있는 기판 이송 가이드 장치를 개시한다.
본 발명은, 기판의 이송경로를 따라 병렬로 배치되고 양단이 프레임에 회전지지 되어 회전하는 이송축에 의해 수평방향으로 이송되는 기판의 측면을 지지하여 안내하는 기판 이송 가이드 장치에 있어서, 기판의 측면과 대향하는 위치의 프레임에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 가이드축과, 가이드축에 고정된 가이드롤러와, 이송축의 회전력을 상기 가이드축에 전달하여 가이드축을 기판의 이송방향으로 회전시키는 동력전달기구를 포함하여 이루어진 것이다.

Description

기판 이송 가이드 장치{Guide device for substrate transport}

본 발명은 기판 이송 가이드 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 라인을 따라 이송되는 기판의 측면을 가이드 하는 기판 이송 가이드 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널의 제조시와 같이, 기판상에 증착, 세정 건조 등 여러 가지 공정을 순차적으로 실시하는 제조공정에서는, 롤러 또는 벨트 컨베이어와 같은 이송장치를 이용하여 기판을 각 공정으로 이송시키고 있다.

도 1 및 도 2는 상기와 같은 기판 이송장치의 종래예를 나타낸 사시도 및 단면도로서, 종래의 기판 이송장치는, 기판(S)의 이송경로를 따라 병렬로 배치된 다수의 이송축(1)과, 각각의 이송축(1)에 설치되어 기판(S)의 저면을 지지하면서 기판(S)을 이송시키는 다수의 이송롤러(2)와, 이송축(1)의 양단을 회전 가능하게 지지하는 프레임(3)과, 이송축(1)에 회전 구동력을 제공하는 구동부(도시되지 않음)를 구비하고 있다.

또한, 상기 기판(S)의 측면과 대향하는 위치의 프레임(3)에는 가이드 장치가 설치되어 이송되는 기판(S)의 측면을 지지함으로써 기판(S)이 정렬된 상태를 유지하면서 이송되도록 하고 있다. 상기 가이드 장치는 프레임(3)에 수직방향으로 설치된 가이드축(4)에 가이드롤러(5)를 회전 자유롭게 설치하여 구성된 것으로, 기판(S)의 이송방향을 따라 다수 개 배치된다.

따라서, 이송축(1)의 이송롤러(2) 상에 기판(S)을 올려놓고 도시하지 않은 구동부를 구동하여 이송축(1)을 회전시키면, 기판(S)은 이송롤러(2) 상에서 기판 이송경로를 따라 이송되며, 이때 기판(S)의 측면은 가이드롤러(5)에 의해 지지됨에 따라 정렬된 상태를 유지할 수 있게 된다.

이러한 가이드 장치는, 도 1 및 도 2에 나타낸 종래예에서와 같이 기판(S)을 소정각도 경사진 상태로 이송시키는 경우, 기판(S)의 일측면을 가이드하도록 한쪽 프레임(3)에 설치할 수 있고, 도시하지는 않았지만 기판(S)을 수평상태로 이송시키는 경우는, 기판(S)의 양측면을 가이드하도록 양쪽 프레임(3)에 설치할 수 있다.

그러나, 상기한 종래의 기판 이송 가이드 장치는, 가이드롤러(5)가 가이드축(4)을 중심으로 자유 회전하도록 된 것이므로, 이송되는 기판(S)의 측면이 가이드롤러(5)의 표면에 접촉할 때 마찰력에 의해 회전하지만, 기판(S)의 측면이 접촉되지 않으면 가이드롤러(5)는 회전하지 않고 정지된 상태에 있게 된다.

따라서, 이송되는 기판(S)의 측면이 가이드롤러(5)와 처음 접촉할 때에는 가이드롤러(5)가 회전하지 않고 멈춰있는 상태이므로, 처음 기판(S)의 선단 모서리부가 가이드롤러(5)의 표면에 접촉할 때 가이드롤러(5)의 가이드면에 흠집이 발생하게 되고, 이러한 흠집은 연속해서 이송되어 오는 다음 기판에 의해서도 반복적으로 발생하게 되므로, 가이드롤러(5)의 가이드면을 손상시킬 뿐만 아니라, 가이드면이 손상된 가이드롤러(5)에 지지되어 가이드되는 기판(S)의 측면도 부스러짐 등의 손상을 초래할 수 있다.

또한, 기판(S)의 측면이 가이드롤러(5)에 가이드되어 이송되는 과정에서도 가이드롤러(5)의 표면은 기판(S)의 측면과 지속적으로 접촉하여 이들 사이에 마찰을 발생하므로 가이드롤러(5)의 가이드면이 빨리 마모되고, 이로써 가이드롤러(5)의 교체주기가 짧아짐으로써 잦은 교체에 따른 유지관리의 번거로움과 교체비용을 상승시키는 문제가 있었다.

본 발명은 상기의 문제를 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 이송장치에 의해 이송되는 기판이 처음 가이드롤러에 안내될 때, 기판의 선단 모서리부가 가이드롤러의 가이드면에 접촉함으로써 발생되는 가이드롤러의 손상을 최소화하고, 기판의 측면이 가이드롤러에 지지되어 안내되는 과정에서 지속적으로 발생하는 마찰력을 최소화하여 가이드롤러의 가이드면이 빨리 마모되는 것을 방지함으로써 가이드롤러의 교체에 따른 유지관리시의 번거로움을 해소하고 교체비용을 절감할 수 있는 기판 이송 가이드 장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 이송경로를 따라 병렬로 배치되고 양단이 프레임에 회전지지 되어 회전하는 이송축에 의해 수평방향으로 이송되는 기판의 측면을 지지하여 안내하는 기판 이송 가이드 장치에 있어서,
상기 기판의 측면과 대향하는 위치의 프레임에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 가이드축; 상기 가이드축에 고정된 가이드롤러; 및 상기 이송축의 회전력을 상기 가이드축에 전달하여 가이드축을 기판의 이송방향으로 회전시키는 동력전달기구를 포함하여 이루어지되,
상기 가이드축과 인접한 위치의 프레임에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 종동가이드축; 상기 종동가이드축에 고정된 종동가이드롤러; 및 상기 가이드롤러의 회전력을 상기 종동가이드롤러에 전달하여 종동가이드롤러를 기판의 이송방향으로 회전시키는 연동기구를 포함하되, 상기 연동기구는 상기 가이드롤러와 종동가이드롤러 사이에 연결되어 그 표면이 기판의 측면에 지지되는 벨트이며,
상기 동력전달기구는, 상기 이송축과 직교하는 방향으로 설치된 수평축과, 상기 이송축과 수평축에 각각 고정되어 이송축의 회전력을 수평축에 전달하는 한 쌍의 제1 기어와, 상기 수평축과 가이드축에 고정되어 수평축의 회전력을 상기 가이드축에 전달하는 한 쌍의 제2 기어로 이루어지고,
상기 가이드롤러가 기판의 이송속도와 동일한 속도로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 가이드 장치를 제공한다.

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본 발명의 기판 이송 가이드 장치에 의하면, 이송되는 기판의 측면을 지지하여 가이드하는 가이드롤러가 기판의 이송속도와 동일한 속도로 회전됨에 따라, 기판의 선단 모서리부가 처음 가이드롤러에 접촉하는 것에 의해 가이드롤러의 가이드면에 발생하는 손상을 최소화할 수 있고, 기판의 측면이 가이드롤러에 지지되어 안내되는 과정에서도 기판의 이송속도와 동일한 속도로 가이드롤러가 회전하므로, 이들 사이의 마찰력이 최소화되어 가이드롤러의 가이드면이 마모되는 것을 최대한 방지할 수 있다. 따라서 가이드롤러의 교체에 따른 유지관리시의 번거로움이 해소되고 교체비용이 절감되는 효과가 있다.

또한 본 발명은, 가이드롤러의 회전동력을 별도로 구비하지 않고, 기판을 이송시키는 이송축의 회전력이 이용됨에 따라 가이드 장치의 설치비용을 절감할 수 있고, 가이드롤러와 종동가이드롤러 사이를 벨트로 연결하여 이 벨트의 표면에 의해 기판이 가이드 되게 함에 따라, 가이드 면적이 증가하여 가이드 기능을 더욱 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 벨트의 표면이 마모되는 경우, 벨트만 교체하면 되므로 교체비용이 절감되는 효과가 있다.

도 1은 종래의 기판 이송 가이드 장치가 설치된 기판 이송장치의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A선 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치가 설치된 기판 이송장치의 사시도.
도 4는 도 3의 B-B선 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치를 나타낸 사시도.
도 6은 도 5의 C-C선 단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치를 나타낸 사시도.
도 8은 도 7의 D-D선 단면도.

이하, 본 발명에 따른 기판 이송 가이드 장치를 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 3 및 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치가 설치된 기판 이송장치의 사시도 및 단면도로서, 도시된 바와 같이 기판 이송장치는, 기판(S)을 이송시키기 위한 이송축(11)이 기판(S)의 이송경로를 따라 병렬로 다수 배치되고, 이송축(11)의 양단은 양쪽 프레임(12)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

이송축(11)에는 다수개의 이송롤러(13)가 고정되어 기판(S)의 저면을 지지하도록 되어 있고, 도시하지 않은 구동부에 의해 이송축(11)을 회전시키는 것에 의해 기판(S)이 이송경로를 따라 이송된다.

이와 같이 이송경로를 따라 이송되는 기판(S)의 측면을 지지하여 안내하는 가이드 장치는, 이송축(11) 상에서 이송되는 기판(S)의 측면과 대향하는 위치의 프레임(12)에 설치되는 것으로, 기판(S)의 이송경로를 따라 다수 개 배치된다.

즉, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 가이드 장치는, 이송되는 기판(S)의 측면과 대향하는 위치의 프레임(12)에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 가이드축(14)과, 이 가이드축(14)에 고정된 가이드롤러(15)를 구비하며, 가이드롤러(15)의 바깥둘레면은 기판(S)의 측면과 접촉하여 지지하는 가이드면이 된다.

가이드축(14)은 기판(S)을 이송시키는 이송축(11)의 회전력을 전달하는 동력전달기구(16)에 의해 기판(S)의 이송방향으로 회전하도록 구성되며, 동력전달기구(16)는, 상기 이송축(11)과 직교하는 방향으로 프레임(12)에 회전가능하게 설치된 수평축(16a)과, 상기 이송축(11)과 수평축(16a)에 각각 고정되어 이송축(11)의 회전력을 수평축(16a)에 전달하는 한 쌍의 제1 기어(16b)와, 상기 수평축(16a)과 가이드축(14)에 고정되어 수평축(16a)의 회전력을 상기 가이드축(14)에 전달하는 한 쌍의 제2 기어(16c)로 구성하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는, 상기 한 쌍의 제1 및 제2 기어(16b,16c)로서, 기어 이가 없는 공지의 비접촉식 마그네틱 기어를 사용하여 기어의 마찰에 의한 분진발생을 방지하도록 하였으나, 이에 한정하는 것은 아니고, 기어 이의 맞물림에 의해 연동하는 공지의 헬리컬 기어와 베벨 기어를 한 쌍의 제1 기어(16b)와 제2 기어(16c)로 사용하여도 좋으며, 제1 및 제2 기어(16a,16c)의 기어 비는 이송축(11)의 회전에 의해 이송되는 기판(S)의 이송속도와 가이드롤러(15)의 회전속도가 동일하도록 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에서는 기판(S)을 소정각도 경사진 상태로 이송시키는 구조에 있어서, 기판(S)의 일측면을 가이드하도록 한쪽 프레임(12)에 가이드 장치를 설치한 것을 설명하였으나, 기판(S)을 수평상태로 이송시키는 구조에서는, 기판(S)의 양측면을 가이드하도록 양쪽 프레임(12)에 가이드 장치를 설치할 수 있다.

이러한 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치에 의하면, 도 3 및 도 4에서와 같이, 이송축(11)의 이송롤러(13) 상에 기판(S)을 올려놓고 도시하지 않은 구동부를 구동하여 이송축(11)을 회전시키면, 기판(S)은 이송롤러(13) 상에서 기판 이송경로를 따라 이송된다.

이때, 이송축(11)의 회전력은 동력전달기구(16)에 의해 가이드롤러(15)에 전달되어 가이드롤러(15)도 함께 회전하는 것으로, 이송축(11)과 수평축(16a)에 고정된 한 쌍의 제1 기어(16b)에 의해 이송축(11)의 회전력이 수평축(16a)에 전달되고, 이어서 수평축(16a)과 가이드축(14)에 고정된 한 쌍의 제2 기어(16c)에 의해 수평축(16a)의 회전력이 가이드축(14)에 전달되어 가이드롤러(15)가 회전하게 된다.

따라서, 기판(S)의 선단 모서리부가 처음 가이드롤러(15)에 접촉할 때, 가이드롤러(15)가 기판(S)의 이송방향으로 동일 속도로 회전하고 있는 것이므로, 가이드롤러(15)의 가이드면에 접촉으로 인한 흠집의 발생을 최소화할 수 있고, 이로써 가이드롤러(15)에 형성되는 흠집으로 인해 기판(S)의 측면이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 기판(S)의 측면이 가이드롤러(15)에 지속적으로 지지되어 안내되는 과정에서도 기판(S)의 이송속도와 동일한 속도로 가이드롤러(15)가 계속 회전하게 되므로, 이들 사이의 마찰력이 최소화되고, 이로써 가이드롤러(15)의 가이드면이 빨리 마모되는 것을 최대한 방지할 수 있다.

도 7 및 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치를 나타낸 것으로, 상기한 제1 실시예의 구성에 있어서, 가이드축(14)과 인접한 위치의 프레임(12)에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 종동가이드축(17)과, 상기 종동가이드축(17)에 고정된 종동가이드롤러(18)와, 상기 가이드롤러(15)의 회전력을 상기 종동가이드롤러(18)에 전달하여 종동가이드롤러(18)를 기판(S)의 이송방향으로 회전시키는 연동기구(19)를 더 구비하며, 상기 연동기구(19)는, 가이드롤러(15)와 종동가이드롤러(18) 사이에 연결되어 그 표면이 기판(S)의 측면에 지지되는 벨트로 구성하는 것이 바람직하다.

따라서, 제1 실시예의 구성과 동일한 구성에 대하여는 동일부호를 부여하고 중복되는 설명은 생략한다.

이러한 제2 실시예에 따른 기판 이송 가이드 장치에 의하면, 도 7 및 도 8에서와 같이, 가이드롤러(15)가 회전하게 되면, 가이드롤러(15)와 종동가이드롤러(18) 사이에 연결된 연동기구(19)도 함께 회전하게 되고, 연동기구(19)인 벨트의 표면이 가이드면이 되어 이송되는 기판(S)의 측면을 지지하여 가이드 하게 된다.

따라서, 제1 실시예의 작용에 더하여 기판(S)의 측면을 지지하는 면적이 증대되어 가이드 기능을 더욱 향상시킬 수 있고, 가이드롤러(15)에 비하여 연동기구(19)인 벨트를 교체하는 것이 작업이 용이할 뿐만 아니라, 교체비용도 저렴하여 경제적이다.

지금까지 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

11 : 이송축 12 : 프레임
13 : 이송롤러 14 : 가이드축
15 : 가이드롤러 16 : 동력전달기구
16a : 수평축 16b,16c : 제1 및 제2 기어
17 : 종동가이드축 18 : 종동가이드롤러
19 : 연동기구 S : 기판

Claims (4)

1. 기판의 이송경로를 따라 병렬로 배치되고 양단이 프레임에 회전지지 되어 회전하는 이송축에 의해 수평방향으로 이송되는 기판의 측면을 지지하여 안내하는 기판 이송 가이드 장치에 있어서,
   상기 기판의 측면과 대향하는 위치의 프레임에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 가이드축; 상기 가이드축에 고정된 가이드롤러; 및 상기 이송축의 회전력을 상기 가이드축에 전달하여 가이드축을 기판의 이송방향으로 회전시키는 동력전달기구를 포함하여 이루어지되,
   상기 가이드축과 인접한 위치의 프레임에 수직방향으로 회전 자유롭게 설치된 종동가이드축; 상기 종동가이드축에 고정된 종동가이드롤러; 및 상기 가이드롤러의 회전력을 상기 종동가이드롤러에 전달하여 종동가이드롤러를 기판의 이송방향으로 회전시키는 연동기구를 포함하되, 상기 연동기구는 상기 가이드롤러와 종동가이드롤러 사이에 연결되어 그 표면이 기판의 측면에 지지되는 벨트이며,
   상기 동력전달기구는, 상기 이송축과 직교하는 방향으로 설치된 수평축과, 상기 이송축과 수평축에 각각 고정되어 이송축의 회전력을 수평축에 전달하는 한 쌍의 제1 기어와, 상기 수평축과 가이드축에 고정되어 수평축의 회전력을 상기 가이드축에 전달하는 한 쌍의 제2 기어로 이루어지고,
   상기 가이드롤러가 기판의 이송속도와 동일한 속도로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 가이드 장치.
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