JP2017011241A - ミニエンバイロメント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のミニエンバイロメント装置は、半導体ウェーハWを密閉保管する半導体ウェーハ格納容器10と、内部が清浄状態に維持される移載室20と、を有し、移載室20内の上方から下方に気流を生成するファンフィルタユニット22と、移載室20および半導体ウェーハ格納容器10内部を除電するイオンを発生させるイオナイザ24と、開口部A3上方に位置し、開口部A3から間隔を置き、かつ、開口部A3に向けて傾斜設置された整流板26と、が移載室20内に更に設けられ、イオナイザ24は整流板26に取り付けられることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
すなわち、本発明の要旨構成は以下のとおりである。
(発明例1)
図2に示すミニエンバイロメント装置100を用意した。なお、整流板26の設置位置としては、図4に既述の水平方向の距離lを65mm、高さhを60mm、傾斜角θを、30°とした。また、整流板26の形状を図示のとおり平板状とし、整流板の幅Lを65mmとした。また、整流板26の長手方向の長さを容器半導体ウェーハ格納容器の容器幅よりも大きく400mmとした。さらに、イオナイザ24を整流板26の開口部A3側端部に取り付けた。
半導体ウェーハ格納容器10中央の、開口部A3の両端部から半導体ウェーハ格納容器10の内部に鉛直方向に50mm、水平方向に5mmの位置(図5(A)参照)を測定点として設定し、風向風速計を設置して測定点の風速を計測した。また、汎用熱流体解析プログラムを用いて、装置内の気流の流れ方向をシミュレーションした。なお、図2と異なり、3次元風速計設置のため半導体ウェーハWを取り除いている。
発明例1のミニエンバイロメント装置100から整流板26およびイオナイザ24を取り除いた以外は、発明例1と同様のミニエンバイロメント装置を用意した。発明例1と同じ位置に測定点を設定し、発明例1と同様に測定点の風速を計測し、また、装置内の気流の方向をシミュレーションした。
(発明例2)
発明例1と同じミニエンバイロメント装置を用意し、さらに、図6(A)に示すように、半導体ウェーハ格納容器の10の底面にチャージプレートモニター40を設置した。なお、発明例1と同様に半導体ウェーハ格納容器10内の半導体ウェーハWを取り除いている。チャージプレートモニターが+1000Vから+100Vに減衰するまでの時間を計測したところ、15sec以内に+100Vまで減衰した。
発明例2のミニエンバイロメント装置を用意し、さらに、図6(B)に示すように、整流板を取り外し、FFU22の中央部にイオナイザ24を取り付けた(すなわち、図1に示すミニエンバイロメント装置200を用意した)。チャージプレートモニターが+1000Vから+100Vに減衰するまでの時間を計測したところ、60sec経過後も約+900Vまでの減衰であった。
発明例2のミニエンバイロメント装置を用意し、さらに、図6(C)に示すように、整流板を取り外し、開口部A3直上にイオナイザ24を取り付けた。+1000Vから+100Vに減衰するまでの時間を計測したところ、60sec経過後も約+400Vまでの減衰であった。
11 開閉蓋
20 移載室
22 ファンフィルタユニット
24 イオナイザ
26 整流板
30 搬送機構
A1 開閉部
A3 開口部
F 気流
W 半導体ウェーハ
L ロードポート
L1 載置台
L2 閉塞機構
Claims (3)
- 半導体ウェーハを開閉蓋によって密閉保管し、該半導体ウェーハを搬出入するための開閉部が設けられた半導体ウェーハ格納容器と、
内部が清浄状態に維持される移載室と、
該移載室内に設けられ、前記半導体ウェーハを前記半導体ウェーハ格納容器から取り出して前記移載室内部に搬送する搬送機構と、を有し、
前記移載室の側壁の一部が、前記半導体ウェーハ格納容器を載置する載置台、および、前記開閉部に連通する開口部を閉塞可能な閉塞機構を備えるロードポートによって構成され、前記移載室の前記側壁の内面に前記閉塞機構が位置するミニエンバイロメント装置であって、
前記移載室内の上方から下方に気流を生成するファンフィルタユニットと、
前記移載室および前記半導体ウェーハ格納容器内部を除電するイオンを発生させるイオナイザと、
前記開口部上方に位置し、前記開口部から間隔を置き、かつ、前記開口部に向けて傾斜設置された整流板と、が前記移載室内に更に設けられ、
前記イオナイザは前記整流板に取り付けられることを特徴とするミニエンバイロメント装置。 - 前記イオナイザは、前記整流板の前記開口部側端部に取り付けられる、請求項1に記載のミニエンバイロメント装置。
- 前記半導体ウェーハはシリコンウェーハである、請求項1または2に記載のミニエンバイロメント装置。
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