JPH07115120A

JPH07115120A - 基板搬送装置およびその方法

Info

Publication number: JPH07115120A
Application number: JP25958993A
Authority: JP
Inventors: Tatsuharu Yamamoto; 立春山本; Yoshifumi Kawamoto; 佳史川本; Natsuki Yokoyama; 夏樹横山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-10-18
Filing date: 1993-10-18
Publication date: 1995-05-02

Abstract

(57)【要約】【構成】基板キャリア１０２を搬送方向に平行なすき間
を有する搬送ケース１０３に収納し、すき間を線形磁性
流体シール１０４によって封止し密閉搬送空間を形成す
る。搬送方向に可動で、線形磁性流体シール１０４を貫
通する非磁性材料の運動伝達板１０５によって、駆動機
構１０６と基板キャリア１０２を接続する。永久磁石１
０７の対を、基板キャリア１０２と搬送ケース１０３に
反発力が発生するように配置し、基板キャリア１０２の
重量を非接触で支持ながら搬送する。【効果】浮上制御を必要としない簡単な構造で、塵埃汚
染及び不純物汚染の無い一貫した清浄環境下で基板を連
続的に搬送することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板表面への汚染ガス
や塵埃の付着が、薄膜の電気的特性の劣化や微細パター
ンを形成する上で障害となる半導体基板やディスプレイ
基板等の搬送対象物を、大気から完全に隔離し、清浄な
雰囲気に制御された空間内で搬送するための基板搬送装
置及びその基板搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体基板等の搬送機構に起因する塵埃
汚染を防止することを目的として構成された基板搬送装
置には、特開昭62−238159号公報のように、直線的な磁
性流体シールによって駆動機構部を密閉し、磁性流体シ
ールのすき間を貫通した状態で移動する接続部材によっ
て、外部へ搬送運動を伝達するものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ＵＬＳＩ等の製造ライ
ンにおいて、基板表面への塵埃の付着が、製品の歩留に
重大な影響を与えることが知られている。基板を搬送す
る際の汚染防止は、空気中の塵埃をフィルターで除去
し、気流制御された環境に維持されたクリーンルーム内
で基板を搬送することによって行われていた。しかし、
別冊日経マイクロデバイスＮｏ２「超クリーン化技
術」，ｐｐ.１８２−１９０，日経ＢＰ社，1988.に述べ
られているように、基板を大気から隔離し、汚染ガス、
特にＨ₂ＯやＯ₂，ＣＯ₂を極力排除し、表面酸化が防止
できる空間内で搬送することも重要となって来ている。
このような基板搬送における課題に対し、従来技術で
は、基板搬送がクリーンルーム環境下で行われる以上、
搬送機構に起因する塵埃汚染には有効であるが、汚染ガ
スの付着を極限まで防止することは出来ない。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するこ
とを目的に、本発明は次のような手段を講じる。

【０００５】(1）搬送方向に平行なすき間を有する搬送
ケースに基板を搭載する基板キャリアを収納し、そのす
き間を永久磁石によって保持された磁性流体によって封
止する線形磁性流体シールを構成する。この線形磁性流
体シールによってシールされるすき間の量は、０.１mm
〜０.５mmの範囲とする。そして搬送方向に可動かつ前
記線形磁性流体シールを貫通する非磁性材料の運動伝達
板によって、基板キャリアと搬送ケース外部に設置され
た駆動機構を接続し、線形磁性流体シールによって密閉
状態を破ることなく駆動機構の運動を基板キャリアに伝
達する。また基板キャリアの駆動方向以外の位置変動を
抑制する手段として、反発力または吸引力を発生する複
数の永久磁石の対を、基板キャリアと搬送ケースに備え
る。

【０００６】(2）(1）の手段による複数の基板搬送装置
を直接またはゲートバルブや移載ロボット等を介して接
続して、複数の処理装置及び検査装置の間を搬送する搬
送ループまたは搬送ネットワークを形成し、それぞれの
接続位置において、基板または基板キャリアを異なった
搬送区間または搬送方向へ変換する機構を設置する。

【０００７】(3）(2）の手段による搬送ケース内部の雰
囲気を高純度の不活性ガスまたは超高真空の雰囲気に維
持する。

【０００８】

【作用】上記の手段(1)と(2)と(3）によって、外部から
の浮上制御を必要としない極めて簡単な構造により、大
気から完全に隔離され、かつ機構摺動部がない搬送空間
および搬送ネットワークを低コストで構築し、塵埃の発
生及び付着と、基板汚染、特に自然酸化膜の成長を防止
した一貫した環境下で、基板を連続的に搬送することが
できる。

【０００９】

【実施例】図１は本発明による基板搬送装置の基本構造
図であり、図１（ａ）はその断面図、図１（ｂ）はその
平面図である。また図２は本発明による線形磁性流体シ
ールの構造を示し、図２（ａ）は断面図、図２（ｂ）は
運動伝達板が通過する際の断面図、図２（ｃ）はその平
面図であり運動伝達板の形状を示す。

【００１０】図１（ａ）において、基板１０１を搭載す
る基板キャリア１０２は搬送方向に延長され、かつ搬送
方向に平行なすき間を有する搬送ケース１０３に収納さ
れている。搬送ケース１０３のすき間は図２（ａ）で示
すように、磁性流体２０１を永久磁石２０２と強磁性材
のヨーク２０３によって保持する１または複数段の線形
磁性流体シール１０４によって封止する。磁性流体２０
１のベース溶液には、２０℃での蒸気圧が６×１０^-10T
orr 以下のアルキルナフタリン、または２×１０^-11Tor
r 以下のパーフルオロポリエステルを用いる。

【００１１】また、図２(ｂ)で示すように、搬送方向に
可動かつ線形磁性流体シール１０４を貫通する非磁性材
料からなる一または複数の運動伝達板１０５によって、
リニアモータ，ボールねじ，ベルト駆動機構などの直線
駆動を行う駆動機構１０６と基板キャリア１０２を接続
する。また運動伝達板１０５には、図２（ｃ）で示すよ
うに磁性流体２０１が保持されている位置において切欠
きを有することによって、移動の際に磁性流体２０１が
排除されるのを防止する。このような手段によって搬送
ケース１０３の密閉状態を破ることなく駆動機構１０６
の運動を基板キャリア１０２に伝達する密閉駆動構造を
構成する。

【００１２】さらに基板キャリア１０２の駆動方向以外
の位置変動を抑制する手段として、基板１０１を搭載し
た基板キャリア１０２の重量より大きな反発力を発生す
る１または複数の永久磁石１０７の対を、基板キャリア
１０２と搬送ケース１０３に配置する。これによって基
板キャリア１０２は重力方向は永久磁石１０７によって
非接触で支持され、水平方向の自由度は運動伝達板１０
５によって支持されるため、搬送ケース１０３内部に機
構摺動部を持たなくとも、基板キャリア１０２は安定な
位置を維持しながら移動させることができる。

【００１３】図３は永久磁石による吸引力支持の基板搬
送装置の断面図である。図３に示す実施例では、搬送ケ
ース３０６との間を封止するシール材３０５が固定され
たケーシング３０１に、リニアモータ，ボールねじ，ベ
ルト駆動機構などの直線駆動を行う駆動機構３０２と、
図２（ａ）に示す構造の線形磁性流体シール３０３を設
置することによってユニット化された密閉駆動構造を用
いる。これは様々な搬送経路や搬送対象物に対応して構
造が決められる搬送ケースに、ユニット化または標準化
された密閉駆動構造を接続する方法を取ることにより、
基板搬送装置の組立てを容易にし、製作コストを軽減す
るためである。（以後の実施例の説明での密閉駆動構造
とは、このようなユニット化された構造を示すものとす
る）同図において、基板３０８は搬送方向に対し垂直に
搭載されている。そして基板キャリア３０７の駆動方向
以外の位置変動を抑制する手段として、基板キャリア30
7と運動伝達板３０４の接続位置の反対側に、吸引力を
発生する一または複数の永久磁石３０９の対を基板キャ
リア３０７と搬送ケース３０６に設置する。このような
構成の基板搬送装置は、基板の搬送姿勢が水平方向に維
持されなければならない場合での垂直方向の搬送に適し
ている。

【００１４】図４は複数の密閉駆動構造を用いた基板搬
送装置の断面図である。図４に示すように、搬送ケース
４０３に少なくとも二式の密閉駆動構造４０１を設置す
る。そして搬送ケース４０３内部の基板キャリア４０４
は垂直方向の少なくとも二枚の運動伝達板４０２によっ
て支持する。これによって基板キャリア４０４は重力方
向および水平方向の自由度は運動伝達板４０２によって
支持されるため、搬送ケース４０３内部に機構摺動部を
持たなくとも、基板キャリア４０４は安定な位置を維持
しながら移動させることができる。

【００１５】図５は基板キャリアの受渡し機能を持つ基
板搬送装置の断面図である。図５（ａ）に示すように、
運動伝達板５０３に接続された接続ばね５０２はばね力
によって基板キャリア５０１を支持している。また基板
キャリア５０１は、異なったホルダによって水平四方向
及び下方からの基板の５０４ホールドができる構造にな
っている。以後の実施例の説明にはこの構造の基板キャ
リアを用いる。そして図５（ｂ）に示すように、接続ば
ね５０２に変形を加える圧子５０５と圧子５０５を隔離
するベローズ５０６からなる接続開放機構が搬送ケース
の所定の位置に設置されている。接続ばね５０２を圧子
５０５によって変形させて基板キャリア５０１との接続
を開放したり、逆にあらかじめ圧子５０５によって変形
させている接続ばね５０２の位置に基板キャリア５０１
を移動させ、その変形を解除することで基板キャリア５
０１と再接続できる。

【００１６】次に図５の構造を用いて基板キャリアを受
渡しながら搬送する実施例について説明する。

【００１７】図６は図５で示す接続開放機構の受渡し機
能によって直角搬送経路を移動する基板搬送装置の平面
図である。図６において、二式の駆動装置６０１，運動
伝達板６０２および接続ばね６０３からなる第一の搬送
機構によって基板キャリア６０４は支持され、同図面の
上方向から角の位置まで搬送されて来るものとする。ま
た第一の搬送機構と同様に、二式の駆動装置６０５，運
動伝達板６０６および接続ばね６０７からなる第二の搬
送機構が角の位置で待機しており、かつ図５で示した接
続開放機構によって接続ばねを変形させている。そして
第一の搬送機構によって基板キャリア６０４が角の位置
へ来た時点において、基板キャリア６０４を接続開放機
構によって第一の搬送機構から開放し、同時に第二の搬
送機構に接続する。この受渡し動作の後に基板キャリア
６０４は第二の搬送機構によって同図面の左方向へ搬送
される。

【００１８】図７は図５で示す接続開放機構の受渡し機
能によってゲートバルブを通過する動作を示した図であ
る。図７に示すように第一と第二の基板搬送装置７０
１，７０２をゲートバルブ７０３を介して接続して、前
後の搬送空間を遮断できる直線搬送経路を構成する。ま
た第一と第二の基板搬送装置７０１，７０２のそれぞれ
に、駆動装置と運動伝達板および接続ばねからなる搬送
機構７０４，７０５と７０６，７０７が設置されてい
る。

【００１９】図７（ａ）において、基板キャリア７０８
はゲートバルブ７０３の直前まで移動し、それと同時に
ゲートバルブ７０３を開ける。さらに接続開放機構によ
って前方の搬送機構７０５の接続ばねを開放し、後方の
搬送機構７０４のみで基板キャリア７０８を第二の基板
搬送装置７０２へ送り込む。次に図７（ｂ）において、
第二の基板搬送装置７０２で待機していた前方の搬送機
構７０７と基板キャリアに接続し、後方の搬送機構７０
４を開放し、前方の搬送機構７０７のみで基板キャリア
７０８全体を第二の基板搬送装置７０２へ送り込む。次
に図７(ｃ)において、ゲートバルブ７０３を閉じ、後方
の搬送機構７０６も基板キャリア７０８に接続し、前後
二つの搬送機構７０６，７０７によって搬送する。以上
のような構成及び動作により、ゲートバルブによって遮
断され異なった雰囲気に維持される二つの搬送ケースの
間を、直接的な基板の移載を行うことなく移動させるこ
とができる。

【００２０】図８は搬送ケースに基板の移載を行う基板
上下機構を備える基板搬送装置の動作を示した図であ
る。図８の基板搬送装置では、搬送ケース８０１に第一
と第二の基板キャリア８０２，８０３が設置されてお
り、それぞれ独立した搬送動作を行う搬送機構によって
駆動される。そして搬送ケース８０１下部に基板８０４
を上下する基板上下機構８０５を設置する。基板上下機
構８０５は、基板ホルダ、支柱及び支柱をシールするベ
ローズで構成されており、搬送ケース８０１外部からの
上下運動を基板８０４に伝達する働きを持つ。

【００２１】図８（ａ）において、基板上下機構８０５
の直上に基板８０４を搭載した第一の基板キャリア８０
２は停止しており、基板８０４を搭載していない第二の
基板キャリア８０３は第一の基板キャリア８０２の近傍
まで移動させる。次に図８（ｂ)，(ｃ）において、基板
上下機構８０５を上げて第一の基板キャリア８０２から
基板８０４を持ち換えた後に、第一の基板キャリア８０
２を退避させると同時に、第二の基板キャリア８０３を
基板上下機構８０５の直上に移動させる。次に図８
（ｄ）において、基板上下機構８０５を下げて第二の基
板キャリア８０３へ基板８０４を持ち換えた後に、第二
の基板キャリア８０３が移動する。このような構成は例
えば、基板８０４の抜取り検査または個別処理などのた
めに、第一の基板キャリア８０２が移動する定常的な搬
送経路から分岐し、基板を第二の基板キャリア８０３に
よって他の搬送経路へ移動させる際に用いることができ
る。

【００２２】図９は図８の基板上下機構を用いて、平行
または交差して接する二つの基板搬送装置の間で基板の
移載を行う動作を示した図である。

【００２３】まず図９（ａ）において、第一と第二の搬
送ケース９０１，９０２には基板９０３が通過できる大
きさで、大気からシールされて接続された通過口が設け
られており、かつ第二の搬送ケース９０２には第一と第
二の基板キャリア９０４，９０５との間で基板９０３の
受渡しを行う基板上下機構９０６が設置されている。基
板上下機構９０６の直上に基板９０３を搭載した第一の
基板キャリア９０４と、基板９０３を搭載していない第
二の基板キャリア９０５が停止している。

【００２４】次に図９（ｂ）において、基板上下機構９
０６を上げて第一の基板キャリア９０４から基板９０３
を持ち換える。次に図９（ｃ）において、空になった第
一の基板キャリア９０４を基板上下機構９０６から退避
させる。次に図９（ｄ）において、基板上下機構９０６
を下げて第二の基板キャリア９０５へ基板９０３を持ち
換えた後に、第二の基板キャリア９０５が移動する。こ
のような構成は図８の実施例と同様に、基板の搬送経路
の分岐または変更を行う際に用いることができる。

【００２５】図１０は基板の移載ロボットを設置したバ
ッフア容器にゲートバルブを介して複数の基板搬送装置
を接続して構成した搬送システムを示した図である。

【００２６】図１０において、搬送ケース１００１，１
００２，１００３，１００４は圧力またはガス種におい
て異なった雰囲気に維持されているものとする。例え
ば、基板１００５を、高純度の窒素ガス雰囲気の搬送ケ
ース１００１から真空雰囲気の搬送ケース１００２へ移
載ロボットで搬送する場合を考える。まず、移載ロボッ
ト１００６を設置したバッフア容器１００７に高純度の
窒素ガスをパージしてゲートバルブ１００８を開き、移
載ロボット１００９で基板１００５を基板キャリア１０
１０からバッフア容器１００７内部に移動する。次に、
ゲートバルブ1008を閉じてバッフア容器１００７内部を
搬送ケース１００２の真空度付近まで真空排気する。

【００２７】次にゲートバルブ１０１２を開き、基板１
００５を基板キャリア１０１１に移動し、ゲートバルブ
１０１２を閉じた後、バッフア容器１００７に高純度の
窒素ガスをパージして一連の操作を完了する。このよう
な操作を行う搬送システムは、常圧のプロセスを接続す
る基板搬送装置と、減圧または真空プロセスを接続する
基板搬送装置を連結して搬送システムを構築する上で有
効な手段となる。

【００２８】図１１は基板を搭載する搬送アームを図３
の密閉駆動構造で駆動する基板搬送アーム装置の説明図
である。

【００２９】図１１（ａ）の縦方向断面図と図１１
（ｂ）の横断面図で示すように、一端を密閉し他端を搬
送対象の容器に接続され、かつ搬送方向に平行なすき間
を有する搬送ケース１１０１に、基板１１０２を先端部
分に搭載する搬送アーム１１０３を収納する。そして搬
送アーム１１０３は図３の実施例で示した密閉駆動構造
１１０４で支持されて移動する。また搬送アーム１１０
３と搬送ケース１１０１との接触を抑制する手段とし
て、搬送アーム１１０３の回転を抑制するに十分な反発
力を有する永久磁石１１０５の対を搬送アーム１１０３
の後端部と搬送ケース１１０１の上部に設ける。さらに
基板１１０２を搭載した搬送アーム１１０３の重量と永
久磁石の１１０５対の反発力の和を越える反発力を有す
る永久磁石１１０６の対を、搬送アーム１１０３の中間
部分と搬送ケース１１０１の下部に設ける。

【００３０】以上の手段により、搬送ケース１１０１内
部に機構摺動部のない基板搬送アーム装置を構成する。
また、搬送アーム１１０３に基板１１０２を受渡しする
機能を与えるために、搬送アーム１１０３の基板１１０
２の受渡し位置において、搬送アーム１１０３の中間部
分及び後端部の永久磁石１１０６，１１０５に対して、
搬送ケース１１０１外部から電磁石１１０７によって磁
場を印加して、搬送アーム１１０３に一定の回転を加
え、先端部に搭載された基板１１０２の受渡し動作を行
う。

【００３１】図１２は基板処理装置と基板搬送装置を接
続するインタフェース搬送システムの説明図であり、図
１３は複数の基板処理装置の配置に沿ったループ搬送シ
ステムの説明図である。図１２において、個々の基板処
理装置の挿入口の位置に対応した垂直および水平方向の
移動距離に設定された、図３の実施例で示した基板搬送
装置１２０１および図１１の実施例で示した基板搬送ア
ーム装置１２０２を組合せる。また基板１２０３は図１
または図５の実施例で示した基板搬送装置1204によって
複数の基板処理装置間を搬送されており、基板搬送装置
１２０４と基板搬送装置１２０１の間の搬送は移載ロボ
ット１２０５によって行う。このようにインタフェース
搬送システムは基板搬送装置１２０１と基板搬送アーム
装置１２０２と移載ロボット１２０５によって構成さ
れ、基板処理装置１２０６と基板搬送装置１２０４の搬
送を行う。

【００３２】さらに図１３において、一連の処理及び検
査を行う複数の装置１３０１の配置に沿った基板搬送装
置１３０２による搬送ループを形成し、そして基板を投
入し、取り出すための搬入装置１３０３及び搬出装置１
３０４を接続する。このように一定のループを形成した
基板搬送装置１３０２の内部に複数の基板キャリアを一
定間隔で配置し、基板キャリアを搬送ループに沿って回
転するベルトで駆動する方法を取る。そして各装置１３
０１に対応した図１２の実施例で示したインタフェース
搬送システム１３０５を接続してループ搬送システムを
構成する。さらに回転方向や速度の異なる基板搬送装置
１３０２による搬送ループを複数設置することによっ
て、任意に設定された装置間の搬送を効率的に行うこと
ができる。

【００３３】また図１４に示すように、他のループ搬送
システム１４０１や搬送ループに沿わないで設置された
装置１４０２への分岐搬送には、必要に応じて図９、ま
たは図１０の実施例に示す基板搬送装置等を用いて接続
する。

【００３４】以上、図１から図１４までに示した実施例
による搬送装置及び搬送システムを組み合わせることに
よって、装置の追加，変更にも柔軟に対応し、かつ大気
から隔離され、汚染のない一貫した清浄空間内で基板を
搬送することのできる搬送システムを、低コストで構築
することができる。

【００３５】そして本発明では、基板の搬送空間即ち搬
送ケース内部の空間を基板汚染のない雰囲気にする手段
として、搬送ケース内部を超高純度のＨｅ，Ｎ₂，Ａｒ
等の不活性ガスでパージするか超高真空に排気すること
によって、Ｏ₂，Ｈ₂Ｏ，有機ガス等の汚染ガスを排除す
るものとする。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、搬送空間において機構
摺動部のない基板搬送装置であるため、塵埃の発生及び
基板への付着を完全に防止でき、しかも浮上制御を必要
としない簡単な構造であるため低コストで製作できる。
また大気から完全に隔離された一貫した清浄環境下で基
板を連続的に搬送することができるため、クリーンルー
ムの必要性がなくなり、製造設備建設に要するコストを
大幅に削減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板搬送装置の説明図。

【図２】本発明による線形磁性流体シールの説明図。

【図３】永久磁石による吸引力支持の基板搬送装置の断
面図。

【図４】複数の密閉駆動構造を用いた基板搬送装置の断
面図。

【図５】基板キャリアの受渡し機能を持つ基板搬送装置
の断面図。

【図６】図５で示す接続開放機構の受渡し機能によって
直角搬送経路を移動する基板搬送装置の平面図。

【図７】図５で示す接続開放機構の受渡し機能によって
ゲートバルブを通過する動作を示す説明図。

【図８】搬送ケースに基板の移載を行う基板上下機構を
備える基板搬送装置の動作を示した説明図。

【図９】図８の基板上下機構を用いて、平行または交差
して接する２つの基板搬送装置の間で基板の移載を行う
動作を示した説明図。

【図１０】基板の移載ロボットを設置したバッフア容器
にゲートバルブを介して複数の基板搬送装置を接続して
構成した搬送システムを示した説明図。

【図１１】基板を搭載する搬送アームを図３の密閉駆動
構造で駆動する基板搬送アーム装置の説明図。

【図１２】基板処理装置と基板搬送装置を接続するイン
タフェース搬送システムの説明図。

【図１３】複数の基板処理装置の配置に沿ったループ搬
送システムの説明図。

【図１４】図１から図１３のいずれかの実施例を用いて
構築される搬送システムの説明図。

【符号の説明】

１０１…基板、１０２…基板キャリア、１０３…搬送ケ
ース、１０５…運動伝達板、１０６…駆動機構、１０７
…永久磁石。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板及び前記基板を搭載する基板キャリア
を、搬送経路に沿って延長された搬送ケースの内部に設
置し、前記搬送ケースの外部に設置された駆動機構によ
って前記基板キャリアを駆動する基板搬送装置におい
て、前記搬送ケースの密閉状態を維持しながら、前記駆
動機構の搬送運動を前記基板キャリアに伝達する手段と
して、前記搬送ケースの一部に、０.１mm以上、０.５mm
以下の搬送経路に沿ったすき間を設け、シール用永久磁
石で保持された磁性流体によって前記すき間をシールす
る１又は複数段の線形磁性流体シールを構成し、前記線
形磁性流体シールを貫通する１又は複数の非磁性材料の
運動伝達板によって、前記駆動機構と前記基板キャリア
を接続したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】請求項１において、前記搬送ケースの内部
又は外部に、前記搬送ケースの延長方向に沿って支持用
永久磁石を配置し、前記基板キャリアに永久磁石を設置
し、前記支持用永久磁石との間に働く反発力または吸引
力によって、前記基板キャリアを前記搬送ケースから非
接触状態にした基板搬送装置。
【請求項３】請求項１または２において、機械的な力ま
たは電磁力による外力によって、前記基板キャリアと前
記運動伝達板との接続，開放を行う接続開放機構を備
え、前記基板キャリアを複数の前記駆動機構の間で受渡
しを行う基板搬送装置。
【請求項４】請求項１または２において、前記基板の保
持手段が、前記基板キャリアの代わりに、前記基板を先
端部分に搭載する搬送アームとし、前記搬送アームと前
記搬送ケースから非接触状態にする手段として、前記搬
送アームの回転を抑制する反発力を有する第一の支持用
永久磁石の対を、前記搬送アームの後端部と前記搬送ケ
ースの上部に設け、かつ基板を搭載した前記搬送アーム
の重量と前記永久磁石の対の反発力の和を越える反発力
を有する第二の支持用永久磁石の対を、前記搬送アーム
の中間部分と前記搬送ケースの下部に設けたことを特徴
とする基板搬送装置。
【請求項５】請求項４において、前記搬送アームの停止
位置において、前記搬送アームの中間部分及び後端部の
永久磁石に対して、前記搬送ケース外部から電磁石によ
って磁場を印加して、前記搬送アームに一定角度の回転
を加え、先端部に搭載された前記基板の受渡し動作を行
う基板搬送装置。
【請求項６】請求項１，２または３において、前記搬送
ケースが複数の基板処理装置及び検査装置の配置に沿っ
た搬送ループを形成し、前記搬送ループに沿って回転す
る一つのベルトと、前記ベルトを駆動する駆動装置と、
前記ベルトに前記運動伝達板によって接続された複数の
基板キャリアによって構成される基板搬送装置。
【請求項７】請求項６において、回転方向の異なった少
なくとも一つの基板搬送装置を含む基板搬送装置。
【請求項８】請求項１，２，３，４，５，６または７に
おいて、前記磁性流体が保持されている位置において、
前記運動伝達板に切欠きを有する基板搬送装置。
【請求項９】請求項３において、前記二つの基板搬送装
置の端末を直角に接続して、直角搬送経路を形成し、前
記接続開放機構によって前記基板キャリアを受渡しし
て、直角に曲がる搬送経路を移動させる基板搬送方法。
【請求項１０】請求項３に記載の第一及び第二の基板搬
送装置をゲートバルブを介して接続し、前記接続開放機
構によって前記基板キャリアを受渡しして、前記基板キ
ャリアが前記ゲートバルブを通過する基板搬送方法。
【請求項１１】請求項１，２または３に記載の前記基板
搬送装置に、前記搬送ケースに基板上下機構を設置し
て、前記基板を複数の前記基板キャリアの間で移載する
基板搬送装置。
【請求項１２】請求項１，２または３において、前記搬
送ケースに基板上下機構を設置し、前記基板を二つの前
記基板キャリアの間で移載して搬送経路を変換する基板
搬送装置。
【請求項１３】請求項１，２，３，４，５，６，７，
８，９，１０，１１または１２において、移載ロボット
と組み合わせて搬送経路を構成し、基板処理装置及び検
査装置の間を一貫した閉鎖空間内で基板を搬送する基板
搬送装置。
【請求項１４】請求項１，２，３，４，５，６，７，
８，９，１０，１１，１２または１３において、前記搬
送ケース内部を高純度のＨｅ，Ｎ₂，Ａｒ等の不活性ガ
ス雰囲気または真空雰囲気に維持する手段を有する基板
搬送装置。