KR100583730B1 - 기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을조절하는 방법 - Google Patents

기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을조절하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼가 수납되는 용기와 공정 설비간에 웨이퍼들을 이송하는 기판 이송 시스템에 관한 것이다. 기판 이송 시스템은 주위에 비해 내부가 고청정도로 유지되는 프레임을 가지며, 프레임에는 프레임 내부에서 공기를 아래로 송풍하는 송풍팬과 프레임으로부터 배기되는 공기의 흐름 방향을 조절할 수 있는 배기부가 설치된다. 시스템에서 기판 이송 공정이 수행될 때에는 기판 이송 공정이 수행되지 않을 때에 비해 공기는 더 원활하게 배기되고, 송풍팬은 더 빠르게 회전되도록 제어된다.
EFEM, FOUP, 압력, 송풍팬, 기판 이송 시스템

Description

기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을 조절하는 방법{SYSTEM FOR TRANSFERRING SUBSTRATES AND METHOD OF CONTROLLING PRESSURE IN A FRAME OF THE SYSTEM}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 공정 설비와 결합된 기판 이송 시스템을 개략적으로 보여주는 도면;
도 2는 용기가 열리거나 닫힐 때 프레임 내부와 용기 내부의 압력차를 보여주는 그래프;
도 3은 용기의 개폐를 반복할 때, 용기 내 위치에 따라 검출되는 파티클의 량을 보여주는 그래프;
도 4와 도 5는 각각 기판 이송 시스템 내에서 이송 공정의 수행 여부에 따라 프레임 내부의 파티클 량을 측정한 결과를 보여주는 그래프;
도 6은 이송로봇이 구동될 때 프레임 내부에서 공기의 속도가 프레임 내 청정도에 미치는 영향을 보여주는 그래프;
도 7은 본 발명의 배기부의 바람직한 일 예를 보여주는 사시도;
도 8a는 제 1배기판과 제 2배기판에 형성되는 배기로의 일 예를 보여주는 도면;
도 8b는 제 1배기판과 제 2배기판에 형성되는 배기로의 다른 예를 보여주는 도면;
도 9a와 도 9b는 각각 제 1배기판과 제 2배기판의 예를 보여주는 도면들;
도 10a와 도 10b는 각각 정적 상태에 제 1배기판과 제 2배기판의 상대위치를 보여주는 사시도와 단면도;
도 11a와 도 11b는 각각 동적 상태에 제 1배기판과 제 2배기판의 상대위치를 보여주는 사시도와 단면도;
도 12a와 도 12b는 각각 배기부의 다른 예를 보여주는 사시도와 단면도;
도 13은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따라 프레임 내부에서 압력이 조절되는 방법을 보여주는 순서도; 그리고
도 14와 도 15는 각각 시스템이 동적 상태와 정적 상태간 상태 변환될 때 프레임 내부의 압력이 조절되는 다양한 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
40 : 기판 이송 시스템 100 : 용기 수납부
200 : 프레임 280 : 이송로봇
320 : 팬 필터 유닛 340 : 배기부
342 : 제 1배기판 344 : 제 2배기판
346 : 제 3배기판 348 : 구동기
360 : 제어기
본 발명은 반도체 소자를 제조하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 웨이퍼를 수용하는 용기와 공정 설비간에 웨이퍼를 이송하는 기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을 조절하는 방법에 관한 것이다.
반도체 칩의 크기와 회로 선 폭의 디자인 룰이 미세화 됨에 따라 오염 방지의 중요성이 크게 증가되고 있다. 종래에 반도체 제조 공정은 비교적 높은 청정도로 유지되는 청정실 내에서 진행되며 웨이퍼의 저장 및 운반을 위해 개방형 용기가 주로 사용되었다. 그러나 최근에는 청정실의 유지비용을 줄이기 위해 공정설비 내부 및 공정설비와 관련된 일부 설비의 내부에서만 높은 청정도가 유지되고, 나머지 지역에서는 비교적 낮은 청정도가 유지되고 있다. 또한, 용기는 낮은 청정도가 유지되는 지역에서 그 내부에 수납된 웨이퍼가 대기중의 이물질 등에 의해 오염되는 것을 방지하기 위해 개방형 용기 대신 밀폐형 용기가 사용되고 있으며, 이러한 밀폐형 용기의 대표적인 예로 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod : 이하 "FOUP")가 있다.
웨이퍼의 직경이 200mm에서 300mm로 증가됨에 따라, 공정설비의 전방에는 FOUP으로부터 공정설비 내로 웨이퍼들을 이송하기 위한 모듈로 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, 이하 EFEM)과 같은 기판 이송 시스템이 제공된다. 기판 이송 시스템은 상술한 바와 같이 국부적으로 고청정도로 유지되는 프레임을 가지며, 프레임 내에는 웨이퍼를 FOUP로부터 공정설비로 이송하는 로봇과 FOUP을 개폐하는 도어 개폐기가 배치된다. 프레임 내의 상부에는 청정한 공기를 프레임 내에서 아래 방향으로 송풍하는 송풍팬이 설치되고, 프레임에는 기체의 배기가 이루어지도록 배기로가 형성된 배기판이 설치되어 있다.
기판 이송 시스템에서 이송 공정 수행시, 로봇의 구동에 의해 프레임 내에 파티클이 발생된다. 프레임 내에서 발생된 파티클은 FOUP 내로 유입되어 FOUP 내에 형성된 슬롯에 부착된다. 이후에 공정이 완료되어 FOUP에 수납되는 웨이퍼는 슬롯에 부착된 파티클에 의해 오염된다. 이를 방지하기 위해 송풍팬을 고속으로 회전하여 프레임 내부를 높은 청정도로 유지할 수 있으나 송풍팬을 계속적으로 고속으로 회전시 많은 량의 전력이 소모된다. 게다가, 최근에 반도체 칩이 고집적화됨에 따라 프레임 내에서 발생되는 미세한 크기의 파티클도 프레임 내에서 제어할 필요가 있다. 제어하고자 하는 파티클의 크기가 적을 수록 송풍팬은 더욱 고속으로 회전되어야 하므로 상술한 전력소모 문제는 더 커진다.
또한, 상술한 바와 같이 일반적으로 프레임에는 고정된 크기의 복수의 배기홀들이 형성된 배기판이 설치된다. 그러나 수십 나노미터 크기의 파티클을 제거하기 위해 송풍팬이 고속 회전될 때, 배기홀들의 크기가 충분히 크지 않은 경우 미세 크기의 파티클들이 모두 배기되지 못하고, 배기판과 인접한 위치에 정체되어 있다가 후에 다시 프레임 내의 상부로 상승된다.
본 발명은 프레임 내부에 국부적으로 높은 청정도를 제공함과 동시에 여기에 소요되는 전력소모를 줄일 수 있는 기판 이송 시스템 및 프레임 내부의 압력을 조 절하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 제거하고자 하는 파티클이 미세한 경우에도 이들을 모두 프레임으로부터 안정적으로 배기할 수 있는 구조를 가지는 기판 이송 시스템 및 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 기판 이송 시스템은 기판들이 수용되는 용기가 놓여지는 용기수납부 및 상기 용기수납부와 공정설비 사이에 배치되어 상기 용기수납부에 놓여진 용기와 상기 공정설비간 기판을 이송하는 이송로봇이 설치되는 프레임을 가진다. 상기 프레임 내부의 압력은 상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되는지 여부에 따라 압력 조절부에 의해 상이하게 조절된다. 상기 압력 조절부에는 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향의 조절이 가능한 배기부가 제공된다. 상기 배기부는 상기 시스템이 기판의 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태일 때에 비해 기판의 이송 공정이 수행되는 동적 상태일 때 기체의 배기가 더 원활하게 이루어지도록 조절된다.
일 예에 의하면, 상기 배기부는 제 1배기로가 형성된 제 1배기판과 제 2배기로가 형성된 제 2배기판을 가진다. 상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판은 인접하여 배치되며, 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판은 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로의 상대위치가 조절되도록 이동되는 구조를 가진다. 바람직하게는 상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판은 서로 대향되도록 설치된다.
또한, 상기 압력 조절부에는 상기 프레임 내에서 청정한 기체를 아래방향으 로 송풍하는 송풍팬과 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판을 이동시키는 구동기를 더 제공된다. 상기 프레임 내부의 압력이 상기 정적 상태와 상기 동적 상태 각각에 대해 기설정된 압력 조건을 유지하도록 상기 구동기와 상기 송풍팬의 회전 속도는 제어기에 의해 조절된다. 상기 압력 조절부에는 상기 정적 상태와 상기 동적 상태 각각에 대해 상기 프레임 내의 압력 조건의 설정값을 저장하는 데이터 저장부가 더 제공될 수 있으며, 상기 압력 조건은 상기 프레임 내부와 상기 프레임 외부의 압력차인 것이 바람직하다. 상기 압력 조건은 상기 정적 상태에 비해 상기 동적 상태일 때 상기 프레임 내부와 상기 프레임 외부의 압력차가 더 높도록 설정된다. 또한, 상기 동적 상태에서의 압력 조건은 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기에 따라 상이하게 설정될 수 있다. 상기 제어기는 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기가 작을 수록 상기 동적 상태에서 상기 송풍팬을 빠르게 회전시키고, 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로가 오버랩되는 정도가 커지도록 상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판의 상대위치를 조절한다.
또한, 상기 압력 조절부는 상기 제 2배기판을 사이에 두고 상기 제 1배기판과 반대 위치에서 상기 제 2배기판과 인접하게 배치되며, 제 3배기로가 형성된 제 3배기판을 더 포함할 수 있다. 상기 제 3배기판은 상기 제 1배기판과 동일한 형상을 가지며 상기 제 1배기판과 평행하게 배치되는 것이 바람직하다.
상기 기판 이송 시스템에는 상기 시스템이 상기 정적 상태인지 상기 동적 상태인지 여부를 상기 압력 조절부에 제공하는 감지기를 더 제공될 수 있으며, 상기 감지기는 상기 용기 수납부에 상기 용기가 놓여져 있는지 여부를 감지하는 센서를 포함할 수 있다.
상기 제 1배기로는 복수의 열과 복수의 행들을 이루는 관통홀들로 형성되거나 복수의 열을 이루는 슬릿들로 형성되고, 상기 제 2배기로는 복수의 열과 복수의 행들을 이루는 관통홀들로 형성되거나 복수의 열을 이루는 슬릿들로 형성될 수 있다. 상기 제 1배기로에 의해 이루어진 열들의 간격과 상기 제 2배기로에 의해 이루어진 열들의 간격은 동일하게 형성된다. 상기 배기부는 내벽에 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판의 가장자리를 삽입하여 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판의 이동을 안내하는 안내홈이 형성된 안내틀을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 이송 시스템에서 상기 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법은 상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되는 동적 상태인지 기판 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계와 상기 동적 상태인지 또는 상기 정적 상태인지 여부에 따라 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계를 포함한다. 상기 기체의 흐름 방향의 조절은 상기 정적 상태일 때에 비해 상기 동적 상태일 때 상기 프레임으로부터 기체의 배기가 더 원활하게 이루어지도록 조절한다. 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 프레임에 설치된 제 1배기판의 제 1배기로와 상기 제 1배기판과 대향하여 설치된 제 2배기판의 제 2배기로의 상대위치를 조절하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 상기 프레임 내에서 기체를 송풍하는 송풍팬의 회전 속도를 제어하는 단계를 더 포함하되, 상기 정적 상태일 때에 비해 상기 동적 상태일 때 상기 송풍팬을 더 빠르게 회전시킨다. 상기 시스템이 상기 동적 상태인지 상기 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계에서 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기수납부에 용기가 놓여지면 상기 프레임 내부는 동적 상태인 것으로 판단하고, 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기수납부로부터 용기가 제거되면 상기 프레임 내부는 정적 상태인 것으로 판단할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 이송 시스템에서 상기 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법은 상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되는지 여부에 따라 상기 프레임 내부에서 요구되는 압력 조건을 설정하는 단계, 상기 프레임 내에서 기판 이송 공정이 수행되는지 여부를 판단하는 단계, 상기 판단 결과에 따라 상기 프레임 내부를 설정된 상기 압력조건으로 유지하는 단계를 포함하며, 상기 프레임 내부를 상기 설정된 압력조건으로 유지하는 단계는 상기 프레임의 배기 흐름 방향을 조절하는 단계와 상기 프레임 내에서 기체를 송풍하는 송풍팬의 회전속도를 변화하는 단계를 포함한다. 상기 프레임의 배기 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 시스템이 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태일 때에 비해 이송 공정이 수행되는 동적 상태일 때 상기 프레임으로부터 기체가 더 원활하게 배기되도록 조절하는 단계를 포함한다.
상기 프레임의 배기 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 프레임에 설치된 제 1배기판의 제 1배기로와 상기 제 1배기판과 인접하여 설치된 제 2배기판의 제 2배기로의 상대 위치가 조절되도록 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판을 이동하는 단계를 포함한다.
상기 압력 조건은 상기 프레임 내부와 외부의 압력차로써 설정되고, 상기 프레임 내부를 상기 설정된 압력조건으로 유지하는 단계는 상기 프레임 내부와 외부 의 압력차를 측정하는 단계를 포함한다. 상기 프레임 내부에 요구되는 압력 조건은 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기에 따라 상이하게 설정될 수 있으며, 상기 동적 상태에서 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로가 오버랩되는 정도는 상기 동적 상태에서 상기 프레임 내부에 요구되는 압력 조건에 따라 상이하도록 설정할 수 있다. 상기 시스템이 상기 동적 상태인지 상기 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계는 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기 수납부에 용기가 놓여져 있는지 여부를 감지하는 단계를 포함한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 15를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 위해서 과장되어진 것이다. 본 실시예에서 기판은 웨이퍼를 예로 들어 설명한다. 그러나 기판은 이 외에 집적회로 제조를 위해 사용되는 다른 종류의 기판일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 공정 설비(10)와 결합된 기판 이송 시스템(system for transferring substrates)(40)을 개략적으로 보여주는 도면이다. 기판 이송 시스템(40)과 공정 설비(10)는 청정실(cleanroom)(30) 내에 설치되며, 청정실(30)의 상부면에는 청정실(30) 내부를 소정의 청정도로 유지하기 위해 송풍팬(32a)과 필터(32b)를 포함하는 팬 필터 유닛(fan filter unit)(32)이 설치된다. 기판 이송 시스템(40)은 공정 설비(10)의 전방에 위치되며, 공정 설비(10)는 로드록 챔버(도시되지 않음)와 소정의 공정을 수행하는 공정 챔버(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 예컨대, 공정 챔버는 화학기상증착, 식각, 포토, 측정, 또는 세정 공정 등과 같은 공정을 수행하는 챔버일 수 있다.
기판 이송 시스템(40)은 용기(20)가 놓여지는 용기 수납부(loadport)(100)와 내부가 국부적으로 높은 청정도로 유지되는 프레임(frame)(200)을 가지고, 용기 수납부(100)에 놓여진 용기(container)(20)와 공정 설비(10)간 웨이퍼들을 이송한다. 기판 이송 시스템(40)은 최근 300mm 웨이퍼 이송 장치로 많이 사용되는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, 이하 EFEM)이 사용될 수 있다. 용기(20)는 외부의 공기가 용기(20) 내부로 유입되지 않도록 도어(22)를 가지는 밀폐형 용기(20)가 사용된다. 예컨대, 용기(20)로 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod, 이하, FOUP)가 사용될 수 있다.
용기 수납부(100)는 대체로 평평한 상부면을 가지며, 프레임(200)의 전방에서 프레임(200)에 결합된다. 용기 수납부(100)는 하나 또는 복수개가 제공될 수 있다. 용기(20)는 이송 장치에 의해 용기 수납부(100) 상에 놓여질 수 있으며, 이송 장치로는 오버헤드 트랜스퍼(overhead transfer : OHT), 오버헤드 컨베이어(overhead conveyor : OHC), 또는 자동 안내 차량(automatic guided vehicle: AGV)과 같은 이송 수단이 사용될 수 있다. 프레임(200)은 공정 설비(10)와 용기 수납부(100) 사이에 위치되며, 프레임(200)의 내부에는 용기 수납부(100) 상에 놓여진 용기(20)와 공정 설비(10) 간 웨이퍼들을 이송하는 이송로봇(280)이 하나 또는 복수개 배치된다. 프레임(200)은 대체로 직육면체의 형상을 가지며, 공정 설비(10)와 인접하는 측면인 프레임(200)의 후면(rear face)(240)에는 프레임(200)과 공정 설비(10)간 웨이퍼가 이송되는 통로인 반입구(242)가 형성된다. 용기 수납부(100)와 인접하는 측면인 프레임(200)의 전면(front face)(220)에는 용기(20)와 프레임(200)간 웨이퍼가 이송되는 통로인 개구부(222)가 형성된다. 프레임(200) 내에는 용기(20)의 도어(22)를 개폐하기 위한 도어 개폐기(290)가 설치된다. 도어 개폐기(290)는 용기의 도어(22)와 밀착되어 용기(20)로부터 도어(22)를 분리하는 도어 홀더(292)와 이를 이동시키는 아암(294)을 가진다.
압력조절부(pressure adjuster)(300)는 프레임(200) 내의 압력을 조절하는 부분으로 팬 필터 유닛(fan filter unit)(320), 배기부(exhaust part)(340), 그리고 제어기(controller)(360)를 가진다. 프레임(200)의 상부면에는 청정실(30) 내의 공기를 프레임(200) 내로 유입되는 통로인 도입구(260)가 형성되며, 팬 필터 유닛(320)은 프레임(200) 내의 상부에 배치된다. 팬 필터 유닛(320)은 모터(326)에 의해 회전되며 공기를 프레임(200) 내에서 아래방향으로 송풍하는 송풍팬(322)과 그 아래에 배치되어 프레임(200) 내부로 도입되는 공기로부터 오염물질을 여과하는 필터(324)를 포함한다. 배기부(340)는 프레임(200) 내의 하부에 배치되며, 프레임(200) 내의 공기가 프레임(200)으로부터 배기되는 통로를 제공한다. 제어기(360)는 시스템(40)에서 이송공정이 수행되는지 여부에 따라 배기부(340)를 통해 배기되는 공기의 흐름방향 및 송풍팬(322)의 회전 속도를 제어한다.
도 2 내지 도 6은 프레임(200) 내에서 공기의 송풍속도(즉, 프레임 내부 압력)가 프레임(200) 내 청정도 및 용기(20) 내부의 오염에 미치는 영향을 보여주는 실험에 의한 그래프이다. 용기(20)로는 FOUP이 사용되었고, 기판 이송 시스템(40)으로는 EFEM이 사용되었다. 도 2는 용기(20)가 열리거나 닫힐 때 프레임(200) 내부와 용기(20) 내부의 압력차를 보여주는 그래프이다. 도면에서 점선은 FOUP이 열릴 때의 압력 변화를 나타내고 실선은 FOUP이 닫힐 때의 압력 변화를 보여준다. FOUP이 열리는 순간(도 2의 'a') FOUP 내부의 압력은 프레임(200) 내부의 압력에 비해 순간적으로 감소되며, 이 때의 압력차로 인해 프레임(200) 내부로부터 FOUP 내부로 공기가 유입된다. 또한, FOUP이 닫히는 순간(도 2의 'b') FOUP 도어에 밀려 프레임(200) 내부로부터 FOUP 내부로 공기가 유입되며, 이로 인해 FOUP 내부의 압력이 높아진다. 도 3은 FOUP의 개폐를 반복할 때, FOUP 내부에서 검출되는 파티클의 량을 보여주는 그래프이다. FOUP에는 25개의 슬롯(도시되지 않음)이 형성되며, 가장 아래에 위치되는 슬롯부터 순차적으로 슬롯-1, 슬롯-2, …, 슬롯-25라 칭한다. FOUP 도어의 윗부분이 우선적으로 개방이 이루어질 때, 도 3에 도시된 바와 같이 슬롯 25에서 가장 많은 수의 파티클이 검출되었다. 도 4와 도 5는 각각 기판 이송 시스템(40) 내에서 이송 공정의 수행 여부에 따라 프레임(200) 내부의 파티클 량을 측정한 결과이다. 즉, 이송 공정이 수행될 때에는 프레임(200) 내부에 배치되는 이송로봇(280)이 움직이고, 이송 공정이 수행되지 않을 때에는 이송로봇(280)이 움직이지 않는다. 프레임(200) 내에서 풍속은 약 0.34m/s로 유지되었으며, 검출 대상은 약 0.1 마이크로미터(㎛)이상의 크기를 가지는 파티클이다. 도 4와 도 5를 참 조하면, 이송로봇(280)이 움직이지 않을 때에는 프레임(200) 내에서 파티클이 거의 검출되지 않았으나 이송로봇(280)이 움직일 때에는 매우 많은 수의 파티클들이 검출되었다. 이는 이송로봇(280)의 기계적 동작으로 인해 이송로봇(280)으로부터 많은 수의 파티클들이 발생되기 때문이다. 도 6은 이송로봇(280)이 구동될 때 프레임(200) 내 공기의 속도가 프레임(200) 내 청정도에 미치는 영향을 보여주는 그래프이다. 도 6에서 'a', 'b', 'c' 는 각각 순차적으로 풍속이 0.34m/s, 0.44m/s, 그리고 0.50m/s일 때 측정된 값을 보여준다. 도 6에서 보는 바와 같이 풍속이 증가될수록 프레임(200) 내에서 파티클의 량이 줄어드는 것을 알 수 있다.
도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이 송풍팬(322)의 회전속도(speed of revolution)가 증가될 때 프레임(200) 내 잔류하는 오염물질의 량이 줄어든다. 송풍팬(322)의 회전속도가 증가될수록 프레임(200) 내부로 더 많은 량의 청정 공기가 유입되어 프레임(200) 내부의 압력이 더 높아진다. 프레임(200) 내부를 고청정도로 유지하기 위해 송풍팬(322)의 회전속도를 계속적으로 고속으로 유지할 경우, 전력 소모가 매우 크다. 본 발명에서 압력조절부(300)는 프레임(200) 내에서 이송공정이 수행되는지 여부에 따라 프레임(200) 내의 청정도를 다르게 유지하여, 이송공정 수행시 프레임(200) 내부를 높은 청정도로 유지함과 동시에 전체적으로 송풍팬(322)의 회전을 위해 소요되는 전력소모를 줄인다. 기판 이송 시스템(40)에서 이송공정이 수행될 때를 동적 상태(dynamic state)라 칭하고, 이송공정이 수행되지 않는 때를 정적 상태(static state)라 칭한다. 시스템(40)이 동적 상태일 때에는 프레임(200) 내부가 고청정도로 유지되고, 시스템(40)이 정적 상태일 때에는 프레 임(200) 내부가 비교적 낮은 청정도로 유지된다. 여기서 비교적 낮은 청정도란 동적 상태일 때의 청정도에 대해 상대적으로 표현한 것이며, 정적 상태에서 프레임(200) 내부의 청정도는 청정실(30) 내의 청정도보다는 높게 유지된다.
시스템(40)에서 이송 공정이 수행되는 때는 용기(20)의 도어가 열리기 전 소정 시점부터 용기(20)의 도어가 닫힌 후 소정시점까지로 정의될 수 있다. 일 예에 의하면 이송 공정이 수행되는 때는 용기(20)가 용기 수납부(100)에 로딩된 때부터 용기 수납부(100)로부터 언로딩된 때까지로 정의할 수 있다. 이 경우, 용기 수납부(100)에 용기(20)가 놓여져 있는지 여부를 검출하는 감지기가 제공되며, 감지기는 용기 수납부(100) 상에 설치된 센서(330)를 포함할 수 있다. 센서(330)는 압력을 이용하여 용기(20)의 로딩/언로딩을 감지하는 센서이거나 광을 이용하여 용기(20)의 로딩/언로딩을 감지하는 센서 등이 사용될 수 있다.
본 실시예에서 배기부(340)는 시스템(40)이 정적 상태일 때와 동적 상태일 때 프레임(200)으로부터 배기되는 공기의 흐름방향(flow direction)을 조절할 수 있는 구조로 형성된다. 예컨대, 시스템(40)이 동적 상태일 때 배기되는 공기는 프레임(200) 내에서 공기의 흐름 방향과 동일하게 프레임(200)으로부터 수직 아래로 흐르도록 조절되고, 시스템(40)이 정적 상태일 때 배기되는 공기는 프레임(200) 내에서 공기의 흐름 방향과 틀어지면서 흐르도록 조절된다. 따라서 프레임(200)으로부터 공기의 배기는 시스템(40)이 정적 상태일 때에 비해 동적 상태일 때 더 원활하게 이루어진다. 프레임(200)으로부터 공기가 원활하게 배기되지 못하면 배기되는 공기의 량은 감소되고, 프레임(200) 내부의 압력은 증가된다.
프레임(200) 내부의 압력은 송풍팬(322)의 회전속도 이외에 상술한 바와 같이 배기되는 공기의 흐름방향에 의해서도 영향을 받는다. 본 실시예에 의하면, 압력조절부(300)는 시스템(40)이 정적 상태일 때 프레임(200) 내부에서 흐름방향과 틀어진 방향으로 공기가 흐르도록 배기부(340)를 조절함으로써, 프레임(200) 내부를 요구되는 압력으로 유지하기 위해 요구되는 송풍팬(322)의 회전 속도를 낮출 수 있다.
시스템(40)이 동적 상태일 때 프레임(200) 내부가 고청정도로 유지되도록, 제어기(360)는 송풍팬(322)을 빠르게 회전시킨다. 송풍팬(322)의 회전속도가 빠를 때 배기가 잘 이루어지지 않으면 파티클이 배기부(340)의 근처에 정체되어 있다가 다시 프레임(200) 내의 상부로 상승된다. 이는 파티클의 입자가 미세할 수록 더욱 그러하다. 따라서 시스템(40)이 동적 상태일 때에 압력조절부(300)는 프레임(200)으로부터 공기의 배기가 원활하게 이루어지도록 배기되는 공기가 프레임(200) 내에서 공기 흐름과 동일한 방향으로 흐르도록 배기부(340)를 조절한다.
일 예에 의하면, 시스템(40)이 동적 상태일 때와 정적 상태일 때 각각에 대해 프레임(200) 내부에서 유지되도록 요구되는 압력조건이 데이터 저장부(362)에 미리 설정된다. 여기에서 압력 조건은 프레임(200) 내부와 프레임(200) 외부의 압력차(이하, 차압)로 설정되는 것이 바람직하다. 프레임(200)에는 프레임(200) 내의 압력을 측정하여 제어기(360)로 제공하는 압력 측정기(350)가 설치된다. 제어기(360)는 청정실(30) 내의 압력과 프레임(200) 내의 압력으로부터 차압을 산출한다. 시스템(40)이 동적 상태 또는 정적 상태일 때, 제어기(360)는 프레임(200) 내부가 설정된 압력조건으로 유지되도록 송풍팬(322)의 회전 속도와 배기되는 공기의 흐름방향을 조절한다.
다음에는 도 7을 참조하여 배기되는 공기의 흐름 방향을 조절하기 위한 배기부(340)의 일 예를 설명한다. 도 7을 참조하면, 배기부(340)는 제 1배기판(first exhaust plate)(342)과 제 2배기판(second exhaust plate)(344)을 포함한다. 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)은 서로 인접하여 위치된다. 바람직하게는 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)은 일정거리 이격되어 서로 대향되도록 배치된다. 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)은 대체로 각각 상부면과 하부면이 평평한 평판으로 형성되며, 제 1배기판(342)에는 공기가 배기되는 통로인 제 1배기로(first exhaust route)(342a)들이 형성되고 제 2배기판(344)에는 공기가 배기되는 통로인 제 2배기로(second exhaust route)(344a)들이 형성된다. 제 1배기로(342a)들과 제 2배기로(344a)들은 각각 도 8a에 도시된 바와 같이 복수의 열들과 행들을 이루는 원형홀들로서 형성되거나 도 8b에 도시된 바와 같이 복수의 열들을 이루는 슬릿들로서 형성될 수 있다. 원형홀들에 의해 이루어지는 열들 및 행들의 간격은 동일하고, 슬릿들에 의해 이루어지는 열들의 간격은 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. 제 1배기로(342a)들과 제 2배기로(344a)들 각각은 동일한 크기 또는 동일한 폭을 가지도록 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 제 1배기로(342a)들과 제 2배기로(344a)들은 도 9a에 도시된 바와 같이 서로 동일한 형상을 가지거나 도 9b에 도시된 바와 같이 서로 상이한 형상을 가질 수 있다. 도 8a와 도 8b, 그리고 도 9a와 도 9b에서 제 1배기로(342a)와 제 2배기로(344a)의 형상은 바람직한 일 예를 보여주는 것이며, 제 1배기로(342a)와 제 2배기로(344a)의 형상이 이들 도면에 도시된 형상에 한정되는 것은 아니다.
일 예에 의하면, 제 1배기판(342)은 프레임(200)에 고정 설치되고, 제 2배기판(344)은 제 1위치에서 제 2위치까지 범위 내에서 이동 가능하도록 설치된다. 제 1위치는 제 2배기로(344a)들에 의해 이루어진 열이 제 1배기로(342a)들에 의해 이루어진 열들 사이의 중앙위치와 대향되도록 배치되는 제 2배기판(344)의 위치이고, 제 2위치는 제 2배기로(344a)들에 의해 이루어진 열이 제 1배기로(342a)들에 의해 이루어진 열과 대향되도록 배치되는 제 2배기판(344)의 위치이다. 도 10a는 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)의 사시도이고, 도 10b는 도 10a의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도로 제 2배기판이 제 1위치로 이동된 상태를 보여준다. 도 11a는 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)의 사시도이고, 도 11b는 도 11a의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도로 제 2배기판(344)이 제 2위치에 배치된 상태를 보여준다. 도 10b와 도 11b에서 점선으로 된 화살표는 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)을 통해 배기되는 공기의 흐름 방향을 보여준다. 도 10b에 도시된 바와 같이, 정적 상태에서 제 2배기판(344)이 제 1위치로 이동되면 배기부(340)를 통해 배기되는 공기의 흐름 방향은 프레임(200) 내에서 공기 흐름 방향과 틀어져, 프레임(200)으로부터 공기의 배기는 원활하게 이루어지지 않는다. 그러나 도 11b에 도시된 바와 같이, 동적 상태에서 제 2배기판(344)이 제 2위치로 이동되면, 배기부(340)를 통해 배기되는 공기의 흐름 방향은 프레임(200) 내에서 공기 흐름 방향과 동일하여, 프레임(200)으로부터 공기의 배기는 원활하게 이루어진다.
제 2배기판(344)의 수평이동을 안내하기 위해 안내틀(guide frame)(345)이 제공될 수 있다. 안내틀(345)은 링 형상의 틀로서 형성되며, 안내틀(345)의 내벽에는 제 2배기판(344)의 가장자리가 삽입되는 홈(도 7의 345a)이 형성된다. 제 2배기판(344)은 안내틀(345)의 홈(345a)을 따라 제 1위치에서 제 2위치까지 이동된다. 제 2배기판(344)은 구동기(348)에 의해 이동될 수 있다. 구동기(348)는 유공압실린더가 사용되거나, 모터의 회전 운동을 직선운동으로 바꾸어주는 래크(rack)와 피니언(pinion) 조합체 등 기 알려진 다양한 이동 메커니즘이 사용될 수 있다. 제어기(360)는 구동기(348)를 제어함으로써 제 2배기판(344)의 이동을 조절할 수 있다. 선택적으로 제 2배기판(344)의 이동은 구동기(348) 없이 작업자에 의해 이루어질 수 있다.
상술한 예에서는 제 2배기판(344)이 제 1배기판(342)의 아래에 위치되고, 제 1배기판(342)은 고정 설치되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 제 2배기판(344)이 제 1배기판(342)의 상부에 위치될 수 있으며, 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)이 모두 이동 가능하도록 형성될 수 있다. 또한, 제 1배기판(342)은 프레임(200)에 직접 결합되도록 설치될 수 있으며, 이와 달리 기판 이송 시스템(40)이 사용되는 설비에 설치될 수 있다.
웨이퍼들에 대해 요구되는 공정의 정밀도에 따라 프레임(200) 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기가 상이할 수 있다. 예컨대 수 나노미터(㎚) 내지 수백 나노미터(㎚) 크기의 파티클까지도 프레임(200) 내부로부터 제거하고자 할 경우에는 수 마이크로미터(㎛) 이상의 크기만을 프레임(200)으로부터 제거하고자 할 경 우에 비해 송풍팬(322)을 더 빠르게 회전시켜야 하며, 송풍팬(322)이 빠르게 회전될수록 공기의 배기는 더 원활하게 이루어져야 한다. 상술한 바와 같이 제 1배기판(342)의 제 1배기로(342a)들과 제 2배기판(344)의 제 2배기로(344a)들의 상대위치는 프레임(200) 내부를 소정압력으로 유지할 때 송풍팬(322)의 회전을 위해 소요되는 전력에 영향을 미치며, 송풍팬(322)의 회전 속도는 프레임(200) 내에서 제거되는 파티클의 입자 크기에 영향을 미친다. 따라서 제 2배기판(344)의 제 2위치는 이들을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다. 예컨대, 프레임(200)으로부터 제거하고자 하는 파티클의 크기가 작을 수록 제 1배기로(342a)와 제 2배기로(344a)가 오버랩되는 정도가 크도록 제 2배기판(344)의 이동이 이루어지는 것이 바람직하다.
도 12a는 배기부(340)의 다른 예를 보여주는 사시도이고, 도 12b는 도 12a의 배기부(340)에서 제 2배기판(344)이 제 2위치에 놓여질 때 공기의 흐름방향을 보여주는 단면도이다. 도 12a를 참조하면, 배기부(340)는 제 1배기판(342), 제 2배기판(344), 그리고 제 3배기판(346)을 가진다. 제 1배기판(342)과 제 3배기판(346)은 고정 설치되고, 이들 사이에 수평방향으로 직선이동이 가능한 제 2배기판(344)이 배치된다. 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344), 그리고 제 3배기판(346)은 일정거리 이격된 상태로 대향되도록 배치되는 것이 바람직하다. 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)은 상술한 예에서와 동일하며, 제 2배기판(344)의 이동을 안내하는 상술한 안내틀(345) 및 제 2배기판(344)을 이동시키는 상술한 구동기(348)가 제공될 수 있다. 제 3배기판(346)은 제 1배기판(342)과 동일한 형상을 가지며, 제 3배기판(346)에는 제 3배기로(346a)들이 형성된다. 제 3배기로(346a)들 은 제 1배기로(342a)와 대향되는 위치에 형성되는 것이 바람직하며, 제 3배기로(346a)들의 형상은 제 1배기로(342a)와 동일 또는 상이할 수 있다. 도 12b를 참조하면, 배기부(340)에 제 3배기판(346)을 더 제공함으로써, 제 1배기판(342)과 제 2배기판(344)만이 제공되는 경우에 비해 공기의 흐름방향이 복수회 틀어져서 공기의 배기가 더 잘 이루어지지 않는다.
본 실시예에서는 고정된 배기판들 사이에 이동가능한 배기판이 1개 배치되는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 고정된 배기판들 사이에 이동가능한 배기판들은 복수개가 설치될 수 있다. 또한 배기판들의 수는 이보다 더 많은 수가 사용될 수 있다. 예컨대, 3개 이상의 고정된 배기판들이 서로 대향되도록 배치되고, 인접하는 고정판들 사이에 이동가능한 배기판이 하나 또는 복수개가 배치될 수 있다. 본 실시예에서는 프레임(200) 내로 유입되는 기체는 공기인 것으로 설명하였다. 그러나 이는 일 예에 불과하며, 기체로는 질소나 비활성 가스가 사용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 기판 이송 시스템(40)은 매엽식으로 공정이 진행되는 설비 뿐 만 아니라 배치식으로 공정이 진행되는 설비에도 사용될 수 있다. 배치식으로 공정이 진행되는 설비의 경우 시스템(40)이 정적 상태인지 동적 상태인지 여부를 제공하기 위해 공정 설비(10) 내에 또는 프레임(200)의 반입구에 센서가 더 설치될 수 있다.
다음에는 기판 이송 시스템(40)의 프레임(200) 내에서 압력이 조절되는 방법을 설명한다. 도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라 프레임(200) 내부에서 압력이 조절되는 방법을 보여주는 순서도이다. 도 13을 참조하면, 처음에 작업자는 시스템(40)이 동적 상태일 때와 정적 상태일 때 각각에 대해 프레임(200) 내부의 압력조건을 설정한다. 프레임(200) 내부는 시스템(40)이 정적 상태일 때의 압력조건을 유지한다(스텝 S10). 용기 수납부(100)에 용기(20)가 로딩되었는지 여부가 센서(330)에 의해 계속적으로 체크되고, 체크결과는 제어기(360)로 전송된다. 제어기(360)는 센서(330)로부터 용기 수납부(100)에 용기(20)가 로딩되었다는 신호를 전송 받지 못하면 프레임(200) 내부를 계속적으로 정적 상태시 설정된 압력 조건으로 유지하고, 신호를 전송 받으면 시스템(40)이 동적 상태인 것으로 판단한다(스텝 S20). 제어기(360)는 동적 상태일 때 설정된 압력조건으로 프레임(200) 내부가 전환되도록 배기되는 공기의 흐름 방향과 송풍팬(322)의 회전속도를 변화한다. 즉, 제 2배기판(344)이 제 2위치로 이동되고, 송풍팬(322)이 빠르게 회전된다(스텝 S30). 프레임 내부는 동적 상태시 설정된 압력 조건으로 계속적으로 유지된다(스텝 S40). 도어 개폐기에 의해 용기(20)가 개방되고 이송로봇에 의해 용기(20) 내의 웨이퍼가 공정 설비(10)로 이송된다. 공정 설비(10) 내에서 웨이퍼에 대해 소정의 공정이 수행된다. 공정이 완료되면 이송로봇은 공정 설비(10)로부터 용기(20)로 웨이퍼를 이송한다. 용기(20) 내의 모든 웨이퍼들에 대해 소정 공정이 완료되면 도어 개폐기(320)에 의해 용기(20)가 닫힌다. 용기 수납부(100)로부터 용기(20)가 언로딩되었는지 여부가 센서(330)에 의해 계속적으로 체크되고, 체크 결과는 제어기(360)로 전송된다(스텝 S50). 제어기(360)는 센서(330)로부터 용기 수납부(100)로부터 용기(20)가 언로딩되었다는 신호를 전송 받지 못하면 프레임(200) 내부를 계속적으로 동적 상태시 설정된 압력 조건으로 유지하고, 신호 를 전송 받으면 시스템(40)이 정적 상태인 것으로 판단한다. 제어기(360)는 정적 상태일 때 설정된 압력조건으로 프레임(200) 내부가 전환되도록 배기되는 공기의 흐름 방향과 송풍팬(322)의 회전 속도를 변화한다. 즉, 제 2배기판(344)이 제 1위치로 이동되고, 송풍팬(322)은 상대적으로 느리게 회전된다(스텝 S60). 프레임 내부는 정적 상태시 설정된 압력 조건으로 계속적으로 유지된다(스텝 S70)
도 14와 도 15는 각각 시스템(40)이 동적 상태와 정적 상태간에 상태 변환될 때 프레임(200) 내의 압력이 조절되는 다양한 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트이다. 일 예에 의하면, 도 14에 도시된 바와 같이 처음에 데이터 저장부(362)에는 시스템(40)의 정적 상태와 동적 상태 각각에 대해 압력조건과 제 2배기판(344)의 위치의 설정값이 저장된다. 용기 수납부(100)에 용기(20)의 로딩/언로딩이 센서(330)에 의해 감지되면(스텝 S120), 제어기(360)는 제 2배기판(344)을 설정된 위치로 이동시킨다(스텝 S140). 압력 측정기에 의해 프레임(200) 내의 압력이 측정되고, 프레임(200) 내부 및 외부의 차압이 산출된다(스텝 S160). 프레임(200) 내부가 설정된 압력조건(차압)으로 유지되도록 송풍팬(322)의 회전속도가 조절된다(스텝 S180).
다른 예에 의하면, 도 15에 도시된 바와 같이 처음에 데이터 저장부(362)에는 시스템(40)의 정적 상태와 동적 상태 각각에 대해 압력조건과 송풍팬(322)의 회전속도의 설정값이 저장된다. 용기 수납부(100)에 용기(20)의 로딩/언로딩이 센서(330)에 의해 감지되면(스텝 S220), 제어기(360)는 송풍팬(322)을 설정된 속도로 회전시킨다(스텝 S240). 압력 측정기에 의해 프레임(200) 내의 압력이 측정되 고, 프레임(200) 내부 및 외부의 차압이 산출된다(스텝 S260). 프레임(200) 내부가 설정된 압력조건(차압)으로 유지하기 위해 배기되는 공기의 흐름방향을 조절하도록 제 2배기판(344)이 이동된다(스텝 S280).
또 다른 예에 의하면, 처음에 데이터 저장부(362)에는 시스템(40)의 정적 상태와 동적 상태 각각에 대해 송풍팬(322)의 회전속도와 제 2배기판(344)의 위치 설정값이 저장된다. 용기 수납부(100)에 용기(20)의 로딩/언로딩이 센서(330)에 의해 감지되면, 제어기(360)는 송풍팬(322)을 설정된 속도로 회전시키고, 제 2배기판(344)을 설정된 위치로 이동한다.
본 발명에 의하면, 시스템이 정적 상태일 때와 동적 상태일 때 프레임 내의 압력을 상이하게 조절함으로써 프레임 내부를 높은 청정도로 유지하기 위해 소요되는 전력 소모를 줄일 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 정적 상태에서 프레임으로부터 배기되는 공기의 흐름 방향을 프레임 내에서 공기의 흐름방향과 상이하도록 조절함으로써 프레임 내부를 소정의 압력으로 조절시 송풍팬 회전에 소요되는 전력 소모를 줄일 수 있다
또한, 본 발명에 의하면, 프레임 내에서 제어하고자 하는 파티클의 입자 크기에 따라 제 1배기판과 제 2배기판의 배기로가 중첩되는 정도를 상이하게 조절할 수 있으므로, 미세 크기의 파티클이 배기부를 통해 배기되지 못하고 프레임 내에서 역류하는 것을 방지할 수 있다.

Claims (37)

  1. 집적 회로 제조에 사용되는 기판 이송 시스템에 있어서,
    기판들이 수용되는 용기가 놓여지는 용기수납부와;
    상기 용기수납부와 공정설비 사이에 배치되어, 상기 용기수납부에 놓여진 용기와 상기 공정설비간 기판을 이송하는 이송로봇이 설치되는 프레임과; 그리고
    상기 프레임 내에서 기판 이송 공정이 수행되는지 여부에 따라 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향이 조절되는 배기부를 가지는 압력조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 배기부는 상기 시스템이 기판의 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태일 때에 비해 기판의 이송 공정이 수행되는 동적 상태일 때 기체의 배기가 더 원활하게 이루어지도록 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 배기부는,
    제 1배기로가 형성된 제 1배기판과;
    상기 제 1배기판과 인접하여 배치되며, 제 2배기로가 형성된 제 2배기판을 포함하며,
    상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판은 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로의 상대위치가 조절되도록 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 압력 조절부는 상기 프레임 내에서 청정한 기체를 아래방향으로 송풍하는 송풍팬을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 압력 조절부는 상기 송풍팬의 회전 속도를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는 상기 시스템이 상기 정적 상태인지 상기 동적 상태인지 여부에 따라 상기 송풍팬의 회전 속도를 상이하게 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 압력 조절부는 상기 정적 상태와 상기 동적 상태 각각에 대해 상기 프레임 내의 압력 조건의 설정값을 저장하는 데이터 저장부를 더 포함하되,
    상기 압력 조건은 상기 프레임 내부와 상기 프레임 외부의 압력차인 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 압력 조건은 상기 정적 상태에 비해 상기 동적 상태일 때 상기 프레임 내부와 상기 프레임 외부의 압력차가 더 높도록 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 압력 조절부는,
    상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판을 이동시키는 구동기와;
    상기 프레임 내부의 압력이 상기 정적 상태와 상기 동적 상태 각각에 대해 기설정된 압력 조건을 유지하도록 상기 구동기와 상기 송풍팬의 회전 속도를 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 동적 상태에서의 압력 조건은 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기에 따라 상이하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기가 작을 수록 상기 동적 상태에서 상기 송풍팬이 더 빠르게 회전되도록 상기 송풍팬을 제어하고, 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로가 오버랩되는 정도가 커지도록 상기 구동기를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  11. 제 3항에 있어서,
    상기 압력 조절부는,
    상기 제 2배기판을 사이에 두고 상기 제 1배기판과 반대 위치에서 상기 제 2배기판과 인접하게 배치되며, 제 3배기로가 형성된 제 3배기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제 3배기판은 상기 제 1배기판과 동일한 형상을 가지며 상기 제 1배기판과 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  13. 제 2항에 있어서,
    상기 기판 이송 시스템은 상기 시스템이 상기 정적 상태인지 상기 동적 상태인지 여부를 상기 압력 조절부에 제공하는 감지기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 감지기는 상기 용기 수납부에 상기 용기가 놓여져 있는지 여부를 감지 하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  15. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1배기로는 복수의 열과 복수의 행들을 이루는 관통홀들로 형성되거나 복수의 열을 이루는 슬릿들로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 제 2배기로는 복수의 열과 복수의 행들을 이루는 관통홀들로 형성되거나 복수의 열을 이루는 슬릿들로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 제 1배기로에 의해 이루어진 열들의 간격과 상기 제 2배기로에 의해 이루어진 열들의 간격은 동일한 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  18. 제 3항에 있어서,
    상기 배기부는 내벽에 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판의 가장자리를 삽입하여 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판의 이동을 안내하는 안내홈이 형성된 안내틀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  19. 제 3항에 있어서,
    상기 제 2배기판은 상기 제 1배기판과 일정거리 이격되어 상기 제 1배기판과 대향되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 제 2배기판은 상기 제 1배기판의 아래에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  21. 집적 회로 제조에 사용되는 기판 이송 시스템에 있어서,
    용기가 놓여지는 용기수납부와;
    상기 용기수납부에 놓여지는 상기 용기와 공정 설비간에 기판을 이송하는 이송로봇이 설치되는 프레임과;
    상기 프레임 내에서 기판 이송 공정이 이루어지는 여부에 따라 상기 프레임 내의 압력을 조절하는 압력 조절부를 포함하되,
    상기 압력 조절부는,
    상기 프레임 내부에서 청정한 기체를 아래방향으로 송풍하는 송풍팬과;
    상기 프레임에 설치되며 제 1배기로가 형성된 제 1배기판과;
    상기 제 1배기판과 대향되도록 설치되며 제 2배기로가 형성된 제 2배기판을 포함하되,
    상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판 중 적어도 하나는 상기 제 1배기로와 제 2배기로의 상대위치가 변화되도록 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스 템.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 압력 조절부는,
    상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판 중 적어도 하나를 이동시키는 구동기와;
    상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는 상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태에 비해 기판 이송 공정이 수행되는 동적 상태일 때 상기 프레임으로부터 기체의 배기가 더 원활하게 이루어지도록 상기 구동기를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  23. 제 21항에 있어서,
    상기 압력 조절부는 상기 정적 상태와 상기 동적 상태 각각에 대해 상기 프레임 내의 압력 조건의 설정값을 저장하는 데이터 저장부와;
    상기 제 1배기판과 상기 제 2배기판 중 적어도 하나를 이동시키는 구동기와;
    상기 프레임 내부의 압력이 상기 압력 조건을 유지하도록 상기 송풍팬의 회전속도 및 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  24. 제 21항에 있어서,
    상기 기판 이송 시스템은 상기 용기 수납부에 용기가 로딩/언로딩되는지 여부를 감지하는 센서를 더 포함하고,
    상기 제어기는 상기 용기 수납부에 용기가 로딩되면 상기 시스템이 상기 동적 상태인 것으로 판단하고, 상기 용기 수납부로부터 용기가 언로딩되면 상기 시스템이 상기 정적 상태인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템.
  25. 기판들이 수용되는 용기와 공정 설비간에 기판을 이송하는 로봇이 설치된 프레임을 가지는 기판 이송 시스템에서 상기 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법에 있어서,
    상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되는 동적 상태인지 기판 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 동적 상태인지 또는 상기 정적 상태인지 여부에 따라 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 정적 상태일 때에 비해 상기 동적 상태일 때 상기 프레임으로부터 기체가 더 원활하게 배기되도록 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  27. 제 25항에 있어서,
    상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 프레임에 설치된 제 1배기판의 제 1배기로와 상기 제 1배기판과 대향하여 설치된 제 2배기판의 제 2배기로의 상대위치를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  28. 제 25항에 있어서,
    상기 방법은 상기 프레임 내에서 기체를 송풍하는 송풍팬의 회전 속도를 제어하는 단계를 더 포함하되,
    상기 송풍팬은 상기 정적 상태일 때에 비해 상기 동적 상태일 때 더 빠르게 회전하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  29. 제 27항에 있어서,
    상기 시스템이 상기 동적 상태인지 상기 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계는 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기수납부에 용기가 놓여지면 상기 프레임 내부는 동적 상태인 것으로 판단하고, 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기수납부로부터 용기가 제거되면 상기 프레임 내부는 정적 상태인 것으로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하 는 방법.
  30. 기판들의 수용이 가능한 용기와 공정 설비간에 기판을 이송하는 로봇이 설치된 프레임을 가지는 기판 이송 시스템에서 상기 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법에 있어서,
    상기 시스템이 기판 이송 공정이 수행되는지 여부에 따라 상기 프레임 내부의 압력 조건을 설정하는 단계와;
    상기 프레임 내에서 기판 이송 공정이 수행되는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 판단 결과에 따라 상기 프레임 내부를 설정된 상기 압력조건으로 유지하는 단계를 포함하되,
    상기 프레임 내부를 상기 설정된 압력조건으로 유지하는 단계는 상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  31. 제 30항에 있어서,
    상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 시스템이 이송 공정이 수행되지 않는 정적 상태일 때에 비해 이송 공정이 수행되는 동적 상태일 때 상기 프레임으로부터 기체가 더 원활하게 배기되도록 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  32. 제 30항에 있어서,
    상기 프레임 내부를 설정된 상기 압력조건으로 유지하는 단계는 상기 프레임 내에서 기체를 송풍하는 송풍팬의 회전속도를 변화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  33. 제 30항에 있어서,
    상기 압력 조건은 상기 프레임 내부와 외부의 압력차로써 설정되고,
    상기 프레임 내부를 상기 설정된 압력조건으로 유지하는 단계는 상기 프레임 내부와 외부의 압력차를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  34. 제 30항에 있어서,
    상기 프레임으로부터 배기되는 기체의 배기 흐름 방향을 조절하는 단계는 상기 프레임에 설치된 제 1배기판의 제 1배기로와 상기 제 1배기판과 인접하여 설치된 제 2배기판의 제 2배기로의 상대 위치가 조절되도록 상기 제 1배기판 또는 상기 제 2배기판을 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  35. 제 34항에 있어서,
    상기 프레임의 압력 조건은 상기 프레임 내에서 제거하고자 하는 파티클의 입자 크기에 따라 상이하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  36. 제 35항에 있어서,
    상기 동적 상태에서 상기 제 1배기로와 상기 제 2배기로가 오버랩되는 정도는 상기 동적 상태에서 상기 프레임 내부의 압력 조건에 따라 상이하게 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
  37. 제 31항에 있어서,
    상기 시스템이 상기 동적 상태인지 상기 정적 상태인지 여부를 판단하는 단계는 상기 프레임의 일측에 배치되는 용기 수납부에 용기가 놓여져 있는지 여부를 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템에서 프레임 내부의 압력을 조절하는 방법.
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