CN201506633U - 真空同步传送系统 - Google Patents
真空同步传送系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201506633U CN201506633U CN2009201939825U CN200920193982U CN201506633U CN 201506633 U CN201506633 U CN 201506633U CN 2009201939825 U CN2009201939825 U CN 2009201939825U CN 200920193982 U CN200920193982 U CN 200920193982U CN 201506633 U CN201506633 U CN 201506633U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- transmission
- vacuum
- driving
- transmission device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 99
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 title claims abstract description 57
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 97
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种真空同步传送系统，包括真空腔室、腔室外的驱动机构和外传动机构、容置在腔室侧壁密封孔中的密封传动机构以及布设在腔室内两侧的内传动机构，所述驱动机构同步驱动外传动机构，所述密封传动机构一端与外传动机构相连，另一端与内传动机构相连，所述内传动机构包括传动轴和传送轮，所述传动轴一端与密封传动机构相连，另一端与传送轮相连，通过传送轮来传送基片等薄板材料，使真空腔室内的传动部件达到最少，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大提高了清洁度。本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地实现基片的同步传送，最大限度的确保真空系统的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基片的传送机构，尤其涉及一种适用于在真空密封系统中传送基片的真空同步传送系统。
背景技术
随着科学技术的迅猛发展，对工业工艺要求日益增高，真空技术在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码显示面板产业中。玻璃基片材料等薄板广泛应用于薄膜晶体管显示屏(LCD-TFT，Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有机发光显示器件(OLED，Organic Light-Emitting Diode)面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者的制程中，其中化学气相沉积制程(CVD，Chemical Vapor Deposition)、物理气相沉积制程沪(PVD，Physical Vapor Deposition)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程均需要在真空密封环境下进行。由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，如有机发光二极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机物质，如有空气、水汽等存在的话极易与有机蒸镀材料发生反应进而改变基片上的沉积物成分，影响其发光效应；再如，磁控溅射沉积制程过程中，等离子体辉光放电后相互撞击空间内惰性气体使离子化程度达到雪崩状态，从而大面积、大范围的撞击金属靶材，金属原子或/和原子团脱离靶材在磁力引导下沉积到基底上，然此过程如密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度，同时空气中的氧气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄膜受到影响；类此种种玻璃等基片的镀膜、覆膜制程，都必须要保证整个制程的真空系统的绝对可靠性。在此类制程中，真空基片的同步传送就凸显了重要意义，真空基片同步传送的设计往往考验着用于整个制程的真空系统的可靠性。现有的真空同步传送系统，如在薄膜太阳能电池板的生产线中，传送基片的真空腔室内采用大量的滚轮、滚珠顶杆和吸盘，传动机构复杂，为了保证整个传送系统的同步运行，一般采用一个驱动机构带动腔室内部的所有传送滚轮同步转动，利用摩擦力匀速传送玻璃等基片。其中采用的同步机构一般为在腔室内用链轮、链条或同步带轮、同步带将所有的传送部件联系在一起。在传送和加工过程中，很容易使基片出现刮伤、污染和变形等缺陷，此种腔室内部的同步联系方式，由于链轮与链条或/和同步带轮与同步带间的相对运动以及直接的物理接触会使来自驱动机构的污染源增多，给真空环境带来污染。
因此，有必要提供一种高清洁度、无污染、结构简单紧凑、能够平稳、快速有效地同步传送基片以及具有较高可靠性的真空同步传送系统。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种高清洁度、无污染、结构简单同时能够平稳、快速有效地同步传送基片以及能最大限度的确保真空系统的可靠性的真空同步传送系统。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供了一种真空同步传送系统，包括驱动机构、传动机构、形成真空环境的密闭腔室，所述腔室内设有固定座，其中，所述传动机构包括外传动机构、多组密封传动机构以及多组内传动机构，多组所述内传动机构与所述腔室底部平行并对称分布在所述腔室内两侧，所述驱动机构与所述外传动机构设置在所述腔室外，所述腔室两侧壁对应所述多组内传动机构开设有密封孔，所述密封传动机构安装在所述密封孔中，所述外传动机构与所述密封传动机构的一端相连，所述内传动机构与所述密封传动机构的另一端相连，所述内传动机构包括传动轴和承载基片的传送轮，所述传动轴枢接地穿过所述固定座，所述传送轮固定在所述传动轴的一端，所述传动轴的另一端连接所述密封传动机构，所述腔室内两侧的所述传送轮之间形成基片承载区，所述驱动机构同步驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述传动轴，所述传动轴带动所述传送轮转动。
较佳地，所述密封传动机构包括密封传动齿轮、密封盖、外磁环套以及内磁环套，所述密封盖密封的安装于所述密封孔中，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述外磁环套固定套设在所述密封盖的凸起上，所述密封传动齿轮固定在所述外磁环套上，所述内磁环套固定套设在所述传动轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均设有永磁体。所述外磁环套和所述内磁环套时刻保持磁联系，能够维持相对的同步转动，形成无接触式永磁联轴结构，在密封的同时，通过磁力传动把来自腔室外的动力同步传送给腔室内的内传动机构，有效保证了密封性能，解决了腔室内外动力传动过程中的密封泄露问题。
较佳地，所述真空同步传送系统还包括密封圈，所述密封圈连接于所述腔室侧壁与所述密封传动机构之间，使所述腔室保持静密封状态，能有效防止灰尘进入真空腔室内，提高密封性能。
较佳地，所述外传动机构包括外传动齿轮、主动链轮、从动链轮以及链条，所述外传动齿轮与所述从动链轮同轴枢接在所述腔室外壁上，所述外传动齿轮与所述密封传动机构相连，所述主动链轮与所述驱动机构的输出轴固定连接，所述链条缠绕于所述主动链轮与所述从动链轮上。利用链轮、链条、齿轮的配合协作将动力平稳传送给所述密封传动机构。更具体地，所述外传动机构还包括联动轴和多个外传动齿轮，各所述外传动齿轮与所述密封传动机构一一对应相连，各所述外传动齿轮与所述从动链轮均固定在所述联动轴上，所述腔室外壁设有轴承座，所述联动轴枢接在所述轴承座上。通过同轴设计，所述外传动齿轮能同时驱动对应的多组密封传动机构，从而实现腔室内多组内传动机构的同步转动，使得基片传送更连续平稳可靠。
较佳地，所述腔室外设有两所述外传动机构，所述驱动机构与所述两外传动机构任一相连，所述主动链轮为双排链轮，两双排链轮之间通过同步链条相连。通过同一驱动机构同步驱动所述外传动机构，使所述腔室内的内传动机构充分有效地实现同步转动，从而能更有效平稳地传送基片，增强所述真空传动系统同步传送的可靠性。
较佳地，所述传送轮呈阶梯状，具有高阶面和低阶面。所述基片承载于所述传送轮上，一方面，所述传送轮的低台阶面能有效支撑所述基片，另一方面，所述传送轮的高台阶面与所述低台阶面之间形成的壁面能对所述基片起限位作用，能有效防止基片在传送过程中发生偏移，使基片传送更加平稳可靠。
较佳地，所述驱动机构为伺服电机。伺服电机响应速度快、精度高，能将输入的控制电压信号平稳快速转换为电机轴上的机械输出量，使得基片在同步传送的过程中快速有效、精确且平稳可靠。
与现有技术相比，由于本实用新型的真空同步传送系统中用于提供动力的驱动机构和用于传递驱动机构输出动力的外传动机构均设置在所述真空腔室外，所述密封传动机构密封容置在所述腔室侧壁的密封孔中，所述内传动机构设置在所述腔室内，所述驱动机构驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述内传动机构，用于同步带动密封传动机构的外传动机构设置在腔室外部，方便维修和保养；所述内传动机构包括传动轴和传送轮，结构简单紧凑，通过传送轮来传送基片，使真空腔室内的传动部件达到最少，最大限度地避免因传动部件的直接物理接触或传动部件的润滑而给洁净真空腔室带来污染，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。由于本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地同步传送基片，以及最大限度的确保真空系统的可靠性。因此比较适用于对真空环境要求高的传送线上，尤其适合于LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、薄膜太阳能面板等大尺寸玻璃基材的真空镀膜、覆膜制程。
附图说明
图1为本实用新型真空同步传送系统的立体示意图。
图2为图1所示真空同步传送系统的截面图。
图3为图2中A部分的放大示意图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如图1-3所示，本实用新型公开了一种真空同步传送系统，包括用于形成真空环境的密闭腔室100、驱动机构200、外传动机构300、密封传动机构400以及内传动机构500，所述驱动机构200与外传动机构300均设置在真空腔室100外，所述密封传动机构400设置在所述腔室100侧壁上，通过所述密封传动机构400把来自所述外传动机构300的动力传送给所述内传动机构500，用于传送基片600的内传动机构500设置在腔室100内，所述内传动机构500包括传动轴502和传送轮504，通过传送轮504来传送基片600，使真空腔室100内的传动部件达到最少，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。本实用新型真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够平稳、快速有效地同步传送基片600，以及最大限度的确保真空系统的可靠性，因此比较适用于对真空环境要求高的传送线上，尤其适合于LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、薄膜太阳能面板等大尺寸玻璃基片的真空镀膜、覆膜制程。
参考图1-2，所述真空同步传送系统的密闭腔室100为任何直线型生产设备的传送腔室100或任何包括线型传送装置的覆膜、镀膜腔室，腔室100形状和大小不固定，所述腔室100由主体102和腔盖104配合形成，所述腔室100内两侧设置有固定座106，所述腔室100外对应固定座106的两侧设置有轴承座108，所述腔室100的位于所述固定座106与所述轴承座108之间的两侧壁开设有两排分别一一对应的密封孔110。所述真空同步传送系统的传动机构包括外传动机构300、多组密封传动机构400以及多组内传动机构500，多组所述内传动机构500与所述腔室100底部平行并对称分布在所述腔室100内两侧，所述腔室100两侧壁对应多组所述内传动机构500开设有密封孔110，所述密封传动机构400安装在所述密封孔110中，所述外传动机构300与所述密封传动机构400的一端相连，所述内传动机构500与所述密封传动机构400的另一端相连，所述内传动机构500包括传动轴502和承载基片600的传送轮504，所述传动轴502枢接地穿过所述固定座106，所述传送轮504固定在传动轴502的一端，传动轴502另一端连接所述密封传动机构400，所述腔室100内两侧的所述传送轮504之间形成基片承载区，驱动机构200同步驱动外传动机构300，外传动机构300通过密封传动机构400传送动力给传动轴502，传动轴502带动传送轮504转动，从而实现对承载于所述传送轮504上的基片600的传送。
较佳地，所述传送轮504呈阶梯状，具有高阶面和低阶面。基片600承载于所述传送轮504上，一方面，所述传送轮504的低台阶面能有效支撑所述基片600，另一方面，传送轮504的高台阶面与所述低台阶面之间形成的壁面能对基片600起限位作用，能有效防止基片600在传送过程中发生偏移，使基片600传送更加平稳可靠。
较佳地，参考图3，所述密封传动机构400包括密封传动齿轮402、密封盖404、外磁环套406以及内磁环套408，所述密封盖404密封的安装于密封孔110中，所述密封盖404具有中空结构的凸起，该中空部分与所述腔室100相通，所述外磁环套406固定套设在密封盖404的凸起上，所述密封传动齿轮402固定在所述外磁环套406上，所述内磁环套408固定套设在所述传动轴502上并容置于密封盖404中空结构内，所述外磁环套406与所述内磁环套408均设有永磁体410。由于永磁体410相互之间的引力和斥力的作用，使外磁环套406和内磁环套408时刻保持磁联系，能够维持相对的同步转动，形成无接触式永磁联轴结构，在密封的同时，通过磁力传动把来自腔室100外的动力同步传送给腔室100内的内传动机构500，有效保证了密封性能，解决了腔室内外动力传动过程中的密封泄露问题。较佳地，所述真空同步传送系统还包括密封圈412，所述密封圈412为O型密封圈，设置在密封盖404与腔室100侧壁之间，通过螺钉将所述密封盖404与O型密封圈412压在腔室100上，使腔室100保持静密封状态，从而有效防止灰尘进入真空腔室100内，提高密封性能。
较佳地，所述外传动机构300包括多个外传动齿轮302、主动链轮304、从动链轮306、链条308以及联动轴310，多个所述外传动齿轮302分别与多个所述密封传动机构400的密封传动齿轮402一一对应啮合，所述联动轴310枢接在腔室100外壁轴承座108中，多个所述外传动齿轮302与所述从动链轮306同轴固定在联动轴310上，所述主动链轮304位于从动链轮306的下方，且两者之间通过链条308连接，所述链条308缠绕于从动链轮306和主动链轮304上，所述主动链轮304与所述驱动机构200的输出轴固定连接，所述主动链轮304由驱动机构200驱动，并通过所述链条308带动从动链轮306转动。通过利用链轮、链条、齿轮的配合协作将动力平稳传送给所述密封传动机构。通过同轴设计，多个所述外传动齿轮302能同时驱动对应的多组密封传动机构400，从而实现腔室100内多组内传动机构500的同步转动，使得基片600传送更连续平稳可靠。
在本实用新型的实施例中，所述腔室100外两侧设有两所述外传动机构300，所述驱动机构200与两所述外传动机构300任一相连，两所述外传动机构300之间通过同步链条312连接，驱动机构200驱动两外传动机构300同步运动，其中，所述外传动机构300的主动链轮304为双排链轮，所述主动链轮304的一链轮通过链条308与从动链轮306相连，另一链轮通过同步链条312与腔室100另一侧的主动链轮304的其一链轮相连。通过同一驱动机构200同步驱动所述外传动机构300，使腔室100内的内传动机构500充分有效地实现同步转动，从而能更有效平稳地传送基片600，增强所述真空同步传送系统同步传送的可靠性。可以理解地，所述外传动机构300可以采用其他形式的传动，例如带轮、同步带或齿轮组等其他组合，任何可以与所述驱动机构200相连并可以将动力传送给密封传动机构400的传动组均可用于本实用新型的外传动中。
较佳地，所述驱动机构200为伺服电机。伺服电机响应速度快、精度高，能将输入的控制电压信号平稳快速转换为电机轴上的机械输出量，使得基片600在同步传送的过程中快速有效、精确且平稳可靠。
以下对本实用新型真空同步传送系统的工作原理做进一步详细的说明：
在本实用新型真空同步传送系统的传动过程中，通过控制驱动机构200驱动位于所述腔室100一侧的外传动机构300中的主链动轮304，同步链条312带动腔室100另一侧的主动链轮304同步转动，所述主动链轮304通过链条308带动从动链轮306，从动链轮306同轴带动多个外传动齿轮302转动，通过分别与多个密封传动齿轮402的啮合使所述密封传动机构400中的外磁环套406以密封盖404端部为轴转动，所述外磁环套406上的永磁体410与内磁环套上的永磁体410保持磁力联系，通过磁力作用使内磁环套408相对外磁环套406做同向或反向的同速转动，继而带动内传动轴502同步转动，从而实现腔室100内两侧的传动轮504随相应的传动轴502一起转动，连续平稳地传送基片600。由于本实用新型的真空同步传送系统中用于提供动力的驱动机构200和用于传递驱动机构输出动力的外传动机构300均设置在所述真空腔室100外，所述密封传动机构400设置在腔室100侧壁上，所述内传动机构500设置在腔室100内，两外传动机构300设置在腔室100外部，方便维修和保养；所述内传动机构500包括传动轴502和传送轮504，结构简单紧凑，通过传送轮504来传送基片600，使真空腔室100内的传动部件达到最少，最大限度地避免因传动部件的直接物理接触或传动部件的润滑而给洁净真空腔室100带来污染，解决了传动机构本身引入真空系统污染的问题，大大的提高了清洁度。所述真空同步传送系统高清洁度、无污染、结构简单紧凑，能够保证基片600平稳、快速有效的同步传送，以及最大限度的确保真空系统的可靠性。
本实用新型真空同步传送系统所涉及的密封传动机构的磁力工作原理为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
Claims (8)
1.一种真空同步传送系统，包括驱动机构、传动机构、形成真空环境的密闭腔室，所述腔室内设有固定座，其特征在于：所述传动机构包括外传动机构、多组密封传动机构以及多组内传动机构，多组所述内传动机构与所述腔室底部平行并对称分布在所述腔室内两侧，所述驱动机构与所述外传动机构设置在所述腔室外，所述腔室两侧壁对应所述多组内传动机构开设有密封孔，所述密封传动机构安装在所述密封孔中，所述外传动机构与所述密封传动机构的一端相连，所述内传动机构与所述密封传动机构的另一端相连，所述内传动机构包括传动轴和承载基片的传送轮，所述传动轴枢接地穿过所述固定座，所述传送轮固定在所述传动轴的一端，所述传动轴的另一端连接所述密封传动机构，所述腔室内两侧的所述传送轮之间形成基片承载区，所述驱动机构同步驱动所述外传动机构，所述外传动机构通过所述密封传动机构传送动力给所述传动轴，所述传动轴带动所述传送轮转动。
2.如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述密封传动机构包括密封传动齿轮、密封盖、外磁环套以及内磁环套，所述密封盖密封的安装于所述密封孔中，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述外磁环套固定套设在所述密封盖的凸起上，所述密封传动齿轮固定在所述外磁环套上，所述内磁环套固定套设在所述传动轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均设有永磁体。
3.如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述真空同步传送系统还包括密封圈，所述密封圈连接于所述腔室侧壁与所述密封传动机构之间。
4.如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述外传动机构包括外传动齿轮、主动链轮、从动链轮以及链条，所述外传动齿轮与所述从动链轮同轴枢接在所述腔室外壁上，所述外传动齿轮与所述密封传动机构相连，所述主动链轮与所述驱动机构的输出轴固定连接，所述链条缠绕于所述主动链轮与所述从动链轮上。
5.如权利要求4所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述外传动机构还包括联动轴和多个外传动齿轮，各所述外传动齿轮与所述密封传动机构一一对应相连，各所述外传动齿轮与所述从动链轮均固定在所述联动轴上，所述腔室外壁设有轴承座，所述联动轴枢接在所述轴承座上。
6.如权利要求4所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述腔室外设有两所述外传动机构，所述驱动机构与所述两外传动机构任一相连，所述主动链轮为双排链轮，两双排链轮之间通过同步链条相连。
7.如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述传送轮呈阶梯状。
8.如权利要求1所述的真空同步传送系统，其特征在于：所述驱动机构为伺服电机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201939825U CN201506633U (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 真空同步传送系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009201939825U CN201506633U (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 真空同步传送系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201506633U true CN201506633U (zh) | 2010-06-16 |
Family
ID=42467761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009201939825U Expired - Fee Related CN201506633U (zh) | 2009-09-03 | 2009-09-03 | 真空同步传送系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201506633U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108225403A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-29 | 重庆日联科技有限公司 | 带托盘的异形件通用检测机 |
| CN108449859A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | 西北核技术研究所 | 用于真空中的轮轴式粒子加速器降能装置及其降能方法 |
-
2009
- 2009-09-03 CN CN2009201939825U patent/CN201506633U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108225403A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-29 | 重庆日联科技有限公司 | 带托盘的异形件通用检测机 |
| CN108225403B (zh) * | 2017-12-28 | 2024-01-30 | 重庆日联科技有限公司 | 带托盘的异形件通用检测机 |
| CN108449859A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | 西北核技术研究所 | 用于真空中的轮轴式粒子加速器降能装置及其降能方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101648649B (zh) | 真空基片传送系统 | |
| CN101958264B (zh) | 无尘式真空动力传送装置 | |
| WO2010139174A1 (zh) | 基片传输机构 | |
| TW200839930A (en) | Rotation introducing mechanism, substrate transfer device, and vacuum treating apparatus | |
| CN101946314A (zh) | 用于在超净室内传送和旋转压敏面板的方法和设备 | |
| CN201506633U (zh) | 真空同步传送系统 | |
| CN102157708B (zh) | 有机el设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法 | |
| CN103290382B (zh) | 一种真空镀膜机行星式工件架 | |
| CN201512310U (zh) | 非接触式滚轮装置驱动机构 | |
| CN202629027U (zh) | 旋转运动传动设备 | |
| CN104891091A (zh) | 一种传送装置 | |
| KR20090011381A (ko) | 기판이송장치 | |
| CN103560102A (zh) | 一种机械手操作系统 | |
| CN103420165A (zh) | 一种基片传输装置 | |
| CN101704452B (zh) | 滚轮装置驱动机构 | |
| CN204384239U (zh) | 一种洁净型的高精度平板玻璃倾斜传输机构 | |
| CN101814451B (zh) | 同步传输装置及具有该装置的直线传输系统和控制方法 | |
| CN210030885U (zh) | 一种阵列式多炉管pecvd设备 | |
| CN101876058B (zh) | 真空蒸镀装置 | |
| CN101604650B (zh) | 基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备 | |
| CN203473933U (zh) | 一种玻璃基板真空传送系统 | |
| CN201457770U (zh) | 小袋下料装置 | |
| CN101958634B (zh) | 真空动密封精确传动装置 | |
| CN104846330A (zh) | 一种蒸镀设备 | |
| CN102034725B (zh) | 基片自动对位上载装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20131205 Granted publication date: 20100616 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20140905 Granted publication date: 20100616 |
|
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20140905 Granted publication date: 20100616 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20150905 Granted publication date: 20100616 |
|
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20150905 Granted publication date: 20100616 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20190903 Granted publication date: 20100616 |
|
| PD01 | Discharge of preservation of patent | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100616 Termination date: 20130903 |