TWI438122B - 基板用收納容器及搬送該收納容器之搬送設備 - Google Patents

Description

基板用收納容器及搬送該收納容器之搬送設備 發明領域

本發明係有關於一種基板用收納容器及搬送該收納容器之搬送設備，該基板用收納容器係包含有具有可將複數片基板以於上下方向隔著間隔排列之狀態收納之基板收納空間的容器本體及將清淨空氣供給至前述容器本體之前述基板收納空間之風扇過濾器單元，前述容器本體係於其側部形成用以將前述基板取出放入之取出放入口及用以將以前述風扇過濾器單元供給之清淨空氣供應至前述基板收納空間的供氣口而構成。

發明背景

此種基板用收納容器係在收納用於液晶顯示器或電漿顯示器之玻璃基板等基板之際使用者，其構造成可將複數片基板以於上下方向隔著間隔而排列之積層狀態收納於基板收納空間。又，將玻璃基板等要求高清淨度之基板收納於基板用收納容器時，使用使基板用收納容器之基板收納空間的清淨度高於外部之局部清淨技術。即，構造成將容器本體形成於上下左右具有側壁之筒狀，以與形成於其前後方向之一側部之供氣口相對之狀態設風扇過濾器單元(FFU)，而以風扇過濾器單元使清淨空氣供給至基板收納空間。又，藉如此使清淨空氣供給至基板收納容器，於基板收納空間形成沿著基板之氣流，而可將基板收納空間之清淨度維持高度，而防止塵埃附著於基板。

在此種基板用收納容器，習知係風扇過濾器單元裝設於FFU用框架體，此FFU用框架體安裝成可對筒狀容器本體分離結合。亦即，將基板用收納容器洗淨時，由於FFU用框架體裝設有包含配電零件之風扇過濾器單元，故無法以水溶液等液體洗淨，而使容器本體從FFU框架體分離，僅將容器本體洗淨(例如參照專利文獻1)。

又，FFU用框架體以風扇過濾器單元與供氣口相對之狀態，安裝於容器本體，其形狀在側面觀看形成I字形(於上下方向長向延伸之形狀)。

又，對FFU框架體在容器本體之安裝加以說明，使FFU用框架體之下端部從上方側卡合於設在容器本體下端部之卡合支撐板，並且使設在FFU用框架體上端部之卡合構件從上方側卡合於容器本體上端部，而使FFU用框架體結合於容器本體，當使容器本體從FFU用框架體分離時，使FFU用框架體相對於容器本體移動至上方側，而使容器本體從FFU框架體分離。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1　日本專利公開公報2008-094494號(段落號碼「0054」、第15圖)

在上述習知基板用收納容器，由於FFU用框架體之側面觀看形狀形成I字形(於上下方向長向延伸之形狀)，故FFU用框架體單體穩定性差，而易翻倒，故不易使容器本體之分離自動化。

加以說明，當使容器本體從FFU用框架體分離時，考慮藉以支撐FFU用框架體下面之狀態，舉起FFU用框架體，而使容器本體從FFU用框架體分離，由於FFU用框架體之側面觀看形狀為I字形，單體之穩定性差，故分離時，有FFU用框架體翻倒之虞。如此，由於使容器本體從FFU用框架體分離之際，有FFU用框架體翻倒之虞，故不易使此分離之作業自動化。

本發明即是鑑於上述實際情況而發明者，其目的在於提供易使容器本體之分離自動化之基板用收納容器。

本發明之基板用收納容器係包含有：具有可將複數片基板以於上下方向隔著間隔排列之狀態收納之基板收納空間的容器本體、及將清淨空氣供給至前述容器本體之前述基板收納空間之風扇過濾器單元，前述容器本體係於其側部形成用以將前述基板取出放入之取出放入口、及用以將以前述風扇過濾器單元供給之清淨空氣供應至前述基板收納空間的供氣口而構成者；又，可載置支撐前述容器本體之載置支撐構件具有載置支撐前述容器本體之支撐部份、及將前述風扇過濾器單元裝設成在以該支撐部份來載置支撐前述容器本體之狀態下，使前述風扇過濾器單元位於與前述供氣口相對之位置的裝設部分；且，於前述支撐部份形成可將承接支撐體於上下方向插入及取出之開口部；前述容器本體並構造成可以以插入至前述開口部之前述承接支撐體承接支撐下部之狀態，相對於前述載置支撐構件分離至上方側。

即，構造成以與供氣口相對之狀態設風扇過濾器單元，而以風扇過濾器單元使清淨空氣供給至基板收納空間。如此，藉使清淨空氣供給至基板收納空間，而於基板收納空間形成沿著基板之氣流，可將基板收納容間之清淨度維持在高度，而防止塵埃附著於基板。

又，藉以使載置支撐構件之支撐部份載置支撐容器本體，而使容器本體結合於載置支撐構件之狀態，將承接支撐體從下方側插入至開口部，而以以此所插入之承接支撐體承接支撐容器本體下部之狀態，容器本體相對於載置支撐構件被舉起，而可使容器本體相對於載置支撐構件分離至上方側。

由於載置支撐構件具有裝設有風扇過濾器單元之裝設部份及載置支撐容器本體之支撐部份而構成，載置支撐構件之橫側面觀看之形狀可以裝設部份之I字形部份(於上下方向長向延伸之部份)及支撐部份之一字形部份(於水平方向長向延伸之部份)全體形成L字形，故於使容器本體從載置支撐構件分離時，藉支撐用以載置支撐容器本體之支撐部份，可將裝設有風扇過濾器單元之裝設部份一體地支撐。是故，由於可將包含裝設部份之載置支撐構件以大面積穩定地支撐，故於使容器本體相對於載置支撐構件分離時，裝設部份不易翻倒，而易使容器本體之分離自動化。因而，終至可提供易使容器本體之分離自動化之基板用收納容器。

在本發明之實施形態中，前述載置支撐構件之前述支撐部份宜構成平板狀，前述容器本體構造成其下部將複數個框架材排列成格子狀，且構造成以前述承接支撐體來承接支撐前述框架材。

即，由於容器本體之下部係將複數個框架材排列成格子狀而構成，故有開口，而載置支撐容器本體之載置支撐構件的支撐部份構成平板狀，故在使容器本體載置支撐於載置支撐構件的狀態下，可以載置支撐構件封閉容器本體下部之開口。

是故，容器本體藉將框架材排列成格子狀而構成其下部，可謀求輕量化，且在使容器本體載置支撐於載置支撐構件之狀態下，可封閉容器本體之下部，而易以所供給之清淨空氣於基板收納空間形成沿著基板之氣流。又，藉將載置支撐構件之支撐部份構成平板狀，與裝設部份之重力平衡可藉支撐部份之重量化而形成更穩定支撐載置支撐構件的平衡。

在本發明之實施形態中，具有以電動式馬達朝一方向及反方向旋轉驅動之旋轉滾筒、及纏繞於前述旋轉滾筒，而隨著前述旋轉滾筒之旋轉而捲出及捲繞之片狀門部份，且，將開關前述容器本體之前述取出放入口之擋門裝置，宜在以直立設置於前述載置支撐構件之取出放入口側之端部的一對支撐用框架材支撐的狀態下，裝設於前述載置支撐構件，又，於前述擋門裝置之下方，且為前述一對支撐用框架材間形成有通過口，該通過口可供相對於前述載置支撐構件分離至上方側之前述容器本體沿著取出放入前述基板之方向通過。

即，擋門裝置藉從旋轉滾筒捲出門部份，可以該所捲出之門部份關閉容器本體之取出放入口。如此，在關閉取出放入口之狀態下，可防止塵埃從取出放入口侵入至基板收納空間。又，擋門裝置藉將門部份捲繞至旋轉滾筒，可開啟容器本體之取出放入口，如此在開啟取出放入口之狀態下，擋門裝置全體位於通過口上方，相對於載置支撐構件分離至上方側之容器本體可沿著將基板取出放入之方向通過通過口。

又，由於具有電動式馬達等之擋門裝置無法以水溶液等液體洗淨，故將基板用收納容器洗淨時，必須使擋門裝置從容器本體分離。根據本特徵結構，由於擋門裝置裝設於載置支撐構件，故藉將容器本體從載置支撐構件分離，可使擋門裝置從容器本體分離，而可易進行容器本體之分離。

又，由於可通過形成於擋門裝置下方之通過口，使容器本體移動，故相較於在擋門裝置上方移動時，可抑制使容器本體從載置支撐構件分離時之容器本體在上方側之移動量，故此點也易進行容器本體之分離。

在本發明之實施形態中，前述支撐部份宜具有覆蓋前述容器本體之底面全體之尺寸。

本發明之搬送設備係搬送基板用收納容器者，其設有中繼搬送機構，該中繼搬送機構係配設於搬送前述基板用收納容器之收納容器搬送機構與搬送前述容器本體之容器本體搬送機構間，而從前述收納容器搬送機構收取前述基板用收納容器，並使前述容器本體從前述載置支撐構件分離後，將該已分離之前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構者，又，前述收納容器搬送機構宜構造成在使前述載置支撐構件之前述支撐部份比前述裝設部份，靠近前述容器本體搬送機構所在之側的狀態下，將前述基板用收納容器交遞至前述中繼搬送機構，又，前述中繼搬送機構具有：在載置支撐前述載置支撐構件之狀態下，從前述收納容器搬送機構收取前述基板用收納容器之第1支撐體；將前述容器本體載置搬送至水平方向之前述容器本體搬送機構所在之側，並將前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構而作為前述承接支撐體的第2支撐體；及，使前述第2支撐體對前述第1支撐體相對地升降移動之升降操作機構而構成，前述第2支撐體並構造成以前述升降操作機構對前述第1支撐體相對地升降移動，藉此可切換成非搬送狀態與搬送狀態，且在前述搬送狀態下，將前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構，前述非搬送狀態係位於比載置支撐在前述第1支撐體之前述載置支撐構件之載置面還下方，而前述搬送狀態則係從下方側插入至前述載置支撐構件之前述開口部，而載置支撐前述容器本體之前述下部，並使前述容器本體從前述載置支撐構件分離至上方側。

即，中繼搬送機構從收納容器搬送機構以將載置支撐構件載置支撐於第1支撐體之狀態，收取基板用收納容器後，以升降操作機構使第2支撐體對第1支撐體相對地上升移動，而將第2支撐體從非搬送狀態切換成搬送狀態，藉此，第2支撐體從下方側插入至載置支撐構件之開口部，以該所插入之第2支撐體載置支撐容器本體之下部，容器本體從載置支撐構件分離至上方側。之後，容器本體以第2支撐體載置搬送至容器本體搬送機構所在之側，而交遞至容器本體搬送機構。如此進行，在搬送設備，可使容器本體從載置支撐構件自動地分離。

在本發明之實施形態中，設有以液體將前述容器本體洗淨之洗淨裝置，前述容器本體搬送機構係構造成將從前述中繼搬送機構所收取之前述容器本體搬送至前述洗淨裝置。

即，以洗淨裝置將基板用收納容器洗淨時，由於於載置支撐構件裝設有風扇過濾器單元，故需使容器本體從載置支撐構件分離，僅將容器本體洗淨，而在搬送設備，由於可使容器本體自動地從載置支撐構件分離，故不需以人為方式使容器本體從載置支撐構件分離，而可易僅將容器本體洗淨。

圖式簡單說明

第1圖係第1實施形態之搬送設備之正面圖。

第2圖係第1實施形態之基板用收納容器之結合立體圖。

第3圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解立體圖。

第4(a)圖、第4(b)圖係第1實施形態之容器本體之立體圖。

第5(a)圖、第5(b)圖係第1實施形態之載置支撐構件之立體圖。

第6圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解作用圖。

第7圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解作用圖。

第8圖係第2實施形態之基板用收納容器之結合立體圖。

第9圖係第2實施形態之基板用收納容器之分解立體圖。

用以實施發明之形態

以下，就本發明之基板用收納容器及搬送該收納容器之搬送設備的實施形態，依據圖式來說明。在此，雖就複數個實施形態作說明，但1個實施形態之特徵及另一實施形態之特徵的組合亦包含在本發明之範圍內。

第1實施形態

首先，就本發明第1實施形態，依據圖式作說明。

如第1圖所示，搬送設備係搬送基板用收納容器2之設備。以此搬送設備搬送之基板用收納容器2構造成容器本體3及載置支撐此容器本體3之載置支撐構件4可分離。

又，於搬送設備設有作為搬送基板用收納容器2之收納容器搬送機構之堆高式起重機7、使基板用收納容器2之容器本體3從載置支撐構件4分離之中繼搬送機構8、作為搬送容器本體3之容器本體搬送機構之輥式搬送輸送機9，中繼搬送機構8配設於堆高式起重機7與搬送輸送機9間。

堆高式起重機7構造成將從收納基板用收納容器2之收納架10所取出之基板用收納容器2交遞至中繼搬送機構8，又，將從中繼搬送機構8所收取之基板用收納容器2收納至收納架10，而在收納架10與中繼搬送機構8間搬送基板用收納容器2。收納架10具有形成於上下方向排列之複數個柱及於水平方向排列之複數個列的複數個收納部。於1個收納部收納1個基板用收納容器2。

中繼搬送機構8從堆高式起重機7收取基板用收納容器2，使容器本體3從載置支撐構件4分離後，將該所分離之容器本體3交遞至搬送輸送機9，又，構造成從搬送輸送機9收取容器本體3，使該容器本體3與載置支撐構件4結合後，將基板用收納容器2交遞至堆高式起重機7，在堆高式起重機7與搬送輸送機9間搬送基板用收納容器2，且將容器本體3與載置支撐構件4分離及結合。

搬送輸送機9構造成將從中繼搬送機構8所收取之容器本體3交遞至對基板1或容器本體3進行處理之處理裝置11，又，將從處理裝置11所收取之容器本體3交遞至中繼搬送機構8，而在中繼搬送機構8與處理裝置11間搬送容器本體3。

又，搬送設備設置於無塵空間13，並設有使清淨空氣從頂部流通至地板部之降流式(down flow type)清淨空氣通風機構14。

此清淨空氣通風機構14構造成構成地板部之格子地板15下方之空間與頂部之空氣過濾器16上方之空間以具有通風風扇17及預濾器18之循環路徑19連通，以預濾器18(pre-filter)及空氣過濾器16使無塵空間13內之空氣一面清淨化，一面循環，而使清淨空氣從無塵空間13之頂部流通至地板部。

基板用收納容器

如第2圖及第3圖所示，在搬送設備搬送之基板用收納容器2包含有具有可將矩形基板1以於上下方向隔著間隔排列之狀態收納複數片之基板收納空間S的容器本體3、將清淨空氣供給至容器本體3之基板收納空間S之風扇過濾器單元5、裝設此風扇過濾器單元5，且載置支撐容器本體3之載置支撐構件4而構成。風扇過濾器單元5各具有1個或複數個風扇、1個或複數個過濾器，風扇及過濾器以1個或複數個框架單元化。

如第4圖所示，容器本體3於其側部形成用以將基板1取出放入之取出放入口21及用以將以風扇過濾器單元5供給之清淨空氣供應至基板收納空間S的供氣口22而構成。又，取出放入口21形成於容器本體3之前側部，供給口22形成於容器本體3之後側部，取出放入口21及供氣口22形成相互相對。此外，第4(a)圖顯示前方側左斜上方之容器本體3之立體圖，將容器本體3之一部份切開。又，第4(b)圖顯示後方側左斜下方之容器本體3之立體圖。

就容器本體3加以說明，容器本體3係將四角柱狀框架材架構而形成本體框架23，以側板封閉該本體框架23之上部及左右橫側部，而形成門狀。在此，門狀係指在前後方向觀看，以在一橫側部及另一橫側部於上下方向延伸之一對側板24及在該等一對側板24之上端部份間於水平延伸之側板24形成的形狀。又，容器本體3之前側部不以側板24封閉，而於其前側部形成取出放入口21。又，容器本體3之後側部也不以側板24封閉，而於其後側部形成供氣口22。即，容器本體3之前側部平常為開放、開啟之狀態。容器本體3之下部係將下部形成用框架材23a排列成格子狀而構成，由於未以側板24封閉，故形成開口，如第2圖所示，在使容器本體3載置支撐於載置支撐構件4之狀態下，以該載置支撐構件4之支撐部份27封閉。在此，格子狀係指於一方向延伸之複數個框架材23a與較佳為與前述一方向不同之方向(宜為垂直方向)延伸之複數個框架材23a交叉。在各交叉點，交叉之諸框架材宜相互固定。此外，構成下部之下部形成用框架材23a相當於構成本案發明之容器本體3底部之複數個框架材。如上述，宜構造成令容器本體3下部之幾乎全體(80%)呈開口狀態，亦可以封閉構件封住容器本體3下部之一部份。此時，可以載置支撐構件4之支撐部份27封住容器本體3下部之未以封閉構件封住的部份、亦即在容器本體3下部，於下方開口之部份。

亦即，容器本體3構造成從供氣口22供應以風扇過濾器單元5供給之清淨空氣，使清淨空氣在基板收納空間S內從後方流通至前方，而從取出放入口21排出清淨空氣。又，藉使清淨空氣在基板收納空間S內從後方流通至前方，而以該氣流防止塵埃附著於基板1，並且，藉從取出放入口21排出清淨空氣，可防止塵埃從取出放入口侵入至基板收納空間S。

又，於容器本體3裝備有用以載置支撐收納於基板收納空間S之基板1之基板支撐體25，此基板支撐體25支撐於本體框架23。又，基板支撐體25按於上下方向隔著間隔排列之複數片基板1之片數，於上下方向排列複數個而設，複數個基板支撐體25各以於橫方向排列之複數根棒材構成。此棒材分別在容器本體3之前後方向水平延伸。附帶一提，以容器本體3之內部空間形成基板收納空間S。

如第5圖所示，載置支撐構件4具有載置支撐容器本體3之支撐部份27、及將風扇過濾器單元5裝設成在以該支撐部份27載置支撐容器本體3之狀態下，使風扇過濾器單元5位於與供氣口22相對之位置的裝設部份28而構成。此外，第5(a)圖係前方側左斜上方之載置支撐構件4之立體圖，第5(b)圖係後方側左斜下方之載置支撐構件4之立體圖。

如第2圖等所示，支撐部份27之水平方向之寬度宜與容器本體3之寬度方向之寬度幾乎相同或較大，支撐部份27之前後方向之尺寸宜與容器本體3之前後方向的尺寸幾乎相同或較大。在此，「幾乎相同」係指較佳在5%之誤差內相同。因而，支撐部份27宜具有覆蓋前述容器本體3之底面全體之尺寸，支撐部份27宜覆蓋前述容器本體3底面之至少50%。

就或置支撐構件4加以說明，載置支撐構件4之支撐部份27係將框架材架構成平面觀看呈矩形之格子狀，而形成支撐框架29，於該支撐框架29安裝底板30，而構成平板狀。又，載置支撐構件4之裝設部份28以從支撐部份27之後端部直立設置之狀態，連結於支撐部份27，且，風扇過濾器5以以站立姿勢於容器寬度方向排列之狀態裝設有3台。又，載置支撐構件4以側面觀看呈一字形之(即，於水平方向長向延伸)支撐部份及側面觀看呈I字形之(即，於上下方向長向延伸)裝設部份28形成側面觀看L字形(即，具有與於水平方向延伸成直線狀之部份之端部連接，且於垂直方向延伸成直線狀之部份的形狀)。此外，底板30以於寬度方向排列4片，將該列於前後方向排列3列之狀態，總計安裝有12片。

在支撐部份27，以在排列之底板30中之3列，各形成於位於寬度方向兩端之2片底板30的形態，形成有可將後述升降式支撐體42於上下方向插入及取出之開口部31。如此形成之開口部31於容器寬度方向隔著間隔，形成有2列，各形成沿著容器前後方向之形狀。附帶一提，載置支撐構件4之位於2列開口部31間之部份以堆高式起重機7支撐，位於開口部31之容器寬度方向外側之部份於收納至收納架10之際支撐。

於裝設部份28設有覆蓋載置支撐於載置支撐構件4之容器本體3後端部之罩部32。此罩部32形成覆蓋容器本體3後端部之左右橫側方及上方之形狀。又，如第6圖所示，罩部32構造成在容器本體3載置支撐於支撐部份27之狀態下，於容器本體3之上部及罩部32間形成上下方向之間隙，藉形成此間隙，如第7圖所示，使容器本體3相對於載置支撐構件4分離至上方側時，容器本體3不與罩部32接觸。

如第5(b)圖所示，於載置支撐構件4裝備有非接觸供電裝置33之受電部33a，而構造成在收納於收納架10之狀態下，風扇過濾器單元5以從裝備於收納架10之非接觸供電裝置33之供電部33b(參照第1圖)供給之電力作動。

又，於載置支撐構件4亦裝備有儲存供給至受電部33a之電力之電池(圖中未示)，而構造成於以堆高式起重機7搬送基板用收納容器2時等，受電部33a離開供電部33b，而不再將電力供給至基板用收納容器2之狀態下，以儲存於電池之電力，使風扇過濾器單元5作動。

於基板用收納容器2裝備有在將容器本體3載置支撐於載置支撐構件4之狀態下，限制容器本體3相對於載置支撐構件4在水平方向之移動之限制機構34。此限制機構34以以連結支撐於載置支撐構件4之支撐框架29之形態而設，突出至載置支撐構件4之上面上方的定位銷34a、形成於容器本體3之下部形成用框架材23a之凹部34b構成。又，限制機構34構造成於將容器本體3載置於載置支撐構件4之際，定位銷34a卡合於凹部34b，藉此，限制容器本體3相對於載置支撐構件4在水平方向之移動。

又，容器本體3之下部形成用框架材23a配設成其一部份沿著容器前後方向之框架材23a(在第4(b)圖中，以假想線顯示之框架材23a)在使容器本體3載置支撐於載置支撐構件4之狀態下，位於形成於載置支撐構件4之開口部31之正上方。又，構造成以以插入至開口部31之後述升降式支撐體42承接支撐下部形成用框架材23a之狀態，舉起容器本體3，容器本體3構造成以以插入至開口部31之升降式支撐體42承接支撐下部形成用框架材23之狀態，可相對於載置支撐構件4分離至上方側。

接著，就搬送設備加以說明，於搬送設備設有使用作為液體之水溶液，將容器本體3洗淨之洗淨裝置W作為處理裝置11。以下，就以堆高式起重機7、中繼搬送機構8及搬送輸送機9，在收納架10與洗淨裝置W間搬送基板用收納容器2及已分離之容器本體3之情形作說明。附帶一提，此時，搬送未收納基板1之基板用收納容器2。

堆高式起重機

首先，就堆高式起重機7加以說明。

如第1圖所示，將收納基板用收納容器2之收納部10a於上下方向及架寬度方向並列設置之收納架10以相對之狀態設有一對，於此一對收納架10間配設有堆高式起重機7。堆高式起重機7具有在形成於一對收納架10間之行走路徑36沿著其長向行走移動之行走台車37、為直立設置於行走台車37之升降桿升降自如地引導支撐之升降台38、支撐於升降台38之叉式移載裝置39而構成。移載裝置39構造成可在一對收納架10與自身間及中繼搬送機構8與自身間移載基板用收納容器2，且於縱軸心周圍旋繞。附帶一提，在收納架10之收納部10a，以使裝設有風扇過濾器單元5之後端部比形成有取出放入口21之前端部靠近行走路徑36之狀態收納有基板用收納容器2。

以與行走路徑36相鄰之狀態設有中繼搬送機構8，堆高式起重機7構造成可將基板用收納容器2交遞至中繼搬送機構8，且從中繼搬送機構8收取基板用收納容器2。又，堆高式起重機7構造成藉使移載裝置39旋繞，而可將在搬送之基板用收納容器2之方向變更180°，而於搬送標的之中繼搬送機構8之位置相對於搬送端之收納部10a之位置，位於行走路徑36之對側時，藉移載裝置39之旋繞，將基板用收納容器2之方向變更180°，將之交遞至中繼搬送機構8，又，於搬送標的之中繼搬送機構8之位置相對於搬送端之收納部10a之位置，位於行走路徑36之同側時，在不變更基板用收納容器2之方向下，將之交遞至中繼搬送機構8，藉此，對中繼搬送機構8交遞基板用收納容器2時，以使基板用收納容器2之後端部比前端部靠近行走路徑36之狀態交遞。

又，於中繼搬送機構8之遠離行走路徑36之側設有搬送輸送機9，在從堆高式起重機7交遞至中繼搬送機構8之時間點，基板用收納容器2為其前端部比後端部靠近搬送輸送機9所在之側之狀態，換言之為，或置支撐構件4之支撐部份27比裝設部份28靠近搬送輸送機9所在之側之狀態。亦即，堆高式起重機7構造成以使基板用收納容器2之後端部比前端部靠近行走路徑36之狀態，將之交遞至中繼搬送機構8，而以載置支撐構件4之支撐部份27比裝設部份28靠近搬送輸送機9所在之側之狀態，將基板用收納容器2交遞至中繼搬送機構8。

中繼搬送機構

接著，就中繼搬送機構8作說明。

如第6圖及第7圖所示，中繼搬送機構8具有從堆高式起重機7以載置支撐載置支撐構件4之狀態收取基板用收納容器2之作為第1支撐體的固定式支撐體41、將容器本體3載置搬送至水平方向之搬送輸送機9所在之側，而將容器本體3交遞至搬送輸送機9之作為第2支撐體的升降式支撐體42、以使升降式支撐體42相對於固定式支撐體41升降移動之電動式或油壓式汽缸等構成之升降操作機構43(參照第1圖)而構成。此外，升降式支撐體42相當於本案發明之承接支撐體。升降操作機構43亦可利用具有電動馬達及螺絲之裝置等習知裝置。

固定式支撐體41構造成以位置固定於行走路徑36與搬送輸送機9間之狀態而設，以從載置支撐構件4之開口部31在容器寬度方向載置支撐外側之部份的形態，載置支撐基板用收納容器2之容器寬度方向之兩端部。是故，固定式支撐體41構造成即使在使容器本體3從載置支撐構件4分離之狀態下，亦可僅載置支撐剩餘之載置支撐構件4。

升降式支撐體42藉以升降操作機構43對固定式支撐體41升降移動，可切換成位於比載置支撐於固定式支撐體41之載置支撐構件4之載置面還下方的非搬送狀態(參照第6圖)及從下方側插入至載置支撐構件4之開口部31，而載置支撐容器本體3之下部，使容器本體3從載置支撐構件4分離至上方側之搬送狀態(參照第7圖)。此外，載置支撐構件4之載置面相當於載置支撐構件4之支撐部份27上面。

又，於升降式支撐體42設有載置支撐容器本體3之可旋轉驅動之複數個驅動輥42a，而構造成藉以承接支撐容器本體3之狀態，使驅動輥42a旋轉驅動，可使容器本體3沿著容器前後方向(基板取出放入方向)於水平方向搬送，而可將容器本體3交遞至搬送輸送機9及從搬送輸送機9收取容器本體3。

就升降式支撐體42加以說明，升降式支撐體42之驅動輥42a設成在使固定式支撐體41載置支撐基板用收納容器2，而將基板用收納容器定位於預先設定之分離作業位置之狀態下，位於該所載置支撐之基板用收納容器2之開口部31之正下方。

又，升降式支撐體42構造成當以基板用收納容器2以固定式支撐體41載置支撐之狀態，以升降操作機構43上升移動，而從非搬送狀態切換成搬送狀態時，驅動輥42a從下方側插通至載置支撐構件4之開口部31，承接支撐以驅動輥42a載置支撐於載置支撐構件4之容器本體3下部，而舉起至上方側。如此從載置支撐構件4被舉起之容器本體3相對於載置支撐構件4，分離至上方側。此時之升降操作機構43所作之容器本體3的舉起量設定成較定位銷34a從底板30突出之部份的長度長之量，在舉起容器本體3，使其分離之狀態下，容器本體3呈不以限制機構34限制，而相對於載置支撐構件4可於水平方向搬送之狀態。附帶一提，形成於容器本體3上部與罩部32間之上下方向之間隙形成較定位銷34a從底板30突出之部份之長度大的間隔。

是故，在升降式支撐體42切換成搬送狀態之狀態下，以該升降式支撐體42承接支撐之容器本體3不以限制機構34限制相對於載置支撐構件4在水平方向之移動，而可以驅動輥42a之旋轉驅動，將容器本體3於水平方向搬送，中繼搬送機構8可將容器本體3交遞至搬送輸送機9及從搬送輸送機9收取容器本體3。

又，升降式支撐體42以載置支撐構件4以固定式支撐體41載置支撐，且容器本體3以升降式支撐體42載置支撐之狀態下，以升降操作機構43下降移動，而從搬送狀態切換成非搬送狀態時，驅動輥42a從載置支撐構件4之開口部31拔出至下方側，以驅動輥42a承接固定之容器本體3掉落至載置支撐構件4上，而使定位銷34a卡合於凹部34b。如此掉落至載置支撐構件4之容器本體3載置支撐於載置支撐構件4，而與載置支撐構件4結合。

搬送輸送機

接著，就搬送輸送機9加以說明。

如第1圖所示，搬送輸送機9以輥式輸送機構成，並構造成將從中繼搬送機構8所收取之容器本體3搬送至洗淨裝置W，且，將從洗淨裝置W搬至之容器本體3交遞至中繼搬送機構8。又，搬送輸送機9構造成其搬送面之高度設成與搬送狀態之升降式支撐體42之搬送面相同之高度，在升降式支撐體42切換成搬送狀態之狀態下，可將容器本體3交遞至升降式支撐體42及從升降式支撐體42收取容器本體3。

因而，如此構成之搬送設備可如下搬送基板用收納容器2。亦即，以堆高式起重機7從收納架10取出基板用收納容器2，以中繼搬送機構8將容器本體3從基板用收納容器2分離，以搬送輸送機9將容器本體3搬送至洗淨裝置W。在洗淨裝置W，以從基板用收納容器2卸除風扇過濾器單元5及受電部33a等配電機器之狀態，僅將容器本體3洗淨。又，以搬送輸送機9從洗淨裝置W搬送容器本體3，以中繼搬送機構8將容器本體3結合於載置支撐構件4，以堆高式起重機7將基板用收納容器2收納於收納架10。

第2實施形態

接著，就本發明之基板用收納容器、及搬送該收納容器之搬送設備之第2實施形態，依據圖式來說明。

此外，由於第2實施形態除了基板用收納容器2之結構不同外，其餘與第1實施形態同樣地構成，故關於與第1實施形態相同之結構，附上相同之標號，省略說明，主要說明與第1實施形態不同之結構。

如第8圖及第9圖所示，於支撐部份27設有覆蓋載置支撐於載置支撐構件4之容器本體3前端部的前罩部46。此前罩部46形成覆蓋容器本體3前端部之左右橫側方及上方的形狀。又，前罩部46構造成在容器本體3載置支撐於支撐部份27之狀態下，於容器本體3之上部與前罩部46間形成上下方向之間隙，藉形成此間隙，使容器本體3相對於載置支撐構件4，分離至上方側時，容器本體3不與前罩部46接觸。此外，罩部32與前罩部46之上端之左右兩端部以框架材相互連結。

又，於基板用收納容器2設有將容器本體3之取出放入口21開關之擋門裝置47。此擋門裝置47具有以電動式馬達於正反方向旋轉驅動之旋轉滾筒48及纏繞於旋轉滾筒48，而隨著旋轉滾筒48之旋轉捲出及捲繞操作之片狀門部份49而構成，以以前罩部46載置支撐之形態裝設於載置支撐構件4。

又，以支撐部份27及前罩部46形成相對於載置支撐構件4分離至上方側之容器本體3可沿著容器前後方向(基板取出放入方向)通過之通過口50。擋門裝置47構造成可切換成將門部份49捲出至通過口50，以門部份49關閉通過口50之關閉狀態及捲繞門部份49，而使門部份49退離至通過口上方50之開啟狀態。亦即，擋門裝置47構造成在關閉狀態下，藉關閉載置支撐構件4之通過口50，而關閉容器本體3之取出放入口21。

又，前罩部46之覆蓋容器本體3前端部之左右橫側方的部份係相當於直立設置於載置支撐構件4之取出放入口側端部之一對支撐用框架材46a者，於為擋門裝置47之下方，且為一對支撐用框架材46a間形成通過口50。此外，載置支撐構件4之前端部相當於取出放入口側端部。

其他實施形態

(1)在上述實施形態中，構造成將複數個框架材排列成格子狀，而構成容器本體3之下部，將該容器本體3之下部不以側板24封閉，而以構成平板狀之載置支撐構件4之支撐部份27封閉，亦可構造成將容器本體3之下部以側板24封閉，將容器本體3形成橫倒姿勢之筒狀、亦即具有矩形截面之水平延伸之筒狀。此時，載置支撐構件4之支撐部份27亦可不構成平板狀，亦可不具有底板30。

(2)在上述實施形態中，構造成以升降操作機構43使第2支撐體升降移動，亦可構造成以升降操作機構43使第1支撐體升降移動，又，亦可構造成以升降操作機構43使第1支撐體及第2支撐體個別升降移動。

(3)在上述實施形態中，設有堆高式起重機7作為收納容器搬送機構，收納容器搬送機構亦可以載置搬送基板用收納容器之輸送機或以載置基板用收納容器之狀態行走之台車構成。又，設有輸送搬送機9作為容器本體搬送機構，容器本體搬送機構亦可以以載置容器本體3之狀態行走之台車或堆高式起重機構成。

(4)在上述實施形態中，於容器本體3之前側部形成取出放入口21，於容器本體3之後側部形成供氣口22，將取出放入口21及供氣口22形成相對，而於容器本體3之前側部形成取出放入口21，於容器本體3之左右橫側部形成供氣口22，將取出放入口21及供氣口22形成不相對等在容器本體3之側部形成取出放入口21及供氣口22之處可適當變更。

1．．．基板

2．．．基板用收納容器

3．．．容器本體

4．．．載置支撐構件

5．．．風扇過濾器單元

7．．．堆高式起重機

8．．．中繼搬送機構

9．．．搬送輸送機

10．．．收納架

10a．．．收納部

11．．．處理裝置

13．．．無塵空間

14．．．清淨空氣通風機構

15．．．格子地板

16．．．空氣過濾器

17．．．通風風扇

18．．．預濾器

19．．．循環路徑

21．．．取出放入口

22．．．供氣口

23．．．本體框架

23a．．．框架材

24．．．側板

25．．．基板支撐體

27．．．支撐構件

28．．．裝設部份

29．．．支撐框架

30．．．底板

31．．．開口部

32．．．罩部

33．．．非接觸供電裝置

33a．．．受電部

33b．．．供電部

34．．．限制機構

34a．．．定位銷

34b．．．凹部

36．．．行走路徑

37．．．行走台車

38．．．升降台

39．．．移載裝置

41．．．固定式支撐體

42．．．升降式支撐體

42a．．．驅動輥

43．．．升降操作機構

46．．．前罩部

46a．．．支撐用框架材

47．．．擋門裝置

48．．．旋轉滾筒

49．．．門部份

50．．．通過口

S．．．基板收納空間

W．．．洗淨裝置

第1圖係第1實施形態之搬送設備之正面圖。

第2圖係第1實施形態之基板用收納容器之結合立體圖。

第3圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解立體圖。

第4(a)圖、第4(b)圖係第1實施形態之容器本體之立體圖。

第5(a)圖、第5(b)圖係第1實施形態之載置支撐構件之立體圖。

第6圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解作用圖。

第7圖係第1實施形態之基板用收納容器之分解作用圖。

第8圖係第2實施形態之基板用收納容器之結合立體圖。

第9圖係第2實施形態之基板用收納容器之分解立體圖。

1．．．基板

2．．．基板用收納容器

3．．．容器本體

4．．．載置支撐構件

5．．．風扇過濾器單元

21．．．取出放入口

22．．．供氣口

23．．．本體框架

24．．．側板

25．．．基板支撐體

27．．．支撐構件

28．．．裝設部份

29．．．支撐框架

30．．．底板

31．．．開口部

32．．．罩部

34a．．．定位銷

S．．．基板收納空間

Claims (6)

1. 一種基板用收納容器，係包含有：具有可將複數片基板以於上下方向隔著間隔排列之狀態收納之基板收納空間的容器本體、及將清淨空氣供給至前述容器本體之前述基板收納空間之風扇過濾器單元，前述容器本體係於其側部形成用以將前述基板取出放入之取出放入口、及用以將以前述風扇過濾器單元供給之清淨空氣供應至前述基板收納空間的供氣口而構成者；又，可載置支撐前述容器本體之載置支撐構件具有載置支撐前述容器本體之支撐部份、及將前述風扇過濾器單元裝設成在以該支撐部份來載置支撐前述容器本體之狀態下，使前述風扇過濾器單元位於與前述供氣口相對之位置的裝設部分；且，於前述支撐部份形成可將承接支撐體於上下方向插入及取出之開口部；前述容器本體並構造成可在以插入至前述開口部之前述承接支撐體來承接支撐下部之狀態下，相對於前述載置支撐構件分離至上方側。
2. 如申請專利範圍第1項之基板用收納容器，其中前述載置支撐構件之前述支撐部份構成平板狀，前述容器本體構造成其下部將複數個框架材排列成格子狀，且構造成以前述承接支撐體來承接支撐前述框架材。
3. 如申請專利範圍第1或2項之基板用收納容器，其係具有以電動式馬達朝一方向及反方向旋轉驅動之旋轉滾筒、及纏繞於前述旋轉滾筒，而可隨著前述旋轉滾筒之旋轉而捲出及捲繞之片狀門部份，且，將開關前述容器本體之前述取出放入口之擋門裝置，在以直立設置於前述載置支撐構件之取出放入口側之端部的一對支撐用框架材支撐的狀態下，裝設於前述載置支撐構件，又，於前述擋門裝置之下方，且為前述一對支撐用框架材間形成有通過口，該通過口可供相對於前述載置支撐構件分離至上方側之前述容器本體沿著取出放入前述基板之方向通過。
4. 如申請專利範圍第1或2項之基板用收納容器，其中前述支撐部份具有覆蓋前述容器本體之底面全體之尺寸。
5. 一種搬送設備，係搬送申請專利範圍第1或2項之基板用收納容器者，其設有：中繼搬送機構，係配設於搬送前述基板用收納容器之收納容器搬送機構與搬送前述容器本體之容器本體搬送機構間，而從前述收納容器搬送機構收取前述基板用收納容器，並使前述容器本體從前述載置支撐構件分離後，將該已分離之前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構者，又，前述收納容器搬送機構構造成在使前述載置支撐構件之前述支撐部份比前述裝設部份靠近前述容器本體搬送機構所在之側的狀態下，將前述基板用收納容器交遞至前述中繼搬送機構，又，前述中繼搬送機構具有：第1支撐體，係在載置支撐前述載置支撐構件之狀態下，從前述收納容器搬送機構收取前述基板用收納容器者；第2支撐體，係將前述容器本體載置搬送至水平方向之前述容器本體搬送機構所在之側，並將前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構而作為前述承接支撐體者；及升降操作機構，係使前述第2支撐體對前述第1支撐體相對地升降移動者，前述第2支撐體並構造成以前述升降操作機構對前述第1支撐體相對地升降移動，藉此可切換成非搬送狀態與搬送狀態，且在前述搬送狀態下，將前述容器本體交遞至前述容器本體搬送機構，前述非搬送狀態係位於比載置支撐在前述第1支撐體之前述載置支撐構件之載置面還下方，而前述搬送狀態則係從下方側插入至前述載置支撐構件之前述開口部，而載置支撐前述容器本體之前述下部，並使前述容器本體從前述載置支撐構件分離至上方側。
6. 如申請專利範圍第5項之搬送設備，該搬送設備設有以液體將前述容器本體洗淨之洗淨裝置，前述容器本體搬送機構係構造成將從前述中繼搬送機構所收取之前述容器本體搬送至前述洗淨裝置。