KR101206191B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

Abstract

경량화를 도모할 수 있으면서 진애(塵埃)의 발생을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공한다.

기판 수납용의 수납체(51)에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부(52)를 상하 방향으로 병설하고, 기판 지지부(52)를, 기판 출입 방향과 직교 또는 대략 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 지지용 회전축(53)을, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성하고, 기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 연동용 회전축(54)을, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 기판 지지부(52)에 있어서의 복수의 지지용 회전축(53)의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전축(53)의 각각과 연동 연결하여, 연동용 회전축(54)에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에, 자기식의 종동 회전체(65)를 설치한다.

Description

기판 수납 용기{SUBSTRATE STORING CONTAINER}

본 발명은, 기판 수납용의 수납체에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부가 상하 방향으로 병설되고, 상기 기판 지지부가, 기판 출입 방향과 직교 또는 대략 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체를, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고, 기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체가, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전체의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전체의 각각과 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기에 관한 것이다.

이러한 기판 수납 용기는, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 기판을 수납할 때에 이용되는 것이고, 상하 방향으로 병설된 복수의 기판 지지부의 각각에 기판을 얹어놓고 지지시키는 것에 의해, 복수의 기판을 적층 상태로 수납할 수 있도록 구성되어 있는 것이다.

또한, 이러한 기판 수납 용기는, 연동용 회전체가 복수의 기판 지지부에 대응하여 복수 설치되어 있고, 복수의 기판 지지부의 어느 한쪽에 대해 기판을 출입 하는 경우는, 그 기판 지지부에 대응하는 연동용 회전체를 회전시키고, 그 연동용 회전체에 연동 연결된 복수의 지지용 회전체를 회전시키는 것에 의해서, 출입 대상의 기판 지지부에 대해서 기판을 출입하도록 구성되어 있고, 복수의 기판 지지부에 대해서 무순서로 기판의 출입이 가능하게 구성되어 있는 것이다.

그리고, 이러한 기판 수납 용기에 있어서, 종래에서는, 복수의 기판 지지부에 대응하여 복수 설치된 연동용 회전체의 각각을 개별적으로 구동 회전시키기 위한 구동 수단이, 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에 연동 연결되는 상태로, 기판 수납용의 수납체 그 자체에 장비되어 있고, 복수의 기판 지지부의 어느 한쪽에 대해 기판을 출입하는 경우는, 그 기판 지지부에 대응하는 연동용 회전체를 구동 수단으로 회전 구동시키는 것에 의해, 출입 대상의 기판 지지부에 대해서 기판을 출입하도록 구성되어 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조.).

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 2005-015211호

그러나, 상기한 종래의 기판 수납 용기에서는, 복수의 연동용 회전체를 개별적으로 구동하는 복수의 구동 수단을 기판 수납용의 수납체에 구비하는 것이기 때문에, 그 기판 수납 용기의 중량화를 초래하는 것이었다.

따라서, 기판 수납 용기의 경량화를 도모하기 위해서, 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에 종동기어를 설치하고, 기판 지지부에 대해서 기판의 출입 작업을 행하는 작업 에어리어에 구동 기어와 이 구동 기어를 회전 구동시키는 구동 수단을 설치해 두고, 복수의 기판 지지부의 어느 한쪽에 대해 기판을 출입하는 경우에, 그 기판 지지부에 대응하여 설치된 연동용 회전체의 단부에 설치된 종동기어에 구동 기어를 맞물림시켜, 구동수단으로 구동 기어를 회전시키는 것에 의해, 그 구동 기어와 맞물린 종동기어를 회전시키고, 축형상의 연동용 회전체를 회전시키고, 복수의 지지용 회전체를 회전시켜서, 취출 대상의 기판 지지부에 대해서 기판을 출입하도록 구성하는 것이 생각되지만, 구동 기어와 종동기어와의 맞물림에 의해, 진애가 발생하기 쉬워지는 불리함이 있었다.

본 발명은, 상기 실상에 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 경량화를 도모할 수 있으면서 진애(塵埃)의 발생을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 점에 있다.

본 발명에 따른 기판 수납 용기는, 기판 수납용의 수납체에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부가 상하 방향으로 병설되고,

상기 기판 지지부가, 기판 출입 방향과 직교 또는 대략 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체를, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고,

기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체가, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전체의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전체의 각 각과 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기로서,

그 제 1 특징 구성은, 상기 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부(端部)에, 자기(磁氣)식의 종동 회전체가 설치되어 있는 점에 있다.

즉, 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에, 자기식의 종동 회전체가 설치되어 있기 때문에, 이 자기식의 종동 회전체를 자기식의 구동 회전을 이용하여 회전시키는 것에 의해서, 연동용 회전체를 회전시켜, 그것에 의해 복수의 지지용 회전체를 회전시키는 것에 의해, 기판 지지부에 대해서 기판을 출입할 수 있다.

설명을 더하면, 기판 지지부에 대해서 기판의 출입 작업을 행하는 작업 에어리어에 회전 구동되는 자기식의 구동 회전체를 설치해 두고, 복수의 기판 지지부의 어느 한쪽에 대해 기판을 출입하는 경우는, 자기식의 구동 회전체를, 출입 대상의 기판 지지부에 대응하는 연동용 회전체의 단부에 설치된 자기식의 종동 회전체에 근접시켜, 자기식의 구동 회전체를 회전 구동시키는 것에 의해, 자기식의 구동 회전체의 자기에 의해 비접촉으로 자기식의 종동 회전체를 회전시킬 수 있고, 그리고, 그 회전에 의해 연동용 회전체를 회전시켜, 복수의 지지용 회전체를 회전시키도록 하여, 취출 대상의 기판 지지부에 대해서 기판을 출입할 수 있다.

그리고, 이와 같이 자기식의 종동회전을 자기식의 구동 회전체를 이용하여 비접촉으로 회전 구동시킬 수 있기 때문에, 진애를 발생시키는 일 없이, 기판 지지부의 복수의 지지용 회전체를 회전시켜, 기판을 출입할 수 있다.

또한, 기판 수납 용기에는, 연동용 회전체의 구동을 위해서, 연동용 회전체 에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에 자기식의 종동 회전체를 설치하는 것이고, 자기식의 종동 회전체는 경량으로 구성할 수 있는 것이기 때문에, 기판 수납 용기의 경량화를 도모할 수 있다.

따라서, 경량화를 도모할 수 있으면서 진애의 발생을 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 이러한 기판 수납 용기의 제 2 특징 구성은, 제 1 특징 구성에 있어서, 상기 지지용 회전체가, 그 양단부를 상기 수납체에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있는 점에 있다

즉, 지지용 회전체가, 그 양단부를 수납체에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있기 때문에, 지지용 회전체를 양단을 지지한 상태로 안정성 좋고 또한 큰 하중에도 견딜 수 있도록 지지할 수 있기 위해, 근년 대형화하고 있는 기판도 기판 지지부에서 정확하게 얹어 지지할 수 있다.

따라서, 기판 지지부에서 대형의 기판도 정확하게 얹어놓고 지지할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 이러한 기판 수납 용기의 제 3 특징 구성은, 제 2 특징 구성에 있어서, 상기 종동 회전체가, 상기 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태로 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되고, 상기 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체가, 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전체의 다른 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치되어 있는 점에 있다.

즉, 종동 회전체가, 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태로 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되어 있고, 이와 같이 구성되는 종동 회전체는 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이기 때문에, 큰 면적으로 자력을 받을 수 있고, 게다가, 큰 지름이기 때문에 작은 토크에 의해 구동하기 쉬운 것이 되는 것이고, 결과적으로, 연동용 회전체를 자력으로 구동시키면서 정확하게 회전 구동시킬 수 있는 것이다.

그리고, 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체를, 상하 방향으로 인접하는 것이 수납체 가로폭 방향에 있어서 지지용 회전체의 다른 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치되어 있기 때문에, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부를 상하 방향으로 근접시켰다고 해도, 연동용 회전체에 설치된 종동용 회전체끼리가 간섭하는 것을 회피할 수 있기 때문에, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부를 상하 방향으로 근접시킨 상태로 병설하여, 같은 높이의 수납체라도 상하 방향으로 병설하는 기판 지지부의 수를 늘릴 수 있으므로, 기판을 효율적으로 수납할 수 있다. 또한, 복수의 연동 회전체가 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치되어 있기 때문에, 기판 수납 용기의 수납체 가로폭 방향의 중량 밸런스를 양호한 것으로 할 수 있다.

따라서, 연동용 회전체를 정확하게 구동시킬 수 있는 것이면서도, 기판을 효율적으로 수납할 수 있는 것이고, 덧붙여, 수납체 가로폭 방향의 중량 밸런스를 양 호한 것으로 할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 따른 기판 수납 용기의 제 4 특징 구성은, 제 2 특징 구성에 있어서, 상기 종동 회전체가, 상기 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태로 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되고, 상기 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체가, 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전체의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태이고 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향으로 다른 위치가 되도록 지그재그 형상으로 배치한 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중 배치되어 있는 점에 있다.

즉, 종동 회전체가, 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태에서 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되어 있고, 이와 같이 구성되는 종동 회전체는 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이기 때문에, 큰 면적으로 자력을 받을 수 있고, 게다가, 큰 지름이기 때문에 작은 토크에 의해 구동하기 쉬운 것이 되는 것이고, 결과적으로, 연동용 회전체를 자력으로 구동시키면서 정확하게 회전 구동시킬 수 있는 것이다.

그리고, 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체가, 수납체 가로폭 방향에 있어서 지지용 회전체의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 수납체 가로폭 방향으로 다른 위치가 되도록 지그재그 형상으로 배치한 상태로 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중 배치되어 있기 때문에, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부를 상하 방향으로 근접시켰다고 해도, 연동용 회전체에 설치된 종동용 회전체끼리가 간섭하는 것을 회피할 수 있기 때문에, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부를 상하 방향으로 근접시킨 상태로 병설하여, 같은 높이의 수납체라도 상하 방향으로 병설하는 기판 지지부의 수를 늘릴 수 있으므로, 기판을 효율적으로 수납할 수 있다.

따라서, 연동용 회전체를 정확하게 구동시킬 수 있는 것이면서도, 기판을 효율적으로 수납할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 이러한 기판 수납 용기의 제 5 특징 구성은, 제 1～제 4 특징 구성의 어느 하나에 있어서, 상기 복수의 기판 지지부를 구성하는 상기 복수의 지지용 회전체의 복수 세트가, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부의 복수의 지지용 회전체에 있어서의 상기 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것을 상기 기판 출입 방향에 있어서 다른 위치가 되도록 하는 형태로 지그재그 형상으로 배치되어 있는 점에 있다.

즉, 복수의 기판 지지부를 구성하는 복수의 지지용 회전체의 복수 세트가, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부의 복수의 지지용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것을 기판 출입 방향에 있어서 다른 위치가 되도록 하는 형태로 지그재그 형상으로 배치되어 있기 때문에, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부를 서로 상하 방향으로 근접시켰다고 해도 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부에 있어서의 복수의 지지용 회전체에 대해서 연동용 회전축을 연동 연결하는 연계수단끼리가 간섭하는 것을 회피할 수 있기 때문에, 상하 방향으로 인접 하는 기판 지지부를 상하 방향으로 근접시킨 상태로 병설하여, 같은 높이의 수납체라도 상하 방향으로 병설하는 기판 지지부의 수를 늘릴 수 있으므로, 기판을 효율적으로 수납할 수 있다.

따라서, 기판을 효율적으로 수납할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 따른 기판 수납 용기의 제 6 특징 구성은, 제 1～제 5 특징 구성의 어느 하나에 있어서, 상기 연동용 회전체가, 상기 지지용 회전체에 대해서 자기식의 연계수단으로 연동 연결되어 있는 점에 있다.

즉, 연동용 회전체가, 지지용 회전체에 대해서 자기식의 연계 수단으로 연동 연결되어 있기 때문에, 연동용 회전체와 지지용 회전체를 연동 연결하는 것에 의한 진애의 발생을 억제할 수 있어, 이로써, 진애의 발생을 더 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있기에 이르렀다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

[제 1 실시형태]

도 1에 도시하는 바와 같이, 기판 처리 설비는, 기판 수납 용기(2)를 수납하는 복수의 수납부(4)를 구비한 수납선반(5)과, 수납부(4)와 기판 입출부(6)와의 사이에서 기판 수납 용기(2)를 반송하는 스태커 크레인(8)과 기판(1)에 대해서 처리를 행하는 기판 처리 장치(도시하지 않음)에 기판(1)을 얹어놓고 반송하는 반송 컨베이어(3)와, 기판 입출부(6)에 위치하는 기판 수납 용기(2)와 반송 컨베이어(3)와 의 사이에서 기판(1)을 반송하는 기판 반송 장치로서의 기판 반송대차(7)가 구비되어 있다.

덧붙여서, 기판 수납 용기(2)는, 직사각형 형상의 유리 기판인 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 나열하는 상태로 복수매 유지하도록 구성되어 있다.

그리고, 기판 반송 대차(7) 및 스태커 크레인(8)은, 도면 외의 제어장치에서 작동이 제어되어 있고, 스태커 크레인(8)으로, 기판(1)을 취출 또는 수납하는 기판 수납 용기(2)를 수납부(4)로부터 기판 입출부(6)에 반송하고 또한 기판(1)의 취출 또는 수납이 종료한 기판 수납 용기(2)를 기판 입출부(6)로부터 수납부(4)로 반송하도록, 스태커 크레인(8)의 작동이 제어되고, 또한, 기판 입출부(6)에 위치하는 기판 수납 용기(2)로부터 취출된 기판(1)을 1매씩 반송 컨베이어(3)에 반송하고 또한 기판 처리 장치(3)로부터 받은 기판(1)을 1매씩 기판 입출부(6)에 위치하는 기판 수납 용기(2)에 수납하도록, 기판 반송 대차(7)의 작동이 제어된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 물품 처리 설비에는, 클린 공간(13)에 있어서 정화 공기를 천정부로부터 마루부에 통풍시키는 다운 플로우식의 정화공기 통풍수단(23)이 설치되어 있고, 그 다운 플로우의 클린 공간(13)내에, 반송 컨베이어(3), 수납선반(5), 기판 반송 대차(7), 및, 스태커 크레인(8)이 장비되어 있다.

정화공기 통풍수단(23)에 대하여 설명을 더하면, 도 4에 도시하는 바와 같이, 정화공기 통풍수단(23)은, 클린 공간(13)의 마루부가 다공 형상의 그레이팅 마루(14)로 형성되고, 클린 공간(13)의 천정부가 HEPA 필터 등으로 이루어지는 에어 필터(15)로 형성되는 것과 동시에, 그레이팅 마루(14)의 하방측에 형성된 흡기실 (16)과 에어 필터(15)의 상방측에 형성된 챔버실(17)이 통풍 팬(18) 및 프레필터 (21)를 구비한 순환로(19)와 연이어 통해져 있고, 통풍 팬(18)으로, 클린 공간(13)의 공기를 그레이팅 마루(14) 및 흡기실(16)을 통과하여 순환로(19)로 흡기되는 것과 동시에, 그 흡기된 공기를 프레필터(21), 챔버실(17)및 에어 필터(15)를 통과하여 정화 공기로서 클린 공간(13)내에 하향으로 분출하도록 하고, 클린 공간(13)내의 공기를, 프레필터(21)와 에어 필터(15)로 청정화시키면서 순환시키고, 정화 공기를 천정부로부터 마루부로 통풍시키도록 구성되어 있다. 그리고, 순환로(19)에는, 통풍 팬(18)보다 상류측에 외기 취입 유로(20)가 접속되고, 통풍 팬(18)보다 하류측에 배기 유로(22)가 접속되어 있어, 정화공기 통풍수단(23)으로 순환되는 클린 공간(13)내의 공기의 일부를 외기와 교환하도록 구성되어 있다.

도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 수납선반(5)은, 그레이팅 마루(14)상에 설치되어 있고, 수납선반(5)에는, 수납부(4)가 가로 세로로 복수 나열하여 설치되어 있고, 수납선반(5)이 구비하는 복수의 수납부(4) 중 일부가, 기판 입출부(6)가 되어 있다.

설명을 더하면, 도 2 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 최하단의 수납부(4)중의 기판 처리 장치(3)에 대응하는 수납부(4)가 기판 입출부(6)가 되고 있고, 기판 반송 대차(7)로 기판 입출부(6)에 위치하는 기판 수납 용기(2)에 대해서 수납선반 (5)의 배면측을 통하여 기판(1)의 취출 및 수납이 가능하게 구성되어 있다.

덧붙여서, 기판 입출부(6)에는, 기판 수납 용기(2)를 얹어놓고 지지하기 위한 고정 지지대(24)가 설치되어 있다.

도 1 내지 도 3에 도시하는 바와 같이, 스태커 크레인(8)은, 수납선반(5)의 전방에 선반 가로폭 방향을 따라서 설치된 2개의 주행 레일(25)을 따라서 주행하는 주행 대차(26)와, 주행 대차(26)에 세워 설치된 한 쌍의 승강 마스트(27)로 자유롭게 승강되도록 안내 지지되는 승강대(28)와 승강대(28)에 지지되어 수납부(4)와 자기와의 사이에서 기판 수납 용기(2)를 옮겨 싣기 가능한 포크식의 물품 이재 장치 (29)가 구비되어 있고, 주행 대차(26)의 주행, 승강대(28)의 승강 이동 및 물품 이재 장치(29)의 작동에 의해, 기판 입출부(6)로서의 수납부(4)와 다른 수납부(4)와의 사이에서 기판 수납 용기(2)를 반송하도록 구성되어 있다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 기판 반송 대차(7)는, 수납선반(5)의 후방에 선반 가로폭 방향을 따라서 설치된 2개의 안내 레일(31)을 따라서 주행하는 대차 본체(32)와, 대차 본체(32)에 세워 설치된 가이드 레일(30)에 자유롭게 승강되도록 안내 지지되는 기판 반송 컨베이어(33)가 구비되어 있고, 대차 본체(32)의 주행, 기판 반송 컨베이어(33)의 승강 이동 및 작동에 의해, 기판 입출부(6)에 위치하는 기판 수납 용기(2)와 반송 컨베이어(3)와의 사이에서 기판(1)을 반송하도록 구성되어 있다.

다음에, 기판 반송 컨베이어(33)에 대해서 설명을 더한다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 기판 반송 컨베이어(33)는, 대차 전후폭방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능하고 또한 전동 모터(34)로 회전 구동되는 구동용 회전축(35)과, 대차 가로폭 방향으로 병설되어 대차 전후폭방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 반송용 회전축(36)과, 구동용 회전축(35)의 회전에 따라서 대차 가로폭 방향을 따 르는 축심 둘레로 회전하고 또한 그 회전에 의해서 복수의 반송용 회전축(36)의 각각을 회전시키도록, 구동용 회전축(35) 및 복수의 반송용 회전축(36)의 각각에 연동 연결되어 있는 연동 출력용 회전축(37)과, 구동용 회전축(35)의 회전에 따라서 대차 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전하도록, 구동용 회전축(35)에 연동 연결되어 있는 출력용 회전축(38)을 설치하여 구성되어 있다. 한편, 연동 출력용 회전축(37)과 출력용 회전축(38)은 같은 높이로 배치 되어 있다.

덧붙여서, 대차 전후폭방향이란, 기판 반송 대차(7)의 주행 방향을 따르는 방향이고, 대차 가로폭 방향이란, 대차 전후폭방향과 직교 또는 대략 직교하는 대차 가로폭 방향을 따르는 방향이고 또한 기판 반송 컨베이어(33)에서 기판(1)이 얹어놓여 반송되는 방향이다. 또한, 기판 반송 대차(7)가 기판 입출부(6)와의 사이에 기판(1)을 건네 주고 건네 받기 위하여 기판 입출부(6)에 대응하는 개소에서 정지하고 있는 상태에서는, 대차 가로폭 방향은 기판 출입 방향과 같은 방향이고, 대차 전후폭방향은 수납체 가로폭 방향과 같은 방향이다.

구동용 회전축(35) 및 복수의 반송용 회전축(36)의 각각은, 대차 전후폭방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 있고, 그 양단부가 대차 가로폭 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 한 쌍의 컨베이어 프레임(39)으로 자유롭게 회전되도록 지지되어 있다. 또한, 연동 출력용 회전축(37)은, 대차 가로폭 방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 한 쌍의 컨베이어 프레임(39)의 일방에서 그 바깥쪽에 자유롭게 회전되도록 지지되어 있고, 출력용 회전축(38)은, 대차 가로폭 방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 한 쌍의 컨베이어 프레임(39)의 타방에서 그 바깥쪽에 자유롭 게 회전되도록 지지되어 있다.

도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 연동 출력용 회전축(37)은, 구동용 회전축(35)에 대해서 자기식의 연동 출력측 연계수단(41)으로 비접촉 상태로 연동 연결되고, 복수의 반송용 회전축(36)은, 연동 출력용 회전축(37)에 대해서 자기식의 반송측 연계수단(42)으로 비접촉상태로 연동 연결되고, 출력용 회전축(38)은, 구동용 회전축(35)에 대해서 자기식의 출력측 연계수단(43)으로 비접촉상태로 연동 연결되어 있다.

설명을 더하면, 도 6 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 복수의 반송용 회전축(36)의 각각에 있어서의 대차 전후폭방향의 일방측 단부에 자기식의 반송측 종동 회전체(47)가 설치되고, 연동 출력용 회전축(37)에 있어서의 복수의 반송측 종동 회전체(47)에 대응하는 개소의 각각에, 반송측 종동 회전체(47)에 대해서 그 하방으로 이간시킨 상태로 또한 상하 방향으로 겹쳐지는 상태로 자기식의 반송측 구동 회전체(46)가 설치되어 있고, 이들 복수의 반송측 구동 회전체(46)와 복수의 반송측 종동 회전체(47)로 반송측 연계수단(42)이 구성되어 있다.

또한, 구동용 회전축(35)에 있어서의 대차 전후폭방향의 일방측 단부에 자기식의 연동 출력측 구동 회전체(44)가 설치되고, 연동 출력용 회전축(37)에 있어서의 연동 출력측 구동 회전체(44)에 대응하는 개소에, 연동 출력측 구동 회전체(44)에 대해서 그 상방으로 이간시킨 상태로 또한 상하 방향으로 겹쳐지는 상태로 자기식의 반송측 구동 회전체(46)의 하나가 설치되어 있고, 이들 연동 출력측 구동 회전체(44)와 반송측 구동 회전체(46)로 연동 출력측 연계수단(41)이 구성되어 있다. 한편, 연동 출력용 회전축(37)에 설치된 복수의 반송측 구동 회전체(46)의 하나가, 연동 출력측 구동 회전체(44)로 회전되는 연동 출력측 종동 회전체로 겸용되고 있다.

또한, 구동용 회전축(35)에 있어서의 대차 전후폭방향의 타방측 단부에 자기식의 출력측 구동 회전체(48)가 설치되고, 출력용 회전축(38)에 있어서의 출력측 구동 회전체(48)에 대응하는 개소에, 출력측 구동 회전체(48)에 대해서 그 상방으로 이간시킨 상태로 또한 상하 방향으로 겹쳐지는 상태로 자기식의 출력측 종동 회전체(49)가 설치되어 있고, 이들 출력측 구동 회전체(48)와 출력측 종동 회전체 (49)로 출력측 연계수단(43)이 구성되어 있다.

그리고, 도 12에 도시하는 바와 같이, 연동 출력측 구동 회전체(44), 반송측 구동 회전체(46), 반송측 종동 회전체(47), 출력측 구동 회전체(48), 및, 출력측 종동 회전체(49)의 각각은, 그것이 설치된 회전축보다 큰 지름의 원통 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분(S극의 자극 형성 부분과 N극의 자극 형성 부분)을 다른 극성의 것이 바깥둘레면에 교대로 위치하는 상태로 또한 나선 형상으로 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되어 있다.

즉, 기판 반송 컨베이어(33)는, 전동 모터(34)로 구동용 회전축(35)을 회전 구동시키는 것에 의해서, 이 구동용 회전축(35)과 연동 출력측 연계수단(41)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있는 연동 출력용 회전축(37), 및, 출력측 연계수단(43)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있는 출력용 회전축(38)이 회전되어, 연동 출력용 회전축(37)과 반송측 연계수단(42)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있는 복수의 반 송용 회전축(36)이 회전하도록 구성되어 있다.

그리고, 기판 반송 컨베이어(33)는, 복수의 반송용 회전축(36)의 각각에 복수 설치된 반송용 링 형상체(36a)로 지지하는 상태로 기판(1)을 얹어놓고 지지하도록 구성되어 있고, 복수의 반송용 회전축(36)이 회전하는 것에 의해, 기판(1)을 얹어 반송하도록 구성되어 있다.

연동 출력용 회전축(37) 및 출력용 회전축(38)에 있어서의 대차 가로폭 방향의 기판 수납 용기(2)가 존재하는 측의 단부에, 자기식의 구동 회전체(64)가 설치되어 있다.

이 자기식의 구동 회전체(64)는, 그것이 설치된 회전축보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분(S극의 자극 형성 부분과 N극의 자극 형성 부분)을 다른 자극의 것이 바깥둘레면에 교대로 위치하는 상태에서 평탄한 원형의 외면에 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되어 있다.

다음에, 기판 수납 용기(2)에 대해서 설명을 더한다.

도 9 내지 도 11에 도시하는 바와 같이, 기판 수납용의 수납체(51)에, 기판 (1)을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부(52)가 상하 방향으로 병설되고, 상기 기판 지지부(52)가, 기판 출입 방향과 직교 또는 대략 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체로서의 지지용 회전축(53)을, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고, 기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체로서의 연동용 회전축(54)이, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부(52)에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전축(53)의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전축(53)의 각각과 연동 연결되어 있다.

상기 지지용 회전축(53)은, 수납체 가로폭 방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 있고, 그 양단부를 상기 수납체(51)에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있다.

기판 수납용의 수납체(51)는, 상하 한 쌍의 직사각형 프레임(56)과, 그들 상하 한 쌍의 직사각형 프레임(56)의 사이에 설치된 기판 지지부 설치용의 복수의 지지 프레임(57)을 구비하여 구성되어 있다. 복수의 지지 프레임(57)의 각각은, 상단부가 위쪽의 직사각형 프레임(56)에 연결되고 또한 하단부가 아래쪽의 직사각형 프레임(56)에 연결되어 상하 방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 있고, 수납체 (51)에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 양단부 각각에 있어서, 1개의 기판 지지부 (52)에 설치된 복수의 지지용 회전축(53)과 같은 수만큼의 지지 프레임(57)이, 기판 출입 방향으로 병설되어 있다.

지지용 회전축(53)은, 그 양단부를 지지 프레임(57)에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 기판 출입 방향으로 복수 병설되어 있고, 기판 출입 방향으로 병설된 복수의 지지용 회전축(53)의 세트가, 상하 방향으로 복수 세트 병설되어 있다.

이와 같이 기판 출입 방향으로 병설된 복수의 지지용 회전축(53)의 세트로 하나의 기판 지지부(52)가 구성되어 있고, 복수 세트의 지지용 회전축(53)을 상하 방향으로 병설하는 것에 의해, 복수의 기판 지지부(52)가 상하 방향으로 병설되어 있다.

덧붙여서, 각 세트에 있어서의 복수의 지지용 회전축(53)은 각각 다른 지지 프레임(57)에 자유롭게 회전되도록 지지되어 있고, 복수의 기판 지지부(52)에 있어서의 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것은 각각 같은 지지 프레임(57)에 지지되어 있다.

복수의 기판 지지부(52)중의 아래로부터 홀수단째의 기판 지지부(52)를, 아래로부터 짝수단째의 기판 지지부(52)에 대해서, 기판 출입 방향으로 어긋나게 한 상태로 설치하는 것에 의해, 상기 복수의 기판 지지부(52)를 구성하는 상기 복수의 지지용 회전축(53)의 복수 세트가, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부(52)의 복수의 지지용 회전축(53)에 있어서의 상기 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것을 상기 기판 출입 방향에 있어서 다른 위치가 되도록 하는 형태로 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

연동용 회전축(54)은, 복수의 기판 지지부(52)에 대응하여 복수 설치되어 있고, 이들 상기 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)은, 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전축 (53)이 다른 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치되어 있다.

설명을 더하면, 복수의 기판 지지부(52)중의 아래로부터 홀수단째의 기판 지지부(52)에 대해서 설치된 홀수단째용의 연동용 회전축(54)은, 수납체 가로폭 방향의 일방측에 설치된 복수의 지지 프레임(57)으로 그 바깥쪽 측에 자유롭게 회전되 도록 지지되고, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 일방측 단부에 연동 연결되고, 또한, 아래로부터 짝수단째의 기판 지지부(52)에 대해서 설치된 짝수단째용의 연동용 회전축(54)은, 수납체 가로폭 방향의 타방측에 설치된 복수의 지지 프레임(57)으로 그 바깥쪽 측에 자유롭게 회전되도록 지지되고, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 타방측 단부에 연동 연결되어 있다.

상기 연동용 회전축(54)이, 상기 지지용 회전축(53)에 대해서 자기식의 연계 수단으로서의 수납측 연계수단(58)으로 연동 연결되어 있다.

설명을 더하면, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 일방측 단부 또는 타방측 단부에 자기식의 수납측 종동 회전체(59)가 설치되고, 연동용 회전축(54)에 있어서의 수납측 종동 회전체(59)에 대응하는 개소에, 수납측 종동 회전체(59)에 대해서 그 하방으로 이간시킨 상태로 또한 상하 방향으로 겹쳐지는 상태로 자기식의 수납측 구동 회전체(60)가 설치되어 있고, 이들 수납측 종동 회전체(59)와 수납측 구동 회전체(60)로 수납측 연계수단(58)이 구성되어 있다.

그리고, 도 12에 도시하는 바와 같이, 수납측 종동 회전체(59) 및 수납측 구동 회전체(60)의 각각은, 연동 출력측 구동 회전체(44) 등과 같이, 그것이 설치된 회전축보다 큰 지름의 원통 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분(S극의 자극 형성 부분과 N극의 자극 형성 부분)을 다른 극성의 것이 바깥둘레면에 교대로 위치하는 상태로 또한 나선 형상으로 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구 성되어 있다.

기판 수납 용기(2)에 있어서의 홀수단째용의 연동용 회전축(54)이, 기판 반송 컨베이어(33)에 있어서의 연동 출력용 회전축(37)에 대해서 자기식의 일방측 연계수단(62)으로 연동 연결 가능하게 구성되어 있고, 짝수단째용의 연동용 회전축 (54)이, 기판 반송 컨베이어(33)에 있어서의 출력용 회전축(38)에 대해서 자기식의 타방측 연계수단(63)으로 연계 연결 가능하게 구성되어 있다.

설명을 더하면, 상기 연동용 회전축(54)에 있어서의 기판 출입 방향의 기판 반송 대차가 존재하는 측의 단부에, 자기식의 종동 회전체(65)가 설치되어 있고, 연동 출력용 회전축(37)에 설치된 구동 회전체(64)와 홀수 단째용의 연동용 회전축 (54)에 설치된 종동 회전체(65)로 일방측 연계수단(62)이 구성되고, 출력용 회전축 (38)에 설치된 구동 회전체(64)와 짝수단째용의 연동용 회전축(54)에 설치된 종동 회전체(65)로 타방측 연계수단(63)이 구성되어 있다.

자기식의 종동 회전체(65)는, 구동 회전체(64)와 마찬가지로, 상기 연동용 회전축(54)보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분 (S극의 자극 형성 부분과 N극의 자극 형성 부분)을 다른 자극의 것이 교대로 위치하는 상태로 평탄한 원형의 외면에 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되어 있다.

덧붙여서, 복수의 종동 회전체(65)의 각각은, 상하 방향으로 인접하는 것과 수납체 가로폭 방향으로 일부가 중복한 상태로 설치되어 있다.

그리고, 기판 수납 용기(2)를 수납선반(5)의 기판 입출부(6)에 옮겨 싣고, 기판 반송 대차(7)를 기판 입출부(6)에 대응하는 개소에 정지시키고 있는 상태에 있어서, 기판 반송 컨베이어(33)를 승강 이동시키는 것에 의해, 연동 출력용 회전축(37)에 설치된 2개의 구동 회전체(64) 중 어느 쪽인가와 기판 수납 용기(2)에 설치된 복수의 종동 회전체(65)의 어느 한쪽이 근접하는 것에 의해서, 연동 출력용 회전축(37)이 복수의 홀수단째용의 연동용 회전축(54) 중 어느 한쪽과 연동 연결하거나, 또는, 출력용 회전축(38)이 복수의 짝수단째용의 연동용 회전축(54)의 어느 한쪽과 연동 연결하도록 구성되어 있다.

즉, 연동 출력용 회전축(37)에 설치된 구동 회전체(64)와 출력용 회전축(38)에 설치된 구동 회전체(64)는 같은 높이로 설치되어 있고, 복수의 연동용 회전축 (54)에 설치된 복수의 종동 회전체(65)는, 수납체에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 일방측과 타방측에 교대로 또한 각각이 다른 높이가 되도록 설치되어 있기 때문에, 연동 출력용 회전축(37)이 복수의 홀수단째용의 연동용 회전축(54)의 어느 한쪽이 연동 연결하고 있는 상태에서는, 출력용 회전축(38)은 복수의 짝수단째용의 연동용 회전축(54)의 어느 쪽에도 연동 연결하고 있지 않은 상태가 되어, 출력용 회전축(38)이 복수의 짝수단째용의 연동용 회전축(54)의 어느 한쪽과 연동 연결하고 있는 상태에서는, 연동 출력용 회전축(37)은 복수의 홀수단째용의 연동용 회전축(54)의 어느 쪽에도 연동 연결하지 않는 상태가 되는 것이고, 일방측 연계수단 (62)과 타방측 연계수단(63)중의 어느 한쪽에서 연동 연결되고, 양쪽에서 동시에 연동 연결되지 않도록 구성되어 있다.

그리고, 기판 수납 용기(2)는, 연동용 회전축(54)중의 어느 한쪽이 기판 반 송 컨베이어(33)의 연동 출력용 회전축(37) 또는 출력용 회전축(38)과 연동 연결되어 있는 상태에 있어서, 전동 모터(34)로 연동 출력용 회전축(37) 및 출력용 회전축(38)이 회전되면, 연동 출력용 회전축(37)과 일방측 연계수단(62)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있거나 또는 출력용 회전축(38)과 타방측 연계수단(63)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있는 1개의 연동용 회전축(54)이 회전하고, 이 연동용 회전축(54)과 수납측 연계수단(58)으로 비접촉으로 연동 연결되어 있는 복수의 지지용 회전축(53)이 회전하도록 구성되어 있다.

그리고, 기판 지지부(52)는, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 복수 설치된 지지용 링 형상체(53a)로 지지하는 상태로 기판(1)을 얹어놓고 지지하도록 구성되어 있고, 복수의 반송용 회전축(36)이 회전하는 것에 의해, 기판(1)을 얹어놓고 반송하도록 구성되어 있다.

즉, 도 13에 도시하는 바와 같이, 기판 수납 용기(2)를 수납선반(5)의 기판 입출부(6)에 옮겨 싣고, 기판 반송 대차(7)를 기판 입출부(6)에 대응하는 개소에 정지시키고 있는 상태에 있어서, 기판 반송 컨베이어(33)를 승강 이동시키는 것에 의해, 기판 반송 컨베이어(33)와 기판 수납 용기(2)에 있어서의 기판 출입 대상이 되는 하나의 기판 지지부(52)가 비접촉으로 연동 연결되고, 기판 반송 컨베이어(33)에 설치한 전동 모터(34)를 정역으로 구동시키는 것에 의해서, 기판 반송 컨베이어(33)에 있어서의 복수의 반송용 회전축(36) 및 기판 출입 대상의 기판 지지부(52)에 있어서의 복수의 지지용 회전축(53)이 정역으로 회전하는 것에 의해서, 기판 수납 용기(2)로부터 기판 반송 컨베이어(33)에 기판(1)을 1매 꺼낼 수 있고, 또한, 기판 반송 컨베이어(33)로부터 기판 수납 용기(2)에 기판(1)을 1매 수납할 수 있도록 구성되어 있다.

[제 2 실시형태]

이하, 본 발명에 관한 제 2 실시 형태를 도면에 기초하여 설명하지만, 이 제 2 실시 형태는, 기판 반송 컨베이어(33) 및 기판 수납 용기(2)의 구성이 다른 이외는 상기의 제 1 실시 형태와 같으므로, 제 1 실시 형태와 같은 구성요소나 같은 작용을 갖는 구성요소에 대해서는, 같은 부호를 붙이는 것에 의해 설명을 생략하고, 주로, 제 1 실시 형태와 다른 구성을 설명한다.

기판 반송 컨베이어(33)에 대해 설명하면, 도 14 및 도 15에 도시하는 바와 같이, 출력용 회전축(38)은, 대차 전후폭방향을 따라서 연장된 상태로 배치되어 한 쌍의 컨베이어 프레임(39)의 일방에서 연동 출력용 회전축(37)보다 바깥쪽 측에 자유롭게 회전되도록 지지되어 있다.

그리고, 출력용 회전축(38)에 있어서의 연동 출력측 구동 회전체(44)에 대응하는 개소에, 연동 출력측 구동 회전체(44)에 대해서 그 상방으로 이간시킨 상태로 또한 상하 방향으로 겹쳐지는 상태로 자기식의 출력측 종동 회전체(49)가 설치되어 있고, 이들 연동 출력측 구동 회전체(44)와 출력측 종동 회전체(49)로 출력측 연계수단(43)이 구성되어 있다.

기판 수납 용기(2)에 대해 설명하면, 도 16 및 도 17에 도시하는 바와 같이, 상기 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)이, 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전축(53)의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향으로 다른 위치가 되도록 지그재그 형상으로 배치한 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중 배치되어 있다.

설명을 더하면, 복수의 기판 지지부(52)중의 아래로부터 홀수단째의 기판 지지부(52)에 대해서 설치된 홀수단째용의 연동용 회전축(54)은, 수납체 가로폭 방향의 일방측에 설치된 복수의 지지 프레임(57)에서 그 바깥쪽 측에 자유롭게 회전되도록 지지되고, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 일방측 단부에 연동 연결되고, 또한, 아래로부터 짝수단째의 기판 지지부(52)에 대해서 설치된 짝수단째용의 연동용 회전축(54)은, 수납체 가로폭 방향의 일방측에 설치된 복수의 지지 프레임(57)으로 홀수단째용의 연동용 회전축(54)보다 더 바깥쪽 측에 자유롭게 회전되도록 지지되어, 복수의 지지용 회전축(53)의 각각에 있어서의 수납체 가로폭 방향의 일방측 단부에 연동 연결되어 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 제 1 실시형태에서는, 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)을, 복수의 기판 지지부(52)에 대한 상하 방향으로 인접하는 것이 수납체 가로폭 방향에 있어서 지지용 회전축(53)이 다른 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치하고, 상기 제 2 실시형태에서는, 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)을, 수납체 가로폭 방향에 있어서 지지용 회전축(53)의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 수납체 가로폭 방향으로 다른 위치가 되도록 지그재그 형상으로 배치한 상태로 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중 배치했지만, 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)을, 수납체 가로폭 방향에 있어서 지지용 회전축(53)의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 수납체 가로폭 방향으로 같은 위치가 되도록 일렬로 배치한 상태로 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중 배치해도 좋다.

한편, 상기 실시형태에서는, 복수의 기판 지지부(52)에 대한 복수의 연동용 회전축(54)을, 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치하거나 또는 지그재그 형상으로 배치하여 2열로 나열하였지만, 3열 이상으로 나열해도 좋다.

(2) 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 복수의 기판 지지부(52)를 구성하는 복수의 지지용 회전축(53)의 복수 세트를, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부 (52)의 복수의 지지용 회전축(53)에 있어서의 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것을 기판 출입 방향에 있어서 다른 위치가 되도록 하는 형태로 지그재그 형상으로 배치했지만, 복수의 기판 지지부(52)를 구성하는 복수의 지지용 회전축 (53)의 복수 세트를, 상하 방향으로 인접하는 기판 지지부(52)의 복수의 지지용 회전축(53)에 있어서의 기판 출입 방향에 있어서 나열 순서가 같은 것을 기판 출입 방향에 있어서 같은 위치가 되도록 하는 형태로 상하 방향으로 일렬로 나열하여 배치해도 좋다. 또한, 3열 이상으로 나열해도 좋다.

(3) 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 연동용 회전축(54)을 지지용 회전축 (53)에 연동 연결하는 연계 수단을 자기식의 연계수단(58)으로 했지만, 연동용 회전축(54)을 지지용 회전축(53)에 연동 연결하는 연계수단을 기어를 맞물림시키는 기어식의 연계수단으로 해도 좋다.

(4) 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 지지용 회전체(53)를, 그 양단부를 수납체(51)에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치했지만, 지지용 회전체 (53)를, 그 일단부를 수납체(51)에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치해도 좋다.

(5) 상기 제 1 및 제 2 실시형태에서는, 기판 반송 장치를, 대차 본체(32)와 기판 반송 컨베이어(33)를 구비한 기판 반송 대차(7)로 했지만, 기판 반송 장치를, 마루부에 고정한 고정 프레임과 이 고정 프레임에 대해서 자유롭게 승강되도록 설치된 기판 반송 컨베이어를 구비하여 구성해도 좋다.

도 1은 기판 처리 설비의 평면도.

도 2는 기판 처리 설비의 정면도.

도 3은 기판 처리 설비의 측면도.

도 4는 기판 반송 컨베이어와 기판 수납 용기의 사시도.

도 5는 기판 반송 컨베이어의 사시도.

도 6은 기판 반송 컨베이어의 횡단 정면도.

도 7은 기판 반송 컨베이어와 기판 수납 용기를 일방측에서 연동 연결한 상태를 도시하는 도면.

도 8은 기판 반송 컨베이어와 기판 수납 용기를 타방측에서 연동 연결한 상태를 도시하는 도면.

도 9는 기판 수납 용기의 사시도.

도 10은 기판 수납 용기의 정면도.

도 11은 기판 수납 용기의 측면도.

도 12는 회전축을 연동 연결하는 개략도.

도 13은 기판을 반송하고 있는 상태를 도시하는 작용도.

도 14는 제 2 실시형태에 있어서의 기판 반송 컨베이어의 횡단 정면도.

도 15는 제 2실시형태에 있어서의 기판 반송 컨베이어와 기판 수납 용기를 연동 연결한 상태를 도시하는 도면.

도 16은 제 2 실시형태에 있어서의 기판 수납 용기의 정면도.

도 17은 제 2 실시형태에 있어서의 기판 수납 용기의 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 기판

51 : 수납체

52 : 기판 지지부

53 : 지지용 회전축

54 : 연동용 회전축

58 : 자기식의 연계 수단

65 : 자기식의 종동 회전체

Claims (7)

1. 기판 수납용의 수납체에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부가 상하 방향으로 병설되고,

   상기 기판 지지부가, 기판 출입 방향과 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체를, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고,

   기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체가, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전체의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전체의 각각과 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기로서,

   상기 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에, 자기(磁氣)식의 종동 회전체가 설치되어 있고,

   상기 지지용 회전체가, 그 양단부를 상기 수납체에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있으며,

   상기 종동 회전체가, 상기 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태에서 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되고,

   상기 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체가, 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전체가 다른 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 양측으로 나누어 배치되어 있는 기판 수납 용기.
2. 기판 수납용의 수납체에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부가 상하 방향으로 병설되고,

   상기 기판 지지부가, 기판 출입 방향과 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체를, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고,

   기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체가, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전체의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전체의 각각과 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기로서,

   상기 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에, 자기(磁氣)식의 종동 회전체가 설치되어 있고,

   상기 지지용 회전체가, 그 양단부를 상기 수납체에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있으며,

   상기 종동 회전체가, 상기 연동용 회전체보다 큰 지름의 원반 형상이고 또한 다른 극성의 2종의 자극 형성 부분을 다른 극성의 것이 교대로 위치하는 상태에서 둘레방향을 따라서 나열하는 상태로 구성되고,

   상기 복수의 기판 지지부에 대한 복수의 연동용 회전체가, 상기 수납체 가로폭 방향에 있어서 상기 지지용 회전체의 같은 측의 단부에 연동 연결되는 상태로 또한 상하 방향으로 인접하는 것이 상기 수납체 가로폭 방향으로 다른 위치가 되도록 지그재그 형상으로 배치한 상태로 상기 수납체 가로폭 방향의 일방측에 집중배치되어 있는 기판 수납 용기.
3. 제 1 항에 있어서,

   상하 방향으로 병설되는 복수의 기판 지지부의 상하 방향으로 서로 인접하는 지지용 회전체가 수납체 가로폭 방향에서 봤을 때 서로 어긋나게 지그재그형상으로 배치되어 수납체 가로폭 방향과 직교하는 기판 출입방향에 있어서의 위치가 다른 위치가 되는 형태로 배치되는 기판 수납 용기.
4. 제 2 항에 있어서,

   상하 방향으로 병설되는 복수의 기판 지지부의 상하 방향으로 서로 인접하는 지지용 회전체가 수납체 가로폭 방향에서 봤을 때 서로 어긋나게 지그재그형상으로 배치되어 수납체 가로폭 방향과 직교하는 기판 출입방향에 있어서의 위치가 다른 위치가 되는 형태로 배치되는 기판 수납 용기.
5. 기판 수납용의 수납체에, 기판을 자유롭게 출입할 수 있도록 얹어놓고 지지하는 복수의 기판 지지부가 상하 방향으로 병설되고,

   상기 기판 지지부가, 기판 출입 방향과 직교하는 수납체 가로폭 방향을 따르는 축심 둘레로 회전 가능한 복수의 축형상의 지지용 회전체를, 기판 출입 방향으로 병설하여 구성되고,

   기판 출입 방향을 따라서 연장된 상태로 배치된 축형상의 연동용 회전체가, 그 길이방향을 따르는 축심둘레의 회전에 의해서 상기 기판 지지부에 있어서의 복수의 상기 지지용 회전체의 각각을 회전시키도록, 그들 복수의 지지용 회전체의 각각과 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기로서,

   상기 연동용 회전체에 있어서의 기판 출입 방향의 단부에, 자기(磁氣)식의 종동 회전체가 설치되어 있고,

   상하 방향으로 병설되는 복수의 기판 지지부의 상하 방향으로 서로 인접하는 지지용 회전체가 수납체 가로폭 방향에서 봤을 때 서로 어긋나게 지그재그형상으로 배치되어 수납체 가로폭 방향과 직교하는 기판 출입방향에 있어서의 위치가 다른 위치가 되는 형태로 배치되는 기판 수납 용기.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 지지용 회전체가, 그 양단부를 상기 수납체에 자유롭게 회전되도록 지지되는 상태로 설치되어 있는 기판 수납 용기.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연동용 회전체가, 상기 지지용 회전체에 대해서 자기식의 연계 수단으로 연동 연결되어 있는 기판 수납 용기.

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