JP5127292B2 - 局所空気清浄化装置 - Google Patents
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Description
作業台を用いる場合は従来のクリーンベンチで用いられているのと同様の作業台を適宜用いることができる。
用いるプッシュフードは作業の内容その他の条件に応じ空気流開口面の大きさや吹き出し風速などの機能条件やプッシュフード間の距離などを適宜選択しうる。一例として、空気流開口面が一辺10〜60cmの正又は長方形、吹き出し風速が0.1〜1m/秒、プッシュフード間の距離が1〜3mの条件を挙げることができる。
図1及び2は、本発明の局所空気清浄化装置の配置の一例を示す説明図である。
ここで用いる清浄なクリーンルームなどで使われている清浄度クラスとは異なり、次のように定義して用いる。
(Co−Cp)
清浄度(%)=100×――――――
Co
開口面サイズ300mm×300mmのプッシュフードで吹き出し風速を変えながら、清浄度を維持できる距離を調べた結果、吹き出し風速が0.2、0.3m/秒のときは風速が非常に遅いため気流が安定せず、清浄度を保つ距離はそれぞれ0.4m、0.8mであることを確認した。しかしながら吹き出し風速が0.4m/秒以上になると気流は安定し清浄度を保つ距離は1.6m程度になることを確認した。このときの測定結果を図8に示す。ただし図8では清浄度はそれぞれのプッシュフードから一番離れた場所、すなわち2個のプッシュフードの中間の清浄度のみを示した。吹き出し風速を0.4m/秒以上にしても清浄度を保つ距離はあまり伸びることはない。例えば吹き出し風速0.8m/秒でプッシュフード間距離2.4mのときの結果は図9に示したとおりである。
2 ファン
3 HEPAフィルタ
4 中性能フィルタ
5 圧力計
6 複合ピトー管
7 開口面
8 パーティクルカウンタ(室内空気清浄度用)
9 パーティクルカウンタ(プッシュ気流清浄度用)
10 サンプリングチューブ
Claims (2)
- 開放した局所領域の局所空気清浄化装置において、
前記開放した局所領域外の空気を吸い込んで清浄化する空気清浄化手段からの清浄空気を面の全体から風速が1m/秒以下の一様なプッシュ気流として吹き出す空気流開口面を備える一組のプッシュフードを互いのプッシュ気流が衝突し、衝突した後に、両者が混ざり合うことなく、ほぼ垂直に流れの向きを変え、前記開放した局所領域外に、前記開放した局所領域内の空気と共に流出するように前記各空気流開口面を対向させて設置し、
前記一様なプッシュ気流は、前記空気流開口面近傍において当該気流の吹き出し方向に対し垂直な断面でみたとき、当該気流の風速がその断面のいたるところで実質的に一定であり、かつ障害物がない状態での速度分布のバラツキが平均値に対して±30%以内であり、
前記開放した局所領域を前記対向する前記空気流開口面間の前記プッシュ気流域内のほとんどの領域として、前記開放した局所領域を他の領域に比較して高い清浄度とすることを特徴とする局所空気清浄化装置。 - 前記一組のプッシュフードの空気流開口面の面積及び前記一組のプッシュ気流の吹き出し風速が相互に略同一であることを特徴とする請求項1に記載の局所空気清浄化装置。
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