KR20050015786A - 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치 - Google Patents

기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치

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KR20050015786A
KR20050015786A KR1020030054745A KR20030054745A KR20050015786A KR 20050015786 A KR20050015786 A KR 20050015786A KR 1020030054745 A KR1020030054745 A KR 1020030054745A KR 20030054745 A KR20030054745 A KR 20030054745A KR 20050015786 A KR20050015786 A KR 20050015786A
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transfer module
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이수웅
이건형
황정성
채희선
신동식
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삼성전자주식회사
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Abstract

반도체 장치의 제조 공정 라인에 설치되는 다수의 기판 가공 장치의 기판 이송 모듈의 내부 환경 상태를 모니터링하기 위한 장치에 있어서, 기판 이송 모듈은 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛을 포함한다. 모니터링 유닛은 다수의 기판 이송 모듈과 근거리 통신망을 이용하여 연결되며, 측정된 환경 변수들을 기준값과 비교하여 경보 신호를 발생시키고 이상이 발생된 기판 이송 모듈의 동작을 중단시킨다. 모니터링 유닛과 연결된 디스플레이 유닛은 이상이 발생된 기판 이송 모듈을 표시하며, 작업자는 이를 확인하여 이상이 발생된 기판 이송 모듈에 대한 신속한 후속 처리를 수행할 수 있다.

Description

기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치{Apparatus for monitoring a status of a substrate transfer module}
본 발명은 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, EFEM(equipment front end module)과 같은 300mm 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 모듈의 내부 환경을 모니터링하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(fabrication; 'FAB') 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 반도체 기판 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마 공정과, 상기 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 반도체 기판의 소정 영역에 특정 이온을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 반도체 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 막 또는 패턴이 형성된 반도체 기판의 표면을 검사하기 위한 검사 공정 등을 포함한다.
상기와 같은 반도체 기판 가공 공정들은 반도체 기판의 오염을 방지하기 위한 고진공 상태에서 수행된다. 또한, 반도체 장치의 생산성을 향상시키기 위해 반도체 기판 가공 장치는 저진공 상태로 유지되는 로드록 챔버와 가공 공정을 수행하기 위한 공정 챔버 및 로드록 챔버와 공정 챔버 사이에서 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 챔버를 포함한다.
최근, 300mm의 직경을 갖는 반도체 기판의 가공 공정(예를 들면, 증착 공정, 건식 식각 공정 등)을 수행하기 위한 장치는 상기 가공 공정을 수행하기 위한 공정 챔버를 포함하는 기판 가공 모듈 이외에 반도체 기판을 수납하기 위한 개구 통합형 포드(Front Opening Unified Pod; 이하 'FOUP'라 한다)를 지지하기 위한 로드 포트와, 로드 포트와 로드록 챔버 사이에서 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 모듈을 포함한다.
기판 이송 모듈은 로드 포트와 로드록 챔버를 연결하는 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부에 배치되며 FOUP와 로드록 챔버 사이에서 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇을 포함한다.
기판 이송 챔버의 상측 부위에는 FOUP에 수납된 반도체 기판들 및 기판 이송 로봇에 의해 이송되는 반도체 기판의 오염을 방지하기 위해 기판 이송 챔버의 내부로 청정한 공기를 제공하는 팬 필터 유닛(fan filter unit; FFU)이 배치되어 있고, 기판 이송 챔버의 바닥 패널에는 상기 팬 필터 유닛으로부터 공급된 청정한 공기를 기판 이송 챔버의 외부 즉, 기판 가공 장치가 설치된 클린룸(clean room)으로 배출하기 위한 다수의 배출공들이 형성되어 있다.
상기와 같은 기판 가공 장치의 기판 이송 모듈에서, 기판 이송 챔버의 내부 압력이 클린룸의 압력보다 낮은 경우, 클린룸의 공기가 다수의 배출공들을 통해 유입될 수 있다. 클린룸의 공기가 다수의 배출공들을 통해 기판 이송 챔버의 내부로 역류하는 경우, FOUP에 수납된 반도체 기판들 및 기판 이송 로봇에 의해 이송되는 반도체 기판이 오염될 수 있다. 따라서, 기판 이송 챔버의 내부 압력은 클린룸의 압력보다 높은 상태를 유지하는 것이 바람직하다. 여기서, 반도체 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸의 압력은 일반적으로 양압(positive pressure)이다.
일 예로서, 미합중국 특허 제6,224,679호(issued to Sasaki, et al.)는 용기 수납 챔버(container-housing chamber)와, 청정실(cleaning chamber) 및 로드록 챔버를 갖는 웨이퍼 가공 시스템이 개시되어 있다. 상기 미합중국 특허 제6,224,679호에 따르면, 청정실은 청정 가스를 유입시키기 위한 유입 라인과, 청정실의 내부 압력을 조절하기 위한 압력 조절 수단을 갖는다. 압력 조절 수단은 유입 가스의 유량을 조절하기 위한 밸브와, 청정실의 내부 압력과 대기압 사이의 차압(differential pressure)을 검출하기 위한 차압계(differential pressure gauge)와, 상기 차압에 따라 청정실의 내부 압력을 양압으로 유지하기 위해 상기 밸브의 개방 정도를 조절하기 위한 밸브 제어부를 포함한다.
또한, 미합중국 특허 제6,364,762호(Kaveh, et al.)는 잔여 반응 가스(residual processing gas) 및 파티클에 의한 웨이퍼 오염을 감소시키기 위한 웨이퍼 이송 모듈을 개시하고 있다. 상기 미합중국 특허 제6,364,762호에 따르면, 웨이퍼들이 수납된 카세트는 밀폐된 하우징의 내부에 배치된 선반(shelf) 상에 지지되며, 하우징의 상부 영역에 배치된 송풍기(blower)는 하향 공기 흐름을 발생시키고, 선반과 연결된 다공성 시트(perforated sheet)는 카세트를 통한 새로운 공기 흐름을 유도한다.
상기와 같이 기판 이송 챔버의 내부 압력을 일정 수준으로 유지하기 위한 방법들 및 장치들이 다양하게 개시되어 있으나, 그 성능이 충분하게 검증되어 실제 현장에 투입된 경우는 미비한 정도이다. 실제로 AMT사, Novellus사, Varian사 등의 제조사들로부터 제조된 EFEM의 경우 차압계와 차압을 표시하기 위한 디스플레이 유닛을 갖추고 있으나, 작업자가 각각의 장치들을 항상 모니터링할 수 없다는 단점이 있다.
상기와 같이 작업자가 기판 이송 모듈의 내부 환경 변화를 항시적으로 모니터링할 수 없다는 문제점으로 인해 기판 이송 모듈의 내부 환경 변수들이 내부 결함 또는 외부 환경 변화에 의해 발생되는 경우, 반도체 기판에는 심각한 오염이 발생될 수 있다. 상기와 같은 오염은 반도체 장치의 신뢰도 및 수율에 심각한 악영향을 주며, 이는 전체적으로 반도체 장치의 생산성을 악화시키는 원인으로 작용한다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 반도체 기판의 이송 공간을 제공하는 기판 이송 챔버의 내부 상태를 모니터링 할 수 있는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치는, 다수의 기판들을 수납하기 위한 용기로부터 상기 기판들을 기판 가공 모듈로 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 기판들의 이송 공간을 제공하기 위한 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛을 포함하는 적어도 하나의 기판 이송 모듈; 및 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈과 연결되고, 상기 센싱 유닛에 의해 측정된 환경 변수들을 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 상태를 판단하고, 판단된 결과에 따라 경보 신호를 발생시키며, 상기 경보 신호에 따라 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈의 동작을 제어하기 위한 모니터링 유닛을 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치는 다수의 기판들을 수납하기 위한 용기로부터 상기 기판들을 기판 가공 모듈로 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 기판들의 이송 공간을 제공하기 위한 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛과, 상기 센싱 유닛에 의해 측정된 환경 변수들을 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경의 상태를 판단하고 판단된 결과에 따라 경보 신호를 발생시키기 위한 경보 유닛을 포함하는 적어도 하나의 기판 이송 모듈; 및 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈과 연결되고, 상기 경보 유닛으로부터 발생된 경보 신호에 따라 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈의 동작을 제어하기 위한 모니터링 유닛을 포함한다.
상기 실시예들에서 기판 이송 모듈의 내부 상태 변화 및 상기 경보 신호를 디스플레이하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함한다. 따라서, 작업자는 다수의 기판 이송 모듈의 상태 변화를 한 장소에서 모두 확인할 수 있으며, 경보 신호가 발생되는 경우 상기 모니터링 유닛은 경보 신호가 발생된 기판 이송 모듈의 동작을 중단시키고, 작업자는 경보 신호의 발생에 따라 신속한 후속 조치를 취할 수 있다.
결과적으로, 상기와 같은 경보 신호에 의한 기판 이송 모듈의 동작 중단은 반도체 기판의 추가적인 오염을 예방하고, 신속한 후속 조치에 의해 기판 이송 모듈 및 기판 가공 모듈을 포함하는 기판 가공 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치(100)는 다수의 기판 이송 모듈(110)과 상기 기판 이송 모듈(110)의 내부 상태를 모니터링하기 위한 모니터링 유닛(140)을 포함한다.
각각의 기판 이송 모듈(110)은 반도체 기판(10)의 이송 도중에 외기와의 차단을 위한 기판 이송 챔버(112)와, 상기 기판 이송 챔버(112)의 일측에 연결되며 다수의 반도체 기판(10)을 수납하기 위한 FOUP(20)를 지지하는 로드 포트(114)와, 상기 기판 이송 챔버(112)의 상측 부위에 배치되어 기판 이송 챔버(112)의 내부로 청정한 공기를 공급하기 위한 팬 필터 유닛(116)과, 상기 기판 이송 챔버(112)의 내부에서 상기 반도체 기판(10)을 이송하기 위한 기판 이송 로봇(118)을 포함한다. 한편, 기판 이송 챔버(112)의 내부에는 로드 포트(114)에 지지된 FOUP(20)의 도어(22)를 개폐하기 위한 도어 오프너(120)가 설치되어 있다.
기판 이송 챔버(112)의 타측에는 기판 가공 모듈(102)의 로드록 챔버(104)가 연결되며, 기판 이송 챔버(112)의 내부 압력과 외부 압력 사이의 차압을 측정하기 위한 차압계(122)가 기판 이송 챔버(112)의 일측벽에 설치되어 있다. 기판 이송 챔버(112)의 바닥 패널(112a)에는 다수의 관통공이 형성되어 있으며, 상기 다수의 관통공을 통해 기판 이송 챔버(112)의 내부로 공급된 청정한 공기가 배출된다.
FOUP(20)이 로드 포트(114) 상에 로딩되고, FOUP(20)의 도어(22)가 기판 이송 챔버(112)의 도어(112b)에 밀착되면, FOUP(20)의 도어(22)와 기판 이송 챔버(112)의 도어(112b)는 상기 도어 오프너(120)에 의해 개방된다. 이때, FOUP(20)의 내부에 수납된 반도체 기판들(10)에 대한 위치 정보를 확인하기 위한 맵핑(mapping)이 수행된다.
기판 이송 로봇(118)은 기판 이송 챔버(112)의 타측벽의 내면에 설치된 구동 유닛(124) 상에 배치되며, 상기 구동 유닛(124)은 기판 이송 로봇(118)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구동력을 제공한다. 여기서, 상기 구동 유닛(124)으로는 볼 스크루 타입의 직선 왕복 구동 장치가 사용될 수 있으며, 상기 기판 이송 챔버(112)의 내부에서 상기 기판 이송 로봇(118)을 직선 왕복 운동시킨다.
기판 이송 로봇(118)으로는 수평 회전이 가능한 수평 다관절 로봇암을 가지며, 수직 운동이 가능한 스카라 로봇이 사용될 수 있으며, 상기 수평 다관절 로봇암에는 반도체 기판(10)을 파지하기 위한 진공압이 제공될 수 있다.
팬 필터 유닛(116)은 클린룸(30)의 공기를 여과하여 기판 이송 챔버(112)의 내부로 공급하며, 기판 이송 챔버(112)의 내부 청정도를 클래스 1 정도로 유지시킨다. 이때, 팬 필터 유닛(116)으로부터 공급되는 청정한 공기의 유량은 바닥 패널(112a)의 관통공들을 통해 배출되는 청정한 공기의 유량보다 크게 유지되어 기판 이송 챔버(112)의 내부 압력을 항상 클린룸(30)의 압력보다 높은 양압으로 유지시킨다.
또한, 기판 이송 챔버(112)의 내부 습도 및 온도는 기 설정된 기준값에 대응하도록 일정하게 유지되어야 하며, 상기와 같은 기판 이송 챔버(112)의 내부 압력, 온도, 습도와 같은 환경 변수들은 센싱 유닛에 의해 측정된다. 상기 센싱 유닛으로는 차압계(122), 온도 센서(126), 습도 센서(128) 등이 있다. 상기 차압계(122)는 기판 이송 챔버(112)의 내부 압력과 외부 압력 사이의 차압을 측정하며, 기판 이송 챔버(112)의 내부 온도 및 내부 습도는 온도 센서(126) 및 습도 센서(128)에 의해 측정된다.
상술한 바와 같이 측정된 기판 이송 챔버(112) 내부의 환경 변수들은 모니터링 유닛(140)으로 전송된다. 모니터링 유닛(140)은 상기 환경 변수들을 기 설정된 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버(112)의 내부 환경 상태를 판단한다. 측정된 환경 변수들과 기준값들 사이의 차이가 기 설정된 허용치를 벗어나는 경우 경보 신호를 발생시키며 상기 경보 신호는 디스플레이 유닛(150)을 통해 디스플레이된다. 디스플레이 유닛(150)은 환경 변수에 이상이 발생한 기판 이송 모듈(110)을 표시하며, 작업자는 이를 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 모니터링 유닛(140)은 경보 신호의 발생에 따라 이상이 발생된 기판 이송 모듈(110)의 동작을 중단시킨다.
이때, 상기 기판 이송 모듈들(110)과 모니터링 유닛(140)은 통상적인 근거리 통신망에 의해 연결될 수 있으며, 다양한 신호 전송 방법이 사용될 수 있다. 상기와 같은 네트웍에 의한 신호 전송 방법들은 다양한 분야에서 널리 사용되고 있는 방법들에 의해 구현될 수 있으며, 전용 프로그램에 의해 구현될 수도 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3을 참조하면, 상기 다른 실시예에 따른 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치(200)는 다수의 기판 이송 모듈들(210)과 제어 유닛(240)을 포함한다.
상기 기판 이송 모듈(210)은 로드 포트에 지지된 FOUP에 수납된 반도체 기판들을 기판 가공 모듈로 이송하기 위한 기판 이송 로봇과, 상기 반도체 기판들의 이송 공간을 제공하기 위한 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛과, 상기 센싱 유닛에 의해 측정된 환경 변수들을 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경의 상태를 판단하고 판단된 결과에 따라 경보 신호를 발생시키기 위한 경보 유닛(230)을 포함한다.
상기 기판 이송 챔버의 상부에는 기판 이송 챔버의 내부로 청정한 공기를 공급하기 위한 팬 필터 유닛이 배치되며, 기판 이송 챔버의 일측에는 FOUP의 도어를 개폐하기 위한 도어 오프너가 설치되어 있다.
상기 센싱 유닛은 차압계, 온도 센서 및 습도 센서를 포함하며, 상기 센싱 유닛은 경보 유닛과 연결되어 있다. 상기 차압계에 의해 측정된 차압과, 온도 센서 및 습도 센서에 의해 각각 측정된 기판 이송 챔버의 내부 온도 및 습도는 경보 유닛(230)으로 전송된다. 상기 경보 유닛(230)은 상기 측정된 환경 변수들과 기 설정된 기준값들을 비교하고, 측정된 환경 변수들과 기준값들 사이의 차이가 허용치를 벗어나는 경우 경보 신호를 발생시킨다.
상기 경보 신호는 부저를 울리거나 경광등을 점멸하는 등의 방식이 될 수 있다. 한편, 상기 경보 신호는 경보 유닛(230)과 연결된 제어 유닛(240)으로 전송되며, 전송된 경보 신호에 따라 제어 유닛(240)은 이상이 발생된 기판 이송 모듈(210)의 동작을 중단시킨다. 또한, 제어 유닛(240)과 연결된 디스플레이 유닛(250)은 이상이 발생된 기판 이송 모듈(210)을 표시함으로써 작업자가 신속하게 후속 처리에 임할 수 있도록 한다.
여기서, 기판 이송 모듈에 대한 추가적인 상세 설명은 도 2에 도시된 기판 이송 모듈(110)과 동일하므로 생략하기로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 작업자는 한 장소(예를 들면, 모니터링 유닛과 디스플레이 유닛이 설치된 장소)에서 다수의 기판 이송 모듈의 내부 환경의 변화를 모니터링할 수 있다. 따라서, 이상이 발생된 기판 이송 모듈의 동작은 모니터링 유닛 또는 제어 유닛에 의해 즉시 중단되며, 상기 이상이 발생된 기판 이송 모듈 대한 신속한 후속 조치가 가능해진다.
따라서, 기판 이송 모듈을 갖는 기판 가공 장치의 가동률이 향상되며, 환경 변화에 의한 반도체 기판의 오염이 감소된다. 더 나아가, 반도체 장치의 성능 및 생산성이 향상된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 반도체 기판 20 : FOUP
100 : 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치
102 : 기판 가공 모듈 104 : 로드록 챔버
110 : 기판 이송 모듈 112 : 기판 이송 챔버
114 : 로드 포트 116 : 팬 필터 유닛
118 : 기판 이송 로봇 120 : 도어 오프너
122 : 차압계 140 : 모니터링 유닛
150 : 디스플레이 유닛

Claims (5)

  1. 다수의 기판들을 수납하기 위한 용기로부터 상기 기판들을 기판 가공 모듈로 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 기판들의 이송 공간을 제공하기 위한 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛을 포함하는 적어도 하나의 기판 이송 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈과 연결되고, 상기 센싱 유닛에 의해 측정된 환경 변수들을 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 상태를 판단하고, 판단된 결과에 따라 경보 신호를 발생시키며, 상기 경보 신호에 따라 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈의 동작을 제어하기 위한 모니터링 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센싱 유닛은 상기 기판 이송 챔버의 내부 압력과 외부 압력 사이의 차압을 측정하기 위한 차압계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 센싱 유닛은 상기 기판 이송 챔버의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서, 및 상기 기판 이송 챔버의 내부 습도를 측정하기 위한 습도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 경보 신호를 디스플레이하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치.
  5. 다수의 기판들을 수납하기 위한 용기로부터 상기 기판들을 기판 가공 모듈로 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 기판들의 이송 공간을 제공하기 위한 기판 이송 챔버와, 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경 변수들을 측정하기 위한 센싱 유닛과, 상기 센싱 유닛에 의해 측정된 환경 변수들을 기준값들과 비교하여 상기 기판 이송 챔버의 내부 환경의 상태를 판단하고 판단된 결과에 따라 경보 신호를 발생시키기 위한 경보 유닛을 포함하는 적어도 하나의 기판 이송 모듈; 및
    상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈과 연결되고, 상기 경보 유닛으로부터 발생된 경보 신호에 따라 상기 적어도 하나의 기판 이송 모듈의 동작을 제어하기 위한 제어 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 모듈의 상태 모니터링 장치.
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