JP7396253B2 - 差圧測定方法 - Google Patents
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Description
前記床上領域の圧力を取得する第1のポートと前記床下領域の圧力を取得する第2のポートとを有する差圧測定部であって、第1の配管の一端が前記第1のポートに接続され、第2の配管の一端が前記第2のポートに接続されている、差圧測定部と、
前記第2の配管の他端が接続されており、前記グレーチング床板上に配置した際に、前記グレーチング床板との間に前記床下領域の圧力を測定するための空間を形成するカップと、
を備え、
前記第1の配管の他端と前記第2の配管の前記他端との間の装置高さ方向の距離が固定されていることを特徴とする差圧測定装置。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本発明による差圧測定装置は、床にグレーチング床板が配置された部屋の床上領域の圧力と床下領域の圧力との差圧を測定する差圧測定装置であり、床上領域の圧力を取得する第1のポートと床下領域の圧力を取得する第2のポートとを有する差圧測定部であって、第1の配管の一端が第1のポートに接続され、第2の配管の一端が第2のポートに接続されている、差圧測定部と、第2の配管の他端が接続されており、グレーチング床板上に配置した際に、グレーチング床板との間に床下領域の圧力を測定するための空間を形成するカップとを備え、第1の配管の他端と第2の配管の他端との間の装置高さ方向の距離が固定されていることを特徴とする。言い換えると、本発明による差圧測定装置は、第1の配管の他端と第2の配管の他端との間の装置高さ方向の相対的な位置関係が一定で変化しないことを特徴としている。
次に、本発明による差圧測定方法について説明する。本発明による差圧測定方法は、床にグレーチング床板が配置された部屋のグレーチング床板上に、上述した本発明による差圧測定装置を配置して、床上領域の圧力と床下領域の圧力との差圧を測定することを特徴とする。
図2に示した差圧測定装置1を用いて、クリーンルーム100内の床上領域100cの圧力と床下領域100dの圧力との差圧を測定した。具体的には、差圧測定部11として差圧計(柴田化学社製FP-1型)を用いた。また、第1の配管12および第2の配管13をシリコンチューブで構成し、カップ14はプラスチック素材のポリプロピレンで構成した。カップ14のサイズは、縦150mm、横200mm、高さ50mmとした。
発明例と同様に、床上領域100cの圧力と床下領域100dの圧力との差圧を測定した。ただし、差圧測定装置としては、図2に示した差圧測定装置1の差圧測定部11を取り出し、第1のポート11aに第1の配管12を接続せず、第2のポート11bに第2の配管13(長さ500mm)を接続したものを用い、測定の際に第2の配管13の他端13bをグレーチング床板102の開口部102aを介して床下領域100dに挿入した。その他の条件は、発明例と全て同じである。
11 差圧測定部
12 第1の配管
12a 第1の配管の一端
12b 第1の配管の他端
13 第2の配管
13a 第2の配管の一端
13b 第2の配管の他端
14 カップ
14a 縁部
15 パッキン
100 クリーンルーム
100a 天井部
100b 床
100c 床上領域
100d 床下領域
101 清浄空気供給部
102 グレーチング床板
102a 開口部
103 リターン口
104 送風ファン
Claims (4)
- 床にグレーチング床板が配置された部屋の前記グレーチング床板上に、
床上領域の圧力を取得する第1のポートと床下領域の圧力を取得する第2のポートとを有する差圧測定部であって、第1の配管の一端が前記第1のポートに接続され、第2の配管の一端が前記第2のポートに接続されている、差圧測定部と、
前記第2の配管の他端が接続されており、前記グレーチング床板上に配置した際に、前記グレーチング床板との間に前記床下領域の圧力を測定するための空間を形成するカップと、
を備え、
前記第1の配管の他端と前記第2の配管の前記他端との間の装置高さ方向の距離が固定されている差圧測定装置を配置して、
前記床上領域の圧力と前記床下領域の圧力との差圧を測定することを特徴とする差圧測定方法。 - 前記第1の配管の前記他端と前記第2の配管の前記他端との間の前記装置高さ方向の距離は0mm以上250mm以下である、請求項1に記載の差圧測定方法。
- 前記第1の配管の前記他端が装置高さ方向に対して交差する方向を向いている、請求項1または2に記載の差圧測定方法。
- 前記第1の配管の前記他端への気流を抑制するカバーをさらに有する、請求項1~3のいずれか一項に記載の差圧測定方法。
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