CN104176509A - 基板传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板传送装置，包括：用于运载基板的传送带；至少两个磁悬浮驱动轮，所述传送带设置在至少两个磁悬浮驱动轮上；其中，每一所述磁悬浮驱动轮上沿周向间隔分布有多个第一磁块，所述传送带上间隔分布有与所述第一磁块相对的多个第二磁块，且所述第一磁块和所述第二磁块的相对面为同性磁极，用于在所述磁悬浮驱动轮转动过程中，使相对的所述第二磁块与所述第一磁块之间产生能够驱动所述传送带在至少两个磁悬浮驱动轮之间移动的磁悬浮力。本发明所提供的基板传送装置可以减小基板划伤，不会产生摩擦颗粒，防止产线产尘而影响产品品质。

Description

基板传送装置

技术领域

本发明涉及液晶制造技术领域，尤其涉及一种基板传送装置。

背景技术

目前在液晶面板制造行业中，用于传达玻璃基板的基板传送装置的传达带一般通过众多辊轮(Roller)排列而成。如图1所示，玻璃基板30在辊轮10a的驱动下前进，由前组辊轮进入后组辊轮。

传统的基板传达装置存在以下问题：

1、玻璃基板30相对辊轮10a转动，容易产生划伤等缺陷；

2、如图2所示，这种基板传达装置多为单向传送，设置在相邻两个工序设备之间，占用大面积空间；

3、辊轮由滚轴驱动，滚轴与辊轮之间存在摩擦现象，对于液晶面板制造行业来说，摩擦造成的颗粒(Particle)是不允许的，会影响液晶面板的品质。

其中，针对辊轮与滚轴之间存在摩擦的问题，目前也有将辊轮采用磁悬浮技术进行驱动的方式。

磁悬浮技术，是利用“同性相斥，异性相吸”的原理，让磁铁具有抗拒地心引力的能力，使同极磁铁之间形成一定间距，从而实现无机械接触运行，具有无磨损、无污染、功效小、噪音低等优点，可以减少污染颗粒产生，但是对于大尺寸玻璃基板，辊轮在轴向方向中间位置没有支撑，由于基板重力作用，单个辊轮承受压力较大，容易造成辊轮变形；并且由于辊轮与基板接触面积小，仍然存在基板与辊轮相对滑动容易划伤基板的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板传送装置，可以避免基板划伤，减少摩擦产尘情况发生。

本发明所提供的技术方案如下：

一种基板传送装置，包括：

用于运载基板的传送带；

至少两个磁悬浮驱动轮，所述传送带设置在至少两个磁悬浮驱动轮上；

其中，每一所述磁悬浮驱动轮上沿周向间隔分布有多个第一磁块，所述传送带上间隔分布有与所述第一磁块相对的多个第二磁块，且所述第一磁块和所述第二磁块的相对面为同性磁极，用于在所述磁悬浮驱动轮转动过程中，使相对的所述第二磁块与所述第一磁块之间产生能够驱动所述传送带在至少两个磁悬浮驱动轮之间移动的磁悬浮力。

进一步的，所述第一磁块为电磁铁或永磁铁；

所述第二磁块为电磁铁或永磁铁。

进一步的，所述传送带采用柔性树脂制成；或者，所述传送带采用无磁性履带制成。

进一步的，所述传送带的表面上设置有用于承放基板，以防止基板与所述传送带相对滑动的多个支撑阻尼块。

进一步的，每一所述支撑阻尼块上设置有用于方便机械手取放基板的取放口，所述取放口包括自所述支撑阻尼块的支撑表面向内凹陷形成的、用于供机械手的手臂插入的多个通槽。

进一步的，所述第二磁块镶嵌于所述传送带的内部，所述传送带为环形带结构，其环绕在至少两个磁悬浮驱动轮上，并在至少两个磁悬浮驱动轮之间形成上下分层且移动方向相反的第一运载面和第二运载面。

进一步的，在至少两个磁悬浮驱动轮之间还设置有用于使所述传送带保持水平的至少一个支撑机构。

进一步的，所述支撑机构为与所述磁悬浮驱动轮结构相同的驱动轮结构，其沿周向均匀分布有多个所述第一磁块。

进一步的，所述基板传送装置还包括：

多个机械手，多个所述机械手分布在所述传送带的两侧的各工序设备对应位置，用于在所述传送带与对应的各工序设备之间取放基板。

本发明的有益效果如下：

本发明所提供的基板传送装置，采用传送带传送方式，基板可以在传送带运载下实现传送，相对于传统的辊轮传送方式，基板与传送带没有相对移动，可以减小基板划伤，传送过程稳定；且本发明的基板传送装置采用磁悬浮技术对传送带进行驱动，不会产生摩擦颗粒，防止产线产尘而影响产品品质；且相较于传统的基板传送装置，本发明的基板传送装置清洁保养方便、快捷，清洁保养成本低廉。

此外，在本发明所提供的优选方案中，该基板传送装置的传送带可以为环形带结构，实现双向传送基板的目的，节省设备成本和节省空间；且可以改变现有产线的各工序设备布局，各工序设备可以分布于传送带两侧，通过机械手在传送带与各工序设备之间取放基板，与传统的产线设备布局相比，可以节省空间。

附图说明

图1为传统的基板传送装置的结构示意图；

图2为传统的产线各工序设备布局示意图；

图3为本发明所提供的基板传送装置的优选实施例的结构示意图；

图4为采用本发明所提供的基板传送装置的产线布局示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

针对现有技术中基板传送装置采用辊轮传送方式易划伤基板，且易产生摩擦灰尘影响产品品质的问题，本发明提供了一种基板传送装置，可以避免基板划伤，减少摩擦产尘情况发生。

如图3和图4所示，本发明所提供的基板传送装置包括：

用于运载基板100的传送带200；

至少两个磁悬浮驱动轮300，所述传送带200设置在至少两个磁悬浮驱动轮300上；

其中，每一所述磁悬浮驱动轮300上沿周向间隔分布有多个第一磁块301，所述传送带200上间隔分布有与所述第一磁块301相对的多个第二磁块201，且所述第一磁块301和所述第二磁块201的相对面为同性磁极，用于在所述磁悬浮驱动轮300转动过程中，使相对的所述第二磁块201与所述第一磁块301之间产生能够驱动所述传送带200在至少两个磁悬浮驱动轮300之间移动的磁悬浮力。

上述方案中，基板100是利用传送带200进行传送，相对于传统的辊轮传送方式，基板100与传送带200之间接触面积大，基板100相对传送带200的滑动阻力大，不会相对传送带200移动，从而可以减小基板100划伤情况发生，传送过程更加稳定；

此外，本发明中，采用磁悬浮技术对传送带200进行驱动，磁悬浮驱动轮300与传送带200上设置有相同磁极的磁块，根据同极排斥原理，使所述传送带200与所述磁悬浮驱动轮300之间保持悬浮，实现无接触驱动；

磁悬浮驱动轮300和传送带200的磁块之间的磁感应线分布强弱不同，当磁悬浮驱动轮300在外部驱动装置驱动下转动时，磁感应线随之转动，第一磁块301和第二磁块201间隔设置形成强弱间隔的磁感应线，会对应产生磁悬浮力从而使传送带200随磁悬浮驱动轮300转动而移动，这种磁悬浮驱动方式，不会产生摩擦颗粒，防止产线产尘而影响产品品质。

本发明中，所述第一磁块301可以采用永磁铁，相应地，所述第二磁块201可以采用与第一磁块301能同性相斥的永磁铁；或者，所述第一磁块301可以采用电磁铁，相应地，所述第二磁块201可以采用能与第一磁块301同性相斥的电磁铁。

此外，本发明中，优选的，所述传送带200采用无尘的柔性树脂制成，柔性树脂制成的传送带200重量更加轻薄；或者，所述传送带200也可以采用无磁性履带(链带)制成。当然可以理解的是，在实际应用中，所述传送带200还可以是采用结构，例如：采用橡胶等制成，在此不再一一列举。

此外，本发明中，进一步优选的，如图3所示，所述传送带200的表面上设置有多个支撑阻尼块202，用于承放基板100，以防止基板100与所述传送带200相对滑动。采用上述方案，可以将基板100放置于该支撑阻尼块202上，从而将基板100放置在传送带200上，通过支撑阻尼块202的设置，可以进一步增加传送带200与基板100之间的摩擦阻力，从而保证基板100与传送带200之间不会相对滑动，避免划伤基板100。

此外，进一步优选的，如图3所示，每一所述支撑阻尼块202上设置有用于方便机械手取放基板100的取放口203，所述取放口203包括自所述支撑阻尼块202的支撑表面向内凹陷形成的、用于供机械手的手臂插入的多个通槽。采用上述方案，通过在支撑阻尼块202上设置通槽，可以方便机械手的手臂插入通槽内，将基板100平稳放置于传送带200上或者从传送带200上取下。

此外，优选的，所述支撑阻尼块202也采用柔性材料制成，可以随传送带200进行柔性形变。

此外，如图2所示，在液晶面板制造工艺中，基板在利用传统的基板传送装置10传送至各工序设备时，传统的基板传送装置10为单向传送，产线中各工序设备之间通过基板传送装置10连接(即，相邻工序设备之间设置由多个辊轮排列形成的基板传送装置10)，可以根据需要利用机械手20在基板传送装置10与各工序设备之间取放基板，或者直接利用各辊轮将基板从一个工序设备传送至下一工序设备内。这种产线中各工序设备布局，占用空间大。

而本发明所提供的基板传送装置可以改变现有产线各工序设备的布局，如图4所示，利用本发明所提供的基板传送装置可以在传送带200的两侧分别布置各工序设备，并且，该基板传送装置还可以包括多个机械手400，多个机械手400分布在所述传送带200的两侧的各工序设备对应位置，用于在所述传送带200与对应的各工序设备之间取放基板100。采用上述方案，产线中各工序设备可以分布在传送带200的两侧，由机械手400将基板100在传送带200与各工序设备之间取放基板100，这种布局更为紧凑，节省空间。

此外，传统的基板传送装置为单向传送，而本发明所提供的基板传送装置利用传送带200传送基板100，可以实现双向传送，如图3所示，所述第二磁块201镶嵌于所述传送带200的内部，所述传送带200为环形带结构，其环绕在至少两个磁悬浮驱动轮300上，并在至少两个磁悬浮驱动轮300之间形成上下分层且移动方向相反的第一运载面和第二运载面。

采用上述方案，传送带200设计为环形带，环绕在磁悬浮驱动轮300上，在磁悬浮驱动轮300驱动下，传送带200环形移动，从而在磁悬浮驱动轮300形成上下分层且移动方向相反的两层传送带200结构，这样即可以将基板100放置在这两层传送带200结构上实现基板100的双向传送。如此，可以在双向传送的传送带200两侧布局各工序设备，使得工序设备布局更为紧凑，进一步节省空间和节省成本。

需要说明的是，上述方案中，第二磁块201镶嵌于传送带200的内部，从而可以便于在传送带200的相对两个表面上均设置所述支撑阻尼块202，以使得所述第一运载面和第二运载面在运载基板100时，基板100不会相对传送带200滑动。当然可以理解的是，所述第二磁块201的设置方式可以并不仅局限于此。

还需要说明的是，采用本发明所提供的基板传送装置也可以与传统的基板传送装置一样，采用单向传送方式来传送基板100，且本发明所提供的基板传送装置与各工序设备之间的布局方式也可以仍然采用传统的产线工序布局方式，即，各工序设备之间利用本发明的基板传送装置进行连接。

此外，还需说明的是，本发明中，所述传送带200也可以是不仅局限于环形带结构，也可以是一字型带式结构，至少两个磁悬浮驱动轮300可以并列于该传送带200下驱动所述传送带200平移。

此外，本发明中，优选的，如图3所示，在至少两个磁悬浮驱动轮300之间还设置有至少一个支撑机构500，用于使所述传送带200保持水平。

在传统的基板传送装置中，由于基板100尺寸大，单根辊轮周向方向上长度较长，且没有支撑，受基板100重力作用，辊轮承受压力过大易变形；而采用上述方案，传送带200可以采用树脂制成，重量更加轻薄，而且可以通过在传送带200中间增加支撑机构500对传送带200进行支撑，使传送带200保持水平且减少磁悬浮驱动轮300所受到的压力。

进一步优选的，如图3所示，所述支撑机构500为与所述磁悬浮驱动轮300结构相同的驱动轮结构，其沿周向间隔分布有多个所述第一磁块301。采用上述方案，利用与磁悬浮驱动轮300结构相同的支撑机构500，实现驱动和支撑传送带200的目的，可以保证传送带200保持水平，减少单个磁悬浮驱动轮300所受压力，同时可以避免支撑机构500与传送带200之间产生摩擦。

当然可以理解的是，所述支撑机构500也可以采用其他结构实现，例如：所述支撑机构500可以采用在传动带下方设置支撑台面，所述支撑台面上设置滚轮等；在此不再一一列举。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：

用于运载基板的传送带；

至少两个磁悬浮驱动轮，所述传送带设置在至少两个磁悬浮驱动轮上；

其中，每一所述磁悬浮驱动轮上沿周向间隔分布有多个第一磁块，所述传送带上间隔分布有与所述第一磁块相对的多个第二磁块，且所述第一磁块和所述第二磁块的相对面为同性磁极，用于在所述磁悬浮驱动轮转动过程中，使相对的所述第二磁块与所述第一磁块之间产生能够驱动所述传送带在至少两个磁悬浮驱动轮之间移动的磁悬浮力。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

所述第一磁块为电磁铁或永磁铁；

所述第二磁块为电磁铁或永磁铁。

3.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

所述传送带采用柔性树脂制成；或者，所述传送带采用无磁性履带制成。

4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

所述传送带的表面上设置有用于承放基板，以防止基板与所述传送带相对滑动的多个支撑阻尼块。

5.根据权利要求4所述的基板传送装置，其特征在于，

每一所述支撑阻尼块上设置有用于方便机械手取放基板的取放口，所述取放口包括自所述支撑阻尼块的支撑表面向内凹陷形成的、用于供机械手的手臂插入的多个通槽。

6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

所述第二磁块镶嵌于所述传送带的内部，所述传送带为环形带结构，其环绕在至少两个磁悬浮驱动轮上，并在至少两个磁悬浮驱动轮之间形成上下分层且移动方向相反的第一运载面和第二运载面。

7.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

在至少两个磁悬浮驱动轮之间还设置有用于使所述传送带保持水平的至少一个支撑机构。

8.根据权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，

所述支撑机构为与所述磁悬浮驱动轮结构相同的驱动轮结构，其沿周向均匀分布有多个所述第一磁块。

9.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，

所述基板传送装置还包括：

多个机械手，多个所述机械手分布在所述传送带的两侧的各工序设备对应位置，用于在所述传送带与对应的各工序设备之间取放基板。