CN101624117A - 基板收纳容器 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基板收纳容器，可达到轻量化的同时又可抑制尘埃的产生。在基板收纳用的收纳体51上，在上下方向上设有可任意进出地载置支持基板的多个基板支持部52，基板支持部52中，在基板进出方向上设置有多个支持用旋转轴53，可绕沿着与基板进出方向正交或略正交的收纳体横宽方向上的轴心旋转，沿着基板进出方向延伸的状态下配置的连动用旋转轴54分别与该等多个支持用旋转轴53连动连结，使得通过绕着沿其长度方向延伸的轴芯旋转，使基板支持部52中的多个支持用旋转轴53分别旋转，在连动用旋转轴54中的基板进出方向的端部设有磁气式的从动旋转体65。

Description

基板收纳容器

技术领域

本发明涉及一种基板收纳容器，在基板收纳用的收纳体上，在上下方向上并排设置有使基板自由出入地支持载置的多个基板支持部，上述基板支持部于基板出入方向上并排设置而形成多个轴状的支持用旋转体，该等支持用旋转体可绕沿着与基板出入方向正交或略正交的收纳体横宽度方向的轴心旋转，以沿着基板出入方向延伸状态下配置的轴状的连动用旋转体通过绕着沿其长度方向的轴心旋转而分别使上述基板支持部中的多个上述支持用旋转体旋转，而与该等多个支持用旋转体分别连动连结。

背景技术

相关的基板收纳容器为收纳液晶显示器或电浆显示器的玻璃基板等的基板时所使用的容器，其构造通过分别载置支持设置于上下方向的多个基板支持部的基板，在堆积状态下可收纳多个基板。

又，该基板收纳容器的连动旋转体对应于多个基板支持部而设置成多个，在对应于多个基板支持部的其中之一而使基板出入的情况下，使对应于该基板支持部的连动用旋转体旋转，使连动连结于该连动用旋转体的多个支持用旋转体旋转，由此形成对应于出入对象的基板支持部而使基板出入，可对应于多个基板支持部以不同顺序使基板出入。

然后，在此种基板收纳容器中，在现有技术中，用于对应于多个基板支持部个别地旋转驱动多个设置的连动用旋转体的驱动装置，在连动连结于连动用旋转体中的基板出入方向的端部的状态下，安装于基板收纳用的收纳体，当对应于多个基板支持部的其中之一而使基板出入的情况下，通过驱动装置旋转驱动对应于该基板支持部的连动用旋转体，由此，形成对应于出入对象的基板支持部而使基板出入(例如，参照文献1)。

[专利文献1]特开2005-015211号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

然而，在上述的现有的基板收纳容器中，由于基板收纳用的收纳体具备分别驱动多个连动用旋转体的多个驱动装置，会导致该基板收纳容器的重量化。

在此，为了达到基板收纳容器的轻量化，在连动用旋转体中的基板进出方向的端部设置从动齿轮，对应于基板支持部而进行基板的出入作业的作业区域上设置驱动齿轮与旋转驱动该驱动齿轮的驱动装置，在对应于多个基板支持部的其中之一而使基板进出的情况下，虽然考虑到使驱动齿轮啮合于一从动齿轮，该从动齿轮设于对应于该基板支持部而设置的连动用旋转体的端部，由驱动装置使驱动齿轮旋转，由此使与该驱动齿轮啮合的从动齿轮旋转，使轴状的连动用旋转体旋转，使多个支持用旋转体旋转，对于取出对象的基板支持部使基板进出的构造，通过驱动齿轮与从动齿轮的啮合，容易产生尘埃的不利因素。

有鉴于此，本发明的目的为提供一种可达到轻量化同时可抑制尘埃的产生的基板收纳容器。

[解决问题的手段]

本发明的基板收纳容器在基板收纳用的收纳体上，在上下方向上并排设置有使基板自由进出地支持载置的多个基板支持部，上述基板支持部于基板进出方向上并排设置而形成多个轴状的支持用旋转体，该等支持用旋转体可绕沿着与基板出入方向正交或略正交的收纳体横宽度方向的轴心旋转，以沿着基板进出方向延伸状态下配置的轴状的连动用旋转体通过绕着沿其长度方向的轴心旋转而分别使上述基板支持部中的多个上述支持用旋转体旋转，而与该等多个支持用旋转体分别连动连结，其第一特征构造为在上述连动用旋转体中的基板进出方向的端部设有磁气式的从动旋转体。

即，由于在连动用旋转体的基板进出方向的端部上设有磁气式的从动旋转体，用磁气式的旋转驱动使该磁气式的从动旋转体旋转，由此使连动用旋转体旋转，通过使多个支持用旋转体旋转，可对应于基板支持部使基板进出。

更进一步地说，进行对应于基板支持部而使基板进出的作业的作业区域中设有旋转驱动的磁气式驱动旋转体，当对应于多个基板支持部的其中之一而使基板进出时，使磁气式的驱动旋转体接近一磁气式的从动旋转体，该磁气式的从动旋转体设于对应于进出对象的基板支持部的连动用旋转体的端部，通过使磁气式驱动旋转体驱动旋转，由磁气式的驱动旋转体的磁气以非接触的方式使磁气式的从动旋转体旋转，然后，通过该旋转使连动用旋转体旋转，使多个支持用旋转体旋转，对应于取出对象的基板支持部使基板进出。

然后，使用这种磁气式的从动旋转以非接触的方式使磁气式的驱动旋转体做旋转驱动，因此不会产生尘埃，使基板支持部的多个支持用旋转体旋转，而使基板进出。

又，在基板收纳容器中，为了进行连动用旋转体的驱动，在连动用旋转体中的基板进出方向的端部设有磁气式的从动旋转体，由于磁气式的从动旋转体为重量轻的构造，可达到基板收纳容器的轻量化。

因此，提供一种基板收纳容器，可达到轻量化同时可抑制尘埃的产生。

本发明的基板收纳容器的第二特征构造为在第一特征构造中，上述支持用旋转体，其两端部由上述收纳体可旋转地支持的状态下设置。

即，由于支持用旋转体设置成其两端部由收纳体可旋转地支持的状态，在支持两端的状态下，稳定性佳且承受大荷重地支持着支持用旋转体，因此近年来的大型化的基板也确实地由基板支持部所载置支持。

因此，可提供一种由基板支持部确实地载置支持大型基板的基板收纳容器。

本发明的基板收纳容器的第三特征构造为在第二特征构造中，上述从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，对应于上述多个基板的支持部的多个连动用旋转体，在邻接于上下方向的元件于上述收纳体横宽方向上连动连结于与上述支持用旋转体不同的一侧的端部的状态下，分开地配置于上述收纳体横宽方向的两侧。

即，从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，由于此种构造的从动旋转体比连动用旋转体直径大的圆盘状，因此可接受大面积的磁力，而且，由于其大直径容易以小的力矩驱动，结果可确实地旋转驱动由磁力驱动连动用旋转体的元件。

然后，由于对应于多个基板支持部的多个连动用旋转体，在上下方向上邻接的基板支持部于上述收纳体横宽方向上连动连结于与上述支持用旋转体不同的一侧的端部的状态下，分开地配置于上述收纳体横宽方向的两侧，因此即便使于上下方向上邻接的基板支持部在上下方向上靠近，也可避免设于连动用旋转体的从动用旋转体彼此干涉，在上下方向上邻接的基板支持部在上下方向上靠近的状态下，由于可增加相同高度的收纳体在上下方向上排列的基板支持部的数量，因此可有效地收纳基板。又，由于多个连动旋转体分开地设于收纳体横宽方向的两侧，基板收纳容器的收纳体横宽方向的重量平衡良好。

因此，提供一种基板收纳容器，可确实地驱动连动用旋转体，同时可效率佳地收纳基板，此外在收纳体横宽方向上的重量平衡良好。

本发明的基板收纳容器的第四特征构造为在第二特征构造中，上述从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，对应于上述多个基板支持部的多个连动用旋转体，在上述收纳体横宽方向上，在连动连结于上述支持用旋转体相同侧的端部的状态下，且在上下方向邻接的基板支持部位于与上述收纳体横宽方向的位置而配置成前后交互的状态下，集中配置于上述收纳体横宽方向的一边侧。

即，从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，由于此种构造的从动旋转体比连动用旋转体直径大的圆盘状，因此可接受大面积的磁力，而且，由于其大直径容易以小的力矩驱动，结果可确实地旋转驱动由磁力驱动连动用旋转体的元件。

然后，由于对应于多个基板支持部的多个连动用旋转体，在上述收纳体横宽方向上，在连动连结于上述支持用旋转体相同侧的端部的状态下，且在上下方向邻接的基板支持部位于与上述收纳体横宽方向的位置而配置成前后交互的状态下，集中配置于上述收纳体横宽方向的一边侧，因此即便使于上下方向上邻接的基板支持部在上下方向上靠近，也可避免设于连动用旋转体的从动用旋转体彼此干涉，在上下方向上邻接的基板支持部在上下方向上靠近的状态下，由于可增加相同高度的收纳体在上下方向上排列的基板支持部的数量，因此可有效地收纳基板。

因此，提供一种基板收纳容器，可确实地驱动连动用旋转体，同时可效率佳地收纳基板。

本发明的基板收纳容器的第五特征构造为在第一～第四的特征构造中，构成上述多个基板支持部的上述多个支持用旋转体的多组，在上下方向上邻接的基板支持部的多个支持用旋转体中排列顺序相同的元件位于在上述基板出入方向不同的位置的状态下，配置成前后交互的状态。

即，由于构成上述多个基板支持部的上述多个支持用旋转体的多组，在上下方向上邻接的基板支持部的多个支持用旋转体中排列顺序相同的元件位于在上述基板出入方向不同的位置的状态下，配置成前后交互的状态，因此即便在上下方向上邻接的基板支持部于上下方向上靠近，也可避免对应于在上下方向上邻接的基板支持部中的多个支持用旋转体连动连结连动用旋转轴的连结装置彼此干涉，设置成在上下方向上邻接的基板支持部在上下方向上靠近的状态下，由于可增加相同高度的收纳体在上下方向上排列的基板支持部的数量，因此可有效地收纳基板。

因此提供一种可有效地收纳基板的基板收纳容器。

本发明的基板收纳容器的第六特征构造为在第一～第五特征构造的其中之一，上述连动用旋转体相对于上述旋转体以磁气式的连接装置连动连结。

即，提供一种基板收纳容器，连动用旋转体由于对应于支持用旋转体以磁气式的连结装置连动连结，可抑制连动用旋转体与支持用旋转体连动连结所造成的尘埃的产生，而更进一步地抑制尘埃的产生。

附图说明

图1为基板处理设备的平面图；

图2为基板处理设备的正视图；

图3为基板处理设备的侧视图；

图4为基板搬运输送器与基板收纳容器的立体图；

图5为基板搬运输送器的立体图；

图6为基板搬运输送器的横断正视图；

图7a、图7b为基板搬运输送器与基板收纳容器在一侧连动连结的状态的图；

图8a、图8b为基板搬运输送器与基板收纳容器在另一侧连动连结的状态的图；

图9为基板收纳容器的立体图；

图10为基板收纳容器的正视图；

图11为基板收纳容器的侧视图；

图12为连动连结旋转轴的概略图；

图13a、图13b为表示搬运基板的状态的作用图；

图14为第二实施形态的基板搬运输送器的横断正视图；

图15表示第二实施形态的基板搬运输送器与基板收纳容器连动连结的状态；

图16为第二实施形态的基板收纳容器的正视图；

图17为第二实施形态的基板收纳容器的侧视图。

主要元件符号说明

1～基板；

2～基板收纳容器；

3～搬运输送器；

4～收纳部；

5～收纳架；

6～基板进出部；

7～基板搬运台车；

8～仓储起重机；

13～无尘空间；

14～格栅地面；

15～空气过滤器；

16～吸气室；

17～腔体室；

18～通风风扇；

19～循环路；

20～外气取入流路；

21～预滤器；

23～净化空气通风装置；

25～行走轨道；

26～行走台车；

27～升降柱；

28～升降台；

29～物品移载装置；

31～导轨；

32～台车本体；

33～基板搬运输送器；

34～电动马达；

35～驱动用旋转轴；

36～搬运用旋转轴；

36a～搬运用环；

37～连动输出用旋转轴；

38～输出用旋转轴；

39～输送器框架；

41～连动输出侧连结装置；

42～搬运侧连接手段；

44～连动输出侧驱动旋转体；

46～搬运侧驱动旋转体；

47～搬运侧从动旋转体；

48～输出侧驱动旋转体；

49～输出侧从动旋转体；

64～磁气式的驱动旋转体；

51～收纳体；

52～基板支持部；

53～支持用旋转轴；

53a～支持用环状体；

54～连动用旋转轴；

56～矩形框架；

57～支持框；

58～收纳侧连结装置；

59～收纳侧从动旋转体；

60～收纳侧驱动旋转体；

62～连接装置；

63～连接装置；

64～驱动旋转体；

65～从动旋转体。

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的实施形态

[第一实施形态]

如图1所示，基板处理设备包括具有收纳基板收纳容器2的多个收纳部4的收纳架5、在收纳部4与基板进出部6之间搬运基板收纳容器2的仓储起重机8、将基板1载置搬运至对基板1进行处理的基板处理装置(未图示)的搬运输送器3、在位于基板进出部6的基板收纳容器2与搬运滚子3之间搬运基板1的做为基板搬运装置的基板搬运台车7。

即，基板收纳容器2在成为矩形的玻璃基板的基板1于上下方向上相隔间隔而排列的状态下，保持多片而形成。

然后，基板搬运台车7以及仓储起重机8由图外的控制装置控制而作动，由仓储起重机8将取出或收纳基板1的基板收纳容器2从收纳部4搬运至基板进出部6且将基板1的取出或收纳完毕的基板收纳容器2从基板进出部6搬运至收纳部4，控制仓储起重机8的作动，又，控制基板搬运台车7的作动，使得从位于基板进出部6的基板收纳容器2取出的基板一片片地搬运至搬运输送器3且经从基板处理装置3接收的基板一片片地收纳于为在基板进出部6的基板收纳容器2。

如图2所示，在物品处理设备上，设有在无尘空间13中将净化空气从天花板通风至地面的混流式净化空气通风装置23，在该混流式的无尘空间13内，配备有搬运滚子3、收纳架5、基板搬运台车7以及仓储起重机8。

对净化空气通风装置23做说明，如图4所示，净化空气通风装置23中，无尘空间13的地面部由多孔状的格栅地面14所形成，无尘空间13的天花板由HEPA过滤器等所构成的空气过滤器15形成的同时，形成格栅地板14的下方侧的吸气室16与形成于空气过滤器15的上方侧的腔体室17由具备通风风扇18及预滤器21的循环路19连通，由通风风扇18将无尘空间13的空气通过格栅地面14及吸气室16而吸气至循环路19的同时，被吸入的空气通过预滤器21、腔体室17以及空气过滤器15成为净化空气而向下喷入无尘空间13内，无尘空间13内的空气预滤器21与空气过路器15边清净化边循环，净化空气从天花板通风至地面而形成。然后，比通风风扇18还靠近上游侧的外气取入流路20连接于循环路19，比通风风扇18还靠近下游侧的排气流路22连接于循环路19，由净化空气通风装置23循环的无尘空间13内的空气的一部分与外气交换而形成。

如图2及图3所示，收纳架5设于格栅地面14上，在收纳架5上设有纵横排列的多个收纳部4，收纳架5所具备的多个收纳部4中的一部分成为基板进出部6。

如图2及图4所示，对应于最下段的收纳部4中的基板处理装置3的收纳部4成为基板进出部6，由基板搬运台车7对位于基板进出部6的基板收纳容器2通过收纳架5的背面侧而可取出及收纳基板1。

即，在基板进出部6设有用于载置支持基板收纳容器2的固定支持台24。

如图1～图3所示，仓储起重机8包括沿着二根沿着横宽方向设于收纳架5前方的行走轨道25的行走台车26、由立设于行走台车26的一对升降柱27可升降地导引支持的升降台28、以及由升降台28所支持的收纳部4与本身之间可移载基板收纳容器2的叉式的物品移载装置29，通过行走台车26的行走、升降台28的升降移动以及物品移载装置29的作动，在做为基板进出部6的收纳部与其他的收纳部4之间搬运基板收纳容器2而形成。

如图1及图2所示，基板搬运台车7包括沿着在收纳架5的后方沿着架横宽方向设置的二根导轨31行走的台车本体32、以及由立设于台车本体32的导轨30可升降地支持的基板搬运输送器33，通过台车本体32的行走、基板搬运输送器33的升降移动及作动，在位于基板进出部6的基板收纳容器2与搬运输送器3之间搬运基板1。

接着，对基板单运输送器33做说明。如图5所示，基板搬运输送器33包括可绕着沿台车前后宽度方向的轴芯旋转且由电动马达34旋转驱动的驱动用旋转轴35、设于台车横宽方向而可绕着沿台车前后宽度方向的轴芯旋转的多个搬运用旋转轴36、随着驱动用旋转轴35的旋转绕着沿台车横宽方向的轴芯旋转且通过该旋转而分别使多个搬运用旋转轴36旋转而分别连动连结于驱动用旋转轴35及多个搬运用旋转轴36的连动输出用旋转轴37、以及随着驱动用旋转轴35的旋转而绕着沿台车横宽方向的轴芯旋转而连动连结于驱动用旋转轴35的输出用旋转轴38。又，连动输出用旋转轴37与输出用旋转轴38以相同高度配置。

即，所谓台车前后宽度方向是指沿着基板搬运台车7的行走方向，所谓台车横宽方向是指与抬出前后宽度方向正交或略正交的台车横宽方向且为基板搬运输送器33载置搬运基板1的方向。又，对应于基板搬运台车7在与基板进出部6之间应传递或接受基板1的基板进出部6的位置上为停止状态下，台车横宽方向与基板进出方向为相同方向，台车前后宽度方向与收纳体横宽方向为相同方向。

驱动用旋转轴35及多个搬运用旋转轴36是在个别沿着台车前后宽度方向延伸的状态下配置，其两端部在沿着台车横宽方向延伸的状态下配置的一对输送器框架39可旋转地支持着。又，连动输出用旋转轴37在沿着台车横宽方向延伸的状态下配置，由一对输送器框架39的一边可旋转地支持于其外侧，输出用旋转轴38在沿着台车横宽方向延伸的状态下配置而由一对输送器框架39的另一边可旋转地支持于外侧。

如图6及图7a、图7b所示，连动输出用旋转轴37对于驱动用旋转轴35以磁气式的连动输出侧连结装置41在非接触状态下连动连结，多个搬运用旋转轴36对于连动输出用旋转轴37磁气式的搬运输出侧连结装置42在非接触状态下连动连结，输出用旋转轴38对于驱动用旋转轴35以磁气式的输出侧连结装置43在非接触状态下连动连结。

如图6～图8b所示，在多个搬运用旋转轴36的个别的台车前后宽度方向的一侧端部上设有磁气式的搬运侧从动旋转体47，在连动输出用转轴37中的多个搬运侧从动旋转体47的个别位置上，对应于搬运侧从动旋转体47而在分离至其下方的状态下且在上下方向重叠的状态下，设有磁气式的搬运侧驱动旋转体46，以该等多个搬运侧驱动旋转体46与多个搬运侧从动旋转体47构成搬运侧连接手段42。

又，在驱动用旋转轴35中的台车前后宽度方向的一侧端部，设有磁气式的连动输出侧驱动旋转体44，在对应于连动输出用旋转轴37中的连动输出侧驱动旋转体44的位置上，对于连动输出侧驱动旋转体44在分离至其上方的状态下且在上下方向重叠的状态下设有搬运侧驱动旋转体46的其中之一，以该等连动输出侧驱动旋转体44与搬运侧驱动旋转体46构成连动输出侧连结装置41。又，设于连动输出用旋转轴37的多个搬运侧驱动旋转体46的其中之一，兼用于由连动输出侧驱动旋转体44所旋转的连动输出侧从动旋转体。

又，在驱动用旋转轴35中的台车前后宽度方向的另一侧端部设有磁气式的输出侧驱动旋转体48，在对应于输出用旋转轴38中的输出侧驱动旋转体48的位置上，对于输出侧驱动旋转体48而分离至其上方且在上下方向上重叠的状态下设置磁气式的输出侧从动旋转体49，以该等输出侧驱动旋转体48与输出侧从动旋转体49构成输出侧连结装置43。

然后，如图12所示，连动输出侧驱动旋转体44、搬运侧驱动旋转体46、搬运侧从动旋转体47、输出侧驱动旋转体48以及个别的输出侧从动旋转体49为比其所设置的旋转轴的直径还大的圆筒状且不同极性的二种磁极形成部分(S极的磁极形成部分与N极的磁极形成部分)在不同的极性的磁极在外周面交互地配置的状态下且螺旋状地沿着圆周方向配置的状态下构成。

即，通过基板搬运输送器33由电动马达34使驱动用旋转轴35旋转驱动，由该驱动用旋转轴35与连动输出侧连结装置41以非接触的方式使连动连结的连动输出用旋转轴37旋转以及由输出侧连结装置43以非接触方式连动连结的输出用旋转轴38旋转，并由连动输出用旋转轴37与搬运侧连接装置42以非接触方式连动连结的多个搬运用旋转轴36旋转而形成。

然后，基板搬运输送器33的构造是在由分别设于多个搬运用旋转轴36上的多个搬运用环36a所支持的状态下，载置支持基板1，通过多个搬运用旋转轴36旋转，而载置搬运基板1。

连动输出用旋转轴37及输出用旋转轴38中台车横宽方向的基板收纳容器2存在的一侧的端部上设有磁气式的驱动旋转体64。

该磁气式的驱动旋转体64为比其所设置的旋转轴的直径还大的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分(S极的磁极形成部分与N极的磁极形成部分)在不同的极性的磁极在外周面交互地配置的状态下在平坦的圆形的外面沿着圆周方向排列。

接着，针对基板收纳容器2做说明。

如图9～图11所示，在基板收纳用的收纳体51上，使基板1可任意进出地载置支持的多个基板支持部52于上下方向排列，上述基板支持部52使多个轴状的做为支持用旋转体的支持用旋转轴53排列于基板的进出方向而形成，支持用旋转轴53绕着沿与基板进出方向正交或略正交的收纳体横宽方向的轴芯旋转，沿基板进出方向而延伸的状态下所配置的轴状的做为连动用旋转体的连动用旋转轴54与该等多个支持用旋转轴53分别连动连结，通过绕沿其长度方向的轴芯旋转，而使上述基板支持部52中的多个上述支持用旋转轴53分别旋转。

上述支持用旋转轴53在沿着收纳体横宽方向而延伸的状态下配置，其两端部在由上述收纳体51可旋转地支持的状态下设置。

基板收纳用的收纳体51包括上下一对的矩形框架56以及设于上下一对的矩形框架56之间的基板支持部设置用的多个支持框57。多个支持框57中每个支持框57中，其上端部连结于上侧的矩形框架56且下端部连结于下侧的矩形框架而沿上下方向延伸的状态下配置，与收纳体51中的支持用旋转轴53具相同数量的支持框架57排列于基板进出方向。

支持用旋转轴53在其两端部由支持框架57可旋转地支持的状态下，于基板进出方向设置多个，设于基板进出方向的多个支持用旋转轴53的组合在上下方向上设置多组。

如此，由排列于基板进出方向的多个支持用旋转轴53的组合构成一个基板支持部52，通过多组的支持用旋转轴53于上下方向设置，多个基板支持部52于上下方向排列。

即，各组中的多个支持用旋转轴53分别由不同的支持框架57可旋转地支持着，与在多个基板支持部52中的基板进出方向上排列顺序相同而分别由相同的支持框架57所支持。

从多个基板支持部52中，从下方算起第奇数段的基板支持部52相对于从下方算起第偶数段的基板支持部52，在基板进出方向偏移的状态下设置，由此构成上述多个基板支持部52的上述多个支持用旋转轴53的多组，于上下方向上邻接的基板支持部52的多个支持用旋转轴53中的上述基板进出方向上，以排列顺序相同者位于上述基板进出方向上不同的位置上的形态，配置成前后交互的状态。

连动用旋转轴54对应于多个基板支持部52设置多个，对应于该等上述多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54中，于上下方向邻接者在上述收纳体横宽方向中在连动连结于上述支持用旋转轴53的不同侧的端部的状态下，在上述收容体横宽方向的两侧分开设置。

多个基板支持部52中，对应于从下方算起的第奇数段的基板支持部52而设置的第奇数段用的连动用旋转轴54由设于收纳体横宽方向的一侧的多个支持框架57可旋转地支持于外侧，并连动连结于多个支持用旋转轴53的每个收纳体横宽方向的一侧端部，又，对应于从下方算起的第偶数段的基板支持部52而设置的第偶数段用的连动用旋转轴54由设于收纳体横宽方向的另一侧的多个支持框架57可旋转地支持于外侧，并连动连结于多个支持用旋转轴53的每个收纳体横宽方向的另一侧端部。

上述连动用旋转轴54对于上述支持用旋转轴53以做为磁气式的连结装置的收纳侧连结装置58做连动连结。

多个支持用旋转轴53的每个支持用旋转轴53中收纳体横宽方向的一侧端部或另一侧端部上设有磁气式的收纳侧从动旋转体59，对应于连动用旋转轴54中的收纳侧从动旋转体59的位置上，相对于收纳侧从动旋转体59而分离至下方的状态下且于上下方向上重叠的状态下，设置磁气式的收纳侧驱动旋转体60，以该等收纳侧从动旋转体59与收纳侧驱动旋转体60构成收纳侧连接装置58。

然后，如图12所示，每个收纳侧从动旋转体59及收纳侧驱动旋转体60与连动输出侧驱动旋转体44相同，其为比其所设置的旋转轴的直径还大的圆筒状且不同极性的二种磁极形成部分(S极的磁极形成部分与N极的磁极形成部分)形成不同的极性的磁极在外周面交互地排列的状态下且螺旋状地沿着圆周方向排列的状态。

在基板收纳容器2中的第奇数段用的连动用旋转轴54对于基板搬运输送器33中的连动输出用旋转轴37，由磁气式的一侧连接装置62可连动连结地构成，第偶数段用的连动用旋转轴54对于在基板搬运输送器33中的输出用旋转轴38，由磁气式的另一侧连接装置63而形成可连结。

在上述连动用旋转轴54中的基板进出方向的基板搬运台车存在侧的端部，设有磁气式的从动旋转体65，由设于连动输出用旋转轴37的驱动旋转体64与设于第奇数段用的连动用旋转轴54的从动旋转体65构成一侧的连接装置62，由设于输出用旋转轴38的驱动旋转体64与设于第偶数段用的连动用旋转轴54的从动旋转体65构成另一侧连结装置63。

磁气式的从动旋转体65与驱动旋转体64相同，其为直径比上述连动用旋转轴54大的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分(S极的磁极形成部分与N极的磁极形成部分)形成不同的极性的磁极在交互排列的状态下形成在平坦的圆形的外面沿着圆周方向排列的状态。

即，多个从动旋转体65的每个从动旋转体65，于上下方向邻接者与收纳体横宽方向上一部分重叠的状态下设置。

然后，将基板收纳容器2移载至收纳架5的基板进出部6，在使基板搬运台车7停止于对应于基板进出部6的位置的状态下，通过使基板搬运输送器33升降移动，使设于连动输出用旋转轴37的二个驱动旋转体64的其中之任一与设于基板收纳容器2的多个从动旋转体65的其中之一靠近，连动输出旋转轴37与多个第奇数段用的连动用旋转轴54的其中之一形成连动连结，或者是输出用旋转轴38构成与多个第偶数段用的连动用旋转轴54的其中之一。

即，设于连动输出用旋转轴37的驱动用旋转体64与设于输出用旋转轴38的驱动旋转体64设置成相同高度，设于多个连动用旋转轴54的多个从动旋转体65由于收纳体中的收纳体横宽方向的一侧与另一侧交互且个别的高度不同地设置，连动输出用旋转轴37在与多个第奇数段用的连动用旋转轴54的其中之任一连动连结的状态下，输出用旋转轴38成为未与多个第偶数段用的连动用旋转轴54的其中之一的状态，输出用旋转轴38在与多个第偶数段用的连动用旋转轴54的其中之一连动连结的状态下，连动输出用旋转轴37成为不与多个第奇数段用的连动用旋转轴54的其中之一连动连结的状态，形成与一侧的连接装置62及另一侧的连接装置63的其中之一连接而形成双方并非同时连接。

然后，基板收纳容器2在连动用旋转轴54的其中之一与基板搬运输送器33的连动输出用旋转轴37或输出用旋转轴38连动连结的状态下，当由电动马达34使连动输出用旋转轴37及输出用旋转轴38旋转时，形成与连动输出用旋转轴37由一侧的连接装置62以非接触的形态连动连结或与输出用旋转轴38以另一侧连接装置63以非接触的形态连动连结的一根连动用旋转轴54旋转，与该连动用旋转轴54由收纳侧连接装置58以非接触形态连动连结的多个支持用旋转轴53旋转。

然后，基板支持部52在由分别设于多个支持用旋转轴53的多个支持用环状体53a支持的状态下，形成载置支持基板1的构造，通过多个搬运用旋转轴36旋转，形成载置支持基板1的构造。

即，如图13a、图13b所示，将基板收纳容器2移载至收纳架5的基板进出部6，使基板搬运台车7停止于对应基板进出部6的位置，在此状态下，通过使基板搬运输送器33升降移动，与成为基板搬运输送器33与基板收纳容器2中的基板进出对象的一基板支持部52做连动连结，通过使设于基板搬运输送器33的电动马达34正反地驱动，基板搬运输送器33中的多个搬运用旋转轴36以及基板进出对象的基板支持部52中的多个支持用旋转轴53正反地旋转，由此将基板1一片片地从基板收纳容器2取出至基板搬运输送器33上，又，从基板搬运输送器33将基板1一片片地收纳于基板收纳容器2中。

[第二实施形态]

以下，根据附图说明本发明的第二实施形态，该第二实施形态除了基板搬运输送器33以及基板收纳容器2的构造不同以外，由于与上述的第一实施形态相同，对于与第一实施形态相同的元件或具有相同作用的元件，给予相同的符号而省略其说明，主要是说明与第一实施形态不同的构造。

针对基板搬运输送器33做说明，如图14及图15所示，输出用旋转轴38由在沿着台车前后宽度方向延伸的状态下所配置的一对输送器框架39的其中之一，在比连动输出用旋转轴37还外侧地可旋转地被支持。

然后，在对应于输出用旋转轴38中的连动输出侧驱动旋转体44的位置上，相对于连动输出侧驱动旋转体44分离至其上方的状态下且于上下方向重叠的状态下，设有磁气式的输出侧从动旋转体49，该驱动输出侧驱动旋转体44与输出侧从动旋转体49构成输出侧连接装置43。

对基板收纳容器2做说明，如图16及图17所示，对应于上述多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54，在上述收纳体横宽方向上连动连结于上述支持用旋转轴53的相同侧的端部的状态下且在上下方向上邻接者于上述收纳体横宽方向上的不同位置地前后交互配置的状态下，集中配置于上述收容体横宽方向的一侧。

多个基板支持部52中，从下方算起，对应于第奇数段的基板支持部52而设置的第奇数段用的连动用旋转轴54由设于收纳体横宽方向的一侧的多个支持框57可旋转地支持于其外侧，连动连结于多个支持用旋转轴53中的每个支持用旋转轴53中的收纳体横宽方向的一侧端部，又，从下方算起，对应于第偶数段的基板支持部52的第偶数段用的连动用旋转轴54由设于收纳体横宽方向的一侧的多个支持框57可旋转地支持于比第奇数段用的连动用旋转轴54还外侧，连动连结于多个支持用旋转轴53的每个支持用旋转轴53中的收纳体横宽方向的一侧端部。

[其他的实施形态]

(1)在上述第一实施形态中，对应于多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54，相对于多个基板支持部52的上下方向上邻接者在收纳体横宽方向上在连动连结于支持用旋转轴53不同侧的端部的状态下，分开地配置于收容体横宽方向的两侧，在上述第二实施形态中，对应于多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54，在收纳体横宽方向上，在连动连结于支持用旋转轴53相同侧的端部的状态下且在上下方向上邻接者为收纳体横宽方向上位于不同位置地前后交互配置的状态下，集中配置于收容体横宽方向的一侧，但是对应于多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54，在收纳体横宽方向上，在连动连结于支持用旋转轴53相同侧的端部的状态下且在上下方向上邻接者为收纳体横宽方向上位于相同位置地配置成一列的状态下，集中配置于收容体横宽方向的一侧。

又，在上述的实施形态中，虽然将对应于多个基板支持部52的多个连动用旋转轴54在收容体横宽方向的两侧分开配置或前后交互地配置而排成两列，但是排成三列以上亦可。

(2)在上述第一及第二实施形态中，构成多个基板支持部52的多个在支持用旋转轴53的多组，在上下方向上邻接者在基板支持部52的多个支持用旋转轴53中的基板进出方向上使排列顺序相同者位于基板进出方向上不同的位置的状态下，前后交互地配置，但构成多个基板支持部52的多个支持用旋转轴53的多组，在上下方向上邻接的基板支持部52的多个支持用旋转轴53中的基板进出方向上使排列顺序相同者在基板进出方向上位于相同的位置的状态下，在上下方向上配置成一列。又，排成三列以上亦可。

(3)在上述第一及第二实施形态中，虽然将连动用旋转轴54连动连结于支持用旋转轴53的连接装置为磁气式的连接装置58，但连动用旋转轴54连动连结于支持用旋转轴53的连接装置为齿轮咬合的齿轮式的连接装置亦可。

(4)在上述第一及第二实施形态中，支持用旋转体53，虽然其两端部由收纳体51可旋转地支持的状态下设置，但支持用旋转体53，其一端部由收纳体51可旋转地支持的状态下设置亦可。

(5)在上述第一及第二实施形态中，虽然基板搬运装置为具备台车本体32与基板搬运输送器33的基板搬运台车7，但基板搬运装置具备固定于地面的固定框架以及相对于该固定框架而可升降地设置的基板搬运输送器的构造亦可。

Claims (6)

1.一种基板收纳容器，在基板收纳用的收纳体上，在上下方向上并排设置有使基板自由进出地支持载置的多个基板支持部，上述基板支持部于基板进出方向上并排设置而形成多个轴状的支持用旋转体，该等支持用旋转体可绕沿着与基板出入方向正交或略正交的收纳体横宽度方向的轴心旋转，以沿着基板进出方向延伸状态下配置的轴状的连动用旋转体通过绕着沿其长度方向的轴心旋转而分别使上述基板支持部中的多个上述支持用旋转体旋转，而与该等多个支持用旋转体分别连动连结，其中在上述连动用旋转体中的基板进出方向的端部设有磁气式的从动旋转体。

2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其中上述支持用旋转体，其两端部由上述收纳体可旋转地支持的状态下设置。

3.如权利要求2所述的基板收纳容器，其中上述从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，对应于上述多个基板的支持部的多个连动用旋转体，在上下方向上邻接的元件于上述收纳体横宽方向上连动连结于与上述支持用旋转体不同的一侧的端部的状态下，分开地配置于上述收纳体横宽方向的两侧。

4.如权利要求2所述的基板收纳容器，其中上述从动旋转体为比上述连动用旋转体还大直径的圆盘状且不同极性的二种磁极形成部分在不同极性交互配置的状态下，沿着圆周方向排列的状态下形成，对应于上述多个基板的支持部的多个连动用旋转体，在上述收纳体横宽方向上，在连动连结于上述支持用旋转体相同侧的端部的状态下，且在上下方向邻接的元件位于与上述收纳体横宽方向不同的位置而配置成前后交互的状态下，集中配置于上述收纳体横宽方向的一边侧。

5.如权利要求1～4任一项所述的基板收纳容器，其中构成上述多个基板支持部的上述多个支持用旋转体的多组，在上下方向上邻接的基板支持部的多个支持用旋转体中的基板进出方向上排列顺序相同的元件位于在上述基板出入方向不同的位置的状态下，配置成前后交互的状态。

6.如权利要求1～5任一项所述的基板收纳容器，其中上述连动用旋转体相对于上述支持用旋转体以磁气式的连接装置连动连结。

Images