CN102862819B - 输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制微粒产生的输送装置。输送装置包括腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于第1磁齿条的侧方，与第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使第1磁小齿轮旋转而使基板支承体移动。

Description

输送装置

技术领域

本发明涉及沿着腔室内的路径输送基板的输送装置。 

背景技术

在专利文献1中，公开了使用齿条－小齿轮机构，输送基板托盘的薄膜形成装置。 

专利文献1：日本特开2006－118008号公报 

发明内容

近年来，随着基板的大型化，在支承基板的基板支承体的重量增加的过程中，变得无法忽视由齿条－小齿轮机构产生的微粒，要求减少微粒。 

因此，本发明是鉴于以往的问题而提出的，其目的在于，提供一种抑制微粒产生的输送装置。 

本发明的输送装置的特征在于，该输送装置包括：腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第1磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。 

本发明的另一输送装置的特征在于，该输送装置包括：腔室；基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；第1磁齿条，设于上述基板支承体；第1磁小齿轮；以及支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，通过使上述第1磁小 齿轮旋转而使上述基板支承体移动。 

根据本发明，能提供抑制微粒产生的输送装置。 

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的基板处理装置的概略图。 

图2是图1的基板输送装置的概略剖视图。 

图3A、3B是说明图1的上部磁体的放大图。 

图4A、4B是图1的磁齿条和磁小齿轮的放大图。 

图5A－5D是变形例的磁小齿轮的俯视图。 

图6是变形例的磁齿条的俯视图。 

图7是变形例的磁齿条的侧视图。 

图8是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

图9A、9B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

图10A、10B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

图11是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

图12是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

图13是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。 

附图标记说明 

1A、1B、腔室；2、基板；3、支承构件（引导辊）；4、基板支承体；5、下部磁小齿轮；5a、第1磁小齿轮；5b、第2磁小齿轮；5c、第3磁小齿轮；6、下部磁齿条（第1磁齿条）；7、电动机；8a、8b、磁铁；9a、9b、磁铁；10、磁驱动部；12、隔壁；13、旋转传递部件；14、轨道；15、上部磁小齿轮；15a、第4磁小齿轮；15b、第5磁小齿轮；15c、第6磁小齿轮；16、上部磁齿条（第2磁齿条）；25、磁性体小齿轮；50、第1轴；51、驱动轴；55a、第7磁小齿轮；55b、第8磁小齿轮；150、第2轴。 

具体实施方式

以下，参照附图说明用于实施本发明的方式。图1是本发明的第 1实施方式的基板处理装置的概略侧视图。图2是本发明的基板处理装置的侧剖视图。 

如图1所示，基板处理装置1包括腔室1A和通过闸阀11与该腔室1A连接的腔室1B。作为腔室1A，能列举例如加载互锁真空腔室、溅射成膜用腔室、CVD成膜用腔室、蚀刻腔室等。作为腔室1B，能列举例如卸载互锁真空腔室、溅射成膜用腔室、CVD成膜用腔室、蚀刻腔室等。各腔室是与未图示的排气部件连接，能够排气成减压气氛的壳体。另外，在本例中示出了两个腔室，但是不限定于此，基板处理装置1也可以包含3个以上的腔室。 

图2是基板输送装置的概略剖视图。如图2所示，纵向配置的基板支承体4在与行进方向垂直的截面中，具有倾斜的两个矩形的侧面（基板支承面；第1面），利用其侧面分别能够支承矩形的基板2。即，基板支承体4具有倾斜侧壁4a、4b和以连结该倾斜侧壁4a、4b各自的上端部的方式平坦地配置的上壁4c。倾斜侧壁4a、4b以它们之间的间隔随着朝向下方去而变大的方式配置。基板2能够是纵向为1700mm以上且横向为1300mm以上的大型的矩形基板，但是尺寸、形状不限定于此，也可以是例如圆盘状的基板。基板支承体4能够是纵向为2000mm以上且横向为1700mm以上。在基板支承体4的倾斜侧壁4a、4b的内侧（基板支承面的相反侧；第2面侧），在整个水平方向的范围内设有卡合构件（以下称为轨道）14。卡合构件14既可以具有曲面状的槽，也可以只具有能够滑动的平面。 

另一方面，如图1所示，在腔室1A、1B内，沿着基板支承体4的移动路径，能够旋转的多个轴承（以下称为引导辊）3分离地设置。引导辊3被嵌入该基板支承体4的轨道14的槽中，作为以使基板支承体4能够在水平方向上移动的方式支承该基板支承体4的支承构件发挥作用。利用多个引导辊3，能分散地支承基板支承体4的自重，因此，能降低因该引导辊3与轨道14的接触而产生的微粒。 

如图2所示，在基板支承体4的倾斜侧壁4a、4b的下端部，分别在整个水平方向上设有具有多个齿条磁铁的第1磁齿条6。在各第1 磁齿条6的下方，设有与第1磁齿条6以非接触状态磁耦合的、具有多个小齿轮磁铁的能够旋转的磁小齿轮5a、5b。如图1所示，沿着基板支承体4所移动的路径，多个磁小齿轮5隔开规定的间隔地配置。在这里，各磁小齿轮5绕与相对于基板支承体4的行进方向垂直的方向平行的轴旋转。如图2所示，形成于基板支承体4的一侧的倾斜侧壁4a的下端部的、与第1磁齿条6磁耦合的磁小齿轮5a、5b的旋转轴，与设于腔室1A的外部的电动机7的旋转轴51连接，能够通过电动机7的旋转而旋转。并且，形成在基板支承体4的另一侧的倾斜侧壁4b的下端部的、与第1磁齿条6磁耦合的磁小齿轮5a、5b的旋转轴也与电动机7的旋转轴51连接，能够通过电动机7的旋转而旋转。另外，在本例中，磁小齿轮5具有第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b，但是不限定于此，也可以只具有一方的磁小齿轮。 

通过使磁小齿轮5旋转，基板支承体4能够向箭头标记的方向呈直线地移动。利用该磁小齿轮5和第1磁齿条6，以非接触状态构成将磁小齿轮5的旋转转换为第1磁齿条6的直线移动的磁驱动部。另外，如图1所示，为了使分离地设置的多个磁小齿轮旋转，也可以单独地设置电动机，并设置使各电动机同步的控制部件。此外，也能够利用齿轮连结多个磁小齿轮5彼此，并利用单一的电动机使各磁小齿轮的旋转同步。 

如以上所述，根据本实施方式，利用设于基板支承体的磁齿条和在整个基板支承体的移动范围内排列的多个磁小齿轮5构成非接触的磁驱动部。根据本实施方式，与利用在整个基板支承体的移动范围内沿着基板支承体的行进方向延伸的磁螺钉而驱动基板支承体的结构比较，在装置的小型化、制造成本方面是有利的。 

如图1和图2所示，在基板支承体4的上壁4c上设有上部磁体9。另一方面，在腔室1A的顶板配置有与该磁体9磁耦合的磁体8。 

图3A、3B是说明图1的上部磁体8、9的放大图。图3A是剖视图，图3B是侧视图。如图3A所示，在腔室1A侧，互不相同的磁极朝向下方的棒状磁体8a、8b配置成两列。在基板支承体4侧，互不相 同的磁极朝向上方的棒状磁体9a、9b配置成两列。 

如图3B所示，固定于腔室1A侧的棒状磁体8a（在本例中为N极）和固定于基板支承体4侧的棒状磁体9a（S极）以非接触状态沿铅垂方向磁耦合。同样，固定于腔室1A侧的棒状磁体8b（在本例中为S极）和固定于基板支承体4侧的棒状磁体9b（N极）以非接触状态沿铅垂方向磁耦合。 

由此，基板支承体4能够维持稳定的铅垂的姿势，并且利用磁力向上方提起基板支承体4的力发挥作用，因此，对支承基板支承体的引导辊的负荷被减轻，能抑制来自引导辊3的微粒的产生。 

图4A、4B是图1的磁齿条6和磁小齿轮5的放大图。如图4A所示，第1磁齿条6包含N极与S极交替地呈直线排列的多个齿条磁铁。此外，圆筒形的能够旋转的第1磁小齿轮5a包含绕沿水平方向延伸的旋转轴线X且N极与S极交替排列的多个小齿轮磁铁。多个齿条磁铁具有相同形状，以相同间隔排列。同样，多个小齿轮磁铁也具有相同形状，以相同间隔排列。 

如图4B所示，隔着第1磁齿条6配置第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b。第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b通过沿水平方向延伸的轴50连接。沿水平方向延伸的轴50的旋转轴线X－X表示第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线。在本例中，在第1磁齿条6与第1磁小齿轮5a之间产生的磁场朝向与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向。即，第1磁小齿轮5a的各小齿轮磁铁沿与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

同样，在第1磁齿条6与第2磁小齿轮5b之间产生的磁场也朝向与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向。即，第2磁小齿轮5b的各小齿轮磁铁沿与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

这样，通过以隔着第1磁齿条6的方式配置第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b，作用于第1磁小齿轮5a与第1磁齿条6之间的磁力和 作用于第2磁小齿轮5b与第1磁齿条6之间的磁力相抵销，基板支承体4在水平方向上的变动少，能维持稳定的姿势。 

图5A－5D是说明第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的相位的偏离的图。在图5A－5D中，表示磁小齿轮相对于齿条磁铁的磁耦合的面。如上述那样，构成第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的各小齿轮磁铁具有相同形状和相同大小。 

在图5A所示的例子中，在第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b之间没有相位的偏离。在该情况下，能够增大对基板支承体4的推进力。 

另一方面，在图5B、5C、5D所示的例子中，在第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b之间，相位分别偏离22.5°、45°、67.5°。这样，通过在第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b之间错开相位，最大推力降低，但是推力变动减小，变得能够平滑移动。作为第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b之间的相位的偏离，设定为15～85°，更优选为22.5～67.5°。 

（变形例） 

图6是变形例的磁齿条的侧视图。与在图4等中所示的齿条磁铁不同，对于本例的磁齿条6，N极和S极空开规定的间隔地配置。这样，通过磁齿条6的各磁极空开间隔，相对应地，磁小齿轮侧的各磁极也能够空开相同节距的间隔。因此，作为磁小齿轮侧的磁铁，能够不使用上述的扇形的磁铁而使用棒磁铁。因此，在本例中，能降低制造成本。 

图7表示作为磁齿条6的变形例的磁性体齿条60。在这里，磁性体齿条是磁齿条的一个例子。作为磁性体齿条60，例如能列举包含铁、SUS430等磁性体的齿条。本例的磁性体齿条60空开规定的间隔而形成为凹凸形状。也可以通过组合该磁性体齿条60和在图4等中所示的磁小齿轮5a、5b而构成磁驱动部。通过使用磁性体，与使用磁铁的情况相比，对基板支承体的推进力降低，但是与磁铁相比，能够以低成本制造磁齿条。 

图8表示变形例的磁性体小齿轮。磁性体小齿轮25是在外周部形成有凹凸的圆板状的磁性构件。在这里，磁性体小齿轮是磁小齿轮的一个例子。也可以通过组合磁性体小齿轮25和在图4或图7中所示的磁齿条6而构成磁驱动部。这样，通过使用磁性体小齿轮，与使用磁铁的情况相比，对基板支承体的推进力降低，但是与磁铁相比，能够以低成本制造磁小齿轮。 

图9A、9B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。该变形例的磁齿条和磁小齿轮是与在图4等中所示的第1实施方式的磁齿条和磁小齿轮基本相同的结构，对相同的构成构件标注相同的附图标记，省略其详细的说明。但是，在该变形例中，在第1轴50上包括具有用于在与磁齿条6之间产生磁排斥力的多个小齿轮磁铁的能够旋转的第3磁小齿轮5c。该第3磁小齿轮5c的各小齿轮磁铁沿轴50的旋转轴线X－X方向被磁化。但是，不限定于此，也可以从旋转轴线X－X沿径向磁化第3磁小齿轮5c的各小齿轮磁铁。这样，在本例中，与磁齿条6同极的小齿轮磁铁位于磁齿条6的下侧，利用磁排斥力使基板支承体4浮起，由此，能够更加平滑移动。 

图10A、10B是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。该变形例的磁齿条和磁小齿轮是与在图1等中所示的第1实施方式的磁齿条和磁小齿轮基本相同的结构，对相同的构成构件标注相同的附图标记，省略其详细的说明。但是，该变形例的磁齿条和磁小齿轮与第1实施方式的磁齿条和磁小齿轮有所不同，在第1轴50上追加用于与第1磁齿条6磁耦合的第3磁小齿轮5c。即，在本例中，在与第1磁齿条6之间产生磁吸附力的不同极的小齿轮磁铁位于第1磁齿条6的下侧，由此，在该变形例中，能向基板支承体4传递更大的推进力。该第3磁小齿轮5c沿轴50的旋转轴线X－X方向被磁化，但是不限定于此，也可以从旋转轴线X－X沿径向被磁化。 

在该例中，由于被追加的第3磁小齿轮5c与第1磁齿条6在铅垂方向上磁耦合，如图2所示，在引导辊3与基板支承体4之间施加有基板支承体的自重以上的较大的力。为了减轻该力，为了抵销向下侧 方向的磁力，所以也可以在基板支承体4的上部设有第2磁齿条16和磁小齿轮15a、15b、15c。 

具体而言，如图10A、10B所示，在变形例中的基板支承体4的上端部，在腔室内设置具有呈直线排列的多个齿条磁铁的第2磁齿条16。即，在基板支承体4上，在与第1磁齿条6相反侧设有第2磁齿条16。在该第2磁齿条16的上方，设有与第2磁齿条16以非接触状态磁耦合的、具有多个的小齿轮磁铁的能够旋转的磁小齿轮15a、15b、15c。 

如图10A所示，第2磁齿条16包含N极磁铁与S极磁铁交替地呈直线配置的多个齿条磁铁。此外，圆筒形的能够旋转的第4磁小齿轮15a包含N极磁铁与S极磁铁绕旋转轴交替地排列的多个小齿轮磁铁。各齿条磁铁具有相同形状，以相同间隔排列。同样，各小齿轮磁铁也具有相同形状，以相同间隔排列。 

磁小齿轮15的旋转轴与设于腔室1A的外部的电动机（未图示）的旋转轴连接，通过电动机的旋转而能够旋转。 

如图10B所示，第4磁小齿轮15a与第5磁小齿轮15b隔着第2磁齿条16分离地配置。在本例中，在第2磁齿条16和第4磁小齿轮15a之间产生的磁场朝向与第4磁小齿轮15a和第5磁小齿轮15b的旋转轴线平行的方向。即，第4磁小齿轮15a的各小齿轮磁铁沿着与第4磁小齿轮15a和第5磁小齿轮15b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

同样，在第2磁齿条16和第5磁小齿轮15b之间产生的磁场也朝向与第4磁小齿轮15a和第5磁小齿轮15b的旋转轴线平行的方向。即，第5磁小齿轮15b的各小齿轮磁铁沿着与第4磁小齿轮15a和第5磁小齿轮15b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

这样，通过以隔着第2磁齿条16的方式配置第4磁小齿轮15a与第5磁小齿轮15b，作用于第4磁小齿轮15a和齿条磁铁16之间的磁力与作用于第5磁小齿轮15b和第2磁齿条16之间的磁力相抵销，基板支承体能维持稳定的姿势。 

另外，也可以在第2轴150上追加用于与第2磁齿条16磁耦合的 第6磁小齿轮15c。在该变形例中，利用该磁吸附力，能向基板支承体4传递更大的推进力。 

图11是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。该变形例的磁齿条和磁小齿轮是与图2所示的磁齿条和磁小齿轮基本相同的构成，对相同的构成构件标注相同的附图标记，省略其详细的说明。但是，在该变形例中，以下这一点不同，即，为了进一步的削减微粒，磁小齿轮5a、5b、轴50和旋转驱动轴51通过隔壁12配置在处理环境外（大气侧）。此外，也可以将磁小齿轮5a、5b设于腔室1A的外侧。 

此外，虽在图11中未表示，但是在使用图10中所示的磁小齿轮15a、15b、15c的情况下，同样，也可以将磁小齿轮15a、15b、15c通过隔壁设于大气侧，或设于腔室1A的外侧。 

图12是变形例的磁齿条和磁小齿轮的概略图。在该变形例中，与图4所示的磁小齿轮不同的是，在基板支承体4的两侧设有第1磁齿条6a和第2磁齿条6b，隔着第1磁齿条6a和第2磁齿条6b，分别设置磁小齿轮，且各磁小齿轮的旋转轴线朝向铅垂方向。 

具体而言，基板支承体4的一侧的第1磁齿条6a在铅垂方向上与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b磁耦合。第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b通过轴50连结，轴50与电动机7a的旋转轴连结。 

换言之，在本例中，在第1磁齿条6a与第1磁小齿轮5a之间产生的磁场，朝向与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向。即，第1磁小齿轮5a的各小齿轮磁铁沿着与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

同样，在第1磁齿条6a与第2磁小齿轮5b之间产生的磁场也朝向与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向。即，第2磁小齿轮5b的各小齿轮磁铁沿着与第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

另一方面，基板支承体4的另一侧的第2磁齿条6b在铅垂方向上与第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b磁耦合。第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b通过轴50连结，轴50与电动机7b的旋转轴连 结。 

换言之，在本例中，在第2磁齿条6b和第7磁小齿轮55a之间产生的磁场，朝向与第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b的旋转轴线平行的方向。即，第7磁小齿轮55a的各小齿轮磁铁沿着与第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

同样，在第2磁齿条6b和第8磁小齿轮55b之间产生的磁场，也朝向与第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b的旋转轴线平行的方向。即，第8磁小齿轮55b的各小齿轮磁铁沿着与第7磁小齿轮55a和第8磁小齿轮55b的旋转轴线平行的方向被磁化。 

电动机7a、7b与控制部20连接，利用控制部20能够同步地旋转。 

图13是说明不使用控制部20而使两个磁小齿轮同步的机构的图。在本例中，利用与电动机7的旋转轴连结的旋转传递部件（例如，齿轮、伞齿轮、磁齿轮、带），能够使一侧的小齿轮的旋转轴51a与另一侧的小齿轮的旋转轴51b同步地旋转。 

具体而言，在电动机7的旋转轴51a的顶端部设有旋转传递部件13a。旋转传递部件13a与连结于轴51c的旋转传递部件13b卡合，将电动机7的旋转转换为轴51c的旋转。另外，在轴51c的两端部设有旋转传递部件13c、13d。 

旋转传递部件13c与连结于磁小齿轮的旋转轴51a的顶端的旋转传递部件13e卡合，能够将轴51c的旋转转换为磁小齿轮的旋转轴51a的旋转。同样，旋转传递部件13d与连结于磁小齿轮的旋转轴51b的顶端的旋转传递部件13f卡合，能够将轴51c的旋转转换为磁小齿轮的旋转轴51b的旋转。 

利用这样的机构，电动机7的旋转同步地被转换为两个磁小齿轮的旋转轴51a、51b的旋转。 

在该情况下，从防止微粒产生的观点出发，优选旋转传递部件13a、13b、13c、13d、13f的部分配置在腔室的外侧。 

另外，在图13中，作为旋转传递部件13，表示了使用伞齿轮的例子，但是也可以通过使用磁齿轮，以非接触状态传递旋转。 

本发明的输送装置能够由在各实施方式中所述的所有的特征的组合构成。 

此外，第4磁小齿轮15a和第5磁小齿轮15b的相位也可以与在图6中表示的第1磁小齿轮5a和第2磁小齿轮5b相同地彼此错开。 

Claims (11)

1.一种输送装置，其特征在于，

该输送装置包括：

腔室；

基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；

第1磁齿条，具有呈直线排列于上述基板支承体的多个齿条磁铁；

第1磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；

第2磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，通过第1轴与上述第1磁小齿轮连接，且配置于上述第1磁齿条的侧方，与上述第1磁齿条磁耦合；以及

支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，

上述第1磁小齿轮和上述第2磁小齿轮以上述第1磁小齿轮与上述第2磁小齿轮隔着上述第1磁齿条的方式配置，

通过使上述第1磁小齿轮和上述第2磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体在与行进方向垂直的截面中具有倾斜的两个侧面，能够利用上述两个侧面支承基板。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

上述第1磁小齿轮的多个小齿轮磁铁与上述第2磁小齿轮的多个小齿轮磁铁错开相位地配置。

4.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

在上述第1轴上设有能够旋转的第3磁小齿轮，该第3磁小齿轮具有用于在与上述第1磁齿条之间产生磁排斥力的多个小齿轮磁铁。

5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，

在上述第1轴上设有能够旋转的第3磁小齿轮，该第3磁小齿轮具有用于在与上述第1磁齿条之间产生磁吸附力的多个小齿轮磁铁。

6.根据权利要求5所述的输送装置，其特征在于，

该输送装置还包括：

第2磁齿条，配置于上述基板支承体上且与上述第1磁齿条相反侧，具有呈直线排列的多个齿条磁铁；

第4磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，配置于上述第2磁齿条的一侧，与上述第2磁齿条磁耦合；

第5磁小齿轮，具有多个小齿轮磁铁，与上述第4磁小齿轮的第2轴连接，且配置于上述第2磁齿条的另一侧，与上述第2磁齿条磁耦合；以及

能够旋转的第6磁小齿轮，设于上述第2轴，具有用于在与上述第2磁齿条之间产生磁吸附力的多个小齿轮磁铁。

7.一种输送装置，其特征在于，

该输送装置包括：

腔室；

基板支承体，支承基板，并能够沿着上述腔室内的路径移动；

第1磁齿条，设于上述基板支承体；

第1磁小齿轮；

第2磁小齿轮，通过第1轴与上述第1磁小齿轮连接；以及

支承构件，以使上述基板支承体能够移动的方式支承该基板支承体，

上述第1磁小齿轮和上述第2磁小齿轮以上述第1磁小齿轮与上述第2磁小齿轮隔着上述第1磁齿条的方式配置，

通过使上述第1磁小齿轮和上述第2磁小齿轮旋转而使上述基板支承体移动。

8.根据权利要求7所述的输送装置，其特征在于，

该输送装置还包括：

第1构件，设于上述基板支承体的上部；以及

第2构件，以与上述第1构件相对的方式设于上述腔室，

在上述第1构件与上述第2构件之间产生磁力，由于该磁力，上述基板支承体受到向上的力。

9.根据权利要求7或8所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体具有支承基板的第1面和该第1面的相反侧的第2面，上述支承构件配置于上述第2面侧。

10.根据权利要求7或8所述的输送装置，其特征在于，

上述基板支承体具有第1侧壁和第2侧壁，上述第1侧壁和上述第2侧壁分别具有支承基板的第1面和该第1面的相反侧的第2面，上述第1侧壁和上述第2侧壁以上述第1侧壁的上述第2面与上述第2侧壁的上述第2面相对的方式配置，

上述支承构件配置于上述第1侧壁与上述第2侧壁之间。

11.根据权利要求10所述的输送装置，其特征在于，

上述第1侧壁和上述第2侧壁以上述第1侧壁与上述第2侧壁的间隔随着朝向下方去而增大的方式配置。