KR101322716B1 - 자성체를 이용한 기판 이송 장치 - Google Patents

자성체를 이용한 기판 이송 장치 Download PDF

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KR101322716B1
KR101322716B1 KR1020120072583A KR20120072583A KR101322716B1 KR 101322716 B1 KR101322716 B1 KR 101322716B1 KR 1020120072583 A KR1020120072583 A KR 1020120072583A KR 20120072583 A KR20120072583 A KR 20120072583A KR 101322716 B1 KR101322716 B1 KR 101322716B1
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김성호
강순석
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이 장치, 플 라즈마 디스플레이 장치, OLED 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 분야에 적용 될 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 자성체를 이용한 기판 이송 장치로서, 레일을 따라 복수개로 배치되어 N극과 S극으로 이루어진 자성체를 구비하는 이송롤러; 및 중앙 부근에 설치된 유리 기판과 상기 유리 기판에 이웃하여 배치된 복수개의 자성체를 구비하여 하부에 위치하는 상기 이송롤러에 의해 이송되는 이송체;를 포함하고, 상기 이송체는, 상기 이송롤러의 자성체와 같은 극으로 만날 경우 밀어내고, 다른 극으로 만날 경우 당겨져서 상기 레일을 따라 이송되는 기판 이송 장치가 제공된다.
이에, 본 발명은 각 챔버사이의 구간별 일정한 속도를 유지하고, 파티클 현상이 발생되지 않아 안정적인 이송이 가능하고, 이송체의 상/좌우 이탈을 방지할 수 있다.

Description

자성체를 이용한 기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS USING MAGNETIC SUBSTANCE}
본 발명은 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플 라즈마 디스플레이 장치, OLED 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 분야에 적용 될 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 정보화 사회에서 디스플레이 장치는 시각정보 전달 매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력, 정량화, 고 화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다.
상기 디스플레이 장치는 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT), 전계발광소자(ElectroLuminescence ; EL), 발광다이오드(Light Emitting Diode; LED), 진공형광표시장치(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD) 및 (Organic Light Emitting Diodes;OLED) 등이 있다.
이와 같은 디스플레이 장치를 제작하기 위해서는 기판 이송 장치를 이용하여 유리 기판에 여러 종류의 막을 증착하게 된다.
특히, OLED와 같은 제조에 사용되는 증착 장비의 이송 구조 는 크게 두가지 형태로 구분할 수 있다. 첫째는 Cluster type으로 기판이 중앙의 TM에서 일반적으로 로봇에 의해 분배되어 각 챔버 혹은 모듈별로 공정을 실시하는 방식과 둘째로는, 연속 혹은 불연속 기판이 연속적으로 선형 형태의 각 공정 모듈을 지나면서 공정을 수행하는 방식 있다.
일반적으로 OELD와 같이 불연속 기판을 사용하는 클러스터 형태의 증착장비와 인라인 형태의 증착장비 모두에 있어서 생산효율과 단가를 낮출 수 있는 방법은 기판과 기판사이의 간격을 각각의 공정에 최적화 하여 불연속 기판의 간격을 각 공정마다 다르게 하여 최적의 선형 물류 공정을 진행하는 것이다. 그러나 기존의 방식은 대부분 클러스터 형태의 이송구조이거나 혹은 컨베이어와 같은 구조가 대부분이었다.
도 1은 종래의 INLINE 형태의 기판 이송 장치(10)를 나타낸 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 선형 형태의 공정 모듈, 즉 INLINE 형태의 장비 같은 경우 기판을 이동할 때에는 이송장치(10)가 기판(1)을 포함한 이동체(2)를 운송해준다. 챔버 안에 양 방향으로 이동체(2)의 간격에 맞는 롤러(3)가 위치하여 돌아가면서 기판(1)을 이동시킨다. 이 롤러(3)에는 이동체(2)가 미끄러지지 않도록 고무 재질로 된 오링을 사용하여 작동한다. 하지만 다음과 같은 문제점이 발생되었다.
첫째로, 이동체(2)의 무게와 마찰로 인한 롤러(3)에 구비된 오링의 파티클(particle)이 발생되고, 오링의 손상으로 인하여 수시로 교체되어야 하는 문제점이 있었다.
두번째로, 상기와 같이 파티클에 의한 챔버의 내부가 오염되고 소자의 물성이 저하되는 문제점이 있었다.
세번째로, 챔버 간 이송체가 이동시 오링의 파티클에 의하여 튀겨지는 현상이 발생되어 증착이 어렵고, 인라인 이송시 각 구간(챔버와 챔버간의 구간)별 공정 속도가 달라지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 기존의 롤러에 구비된 오링 사용 대신에 자성체를 적용하고, 또 이송체에도 자성체를 적용하여 둘간의 관계를 이용하여 구간별 공정 속도를 일정하게 유지하며, 근본적인 문제인 파티클 현상을 없앨 수 있는 디스플레이 장치용 기판 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하고, 후술하는 본 발명의 특징적인 기능을 수행하기 위한, 본 발명의 특징은 다음과 같다.
본 발명의 일 태양에 따르면, 자성체를 이용한 기판 이송 장치로서, 레일을 따라 복수개로 배치되어 N극과 S극으로 이루어진 자성체를 구비하는 이송롤러; 및 중앙 부근에 설치된 유리 기판과 상기 유리 기판에 이웃하여 배치된 복수개의 자성체를 구비하여 하부에 위치하는 상기 이송롤러에 의해 이송되는 이송체;를 포함하고, 상기 이송체는, 상기 이송롤러의 자성체와 같은 극으로 만날 경우 밀어내고, 다른 극으로 만날 경우 당겨져서 상기 레일을 따라 이송되는 기판 이송 장치가 제공된다.
여기서, 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는, 상기 레일을 따라 이송되는 이송체에 대하여 상기 이송체의 경로 이탈을 방지하고자, 상기 이송체와 이웃하여 각각 구비되는 가이드 롤러를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
이럴 경우, 본 발명의 일 태양에 따른 상기 가이드 롤러는 상기 이송롤러의 상부에 구비됨과 동시에 상기 이송체의 양끝단의 측면에 접촉된 상태로 각각 구비될 수 있거나, 상기 이송체의 양끝단의 상측에 각각 구비되어 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 일 태양에 따른 상기 이송체는 N극과 S극이 한쌍의 이뤄 복수개로 구비될 수 있거나, 두개의 N극과 두개의 S극이 한쌍을 이뤄 복수개로 구비될 수도 있다. 이에 대응하여, 본 발명의 일 태양에 따른 상기 이송롤러는 기준선을 기준으로 서로 다른 극성이 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 태양에 따른 상기 이송체는 극성이 다른 상기 자성체의 사이에 편향 요크가 더 배치되거나, 같은 극성의 상기 자성체의 사이에 편향 요크가 더 배치될 수도 있다.
이와 같은 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 상기 이송롤러와 이웃하여 구비되는 구동 몸체; 일단이 상기 이송롤러와 연결되고, 타단이 상기 구동 몸체를 관통하여 상기 구동 몸체에 고정되는 롤러 몸체를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 각각 자성체로 이루어진 이송체와 이송롤러로 인하여, 같은 극으로 만날 경우 밀어내고, 다른 극으로 만날 경우 당겨서 레일을 따라 이송됨으로써, 각 챔버사이의 구간별 일정한 속도를 유지하고, 파티클 현상이 발생되지 않아 안정적인 이송(이 가능하여 생산 효율이 극대화되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 이송체의 양끝단 측면 또는 상측에 구비되는 가이드 롤러로 인하여, 레일로부터 이송체의 상/좌우 이탈을 방지하는 효과가 있다. 이로써, 생산 효율을 높일 수 있다.
도 1은 종래의 INLINE 형태의 기판 이송 장치(10)를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)를 예시적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 정면 구조를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 'A' 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이송체(120)의 자성체 구조를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이송체(120)의 편향 요크(124)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)를 예시적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 'B' 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
제1 실시예
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)를 예시적으로 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 정면 구조를 나타낸 정면도이며, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 'A' 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)는 안정적으로 기판(유리 기판, 122)이 이송되도록 하기 위하여 이송롤러(110), 이송체(120) 및 가이드 롤러(130)를 포함하여 구성된다.
본 발명에 따른 이송롤러(110)는 레일(미도시)을 따라 복수개로 배치되어 이후에 설명될 이송체(120)를 레일상에서 이동되도록 회전 작용이 일어난다. 다시 말해, 이송롤러(110)의 상부에 구비되는 이송체(120)가 이송롤러(110)의 회전에 따라 원활하게 레일을 따라 이송되어질 수 있다. 여기서의 이송은 유리 기판(122, 통상 대면적 기판임)을 증착하고자 하는 각 챔버사이에서의 이동을 의미한다.
이러한 본 발명에 따른 이송롤러(110)는 이후에 설명될 이송체(120)의 무게를 감당하면서도 튀겨지는 현상을 방지하고자, N극과 S극으로 이루어진 자성체를 구비한다.
이때, 이송롤러(110)에 구비되는 자성체는 도 3에서와 같이 기준선(110a)을 중심으로 한쪽(111)은 N극으로 이루어지고, 다른 한쪽(112)은 S극으로 이루어지는 형태를 가질 수 있다. 이러한 예는 일례에 불과할 뿐, 다른 형태로도 구비됨은 물론이다.
다음으로, 본 발명에 따른 이송체(120)는 레일에 구비된 이송롤러(110)의 상부에 놓여져 유리 기판(122)에 여러막을 증착하고자 할 경우 레일 상에 놓여진 이송롤러(110)에 의해 각 챔버(미도시)로 이송된다.
이러한 이송체(122)는 이송 몸체(121), 상기 이송 몸체(121)의 중앙 부근에 설치된(안착된) 유리 기판(122) 및 상기 이송 몸체(121) 안에 배치되되 유리 기판(122)에 이웃하여 배치되는 복수개의 자성체(123)를 구비한다.
여기서, 상기 복수개의 자성체(123)는 유리 기판(122)의 양끝단 부근에 각각 복수개로 배치되되, N극과 S극의 포함한 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들면, N,S,N,S와 같이 N극과 S극이 번갈아 가며 복수개로 구비되거나, NN, SS, NN, SS와 같이 동일 극이 연속적으로 나오는 형태로 하여 복수개로 구비될 수도 있다.
이러한 일례를 도 5에 도시하였다. 도 5를 잠시 살펴보면, 도 5(a)에 도시된 자성체(123)는 N극(123a)과 S극(123b)이 한쌍을 이뤄 복수개로 구비되고 있음을 보여주고 있으며, 반면 도 5(b)에 도시된 자성체(123)는 두개의 N극(123c)과 두개의 S극(123d)이 한쌍을 이뤄 복수개로 구비되고 있음을 보여주고 있다.
이와 같이 이송체(120)에 구비된 자성체(123)는 유리 기판(122)의 양 끝단 부근에 각각 배치됨과 동시에 이송 몸체(121)의 내부에 구비될 수 있다. 이와는 다르게, 한쪽면 예를 들면 하면이 이송롤러(110)와의 근접하여 배치되도록 하기 위하여 하측의 자성체(123)가 외부로 표출되어지도록 배치될 수도 있다.
이로 인하여, 이송 몸체(121), 유리 기판(122) 및 복수개의 자성체(123)를 구비한 이송체(120)는 앞서 설명한 이송롤러(110)의 자성체와 같은 극으로 만날 경우 밀어낼 수 있게 되고, 다른 극으로 만날 경우에는 당겨져서 레일을 따라 이송되어질 것이다.
예를 들면, 본 발명에 따른 이송체(120)의 자성체(123)가 N,S,N,S.. 또는 NN, SS, NN, SS와 같은 형태로 구비되고, 이송롤러(110)의 자성체가 N극(111)과 S극(112)으로 구비될 경우에는 이송롤러(110)의 N극(111) 자성체와 이송체(120)의 N극 자성체(123)가 만날때마다 서로 미는 힘이 작용하게 된다.
상기와 같이 서로 미는 힘이 이송체(120)와 이송롤러(110) 사이에 발생되면, 둘 사이가 접촉되지 않기 때문에 마찰력을 발생시키지 않게 된다. 따라서, 대면적 유기 기판(122)과 같이 무거운 기판에 의해 발생된 힘이 이송롤러(110)로 가해지지 않기 때문에 파티클 현상을 없앨 수 있게 된다.
이때, 이송체(120)와 이송롤러(110)사이의 접촉되지 않는 시간이 길어지면 이송롤러(110)로부터 이송체(120)가 이탈될 수 있으므로 이를 방지하기 위하여 둘 사이를 접촉시켜야만 한다. 접촉을 위해서 이송롤러(110)와 이송체(120)간에 같은 자성체 극이 만나도록 해야한다.
즉, 이송롤러(110)의 S극(112) 자성체와 이송체(120)의 N극 자성체(123)가 만나거나, 이송롤러(110)의 N극(112) 자성체와 이송체(120)의 S극 자성체(123)가 만날때마다 서로 당기는 힘이 발생되도록 함으로써, 이송롤러(110)와 이송체(120) 사이는 접촉이 이루어질 것이다. 이로써, 이송체(120)가 이송롤러(110)로부터 이탈되지 않고 이송롤러(110)에 의해 안전하게 이송이 될 수 있다.
이처럼, 이송체(120)와 이송롤러(110)사이를 띄어놓고, 접촉시키는 등, 각 시간의 차이가 있겠지만 반복적으로 행해짐으로써, 둘 사이의 마찰력을 줄임과 동시에 접촉되어져 안전한 이송체(120)의 이송이 이루어질 수 있다.
이때, 이송체(120)의 자성체가 극 순서를 어떻해 분배하는냐에 따라서 접촉되는 시간과 밀어내는 시간이 달라짐은 당연한 결과일 것이다. 따라서, 위와 같이 N,S,N,S.. 또는 NN, SS, NN, SS와 같은 형태로만 한정되지 않고 다양한 극 배열이 가능함은 물론이다.
이상과 같이, 이송체(120)가 이송롤러(110)간의 접촉과 비접촉 시간을 다양하게 동시에 가져감으로써, 마찰력을 줄이고 일정한 속도를 유지할 수 있게 되는 것이다.
마지막으로, 본 발명에 따른 가이드 롤러(130)는 레일(미도시)을 따라 이송되는 이송체(120)에 대하여 이송체(120)의 경로 이탈을 방지하고자, 이송체(120)의 이웃하여 배치되되, 상기 이송체(120)의 양끝단 부근에 각각 구비된다. 이러한 가이드 롤러(130)는 이송롤러(110)의 상부에 구비됨과 동시에 이송체(120)의 양끝단의 측면에 접촉된 상태로 각각 복수개로 구비되는 것이 바람직하다.
이로 인하여, 이송체(120)의 양끝단 부근과 이송롤러(110)의 상부 부근에 위치하기 때문에 이송체(120)의 경로 이탈 중에서도 좌우 경로 이탈을 방지하는데 유용하다.
다시 말해, 이송체(120)가 이송롤러(110)에 의해 레일을 따라 이동될 경우 유리 기판(122)의 무게로 인하여 좌우로 이탈되는 현상이 발생되었던 것을 가이드 롤러(130)의 구비로 인하여, 좌우 이탈을 방지할 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)는 롤러 몸체(140), 구동 몸체(150) 및 가이드롤러 몸체(160)를 더 구비할 수 있다. 먼저, 본 발명에 따른 롤러 몸체(140)는 앞서 설명한 이송롤러(110)의 일측에 연결되어 이송롤러(110)을 고정하는 역할을 한다. 반면, 롤러 몸체(140)의 타단은 이후에 설명될 구동 몸체(150)에 연결된다.
상기 구동 몸체(150)는 레일을 구동시킴과 동시에 롤러 몸체(140)를 관통시켜 상기 롤러 몸체(140)를 고정시키는 역할을 한다. 이러한 구동 몸체(150)는 이송롤러(110)의 길이 방향에 대향하여 직각 형태로 긴 형상 상태로 구비될 수 있다.
반면, 본 발명에 따른 가이드롤러 몸체(160)는 앞서 설명한 가이드 롤러(130)의 하부에 형성되어 가이드 롤러(130)를 지지함과 동시에 하부에서 고정시키는 역할을 한다.
이와 같이, 롤러 몸체(140), 구동 몸체(150) 및 가이드롤러 몸체(160)의 구비로 인하여, 이송체(120)의 무거운 하중에 견뎌야하는 이송롤러(110) 및/또는 이송체(120)의 좌우 이탈을 막아야 하는 가이드 롤러(130)를 지지함과 동시에 고정시킴으로써, 안정적으로 이송체(120)를 이송시킬 수 있게 되는 것이다.
이하의 도 6에서는 이송체(120)가 자성체가 구비될때, 상기 자성체의 사이에 편향 요크가 더 구비될 수 있는 일례에 대하여 설명하고자 한다. 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 이송체(120)의 편향 요크(124)의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6(a)에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이송체(120)는 극성이 다른 자성체(124a, 124b)의 사이에 편향 요크(124)가 더 구비되거나, 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이송체(120)는 같은 극성을 갖는 자성체 사이에서도 편향 요크가 더 구비될 수 있다.
이와 같은 편향 요크(124)는 이송체(120)와 이송롤러(110)에서 발생되는 밀거나 당기는 힘을 더욱더 편향시켜줌으로써, 더욱더 안정적인 이송체(120)의 이송이 가능하게 된다.
제2 실시예
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)를 예시적으로 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)의 'B' 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 디스플레이용 기판 이송 장치(100)는 안정적으로 기판(유리 기판, 122)이 이송되도록 하기 위하여 이송롤러(110), 이송체(120), 롤러 몸체(140), 구동 몸체(150), 가이드 롤러(170) 및 연결 몸체(180)를 포함하여 구성된다.
여기서, 본 발명에 따른 이송롤러(110), 이송체(120), 롤러 몸체(140) 및 구동 몸체(150)는 도 2 내지 도 4에서 충분히 설명되었기 때문에 그에 대한 설명은 생략하기로 한다. 이럴 경우, 도 5 및 도 6에 도시된 자성체의 구조도 동일하게 적용됨은 물론이다.
다만, 본 발명에 따른 가이드 롤러(170) 및 연결 몸체(180)가 도 2 내지 도 4에서 설명되었던 가이드 롤러(130) 및 가이드롤러 몸체(160)와 비교하여 각기 다f특성을 가질뿐이다. 따라서, 도 2 내지 도 4로부터 차이가 될 수 있는 가이드 롤러(170) 및 연결 몸체(180)에 대해서만 설명하고자 한다.
먼저, 본 발명에 따른 가이드 롤러(170)는 레일을 따라 이송되는 이송체(120)에 대하여 이송체(120)의 경로 이탈을 방지하고자, 이송체(120)와 이웃하여 각각 구비될 수 있다. 이때, 바람직하게는 이송체(120)의 양끝단의 상측에 각각 구비되어진다.
이와 같이, 이송체(120)의 양끝단의 상측에 구비됨으로써, 이송체(120)가 레일을 따라 이동중 상측 방향으로 이탈되는 것을 막을 수 있게 된다. 이러한 가이드 롤러(170)는 연결 몸체(180)에 의하여 고정될 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 연결 몸체(180)는 일단이 가이드 롤러(170)의 일측에 연결되고, 타단이 앞서 설명한 구동 몸체(150)에 연결된다. 따라서, 구동 몸체(150) 및 연결 몸체(180)로 인하여 이송체(120)의 상측에 구비된 가이드 롤러(170)를 고정시킬 수 있게 되는 것이다.
한편, 도 2 내지 도 4에서 설명되어진 가이드 롤러(130)와 도 7 및 도 8에서 설명되어진 가이드 롤러(170)를 동시에 기판 이송 장치(100)에 구비될 수도 있음은 자명한 사항이다. 이럴 경우, 이송체의 상측과 좌우측 방향으로 이탈되는 것을 동시에 막을 수 있다는 장점이 있을 것이다.
이상에서와 같이, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것이다.
100 : 기판 이송 장치 110 : 이송롤러
111 : 이송롤러의 N극 자성체 112 : 이송롤러의 S극 자성체
120 : 이송체 121 : 이송 몸체
122 : 유리 기판 123 : 이송체의 자성체
124 : 편향 요크 123a: 이송체의 N극 자성체
123b : 이송체의 S극 자성체 123c : 이송체의 두개의 N극 자성체
123d : 이송체의 두개의 S극 자성체 130 : 가이드 롤러
140 : 롤러 몸체 150 : 구동 몸체
160 : 가이드롤러 몸체 170 : 가이드 롤러
180 : 연결 몸체

Claims (10)

  1. 자성체를 이용한 기판 이송 장치로서,
    레일을 따라 복수개로 배치되어 N극과 S극으로 이루어진 자성체를 구비하는 이송롤러; 및
    중앙 부근에 설치된 유리 기판과 상기 유리 기판에 이웃하여 배치된 복수개의 자성체를 구비하여 하부에 위치하는 상기 이송롤러에 의해 이송되는 이송체;를 포함하고,
    상기 이송체는, 상기 이송롤러의 자성체와 같은 극으로 만날 경우 밀어내고, 다른 극으로 만날 경우 당겨져서 상기 레일을 따라 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 레일을 따라 이송되는 이송체에 대하여 상기 이송체의 경로 이탈을 방지하고자, 상기 이송체와 이웃하여 각각 구비되는 가이드 롤러;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 롤러는,
    상기 이송롤러의 상부에 구비됨과 동시에 상기 이송체의 양끝단의 측면에 접촉된 상태로 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 롤러는,
    상기 이송체의 양끝단의 상측에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 이송체는,
    N극과 S극이 한쌍의 이뤄 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 이송체는,
    두개의 N극과 두개의 S극이 한쌍을 이뤄 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 이송롤러는,
    기준선을 기준으로 서로 다른 극성이 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 이송체는,
    극성이 다른 상기 자성체의 사이에 편향 요크가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 이송체는,
    같은 극성의 상기 자성체의 사이에 편향 요크가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제 2항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송롤러와 이웃하여 구비되는 구동 몸체;
    일단이 상기 이송롤러와 연결되고, 타단이 상기 구동 몸체를 관통하여 상기 구동 몸체에 고정되는 롤러 몸체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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