CN109484794A - 一种基板传送装置 - Google Patents
一种基板传送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109484794A CN109484794A CN201710821158.9A CN201710821158A CN109484794A CN 109484794 A CN109484794 A CN 109484794A CN 201710821158 A CN201710821158 A CN 201710821158A CN 109484794 A CN109484794 A CN 109484794A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plummer
- generation unit
- magnetic
- base plate
- filed generation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
- B65G13/06—Roller driving means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G13/00—Roller-ways
- B65G13/11—Roller frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
- B65G21/20—Means incorporated in, or attached to, framework or housings for guiding load-carriers, traction elements or loads supported on moving surfaces
- B65G21/2009—Magnetic retaining means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
- B65G21/20—Means incorporated in, or attached to, framework or housings for guiding load-carriers, traction elements or loads supported on moving surfaces
- B65G21/2045—Mechanical means for guiding or retaining the load on the load-carrying surface
- B65G21/2054—Mechanical means for guiding or retaining the load on the load-carrying surface comprising elements movable in the direction of load-transport
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors
- B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
本发明提供一种基板传送装置,属于显示技术领域,其可解决现有的基板传送装置在与承载台接触的位置处产生摩擦,出现颗粒物污染基板的问题。本发明的基板传送装置中承载台外侧的第一磁场产生单元与导向单元内侧的第二磁场产生单元具有同极性的磁力,由于同性相斥,故二者之间的磁力可以将承载台限制在指定空间内运动,这样在传送过程中承载台不会产生摩损、颗粒,因此不会污染承载台上的基板。本发明的基板传送装置适用于运送各种显示基板,尤其适用于运送大尺寸显示基板。
Description
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种基板传送装置。
背景技术
目前流水线上生产显示面板的过程中,如截面图图1所示,基板10的运送普遍采用滚轮(或称滚筒)作为动力传送单元1,此外,为了使得基板10沿一定方向运送,不偏离,通常在平行于基板10前进的方向上的基板10的两条边的旁边相应的设置多个导向辊2。
发明人发现现有技术中至少存在如下问题:现有的基板10传送方式不可避免的在基板10的与传送单元1或导向辊2相接触的位置产生摩擦,摩擦过程中容易出现微粒,颗粒等。由于大尺寸显示面板的自身重量较大,承载台重量更大,接触位置产生的摩擦力也就相对较大,由此产生的颗粒也就越多。尤其是靠近导向辊2的位置处,参见俯视图图2,这些颗粒比较容易落入图2的基板10中虚线圈起的区域内,污染基板,导致生产出来的显示面板出现品质问题。
发明内容
本发明针对现有的基板传送装置在与基板接触的位置处产生摩擦,出现颗粒物污染基板的问题,提供一种基板传送装置。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是:
一种基板传送装置,包括:
承载台,用于承载基板,
传送单元,所述传送单元设于所述承载台下方,用于运送所述承载台;
相对设置的导向单元,所述导向单元设于承载台的与运送方向平行的两条边的两侧以限定承载台的传送方向;
其中,所述承载台的与运送方向平行的两条边上设有第一磁场产生单元,所述导向单元相对的内侧设有第二磁场产生单元,所述第一磁场产生单元与第二磁场产生单元相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
优选的是,所述导向单元包括导向腔室,所述第二磁场产生单元设于所述导向腔室内侧壁上。
优选的是,所述第一磁场产生单元与所述第二磁场产生单元位于同一水平面上。
优选的是,所述第二磁场产生单元包括多个磁铁,沿传送的方向上,所述多个磁铁在所述导向腔室的内侧壁间隔设置。
优选的是,所述传送单元包括:
多个可自转的传送辊,所述传送辊的轴向与运送方向垂直;
第一电机,用于带动传送辊自转;
连接杆,所述连接杆将所述传送辊的两端分别连接至第一电机。
优选的是,所述承载台底部设有第三磁场产生单元,所述连接杆上设有第四磁场产生单元,所述第三磁场产生单元与第四磁场产生单元相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
优选的是,所述导向腔室的与运送方向平行的侧壁设于连接杆上,其中,所述第四磁场产生单元相较于所述侧壁更靠近所述传送辊设置。
优选的是,所述承载台的底部内嵌有第三磁场产生单元,所述传送辊包括具有磁性的滚轴和围绕于滚轴表面设置的保护套。
优选的是,所述保护套由橡胶构成;所述保护套为圆筒型,保护套与滚轴同轴心。
优选的是,所述第二磁场产生单元的多个磁铁间距小于所述第二磁场产生单元的多个磁铁间距。
本发明的基板传送装置中承载台外侧的第一磁场产生单元与导向单元内侧的第二磁场产生单元具有同极性的磁力,由于同性相斥,故二者之间的磁力可以将承载台限制在指定空间内运动,这样在传送过程中承载台不会产生摩损、颗粒,因此不会污染承载台上的基板。本发明的基板传送装置适用于运送各种显示基板,尤其适用于运送大尺寸显示基板。
附图说明
图1、图2为现有的基板传送装置的结构示意图;
图3为本发明的实施例1的基板传送装置的结构示意图;
图4-8为本发明的实施例2的基板传送装置的结构示意图;
其中,附图标记为:10、基板;1、传送单元;11、传送辊;12、第一电机;13、连接杆;14、第四磁场产生单元;15、滚轴;16、保护套;2、导向辊;3、承载台;31、第一磁场产生单元;33、第三磁场产生单元;4、导向单元;41、导向腔室;42、第二磁场产生单元。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
实施例1:
本实施例提供一种基板传送装置,如图3所示,包括:承载台3,传送单元1,相对设置的导向单元4;承载台3用于承载基板,传送单元1设于所述承载台3下方,用于运送所述承载台3;导向单元4设于承载台3的与运送方向平行的两条边的两侧,以限定承载台3的传送方向;其中,所述承载台3的与运送方向平行的两条边上设有第一磁场产生单元31,所述导向单元4相对的内侧设有第二磁场产生单元42,所述第一磁场产生单元31与第二磁场产生单元42相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
其中,相同极性的磁力是指二者磁力同为N极或者同为S极。图3中示意的是第一磁场产生单元31与第二磁场产生单元42同为N极磁力,二者同为S极的情况是类似的,在此不再赘述。
本实施例的基板传送装置中承载台3外侧的第一磁场产生单元31与导向单元4内侧的第二磁场产生单元42具有同极性的磁力,由于同性相斥,故二者之间的磁力可以将承载台3限制在指定空间内运动,这样在传送过程中承载台3不会产生摩损、颗粒,因此不会污染承载台3上的基板。
实施例2:
本实施例提供一种基板传送装置,如图4所示,包括:承载台3,传送单元1,相对设置的导向单元4;承载台3用于承载基板,传送单元1设于所述承载台3下方,用于运送所述承载台3;导向单元4设于承载台3的与运送方向平行的两条边的两侧以限定承载台3的传送方向;本实施例中所述导向单元4为导向腔室41,所述第二磁场产生单元42设于所述导向腔室41内侧壁上。其中,所述承载台3的与运送方向平行的两条边上设有第一磁场产生单元31,所述导向单元4相对的内侧设有第二磁场产生单元42,所述第一磁场产生单元31与第二磁场产生单元42相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
在本实施例中对应的附图4中,显示了导向单元4为一个位于承载台3上方的密闭的导向腔室41,也就是说,导向腔室41像锅盖一样将承载台3盖住,这样在基板传送的整个过程中,不仅导向单元4与承载台3之间不会存在因为摩擦产生的颗粒污染物,承载台3上方,基板上方,以及环境的其他颗粒等污染物都不会进入该传送系统中,进一步保证基板避免被污染。
作为本实施例中的一种可选实施方案,所述第一磁场产生单元31与所述第二磁场产生单元42位于同一水平面上。
需要说明的是,承载台3以及基板的重量由位于承载台3下方的传送单元1承重,第一磁场产生单元31与所述第二磁场产生单元42之间的磁力设计为能保证承载台3不偏离传送单元1的运送轨道即可,一般情况下,二者之间的磁力大小可以根据承载台3或基板的尺寸进行计算,也可以根据经验设定。
作为本实施例中的一种可选实施方案,可以在导向腔室41内侧的整个边缘上设置一条长长的磁铁作为第二磁场产生单元42。这样可以与第一磁场产生单元31之间产生足够的磁力保证基板平稳运送。可以理解的是,磁场产生的磁力的方向一般是沿图5所示的曲线,因此,作为本实施例中的一种优选实施方案,所述第二磁场产生单元42包括多个磁铁,沿传送的方向上,所述多个磁铁在所述导向腔室41的内侧壁间隔设置。
也就是说,根据图5的磁力线方向可以看出,导向腔室41内壁和承载台3的边沿,没必要全部加装上磁铁,可以如图6所示,隔段距离安装一个,为了保证承载台3位置不会偏离,可以将承载台3上的磁铁大小设计的比腔室内壁磁铁间距略大。即多个间隔排布磁铁在彼此间隔的区域内也能产生一定的磁场,从而满足运送承载台3的需要,这样大大节省了第二磁场产生单元42的原料,降低了成本。
作为本实施例中的一种可选实施方案,所述传送单元1包括:多个可自转的传送辊11,第一电机12,以及连接杆13;其中,所述传送辊11的轴向与运送方向垂直;第一电机12用于带动传送辊11自转;连接杆13将所述传送辊11的两端分别连接至第一电机12。
本实施例对应的附图4中给出了传送单元1的具体连接方案,传送辊11与承载台3直接接触,将承载台3托起,第一电机12和连接杆13均不与承载台3接触,倒扣的导向腔室41固定在连接杆13上,传送辊11通过电机带动。
在一个实施例中,所述承载台3底部设有第三磁场产生单元33,所述连接杆13上设有第四磁场产生单元14,所述第三磁场产生单元33与第四磁场产生单元14相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
需要说明的是,大尺寸显示面板对应的承载台的自重很大,在承载台3底部与连接杆13上方设置一对同极性磁力的磁场产生单元可以降低传送单元1的承重。本实施例对应的附图6中显示了增设了一对S极的磁铁,以减轻传送单元1的承重。可以理解的是,这一对磁铁可以是大小磁力相同的两块磁铁,也可以是稍有不同的两块磁铁,二者之间的磁力大小可以根据经验选择,也可以根据欲传送的基板的重量计算后设定。
优选的是,所述导向腔室41的与运送方向平行的侧壁设于连接杆13上,其中,所述第四磁场产生单元14相较于所述侧壁更靠近所述传送辊11设置。
本实施例对应的附图6,显示了导向腔室41由外至内依次是:导向腔室41侧壁、第二磁场产生单元42、第一磁场产生单元31、第四磁场产生单元14、传送辊11,其中,导向腔室41侧壁、第二磁场产生单元42以及第四磁场产生单元14位于连接杆13上,第一磁场产生单元31位于承载台3边缘外侧与第二磁场产生单元42对应的位置处,第三磁场产生单元33位于承载台3下方与第四磁场产生单元14对应的位置处。
具体的,本实施例的导向腔室41可以是基板蒸镀工艺中的真空腔室,即相当于将第二磁场产生单元42设置于真空的蒸镀腔室内壁上。当其用于蒸镀工艺中时,连接杆13也是设置于蒸镀腔室内部的,此外,蒸镀腔室内还设有蒸镀装置,蒸镀源、蒸镀材料等(图6中未示出)。
在一个实施例中,所述承载台3的底部内嵌有第三磁场产生单元33,所述传送辊11包括具有磁性的滚轴15和围绕于滚轴15表面设置的保护套16。
在本实施例对应的附图7中显示了,第四磁场产生单元14设于传送辊11内部,即滚轴15具有磁性的材料构成,通常具有磁性的滚轴15可以由磁铁制成,在磁铁与承载台3的长期接触过程中,由于磁铁较硬,而承载台3与磁铁直接接触,为了进一步降低对承载台3摩擦,在滚轴15外包裹了保护套16。更具体的,本实施例的具有磁性的滚轴15可以是内圈辐射充磁磁铁,其中,滚轴15外圈的磁性(即极性)与第三磁场产生单元33的磁力极性相同。
作为本实施例中的一种优选实施方案,所述保护套16由橡胶构成;所述保护套16为圆筒型,保护套16与滚轴15同轴心。
本实施例对应的附图8中显示了传送辊11的截面图,其内芯为中空的具有磁性的滚轴15,其外套为由橡胶构成的保护套16,二者的接触面相对彼此固定,具有同轴心。即相当于由橡胶构成的保护套16与承载台3直接接触,这样承载台3不会因摩擦造成损坏。可以理解的是,保护套16还可以选用橡胶以外的其它材料,在此不再一一例举。
需要说明的是,附图所示各结构的大小、厚度等仅为示意。在具体实现中,各结构的尺寸大小、比例可以根据实际需要进行改变。
实施例3:
本实施例提供了一种显示装置,其制备过程中采用上述基板传送装置进行传送。所述显示装置可以为:液晶显示面板、电子纸、OLED面板、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种基板传送装置,其特征在于,包括:
承载台,用于承载基板,
传送单元,所述传送单元设于所述承载台的下方,用于运送所述承载台;
相对设置的导向单元,所述导向单元设于承载台的与运送方向平行的两条边的两侧以限定承载台的传送方向;
其中,所述承载台的与运送方向平行的两条边上设有第一磁场产生单元,所述导向单元相对的内侧设有第二磁场产生单元,所述第一磁场产生单元与第二磁场产生单元相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,所述导向单元包括导向腔室,所述第二磁场产生单元设于所述导向腔室的内侧壁上。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置,其特征在于,所述第一磁场产生单元与所述第二磁场产生单元位于同一水平面上。
4.根据权利要求3所述的基板传送装置,其特征在于,所述第二磁场产生单元与第二磁场产生单元均包括多个磁铁,沿传送的方向上,所述多个磁铁在所述导向腔室的内侧壁间隔设置。
5.根据权利要求2所述的基板传送装置,其特征在于,所述传送单元包括:
多个可自转的传送辊,所述传送辊的轴向与运送方向垂直;
第一电机,用于带动传送辊自转;
连接杆,所述连接杆将所述传送辊的两端分别连接至第一电机。
6.根据权利要求5所述的基板传送装置,其特征在于,所述承载台底部设有第三磁场产生单元,所述连接杆上设有第四磁场产生单元,所述第三磁场产生单元与第四磁场产生单元相互靠近的部位可产生相同极性的磁力。
7.根据权利要求6所述的基板传送装置,其特征在于,所述导向腔室的与运送方向平行的侧壁设于连接杆上,其中,所述第四磁场产生单元相较于所述侧壁更靠近所述传送辊设置。
8.根据权利要求5所述的基板传送装置,其特征在于,所述承载台的底部内嵌有第三磁场产生单元,所述传送辊包括具有磁性的滚轴和围绕于滚轴表面设置的保护套。
9.根据权利要求8所述的基板传送装置,其特征在于,所述保护套由橡胶构成;所述保护套为圆筒型,保护套与滚轴同轴心。
10.根据权利要求4所述的基板传送装置,其特征在于,所述第二磁场产生单元的多个磁铁间距小于所述第二磁场产生单元的多个磁铁间距。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710821158.9A CN109484794A (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种基板传送装置 |
US16/306,109 US11230436B2 (en) | 2017-09-13 | 2018-06-21 | Substrate conveyance device |
PCT/CN2018/092186 WO2019052248A1 (zh) | 2017-09-13 | 2018-06-21 | 一种基板传送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710821158.9A CN109484794A (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种基板传送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109484794A true CN109484794A (zh) | 2019-03-19 |
Family
ID=65687213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710821158.9A Withdrawn CN109484794A (zh) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 一种基板传送装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11230436B2 (zh) |
CN (1) | CN109484794A (zh) |
WO (1) | WO2019052248A1 (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110116927A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-13 | 张家港市和瑞创先智能光学有限公司 | 一种基于磁铁的镀膜稳定输送机构 |
CN112224893A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 浮法tft-lcd玻璃面研磨自动运行传输装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1838397A (zh) * | 2006-03-10 | 2006-09-27 | 友达光电股份有限公司 | 基板传送装置 |
CN101139045A (zh) * | 2006-09-05 | 2008-03-12 | 财团法人工业技术研究院 | 基板传输装置 |
CN101695970A (zh) * | 2009-10-13 | 2010-04-21 | 北京印月明印染新技术有限公司 | 金属传送带新的纠偏方法及装置 |
CN102055381A (zh) * | 2009-10-28 | 2011-05-11 | Sfa工程股份有限公司 | 磁力悬浮传送系统 |
JP2011199218A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システム |
CN102320472A (zh) * | 2011-06-03 | 2012-01-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板传送系统及传送方法 |
KR101328574B1 (ko) * | 2012-09-24 | 2013-11-13 | 주식회사 선익시스템 | 기판이송장치 |
CN203699393U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-07-09 | 上海华力微电子有限公司 | 一种磁悬浮小车自动物料搬运系统 |
KR101416593B1 (ko) * | 2013-03-06 | 2014-07-14 | 주식회사 선익시스템 | 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 |
KR20150044107A (ko) * | 2013-10-16 | 2015-04-24 | 한국전기연구원 | 자기 부상 이송 장치 |
KR20150090492A (ko) * | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 세메스 주식회사 | 반송유닛 및 이를 가지는 기판처리장치 |
CN105416972A (zh) * | 2014-09-16 | 2016-03-23 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 基板输送装置和基板输送方法 |
CN107104074A (zh) * | 2016-02-19 | 2017-08-29 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置及基板处理方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07115120A (ja) * | 1993-10-18 | 1995-05-02 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置およびその方法 |
ATE304458T1 (de) * | 1997-05-02 | 2005-09-15 | Automation Tooling Syst | Modulares fördersystem mit mehreren beweglichen elementen mit unabhängiger steuerung |
IT237914Y1 (it) * | 1997-09-18 | 2000-09-29 | Regina Sud Spa | Guida magnetica migliorata |
JP2003500991A (ja) * | 1999-05-21 | 2003-01-07 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | 複合磁気により支持されたキャリッジ搬送装置 |
JP2003168716A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Dia Shinku Kk | 部品搬送装置及びこれを用いた部品保管装置 |
KR100639004B1 (ko) * | 2005-01-05 | 2006-10-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | 트레이의 감지 및 이송장치 |
JP2006191039A (ja) | 2005-01-05 | 2006-07-20 | Samsung Sdi Co Ltd | トレイ移送装置 |
BR112013015383A2 (pt) * | 2010-12-21 | 2016-09-20 | Laitram Llc | transportador e método para controle de uma correia transportadora |
KR20160063969A (ko) * | 2014-11-27 | 2016-06-07 | 한국알박(주) | 기판 이송 장치 |
-
2017
- 2017-09-13 CN CN201710821158.9A patent/CN109484794A/zh not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-06-21 US US16/306,109 patent/US11230436B2/en active Active
- 2018-06-21 WO PCT/CN2018/092186 patent/WO2019052248A1/zh active Application Filing
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1838397A (zh) * | 2006-03-10 | 2006-09-27 | 友达光电股份有限公司 | 基板传送装置 |
CN101139045A (zh) * | 2006-09-05 | 2008-03-12 | 财团法人工业技术研究院 | 基板传输装置 |
CN101695970A (zh) * | 2009-10-13 | 2010-04-21 | 北京印月明印染新技术有限公司 | 金属传送带新的纠偏方法及装置 |
CN102055381A (zh) * | 2009-10-28 | 2011-05-11 | Sfa工程股份有限公司 | 磁力悬浮传送系统 |
JP2011199218A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システム |
CN102320472A (zh) * | 2011-06-03 | 2012-01-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板传送系统及传送方法 |
KR101328574B1 (ko) * | 2012-09-24 | 2013-11-13 | 주식회사 선익시스템 | 기판이송장치 |
KR101416593B1 (ko) * | 2013-03-06 | 2014-07-14 | 주식회사 선익시스템 | 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 |
KR20150044107A (ko) * | 2013-10-16 | 2015-04-24 | 한국전기연구원 | 자기 부상 이송 장치 |
CN203699393U (zh) * | 2013-11-29 | 2014-07-09 | 上海华力微电子有限公司 | 一种磁悬浮小车自动物料搬运系统 |
KR20150090492A (ko) * | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 세메스 주식회사 | 반송유닛 및 이를 가지는 기판처리장치 |
CN105416972A (zh) * | 2014-09-16 | 2016-03-23 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 基板输送装置和基板输送方法 |
CN107104074A (zh) * | 2016-02-19 | 2017-08-29 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置及基板处理方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110116927A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-13 | 张家港市和瑞创先智能光学有限公司 | 一种基于磁铁的镀膜稳定输送机构 |
CN112224893A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 浮法tft-lcd玻璃面研磨自动运行传输装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210229921A1 (en) | 2021-07-29 |
WO2019052248A1 (zh) | 2019-03-21 |
US11230436B2 (en) | 2022-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101163969B1 (ko) | 무인반송대차 | |
CN109484794A (zh) | 一种基板传送装置 | |
CN101648649B (zh) | 真空基片传送系统 | |
KR101848849B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR20160063969A (ko) | 기판 이송 장치 | |
CN101254495A (zh) | 基板的输送涂布装置 | |
KR101322716B1 (ko) | 자성체를 이용한 기판 이송 장치 | |
KR101449446B1 (ko) | 기판보관 챔버용 카세트 이송장치 | |
CN202107332U (zh) | 一种传动设备和载板 | |
CN107275265A (zh) | 蚀刻设备 | |
KR101416593B1 (ko) | 롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치 | |
CN210824424U (zh) | 一种玻璃生产线上的取片装置 | |
KR101400156B1 (ko) | 기판이송장치 | |
KR20150090934A (ko) | 기판 이송 장치 | |
CN216806852U (zh) | 一种橡胶阻尼复合材料生产用输送设备 | |
CN207008101U (zh) | 一种偏光片贴装设备 | |
KR101696482B1 (ko) | 표시장치의 증착장치 | |
CN217534225U (zh) | 用于引导载体的磁性引导件、用于运输载体的运输系统以及基板处理系统 | |
CN210635209U (zh) | 带式输送机调偏装置 | |
KR100589239B1 (ko) | 기판 반송 기구 | |
JP4505002B2 (ja) | 搬送装置 | |
CN210064378U (zh) | 一种传送带装置 | |
CN107488834B (zh) | 一种传送装置及真空溅射设备 | |
CN201506633U (zh) | 真空同步传送系统 | |
CN205471108U (zh) | 一种移动式皮带输送机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication | ||
WW01 | Invention patent application withdrawn after publication |
Application publication date: 20190319 |