JP2003037144A - 基板処理装置およびフィルタ交換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】自動搬送台車の運転を停止させることなくフィ
ルタ交換を行うことができる基板処理装置、および自動
搬送台車の運転を停止させることなくフィルタ交換を行
う方法を提供する。 【解決手段】フィルタ板２７は、インデクサユニット２
０の上部に設けられたＦＦＵ収容空間２４に対して、カ
セットステーション３０に置かれたカセットＣの配置方
向であるＸ方向に挿抜できるようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、各種基板に対し
て処理液による処理を行うための基板処理装置、および
このような基板処理装置におけるフィルタ交換方法に関
する。各種基板には、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガ
ラス基板、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）
用ガラス基板などが含まれる。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程では、半導体ウエ
ハや液晶表示パネル用ガラス基板等の基板に洗浄処理や
エッチング処理等の処理を施すための基板処理装置が用
いられる。たとえば、基板を１枚ずつ洗浄処理するため
の枚葉型の基板処理装置は、図６に示すように、基板処
理ユニット１０１と、この基板処理ユニット１０１に結
合されたインデクサユニット１０２とを備えている。イ
ンデクサユニット１０２は、図６の紙面に垂直な方向に
長い略直方体状に形成されており、その長手方向に沿っ
た一方側面に基板処理ユニット１０１が結合されてい
る。また、インデクサユニット１０２の基板処理ユニッ
ト１０１とは反対側の他方側面（正面）には、複数枚の
基板を互いに積層した状態で収容可能なカセットＣがセ
ットされるカセットステーション１０３が形成されてい
る。カセットステーション１０３には、複数個のカセッ
トＣをインデクサユニット１０２の長手方向（図６の紙
面に垂直な方向）に並べてセットすることができるよう
になっている。

【０００３】インデクサユニット１０２内には、カセッ
トステーション１０３にセットされたカセットＣにアク
セスして基板の搬入／搬出を行い、さらに、基板処理ユ
ニット１０１にアクセスして基板の搬入／搬出を行うた
めのインデクサロボット（図示せず）が備えられてい
る。インデクサロボットは、カセットＣから未処理の１
枚の基板を搬出して、この未処理の基板を基板処理ユニ
ット１０１に受け渡す。また、インデクサロボットは、
基板処理ユニットから処理済みの基板を搬出して、この
処理済みの基板をカセットＣに収容する。

【０００４】インデクサユニット１０２の上部には、イ
ンデクサユニット１０２内（インデクサロボットが収容
された空間）にクリーンエアを供給するためのファンフ
ィルタユニット１０４が備えられている。ファンフィル
タユニット１０４は、ファン１０５およびフィルタ１０
６を上下に積層した構成であり、フィルタ１０６は、イ
ンデクサユニット１０２の平面形状に対応して、インデ
クサユニット１０２の長手方向に長い板状に形成されて
いる。ファン１０５が駆動されると、このファン１０５
による送風が、フィルタ１０６を通過する際に浄化され
てインデクサユニット１０２内に供給される。これによ
り、インデクサユニット１０２内を清浄に保つことがで
き、インデクサユニット１０２内における処理済みの基
板の汚染を防止できる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】フィルタ１０６は、一
定以上の浄化能力を維持するため、定期的に交換しなけ
ればならない。従来の基板処理装置は、インデクサユニ
ット１０２の長手方向に長いフィルタ１０６の交換作業
（挿抜）のしやすさを考慮して、交換作業員がカセット
ステーション１０３の手前側（図６の右側）に立って、
インデクサユニット１０２の正面からフィルタ１０６を
挿抜する構成になっている。

【０００６】ところが、基板処理装置が設置された工場
内では、カセットステーション１０３の手前側の領域Ａ
は、通常、カセットステーション１０３と他の基板処理
装置との間、および他の基板処理装置とさらに他の基板
処理装置との間でカセットＣを自動搬送するための自動
搬送台車の走行通路となっている。そのため、上述のよ
うな従来の基板処理装置が設置された工場では、フィル
タ１０６の交換の際に、自動搬送台車の運転を停止させ
なければならなかった。自動搬送台車の運転を停止させ
ると、他の基板処理装置に対するカセットＣ（基板）の
搬入／搬出が行われなくなるので、工場内に構築された
基板処理システム全体の動作に影響を与えてしまう。

【０００７】そこで、この発明の目的は、自動搬送台車
の運転を停止させることなくフィルタを交換することが
できる基板処理装置、および自動搬送台車の運転を停止
させることなくフィルタを交換する方法を提供すること
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、複数枚の
基板（Ｗ）を収容するカセット（Ｃ）が所定の方向に複
数配置されるカセットステーション（３０）と、このカ
セットステーションに配置されたカセットに対して基板
を搬送する基板搬送機構（ＩＲ）と、この基板搬送機構
の上方に設けられ、フィルタ（２７）を通して上記基板
搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア供給手段
（２５）とを含み、上記エア供給手段のフィルタは、上
記基板搬送機構の上方の所定のセット位置に対して、上
記カセットステーションにおいて上記複数のカセットが
配置されている方向（Ｘ）に沿って出し入れ可能である
ことを特徴とする基板処理装置である。

【０００９】なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態
における対応構成要素等を表す。以下、この項において
同じ。この発明によれば、エア供給手段のフィルタをカ
セットの配置方向に沿って出し入れ可能であるから、交
換作業者は、基板搬送機構のカセット配置方向側方に立
ってフィルタ交換作業を行うことができる。ゆえに、従
来の基板処理装置とは異なり、フィルタ交換のために、
カセットステーションに沿って設定された走行通路を走
行する自動搬送台車の運転を停止する必要がない。よっ
て、フィルタ交換が、この基板処理装置が設置された工
場内に構築されている基板処理システム全体の動作に影
響を与えるおそれがない。

【００１０】請求項２記載の発明は、複数枚の基板
（Ｗ）を収容可能なカセット（Ｃ）が配置されるカセッ
トステーション（３０）と、このカセットステーション
に配置されたカセットに対して基板を搬送する基板搬送
機構（ＩＲ）と、この基板搬送機構の上方に設けられ、
フィルタ（２７）を通して上記基板搬送機構の周囲にク
リーンエアを供給するエア供給手段（２５）とを含み、
上記エア供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上
方の所定のセット位置に対して、そのセット位置の上記
カセットステーション側を正面側とした時の側方から出
し入れ可能であることを特徴とする基板処理装置であ
る。

【００１１】この発明によれば、エア供給手段のフィル
タを、基板搬送機構の上方の所定のセット位置に対し
て、そのセット位置のカセットステーション側を正面側
とした時の側方から出し入れ可能であるから、交換作業
者は、基板搬送機構の側方に立ってフィルタ交換作業を
行うことができる。ゆえに、従来の基板処理装置とは異
なり、フィルタ交換のために、カセットステーションの
手前側に設定された走行通路を走行する自動搬送台車の
運転を停止する必要がない。よって、フィルタ交換が、
この基板処理装置が設置された工場内に構築されている
基板処理システム全体の動作に影響を与えるおそれがな
い。

【００１２】請求項３記載の発明は、基板（Ｗ）を処理
するための基板処理部（１０）と、基板が配置される基
板ステーション（３０）と、この基板ステーションと上
記基板処理部との間で基板を搬送する基板搬送機構（Ｉ
Ｒ）と、この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタ
（２７）を通して上記基板搬送機構の周囲にクリーンエ
アを供給するエア供給手段（２５）とを含み、上記エア
供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上方の所定
のセット位置に対して、上記基板搬送機構による基板搬
送経路の側方から出し入れ可能であることを特徴とする
基板処理装置である。この発明によれば、エア供給手段
のフィルタを、基板搬送機構の上方の所定のセット位置
に対して基板搬送機構による基板搬送経路の側方から出
し入れ可能であるから、交換作業者は、基板搬送機構の
側方に立ってフィルタ交換作業を行うことができる。ゆ
えに、従来の基板処理装置とは異なり、フィルタ交換の
ために、カセットステーションの手前側に設定された走
行通路を走行する自動搬送台車の運転を停止する必要が
ない。よって、フィルタ交換が、この基板処理装置が設
置された工場内に構築されている基板処理システム全体
の動作に影響を与えるおそれがない。

【００１３】なお、請求項４に記載のように、上記基板
ステーションは、複数枚の基板を収容可能なカセット
（Ｃ）に収容された状態で基板が配置されるカセットス
テーションであり、上記基板搬送機構は、上記カセット
ステーションに配置されたカセットと上記基板処理部と
の間で基板を搬送するものであってもよい。請求項５記
載の発明は、上記エア供給手段のフィルタは、上記セッ
ト位置に対する出し入れ方向に関して少なくとも２つに
分割されていることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれかに記載の基板処理装置である。

【００１４】この発明によれば、エア供給手段のフィル
タを少なくとも２つに分割することにより、個々のフィ
ルタのサイズが小さくなるから、フィルタの交換作業を
行う者は、セット位置に対するフィルタの出し入れを楽
に行うことができる。また、フィルタを出し入れ方向に
関して分割することにより、個々のフィルタの出し入れ
方向の長さが短くなるから、フィルタをセット位置に出
し入れする際の作業スペース（フィルタの交換作業を行
う者が立つ領域）の幅が小さくてすむ。

【００１５】請求項６記載の発明は、複数枚の基板
（Ｗ）を収容するカセット（Ｃ）が所定の方向に複数配
置されるカセットステーション（３０）と、このカセッ
トステーションに配置されたカセットに対して基板を搬
送する基板搬送機構（ＩＲ）と、この基板搬送機構の上
方に設けられ、フィルタ（２７）を通して上記基板搬送
機構の周囲にクリーンエアを供給するエア供給手段（２
５）とを含む基板処理装置において、上記エア供給手段
のフィルタを交換する方法であって、上記基板搬送機構
の上方のセット位置にセットされている古いフィルタを
上記カセットステーションにおいて上記複数のカセット
が配置されている方向に沿って抜き出し、その後、上記
カセットステーションにおいて上記複数のカセットが配
置されている方向に沿って新しいフィルタを挿入して、
その新しいフィルタを上記基板搬送機構の上方のセット
位置にセットすることを特徴とするフィルタ交換方法で
ある。

【００１６】この方法によれば、交換作業者は、基板搬
送機構のカセット配置方向側方に立ってフィルタ交換作
業を行うことができる。ゆえに、従来の基板処理装置と
は異なり、フィルタ交換のために、走行通路を走行する
自動搬送台車の運転を停止する必要がない。よって、フ
ィルタ交換が、この基板処理装置が設置された工場内に
構築されている基板処理システム全体の動作に影響を与
えるおそれがない。請求項７記載の発明は、複数枚の基
板（Ｗ）を収容可能なカセット（Ｃ）が配置されるカセ
ットステーション（３０）と、このカセットステーショ
ンに配置されたカセットに対して基板を搬送する基板搬
送機構（ＩＲ）と、この基板搬送機構の上方に設けら
れ、フィルタ（２７）を通して上記基板搬送機構の周囲
にクリーンエアを供給するエア供給手段（２５）とを含
む基板処理装置において、上記エア供給手段のフィルタ
を交換する方法であって、上記基板搬送機構の上方のセ
ット位置にセットされている古いフィルタをそのセット
位置の上記カセットステーション側を正面側とした時の
側方から抜き出し、その後、上記セット位置の上記カセ
ットステーション側を正面側とした時の側方から新しい
フィルタを挿入して、その新しいフィルタを上記基板搬
送機構の上方のセット位置にセットすることを特徴とす
るフィルタ交換方法である。

【００１７】この方法によれば、交換作業者は、上記セ
ット位置のカセットステーション側を正面側とした時の
側方に立ってフィルタ交換作業を行うことができる。ゆ
えに、従来の基板処理装置とは異なり、フィルタ交換の
ために、走行通路を走行する自動搬送台車の運転を停止
する必要がない。よって、フィルタ交換が、この基板処
理装置が設置された工場内に構築されている基板処理シ
ステム全体の動作に影響を与えるおそれがない。

【００１８】請求項８記載の発明は、基板（Ｗ）が配置
される基板ステーション（３０）と、この基板ステーシ
ョンに対して基板を搬送する基板搬送機構（ＩＲ）と、
この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタ（２７）
を通して上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給
するエア供給手段（２５）とを含む基板処理装置におい
て、上記エア供給手段のフィルタを交換する方法であっ
て、上記基板搬送機構の上方のセット位置にセットされ
ている古いフィルタを上記基板搬送機構による基板搬送
経路の側方から抜き出し、その後、上記基板搬送機構に
よる基板搬送経路の側方から新しいフィルタを挿入し
て、その新しいフィルタを上記基板搬送機構の上方のセ
ット位置にセットすることを特徴とするフィルタ交換方
法である。

【００１９】この方法によれば、交換作業者は、上記基
板搬送機構による基板搬送経路の側方に立ってフィルタ
交換作業を行うことができる。ゆえに、従来の基板処理
装置とは異なり、フィルタ交換のために、走行通路を走
行する自動搬送台車の運転を停止する必要がない。よっ
て、フィルタ交換が、この基板処理装置が設置された工
場内に構築されている基板処理システム全体の動作に影
響を与えるおそれがない。

【００２０】請求項９記載の発明は、複数枚の基板
（Ｗ）を収容可能で自動搬送台車によって搬送されるカ
セットが配置されるカセットステーション（３０）と、
このカセットステーションに配置されたカセット対して
基板を搬送する基板搬送機構（ＩＲ）と、この基板搬送
機構の上方に設けられ、フィルタ（２７）を通して上記
基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア供給
手段（２５）とを含む基板処理装置において、上記エア
供給手段のフィルタを交換する方法であって、上記基板
搬送機構の上方のセット位置にセットされている古いフ
ィルタを上記自動搬送台車の走行通路（Ａ１）の方向に
沿って抜き出し、その後、上記自動搬送台車の走行通路
の方向に沿って新しいフィルタを挿入して、その新しい
フィルタを上記基板搬送機構の上方のセット位置にセッ
トすることを特徴とするフィルタ交換方法である。

【００２１】この方法によれば、交換作業者は、自動搬
送台車の走行通路内に侵入することなくフィルタ交換作
業を行うことができる。ゆえに、従来の基板処理装置と
は異なり、フィルタ交換のために、走行通路を走行する
自動搬送台車の運転を停止する必要がない。よって、フ
ィルタ交換が、この基板処理装置が設置された工場内に
構築されている基板処理システム全体の動作に影響を与
えるおそれがない。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示
す図解的な平面図である。この基板処理装置は、基板の
一例としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」とい
う。）Ｗに対して、洗浄処理やエッチング処理等の各種
の処理を施すための装置である。この基板処理装置は、
基板処理ユニット１０と、この基板処理ユニット１０に
結合されたインデクサユニット２０とを備えており、平
面視において略長方形状に形成されている。

【００２３】基板処理ユニット１０は、４つの処理室１
１，１２，１３，１４と、これらの処理室１１〜１４に
取り囲まれるように中央に配置されたセンタロボットＣ
Ｒとを備えている。センタロボットＣＲは、インデクサ
ユニット２０との間でウエハＷの受け渡しを行うことが
できるとともに、各処理室１１〜１４に対してウエハＷ
の搬入／搬出を行うことができる。インデクサユニット
２０は、平面視において基板処理装置の長手方向と直交
するＸ方向に長い長方形状に形成されており、そのＸ方
向に沿った一方側面２０Ａに基板処理ユニット１０が結
合されている。一方、インデクサユニット２０のＸ方向
に沿った一方側面２０Ａとは反対側の他方側面２０Ｂ
は、基板処理装置の正面をなしており、この他方側面
（正面）２０Ｂには、複数枚の基板を互いに積層した状
態で収容可能なカセットＣが密閉容器（ポッドＰ）内に
収容された状態でセットされるカセットステーション３
０が形成されている。カセットステーション３０には、
ポッドＰ内にそれぞれ収容された複数個（この実施形態
では３個）のカセットＣをＸ方向に沿ってセットするこ
とができるようになっている。

【００２４】なお、このカセットステーション３０は、
本実施形態のようにカセットＣが密閉容器（ポッドＰ）
に収容された状態で載置されるようになっていてもよい
し、あるいは、カセットＣそのものが直接載置されるよ
うになっていてもよい。インデクサユニット２０内に
は、カセットステーション３０にセットされたポッドＰ
内のカセットＣにアクセスしてウエハＷの搬入／搬出を
行うことができ、かつ、センタロボットＣＲとの間でウ
エハＷの受け渡しを行うことができるインデクサロボッ
トＩＲが備えられている。

【００２５】この基板処理装置が設置された工場内にお
いて、カセットステーション３０の手前側（図１におけ
る右側）の所定幅（たとえば、９００mm）の領域Ａ１
は、他の基板処理装置からカセットＣをポッドＰ内に収
容された状態で搬送してきて、そのカセットＣをポッド
Ｐ内に収容された状態でカセットステーション３０にセ
ットしたり、カセットステーション３０からカセットＣ
をポッドＰ内に収容された状態でリセットして、そのカ
セットＣをポッドＰ内に収容された状態で他の基板処理
装置に搬送したりするための自動搬送台車（図示せず）
の走行通路に設定されている。なお、この自動搬送台車
の走行通路は、通常、図１のＸ方向に沿って長く設けら
れる。また、この基板処理装置の正面側以外の３側方を
囲む所定幅（たとえば、８００mm）の領域Ａ２は、基板
処理ユニット１０およびインデクサユニット２０のメン
テナンスを行うための作業領域（メンテスペース）に設
定されている。

【００２６】図２は、インデクサユニット２０およびカ
セットステーション３０をＸ方向と直交する鉛直面（図
１に示す切断面線II−II）で切断した時の断面図であ
る。また、図３は、インデクサユニット２０の平面断面
図であり、図４は、インデクサユニット２０の正面図で
ある。インデクサユニット２０は、フレームおよびパネ
ルを用いて形成されたハウジング２１を有している。ハ
ウジング２１内は、仕切板２２によって上下に分割され
ていて、仕切板２２の下方の空間２３内には、インデク
サロボットＩＲが配置されている。このインデクサロボ
ットＩＲを収容した空間（インデクサロボット収容空
間）２３は、インデクサユニット２０の側面２０Ｂに形
成された３つの開口２３１，２３２，２３３を介して外
部と連通しており、これらの開口２３１，２３２，２３
３を介して、インデクサロボットＩＲのハンドがカセッ
トステーション３０に置かれた各ポッドＰ内のカセット
Ｃにアクセスできるようになっている。また、インデク
サロボット収容空間２３は、インデクサユニット２０の
側面２０Ａに形成された開口２３４を介して基板処理ユ
ニット１０内と連通しており、その開口２３４を介し
て、インデクサロボットＩＲはセンタロボットＣＲとの
間でウエハＷの受け渡しを行うことができる。

【００２７】ハウジング２１内の仕切板２２よりも上方
の空間２４は、インデクサロボット収容空間２３にクリ
ーンエアのダウンフローを形成するためのファンフィル
タユニット（ＦＦＵ）２５を収容するための収容空間
（ＦＦＵ収容空間）となっている。ファンフィルタユニ
ット２５は、インデクサロボット収容空間２３にエアを
供給するためのファン装置２６と、このファン装置２６
から送り出されるエアを浄化するための２枚のフィルタ
板２７とを備えている。ファン装置２６は、複数個のシ
ロッコファン（図示せず）を内蔵している。また、フィ
ルタ板２７は、図５に示すように、平面長方形状（たと
えば、３５０×７８３mmのサイズ）の金属フレーム２７
１内にフィルタ（たとえば、ＵＬＰＡフィルタ）２７２
を嵌め込んだ構成である。金属フレーム２７１の上面に
は、ファン装置２６からのエアを導入するための多数の
スリット状の導風口２７３が形成されている。また、金
属フレーム２７１の下面には、各フィルタ２７２に対応
する位置に開口が形成されており、この開口を介して、
フィルタ２７２を通過したエアが金属フレーム２７１外
に流出するようになっている。

【００２８】ファン装置２６は、４本の吊り下げ部材２
８によって、ＦＦＵ収容空間２４の天面２４１から吊り
下げられている。４本の吊り下げ部材２８は、一端がＦ
ＦＵ収容空間２４の天面２４１に固定され、他端がファ
ン装置２６の上面の４隅付近にそれぞれ接続されてい
る。また、吊り下げ部材２８は、高さ調整機構（たとえ
ば、ボールねじ機構）を有していて、回動部２８１を回
動させることにより、ファン装置２６の各隅の高さ位置
を調整することができるようになっている。

【００２９】２枚のフィルタ板２７は、互いに長手方向
の端面が接合するように配置されて、上方からファン装
置２６によって仕切板２２に押し付けられている。仕切
板２２には、２枚のフィルタ板２７がそれぞれ対向する
位置にエア導入口（図示せず）が形成されており、ファ
ン装置２６による送風は、フィルタ板２７を通過した
後、そのエア導入口を介してインデクサロボット収容空
間２３に流入するようになっている。これにより、イン
デクサロボット収容空間２３内にクリーンエアのダウン
フローを形成することができ、インデクサロボット収容
空間２３内におけるウエハＷの汚染を防止することがで
きる。

【００３０】２枚のフィルタ板２７は、一定以上の浄化
能力を維持するため、定期的に交換しなければならな
い。そこで、２枚のフィルタ板２７は、インデクサユニ
ット２０の長手方向の一方側面を形成しているパネル２
９（図３参照）を取り外すことによって、ＦＦＵ収容空
間２４に対して挿抜できるようになっている。すなわ
ち、２枚のフィルタ板２７は、カセットステーション３
０に置かれたカセットＣの配置方向であるＸ方向に挿抜
できるようになっている。仕切板２２上には、２枚のフ
ィルタ板２７の挿抜を案内するための２本のガイド部材
２２１，２２２と、２枚のフィルタ板２７のＸ方向に位
置決めするためのストッパ部材２２３，２２４とが取り
付けられている。

【００３１】２枚のフィルタ板２７の交換に際しては、
たとえば、交換作業者はメンテスペースＡ２（図１参
照）に立って、まず、パネル２９をインデクサユニット
２０から取り外す。そして、パネル２９を取り外したこ
とによって開放された開口からＦＦＵ収容空間２４内に
手を入れて、フィルタ板２７の手前にあるストッパ部材
２２３を取り外す。次に、４本の吊り下げ部材２８の回
動部２８１を回動させることにより、ファン装置２６を
少し上昇させて、ファン装置２６を２枚のフィルタ板２
７の上面から離間させる。その後、パネル２９を取り外
したことによって開放された開口から、手前側のフィル
タ板２７をガイド部材２２１，２２２に沿わせて抜き出
し、その後さらに、奥側のフィルタ板２７をガイド部材
２２１，２２２に沿わせて抜き出す。

【００３２】次いで、パネル２９を取り外したことによ
って開放された開口から、１枚の新品のフィルタ板２７
を、ガイド部材２２１，２２２に沿わせてストッパ部材
２２４に当接するまで挿入する。さらに、もう１枚の新
品のフィルタ板２７を、ガイド部材２２１，２２２に沿
わせて、先に挿入したフィルタ板２７に当接するまで挿
入する。そして、後に挿入したフィルタ板２７の手前側
の所定位置にストッパ部材２２３を取り付ける。これに
より、２枚のフィルタ板２７がＸ方向に位置決めされる
ことになる。その後、４本の吊り下げ部材２８の回動部
２８１を回動させることにより、ファン装置２６を下降
させて、ファン装置２６によって２枚のフィルタ板２７
を仕切板２２に押さえつける。これにより、２枚のフィ
ルタ板２７が仕切板２２に密着した状態で固定され、そ
の後、パネル２９をインデクサユニット２０に取り付け
ると、フィルタ板２７の交換作業が完了する。

【００３３】なお、たとえば、４本の吊り下げ部材２８
のうち、パネル２９を取り外したことによって開放され
た開口側にある２本の吊り下げ部材２８に関しては、そ
の開口から手を入れて回動部２８１を回動させ、残りの
２本の吊り下げ部材２８に関しては、パネル２９が形成
しているインデクサユニット２０の側面とは反対側の側
面を形成しているパネルを取り外し、これにより開放さ
れた開口から手を入れて回動部２８１を回動させるとよ
い。

【００３４】以上のように、この実施形態に係る基板処
理装置では、インデクサユニット２０のＸ方向の一方側
面からフィルタ板２７を挿抜することができる。これに
より、フィルタ板２７の交換作業を行う者は、インデク
サユニット２０のＸ方向側方に設定されたメンテスペー
スＡ２に立って交換作業を行うことができる。ゆえに、
従来の基板処理装置とは異なり、フィルタ板２７の交換
のために自動搬送台車の運転を停止する必要がなく、フ
ィルタ板２７の交換が、この基板処理装置が設置された
工場内に構築されている基板処理システム全体の動作に
影響を与えるおそれがない。

【００３５】また、この実施形態では、ファンフィルタ
ユニット２５が２枚のフィルタ板２７を備えた構成であ
り、個々のフィルタ板２７のサイズが小さいから、ＦＦ
Ｕ収容空間２４に対するフィルタ板２７の挿抜を楽に行
うことができる。また、ＦＦＵ収容空間２４に対してフ
ィルタ板２７を挿抜する際の作業スペース（メンテスペ
ースＡ２）の幅が小さくてすむ。この発明の一実施形態
の説明は以上の通りであるが、この発明は他の形態で実
施することもできる。たとえば、４本の吊り下げ部材２
８のうち、パネル２９を取り外したことによって開放さ
れた開口側にある２本の吊り下げ部材２８に関しては、
その開口から手を入れて回動部２８１を回動させ、残り
の２本の吊り下げ部材２８に関しては、インデクサユニ
ット２０の正面２０Ｂの一部を構成しているパネルを取
り外し、これにより開放された開口から手を入れて回動
部２８１を回動させるようにしてもよい。この場合、交
換作業者はカセットステーション３０の手前側に設定さ
れている自動搬送台車の走行通路Ａ１に立つことになる
が、その時間はごく短時間であり、自動搬送台車の運転
を停止させたとしても短時間で済むから、従来の基板処
理装置と比較してフィルタ交換が基板処理システム全体
の動作に与える影響は小さい。

【００３６】また、上述の実施形態では、ファンフィル
タユニット２５は２枚のフィルタ板２７を備えていると
したが、ファンフィルタユニット２５は、２枚のフィル
タ板２７を互いに長手方向の端面が接合するように配置
した時のサイズとほぼ同じサイズの１枚のフィルタ板を
備えた構成であってもよいし、３枚以上のフィルタ板を
備えた構成であってもよい。その他、特許請求の範囲に
記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレ
イアウトを示す図解的な平面図である。

【図２】インデクサユニットおよびカセットステーショ
ンをＸ方向と直交する鉛直面（図１に示す切断面線II−
II）で切断した時の断面図である。

【図３】インデクサユニットの平面断面図である。

【図４】インデクサユニットの正面図である。

【図５】フィルタ板の構成を示す平面図である。

【図６】従来の基板処理装置におけるフィルタ交換につ
いて説明するための図解的な側面図である。

【符号の説明】

１０ 基板処理ユニット ２０ インデクサユニット ２０Ａ 側面 ２０Ｂ 正面 ２３ インデクサロボット収容空間 ２４ ＦＦＵ収容空間 ２５ ファンフィルタユニット ２６ ファン装置 ２７ フィルタ板 ３０ カセットステーション Ｃ カセット ＣＲ センタロボット ＩＲ インデクサロボット Ｐ ポッド Ｗ ウエハ Ｘ 方向

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚の基板を収容するカセットが所定の
   方向に複数配置されるカセットステーションと、 このカセットステーションに配置されたカセットに対し
   て基板を搬送する基板搬送機構と、 この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタを通して
   上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア
   供給手段とを含み、 上記エア供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上
   方の所定のセット位置に対して、上記カセットステーシ
   ョンにおいて上記複数のカセットが配置されている方向
   に沿って出し入れ可能であることを特徴とする基板処理
   装置。
2. 【請求項２】複数枚の基板を収容可能なカセットが配置
   されるカセットステーションと、 このカセットステーションに配置されたカセットに対し
   て基板を搬送する基板搬送機構と、 この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタを通して
   上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア
   供給手段とを含み、 上記エア供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上
   方の所定のセット位置に対して、そのセット位置の上記
   カセットステーション側を正面側とした時の側方から出
   し入れ可能であることを特徴とする基板処理装置。
3. 【請求項３】基板を処理するための基板処理部と、 基板が配置される基板ステーションと、 この基板ステーションと上記基板処理部との間で基板を
   搬送する基板搬送機構と、 この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタを通して
   上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア
   供給手段とを含み、 上記エア供給手段のフィルタは、上記基板搬送機構の上
   方の所定のセット位置に対して、上記基板搬送機構によ
   る基板搬送経路の側方から出し入れ可能であることを特
   徴とする基板処理装置。
4. 【請求項４】上記基板ステーションは、複数枚の基板を
   収容可能なカセットに収容された状態で基板が配置され
   るカセットステーションであり、 上記基板搬送機構は、上記カセットステーションに配置
   されたカセットと上記基板処理部との間で基板を搬送す
   るものであることを特徴とする請求項３記載の基板処理
   装置。
5. 【請求項５】上記エア供給手段のフィルタは、上記セッ
   ト位置に対する出し入れ方向に関して少なくとも２つに
   分割されていることを特徴とする請求項１ないし４のい
   ずれかに記載の基板処理装置。
6. 【請求項６】複数枚の基板を収容するカセットが所定の
   方向に複数配置されるカセットステーションと、このカ
   セットステーションに配置されたカセットに対して基板
   を搬送する基板搬送機構と、この基板搬送機構の上方に
   設けられ、フィルタを通して上記基板搬送機構の周囲に
   クリーンエアを供給するエア供給手段とを含む基板処理
   装置において、上記エア供給手段のフィルタを交換する
   方法であって、 上記基板搬送機構の上方のセット位置にセットされてい
   る古いフィルタを上記カセットステーションにおいて上
   記複数のカセットが配置されている方向に沿って抜き出
   し、その後、 上記カセットステーションにおいて上記複数のカセット
   が配置されている方向に沿って新しいフィルタを挿入し
   て、その新しいフィルタを上記基板搬送機構の上方のセ
   ット位置にセットすることを特徴とするフィルタ交換方
   法。
7. 【請求項７】複数枚の基板を収容可能なカセットが配置
   されるカセットステーションと、このカセットステーシ
   ョンに配置されたカセットに対して基板を搬送する基板
   搬送機構と、この基板搬送機構の上方に設けられ、フィ
   ルタを通して上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを
   供給するエア供給手段とを含む基板処理装置において、
   上記エア供給手段のフィルタを交換する方法であって、 上記基板搬送機構の上方のセット位置にセットされてい
   る古いフィルタをそのセット位置の上記カセットステー
   ション側を正面側とした時の側方から抜き出し、その
   後、 上記セット位置の上記カセットステーション側を正面側
   とした時の側方から新しいフィルタを挿入して、その新
   しいフィルタを上記基板搬送機構の上方のセット位置に
   セットすることを特徴とするフィルタ交換方法。
8. 【請求項８】基板が配置される基板ステーションと、こ
   の基板ステーションに対して基板を搬送する基板搬送機
   構と、この基板搬送機構の上方に設けられ、フィルタを
   通して上記基板搬送機構の周囲にクリーンエアを供給す
   るエア供給手段とを含む基板処理装置において、上記エ
   ア供給手段のフィルタを交換する方法であって、 上記基板搬送機構の上方のセット位置にセットされてい
   る古いフィルタを上記基板搬送機構による基板搬送経路
   の側方から抜き出し、その後、 上記基板搬送機構による基板搬送経路の側方から新しい
   フィルタを挿入して、その新しいフィルタを上記基板搬
   送機構の上方のセット位置にセットすることを特徴とす
   るフィルタ交換方法。
9. 【請求項９】複数枚の基板を収容可能で自動搬送台車に
   よって搬送されるカセットが配置されるカセットステー
   ションと、このカセットステーションに配置されたカセ
   ットに対して基板を搬送する基板搬送機構と、この基板
   搬送機構の上方に設けられ、フィルタを通して上記基板
   搬送機構の周囲にクリーンエアを供給するエア供給手段
   とを含む基板処理装置において、上記エア供給手段のフ
   ィルタを交換する方法であって、 上記基板搬送機構の上方のセット位置にセットされてい
   る古いフィルタを上記自動搬送台車の走行通路の方向に
   沿って抜き出し、その後、 上記自動搬送台車の走行通路の方向に沿って新しいフィ
   ルタを挿入して、その新しいフィルタを上記基板搬送機
   構の上方のセット位置にセットすることを特徴とするフ
   ィルタ交換方法。