CN101139045A - 基板传输装置 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种基板传输装置，包括一腔体、一设置在腔体外部的旋转轮、一设置在旋转轮上的第一磁铁、一设置在腔体内部的承载板、以及一设置在承载板上的第二磁铁。
Description
技术领域
本发明关于一种基板的传输装置，特别是一种用于腔体内的基板传输装置。
背景技术
在制作工艺设备产业中，传输装置几乎都是将所有的传输组件装置在腔体内部，而主要的传输型态可分为接触式与非接触式。接触式传输通常是使用机械力来作为传输动力，在传输过程中很容易因传动件磨损发生弹跳或偏摆现象，且各传输组件间的彼此摩擦，亦会造成粉粒(particle)的生成，污染制作工艺环境，影响制作工艺品质；而非接触式传输，则是指使用非接触力来作为传输动力的传输方式，如气浮和磁力等。德国OTB SOLAR公司所推出的Capacity机种就是一种装置于腔体内部的非接触式传输系统，其是利用电磁感应原理达成传输功能，虽然可以改善接触式传输所衍生的问题，但其所有主被动传输组件皆装置于腔体内部，容易被腔体内的制作工艺环境与反应生成物所污染，进而导致维修保养成本的增加。
发明内容
有鉴于上述先前技术的介绍，不难得知传统的传输装置显然未能同时解决防止粉粒生成而污染腔体、减少维修成本及时间、以及避免传输装置受制作工艺污染等问题，基于实际需要，发明人设计一「基板传输装置」，以期解决上述的问题。
本发明的主要目的，在于提供一种构造简单且适用于腔体内的基板传输装置，以达到避免腔体内的粉粒生成以及传输装置受制作工艺污染的效果。其特征为：
在腔体外部设置有旋转轮，且沿着旋转轮的旋转方向在旋转轮的轮面上设置有一圈第一磁铁，每一个第一磁铁远离旋转轮端的极性皆与相邻的第一磁铁远离旋转轮端的极性彼此相反；
腔体内部设置一承载板，且沿着承载板的移动方向在承载板的下方设置有一串第二磁铁，每一个第二磁铁远离承载板端的极性皆与相邻的第二磁铁远离承载板端的极性相反；
旋转轮上的第一磁铁与承载板上的第二磁铁彼此间有相互作用的磁场，因此产生磁力并互相牵引，当旋转腔体外部的旋转轮时，第一磁铁的磁场相位角改变，使第一磁铁与第二磁铁间的磁场相位产生变化，进而改变磁力分布，以此牵引第二磁铁，并带动承载板移动。
本发明至少具有下列的优点：传输装置构造简单、稳定性高，可提供腔体内承载板的平稳移动。且主动传输组件置于腔体外部，维修简便；被动传输组件则置于承载板下方受承载板保护，因此传输装置的主动与被动组件皆不易受腔体内的制作工艺反应生成物沉积或腐蚀所造成的污染破坏；带动承载板移动的动力来源为磁力，属于非接触力，因此在传输过程中，不会发生传动组件磨损的现象，因此不易产生粉粒(particle)而污染腔体。
为使本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例并配合附图做详细说明。
附图说明
图1为本发明的构造示意立体图。
图2为本发明的构造示意剖面图。
图3为本发明构造的部分放大图。
图4为本发明的作动方式示意图。
图5为本发明的作动方式示意图。
图6为本发明的作动方式示意图。
图7为本发明另一实施方式的构造示意图。
图8为本发明另一实施方式的构造示意图。
主要组件符号说明
1...基座
2...旋转轮
3...第一磁铁
31...第一磁铁N极
32...第一磁铁S极
4...第二磁铁
41...第二磁铁N极
42...第二磁铁S极
5...隔离板
6...承载板
7...腔体
8...履带
9...滑轨
10...限制件
具体实施方式
本发明为一种「基板传输装置」，请参阅图1、图2与图3所示，主要包含有：一基座1、一旋转轮2、一第一磁铁3、一第二磁铁4、一隔离板5、一承载板6、一腔体7、一滑轨9。
各组件间的关系如下述：
请参阅图2，基座1设置在腔体7的外部，在基座1上设有一个或多数个旋转轮2，旋转轮2的旋转轴心被固定在基座1上，因此旋转轮2无法移动，但可转动。
旋转轮2设置在腔体7的外部，且沿着旋转轮2的旋转方向在旋转轮2的轮面上设置有一圈第一磁铁3，如图3所示，每一个第一磁铁3远离旋转轮2端的极性N极31均与相邻的第一磁铁3远离旋转轮2端的极性S极32彼此相反。第一磁铁3可为永久磁铁。
承载板6设置在腔体7的内部，且安装于滑轨9的滑动部上，滑轨9的固定部则安装于腔体7上，如图1所示，因此承载板6被限制只能前后移动。且沿着承载板6的移动方向在承载板6的下方设置有一串第二磁铁4，如图3所示，每一个第二磁铁4远离承载板端的极性N极41皆与相邻的第二磁铁4远离承载板端的极性S极42极性相反。第二磁铁4可为永久磁铁。
隔离板5设置在第一磁铁3与第二磁铁4之间，且嵌入于腔体7的腔壁内或固定于腔体7上。腔体7常以钢铁等感磁性金属所制成，而为了避免腔体7的感磁性金属影响第一磁铁3与第二磁铁4之间的磁吸效应，使磁场能顺利穿过，隔离板5可为一适当厚度的非感磁性材料。而在另一种实施方式中，腔体7亦可为非感磁性材料，且腔体7的厚度不至影响第一磁铁3与第二磁铁4之间的磁吸效应，此种实施方式则不需要另外安装隔离板5。。
请参阅图3所示，第一磁铁N极31与第二磁铁S极42、第一磁铁S极32与第二磁铁N极41互相吸引，产生牵引磁力；当旋转轮2以顺时针方向旋转，如图4所示，此时第一磁铁3亦以顺时针方向旋转，造成第一磁铁3与第二磁铁4间的磁场相位产生变化，造成一具有向右分量的牵引磁力，第二磁铁N极41与第二磁铁S极42受牵引磁力影响而往右边移动，因而使承载板6亦往右边移动。
当旋转轮2继续以顺时针方向旋转，如图5所示，此时承载板6受牵引磁力的影响继续向右移动，并逐渐进入中间的第一磁铁3的磁场影响范围，由于慢慢远离左边第一磁铁3的关系，承载板6受左边第一磁铁3的牵引磁力将会越来越小，且受中间第一磁铁3的牵引磁力将会越来越大，因此承载板6将继续向右移动，直至如图6所示；此时承载板6几乎已不受左边第一磁铁3和中间第一磁铁3的影响，且受右边第一磁铁3的牵引磁力亦会越来越小，借此形成一个承载板6持续向右移动的过程。而为了实际上的需要，每一个旋转轮2的旋转运动亦可独立控制，以获得更弹性的使用方式。
本发明还有另两种实施方式，如图7所示，使用一环绕于多数个旋转轮2、并由旋转轮2带动行进的履带8，且第一磁铁3沿着履带8的行进方向设置在履带8上，此时由旋转轮2、履带8与第一磁铁3构成一组履带驱动模块；或如图8所示，使用一可限制履带8于适当位置使履带8正常行进的限制件10，例如固定销、圆柱等，以及一环绕于旋转轮2与限制件10、并由旋转轮2带动行进的履带8，且第一磁铁3沿着履带8的行进方向设置在履带8上，此时则由旋转轮2、限制件10、履带8与第一磁铁3构成一组履带驱动模块。
与前一个实施方式类似地，当旋转轮2以顺时针方向旋转，此时靠近上方的履带8向右行进，因此设置在履带8上的第一磁铁3向右移动，造成第一磁铁3与第二磁铁4间的磁场相位产生变化，造成一向右的牵引磁力，第二磁铁N极41与第二磁铁S极42受牵引磁力影响而往右边移动，因而使承载板6亦往右边移动。而同样为了实际上的需要，亦可组合多数个履带驱动模块并独立控制其行进运动，以获得更弹性的使用方式。
虽然本发明已以优选实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何其所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作任意的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定者为准。
Claims (16)
1.一种基板传输装置，包括：
一腔体；
一旋转轮，该旋转轮设置在该腔体的外部；
一第一磁铁，该第一磁铁设置在该旋转轮上；
一承载板，该承载板设置在该腔体的内部；
一第二磁铁，该第二磁铁设置在该承载板上。
2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，该第一磁铁数量为多数个，且所述第一磁铁沿着该旋转轮的旋转方向设置在该旋转轮的轮面上。
3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，该旋转轮数量为多数个，且所述旋转轮的旋转运动可独立控制。
4.一种基板传输装置，包括：
一腔体；
一履带驱动模块，该履带驱动模块设置在该腔体的外部，包括：至少一旋转轮；一履带，该履带环绕于所述旋转轮；
一第一磁铁，该第一磁铁设置在该履带上；
一承载板，该承载板设置在该腔体的内部；
一第二磁铁，该第二磁铁设置在该承载板上。
5.根据权利要求4所述的基板传输装置，其特征在于，该履带驱动模块还包括一限制件，且该履带环绕于该旋转轮与该限制件。
6.根据权利要求5所述的基板传输装置，其特征在于，该限制件为固定销或圆柱。
7.根据权利要求4所述的基板传输装置，其特征在于，该第一磁铁数量为多数个，且所述第一磁铁沿着该履带的行进方向设置在该履带上。
8.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该腔体为非感磁性材料。
9.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该腔体为感磁性材料。
10.根据权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，还包括一隔离板，该隔离板为非感磁性材料，设置在该第一磁铁与该第二磁铁间，且固定于该腔体。
11.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第二磁铁数量为多数个，且所述第二磁铁沿着该承载板的移动方向设置。
12.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第二磁铁设置在该承载板靠近该第一磁铁之侧。
13.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第一磁铁数量为多数个，且所述第一磁铁远离该旋转轮端的极性与相邻的第一磁铁远离该旋转轮端的极性彼此相反。
14.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第二磁铁数量为多数个，且所述第二磁铁远离该承载板端的极性与相邻的第二磁铁远离该承载板端的极性彼此相反。
15.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第一磁铁为永久磁铁。
16.根据权利要求1或4所述的基板传输装置，其特征在于，该第二磁铁为永久磁铁。
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