JP5459268B2 - 基板搬送用ハンドおよび基板搬送用ハンドを備えた基板搬送装置 - Google Patents
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Description
10 基板搬送装置
11 昇降機構
12 旋回機構
13 伸縮機構
14 支持部材
15 ハンド
16 ベース
20 コントローラ
30 カセット
31 コンベア部
32 駆動機構
33 駆動シャフト
34 ローラシャフト
35 ローラ
36 電源供給部
100 基板
150 フォーク
150a プローブ
151 受動ローラ
151a 内径部
151b ロック孔
152 ベルト
153 他ローラ
154 ローラシャフト
154a テーパ部
154b 六角形状部
155 タップ穴
156 センサ
157 ガイド部材
158 プーリ
159 係止ピン
160 ベアリング
161 ロックプレート
162 電磁ブレーキ
163 ベルト固定金具
164 止め輪
165 圧縮ばね
166 スライドブッシュ
167 リニアシャフト
168 支持部
169 押圧部
170 押圧部
171 可動バー
172 スライドブッシュ
172a ベアリング
173 引張ばね
174 ピンシリンダ
174a ピン
175 支持部
176 ラッチ
177 引張ばね
178 押圧部
179 ネオジム磁石
180 圧縮ばね
181 押圧部
Claims (14)
- カセットからの基板の出し入れおよび搬送を行う基板搬送用ハンドであって、
前記カセットへ前記基板の出し入れ方向に沿って連結された状態で当該カセットが備える駆動機構の駆動を受けて回転する受動ローラを含む複数のローラ部材
を備え、
前記ローラ部材を回転させるための駆動源を有しないこと
を特徴とする基板搬送用ハンド。 - 前記カセットへ連結される板状のフォークと、
前記受動ローラの回転を前記フォークに沿って伝達するベルトと、
前記ベルトによる回転の伝達を受けて前記受動ローラと同じ回転方向に回転するその他のローラと
を備えることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記受動ローラは、
前記駆動機構に対して接触することなく、磁力作用によって前記駆動機構の駆動を受けることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ベルトは
前記フォークの内部に配置されることを特徴とする請求項2に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記基板が前記カセットから所定量引き出されたことを検知する検知手段
をさらに備え、
前記検知手段による検知に基づいて前記カセットと前記フォークとの連結を解除することを特徴とする請求項2、3または4に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記基板の側面を前記フォークの板面に沿った所定の領域内へ案内するガイド
をさらに備えることを特徴とする請求項2〜5のいずれか一つに記載の基板搬送用ハンド。 - 前記受動ローラ、前記ベルトおよび前記その他のローラのうちの少なくともいずれか一つを自律的にロックし、前記フォークが前記カセットへ連結されることによって、ロックが解除されるロック機構
をさらに備えることを特徴とする請求項2〜6のいずれか一つに記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ロック機構は、
電磁ブレーキを備え、
前記電磁ブレーキの生ずる制動力に基づいて前記受動ローラまたは前記その他のローラをロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ロック機構は、
前記ベルトの歯面と嵌合可能に成形された金具を有しており、
前記金具を前記歯面へ嵌合させることによって、前記ベルトをロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記受動ローラまたは前記その他のローラの回転軸は、外径が大きい太軸部と外径が小さい細軸部とを有しており、
前記ロック機構は、
前記回転軸を貫通させ、前記太軸部に外接する貫通孔を有するスライドブッシュを備え、
前記スライドブッシュを前記回転軸に沿って前記細軸部から前記太軸部へ移動することによって当該回転軸の回転を制動し、前記受動ローラまたは前記その他のローラをロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ロック機構は、
ピンシリンダを備え、
前記受動ローラまたは前記その他のローラの外周面に設けられたロック孔へ前記ピンシリンダのピンを嵌合させることによって、前記受動ローラまたは前記その他のローラをロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ロック機構は、
1対のラッチを備え、
前記受動ローラまたは前記その他のローラを前記1対のラッチで挟みつけることによってロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 前記ロック機構は、
ネオジム磁石を備え、
前記ネオジム磁石を、当該ネオジム磁石と嵌合可能に成形された前記受動ローラまたは前記その他のローラの回転軸へ吸着させることによって、前記受動ローラまたは前記その他のローラをロックすることを特徴とする請求項7に記載の基板搬送用ハンド。 - 請求項1〜13のいずれか一つに記載の基板搬送用ハンド
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
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