KR102618491B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 제1면, 상기 제1면과 대향하여 상부에 배치되는 제2면, 상기 제1면과 제2면 사이에서 상기 제1면과 제2면을 연결하는 제3면을 갖는 챔버; 및 상기 챔버의 제2면에 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛;을 포함할 수 있다. 상기 챔버는 상기 팬 필터 유닛의 둘레에 상기 제2면에서 상기 제3면을 향해 연장되는 경사면을 가질 수 있다.

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.
이에프이엠(Equipment Front End Module, EFEM)과 같은 기판 이송 장치는 고청정도로 유지되는 챔버를 가지며, 챔버 내부로 청정한 공기를 유입하기 위한 팬 필터 유닛(FFU)이 챔버의 상부에 배치된다. 팬 필터 유닛에 의해 공기는 챔버 내에서 아래 방향으로 송풍되며, 공기의 하강 기류를 따라서 챔버 내 오염 입자들은 하류로 이송되어 외부로 배기되어야 한다.
그러나, FFU는 장착 여건상 챔버의 내부 측벽면 사이에 이격이 존재하며, 이러한 이격은 공기의 하강 기류 중 일부가 측벽면을 따라서 상부로 역류하여 이격에 따른 공간인 챔버의 모서리 부분에 후향계단유동(Backward Facing Step Flow) 형태의 재순환 영역을 야기한다. 이러한 재순환 영역은 부유하는 오염 입자의 배출을 지연시키고 측벽면과 필터 및 웨이퍼 등에 오염을 일으킨다.
이에, 당 기술분야에서는 재순환 영역의 발생 및 이에 따른 오염 발생을 방지하기 위한 방안이 요구되고 있다.
다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함된다고 할 것이다.
본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 제1면, 상기 제1면과 대향하여 상부에 배치되는 제2면, 상기 제1면과 제2면 사이에서 상기 제1면과 제2면을 연결하는 제3면을 갖는 챔버; 및 상기 챔버의 제2면에 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛;을 포함하고, 상기 챔버는 상기 팬 필터 유닛의 둘레에 상기 제2면에서 상기 제3면을 향해 연장되는 경사면을 가질 수 있다.
본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 제1면, 상기 제1면과 대향하여 상부에 배치되는 제2면, 상기 제1면과 제2면 사이에서 상기 제1면과 제2면을 연결하는 제3면을 갖는 챔버; 및 상기 이송 챔버의 제2면에 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛;을 포함하고, 상기 팬 필터 유닛은 상기 제2면에서 상기 제1면을 향해 돌출된 구조를 가져 상기 챔버 내부로 상기 공기를 방사상으로 송풍할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 재순환 영역의 발생 및 이에 따른 오염 발생을 방지할 수 있는 기판 이송 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치에서 팬 필터 유닛을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 3의 저면도이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 코너 블록을 구비하지 않은 경우와 구비한 경우에서의 챔버의 모서리 부분을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 5의 기판 이송 장치에서 팬 필터 유닛을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 7은 도 5의 기판 이송 장치의 변형예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는 도 8의 기판 이송 장치의 모서리 부분을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명의 실시형태는 당해 기술분야에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다. 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 소자나 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
도 1을 참조하여 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명한다. 도 1은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치(30)는 소정의 청정도를 유지하는 청정실(cleanroom)(1) 내에 설치될 수 있다. 상기 기판 이송 장치(30)는 기판(W)에 대해 소정의 공정을 수행하는 공정 챔버(10)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 공정 챔버(10)는 화학기상증착, 식각, 포토, 세정 공정 등과 같은 공정을 수행하는 챔버일 수 있다. 상기 기판 이송 장치(30)는 복수의 기판(W)을 수납하는 용기(container)(20)와 연결될 수 있다. 상기 용기(20)는 외부의 공기가 상기 용기(20) 내부로 유입되지 않도록 도어를 가지는 밀폐형 용기이며, 예컨대, 풉(Front Opening Unified Pod, FOUP)이 용기로 사용될 수 있다. 본 실시예에서 기판(W)은 웨이퍼를 예로 들어 설명한다. 그러나, 기판(W)은 이 외에 집적회로 제조를 위해서 사용되는 다른 종류의 기판일 수 있다.
상기 기판 이송 장치(30)는 상기 용기(20)와 공정 챔버(10) 사이에 위치하며, 상기 용기(20)와 공정 챔버(10)간 기판(W), 즉 웨이퍼들을 이송할 수 있다. 상기 기판 이송 장치(30)는, 예를 들어, 이에프이엠(Equipment Front End Module, EFEM)을 포함할 수 있다.
상기 기판 이송 장치(30)는 내부가 높은 청정도로 유지되는 챔버(100) 및 상기 챔버(100)로 청정한 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛(Fan Filter Unit, FFU)(200)을 포함할 수 있다.
상기 챔버(100)는 제1면(101), 상기 제1면(10)과 대향하여 상부에 배치되는 제2면(102), 상기 제1면(101)과 제2면(102) 사이에서 상기 제1면(101)과 제2면(102)을 연결하는 제3면(103)을 가질 수 있다. 상기 제1면 내지 제3면(101, 102, 103)은 각각 상기 챔버(100)의 바닥면, 상면 및 측면일 수 있다. 상기 챔버(100)는 대체로 직육면체의 형상을 가지며, 내부에는 상기 용기(20)와 공정 챔버(10)간 기판(W)을 이송하는 이송 로봇(110)이 배치될 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 공정 챔버(10)와 연결되는 일측 제3면(103)에 기판(W)이 이송되는 반입구(100a)를 가질 수 있다. 그리고, 상기 용기(20)와 연결되는 타측 제3면(103)에는 상기 용기(20)와 챔버(10)간 기판(W)이 이송되는 투입구(100b)를 가질 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 제2면(102)에 외부 공기의 유입을 위한 개구(100c)를 가질 수 있다. 그리고, 상기 제1면(101)에 상기 챔버(100) 내의 공기를 흄(fume)과 함께 외부로 배출하는 배기부(100d)를 가질 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(200)은 상기 챔버(100)의 제2면(102)에 배치되어 상기 챔버(100) 내부로 공기를 유입시킬 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(200)은 수평 단면 크기가 상기 제2면(102)보다 작고 상기 개구(100c)보다 클 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(200)은 상기 제2면(102)에 형성된 개구(100c)를 덮는 구조로 상기 제2면(102) 상에 배치될 수 있다.
도 2에서는 상기 팬 필터 유닛을 개략적으로 나타내고 있다. 도 2를 참조하면, 상기 팬 필터 유닛(200)은 팬(210), 필터(220), 가이드부(230) 및 하우징(240)을 포함할 수 있다.
상기 팬(210)은 모터에 의해 회전되며, 청정실(1) 내의 공기를 상기 챔버(100) 내부로 유입하여 챔버(100) 내에서 아래 방향으로 송풍할 수 있다.
상기 필터(220)는 상기 팬(210)의 아래에 배치되며, 상기 개구(100c)를 통해 상기 챔버(100) 내부로 노출될 수 있다. 상기 필터(220)는 상기 공기로부터 오염물질을 여과시켜 보다 청정한 공기가 상기 챔버(100) 내부로 유입되도록 할 수 있다.
상기 가이드부(230)는 상기 팬(210)과 필터(220) 사이에 배치되어 상기 챔버(100) 내부로 송풍되는 상기 공기의 송풍 방향을 조절할 수 있다. 상기 가이드부(230)는 상기 공기를 상기 제1면(101) 방향으로 대략 수직하게 송풍되도록 안내하는 제1 베인(231)과, 상기 제3면(103) 방향으로 비스듬히 송풍되도록 안내하는 제2 베인(232)을 포함할 수 있다.
상기 하우징(240)은 상기 팬(210), 필터(220) 및 가이드부(230)를 내부에 수용할 수 있다. 상기 하우징(240)은 상기 제2면(102) 상에 놓여 지지될 수 있다. 상기 하우징(240)은 공기 유입을 위한 유입홀(241)을 가질 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(200)은 제어부(250)와 연결되며, 상기 제어부(250)는 상기 팬 필터 유닛(200)의 작동을 제어할 수 있다. 상기 제어부(250)는, 예를 들어, 상기 팬(210)의 회전 속도를 작동 상태에 따라서 다양하게 제어할 수 있다. 또한, 이상 상태 발생 시 상기 팬(210)의 작동을 중단시킬 수 있다. 상기 제어부(250)는, 예를 들어, 디스플레이 장치를 통해서 상기 팬(210)의 회전 속도, 챔버(100) 내부의 상태 등에 대한 정보를 표시할 수 있다.
한편, 상기 챔버(100)는 상기 팬 필터 유닛(200)의 둘레에 상기 제2면(102)에서 상기 제3면(103)을 향해 연장되는 경사면(121)을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 챔버(100)는 상기 챔버(100) 내의 상기 제2면(102)과 제3면(103)이 연결되는 모서리에 장착되어 상기 경사면(121)을 제공하는 코너 블록(120)을 포함할 수 있다.
상기 코너 블록(120)은, 예를 들어, 직각삼각형의 단면구조를 가지며 빗변을 이루는 면이 상기 경사면(121)에 해당할 수 있다. 상기 경사면(121)은 상기 제2면(102)의 개구(100c) 둘레에서 상기 제3면(103)을 향해 하향 연장되되 상기 제3면(103)의 투입구(100b)보다 상부에 위치할 수 있다.
상기 경사면(121)은 단면 형상이 직선인 것은 물론 곡선인 구조를 가질 수 있다. 상기 경사면(121)의 형상은 공기의 유동 속도 및 방향 등을 고려하여 다양하게 변형될 수 있다.
도 3은 상기 챔버(100)의 제2면(102)을 아래에서 바라본 모습을 개략적으로 나타내고 있다. 도 3에서와 같이, 상기 코너 블록(120)은 복수의 분할 부재(120a)로 이루어질 수 있다. 따라서, 챔버(100)의 다양한 크기 및 형상에 대응하여 탄력적으로 조립될 수 있다.
상기 코너 블록(120)은 상기 챔버(100) 내에 탈착이 가능하게 장착될 수 있다.
도 4a 및 도 4b에서는 각각 코너 블록을 구비하지 않은 경우와 구비한 경우에서의 챔버의 모서리 부분을 개략적으로 나타내고 있다.
도 4a를 참조하면, 상기 팬 필터 유닛(200)은 상기 제2면(102) 중앙 영역에 놓여 지지되기 때문에 측벽면에 해당하는 상기 제3면(103)과의 사이에 이격(D)이 존재한다. 이러한 이격(D)은 팬 필터 유닛(200)을 통해서 챔버(100) 내부에서 아래 방향으로 흐르는 공기의 유동이 제3면(103)에서 후향계단유동(Backward Facing Step Flow) 형태의 재순환 영역(RA)을 야기한다. 이러한 재순환 영역(RA)은 대체로 제2면(102)과 제3면(103)이 연결되는 모서리 부분에 형성되며, 공기의 흐름이 제3면(103)을 따라서 역류하여 부유하는 오염입자와 흄의 배출을 지연시키며 내벽과 필터 및 웨이퍼 등에 오염을 일으키거나 웨이퍼 패턴 신뢰성을 저하시킨다.
도 4b를 참조하면, 상기 코너 블록(120)은 상기 모서리 부분에 배치됨으로써 재순환 영역(RA)의 발생을 방지하거나 감소시켜서 오염입자가 역류하여 배출되지 않고 챔버 내부에 잔존하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 코너 블록(120)을 통해서 상기 팬 필터 유닛(200)과 측벽면 사이의 이격이 최소화되도록 하는 것이다.
도 5를 참조하여 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명한다. 도 5는 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(40)는 용기(20)와 공정 챔버(10) 사이에 위치하는 챔버(100) 및 상기 챔버(100)로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛(300)을 포함할 수 있다.
상기 챔버(100)는 제1면(101), 상기 제1면(101)과 대향하여 상부에 배치되는 제2면(102), 상기 제1면(101)과 제2면(102) 사이에서 상기 제1면(101)과 제2면(102)을 연결하는 제3면(103)을 가질 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 공정 챔버(10)와 연결되는 일측 제3면(103)에 반입구(100a)를 가질 수 있다. 그리고, 상기 용기(20)와 연결되는 타측 제3면(103)에는 투입구(100b)를 가질 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 제2면(102)에 외부 공기의 유입을 위한 개구(100c)를 가질 수 있다. 그리고, 상기 제1면(101)에 배기부(100d)를 가질 수 있다.
상기 챔버(100)의 내부에는 상기 용기(20)와 공정 챔버(10)간 기판(W)을 이송하는 이송 로봇(110)이 배치될 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(300)은 상기 챔버(100)의 제2면(102)에 배치되어 상기 챔버(100) 내부로 공기를 유입시킬 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(300)은 상기 제2면(102)에 형성된 개구(100c)를 덮는 구조로 상기 제2면(102) 상에 배치될 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(300)은 상기 제2면(102)에서 상기 제1면(101)을 향해 돌출된 구조를 가져 상기 챔버(100) 내부로 상기 공기를 방사상으로 송풍할 수 있다. 예를 들어, 상기 팬 필터 유닛(300)은 상기 챔버(100) 내부로 노출되는 부분이 돔 형상으로 돌출된 구조를 가질 수 있다.
도 6은 상기 팬 필터 유닛을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 상기 팬 필터 유닛(300)은 팬(310), 필터(320), 가이드부(330) 및 하우징(340)을 포함할 수 있다.
상기 팬(310)은 모터에 의해 회전되며, 청정실(1) 내의 공기를 상기 챔버(100) 내부로 유입하여 챔버(100) 내에서 아래 방향으로 송풍할 수 있다.
상기 가이드부(330)는 상기 팬(310) 아래에 배치되어 상기 챔버(100) 내부로 송풍되는 상기 공기의 송풍 방향을 조절할 수 있다. 상기 가이드부(330)는 상기 공기를 상기 제1면(101) 방향으로 송풍되도록 안내하는 제1 베인(331)과, 상기 제3면(103) 방향으로 송풍되도록 안내하는 제2 베인(332)을 포함할 수 있다.
상기 필터(320)는 상기 가이드부(330)의 아래에 배치되며, 상기 개구(100c)를 통해 상기 챔버(100) 내부로 노출될 수 있다. 상기 필터(320)는 상기 공기로부터 오염물질을 여과시켜 청정한 공기가 상기 챔버(100) 내부로 유입되도록 할 수 있다. 상기 필터(320)는 중앙 부분이 상기 제2면(102)에서 상기 제1면(101)을 향해 돌출될 수 있다.
상기 하우징(340)은 상기 팬(310), 필터(320) 및 가이드부(330)를 내부에 수용할 수 있다. 상기 하우징(340)은 상기 제2면(102) 상에 놓여 지지될 수 있다. 따라서, 상기 팬 필터 유닛(300)은 상기 하우징(340)이 상기 제2면(102) 상에 지지됨으로써 상기 챔버(100) 상에 장착될 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(300)은 제어부(350)와 연결되며, 상기 제어부(350)는 상기 팬 필터 유닛(300)의 작동을 제어할 수 있다.
본 실시예에서는 팬 필터 유닛(300)의 챔버(100) 내부로 노출되는 부분이 돔 형상으로 돌출되는 구조를 가져 상기 챔버(100) 내부로 공기를 방사상으로 송풍할 수 있으며, 특히 상기 제3면(103) 방향으로 공기를 송풍하여 제3면(103)을 따라서 아래 방향으로 흐르는 공기의 유동을 구현함으로써 종래의 챔버(100)의 측벽면을 따라서 공기가 상부 방향으로 역류하는 것과, 이에 따른 재순환 영역이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 7에서는 상기 기판 이송 장치의 변형예를 개략적으로 나타내고 있다. 도 7에서와 같이, 실시예에 따라서 상기 챔버(100)의 상기 제2면(102)과 제3면(103)이 연결되는 모서리에는 경사면(121)을 갖는 코너 블록(120)이 더 장착될 수 있다. 상기 코너 블록(120)을 통해서 상기 모서리 부분에서의 재순환 영역의 발생을 보다 유효하게 방지할 수 있다.
도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명한다. 도 8은 본 발명의 예시적 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 9는 도 8의 기판 이송 장치의 모서리 부분을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(50)는 용기(20)와 공정 챔버(10) 사이에 위치하는 챔버(100) 및 상기 챔버(100)로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛(400)을 포함할 수 있다.
상기 챔버(100)는 바닥면에 해당하는 제1면(101), 상기 제1면(101)의 가장자리에서 상부 방향으로 연장되며 측벽면에 해당하는 제3면(103), 상기 제3면(103)의 가장자리에서 외측 방향 방사상으로 연장되며 지지 프레임에 해당하는 제2면(102)을 가질 수 있다. 즉, 상기 챔버(100)는 대략 상단부가 개방된 박스 구조를 가질 수 있다.
상기 챔버(100)는 상기 공정 챔버(10)와 연결되는 일측 제3면(103)에 반입구(100a)를 가질 수 있다. 상기 용기(20)와 연결되는 타측 제3면(103)에는 투입구(100b)를 가질 수 있다. 상기 챔버(100)는 상기 제2면(102)에 외부 공기의 유입을 위한 개구(100c)를 가질 수 있다. 그리고, 상기 제1면(101)에 배기부(100d)를 가질 수 있다.
상기 챔버(100)의 내부에는 상기 용기(20)와 공정 챔버(10)간 기판(W)을 이송하는 이송 로봇(110)이 배치될 수 있다.
상기 팬 필터 유닛(400)은 상기 챔버(100)의 제2면(102)에 놓여 지지될 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(400)은 상기 제2면(102)에 지지된 상태에서 상기 챔버(100)의 개방된 상단부를 덮을 수 있다.
도 9를 참조하면, 상기 팬 필터 유닛(400)은 팬(410), 필터(420), 가이드부(430) 및 유입홀(441)을 갖는 하우징(440)을 포함할 수 있다. 도 1 및 도 5에서 도시하는 실시예에 따른 팬 필터 유닛(200, 300)과 달리 본 실시예에서는 상기 팬 필터 유닛(400)은 수평 단면 크기가 상기 챔버(100)의 수평 단면 크기보다 큰 구조를 가질 수 있다.
본 실시예에서는 공기가 송풍되는 팬 필터 유닛(400)의 하면이 챔버(100)의 제3면(103) 외측 영역까지 덮는 구조이므로 도 1 및 도 5에서 도시하는 실시예와 달리 제3면(103)과 이격이 존재하지 않고(도 4a 참조), 따라서 후향계단유동(Backward Facing Step Flow) 형태의 재순환 영역이 발생하지 않는다. 즉, 팬 필터 유닛(400)은 상기 챔버(100)의 내부 영역 전체는 물론 일부 외부 영역에서 아래 방향으로 수직하게 흐르는 공기 유동을 구현할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1... 청정실
10... 공정 챔버
20... 용기
30, 40, 50... 기판 이송 장치
100... 챔버
200, 300, 400... 팬 필터 유닛

Claims (10)

  1. 바닥면, 상기 바닥면과 대향하여 상부에 배치되는 상면, 상기 바닥면과 상면 사이에서 상기 바닥면과 상면을 연결하는 측벽면을 갖는 챔버;
    상기 챔버의 상면에 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛; 및
    상기 챔버 내의 상기 상면과 측벽면이 연결되는 모서리에 장착되는 코너블록; 을 포함하고,
    상기 챔버의 상기 상면은 상기 팬 필터 유닛을 통해서 상기 챔버 내부로 공기의 유입을 위한 개구를 가지며,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 챔버 내부로 외부 공기를 유입하여 아래 방향으로 송풍하는 팬, 상기 외부 공기를 여과시키는 필터, 상기 외부 공기의 송풍 방향을 조절하는 가이드부, 및 상기 팬, 필터 및 가이드부를 내부에 수용하는 하우징을 포함하고,
    상기 팬 필터 유닛의 상기 필터는 상기 개구의 폭 보다 큰 폭을 가지며 상기 개구를 덮고,
    상기 팬 필터 유닛의 상기 하우징은 외부 공기 유입을 위한 유입홀을 가지며,
    상기 팬 필터 유닛의 상기 가이드부는 상기 하우징 내의 상기 필터의 상면 상에 배치되어 송풍 방향을 조절하도록 구성되는 제1 날개부 및 제2 날개부를 포함하며, 상기 제1 날개부는 상기 필터의 상면 상에 수직하게 배치되어 있어, 상기 유입홀을 통해 유입된 외부 공기를 상기 바닥면 방향으로 송풍되도록 안내하고, 상기 제2 날개부는 상기 필터의 상면 상에 상기 측벽면 방향으로 비스듬히 배치되어 있어, 상기 유입홀을 통해 유입된 외부 공기를 상기 측벽면 방향으로 송풍되도록 안내하며,
    상기 코너블록은 상기 개구의 전체 둘레를 둘러싸도록 배치되는 복수의 분할부재를 포함하고, 상기 복수의 분할부재는 상기 개구에서 상기 측벽면을 향해 연장됨으로써 경사면을 제공하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는 기판의 이송을 위한 투입구를 상기 측벽면에 가지며, 상기 경사면은 상기 투입구보다 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 코너 블록은 상기 챔버 내에 탈착이 가능하게 장착되는 기판 이송 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  8. 바닥면, 상기 바닥면의 가장자리에서 상부 방향으로 연장되어 형성되는 측벽면, 상기 측벽면의 가장자리에서 외측 방향 방사상으로 연장되어 형성되는 지지 프레임을 갖는 챔버; 및
    상기 챔버의 지지 프레임 상에 지지된 형태로 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛; 을 포함하고,
    상기 챔버의 상기 지지 프레임은 상기 팬 필터 유닛을 통해서 상기 챔버 내부로 공기의 유입을 위한 개구를 가지며,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 챔버 내부로 외부 공기를 유입하여 아래 방향으로 송풍하는 팬, 상기 외부 공기를 여과시키는 필터, 상기 외부 공기의 송풍 방향을 조절하는 가이드부, 및 상기 팬, 필터 및 가이드부를 내부에 수용하는 하우징을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 하우징 내의 상기 필터의 상면 상에 수직하게 배치되어 있어, 외부 공기를 상기 바닥면 방향으로 송풍되도록 하는 날개부를 포함하며,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 챔버의 상기 바닥면의 수평 단면 크기보다 큰 크기의 수평 단면 크기를 가져, 상기 팬 필터 유닛의 상기 필터가 상기 개구 및 상기 챔버의 지지 프레임 외측 영역까지 덮는 구조를 가지는 기판 이송 장치.
  9. 바닥면, 상기 바닥면과 대향하여 상부에 배치되는 상면, 상기 바닥면과 상면 사이에서 상기 바닥면과 상면을 연결하는 측벽면을 갖는 챔버; 및
    상기 챔버의 상면에 배치되어 상기 챔버 내부로 공기를 유입시키는 팬 필터 유닛;을 포함하고,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 상면에서 상기 바닥면을 향해 돌출된 구조를 가져 상기 챔버 내부로 상기 공기를 방사상으로 송풍하되,
    상기 돌출된 구조를 갖는 팬 필터 유닛의 필터의 하부 레벨은 상기 챔버의 상기 상면의 하부 레벨보다 낮은 레벨에 위치하고,
    상기 팬 필터 유닛은 상기 챔버 내부로 노출되는 부분이 돔 형상으로 돌출된 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 삭제
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