JP2010010291A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納用の収納体51に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部52を上下方向に並設し、基板支持部52を、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の支持用回転軸53を、基板出し入れ方向に並設して構成し、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された連動用回転軸54を、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって基板支持部52における複数の支持用回転軸53の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸53の夫々と連動連結し、連動用回転軸54における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体65を設ける。
【選択図】図9
Description
また、かかる基板収納容器は、連動用回転体が複数の基板支持部に対応して複数設けられており、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、その基板支持部に対応する連動用回転体を回転させて、その連動用回転体に連動連結された複数の支持用回転体を回転させることによって、出し入れ対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成されており、複数の基板支持部に対して順不同で基板の出し入れが可能に構成されているものである。
そして、このような基板収納容器において、従来では、複数の基板支持部に対応して複数設けられた連動用回転体の夫々を各別に駆動回転させるための駆動手段が、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に連動連結される状態で、基板収納用の収納体そのものに装備されており、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、その基板支持部に対応する連動用回転体を駆動手段にて回転駆動させることにより、出し入れ対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成されていた(例えば、特許文献1参照。)。
そこで、基板収納容器の軽量化を図るために、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に従動ギヤを設け、基板支持部に対して基板の出し入れ作業を行う作業エリアに駆動ギヤとこの駆動ギヤを回転駆動させる駆動手段とを設けておき、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合に、その基板支持部に対応して設けられた連動用回転体の端部に設けられた従動ギヤに駆動ギヤを噛合させ、駆動手段にて駆動ギヤを回転させることにより、その駆動ギヤと噛合した従動ギヤを回転させ、軸状の連動用回転体を回転させ、複数の支持用回転体を回転させて、取り出し対象の基板支持部に対して基板を出し入れするように構成することが考えられるが、駆動ギヤと従動ギヤとの噛合により、塵埃が発生し易いものとなる不利があった。
前記基板支持部が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体を、基板出し入れ方向に並設して構成され、
基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部における複数の前記支持用回転体の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転体の夫々と連動連結されている基板収納容器であって、
その第1特徴構成は、前記連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体が設けられている点にある。
説明を加えると、基板支持部に対して基板の出し入れ作業を行う作業エリアに回転駆動される磁気式の駆動回転体を設けておき、複数の基板支持部のいずれかに対して基板を出し入れする場合は、磁気式の駆動回転体を、出し入れ対象の基板支持部に対応する連動用回転体の端部に設けられた磁気式の従動回転体に近接させて、磁気式の駆動回転体を回転駆動させることにより、磁気式の駆動回転体の磁気により非接触で磁気式の従動回転体を回転させることができ、そして、その回転により連動用回転体を回転させ、複数の支持用回転体を回転させるようにして、取り出し対象の基板支持部に対して基板を出し入れすることができる。
そして、このように磁気式の従動回転を磁気式の駆動回転体を用いて非接触にて回転駆動させることできるため、塵埃の発生させることなく、基板支持部の複数の支持用回転体を回転させて、基板を出し入れすることができる。
また、基板収納容器には、連動用回転体の駆動のために、連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に磁気式の従動回転体を設けるものであり、磁気式の従動回転体は軽量に構成できるものであるから、基板収納容器の軽量化を図ることができる。
従って、軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
従って、基板支持部にて大型の基板をも的確に載置支持することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
そして、複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体を、上下方向に隣接するものが収納体横幅方向において支持用回転体の異なる側の端部に連動連結される状態で収容体横幅方向の両側に振り分け配置されているから、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させたとしても、連動用回転体に設けられた従動用回転体同士が干渉することを回避できるため、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させた状態で並設して、同じ高さの収納体でも上下方向に並設する基板支持部の数を増やすことができるので、基板を効率よく収納することができる。また、複数の連動回転体が収納体横幅方向の両側に振り分け配置されているため、基板収納容器の収納体横幅方向の重量バランスを良好なものにすることができる。
従って、連動用回転体を的確に駆動させることができるものでありながらも、基板を効率良く収納することができるのであり、加えて、収納体横幅方向の重量バランスを良好なものにすることができる基板収納容器を提供することができるに至った。
そして、複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、収納体横幅方向において支持用回転体の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置されているから、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させたとしても、連動用回転体に設けられた従動用回転体同士が干渉することを回避できるため、上下方向に隣接する基板支持部を上下方向に近接させた状態で並設して、同じ高さの収納体でも上下方向に並設する基板支持部の数を増やすことができるので、基板を効率よく収納することができる。
従って、連動用回転体を的確に駆動させることができるものでありながらも、基板を効率良く収納することができる基板収納容器を提供することができるに至った。
従って、基板を効率良く収納できる基板収納容器を提供することができるに至った。
〔第1実施の形態〕
図1に示すように、基板処理設備は、基板収納容器2を収納する複数の収納部4を備えた収納棚5と、収納部4と基板入出部6との間で基板収納容器2を搬送するスタッカークレーン8と、基板1に対して処理を行う基板処理装置(図示せず)に基板1を載置搬送する搬送コンベア3と、基板入出部6に位置する基板収納容器2と搬送コンベア3との間で基板1を搬送する基板搬送装置としての基板搬送台車7とが備えられている。
ちなみに、基板収納容器2は、矩形状のガラス基板である基板1を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持するように構成されている。
説明を加えると、図2及び図4に示すように、最下段の収納部4のうちの基板処理装置3に対応する収納部4が基板入出部6とされており、基板搬送台車7にて基板入出部6に位置する基板収納容器2に対して収納棚5の背面側を通して基板1の取り出し及び収納が可能に構成されている。
ちなみに、基板入出部6には、基板収納容器2を載置支持するための固定支持台24が設けられている。
ちなみに、台車前後幅方向とは、基板搬送台車7の走行方向に沿う方向であり、台車横幅方向とは、台車前後幅方向と直交又は略直交する台車横幅方向に沿う方向であり且つ基板搬送コンベア33にて基板1が載置搬送される方向である。また、基板搬送台車7が基板入出部6との間で基板1を受け渡す及び受け取るべく基板入出部6に対応する箇所で停止している状態では、台車横幅方向は基板出し入れ方向と同じ方向であり、台車前後幅方向は収納体横幅方向と同じ方向である。
また、駆動用回転軸35における台車前後幅方向の一方側端部に磁気式の連動出力側駆動回転体44が設けられ、連動出力用回転軸37における連動出力側駆動回転体44に対応する箇所に、連動出力側駆動回転体44に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の搬送側駆動回転体46の一つが設けられており、これら連動出力側駆動回転体44と搬送側駆動回転体46とで連動出力側連係手段41が構成されている。尚、連動出力用回転軸37に設けられた複数の搬送側駆動回転体46の一つが、連動出力側駆動回転体44にて回転される連動出力側従動回転体に兼用されている。
また、駆動用回転軸35における台車前後幅方向の他方側端部に磁気式の出力側駆動回転体48が設けられ、出力用回転軸38における出力側駆動回転体48に対応する箇所に、出力側駆動回転体48に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の出力側従動回転体49が設けられており、これら出力側駆動回転体48と出力側従動回転体49とで出力側連係手段43が構成されている。
そして、基板搬送コンベア33は、複数の搬送用回転軸36の夫々に複数設けられた搬送用リング状体36aにて支持する状態で基板1を載置支持するように構成されており、複数の搬送用回転軸36が回転することにより、基板1を載置搬送するように構成されている。
この磁気式の駆動回転体64は、それが設けられた回転軸よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の2種の磁極形成部分(S極の磁極形成部分とN極の磁極形成部分)を異なる磁極のものが外周面に交互に位置する状態で平坦な円形の外面に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
図9〜図11に示すように、基板収納用の収納体51に、基板1を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部52が上下方向に並設され、前記基板支持部52が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体としての支持用回転軸53を、基板出し入れ方向に並設して構成され、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体としての連動用回転軸54が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部52における複数の前記支持用回転軸53の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸53の夫々と連動連結されている。
前記支持用回転軸53は、収納体横幅方向に沿って伸びる状態で配置されており、その両端部を前記収納体51に回転自在に支持される状態で設けられている。
このように基板出し入れ方向に並設された複数の支持用回転軸53の組にて一つの基板支持部52が構成されており、複数組の支持用回転軸53を上下方向に並設することにより、複数の基板支持部52が上下方向に並設されている。
ちなみに、各組における複数の支持用回転軸53は夫々異なる支持フレーム57に回転自在に支持されており、複数の基板支持部52における基板出し入れ方向において並び順が同じものは夫々同じ支持フレーム57に支持されている。
説明を加えると、複数の基板支持部52のうちの下から奇数段目の基板支持部52に対して設けられた奇数段目用の連動用回転軸54は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム57にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸53の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結され、また、下から偶数段目の基板支持部52に対して設けられた偶数段目用の連動用回転軸54は、収納体横幅方向の他方側に設けられた複数の支持フレーム57にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸53の夫々における収納体横幅方向の他方側端部に連動連結されている。
説明を加えると、複数の支持用回転軸53の夫々における収納体横幅方向の一方側端部又は他方側端部に磁気式の収納側従動回転体59が設けられ、連動用回転軸54における収納側従動回転体59に対応する箇所に、収納側従動回転体59に対してその下方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の収納側駆動回転体60が設けられており、これら収納側従動回転体59と収納側駆動回転体60とで収納側連係手段58が構成されている。
そして、図12に示すように、収納側従動回転体59及び収納側駆動回転体60の夫々は、連動出力側駆動回転体44等と同様に、それが設けられた回転軸よりも大径の円筒状で且つ異なる極性の2種の磁極形成部分(S極の磁極形成部分とN極の磁極形成部分)を異なる極性のものが外周面に交互に位置する状態で且つ螺旋状に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
説明を加えると、前記連動用回転軸54における基板出し入れ方向の基板搬送台車存在側の端部に、磁気式の従動回転体65が設けられており、連動出力用回転軸37に設けられた駆動回転体64と奇数段目用の連動用回転軸54に設けられた従動回転体65とで一方側連係手段62が構成され、出力用回転軸38に設けられた駆動回転体64と偶数段目用の連動用回転軸54に設けられた従動回転体65とで他方側連係手段63が構成されている。
磁気式の従動回転体65は、駆動回転体64と同様に、前記連動用回転軸54よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の2種の磁極形成部分(S極の磁極形成部分とN極の磁極形成部分)を異なる磁極のものが交互に位置する状態で平坦な円形の外面に周方向に沿って並べる状態に構成されている。
ちなみに、複数の従動回転体65の夫々は、上下方向に隣接するものと収納体横幅方向に一部が重複した状態で設けられている。
つまり、連動出力用回転軸37に設けられた駆動回転体64と出力用回転軸38に設けられた駆動回転体64とは同じ高さに設けられており、複数の連動用回転軸54に設けられた複数の従動回転体65は、収納体における収納体横幅方向の一方側と他方側とに交互に且つ夫々が異なる高さとなるように設けられているため、連動出力用回転軸37が複数の奇数段目用の連動用回転軸54のいずれかと連動連結している状態では、出力用回転軸38は複数の偶数段目用の連動用回転軸54のいずれにも連動連結していない状態となり、出力用回転軸38が複数の偶数段目用の連動用回転軸54のいずれかと連動連結している状態では、連動出力用回転軸37は複数の奇数段目用の連動用回転軸54のいずれにも連動連結しない状態となるものであり、一方側連係手段62と他方側連係手段63とのうちのいずれか一方で連動連結され、両方で同時に連動連結されないように構成されている。
そして、基板支持部52は、複数の支持用回転軸53の夫々に複数設けられた支持用リング状体53aにて支持する状態で基板1を載置支持するように構成されており、複数の搬送用回転軸36が回転することにより、基板1を載置搬送するように構成されている。
以下、本発明に係る第2実施形態を図面に基づいて説明するが、この第2実施形態は、基板搬送コンベア33及び基板収納容器2の構成が異なる以外は上記の第1実施形態と同様であるので、第1実施形態と同じ構成要素や同じ作用を有する構成要素については、同じ符号を付すことにより説明を省略し、主として、第1実施形態と異なる構成を説明する。
そして、出力用回転軸38における連動出力側駆動回転体44に対応する箇所に、連動出力側駆動回転体44に対してその上方に離間させた状態で且つ上下方向に重なる状態で磁気式の出力側従動回転体49が設けられており、これら駆動出力側駆動回転体44と出力側従動回転体49とで出力側連係手段43が構成されている。
説明を加えると、複数の基板支持部52のうちの下から奇数段目の基板支持部52に対して設けられた奇数段目用の連動用回転軸54は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム57にてその外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸53の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結され、また、下から偶数段目の基板支持部52に対して設けられた偶数段目用の連動用回転軸54は、収納体横幅方向の一方側に設けられた複数の支持フレーム57にて奇数段目用の連動用回転軸54よりもさらに外方側に回転自在に支持されて、複数の支持用回転軸53の夫々における収納体横幅方向の一方側端部に連動連結されている。
(1) 上記第1実施の形態では、複数の基板支持部52に対する複数の連動用回転軸54を、複数の基板支持部52に対する上下方向に隣接するものが収納体横幅方向において支持用回転軸53の異なる側の端部に連動連結される状態で収容体横幅方向の両側に振り分け配置し、上記第2実施の形態では、複数の基板支持部52に対する複数の連動用回転軸54を、収納体横幅方向において支持用回転軸53の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置したが、複数の基板支持部52に対する複数の連動用回転軸54を、収納体横幅方向において支持用回転軸53の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが収納体横幅方向に同じ位置となるように一列に配置した状態で収容体横幅方向の一方側に集中配置してもよい。
尚、上記実施の形態では、複数の基板支持部52に対する複数の連動用回転軸54を、収容体横幅方向の両側に振り分け配置する又は千鳥足状配置して2列に並べたが、3列以上に並べてもよい。
51 収納体
52 基板支持部
53 支持用回転軸
54 連動用回転軸
58 磁気式の連係手段
65 磁気式の従動回転体
Claims (6)
- 基板収納用の収納体に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部が上下方向に並設され、
前記基板支持部が、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の軸状の支持用回転体を、基板出し入れ方向に並設して構成され、
基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された軸状の連動用回転体が、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって前記基板支持部における複数の前記支持用回転体の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転体の夫々と連動連結されている基板収納容器であって、
前記連動用回転体における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体が設けられている基板収納容器。 - 前記支持用回転体が、その両端部を前記収納体に回転自在に支持される状態で設けられている請求項1記載の基板収納容器。
- 前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の2種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、
前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の異なる側の端部に連動連結される状態で前記収容体横幅方向の両側に振り分け配置されている請求項2記載の基板収納容器。 - 前記従動回転体が、前記連動用回転体よりも大径の円盤状で且つ異なる極性の2種の磁極形成部分を異なる極性のものが交互に位置する状態で周方向に沿って並べる状態に構成され、
前記複数の基板支持部に対する複数の連動用回転体が、前記収納体横幅方向において前記支持用回転体の同じ側の端部に連動連結される状態で且つ上下方向に隣接するものが前記収納体横幅方向に異なる位置となるように千鳥足状に配置した状態で前記収容体横幅方向の一方側に集中配置されている請求項2記載の基板収納容器。 - 前記複数の基板支持部を構成する前記複数の支持用回転体の複数組が、上下方向に隣接する基板支持部の複数の支持用回転体における前記基板出し入れ方向において並び順が同じものを前記基板出し入れ方向において異なる位置となるようにする形態で千鳥足状に配置されている請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板収納容器。
- 前記連動用回転体が、前記支持用回転体に対して磁気式の連係手段にて連動連結されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板収納容器。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038832A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Muratec Automation Co Ltd | 供給搬出システム |
CN102832156A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-12-19 | 株式会社安川电机 | 基板传送手和包括基板传送手的基板传送装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5681412B2 (ja) * | 2010-08-27 | 2015-03-11 | 川崎重工業株式会社 | 板状部材収納用ラック、板状部材移載設備、及び板状部材収納方法 |
CN102452546A (zh) * | 2010-10-21 | 2012-05-16 | 株式会社Siti | 任意抽取式基板匣盒 |
CN103434837B (zh) * | 2013-08-29 | 2016-02-10 | 东莞市新泽谷机械制造股份有限公司 | 过板机构用pcb周转箱 |
CN103662454B (zh) * | 2013-11-27 | 2015-09-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 基板盒 |
CN108217042B (zh) * | 2018-03-23 | 2024-03-29 | 泰安飞驰自动化设备有限公司 | 基于侧面储存区间的玻璃仓储装置和搬运方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0374980U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-26 | ||
JP2003341835A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-03 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 基板のガス処理装置 |
JP2004131233A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ローラコンベア |
JP2005335852A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Sanki Eng Co Ltd | ホイールコンベヤ |
JP2007036227A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Au Optronics Corp | 基板の保存用カセット、搬送コンベア及びそれらを用いた搬送システム |
JP2007061947A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | M & C:Kk | 搬送物のストック装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100821964B1 (ko) | 2007-02-16 | 2008-04-15 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 |
-
2008
- 2008-06-25 JP JP2008166125A patent/JP5090269B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-05 TW TW098114806A patent/TWI406800B/zh active
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0374980U (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-26 | ||
JP2003341835A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-03 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 基板のガス処理装置 |
JP2004131233A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ローラコンベア |
JP2005335852A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Sanki Eng Co Ltd | ホイールコンベヤ |
JP2007036227A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Au Optronics Corp | 基板の保存用カセット、搬送コンベア及びそれらを用いた搬送システム |
JP2007061947A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | M & C:Kk | 搬送物のストック装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012038832A (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-23 | Muratec Automation Co Ltd | 供給搬出システム |
CN102398776A (zh) * | 2010-08-05 | 2012-04-04 | 村田自动化机械有限公司 | 供给搬出系统 |
CN102832156A (zh) * | 2011-06-15 | 2012-12-19 | 株式会社安川电机 | 基板传送手和包括基板传送手的基板传送装置 |
JP2013004678A (ja) * | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送用ハンドを備えた基板搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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