KR101416593B1 - 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 - Google Patents

롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 Download PDF

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김성호
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명은, 자성체를 이용한 기판 이송 장치에 있어서, 기판의 이송방향에 대해 길게 형성된 수직블럭과, 상기 수직블럭의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합된 상부롤러부 및 하부롤러부와, 상기 상부롤러부 및 하부롤러부를 구동시키기 위한 상부 자성구동부 및 하부 자성구동부를 구비하고, 기판을 포함하는 셔틀의 무게에 따른 상부롤러부 및 하부롤러부의 처짐을 방지하기 위해 그 반대쪽에 베어링하우징을 각각 형성한 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 기판을 포함하는 셔틀의 무게에 의해 하부롤러부 및 상부롤러부의 일측이 처지는 것을 방지하여, 기판이 일정한 속도로 원활하게 이송되도록 하여, 공정 진행이 효율적으로 이루어지도록 하는 이점이 있다.

Description

롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치{Substrate Transfer Device for Roller Shaft Sagging Prevention}
본 발명은 선형 증착 시스템에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 각 구성요소를 효율적으로 배치하고, 기판 및 셔틀과 같은 이송체에 의한 무게로 인해 한 쪽으로 롤러가 처지는 것을 방지하여 기판을 일정한 속도로 원활하게 이송시키고, 공정 챔버의 크기를 줄일 수 있도록 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기발광 다이오드(OLED)와 태양전지(Solar Cell) 등을 제조하는 경우에는 많은 단계의 제작 공정이 필요하다. 이러한 여러 단계의 제작 공정을 수행하기 위해서는 보통 별도의 공정을 위한 챔버들로 구성하고, 상기 챔버들 간에 기판을 이송하여 다양한 공정들을 수행하게 된다.
이러한 여러 단계의 제작 공정을 수행하기 위해 사용되는 종래의 이송 구조는 크게 두 가지로 구분할 수 있다.
첫째는 클러스터 타입(Cluster Type)으로 기판이 중앙에서 로봇에 의해 분배되어 각 챔버 혹은 모듈별로 공정을 실시하는 방식이며, 둘째는 연속 혹은 불연속 기판이 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 방식이다.
상기 클러스터 타입은 챔버들이 원형을 이루도록 배치되고, 중앙측에 로봇암(Robot Arm)을 사용하여 기판의 이송이 이루어진다. 즉, 하나의 챔버에서 공정을 수행한 후에 이를 꺼내어, 다시 다른 챔버로 이송하여 그 공정을 수행하며, 이 과정을 반복함으로써 소자의 제작이 이루어진다.
그러나, 상기와 같은 클러스터 타입은, 한 챔버에 있는 기판을 다른 챔버로 이송한 후, 비어있는 챔버로 기판을 다시 이송하여 위치시켜야 하기 때문에, 두 번의 이송작업을 하여야만 기판의 이송이 이루어지므로 기판의 이송이 비효율적이고, 제작 시간도 오래 걸리는 단점이 있다.
이에 비해 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 방식은 상술한 클러스터 타입의 문제점을 해결할 수 있으나, 생산 효율과 단가를 낮추기 위해서 기판과 기판 사이의 간격을 각각의 공정에 최적화하여 최적의 선형 물류 공정을 진행하는 것이 요구된다.
종래의 선형 증착 시스템에서는, 여러 개의 공정 챔버가 선형으로 배열되어 기판이 각 공정 챔버를 선형으로 통과하면서 여러 개의 물질을 증착하게 된다. 물질을 증착하는 동안에는 충분하고 균일한 물질의 증착을 위하여 일정 속도로 기판이 이동하여 증착 소스를 스캔하게 되며, 여러 물질의 증착이 끝난 후에는 정지 상태에서 수행되는 마스크 교체 공정, 얼라인 공정 및 봉지 공정 등 여러 공정이 수행된다.
이러한 선형 증착 시스템에 있어서는 기판의 이송을 위해서 종래 다양한 기술이 나와 있다.
먼저, 기판의 이송을 위해서 기판을 운반하기 위한 이송체 하부에 인라인 형태의 롤러를 구비하여 롤러의 회전과 동시에 기판을 포함한 이송체가 특정 방향으로 이송되도록 하였다. 여기에서, 롤러에는 이송체가 미끄러지지 않도록 고무 재질의 오링을 사용한 기술이 있다.
이는 도 1과 같이, 이송체로써 셔틀을 구비하고, 상기 셔틀에 기판 및 마스크 등을 안착하여, 셔틀 하부에 형성된 이송롤러에 의해 기판 및 마스크 등이 셔틀과 함께 이송되도록 한 것이다.
또한, 상기 기술에서 오링 사용으로 인한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인이 출원(출원번호 10-2012-0072583)한 "자성체를 이용한 기판 이송 장치"에 대한 기술로, 이송체와 이송롤러 모두 자성체로 형성되어, 비접촉 방식으로 이송체를 포함하는 기판을 이송시키는 기술이 있다.
또한, 본 출원인이 출원(출원번호 10-2011-0141851)한 "인라인 증착 시스템의 기판 제조장치"에 대한 기술로, 이송롤러 및 구동롤러를 자성체로 형성하여, 비접촉 방식으로 이송체를 포함하는 기판을 이송시키는 기술이 있다.
그러나, 종래의 다양한 기판 이송 장치는 기판을 포함하는 이송체나 셔틀 쪽에 무게 중심이 쏠려, 공정이 진행되는 동안 이송체나 셔틀 쪽에 접하게 되는 이송롤러 측이 처지는 문제점이 종종 발생하였다. 이에 의해 자성체 간에 붙거나 벌어져 무빙의 안정성이 문제가 되고 있으며. 기판의 이송 속도나 공정 간격에 지장을 초래하곤 하였다.
또한, 종래의 이송장치에 있어서, 기판 회수용 라인과 증착 공정용 라인과 같이, 2단으로 이송라인이 형성된 경우에는 구동부와 이송롤러 등이 공간 상 비효율적으로 설계되어 챔버의 크기가 증가하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 및 셔틀과 같은 이송체에 의한 무게로 인해 한 쪽으로 롤러가 처지는 것을 방지하여 기판을 일정한 속도로 원활하게 이송시킬 수 있도록 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치의 제공을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 자성체를 이용한 기판 이송 장치에 있어서, 기판의 이송방향에 대해 길게 형성된 수직블럭과, 상기 수직블럭의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합되고, 상기 수직블럭의 일측으로는 상부 이송롤러가 형성되며, 상기 수직블럭의 타측으로는 상부 자성롤러가 형성된 상부롤러부와, 상기 상부롤러부 하측에 상기 수직블럭의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합되고, 상기 수직블럭의 일측으로는 하부 이송롤러가 형성되며, 상기 수직블럭의 타측으로는 하부 자성롤러가 형성된 하부롤러부와, 상기 상부 자성롤러의 자기력이 미치는 영역에 형성되어, 상기 상부 자성롤러를 자기력에 의해 회전시키도록 형성된 상부 자성구동부와, 상기 하부 자성롤러의 자기력이 미치는 영역에 형성되어, 상기 하부 자성롤러를 자기력에 의해 회전시키도록 형성된 하부 자성구동부를 포함하여 구성되며, 상기 상부 자성롤러 타측에 결합되어, 상기 상부 이송롤러 측의 처짐을 방지하도록 형성된 상부 베어링하우징과, 상기 하부 자성롤러 타측에 결합되어, 상기 하부 이송롤러 측의 처짐을 방지하도록 형성된 하부 베어링하우징을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치를 기술적 요지로 한다.
또한, 상기 상부롤러부는, 상기 수직블럭에 관통 결합되어 상기 수직블럭의 양측으로 롤러축이 연장형성되고, 상기 롤러축의 일측에 상기 상부 이송롤러가 결합되며, 상기 롤러축의 타측에 상기 상부 자성롤러가 결합되고, 상기 하부롤러부는, 상기 수직블럭에 관통 결합되어 상기 수직블럭의 양측으로 롤러축이 연장형성되고, 상기 롤러축의 일측에 상기 하부 이송롤러가 결합되며, 상기 롤러축의 타측에 상기 하부 자성롤러가 결합되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수직블럭의 일측으로 연장형성된 롤러축 외주면에 형성되며, 타단부가 상기 수직블럭에 고정결합되는 고정 축가이드부재가 더 형성되며, 상기 수직블럭의 타측으로 연장형성된 롤러축 외주면에 결합되는 회전 축가이드부재가 더 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 상부 자성구동부는, 상기 상부 자성롤러 상측에 형성되며, 각 상부 자성롤러에 대응되어 상부 자성구동롤러가 형성되며, 상부 자성구동롤러는 구동부에 의해 구동되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부 자성구동부는, 상기 하부 자성롤러 하측에 형성되며, 각 하부 자성롤러에 대응되어 하부 자성구동돌러가 형성되며, 하부 자성구동롤러는 구동부에 의해 구동되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부롤러부는, 상기 수직블럭의 타측으로 형성된 하부 자성롤러가 상기 상부 자성롤러보다 더 돌출되어 형성된 것이 바람직하며, 상기 수직블럭에 수직 결합되고, 상기 상부 자성구동부 및 하부 자성구동부가 결합되며, 상부측에 비해 하부측의 수평폭이 더 크게 형성되어 상기 하부 자성롤러를 하부측에 고정시키는 단차형 블럭이 더 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 상부 베어링하우징은, 기판의 이송방향에 대해 길게 형성되어 상기 상부 자성롤러 전체와 베어링 결합되고, 상기 하부 베어링하우징은, 기판의 이송방향에 대해 길게 형성되어 상기 하부 자성롤러 전체와 베어링 결합되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 상부 베어링하우징 및 하부 베어링하우징은, 상기 단차형 블럭에 결합고정되는 것이 바람직하다.
여기에서, 상기 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치는, 상기 수직블럭 하부에 하부 플레이트가 형성되어 공정 챔버에 고정결합시키는 것이 바람직하다.
본 발명은, 각 구성요소 간에 빈 공간을 줄이면서 효율적으로 배치가 이루어지도록 하여, 공정 챔버 내 공간을 효율적으로 활용할 수 있도록 하여 공정 챔버 전체의 크기를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 기판이 위치하는 반대쪽에 베어링하우징을 설치하여, 기판을 포함하는 셔틀의 무게에 의해 하부롤러부 및 상부롤러부의 일측이 처지는 것을 방지하여, 기판이 일정한 속도로 원활하게 이송되도록 하여, 공정 진행이 효율적으로 이루어지도록 하는 효과가 있다.
도 1 - 종래의 기판 이송을 위한 장치를 개략적으로 나타낸 도.
도 2 - 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치의 주요부에 대한 사시도.
도 3 - 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치의 주요부에 대한 측면도.
본 발명은 선형으로 배치된 공정 챔버 내부로 기판이 이송되면서, 기판에 대한 각 공정이 진행되는 선형 증착 시스템에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
특히, 본 발명은, 기판이 비접촉 방식의 자성체에 의해 구동력을 전달받아 이송되도록 하는 자성체를 이용한 기판 이송 장치에 있어서, 기판 및 셔틀과 같은 이송체에 의한 무게로 인해 한 쪽으로 롤러부가 처지는 것을 방지하여 기판을 일정한 속도로 원활하게 이송시킬 수 있도록 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하고자 한다. 도 1은 종래의 기판 이송을 위한 장치를 개략적으로 나타낸 도이고, 도 2는 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치의 주요부에 대한 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치의 주요부에 대한 측면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 또는 기판과 마스크를 이송체(일반적으로 선형 증착 시스템에서는 기판을 운반하고 특정 영역으로 이동시키기 위해 기판을 그 상부에 안착시키는 것으로서, 이하에서는 편의상 "셔틀"(shuttle)이라고 한다.) 상면에 안착시키고, 셔틀 하부에 접촉된 이송롤러의 구동에 의해 셔틀과 기판이 특정 방향으로 이송되게 된다.
본 발명에서는 상기 이송롤러를 구동시키는 방법 중의 하나로 자성체를 이용한 비접촉 방식을 사용하는 것으로, 도 2 및 도 3에 이를 상세히 나타내었다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치는, 수직블럭(100)과, 상기 수직블럭(100)에 결합된 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)와, 상기 상부롤러부(200)와 하부롤러부(300)를 구동시키기 위한 상부 자성구동부(400) 및 하부 자성구동부(500)와, 기판 및 셔틀의 무게에 따른 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)가 한 쪽으로 처지는 것을 방지하고자 형성된 상부 베어링하우징(600) 및 하부 베어링하우징(700)으로 크게 구성된다.
먼저, 상기 수직블럭(100)은 판상으로 형성되어, 기판의 이송방향에 대해 길게 형성되고, 후술할 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)가 상하로 결합될 수 있을 정도의 폭으로 형성된다.
상기 수직블럭(100)은 하나의 공정 챔버에 수용되는 것으로서, 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)의 축이 결합되어 이를 고정시키고, 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)의 축이 수평을 유지할 수 있도록 축을 잡아주게 된다. 여기에서 상기 수직블럭(100)과 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)의 축과의 결합은 베어링 결합되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 상부롤러부(200) 및 하부롤러부(300)에 대해 설명하고자 한다. 상기 상부롤러부(200)는 증착 공정 등이 완료된 기판을 회수하는 방향으로 구동되고, 상기 하부롤러부(300)는 증착 공정을 수행하기 위해 기판을 공급하는 방향으로 구동되는 것으로서, 일반적으로 하부롤러부(300)에서 기판을 이송하여 그에 대한 공정이 완료되면, 상부롤러부(200)는 그 반대방향으로 구동되어 기판을 회수하게 되는 방식으로 이루어진다.
상기 상부롤러부(200)는 상기 수직블럭(100)의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합되고, 상기 수직블럭(100)의 일측으로는 상부 이송롤러(210)가 형성되며, 상기 수직블럭(100)의 타측으로는 상부 자성롤러(220)가 형성된다.
상세하게는, 상기 수직블럭(100)을 중심으로 상기 상부롤러부(200)의 롤러축이 관통결합되어, 상기 수직블럭(100)의 일측으로 연장형성된 롤러축에는 상부 이송롤러(210)가 형성되어 기판 및 셔틀이 안착되어 이송되게 되며, 상기 수직블럭(100)의 타측으로 연장형성된 롤러축에는 상부 자성롤러(220)가 구비되어 후술할 상부 자성구동부(400)의 상부 자성구동롤러(410)와 비접촉 방식으로 구동력을 제공받아 상부롤러부(200)가 회전할 수 있도록 하는 것이다.
또한, 상기 수직블럭(100)의 일측으로 연장형성된 롤러축 외주면에는 타단부가 상기 수직블럭(100)에 고정결합되어 형성된 고정 축가이드부재(230)가 더 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 고정 축가이드부재(230)를 롤러축을 에워싸는 원통형으로 형성되고 롤러축을 잡아주는 역할을 하여 롤러축이 흔들리거나 처지는 것을 방지하고자 하는 것으로서, 상기 고정 축가이드부재(230) 및 롤러축과는 베어링 결합될 수도 있다.
또한, 상기 수직블럭(100)의 타측으로 연장형성된 롤러축 외주면에는 회전 축가이드부재(240)가 더 형성되는 것이 바람직하며, 롤러축과 회전 축가이드부재(240)는 베어링 결합되는 것이 바람직하다.
상기 고정 축가이드부재(230)는 상기 수직블럭(100)의 일측에서 롤러축을 잡아주는 역할을 하는 것이고, 상기 회전 축가이드부재(240)는 상기 수직블럭(100)의 타측에서 롤러축을 잡아주는 역할을 하는 것이다.
그리고, 상기 하부롤러부(300)는 상기 상부롤러부(200) 하측에 형성되는 것으로서, 상기 상부롤러부(200)와 비슷하게 상기 수직프레임에 결합되며, 수직프레임의 일측으로는 하부 이송롤러(310)가 형성되고, 수직프레임의 타측으로는 하부 이송롤러(310)가 형성된다.
또한, 상기 하부롤러부(300)는 상기 수직블럭(100)에 관통 결합되어 상기 수직블럭(100)의 양측으로 롤러축이 연장형성되고, 상기 롤러축의 일측에 상기 하부 이송롤러(310)가 결합되며, 상기 롤러축의 타측에 상기 하부 자성롤러(320)가 결합되어 형성된다.
그리고, 상기 하부롤러부(300) 또한 상기 고정 축가이드부재(330) 및 회전 축가이드부재(340)가 형성되어, 롤러축이 흔들리지 않도록 잡아주는 역할을 하게 된다.
한편, 상기 하부롤러부(300)는 상기 수직프레임의 타측으로 형성된 하부 자성롤러(320)가 상기 상부 자성롤러(220)보다 더 돌출되게 형성되어, 상기 상부롤러부(200)의 상부 자성롤러(220)랑 비교하여 단차를 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.
이와 같이 하부롤러부(300)를 수직프레임의 타측으로 더 길게 형성하는 것은, 후술할 자성구동부 등의 배치에 있어서, 빈 공간을 줄이고 보다 효율적으로 배치가 이루어지도록 하여, 공정 챔버 내 공간을 효율적으로 활용할 수 있도록 하여 공정 챔버 전체의 크기를 줄일 수 있는 이점이 있다.
다음으로, 상기 상부 자성구동부(400)는 상기 상부 자성롤러(220)의 자기력이 미치는 영역에 형성되어, 상기 상부 자성롤러(220)를 자기력에 의해 회전시키는 것으로, 상기 상부 자성롤러(220) 상측에 형성되며, 각 상부 자성롤러(220)에 대응되어 상부 자성구동롤러(410)가 형성된 것이다. 여기에서, 상기 상부 자성구동롤러(410)는 구동부에 의해 축결합되어 구동되는 것이다.
상세하게는 상기 상부 자성롤러(220) 및 상부 자성구동롤러(410)는 서로 접촉하지 않도록 일정한 틈새를 유지하며, 서로 다른 극성을 가지는 복수개의 분할자석부가 원주방향으로 교대로 배열된 형태로 이루어진다.
그리고, 상기 상부 자성구동롤러(410)의 축에 모터와 같은 구동부를 결합하여 상기 상부 자성구동롤러(410)를 회전시키면, 상기 상부 자성롤러(220) 및 상기 상부 자성구동롤러(410) 간의 극성 변화에 따른 인력 및 척력의 자기력이 발생하게 되어, 상기 상부 자성롤러(220)를 회전시키게 되고 이에 의해 상기 상부 이송롤러(210)가 회전하게 되는 것이다.
이러한 자성체를 이용하여 이송롤러를 회전시켜, 기판을 이송시키는 방식은 비접촉식 구동이 가능하여 마찰에 의한 진공 내에서의 파티클 발생을 방지할 뿐만 아니라 부드러운 기판의 이송이 가능하게 되는 것이다.
다음으로, 상기 하부 자성구동부(500)도 상기 상부 자성구동부(400)와 비슷하게 형성되는데, 다만, 상기 하부 자성구동부(500)는 상기 하부 자성롤러(320) 하측에 형성되어, 각 하부 자성롤러(320)에 대응되어 하부 자성구동롤러(도면 상에서는 하부 베어링하우징에 가려서 보이지 않음)가 형성된 것이다. 상기 하부 자성구동부(500)의 하부 자성구동롤러는 구동부에 의해 축결합되어 구동되게 되며, 이는 상기 상부 자성구동롤러(410)와 동일한 원리에 의해 작동되게 된다.
상기에서 약간 언급한 바와 같이, 상기 하부롤러부(300)는 상기 수직 프레임의 타측으로 형성된 하부 자성롤러(320)가 상기 상부 자성롤러(220)보다 더 돌출되어 형성되고, 상기 하부 자성구동부(500)는 상기 하부 자성롤러(320) 하측에 형성되도록 배치하여, 전체적으로 각 구성요소가 빈 공간이 없이 효율적으로 위치되도록 하여, 롤러 블럭 전체의 소형 구현이 가능한 이점이 있다. 이에 의해 공정 챔버 내부의 공간을 효율적으로 활용할 수 있어, 공정 챔버의 크기를 줄일 수 있게 된다.
한편, 상기 수직블럭(100)에 수직 결합되고, 상기 상부 자성구동부(400) 및 하부 자성구동부(500)가 결합되며, 상부측에 비해 하부측의 수평폭이 더 크게 형성되어 상기 하부 자성롤러(320)를 하부측에 고정시키는 단차형 블럭(800)이 더 형성되도록 한다.
즉, 상기 단차형 블럭(800)은 상기 수직블럭(100)의 길이에 따라 3개 정도가 이격되어 상기 수직블럭(100)에 수직으로 결합되어 형성되면서, 그 형태가 상부측에 비해 하부측의 수평폭이 더 크게 형성된 것이다. 이는 공간의 효율적인 배치를 위해 상기 하부롤러부(300)의 하부 자성롤러(320) 쪽의 축이 더 길게 형성된 경우에, 자연스럽게 상기 단차형 블럭(800) 하부측에 결합될 수 있도록 하기 위한 것이다.
여기에서, 상기 상부 베어링하우징(600)은 상기 상부 자성롤러(220) 타측에 결합되어, 상기 상부 이송롤러(210) 측의 처짐을 방지하도록 형성된 것으로, 기판의 이송 방향에 대해 길게 형성되어 상기 상부 자성롤러(220) 전체와 베어링 결합되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 하부 베어링하우징(700)도 상기 상부 베어링하우징(600)과 유사하게 상기 하부 자성롤러(320) 타측에 결합되어, 상기 하부 이송롤러(310) 측의 처짐을 방지하도록 형성된 것으로서, 기판의 이송 방향에 대해 길게 형성되어 상기 하부 자성롤러(320) 전체와 베어링 결합되는 것이다.
상기 상부 베어링하우징(600)은 상술한 바와 같이, 상기 상부 자성롤러(220) 타측, 즉, 상부롤러부(200) 전체로 보면 기판이 위치하는 곳의 정반대 쪽에 형성되는 것이다.
즉, 상기 상부롤러부(200)의 상부 이송롤러(210) 측에 기판을 포함하는 셔틀이 위치하여 셔틀이 이송되면서 상부 이송롤러(210)를 자연스럽게 누르게 되므로, 전체적으로 상부 이송롤러(210) 측이 처지게 되는데, 상기 상부 베어링하우징(600)은 그 반대쪽에서 상부롤러부(200)를 잡아주면서, 무게 중심을 이동시키는 역할을 하여 롤러의 처짐을 방지하게 되는 것이다.
이러한 상부 베어링하우징(600)은 상기 단차형 블럭(800)에 결합고정되어, 상기 상부롤러부(200) 전체를 지지하고, 일측 방향으로의 상부롤러부(200)의 처짐을 더욱 방지하게 되는 것이다.
상기 하부 베어링하우징(700)도 상기 상부 베어링하우징(600)과 동일한 원리에 의해 작동하게 되며, 상세한 설명은 이에 갈음하고자 한다.
상기와 같이, 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치는, 수직블럭(100), 상부롤러부(200), 하부롤러부(300), 상부 자성구동부(400), 하부 자성구동부(500) 그리고 상부 베어링하우징(600) 및 하부 베어링하우징(700)을 포함하여 구성되어, 전체적으로 모듈화되어 하나의 공정 챔버 내부에 설치되게 되는데, 편의상 이를 롤러 블럭이라고도 한다.
이러한 본 발명에 따른 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 즉, 롤러 블럭은 상기 수직블럭(100) 하부에 하부 플레이트(900)를 형성하여 공정 챔버에 고정시키게 된다.
상기 하부 플레이트(900)는 상기 수직블럭(100)의 길이에 따라 바람직하게는 상기 단차형 블럭(800) 하부에 각각 형성되어, 공정 챔버에 안정적으로 고정되도록 하며, 롤러 블럭의 정렬을 위한 셋팅 스크류를 위한 홀 등이 형성되어 있다.
100 : 수직블럭 200 : 상부롤러부
210 : 상부 이송롤러 220 : 상부 자성롤러
230 : 고정 축가이드부재 240 : 회전 축가이드부재
300 : 하부롤러부 310 : 하부 이송롤러
320 : 하부 자성롤러 330 : 고정 축가이드부재
340 : 회전 축가이드부재 400 : 상부 자성구동부
410 : 상부 자성구동롤러 500 : 하부 자성구동부
600 : 상부 베어링하우징 700 : 하부 베어링하우징
800 : 단차형 블럭 900 : 하부 플레이트

Claims (13)

  1. 자성체를 이용한 기판 이송 장치에 있어서,
    기판의 이송방향에 대해 길게 형성된 수직블럭;
    상기 수직블럭의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합되고, 상기 수직블럭의 일측으로는 상부 이송롤러가 형성되며, 상기 수직블럭의 타측으로는 상부 자성롤러가 형성된 상부롤러부;
    상기 상부롤러부 하측에 상기 수직블럭의 길이 방향으로 복수개가 배치되어 결합되고, 상기 수직블럭의 일측으로는 하부 이송롤러가 형성되며, 상기 수직블럭의 타측으로는 하부 자성롤러가 형성된 하부롤러부;
    상기 상부 자성롤러의 자기력이 미치는 영역에 형성되어, 상기 상부 자성롤러를 자기력에 의해 회전시키도록 형성된 상부 자성구동부;
    상기 하부 자성롤러의 자기력이 미치는 영역에 형성되어, 상기 하부 자성롤러를 자기력에 의해 회전시키도록 형성된 하부 자성구동부;를 포함하여 구성되며,
    상기 상부 자성롤러 타측에 결합되어, 상기 상부 이송롤러 측의 처짐을 방지하도록 형성된 상부 베어링하우징;
    상기 하부 자성롤러 타측에 결합되어, 상기 하부 이송롤러 측의 처짐을 방지하도록 형성된 하부 베어링하우징;을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 상부롤러부는,
    상기 수직블럭에 관통 결합되어 상기 수직블럭의 양측으로 롤러축이 연장형성되고, 상기 롤러축의 일측에 상기 상부 이송롤러가 결합되며, 상기 롤러축의 타측에 상기 상부 자성롤러가 결합되고,
    상기 하부롤러부는,
    상기 수직블럭에 관통 결합되어 상기 수직블럭의 양측으로 롤러축이 연장형성되고, 상기 롤러축의 일측에 상기 하부 이송롤러가 결합되며, 상기 롤러축의 타측에 상기 하부 자성롤러가 결합되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 수직블럭의 일측으로 연장형성된 롤러축 외주면에 형성되며, 타단부가 상기 수직블럭에 고정결합되는 고정 축가이드부재가 더 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 수직블럭의 타측으로 연장형성된 롤러축 외주면에 결합되는 회전 축가이드부재가 더 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 상부 자성구동부는,
    상기 상부 자성롤러 상측에 형성되며, 각 상부 자성롤러에 대응되어 상부 자성구동롤러가 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 상부 자성구동부의 상부 자성구동롤러는 구동부에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 하부 자성구동부는,
    상기 하부 자성롤러 하측에 형성되며, 각 하부 자성롤러에 대응되어 하부 자성구동돌러가 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 하부 자성구동부의 하부 자성구동롤러는 구동부에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 하부롤러부는,
    상기 수직블럭의 타측으로 형성된 하부 자성롤러가 상기 상부 자성롤러보다 더 돌출되어 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 수직블럭에 수직 결합되고, 상기 상부 자성구동부 및 하부 자성구동부가 결합되며, 상부측에 비해 하부측의 수평폭이 더 크게 형성되어 상기 하부 자성롤러를 하부측에 고정시키는 단차형 블럭이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 상부 베어링하우징은,
    기판의 이송방향에 대해 길게 형성되어 상기 상부 자성롤러 전체와 베어링 결합되고,
    상기 하부 베어링하우징은,
    기판의 이송방향에 대해 길게 형성되어 상기 하부 자성롤러 전체와 베어링 결합되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 상부 베어링하우징 및 하부 베어링하우징은,
    상기 단차형 블럭에 결합고정되는 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
  13. 제 1항 내지 제 12항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치는, 상기 수직블럭 하부에 공정 챔버에 고정을 위한 하부 플레이트가 형성된 것을 특징으로 하는 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치.
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