JP2007220773A - ミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備 - Google Patents

Abstract

【課題】排気量を制御することにより、ＦＦＵからのダウンフローの流量等を変えることなく、ロードポートの開閉蓋の開閉と連動させることにより安定したミニエン筐体内の気圧状態を作り出すことができ、ミニエン筐体内部に塵埃の拡散を防止し、安定した小規模クリーン環境を実現するミニエンバイロメント装置。
【解決手段】クリーン室内に設けられた筐体の上部に設置され清浄空気をダウンフローするファンフィルタユニットと、筐体に設けられ試料を収めた容器を載せるロードポート部と、容器から試料を筐体内に取り込むインターフェース開閉蓋と、筐体の内外気圧を測定する気圧センサと、筐体内から外部に排気される清浄空気の排気量を制御する排気圧調整用開閉蓋と、排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御する制御コントローラとを有し、インターフェース開閉蓋と連動して排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御し、筐体内を陽圧に保つ。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造、その検査装置に使用される小規模クリーン環境を実現する新規なミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備に関する。

半導体製造工場等で使用される半導体製造装置及びその検査装置等は小規模クリーン環境を提供するミニエンバイロメント（以下、ミニエンと略称する）筐体を備え、部屋全体から局所高清浄化の方式が主流となっている。この小規模クリーン環境は、例えば特許文献１及び特許文献２にあるように、クリーンルーム内にミニエン筐体を設け、内部にファンフィルターユニット（Fun Filter Unit を以下ＦＦＵと略称する）等を用いて清浄な空気をダウンフローすることで実現している。

図７は、特許文献１及び特許文献２に示されたミニエンバイロメント装置の構成図である。ミニエン筐体３上部に１つ又は２以上のＦＦＵ１を装備し、ミニエン筐体３内部に清浄な空気をダウンフロー２により供給する。ＦＦＵ１より供給される清浄な空気のダウンフロー２は、ミニエン筐体３の下部の排気口や床面のグレーチング床等より排気流２ａにより排気され、ミニエン筐体３内部で発塵した塵埃等も一緒に排気する。ところが、半導体製造装置及びその検査装置等は、ウェーハ等の半導体試料をミニエン筐体３内に搬入出する必要があり、オープンカセット等を装着したロードポート８とのインターフェース開閉蓋４の開閉時に、外部から塵埃が混入する恐れがあった。

そこで、ミニエン筐体３内部はＦＦＵ１より供給されるダウンフロー２によってミニエン筐体３の外部より陽圧に加圧し、ミニエン筐体１内部への塵埃の進入を防いでいた。しかし、半導体試料搬入出時にインターフェース開閉蓋４から、ＦＦＵ１より供給されるダウンフロー２も排気流２ｂとして排気されるため、ミニエン筐体３の陽圧が崩れる場合があった。しかも、ミニエン筐体３の下部の排気流２ａも安定しないことから、塵埃等の排気もうまくいかず、逆に進入する事態にもなる。

この問題を解決するために、従来は例えば特許文献３にあるように、ＦＦＵを増設もしくは、ファンの回転数を変化することで内部へのダウンフローを増減して対応することが知られている。又、特許文献４においては、局所クリーニング装置に設けられた排気口の圧力を任意に調整する調整機構を設け、ミニエンバイロメント内が外部よりも低い圧力にならないようにすることが示されている。

特開２０００−８２７３１号公報 特開２００３−３１４５１号公報 特開２００２−２３１７８２号公報 特開２００３−２６４２１９号公報

しかし、いずれの特許文献においても、ＦＦＵ１によるダウンフローの流量を可変制御するにはファンの回転数を可変制御する必要があり、すばやい反応を得ることは難しく、また、一時的に風量が変化することでミニエン筐体内の気流が安定せず、塵埃が舞い上がる恐れもあった。更に、いずれの引用文献においても、ロードポートの開閉蓋の開閉とミニエン筐体の蓋との関係は示されていない。

本発明の目的は、排気量を制御することにより、ＦＦＵからのダウンフローの流量等を変えることなく、ロードポートの開閉蓋の開閉と連動させることにより安定したミニエン筐体内の気圧状態を作り出すことができ、ミニエン筐体内部に塵埃の拡散を防止し、安定した小規模クリーン環境を実現するミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備を提供することにある。

本発明において、ミニエンバイロメント装置とは、半導体製造装置、半導体検査装置及び半導体搬送装置等を纏めて称するものである。

本発明は、一般的に知られているミニエン筐体とＦＦＵとを組み合わせた小規模クリーン環境を実現するミニエンバイロメント装置において、任意に開口量を制御可能な開閉蓋を設け、排気量を制御することでミニエン筐体内部の気圧、気流の安定化を図るものである。

具体的には、本発明は、クリーン室内で小規模クリーン環境を形成するミニエンバイロメント装置において、前記クリーン室内に設けられた筐体と、該筐体の上部に設置され清浄空気をダウンフローするファンフィルタユニットと、前記筐体に設けられ試料を収めた容器を載せるロードポート部と、前記容器を前記筐体内に取り込むインターフェース開閉蓋と、前記筐体の内外気圧を測定する気圧センサと、前記筐体内から外部に排気される前記清浄空気の排気量を制御可能な排気圧調整用開閉蓋と、該排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御する制御コントローラとを有し、前記インターフェース開閉蓋を開くことで前記筐体の内気を前記ロードポート部から外部に自然又は強制排気すると共に、前記インターフェース開閉蓋と連動して前記筐体の内外気圧に基づいて前記排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御し、前記筐体内を陽圧に保つことを特徴とするミニエンバイロメント装置にある。

本発明のミニエンバイロメント装置によれば、排気量を制御することにより、ＦＦＵからのダウンフローの流量等を変えることなく、より安定したミニエン筐体内の気圧状態を作り出すことができ、ミニエン筐体内部に塵埃の拡散を防止し、安定した小規模クリーン環境を実現することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を実施例によって詳細に説明する。

図１は本発明に係るクリーンルーム設備の全体図である。このクリーンルーム設備では、クリーンルーム１２、製造装置、洗浄装置等を収容する装置室１３及びミニエンバイロメント装置１４が形成されている。ミニエンバイロメント装置１４は、装置室１３のクリーンルーム１２側入口に沿って配設されている。そして、クリーンルーム１２の天井にはＦＦＵ１６が設置され、ＦＦＵ１６から噴射される清浄空気によってクリーンルーム１２内が清浄度１０^３程度に維持される。

ミニエンバイロメント装置１４には、その天井にＦＦＵ１が設置され、クリーンルーム１２の床にグレーチング１５が設置されている。そして、ミニエンバイロメント装置１４内は、ＦＦＵ１から噴射される清浄空気によって清浄度クラス１程度に維持される。装置室１３内は所定の清浄度に維持されている。

このミニエンバイロメント装置１４内には、図示されていないロボットハンド移載機が配置され、このロボットハンド移載機に対向したクリーンルーム１２内にはロードポート８が設置されている。このクリーンルーム設備では、クリーンルーム１２、ミニエンバイロメント装置１４及び装置室１３内に圧カセンサが設置され、それらによって検出された圧力値に基づき、コントローラによって、クリーンルーム１２、ミニエンバイロメント装置１４及び装置室１３内の圧力が、装置室１３＞ミニエンバイロメント装置１４＞クリーンルーム１２の圧力となるように設定維持される。

場合によっては装置室１３とミニエンバイロメント装置１４が分離してない場合もあるが、試料はクリーンルーム１２（人、ＡＧＶ等が存在する部分）側→ミニエンバイロメント装置１４→装置室１３の順序で搬入され、逆の順序で搬出される。

そして、クリーンルーム１２内の空気は、グレーチング１５を介して床下空間に排出され、床下空間からクリーンルーム１２を画成する側壁の外側の循環路空間を経て天井裏空間に循環され、再びＦＦＵ１６によってクリーンルーム１２内に供給される。また、クリーンルーム設備には製造装置、洗浄装置等の装置を収容する装置室１３が設置され、装置室１３はクリーンルーム１２に臨んで配置されている。

図２は、本発明に係るミニエンバイロメント装置の構成図である。図中の上部半分がその内部を示し、下部半分が外部の状態を示している。ミニエンバイロメント装置では、ミニエン筐体３の上部に装備したＦＦＵ１より清浄空気をダウンフロー２により加圧し、ミニエン筐体３の下部よりこの空気を排気２ａすることで、例えばクラス１程度の小規模クリーン環境を実現する。ミニエン筐体３の下部から排気２ａすることは、内部で発塵した塵埃を拡散することなく排気でき、ＦＦＵ１よりのダウンフロー２と組み合わせることは小規模クリーン環境を実現するのに非常に有効である。このミニエン筐体３には、製造、検査、もしくは搬送装置が作業対象とするウェーハ等の半導体試料を収めた容器１０を載せるロードポート８が、１つ以上であり、ミニエン筐体３にボルト等で一体に固定される。その数は、製造ラインの運用方法と、装置の処理能力等によって２〜４個程度である。これらロードポート８から、ウェーハ等の半導体試料を収めた容器１０を例えばロボットアームなどを用いてミニエン筐体３内に取り込む為のスライド式のインターフェース開閉蓋４をロードポート８の数だけ備える。

さらに、ミニエン筐体３には、インターフェース開閉蓋４とは別に任意に開閉量を調整して排気量を制御可能なスライド式の排気圧調整用開閉蓋７を１つ以上備え、本紙面に対してその裏面及びミニエン筐体３の側面に対しても設けることができる。また、ミニエンバイロメント装置には、少なくともインターフェース開閉蓋４の開閉を制御又は検知でき、その開閉に連動して排気圧調整用開閉蓋７の開口量を任意に制御できる各機構系の制御等を行なう制御コントローラ９を備える。インターフェース開閉蓋４の開閉は、排気圧調整用開閉蓋７の開閉とは反対の方向に動作し、インターフェース開閉蓋４が開の時は、排気圧調整用開閉蓋７の開度を閉じ排気量を少なくする方向であり、又、インターフェース開閉蓋４が閉の時は、排気圧調整用開閉蓋７の開度を開き排気量を多くする開閉制御が行われる。

排気圧調整用開閉蓋７はミニエン筐体３のロードポート部８の設置以外の側面底部に設けられ、又、清浄空気のダウンフロー２を排気する排気口がミニエン筐体３の底面に設けられ、図１のクリーンルーム１２の床に設けられたグレーチング１５を通して排気２ａされる。

このようなミニエンバイロメント装置内に、ウェーハ等の半導体試料を搬入する場合、まず、ロードポート８部に半導体試料を入れる容器１０を設置する。容器１０は一般的にカセット状の物や、密閉容器（ＦＯＵＰ）等であり、人や自走台車（ＡＧＶ）等が設置する。

次に、ロードポート８上に設置された半導体試料を入れる容器１０を、ミニエン筐体３内に搬送するため、インターフェース開閉蓋４を開く。このとき、ミニエン筐体３内ではＦＦＵ１より清浄空気をダウンフロー２していることで外気圧より加圧されており、開いたインターフェース開閉蓋４より排気２ｂされる。この排気２ｂは、インターフェース開閉蓋４より再びミニエン筐体３内に戻らないようにロードポート８から排気２ｂしている。オープンカセット設置時等のように自然排気する場合や、排気ファンなどを備えて、強制排気する場合などがあるが、特に排気手段の有無にはこだわらない。

図３は、本実施例におけるインターフェース開閉蓋の開閉動作を示すフロー図である。このインターフェース開閉蓋４の開動作に先がけて、制御コントローラ９は排気圧調整用開閉蓋７の開閉量を任意に調整して排気量を制御する。排気圧調整用開閉蓋７を閉動作するための動作量と、動作を行なう排気圧調整用開閉蓋７の個数は１つ又は２つ以上で、主にインターフェース開閉蓋４の開動作時に開く開口量を基に決定３０２、３０３する。

インターフェース開閉蓋４が開動作３０４することで、ミニエン筐体３の排気２ｂの量が増えるため、ミニエン筐体３の内圧が下がり内部気流が安定せず、また塵埃の内部拡散や外部よりの進入が発生する。そこで、予めこの排気圧調整用開閉蓋７を閉動作３０５することで、ミニエン筐体３の総排気量を一定とし、ミニエン筐体３の内部圧力の変動及び気流の安定を図ることができる。しかも、ミニエン筐体３下部のグレーチング１５の排気口とは別に排気圧調整用開閉蓋７を設け、この開口量を調整することで、ＦＦＵ１よりのダウンフロー２との組合せによりミニエン筐体３外部へ塵埃の排出２ａを行なう役割を阻害することがない。

次に、開口したインターフェース開閉蓋４よりロボット等を利用して、半導体試料をミニエン筐体３の内部に搬入３０６する。通常、ミニエンバイロメント装置では、ミニエン筐体３内に試料搬送用のロボットハンド等を装備しており、このロボットハンド等が半導体試料を搬送する。半導体試料の搬送は、特にロボットハンド等にはこだわらず、どのような方法を用いても良い。

最後に、インターフェース開閉蓋４の閉動作３０９を行なう。前述と同様に、インターフェース開閉蓋４の閉動作に合わせて、制御コントローラ９は任意に開閉量を調整して排気量を制御可能な排気圧調整用開閉蓋７を今度は開動作３１０する。

インターフェース開閉蓋４が閉動作することで、ミニエン筐体３の排気２ｂの量が減るため、ミニエン筐体３の内圧が上がる。そこで、動作にあわせて排気圧調整用開閉蓋７を開動作することで、ミニエン筐体３の総排気量を一定とすることでミニエン筐体３の内圧を安定させる。

本実施例では、半導体試料を内部へ取り込み、もしくは排出のためのインターフェース開閉蓋４の開閉動作を例として説明したが、ミニエン筐体３に別の目的の開口部が存在する場合でも同様に連動する上記方法を適用することでより安定にすることができる。また、ミニエン筐体３の内部とインターフェース開閉蓋４の外側の圧力関係は、ミニエン筐体３が高、外側が低であるが、逆の場合でも排気圧調整用開閉蓋７の動作を変更することで、対応することが可能である。

以上により、インターフェース開閉蓋４等の開閉を検知し、連動して排気圧調整用開閉蓋７を制御することで、より安定した小規模なクリーン環境を実現できる。

図４は、本発明に係るミニエン筐体の内圧を調整するフロー図である。本実施例のミニエンバイロメント装置では、上部に装備したＦＦＵ１より清浄空気をダウンフロー２により加圧し、ミニエン筐体３の下部よりこの空気を排気２ａすることで、例えばクラス１程度の小規模クリーン環境を実現するミニエン筐体３を備える。

ミニエン筐体３の下部から排気２ａすることは、内部で発塵した塵埃を拡散することなく排気でき、ＦＦＵ１よりのダウンフロー２と組み合わせることは小規模クリーン環境を実現するのに非常に有効である。

本ミニエンバイロメント装置において、ミニエン筐体３の上部と下部に、内気圧を検出する内気圧センサ６をそれぞれ１つ又は２つ以上装備する。また、検知した内気圧は制御コントローラ９で読み取ることができる。このようにミニエンバイロメント装置では、ミニエン筐体３内部がダウンフロー２により一定圧で、安定した気流を保つようにすることが重要である。

そこで、制御コントローラ９により定期的に、上部と下部の内気圧を測定することで差圧を監視４０１、４０２する。監視した差圧が予め設定された値もしくは範囲を外れた場合４０３に、ずれ量から動作すべき排気圧調整用開閉蓋７の個数、箇所と、調整量を決定４０４する。

決定した個数、箇所と、調整量により、排気圧調整用開閉蓋７を制御４０５することで、排気２ｃの量の調整を行い、上部気圧を高、下部気圧を低の関係を実現し、ミニエン筐体３内を理想的な気圧差に保つことで、安定してダウンフロー状態と、排気２ａ、２ｃが維持でき、より安定した小規模クリーン環境を提供することができる。

本実施例では、内圧センサ６の取り付け位置を上部と下部の２分割としたが、それ以上の複数箇所に分割することも可能である。

以上により、ミニエン筐体３の上部、下部の内気圧差を検知し、差圧と連動して排気圧調整用開閉蓋７を制御することで、より安定した小規模クリーン環境を実現できる。

図５は、本発明に係るミニエン筐体の内圧を調整するフロー図である。本実施例のミニエンバイロメント装置では、上部に装備したＦＦＵ１より清浄空気をダウンフロー２により加圧し、ミニエン筐体３の下部よりこの空気を排気２ａすることで、例えばクラス１程度の小規模クリーン環境を実現するミニエン筐体３を備える。

本ミニエンバイロメント装置において、ミニエン筐体３の内気圧を検出する内気圧センサ６と、外気圧を検出する外気圧センサ５をそれぞれ１つもしくはそれ以上装備する。また、検知した内外気圧は制御コントローラ９で読み取ることができる。本ミニエンバイロメント装置では、ミニエン筐体３内部を清浄空気のダウンフロー２で加圧することで、外部の塵埃の進入を防いでいる。

そこで、制御コントローラ９により定期的に、外部と内部の気圧を測定することで差圧を監視５０１、５０２する。監視した差圧が予め設定された値もしくは範囲を外れた場合５０３に、ずれ量から動作すべき排気圧調整用開閉蓋７の個数、箇所と、調整量を決定５０４する。

決定した個数、箇所と、調整量により、排気圧調整用開閉蓋７を制御５０５し、排気量２cの調整を行い、ミニエン筐体３の内気圧を高、外気圧を低の陽圧状態とし、ミニエン筐体３内外を理想的な気圧差に制御することができる。

本実施例では、外気圧センサ５、内気圧センサ６はミニエン筐体３の同位置に同じ個数設置されているが、必ずしも同じ設置個数である必要もなく、位置も特にこだわらない。例えば、差圧を求める際に使用する気圧値は、複数測定箇所の平均値を利用することも可能である。

以上により、ミニエン筐体３内外気圧差を検知し、差圧と連動して排気圧調整用開閉蓋７を制御することで、より安定した小規模クリーン環境を実現できる。

本実施例は、ロードポートを複数有する場合の例について説明する。通常、ミニエン筐体３は、製造、検査、もしくは搬送装置が作業対象とするウェーハ等の半導体試料を収めた容器を載せるロードポート８を、１つもしくはそれ以上備えている。このロードポート８が複数台設置されている場合、全てのロードポート８のインターフェース開閉蓋４が同時期に開、もしくは閉となる場合もある。このような開閉動作にあわせて排気圧調整用開閉蓋７を制御しようとする場合、１つの排気圧調整用開閉蓋７で行なうには、ミニエン筐体３に開口量を確保するのが難しく、また、排気圧調整用開閉蓋７が巨大となることが予想できる。排気圧調整用開閉蓋７が巨大になると、開閉動作のためにはより強い力の制御機構が必要になると共に、微小開口量の制御時が不得手となる。そこで、排気圧調整用開閉蓋７を複数設け、単独又は連動させて使い分けて制御することで、過大もしくは微小な排気２ｃの量を調整することが可能となる。

しかも、複数の排気圧調整用開閉蓋７を配置することで、ミニエン筐体３の任意方向へ排出方向を分散することがでる。例えば、ミニエン筐体３の側面４方面に複数の排気圧調整用開閉蓋７を設け、インターフェース開閉蓋４の開閉量にあわせ、排気圧調整用開閉蓋７を連動して排気２ｃすることで側面４方面より安定して排気することができ、ミニエン筐体３内の気流を乱すことなく、内部をより安定化することができる。

以上により、排気圧調整用開閉蓋７を複数設けて、連動して制御することで、より安定した小規模クリーン環境を実現できる。

本実施例のミニエンバイロメント装置では、上部に装備したＦＦＵ１より清浄空気をダウンフロー２により加圧し、ミニエン筐体３の下部よりこの空気を排気２ａすることで、例えばクラス１程度の小規模クリーン環境を実現するミニエン筐体３を備える。

ミニエン筐体３の下部から排気２ａすることは、内部で発塵した塵埃を拡散することなく排気でき、ＦＦＵ１よりのダウンフロー２と組み合わせることは小規模クリーン環境を実現するのに非常に有効である。この様にミニエン筐体３の下部には、通常ＦＦＵ１よりのダウンフロー２を排気２ａする排気口が設けられている。

本実施例では、排気圧調整用開閉蓋７の制御により排気量を調整し、ミニエン筐体３内部をより安定化することを目的としている。この排気圧調整用開閉蓋７と従来の排気口を同一とした場合、排気量の調整は別の場合と同様に可能だが、内部で発塵した塵埃の排気を十分に行なえなくなる。そのため、排気圧調整用開閉蓋７を従来のミニエン筐体３の下部に存在する排気口と別に設けることで、排気圧調整用開閉蓋７では排気量のみの調整に専念でき、従来の排気口はＦＦＵ１よりのダウンフロー２との組合せによりミニエン筐体３外部へ塵埃の排出を行なう排気２ａの役割を阻害しない。

以上により、ミニエン筐体３の下部の排気口とは別に排気圧調整用開閉蓋７を設けることで、より安定した小規模クリーン環境を実現できる。

図６は、本発明に係るミニエンバイロメント装置の排気圧調整用開閉蓋に設置されるファンの構成図である。本実施例では、排気圧調整用開閉蓋７の制御により排気量を調整し、ミニエン筐体３の内部をより安定化することを目的としている。この排気圧調整用開閉蓋７は、例えば上下、左右方向での開閉の何れでもよく、開口量を任意に制御できれば特に開閉手段にこだわる必要がない。

この排気圧調整用開閉蓋７はミニエン筐体３に設置するため、総開口量はミニエン筐体３の表面積より必ず小さくなる。実際には上部にＦＦＵ１、下部は排気口、さらにロードポート８等のインターフェース開閉蓋４があり、且つミニエン筐体３の強度確保等のため、さらに小さくなることが予想できる。この理由により、排気圧調整用開閉蓋７の開口面積が十分に取れないような場合に、排気圧調整用開閉蓋７をいくら制御しても望むような排気量が得られない。

そこでこの排気圧調整用開閉蓋７を介してその外側にファン１１を組み合わせて設置し、この排気圧調整用開閉蓋７の開閉に加えてファン１１による強制排気を組み合わせることで、開口面積の不足容量を補うと共に、より安定した小規模クリーン環境を実現できる。

本発明に係るクリーンルーム設備の構成図である。 本発明に係るミニエンバイロメント装置の構成図である。 本発明に係るインターフェース開口部の開閉動作を示すフロー図である。 本発明に係るミニエン筐体内の圧力を調整するフロー図である。 本発明に係るミニエン筐体内の圧力を調整するフロー図である。 本発明に係るミニエンバイロメント装置の排気圧調整用開閉蓋に設置されるファンの構成図である。 従来のミニエンバイロメント装置の構成図である。

符号の説明

１、１６…ファンフィルターユニット（ＦＦＵ…Fun Filter Unit）、２…清浄な空気流（ダウンフロー）、２ａ、２ｂ…排気、２ｃ…排気圧調整用開閉蓋よりの排気、３…ミニエンバイロメント筐体（ミニエン筐体）、４…インターフェース開閉蓋、５…内気圧センサ、６…外気圧センサ、７…排気圧調整用開閉蓋、８…ロードポート（オープンカセット装着）、１０…容器、１１…ファン、１２…クリーンルーム、１３…装置室、１４…ミニエンバイロメント装置、１５…グレーチング。

Claims (9)

1. クリーン室内で小規模クリーン環境を形成するミニエンバイロメント装置において、前記クリーン室内に設けられた筐体と、該筐体の上部に設置され清浄空気をダウンフローするファンフィルタユニットと、前記筐体に設けられ試料を収めた容器を載せるロードポート部と、前記容器から前記試料を前記筐体内に取り込むインターフェース開閉蓋と、前記筐体の内外気圧を測定する気圧センサと、前記筐体内から外部に排気される前記清浄空気の排気量を制御可能な排気圧調整用開閉蓋と、該排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御する制御コントローラとを有し、前記インターフェース開閉蓋を開くことで前記筐体の内気を前記ロードポート部から外部に自然又は強制排気すると共に、前記インターフェース開閉蓋と連動して前記排気圧調整用開閉蓋の開閉量を制御し、前記筐体の内外気圧に基づいて前記筐体内を陽圧に保つことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
2. 請求項１において、前記筐体の内気圧を測定する内圧センサは、前記筐体内の上部及び下部にそれぞれ１組又は２組以上有し、前記上部と下部の差圧に基づいて前記制御コントローラによって前記排気圧調整用開閉蓋を制御し、前記上部の内気圧を高く、前記下部の内気圧を前記上部の内気圧より低くすることを特徴とするミニエンバイロメント装置。
3. 請求項１又は２において、前記気圧センサは、内外気圧センサであり、各々１つ又は２つ以上装備し、内外気圧の差圧に基づいて前記排気圧調整用開閉蓋を制御することにより前記筐体内を陽圧に保つことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
4. 請求項１〜３のいずれかにおいて、前記排気圧調整用開閉蓋は、１つ又は複数個を有し、その開閉を調整する排気量に応じて調節することを特徴としたミニエンバイロメント装置。
5. 請求項１〜４のいずれかにおいて、前記排気圧調整用開閉蓋は、前記筐体の側面底部に設けられていることを特徴としたミニエンバイロメント装置。
6. 請求項１〜５のいずれかにおいて、前記筐体は、前記清浄空気を排気する排気口が前記筐体の底面に設けられていることを特徴とするミニエンバイロメント装置。
7. 請求項１〜６のいずれかにおいて、前記筐体は、前記排気圧調整用開閉蓋を介してファンが設置されていることを特徴としたミニエンバイロメント装置。
8. クリーン室内に小規模クリーン環境を形成するミニエンバイロメント装置を有するクリーンルーム設備において、前記ミニエンバイロメント装置が請求項１〜７のいずれかに記載のミニエンバイロメント装置からなることを特徴とするクリーンルーム設備。
9. 請求項８において、前記ミニエンバイロメント装置に接して半導体製造装置又は検査装置等の装置室を有することを特徴とするクリーンルーム設備。
   

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