KR101899387B1 - 대면적 기판의 이송장치 - Google Patents
대면적 기판의 이송장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101899387B1 KR101899387B1 KR1020110119532A KR20110119532A KR101899387B1 KR 101899387 B1 KR101899387 B1 KR 101899387B1 KR 1020110119532 A KR1020110119532 A KR 1020110119532A KR 20110119532 A KR20110119532 A KR 20110119532A KR 101899387 B1 KR101899387 B1 KR 101899387B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- guide frame
- guide roller
- size
- support
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 대면적 기판의 이송장치에 관한 것으로, 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되는 다수의 이송축들을 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 제1블록에 고정설치되어 이송되는 기판의 일측면을 지지하는 고정 가이드롤러와, 상기 제1블록과 제2블록의 사이에서 상기 이송축들과 평행하게 위치하되, 높이가 상기 이송축들에 비해 낮은 가이드 프레임과, 상기 가이드 프레임에 이동가능하게 결합 되어, 상기 이송되는 기판의 크기가 변경될 때 상기 가이드 프레임을 따라 이동하여, 상기 기판의 타측면을 지지하는 이동 가이드롤러를 더 포함한다. 본 발명은 가이드롤러를 지지블록에 고정시키지 않고, 가이드 프레임을 마련하여, 그 가이드 프레임을 따라 이동 설치가 가능하도록 하여, 이송하고자 하는 기판의 폭에 맞춰 가이드롤러의 위치를 변경함으로써, 다른 구성요소들을 변경하지 않고도 용이하게 다양한 크기의 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 대면적 기판의 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 크기의 대면적 기판을 이송할 수 있는 대면적 기판의 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판디스플레이 장치의 제조에 사용되는 대면적의 유리기판은 다수의 롤러가 결합된 이송축들에 아랫면이 지지된 상태로 이송되면서, 세정, 건조 등의 처리가 이루어진다.
최근 평판디스플레이 장치를 제조하기 위한 유리기판의 면적은 점차 커지고, 두께는 줄어드는 특징이 있다. 예를 들어 4세대 유리기판의 면적은 730㎜x920㎜, 5세대 라인은 1100㎜X1250㎜, 6세대는 1500㎜X1850㎜, 7세대는 1800㎜X2100㎜이며, 8세대는 2200mmX2500mm의 규격을 가지고 있다.
이와 같이 유리기판의 면적이 세대가 갈수록 그 면적이 커지기 때문에 이 유리기판의 면적의 크기에 비례하여 유리기판을 이송하는 이송장치의 폭도 커지게 되었다.
종래 유리기판의 이송장치의 예로는, 공개특허 10-2009-0053981호를 포함하여 다양한 기능의 차이를 가지는 이송장치들이 공개되어 있다. 그러나 이러한 종래 유리기판의 이송장치들은 특정한 크기의 유리기판만을 이송할 수 있도록 설계되어 필요에 따라 더 작거나 더 큰 유리기판을 이송할 수 없다.
도 1은 종래 대면적 기판의 이송장치 일례의 구성도이다.
도 1을 참조하면 종래 대면적 기판의 이송장치는, 상호 소정 간격 이격되어 평행하게 배치되는 한 쌍의 지지블럭(1)과, 상기 한 쌍의 지지블럭(1)에 양단측이 회전가능하게 결합되는 다수의 이송축(2)과, 상기 이송축(2)들 각각에 다수로 결합되어 대면적 기판(S)의 아랫면을 지지하여, 이송축(2)의 회전에 따라 기판(S)을 이송하는 롤러(3)와, 상기 한 쌍의 지지블럭(1) 각각의 외측에 마련되어, 상기 이송축(2)들을 동기를 맞춰 회전시키는 구동부(4)와, 상기 이송축(2)들의 사이에 소정의 간격으로 배치되며, 상기 기판(S)의 측면을 지지하여 기판(S)이 이탈되는 것을 방지하는 가이드롤러(5)를 포함하여 구성된다.
이하, 상기와 같이 구성되는 종래 대면적 기판의 이송장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
먼저, 한 쌍의 지지블럭(1)은 기판(S)의 폭을 고려하여 그 사이가 이격되어 있으며, 각각에 베어링이 마련되어 상기 이송축(2)들의 양단을 베어링을 통해 지지하여 회전가능한 상태가 되도록 한다.
또한 한 쌍의 지지블럭(1)에 의해 지지되는 이송축(2)들은 그 지지블럭(1)들의 바깥쪽 측면부로 돌출되도록 지지되며, 그 돌출위치에 기어가 결합되어 있다.
도면에 도시하지는 않았지만 구동부(4)는 모터에 의해 회전하는 축과 그 축에 연결되어 회전력을 상기 이송축(2)들의 기어에 전달하는 기어를 포함하는 구성이다.
상기 기어들은 회전 방향을 90도 변경할 수 있는 기어를 사용하며, 따라서 상기 구동부(4)의 회전에 따라 상기 이송축(2)들은 모두 동일한 방향으로 회전하며, 그 회전속도도 모두 동일하게 된다.
상기 이송축(2)들의 각각에는 롤러(3)가 다수로 결합된다. 상기 롤러(3)는 이송축(2)의 회전과 함께 회전하며, 기판(S)의 아랫면과 접촉되면서 그 기판(S)을 정해진 한 방향으로 수평 이송하게 된다.
이때 이송중인 기판(S)은 여러가지 복합적인 원인에 의하여 이송축(2)들의 중앙상부측에서 이송되지 않고, 좌우로 변위가 발생될 수 있으며, 이를 방지하기 위하여 한 쌍의 지지블록(1)의 상호 마주하는 내측면에는 그 기판(S)의 측면을 접촉 지지하는 가이드롤러(5)가 마련된다.
상기 가이드롤러(5)는 이송축(2)의 사이에 고정 설치되나, 모든 이송축(2)들의 사이에 위치할 필요는 없고, 3개의 이송축(2)의 간격 등 이송축(2)에 비해 더 큰 간격으로 배치될 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이 상기와 같은 종래 대면적 기판의 이송장치는 이송할 기판이 그 이송축의 크기에 비해 더 큰 경우 또는 작은 경우 모두에 대응할 수 없어, 정해진 크기의 기판만을 이송할 수 있다.
따라서 기판의 크기가 변경될 때마다 설비를 다시 설치해야 하기 때문에 비용과 시간의 낭비가 매우 큰 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 하나의 이송장치로 다양한 크기의 기판을 이송할 수 있는 대면적 기판의 이송장치를 제공함에 있다.
아울러 본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는, 이송될 기판의 크기가 변경된 경우 그 기판의 크기에 신속하게 대응할 수 있는 대면적 기판의 이송장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대면적 기판의 이송장치는, 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되는 다수의 이송축들을 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서, 상기 제1블록에 고정설치되어 이송되는 기판의 일측면을 지지하는 고정 가이드롤러와, 상기 제1블록과 제2블록의 사이에서 상기 이송축들과 평행하게 위치하되, 높이가 상기 이송축들에 비해 낮은 가이드 프레임과, 상기 가이드 프레임에 이동가능하게 결합 되어, 상기 이송되는 기판의 크기가 변경될 때 상기 가이드 프레임을 따라 이동하여, 상기 기판의 타측면을 지지하는 이동 가이드롤러를 더 포함한다.
본 발명 대면적 기판의 이송장치는, 가이드롤러를 지지블록에 고정시키지 않고, 가이드 프레임을 마련하여, 그 가이드 프레임을 따라 이동 설치가 가능하도록 하여, 이송하고자 하는 기판의 폭에 맞춰 가이드롤러의 위치를 변경함으로써, 다른 구성요소들을 변경하지 않고도 용이하게 다양한 크기의 기판을 이송할 수 있는 효과가 있다.
상기와 같이 본 발명은 기판의 크기에 무관하게 이송할 수 있어, 기판의 크기 변경에 따른 장치의 구조 변경에 따른 시간과 비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.
도 3은 도 2에서 A-A 방향 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직도 4는 본 발명 대면적 기판의 이송장치에서 기판의 크기를 가변하기 위하여 이동 가이드의 위치를 조절하는 과정을 보인 설명도이다.
도 5와 도 6은 각각 본 발명에 적용되는 가이드 프레임의 일실시 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 이송장치의 구성도이다.
도 3은 도 2에서 A-A 방향 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직도 4는 본 발명 대면적 기판의 이송장치에서 기판의 크기를 가변하기 위하여 이동 가이드의 위치를 조절하는 과정을 보인 설명도이다.
도 5와 도 6은 각각 본 발명에 적용되는 가이드 프레임의 일실시 구성도이다.
이하, 본 발명 대면적 기판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 이송장치의 구성도이고, 도 3은 도 2에서 A-A 방향 단면도이다.
도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판 이송장치는, 한 쌍의 지지블록(11,12)과, 상기 한 쌍의 지지블록(11,12)에 양단이 회전가능하게 지지되며, 각각에 다수의 롤러(21)가 결합 되어진 다수의 이송축(20)과, 상기 한 쌍의 지지블록(11,12)의 외측에서 상기 이송축(20)들의 동기를 맞춰 회전시키는 구동부(30)와, 상기 지지블록(11)의 내측면에 고정설치되는 다수의 고정 가이드롤러(41)와, 상기 이송축(20)들의 사이에서 상기 이송축(20)의 길이방향을 따라 평행하게 마련되며, 그 이송축(20)들에 비하여 더 낮은 위치에 위치하는 다수의 가이드 프레임(42)과, 상기 가이드 프레임(42)으로부터 수직방향의 상측에 위치하여 상기 가이드 프레임(42)에 의해 하측으로부터 수직방향으로 지지되며 상기 다수의 가이드 프레임(42) 각각에 위치하되 가이드 프레임(42)을 따라 이동설치될 수 있는 이동 가이드롤러(43)를 포함하여 구성된다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대면적 기판의 이송장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
먼저, 한 쌍의 지지블록(11,12)에는 각각 베어링(13)이 삽입 설치될 수 있도록 상하가 분리될 수 있는 구조이며, 상호 평행하게 배치된다.
그리고 상기 베어링(13)에는 장축인 이송축(20)의 양단측이 삽입되어, 그 이송축(20)이 회전 가능한 상태로 지지된다. 상기 이송축(20)의 양단끝에는 기어(22)가 결합되어 있으며, 구동부(30)의 기어(32)를 통해 구동부(30)의 구동축(31)의 회전력을 전달받아 각 이송축(20)이 동일방향 동일속도로 회전하게 된다.
상기 이송축(20)들에는 각각 다수의 롤러(21)들이 결합되어 있으며, 그 롤러(21)는 이송축(20)의 회전에 따라 회전하면서, 기판(S)의 아랫면을 지지하여 기판(S)을 일정한 방향으로 이동시키게 된다.
상기 이송축(20)은 현재 사용되는 대면적 기판 중 가장 큰 면적을 가지는 대면적 기판(S)의 폭보다 더 큰 것으로 한다. 즉, 이송축(20)은 적어도 현재에서 가장 큰 면적을 가지는 대면적 기판(S)을 이송하기에 최적화된 것이거나, 앞으로의 대면적 기판의 크기를 예측하여 그 예측된 다음 세대의 기판 크기에 최적화된 길이를 가지는 것일 수 있다.
이때 기판(S)은 지지블록(11)에 고정된 고정 가이드롤러(41)에 일측면이 접하며, 타측면은 상기 가이드 프레임(42)에 의해 하측으로부터 수직방향으로 지지되는 상기 이동 가이드롤러(43)에 접하여 좌우로 변위 되지 않고 안정적으로 이송된다.
도 4는 본 발명 대면적 기판의 이송장치에서 기판의 크기를 가변하기 위하여 이동 가이드의 위치를 조절하는 과정을 보인 설명도이다.
도 4를 참조하면 현재 이송되는 기판(S)에 비하여 더 작은 기판(S')을 이송하기 위해서는, 상기 가이드 프레임(42)을 따라 이동 가이드롤러(43)를 상기 고정 가이드롤러(41)측으로 이동시킨 후 그 이동 가이드롤러(43)를 가이드 프레임(42)에 고정시키는 작업으로 용이하게 더 작은 기판(S')을 안정적으로 이송할 수 있는 상태가 되도록 할 수 있다.
즉, 기판(S)에 비하여 폭이 작은 기판(S')의 폭에 맞춰 상기 고정 가이드롤러(41)와 이동 가이드롤러(43) 사이의 이격 거리를 용이하게 조정할 수 있게 된다.
도 5는 상기 가이드 프레임(42)과 이동 가이드롤러(43)의 일실시 구성도이다.
도 5를 참조하면, 상기 기판들(S,S')은 세대별로 그 크기가 정해져 있는 것이기 때문에 가이드 프레임(42)에 기판들(S,S')의 크기별로 작업자가 인식가능한 표시선(44)을 마련해 둔 것일 수 있다.
즉, 작업자는 향후 이송할 기판의 크기에 따라 이동 가이드롤러(43)의 이동 위치를 각각 측정하지 않고, 그 기판의 크기에 따른 표시선(44)의 위치로 이동 가이드롤러(43)를 이동시켜 고정함으로써 작업을 보다 더 용이하게 할 수 있다.
도면에는 생략되었지만 상기 가이드 프레임(42)을 따라 이동할 수 있는 이동롤러(43)의 바디에는 볼트 등의 체결수단이 마련되어 그 체결수단에 의해 이동롤러(43)를 가이드 프레임(42)에 견고하게 고정할 수 있다.
도 6은 상기 가이드 프레임(42)과 이동 가이드롤러(43)의 다른 실시예의 구성도이다.
도 6을 참조하면 상기 가이드 프레임(42)에는 체결공들(45)이 규격화된 기판의 크기에 적당한 위치에 마련되어 있으며, 그 체결공들(45) 중 향후 이송할 기판의 크기에 적합한 위치의 체결공(45)에 이동 가이드롤러(42)를 결합하는 작업만으로 크기가 다른 기판을 이송할 수 있게 된다.
따라서 본 발명에 따른 대면적 기판의 이송장치는 다양한 크기를 가지는 기판을 안정적으로 이송할 수 있게 되며, 기판의 크기에 따라 장치의 구조를 변경하는 작업이 용이하게 시간과 비용을 절감할 수 있게 된다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
11,12:지지블록 13:베어링
20:이송축 21:롤러
22,32:기어 30:구동부
31:구동축 41:고정 가이드롤러
42:가이드 프레임 43:이동 가이드롤러
44:표시선 45:체결공
20:이송축 21:롤러
22,32:기어 30:구동부
31:구동축 41:고정 가이드롤러
42:가이드 프레임 43:이동 가이드롤러
44:표시선 45:체결공
Claims (4)
- 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되는 다수의 이송축들을 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서,
상기 제1지지블록에 고정설치되어 이송되는 기판의 일측면을 지지하는 고정 가이드롤러;
상기 제1지지블록과 제2지지블록의 사이에서 상기 이송축들과 평행하게 위치하되, 높이가 상기 이송축들에 비해 낮은 가이드 프레임; 및
상기 가이드 프레임에 이동가능하게 결합되어, 상기 이송되는 기판의 크기가 변경될 때 상기 가이드 프레임을 따라 이동하여, 상기 기판의 타측면을 지지하는 이동 가이드롤러;
를 포함하되,
상기 가이드 프레임은, 상기 기판의 크기에 따른 상기 이동 가이드롤러의 위치를 표시하는 표시선이 마련된 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 이송장치.
- 삭제
- 상호 평행하게 배치되는 제1 및 제2지지블록에 의해 양단이 지지되는 다수의 이송축들을 포함하는 대면적 기판의 이송장치에 있어서,
상기 제1지지블록에 고정설치되어 이송되는 기판의 일측면을 지지하는 고정 가이드롤러;
상기 제1지지블록과 제2지지블록의 사이에서 상기 이송축들과 평행하게 위치하되, 높이가 상기 이송축들에 비해 낮은 가이드 프레임; 및
상기 가이드 프레임에 이동가능하게 결합되어, 상기 이송되는 기판의 크기가 변경될 때 상기 가이드 프레임을 따라 이동하여, 상기 기판의 타측면을 지지하는 이동 가이드롤러;
를 포함하되,
상기 가이드 프레임은, 상기 기판의 크기에 따른 상기 이동 가이드롤러의 위치에 체결공이 마련된 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 이송장치.
- 제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 이송축의 길이는 기판의 최대폭보다 큰 것을 특징으로 하는 대면적 기판의 이송장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110119532A KR101899387B1 (ko) | 2011-11-16 | 2011-11-16 | 대면적 기판의 이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110119532A KR101899387B1 (ko) | 2011-11-16 | 2011-11-16 | 대면적 기판의 이송장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130053848A KR20130053848A (ko) | 2013-05-24 |
KR101899387B1 true KR101899387B1 (ko) | 2018-09-17 |
Family
ID=48662992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110119532A KR101899387B1 (ko) | 2011-11-16 | 2011-11-16 | 대면적 기판의 이송장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101899387B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102162097B1 (ko) * | 2020-06-25 | 2020-10-06 | 주식회사 지에스아이 | 메쉬망 정렬장치 및 이를 구비한 메쉬망 이송로봇 |
JP7350029B2 (ja) * | 2021-06-15 | 2023-09-25 | キヤノントッキ株式会社 | 搬送装置及び成膜装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000024602A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-25 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置 |
KR101102243B1 (ko) | 2010-10-18 | 2012-01-03 | 주식회사 케이씨텍 | 대면적 기판의 어라인장치 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004165524A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Hitachi Industries Co Ltd | 基板搬送方法とその装置 |
KR100616291B1 (ko) * | 2004-06-01 | 2006-08-28 | 주식회사 디엠에스 | 기판 이송 안내 장치 |
KR20070120763A (ko) * | 2006-06-20 | 2007-12-26 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
KR101265741B1 (ko) * | 2006-09-05 | 2013-05-20 | 주식회사 케이씨텍 | 기판이송장치 |
KR100795904B1 (ko) * | 2007-02-07 | 2008-01-21 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
KR20090035882A (ko) * | 2007-10-08 | 2009-04-13 | 세메스 주식회사 | 기판 가이드 장치 |
KR101427695B1 (ko) * | 2007-11-26 | 2014-08-07 | 주식회사 케이씨텍 | 디스플레이 기판 이송장치 |
KR100897750B1 (ko) * | 2008-08-18 | 2009-05-15 | 배경원 | 가이드롤러 위치 자동 조절 기능을 구비하는 유리 양각면기 |
KR101098230B1 (ko) * | 2009-05-21 | 2011-12-27 | 아셈텍(주) | 기판 크기 자동 변환이 가능한 기판 처리 장치 |
-
2011
- 2011-11-16 KR KR1020110119532A patent/KR101899387B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000024602A (ja) | 1998-07-14 | 2000-01-25 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置 |
KR101102243B1 (ko) | 2010-10-18 | 2012-01-03 | 주식회사 케이씨텍 | 대면적 기판의 어라인장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130053848A (ko) | 2013-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100936992B1 (ko) | 기판반전장치 | |
JP5062965B2 (ja) | 分岐合流装置 | |
JP2011225376A (ja) | マルチゲートコンベヤー | |
KR101510771B1 (ko) | 기판 이송 가이드 장치 | |
JP2008308266A (ja) | ローラコンベア及び搬送制御方法 | |
KR101201702B1 (ko) | 가이드 롤러 장치 | |
TWI602788B (zh) | 用於分離脆性材料片的分離裝置以及用於分離脆性材料片的方法 | |
KR101899387B1 (ko) | 대면적 기판의 이송장치 | |
KR20090006984A (ko) | 이중 롤러를 이용한 디버터 컨베이어 | |
EP2862819A1 (en) | Wafer conveyor system and method of assembling a wafer conveyor system | |
CN101814451A (zh) | 同步传输装置及具有该装置的直线传输系统和控制方法 | |
KR101904892B1 (ko) | 대면적 기판의 이송장치 | |
KR101416593B1 (ko) | 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 | |
KR101071268B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR101427596B1 (ko) | 기판이송장치 | |
KR20090022453A (ko) | 이송장치 | |
KR102074345B1 (ko) | 워크반송장치 및 워크반송방법 | |
US8960515B2 (en) | Web guiding apparatus | |
CN201611649U (zh) | 同步传输装置及具有该装置的直线传输系统 | |
KR101102243B1 (ko) | 대면적 기판의 어라인장치 | |
JP5162882B2 (ja) | 搬送装置 | |
KR20140056855A (ko) | 기판 이송장치 | |
KR20130056659A (ko) | 대면적 기판의 접촉식 세정장치 | |
TW201437160A (zh) | 切割裝置 | |
KR102151965B1 (ko) | 롤러 모듈 및 이를 이용한 기판이송장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |