KR101174401B1 - 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치 - Google Patents

인라인 증착 시스템의 기판 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치에 관한 것으로서, 본 발명의 기판 제조장치는 기판을 제조하기 위한 공정이 수행되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 내에서 선형방향으로 기판을 이송시키기 위해 상기 공정챔버 내부에 기판의 이송방향으로 길게 설치되는 기판이송수단과, 상기 공정챔버의 각 구간별로 상기 기판이송수단을 구동하는 구동수단을 포함함으로써, 공정챔버 내에 기판이송수단이 설치되어 기판을 이송시키면서 공정을 진행할 수 있으므로 처리 속도가 향상되고, 증착물질을 절약하여 고 증착효율을 갖을 뿐 아니라 장치의 구성을 간단히 하여 시스템 제작 비용을 크게 절감할 수 있다.

Description

인라인 증착 시스템의 기판 제조장치{Apparatus for Manufacturing Substrates of In-line Deposition System}
본 발명은 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버 내에 기판이송수단이 설치되어 기판을 이송시키면서 공정을 진행할 수 있으므로 처리 속도가 향상되고, 증착물질을 절약하여 고 증착효율을 갖을 뿐 아니라 장치의 구성을 간단히 하여 시스템 제작 비용을 크게 절감할 수 있는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기발광 다이오드(OLED)와 태양전지(Solar Cell) 등을 제조하는 경우에는 많은 단계의 제작공정이 필요하다. 이러한 여러 단계의 제작공정을 수행하기 위해서는 보통, 별도의 공정을 위한 챔버들을 구성하고, 상기 챔버들 간에 기판을 이송하여 다양한 공정들을 수행하게 된다.
이러한 여러 단계의 제작공정을 수행하기 위해 사용되는 종래의 이송 구조는 크게 두 가지로 구분할 수 있다. 첫째는 클러스터 타입(Cluster type)으로 기판이 중앙에서 로봇에 의해 분배되어 각 챔버 혹은 모듈별로 공정을 실시하는 방식이며, 둘째는 연속 혹은 불연속 기판이 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 방식이다.
상기 클러스터 타입은 챔버들이 원형을 이루도록 배치되고, 중앙측에 로봇 암(Robot Arm)을 사용하여 기판의 이송이 이루어진다. 즉, 하나의 챔버에서 공정을 수행한 후에 이를 꺼내어, 다시 다른 챔버로 이송하여 그 공정을 수행하며, 이 과정을 반복함으로써 소자의 제작이 이루어진다.
그러나, 상기와 같은 클러스터 타입은, 한 챔버에 있는 기판을 다른 챔버로 이송한 후, 비어있는 챔버로 기판을 다시 이송하여 위치시켜야 하기 때문에, 두 번의 이송작업을 하여야만 기판의 이송이 이루어지므로 기판의 이송이 비효율적이고, 제작 시간도 오래 걸리는 단점이 있다.
이에 비해, 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 방식은 상술한 클러스터 타입의 문제점을 해결할 수 있으나, 생산효율과 단가를 낮추기 위해서 기판과 기판 사이의 간격을 각각의 공정에 최적화하여 최적의 선형 물류 공정을 진행하는 것이 요구된다.
종래의 선행기술로서, 등록특허 10-0430336호는 도 1에서 보는 바와 같이, 다수개의 개구부(110)가 형성되고, 펌프포트(120)가 설치되는 기판이송챔버(100)와; 상기 기판이송챔버(100) 내부에 설치되어, 상기 각각의 다수개의 개구부(110)에서 해당 공정과정을 끝낸 기판들을 상기 기판이송챔버(100) 내에서 다음의 개구부(110)로 이동시키는 기판이송수단(200)과; 상기 기판이송챔버(100)의 개구부(110)에 부착되는 다수개의 챔버(300)로 구성되는 유기 전계 발광소자의 제작장치가 개시되어 있다.
이와 같은 선행기술은 기판의 이송을 선형적으로 함으로써, 보다 효율적인 이송이 가능하여 제작시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
그러나, 상술한 선행기술은 기판을 이송시키기 위한 구성으로서, 별도의 기판이송챔버(100)를 구비하고, 기판이송챔버(100) 내부에 기판이송수단(200)을 구비하여, 상기 기판이송수단(200)이 기판이송챔버(100)의 개구부를 통해 기판을 챔버(300) 내부에 삽입하여 공정을 진행한 후 다음의 개구부로 이동시키는 구조이므로, 장치를 구성하는데 필요한 구성요소의 개수가 많고 전체 장치의 구성이 매우 복잡한 문제점이 있다.
또한, 챔버 별로 공정이 진행되므로 각각의 챔버에 별도의 진공시스템을 구축해야 하기 때문에 시스템 제작 비용이 매우 높아진다는 문제점이 있다.
또한, 기판이송챔버(100)와 공정챔버(330)들을 분리함으로써, 상기 기판이송챔버(100)의 개구부(110)를 밀폐할 수 있는 덮개밸브(240) 및 별도의 밀폐수단(10)이 구비되어야 하는 단점이 있다.
또한, 기판이송수단(200)으로 레일(210)과 이동체(220)를 적용하여, 상기 레일(210)과 이동체(220)를 통해 기판을 이송시킴으로써, 레일(210)과 이동체(220) 간의 마찰로 인해 입자들이 발생할 수 있는 가능성이 크고, 발생한 입자들이 증착과정이 이루어지는 기판(221)과 마스크(222)측으로 이동하여 제품의 품질에 악영향을 미칠 수 있는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 별도의 기판이송챔버를 구성하지 않고 공정챔버 내에서 기판이송수단을 구비하여, 시스템의 구성을 간단히 하여 시스템 제작 비용을 크게 절감할 수 있는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 공정챔버 내 기판이송수단이 설치되어 기판을 이송시키면서 공정을 진행할 수 있으므로 처리 속도가 향상되고, 증착물질을 절약하여 고 증착효율을 갖을 수 있는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 기판을 이송하기 위한 구성으로 마그네틱 롤러장치를 적용함으로써, 챔버 내에서 입자들이 발생할 수 있는 가능성을 크게 줄여 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 기판을 제조하기 위한 공정이 수행되는 공정챔버와, 상기 공정챔버 내에서 선형방향으로 기판을 이송시키기 위해 상기 공정챔버 내부에 기판의 이송방향으로 길게 설치되는 기판이송수단과, 상기 공정챔버의 각 구간별로 상기 기판이송수단을 구동하는 구동수단을 포함하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치가 제공된다.
본 발명에 있어서, 상기 기판이송수단은 상기 공정챔버의 양측에 소정간격으로 설치되어 기판의 이송방향으로 열을 이루는 다수개의 롤러부재로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 롤러부재는 하부롤러부재와, 상기 하부롤러부재의 상측에 위치하는 상부롤러부재로 이루어지어 2층의 구조를 갖을 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 하부롤러부재에서는 상기 기판이 일방향으로 이동하며 공정이 이루어지고, 상기 하부롤러부재의 단부에서 기판이 상기 상부롤러부재로 이송되어 반대방향으로 되돌아오도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 롤러부재는 상기 공정챔버의 각 구간별로 그룹을 이루도록 각 구간별로 하나의 구동축에 연결되어 구동할 수 있다.
또한, 상기 구동수단은 상기 구동축을 구동하기 위한 구동모터와, 상기 구동모터의 출력축과 상기 구동축 사이에 회전력을 전달하기 위한 제1 회전력전달수단과, 상기 구동축과 상기 롤러부재 사이에 회전력을 전달하기 위한 제2 회전력전달수단을 포함할 수 있다.
상기 제1 회전력전달수단 또는 제2 회전력전달수단은 비접촉 방식의 마그네틱 롤러장치로 이루어질 수 있다.
상기 공정챔버의 각 구간 사이에는 구동축과 연결되지 않은 아이들러 롤러가 설치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공정챔버의 양단에는 상기 기판을 상하 이송시킬 수 있는 상하이송구간이 구비될 수 있다.
또한, 상기 공정챔버의 일측부에는 상기 기판 또는 마스크를 탈부착할 수 있는 탈부착용 구간 또는 탈부착용 챔버를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공정챔버 내의 기판의 위치를 감지하기 위해 설치되는 감지수단과, 상기 감지수단의 감지를 통해 상기 구동수단을 제어하기 위한 제어수단이 더 포함될 수 있다.
본 발명에서, 상기 공정챔버 내에서 구간별 기판의 이송속도를 조절하도록 상기 감지수단은 상기 기판의 이송방향으로 각 구간이 끝나는 지점에 설치되어, 상기 기판이 각 구간을 통과하는 시점을 감지할 수 있다.
위에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따르면, 본 발명은 별도의 기판이송챔버를 구성하지 않고 공정챔버 내에서 기판이송수단을 구비하여, 시스템의 구성을 간단히 하여 시스템 제작 비용을 크게 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 공정챔버 내 기판이송수단이 설치되어 기판을 이송시키면서 공정을 진행할 수 있으므로 처리 속도가 향상되고, 증착물질을 절약하여 고 증착효율을 갖을 수 있다.
또한, 기판을 이송하기 위한 구성으로 마그네틱 롤러장치를 적용함으로써, 챔버 내에서 입자들이 발생할 수 있는 가능성을 크게 줄여 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 공정챔버 내에서 구간별로 롤러의 이송속도를 달리함으로써, 빠른 택 타임(Tact time) 구현이 가능하므로 제품의 생산속도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 증착공정에서의 기판 사이의 간격이 최소화되므로 높은 증착효율 구현이 가능하여 생산품의 가격을 낮출 수 있다.
도 1은 종래의 선형 증착 시스템의 일예를 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치에 따른 일실시예의 구성을 보인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 기판 제조장치에서의 기판이송에 대한 구성을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 기판 제조장치의 구성을 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 기판이송수단으로서의 롤러와 구동수단을 부분적으로 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 기판이송수단으로서의 롤러와 구동수단을 부분적으로 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 인라인 증착 시스템에 적용되는 기판 어셈블리와 셔틀의 조립상태를 도시한 정단면도이다.
도 8은 본 발명의 기판이송수단의 선형시스템 방향으로의 거리(L0)를 도시한 평면도이다.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치에 따른 일실시예의 구성을 보인 사시도이고, 도 3은 본 발명의 기판 제조장치에서의 기판이송에 대한 구성을 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 4는 본 발명의 기판 제조장치의 구성을 도시한 평면도이다.
본 발명은 기판을 제조하기 위한 공정이 수행되는 공정챔버(10)와, 상기 공정챔버(10) 내에서 선형방향으로 기판을 이송시키기 위한 기판이송수단과, 상기 공정챔버(10)의 각 구간별로 상기 기판이송수단을 구동하는 구동수단을 포함하여 이루어진다.
상기 공정챔버(10)는 기판의 로딩, 증착 및 기타 공정이 수행되는 챔버로서, 도면에는 도시되지 않았으나 펌프 포트와 도어 등이 설치될 수 있다.
또한, 상기 공정챔버(10)는 기판이 선형방향으로 이송되면서 공정이 수행될 수 있도록 기판이송방향으로 길게 형성되며, 공정챔버(10) 내에는 기판이송수단이 설치된다.
상기 기판이송수단은 기판의 이송방향으로 길게 설치되는 것으로서, 본 발명에 있어서, 상기 기판이송수단은 도 3에서 보는 바와 같이, 상기 공정챔버(10)에 소정간격으로 설치되어 기판의 이송방향으로 열을 이루는 다수개의 롤러부재(31)(34)로 이루어질 수 있다.
상기 롤러부재(31)(34)는 도 4에서 보는 바와 같이, 기판을 양측에서 지지할 수 있도록 공정챔버(10)의 양측에 설치되는 것으로, 본 발명에서는 도 7에서 보는 바와 같이, 기판(22)이 셔틀(21)에 얹혀진 상태에서 공정챔버(10) 내부를 이동하는데, 통상 상기 셔틀(21)에는 기판(22), 마스크, 상부덮개(23), 기판홀더(24)가 얹혀지어, 기판어셈블리 형태로 공정챔버(10) 내부를 이동한다.
이하의 설명에서는 상기 기판어셈블리를 기판으로 명하여 서술하도록 한다.
여기서, 기판은 OLED, LED, 솔라 셀 등의 제조에 광범위하게 사용되는 기판을 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 롤러부재(31)(34)는 공정챔버(10)의 전 구간에 설치되어 기판을 이송하며, 상기 기판의 증착방향으로의 이송 및 1차적으로 증착공정이 완료된 기판의 회송을 위하여, 상기 롤러부재(31)(34)는 하부롤러부재(31)와, 상기 하부롤러부재(31)의 상측에 위치하는 상부롤러부재(34)로 이루어지어 2층의 구조를 갖도록 구성할 수 있다.
이와 같은 구성의 본 발명에서는, 상기 하부롤러부재(31)에서 상기 기판이 일방향으로 이동하며 공정이 이루어지고, 상기 하부롤러부재(31)의 단부에서 기판이 상기 상부롤러부재(34)로 이송되어 반대방향으로 되돌아오도록 구성된다.
즉, 상기 하부롤러부재(31)와 상부롤러부재(34)는 진행방향이 반대로 되며, 본 발명의 공정챔버(10)의 양측에는 기판을 상하 이송시킬 수 있는 상하이송구간이 구비되므로, 기판을 상기 하부롤러부재(31)와 상부롤러부재(34) 간에 이송시켜주어 공정챔버(10) 내에서의 공정이 원활하게 진행될 수 있다.
상기 롤러부재(31)(34)는 상기 공정챔버(10)의 각 구간별로 그룹을 이루도록 각 구간별로 하나의 구동축(42)에 연결되어 구동할 수 있다.
즉, 상기 롤러부재(31)(34)는 각 구간별로 상기 구동수단과 연결되어 구동되는데, 상기 구동수단은 상기 구동축(42)을 구동하기 위한 구동모터와, 상기 구동모터의 출력축과 상기 구동축(42) 사이에 회전력을 전달하기 위한 제1 회전력전달수단과, 상기 구동축과 상기 롤러부재 사이에 회전력을 전달하기 위한 제2 회전력전달수단을 포함할 수 있다.
본 발명에서는 도 5에서 보는 바와 같이, 소정간격으로 배열되는 다수개의 롤러부재(31a)(31b)가 구간별로 각각의 구동축(42a)(42b)에 연결되는데, 상기 구동축(42a)(42b)은 각각의 구동모터(43a)(43b)에 연결되어 있으므로, 상기 구동모터(43a)(43b)의 구동, 즉 회전에 따라 상기 구동축(42a)(42b)이 회전하게 되고, 상기 구동축(42a)(42b)에 연결된 롤러부재(31a)(31b)가 회전함으로써 기판을 선형방향으로 이송시키게 된다.
여기서, 상기 제1 회전력전달수단 또는 제2 회전력전달수단은 비접촉 방식의 마그네틱 롤러장치로 이루어질 수 있다.
도 6은 본 발명의 기판이송수단으로서의 롤러와 구동수단을 부분적으로 나타내는 사시도로서, 본 발명의 마그네틱 롤러장치를 상세하게 나타내기 위한 도면이다.
도 6에서 보는 바와 같이, 각각의 구동모터(43a)의 출력축(44)에는 제1 회전력전달수단으로서 한 쌍의 마그네틱 롤러(45a)(45b)가 설치된다.
상기 마그네틱 롤러(45a)(45b)는 서로 접촉하지 않도록 일정한 틈새를 유지하며, 서로 다른 극성을 가지는 복수개의 분할자석부가 원주방향으로 교대로 배열된 형태로 이루어지고, 구동축(42a)에 설치된 마그네틱 롤러(45b)는 극성에 의한 인력작용과 척력작용으로 회전력이 발생하도록 상기 출력축(44)에 설치된 마그네틱 롤러(45a)의 분할자석부의 배열에 대응하는 복수개의 분할자석부가 서로 다른 극성을 가지면서 원주방향으로 교대로 배열된 것이다.
따라서, 상기 구동모터(43a)가 회전하면, 이에 따라 비접촉 방식으로 구동축(42a)이 회전하는 것이다.
이러한 방법으로 두 개의 마그네틱 롤러(45a)(45b)를 이용하여 자력구동을 유도하므로, 비접촉식 구동이 가능하여 마찰에 의한 진공 내에서의 파티클 발생을 방지할 뿐만 아니라 부드러운 기판의 이송이 가능하게 되는 것이다.
또한, 이와 동일한 구성으로 제2 회전력전달수단도 이루어지는데, 즉, 상기 구동축(42a)과 상기 롤러부재(31a)에 연결된 축 사이에도 한 쌍의 마그네틱 롤러(46a)(46b)가 설치된다.
이와 같은 본 발명에서는 상기 구동모터(43a)의 구동, 즉 회전에 따라 상기 구동축(42a)이 회전하게 되고, 상기 구동축(42a)의 회전에 따라 상기 롤러부재(31a)가 회전함으로써, 상기 롤러부재(31a) 위에 얹혀지는 기판을 선형방향으로 이송시키게 된다.
여기서, 본 발명의 구동수단은 상기 롤러부재(31a)(31b)의 이송속도를 각 구간별로 구분하여 진행하도록 구성되므로, 공정챔버(10) 내의 각 구간은 상기 구동수단에 의하여 개별적인 속도 제어가 가능할 수 있다.
따라서, 공정챔버(10) 내에서 구간별로 기판의 이송속도를 조절하는 구성을 갖음으로써, 기판의 이송을 가속 또는 감속으로 조절하여 기판 간의 간격을 매우 좁힌 상태로 등속 이동할 수 있다.
한편, 본 발명의 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치는 도 3에서 보는 바와 같이, 공정챔버(10)의 선형방향으로 일측부에는 기판 또는 마스크를 탈부착 및 교체를 할 수 있는 탈부착용 구간(11)을 구비한다.
상기 탈부착용 구간(11)에는 기판 또는 마스크를 탈부착 또는 교체할 수 있는 탈부착수단이 구비되며, 상기 탈부착수단은 통상의 공지된 구성이 적용될 수 있으므로, 이에 대한 설명은 생략하도록 한다.
또한, 상기 탈부착용 구간(11)은 공정챔버(10)와 별도의 탈부착용 챔버로 구성할 수 있으며, 이에 대해서는 본 발명에서 한정하지 않는다.
본 발명의 일실시예에서는 상기 탈부착용 구간(11)의 선단부 및 공정챔버(10)의 양단에는 기판을 상하 이송시킬 수 있는 상하이송구간(12)(13)이 구비될 수 있다.
상기 상하이송구간(12)은 상기 하부롤러부재(31)와 상부롤러부재(34)로 이루어지는 2층 구조의 롤러부재 사이에서 기판을 상기 하부롤러부재(31)와 상부롤러부재(34) 간에 이송시켜주기 위한 구성으로서, 이를 구성함에 있어서 통상의 공지된 구성이 적용될 수 있으므로, 이에 대한 설명은 생략하도록 한다.
본 발명에서, 상기 공정챔버(10)는 각 구간 사이에 버퍼구간을 구비할 수 있는데, 상기 버퍼구간은 구동수단의 영향을 받지 않도록 어떠한 구동모터 또는 구동축에 연결되지 않으며, 바람직하게는 아이들러(Idler) 롤러(50)가 설치되어 기판이 상기 아이들러 롤러(50)에 지지되어 이송될 수 있도록 한다.
본 발명에 있어서, 상기 공정챔버(10) 내의 기판의 위치를 감지하기 위해 설치되는 감지수단과, 상기 감지수단의 감지를 통해 상기 구동수단을 제어하기 위한 제어수단이 더 포함될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 감지수단은 상기 기판이 각 구간을 통과하는 시점을 감지하기 위한 지점에 설치되는 감지센서로 이루어질 수 있다.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 기판 제조장치의 작동방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 기판이 상기 탈부착용 구간(11)에 반입되고, 상하이송구간(12)을 통과한 후 상기 공정챔버(10)에 이송된다.
상기 기판은 공정챔버(10) 내의 기판이송수단인 하부롤러부재(31)에 양측이 얹혀진 상태에서 상기 구동수단에 의해 선형방향으로 이송되는데, 본 발명의 공정챔버(10)는 각 구간(1)(2)(3)(4)(5)(6)(7) 별로 상기 하부롤러부재(31)가 각각의 구동모터 및 구동축에 연결되어 있으므로, 상기 구간별로 이송속도를 달리할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 기판의 위치를 감지하는 감지수단과, 상기 감지수단의 감지를 통해 상기 구동수단을 제어하는 제어수단이 구비되어 있으므로, 각 구간에 설치된 감지수단을 통해 기판의 위치를 감지하면, 상기 제어수단이 상기 구동모터의 회전속도를 제어하여 구간별 이송속도를 달리하게 되는 것이다.
예를 들어, 제1 구간(1)의 우측에 존재하는 감지센서에 의해 상기 기판의 선단부가 통과하는 것이 감지되면 구동수단에 의해 상기 기판이 가속되어 이송된다.
이후, 제2 구간(2) 내에 상기 기판이 진입하면 기판의 이송속도가 가변되고, 기판이 제1 구간(1)을 완전히 벗어나는 것이 감지되면, 제2 구간(2)의 속도는 구동수단에 의해 속도가 전환된다.
상기 기판은 제4 구간(4)을 등속도로 이송되면서 공정챔버 내의 공정이 진행된다.
이후, 상기 기판의 후단부가 제4 구간(4)을 벗어나는 것이 감지되면 구동수단에 의해 고속으로 가변되어 버퍼구간인 제5 구간(5)을 벗어나고, 제5 구간(5)을 통과한 기판 간의 사이를 띄어놓기 위해 제6 구간(6)에서는 가속된다.
이와 같이 공정이 진행된 기판은 공정챔버(10)의 타단에 구비된 상하이송구간(13)에 이르게 된다.
여기서, 상기 기판은 상기 하부롤러부재(31)에서 상부롤러부재(34)로 이송되어 반대방향으로 되돌아온다.
이와 같이 본 발명의 기판 제조장치는 상기 하부롤러부재(31)와 상부롤러부재(34)가 공정챔버(10) 내부에 설치되어 기판을 이송시키면서 공정을 진행할 수 있으므로 처리 속도가 향상되고, 증착물질을 절약하여 고 증착효율을 갖을 수 있는 것이다.
또한, 기판을 이송하기 위한 구성으로 마그네틱 롤러장치를 적용함으로써, 챔버 내에서 입자들이 발생할 수 있는 가능성을 크게 줄여 제품의 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
10 : 공정챔버 11 : 탈부착용 구간
12, 13 : 상하이송구간 31, 34 : 롤러부재
42 : 구동축 43a, 43b : 구동모터

Claims (13)

  1. 기판을 제조하기 위한 공정이 수행되는 공정챔버;
    상기 공정챔버 내에서 선형방향으로 기판을 이송시키기 위해 상기 공정챔버의 각 구간별로 그룹을 이루도록 설치되는 다수개의 롤러부재로 이루어지는 기판이송수단; 및
    상기 기판이송수단을 각 구간별로 구동하는 구동수단;
    을 포함하며,
    상기 구동수단은 상기 공정챔버의 각 구간별로 설치되는 구동모터와, 상기 구동모터의 출력축에 연결되어 회전력을 전달하기 위한 제1 회전력전달수단과, 상기 제1 회전력전달수단에 연결되어 상기 공정챔버의 각 구간별로 그룹을 이루는 다수개의 롤러부재를 구동하기 위한 구동축과, 상기 구동축과 상기 롤러부재 사이에 회전력을 전달하기 위한 제2 회전력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 롤러부재는 하부롤러부재와, 상기 하부롤러부재의 상측에 위치하는 상부롤러부재로 이루어지어 2층의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 하부롤러부재에서는 상기 기판이 일방향으로 이동하며 공정이 이루어지고,
    상기 하부롤러부재의 단부에서 기판이 상기 상부롤러부재로 이송되어 반대방향으로 되돌아오도록 구성되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 회전력전달수단 또는 제2 회전력전달수단은 비접촉 방식의 마그네틱 롤러장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 마그네틱 롤러장치는 서로 접촉하지 않도록 일정한 틈새를 유지하며, 서로 다른 극성을 가지는 복수개의 분할자석부가 원주방향으로 교대로 배열된 형태로 이루어지는 한 쌍의 마그네틱 롤러로 이루어지어, 상기 마그네틱 롤러의 극성에 의한 인력작용과 척력작용으로 회전력이 발생하도록 하는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정챔버의 각 구간 사이에는 구동축과 연결되지 않은 아이들러 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정챔버의 양단에는 상기 기판을 상하 이송시킬 수 있는 상하이송구간이 구비되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정챔버의 일측부에는 상기 기판 또는 마스크를 탈부착할 수 있는 탈부착용 구간 또는 탈부착용 챔버를 적어도 하나 이상 구비하는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정챔버 내의 기판의 위치를 감지하기 위해 설치되는 감지수단; 및
    상기 감지수단의 감지를 통해 상기 구동수단을 제어하기 위한 제어수단이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 기판 제조장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 공정챔버 내에서 구간별 기판의 이송속도를 조절하도록 상기 감지수단은 상기 기판의 이송방향으로 각 구간이 끝나는 지점에 설치되어, 상기 기판이 각 구간을 통과하는 시점을 감지하는 것을 특징으로 하는 인라인 증착 시스템의 제조장치.
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