JP2002257392A - 循環送風システム - Google Patents
循環送風システムInfo
- Publication number
- JP2002257392A JP2002257392A JP2001050539A JP2001050539A JP2002257392A JP 2002257392 A JP2002257392 A JP 2002257392A JP 2001050539 A JP2001050539 A JP 2001050539A JP 2001050539 A JP2001050539 A JP 2001050539A JP 2002257392 A JP2002257392 A JP 2002257392A
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- JP
- Japan
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- clean room
- air
- grating floor
- airflow
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム内に生じる斜流や気流速度分
布のバラツキをグレーチング床下側で調整可能とし気流
を調整したい領域が変化した場合にも簡単に対応できる
ようにすることである。 【解決手段】 本発明の循環式送風システムの局所気流
調整装置１０１はグレーチング床３にフレーム部１０８
でネジ止めされており、風速センサ部１０２と、制御部
１０３と、ファン部１０４とで構成され回転羽根１０６
が回転することでクリーンルーム５内の空気をグレーチ
ング床３を通して強制的に吸込み床下リターンスペース
６に排出する。モータ１０７は回転数が可変となってお
り風速センサ１０２からの信号に応じて回転数を変えて
所望の吸引圧を発生されることが出来るようになってい
る。
布のバラツキをグレーチング床下側で調整可能とし気流
を調整したい領域が変化した場合にも簡単に対応できる
ようにすることである。 【解決手段】 本発明の循環式送風システムの局所気流
調整装置１０１はグレーチング床３にフレーム部１０８
でネジ止めされており、風速センサ部１０２と、制御部
１０３と、ファン部１０４とで構成され回転羽根１０６
が回転することでクリーンルーム５内の空気をグレーチ
ング床３を通して強制的に吸込み床下リターンスペース
６に排出する。モータ１０７は回転数が可変となってお
り風速センサ１０２からの信号に応じて回転数を変えて
所望の吸引圧を発生されることが出来るようになってい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームの
循環式送風システムに関し、特にグレーチング床の下方
に設置して気流を制御する局所気流制御装置を配備する
循環送風システムに関する。
循環式送風システムに関し、特にグレーチング床の下方
に設置して気流を制御する局所気流制御装置を配備する
循環送風システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体装置製造工場におけるクリ
ーンルームの循環式送風システムの一例を概要説明図と
して示す図３を用いて説明する。空気の流れを図中に白
抜き矢印で示す。密閉室１は、天井に配設された高性能
フィルタ２とグレーチング床３とで、それぞれ天井リタ
ーンスペース４とクリーンルーム５と床下リターンスペ
ース６とに区画されている。天井リターンスペース４の
空気は微細な粒子を除去するための高性能フィルタ２を
通り清浄な空気となり垂直流としてクリーンルーム５内
を清浄化したのち通気性がよいグレーチング床３より床
下リターンスペース６に排出され外気導入部７より導入
された外気と混合される。その後、粗い粒子を除去する
ためのプレフィルタ８、クリーンルーム２の温湿度を調
節するための冷却器（図示せず）、除湿器（図示せ
ず）、加熱器（図示せず）、加湿器（図示せず）などを
備えている空調機９などを介して送風機１０により再
度、天井リターンスペース４に循環する。尚、前述の設
備以外にも必要に応じて循環経路には中性能フィルタ
（図示せず）や消音機（図示せず）などが配設される場
合もある。このようにして循環式送風システムは空調・
清浄化された空気が垂直流としてクリーンルーム２内を
均一に流れるように設計されている。
ーンルームの循環式送風システムの一例を概要説明図と
して示す図３を用いて説明する。空気の流れを図中に白
抜き矢印で示す。密閉室１は、天井に配設された高性能
フィルタ２とグレーチング床３とで、それぞれ天井リタ
ーンスペース４とクリーンルーム５と床下リターンスペ
ース６とに区画されている。天井リターンスペース４の
空気は微細な粒子を除去するための高性能フィルタ２を
通り清浄な空気となり垂直流としてクリーンルーム５内
を清浄化したのち通気性がよいグレーチング床３より床
下リターンスペース６に排出され外気導入部７より導入
された外気と混合される。その後、粗い粒子を除去する
ためのプレフィルタ８、クリーンルーム２の温湿度を調
節するための冷却器（図示せず）、除湿器（図示せ
ず）、加熱器（図示せず）、加湿器（図示せず）などを
備えている空調機９などを介して送風機１０により再
度、天井リターンスペース４に循環する。尚、前述の設
備以外にも必要に応じて循環経路には中性能フィルタ
（図示せず）や消音機（図示せず）などが配設される場
合もある。このようにして循環式送風システムは空調・
清浄化された空気が垂直流としてクリーンルーム２内を
均一に流れるように設計されている。
【０００３】しかし、図４に示すようにグレーチング床
３上に半導体製造装置１１や各種の製造設備が設置され
るとこれらのものが通風抵抗となり均一な垂直流を遮る
ため、どうしても気流に乱れが生じ斜流の発生や気流速
度分布のバラツキを生じさせることになる。斜流が発生
すると、人体などからの発塵がウエハに付着したりして
製品歩留りを悪化させたりする。また、大型の半導体製
造設備１１の下方やグレーチング床３下に配置された各
種配管１２が密集する領域では局部的に空気の流れが悪
くなり所謂、空気のよどみ部（図中一点鎖線で囲んだド
ット領域）が発生する虞があった。この問題を解決する
ために気流速度分布を調査し気流速度の小さい領域や斜
流が発生する領域に、例えばファン内臓のファンフィル
タユニット１３を天井に設置したり、グレーチング床３
の下方に一方を送風機１４に繋いだダクト１５の吸込み
口を設置し吸引してやることで局部的な気流を調整する
方法が企画されている。
３上に半導体製造装置１１や各種の製造設備が設置され
るとこれらのものが通風抵抗となり均一な垂直流を遮る
ため、どうしても気流に乱れが生じ斜流の発生や気流速
度分布のバラツキを生じさせることになる。斜流が発生
すると、人体などからの発塵がウエハに付着したりして
製品歩留りを悪化させたりする。また、大型の半導体製
造設備１１の下方やグレーチング床３下に配置された各
種配管１２が密集する領域では局部的に空気の流れが悪
くなり所謂、空気のよどみ部（図中一点鎖線で囲んだド
ット領域）が発生する虞があった。この問題を解決する
ために気流速度分布を調査し気流速度の小さい領域や斜
流が発生する領域に、例えばファン内臓のファンフィル
タユニット１３を天井に設置したり、グレーチング床３
の下方に一方を送風機１４に繋いだダクト１５の吸込み
口を設置し吸引してやることで局部的な気流を調整する
方法が企画されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
の循環式送風システムでは斜流や気流速度分布のバラツ
キが生じた場合、天井側にファン内臓のファンフィルタ
ユニットを設置したり、グレーチング床の下方に一方を
送風機に繋いだダクトの吸込み口を設置したりして調整
する方法などが企画されているが、いずれも気流の調整
領域が固定あるいは半固定のものであり、クリーンルー
ム内の製造設備の配置が変更された場合、それに伴い気
流速度分布も変化するため取付け場所を変えることに工
数が掛かるという問題があった。また、グレーチング床
下が各種配管などが密集している領域ではダクトなどの
取付けはスペース的にも限界があり、取付けられたとし
てもそのダクト自身が新たな通風抵抗となってしまう虞
があった。また、天井側に取付けられたファンフィルタ
ユニットでグレーチング床下の気流を制御することは困
難であった。
の循環式送風システムでは斜流や気流速度分布のバラツ
キが生じた場合、天井側にファン内臓のファンフィルタ
ユニットを設置したり、グレーチング床の下方に一方を
送風機に繋いだダクトの吸込み口を設置したりして調整
する方法などが企画されているが、いずれも気流の調整
領域が固定あるいは半固定のものであり、クリーンルー
ム内の製造設備の配置が変更された場合、それに伴い気
流速度分布も変化するため取付け場所を変えることに工
数が掛かるという問題があった。また、グレーチング床
下が各種配管などが密集している領域ではダクトなどの
取付けはスペース的にも限界があり、取付けられたとし
てもそのダクト自身が新たな通風抵抗となってしまう虞
があった。また、天井側に取付けられたファンフィルタ
ユニットでグレーチング床下の気流を制御することは困
難であった。
【０００５】本発明の目的は、クリーンルーム内に生じ
る斜流や気流速度分布のバラツキをグレーチング床下側
で調整可能とし、気流を調整したい領域が変化した場合
にも簡単に対応できるようにすることである。
る斜流や気流速度分布のバラツキをグレーチング床下側
で調整可能とし、気流を調整したい領域が変化した場合
にも簡単に対応できるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案されたもので、密閉室内に高性能フィル
タとグレーチング床とを上下に間隔をおいて配設して、
密閉室内を天井リターンスペースとクリーンルームと床
下リターンスペースとに区画し、床下リターンスペース
と天井リターンスペースとの間に送風機を配置し、クリ
ーンルームからグレーチング床を通って床下リターンス
ペースに送り込まれた汚染した空気を天井に配置された
高性能フィルタによって清浄化し、この清浄化された空
気をクリーンルームに送り込むようにした循環送風シス
テムにおいて、グレーチング床の下面の気流を調整する
所望の位置に近接して局所的に気流を制御する局所気流
制御装置を設置することを特徴とする循環送風システム
である。
するために提案されたもので、密閉室内に高性能フィル
タとグレーチング床とを上下に間隔をおいて配設して、
密閉室内を天井リターンスペースとクリーンルームと床
下リターンスペースとに区画し、床下リターンスペース
と天井リターンスペースとの間に送風機を配置し、クリ
ーンルームからグレーチング床を通って床下リターンス
ペースに送り込まれた汚染した空気を天井に配置された
高性能フィルタによって清浄化し、この清浄化された空
気をクリーンルームに送り込むようにした循環送風シス
テムにおいて、グレーチング床の下面の気流を調整する
所望の位置に近接して局所的に気流を制御する局所気流
制御装置を設置することを特徴とする循環送風システム
である。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の循環送風システムの一実
施例を図１及び図２を用いて説明する。図１は本発明の
循環式送風システムの特徴部分である局所気流調整装置
１０１がグレーチング床３の下面にネジ止めなどの脱着
可能な取付け方法で取付けられている状態を示す説明図
であり、空気の流れを図中に白抜き矢印で示す。図２は
図１の拡大断面図である。循環式送風システムの局所気
流調整装置１０１に関する部分以外については図３，４
と同一であるため同一符号を用いて説明を省略する。局
所気流調整装置１０１は風速センサ部１０２と、制御部
１０３と、ファン部１０４と、電源に接続する電源コー
ド及びプラグ部１０５とで構成されている。風速センサ
部１０２はグレーチング床３の孔を通してクリーンルー
ム５内に配置され風速を測定する。制御部１０３は風速
センサ部１０２からの信号により気流調整動作を制御す
るもので例えば所定の風速以下になると自動的に動作す
るように設定する。ファン部１０４は回転羽根１０６
と、制御部１０３と接続され回転羽根１０６を回転させ
る回転数可変のモータ１０７と、例えばグレーチング床
３などに取付けるためのフレーム部１０８とで構成され
ており、回転羽根１０６が回転することでクリーンルー
ム５内の空気をグレーチング床３を通して強制的に吸込
み床下リターンスペース６に排出する。モータ１０７は
回転数が可変となっており風速センサ１０２からの信号
に応じて回転数を変えて所望の吸引圧を発生されること
が出来るようになっている。尚、上記では局所気流調整
装置１０１をグレーチング床３にネジ止めすることで説
明したが設置方法は特にこれに限るものでないことは言
うまでもない。また、一定の気流調整機能でよいのであ
れば風速センサ部１０２や制御部１０３はなくてもよ
い。
施例を図１及び図２を用いて説明する。図１は本発明の
循環式送風システムの特徴部分である局所気流調整装置
１０１がグレーチング床３の下面にネジ止めなどの脱着
可能な取付け方法で取付けられている状態を示す説明図
であり、空気の流れを図中に白抜き矢印で示す。図２は
図１の拡大断面図である。循環式送風システムの局所気
流調整装置１０１に関する部分以外については図３，４
と同一であるため同一符号を用いて説明を省略する。局
所気流調整装置１０１は風速センサ部１０２と、制御部
１０３と、ファン部１０４と、電源に接続する電源コー
ド及びプラグ部１０５とで構成されている。風速センサ
部１０２はグレーチング床３の孔を通してクリーンルー
ム５内に配置され風速を測定する。制御部１０３は風速
センサ部１０２からの信号により気流調整動作を制御す
るもので例えば所定の風速以下になると自動的に動作す
るように設定する。ファン部１０４は回転羽根１０６
と、制御部１０３と接続され回転羽根１０６を回転させ
る回転数可変のモータ１０７と、例えばグレーチング床
３などに取付けるためのフレーム部１０８とで構成され
ており、回転羽根１０６が回転することでクリーンルー
ム５内の空気をグレーチング床３を通して強制的に吸込
み床下リターンスペース６に排出する。モータ１０７は
回転数が可変となっており風速センサ１０２からの信号
に応じて回転数を変えて所望の吸引圧を発生されること
が出来るようになっている。尚、上記では局所気流調整
装置１０１をグレーチング床３にネジ止めすることで説
明したが設置方法は特にこれに限るものでないことは言
うまでもない。また、一定の気流調整機能でよいのであ
れば風速センサ部１０２や制御部１０３はなくてもよ
い。
【０００８】
【発明の効果】本発明の循環式送風システムの局所気流
調整装置によれば、クリーンルーム内に生じる斜流や気
流速度分布のバラツキをグレーチング床下側で局所的に
調整可能となる。これはグレーチング床下が各種配管な
どで通気抵抗が高い場合に好適である。また、ダクトな
どを用いないため取付けスペースが少なくて済み、気流
調整したい領域が変化した場合にも簡単に取外し／取付
けができ対応に工数が掛からない。また、クリーンルー
ム内の風速を検知するセンサとセンサの信号により動作
を制御する制御部を具備しておくと経時的にクリーンル
ーム内の気流速度が変化した場合にも自動的に気流調整
ができる。
調整装置によれば、クリーンルーム内に生じる斜流や気
流速度分布のバラツキをグレーチング床下側で局所的に
調整可能となる。これはグレーチング床下が各種配管な
どで通気抵抗が高い場合に好適である。また、ダクトな
どを用いないため取付けスペースが少なくて済み、気流
調整したい領域が変化した場合にも簡単に取外し／取付
けができ対応に工数が掛からない。また、クリーンルー
ム内の風速を検知するセンサとセンサの信号により動作
を制御する制御部を具備しておくと経時的にクリーンル
ーム内の気流速度が変化した場合にも自動的に気流調整
ができる。
【図１】 本発明の局所気流調整装置を取付けた循環式
送風システムの説明図
送風システムの説明図
【図２】 図１の拡大断面図
【図３】 クリーンルームの循環式送風システムの説明
図
図
【図４】 クリーンルームの循環式送風システムの説明
図
図
１ 密閉室 ２ 高性能フィルタ ３ グレーチング床 ４ 天井リターンスペース ５ クリーンルーム ６ 床下リターンスペース １０ 送風機 １０１ 局所気流調整装置
Claims (2)
- 【請求項１】密閉室内に高性能フィルタとグレーチング
床とを上下に間隔をおいて配設して、前記密閉室内を天
井リターンスペースとクリーンルームと床下リターンス
ペースとに区画し、床下リターンスペースと天井リター
ンスペースとの間に送風機を配置し、クリーンルームか
らグレーチング床を通って床下リターンスペースに送り
込まれた汚染した空気を天井に配置された高性能フィル
タによって清浄化し、この清浄化された空気をクリーン
ルームに送り込むようにした循環送風システムにおい
て、グレーチング床の下面の気流を調整する所望の位置
に近接して局所的に気流を制御する局所気流制御装置を
設置することを特徴とする循環送風システム。 - 【請求項２】前記局所気流制御装置がクリーンルーム内
の風速を検知するセンサを有し、前記センサの信号によ
り動作制御可能なことを特徴とする請求項１に記載の循
環送風システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001050539A JP2002257392A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 循環送風システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001050539A JP2002257392A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 循環送風システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002257392A true JP2002257392A (ja) | 2002-09-11 |
Family
ID=18911478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001050539A Pending JP2002257392A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | 循環送風システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002257392A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040033127A (ko) * | 2002-10-11 | 2004-04-21 | 삼성전자주식회사 | 천장형 공기조화기 |
| GB2403000A (en) * | 2003-06-18 | 2004-12-22 | Trox | An air vent having a grille with a detachable fan unit |
| CN107965858A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-04-27 | 信息产业电子第十设计研究院科技工程股份有限公司 | 一种高大空间实验室内环境均匀性及精确控制的空调系统 |
| CN110068099A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-07-30 | 山东师范大学 | 一种智能新风主机及其控制方法、装置、新风系统 |
| JP2022077885A (ja) * | 2020-11-12 | 2022-05-24 | 株式会社Sumco | 差圧測定装置および差圧測定方法 |
-
2001
- 2001-02-26 JP JP2001050539A patent/JP2002257392A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040033127A (ko) * | 2002-10-11 | 2004-04-21 | 삼성전자주식회사 | 천장형 공기조화기 |
| GB2403000A (en) * | 2003-06-18 | 2004-12-22 | Trox | An air vent having a grille with a detachable fan unit |
| CN107965858A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-04-27 | 信息产业电子第十设计研究院科技工程股份有限公司 | 一种高大空间实验室内环境均匀性及精确控制的空调系统 |
| CN110068099A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-07-30 | 山东师范大学 | 一种智能新风主机及其控制方法、装置、新风系统 |
| JP2022077885A (ja) * | 2020-11-12 | 2022-05-24 | 株式会社Sumco | 差圧測定装置および差圧測定方法 |
| JP7396253B2 (ja) | 2020-11-12 | 2023-12-12 | 株式会社Sumco | 差圧測定方法 |
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