JP3503265B2 - クリーンルームの空調システム - Google Patents
クリーンルームの空調システムInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空調シ
ステムに係り、特に、クリーンルームの室内に温度むら
が発生しないように室内温度をきめ細かく制御するクリ
ーンルームの空調システムに関する。 【０００２】 【従来の技術】図３には従来のクリーンルームの空調シ
ステムの全体構成図が示される。同図に示されるよう
に、クリーンルーム１０の空調は空調機１２よって行わ
れる。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸引
し、外気１４と還気エア１６とをクリーンルーム１０内
に配設された温度センサ４０からの信号に応じてクリー
ンルームに給気する空調エア１８の温度を調整する。空
調機１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２
０、給気ダクトに形成された吹出口２１、２１…を介し
て天井室３０に供給され、リタンスペース３６を介して
天井室３０に循環されるリタンエア３７と混合される。
混合されたエア１９はファンフィルタユニット２４、２
４…によりクリーンルーム１０内に供給される。クリー
ンルーム１０内に供給されたエア１９はグレーチング床
３２を介して床下チャンバ３４に排出される。床下チャ
ンバ３４に排出されたエアは、その一部が還気エア１６
として空調機１２に戻り、残りのエアがリタンエア３７
としてリタンスペース３６を介して天井室３０に循環さ
れる。 【０００３】このように、従来のクリーンルームの空調
システムでは、一点又は複数点の室内温度を温度センサ
４０によって検出し、その信号に応じて空調機１２を制
御し、クリーンルーム１０に給気する空調エア１８自体
の温度を変更することによりクリーンルーム室内の温度
の制御を行っている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームの空調システムには、一点又は複数点の
検出温度を代表温度として空調エアの温度を変更する
為、クリーンルーム内の温度むらを更に促進してしまう
という欠点がある。例えば、半導体製造工場等のクリー
ンルーム内には、発熱を伴う装置が設置されて稼働して
いるエリアとそうではないエリアが混在している為、必
ず温度センサで検出された温度よりも高い温度又は低い
温度を呈するエリア、即ち温度むらが存在している。従
って、従来のクリーンルームの空調システムでは、温度
が高いエリアは更に温度が高くなり、温度が低いエリア
は更に温度が低くなるため、クリーンルーム内の温度む
らを更に促進してしまうことになる。 【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、クリーンルーム内に温度むらが発生しないよう
に室温をきめ細かく制御することができるクリーンルー
ムの空調システムを提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、空調空気を天井裏空間に配設された給気
ダクトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設
された多数のファンフィルタユニットからクリーンルー
ム内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床
面を形成するグレーチング床から床下空間に排出するク
リーンルームの空調システムに於いて、クリーンルーム
内を縦方向に複数のエリアに分割すると共に、前記エリ
アごとの温度を個々に検出する温度センサを設け、前記
給気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対応さ
せて形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用開閉
ダンパを設け、前記温度センサで検出されるエリアごと
の温度に基づいて前記エリアに対応する給気用開閉ダン
パの開閉率を制御し、前記床下空間に前記エリアごとに
対応して吸込口が形成された排気ダクトを設けると共
に、前記吸込口にそれぞれ排気用開閉ダンパを設け、前
記温度センサで検出されるエリアごとの温度に基づいて
前記エリアに対応する給気用開閉ダンパ及び前記排気用
開閉ダンパの両方の開閉率を制御することを特徴とす
る。 【０００７】 【作用】本発明によれば、クリーンルーム内を縦方向に
複数のエリアに分割し、各エリアごとの検出温度に基づ
いて各エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制
御するようにしたので、ファンフィルタユニットにより
クリーンルーム内に供給するエアの冷熱量または温熱量
をエリアごとにきめ細かく制御することができる。例え
ば、冷房空調の場合、発熱体が設置されているエリアに
は冷熱量を多くし、その他のエリアは冷熱量を少なくす
る。これにより、クリーンルーム内に温度むらが発生し
ないように、きめ細かく室温を制御することができる。 【０００８】 【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの空調システムの好ましい実施例について説明す
る。尚、従来技術で説明したものと同一の装置、部材に
ついては同符号を付して説明し、重複する説明は省略す
る。図１は本発明に係るクリーンルームの空調システム
の第１実施例を説明する全体構成図である。同図に示す
ように、クリーンルーム１０内は縦方向に複数のエリア
Ａ〜Ｆに仮想的に分割されると共に、床下チャンバ３４
の各エリアに対応する位置に、そのエリアごとの代表温
度を検出する温度センサ４０、４０…が設けられる。ま
た各エリアに対応するように形成された給気ダクト２０
の吹出口２１、２１…にはそれぞれ給気用モータダンパ
２２、２２…が配設される。そして、各温度センサ４０
及び各給気用モータダンパ２２は信号ケーブル４１を介
してコントローラ４２に接続される。これによりコント
ローラ４２は、温度センサ４０が検出した各エリアごと
の代表温度に基づいて給気用モータダンパ２２の開度を
調節する。また、リタンスペース３６と天井室３０の境
界位置には、上端が開放された垂直の仕切板３１が設け
られる。 【０００９】次に、上記の如く構成された本発明に係る
クリーンルームの空調システムの作用を冷房空調の例で
説明する。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸
引すると共に、外気１４と還気エア１６とを混合した混
合エアをクリーンルームの設定温度に調整する。空調機
１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２０、吹
出口２１、２１…、給気用モータダンパ２２、２２…を
介してクリーンルーム１０の天井室３０に供給される。
天井室３０に供給された空調エア１８とリタンスペース
３６を介して天上室３０に循環されるリタンエア３７と
が混合され、混合されたエア１９がファンフィルタユニ
ット２４、２４…によりクリーンルーム１０内に下向流
として吹き出される。クリーンルーム１０内に供給され
たエアはグレーチング床３２を介して床下チャンバ３４
に排出される。床下チャンバ３４に排出されたエアの
内、一部のエアが空調機１２に還気エア１６として戻
り、残りのエアはリタンエア３７としてリタンスペース
３６を介して天井室３０に循環される。 【００１０】上記した冷房用の空調エアの流れにおい
て、各エリアＡ〜Ｆの温度は温度センサ４０により逐次
検出されてコントローラ４２に入力される。例えば、ク
リーンルーム内のエリアＡに発熱装置６０が稼働して、
エリアＡの温度が設定温度よりも高くなる、つまり温度
むらが発生すると、コントローラ４２はエリアＡに対応
する給気用モータダンパ２２の開度を大きくする。これ
により、エリアＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２
１から吹き出す冷たい空調エア１８の風量が大きくな
り、エリアＡに吹き出されるエア１９における冷たい空
調エア１８の比率がリタンエア３７に対して大きくな
る。従ってエリアＡに吹き出されるエア１９の冷熱量が
大きくなり、空調機１２で空調エア１８自体の温度を下
げることなくエリアＡのみの温度を局部的に下げること
ができる。 【００１１】このように、本発明のクリーンルームの空
調システムでは、エリアＡ〜Ｆごとの検出温度に基づい
てそのエリアに対応する給気用モータダンパ２２の開閉
率を制御するようにした。これにより、クリーンルーム
内に供給する空調エアの冷熱量をエリアごとに制御する
ことができるので、クリーンルーム内に温度むらが発生
しないようにきめ細かく室内温度を制御することができ
る。 【００１２】また仕切板３１を配設したことにより、リ
タンエア３７が均一に天井室３０に戻る。これにより、
リタンエア３７の温度も均一に保つことができる。図２
は本発明に係るクリーンルームの空調システムの第２実
施例の全体構成図である。図１に示した第１実施例と同
一、類似の部材については同一の符号を付して説明す
る。 【００１３】同図に示すように、第１実施例で説明した
クリーンルーム１０の床下チャンバ３４に、更に、排気
ダクト５０を配設し、各エリアに対応するように形成さ
れた排気ダクト５０の吸込口５１、５１…に排気用モー
タダンパ５２、５２…を配設した。排気用モータダンパ
５２、５２…は信号ケーブル４１を介してコントローラ
４２に接続される。これによりコントローラ４２は、温
度センサ４０が検出した各エリアごとの代表温度に基づ
いて給気用モータダンパ２２、２２…の開度を調節する
と共に、排気用モータダンパ５２、５２…の開度を調節
する。またグレーチング３２を介して床下チャンバ３４
に排出されたエアは、その一部が、排気用モータダンパ
５２、５２…の吸込口５１、５１…から吸い込まれて還
気エア１６として空調機１２に戻る。 【００１４】このように構成された本発明の第２実施例
によれば、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された温度センサ４
０、４０…によって検出された各エリアＡ〜Ｆ毎の代表
温度がコントローラ４２に逐次入力されると、コントロ
ーラ４２は、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された給気用モー
タータンパ２２、２２…及び排気用モータータンパ５
２、５２…の両方の開度を調整する。 【００１５】このように構成された第二実施例によれ
ば、同図に示すように、クリーンルーム１０内のエリア
Ａに発熱装置６０が稼働して、エリアＡの温度が設定温
度よりも高くなると、コントローラ４２はエリアＡに対
応する給気用モータダンパ２２の開度を大きくしてエリ
アＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２１から吹き出
す冷たい空調エア１８の風量を大きくする。同時にコン
トローラ４２はエリアＡに対応する排気用モータダンパ
２２の開度を大きくしてエリアＡから空調機１２に戻さ
れる還気エア１６の量を多くする。これによりエリアＡ
に吹き出されるエア１９の冷熱量が大きくなると共に、
該エリアからより多くの温度の高いエアが空調機１２に
戻る為、第一実施例に比べて、よりきめ細かな温度制御
が可能となりクリーンルーム１０内の温度むらの発生を
更に効率良く防止することができる。 【００１６】尚、上記実施例では、給気ダクトの吹出口
２１、給気用モータダンパ２２、温度センサ４０、排気
ダクトの吸込口５１、排気用モータダンパ５２をそれぞ
れ６台によって構成したが、これに限られるものではな
く、クリーンルームの広さ、機器の設置の仕方に応じて
それぞれの台数を設定すれば良い。上記実施例では、本
発明に係るクリーンルームの空調システムをファンフィ
ルタユニット方式のクリーンルームに適用しているが、
天井チャンバ方式のクリーンルームにも適用することが
できる。 【００１７】上記実施例では、リタンスペースを形成し
たクリーンルームの例で説明したがリタンスペースの無
いクリーンルームにも適用することができる。上記実施
例では、クリーンルーム内の温度制御システムの例で説
明したが、これに限られるものではなく、湿度センサを
用いることにより湿度制御システムとしても適用するこ
とが可能である。 【００１８】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルームの空調システムによれば、空調機から供給され
る空調エア自体の温度を変えることなく、各エリアごと
に供給するエアの冷房熱または温熱量を制御することが
できるので、クリーンルーム内に温度むらが発生しない
ようにすることができる。 【００１９】また、空調機から供給される空調エア自体
の温度を変える必要がないので、空調機の冷却部、加熱
部等の稼働が減少し省エネ化を図ることができる。
ステムに係り、特に、クリーンルームの室内に温度むら
が発生しないように室内温度をきめ細かく制御するクリ
ーンルームの空調システムに関する。 【０００２】 【従来の技術】図３には従来のクリーンルームの空調シ
ステムの全体構成図が示される。同図に示されるよう
に、クリーンルーム１０の空調は空調機１２よって行わ
れる。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸引
し、外気１４と還気エア１６とをクリーンルーム１０内
に配設された温度センサ４０からの信号に応じてクリー
ンルームに給気する空調エア１８の温度を調整する。空
調機１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２
０、給気ダクトに形成された吹出口２１、２１…を介し
て天井室３０に供給され、リタンスペース３６を介して
天井室３０に循環されるリタンエア３７と混合される。
混合されたエア１９はファンフィルタユニット２４、２
４…によりクリーンルーム１０内に供給される。クリー
ンルーム１０内に供給されたエア１９はグレーチング床
３２を介して床下チャンバ３４に排出される。床下チャ
ンバ３４に排出されたエアは、その一部が還気エア１６
として空調機１２に戻り、残りのエアがリタンエア３７
としてリタンスペース３６を介して天井室３０に循環さ
れる。 【０００３】このように、従来のクリーンルームの空調
システムでは、一点又は複数点の室内温度を温度センサ
４０によって検出し、その信号に応じて空調機１２を制
御し、クリーンルーム１０に給気する空調エア１８自体
の温度を変更することによりクリーンルーム室内の温度
の制御を行っている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームの空調システムには、一点又は複数点の
検出温度を代表温度として空調エアの温度を変更する
為、クリーンルーム内の温度むらを更に促進してしまう
という欠点がある。例えば、半導体製造工場等のクリー
ンルーム内には、発熱を伴う装置が設置されて稼働して
いるエリアとそうではないエリアが混在している為、必
ず温度センサで検出された温度よりも高い温度又は低い
温度を呈するエリア、即ち温度むらが存在している。従
って、従来のクリーンルームの空調システムでは、温度
が高いエリアは更に温度が高くなり、温度が低いエリア
は更に温度が低くなるため、クリーンルーム内の温度む
らを更に促進してしまうことになる。 【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、クリーンルーム内に温度むらが発生しないよう
に室温をきめ細かく制御することができるクリーンルー
ムの空調システムを提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、空調空気を天井裏空間に配設された給気
ダクトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設
された多数のファンフィルタユニットからクリーンルー
ム内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床
面を形成するグレーチング床から床下空間に排出するク
リーンルームの空調システムに於いて、クリーンルーム
内を縦方向に複数のエリアに分割すると共に、前記エリ
アごとの温度を個々に検出する温度センサを設け、前記
給気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対応さ
せて形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用開閉
ダンパを設け、前記温度センサで検出されるエリアごと
の温度に基づいて前記エリアに対応する給気用開閉ダン
パの開閉率を制御し、前記床下空間に前記エリアごとに
対応して吸込口が形成された排気ダクトを設けると共
に、前記吸込口にそれぞれ排気用開閉ダンパを設け、前
記温度センサで検出されるエリアごとの温度に基づいて
前記エリアに対応する給気用開閉ダンパ及び前記排気用
開閉ダンパの両方の開閉率を制御することを特徴とす
る。 【０００７】 【作用】本発明によれば、クリーンルーム内を縦方向に
複数のエリアに分割し、各エリアごとの検出温度に基づ
いて各エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制
御するようにしたので、ファンフィルタユニットにより
クリーンルーム内に供給するエアの冷熱量または温熱量
をエリアごとにきめ細かく制御することができる。例え
ば、冷房空調の場合、発熱体が設置されているエリアに
は冷熱量を多くし、その他のエリアは冷熱量を少なくす
る。これにより、クリーンルーム内に温度むらが発生し
ないように、きめ細かく室温を制御することができる。 【０００８】 【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの空調システムの好ましい実施例について説明す
る。尚、従来技術で説明したものと同一の装置、部材に
ついては同符号を付して説明し、重複する説明は省略す
る。図１は本発明に係るクリーンルームの空調システム
の第１実施例を説明する全体構成図である。同図に示す
ように、クリーンルーム１０内は縦方向に複数のエリア
Ａ〜Ｆに仮想的に分割されると共に、床下チャンバ３４
の各エリアに対応する位置に、そのエリアごとの代表温
度を検出する温度センサ４０、４０…が設けられる。ま
た各エリアに対応するように形成された給気ダクト２０
の吹出口２１、２１…にはそれぞれ給気用モータダンパ
２２、２２…が配設される。そして、各温度センサ４０
及び各給気用モータダンパ２２は信号ケーブル４１を介
してコントローラ４２に接続される。これによりコント
ローラ４２は、温度センサ４０が検出した各エリアごと
の代表温度に基づいて給気用モータダンパ２２の開度を
調節する。また、リタンスペース３６と天井室３０の境
界位置には、上端が開放された垂直の仕切板３１が設け
られる。 【０００９】次に、上記の如く構成された本発明に係る
クリーンルームの空調システムの作用を冷房空調の例で
説明する。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸
引すると共に、外気１４と還気エア１６とを混合した混
合エアをクリーンルームの設定温度に調整する。空調機
１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２０、吹
出口２１、２１…、給気用モータダンパ２２、２２…を
介してクリーンルーム１０の天井室３０に供給される。
天井室３０に供給された空調エア１８とリタンスペース
３６を介して天上室３０に循環されるリタンエア３７と
が混合され、混合されたエア１９がファンフィルタユニ
ット２４、２４…によりクリーンルーム１０内に下向流
として吹き出される。クリーンルーム１０内に供給され
たエアはグレーチング床３２を介して床下チャンバ３４
に排出される。床下チャンバ３４に排出されたエアの
内、一部のエアが空調機１２に還気エア１６として戻
り、残りのエアはリタンエア３７としてリタンスペース
３６を介して天井室３０に循環される。 【００１０】上記した冷房用の空調エアの流れにおい
て、各エリアＡ〜Ｆの温度は温度センサ４０により逐次
検出されてコントローラ４２に入力される。例えば、ク
リーンルーム内のエリアＡに発熱装置６０が稼働して、
エリアＡの温度が設定温度よりも高くなる、つまり温度
むらが発生すると、コントローラ４２はエリアＡに対応
する給気用モータダンパ２２の開度を大きくする。これ
により、エリアＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２
１から吹き出す冷たい空調エア１８の風量が大きくな
り、エリアＡに吹き出されるエア１９における冷たい空
調エア１８の比率がリタンエア３７に対して大きくな
る。従ってエリアＡに吹き出されるエア１９の冷熱量が
大きくなり、空調機１２で空調エア１８自体の温度を下
げることなくエリアＡのみの温度を局部的に下げること
ができる。 【００１１】このように、本発明のクリーンルームの空
調システムでは、エリアＡ〜Ｆごとの検出温度に基づい
てそのエリアに対応する給気用モータダンパ２２の開閉
率を制御するようにした。これにより、クリーンルーム
内に供給する空調エアの冷熱量をエリアごとに制御する
ことができるので、クリーンルーム内に温度むらが発生
しないようにきめ細かく室内温度を制御することができ
る。 【００１２】また仕切板３１を配設したことにより、リ
タンエア３７が均一に天井室３０に戻る。これにより、
リタンエア３７の温度も均一に保つことができる。図２
は本発明に係るクリーンルームの空調システムの第２実
施例の全体構成図である。図１に示した第１実施例と同
一、類似の部材については同一の符号を付して説明す
る。 【００１３】同図に示すように、第１実施例で説明した
クリーンルーム１０の床下チャンバ３４に、更に、排気
ダクト５０を配設し、各エリアに対応するように形成さ
れた排気ダクト５０の吸込口５１、５１…に排気用モー
タダンパ５２、５２…を配設した。排気用モータダンパ
５２、５２…は信号ケーブル４１を介してコントローラ
４２に接続される。これによりコントローラ４２は、温
度センサ４０が検出した各エリアごとの代表温度に基づ
いて給気用モータダンパ２２、２２…の開度を調節する
と共に、排気用モータダンパ５２、５２…の開度を調節
する。またグレーチング３２を介して床下チャンバ３４
に排出されたエアは、その一部が、排気用モータダンパ
５２、５２…の吸込口５１、５１…から吸い込まれて還
気エア１６として空調機１２に戻る。 【００１４】このように構成された本発明の第２実施例
によれば、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された温度センサ４
０、４０…によって検出された各エリアＡ〜Ｆ毎の代表
温度がコントローラ４２に逐次入力されると、コントロ
ーラ４２は、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された給気用モー
タータンパ２２、２２…及び排気用モータータンパ５
２、５２…の両方の開度を調整する。 【００１５】このように構成された第二実施例によれ
ば、同図に示すように、クリーンルーム１０内のエリア
Ａに発熱装置６０が稼働して、エリアＡの温度が設定温
度よりも高くなると、コントローラ４２はエリアＡに対
応する給気用モータダンパ２２の開度を大きくしてエリ
アＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２１から吹き出
す冷たい空調エア１８の風量を大きくする。同時にコン
トローラ４２はエリアＡに対応する排気用モータダンパ
２２の開度を大きくしてエリアＡから空調機１２に戻さ
れる還気エア１６の量を多くする。これによりエリアＡ
に吹き出されるエア１９の冷熱量が大きくなると共に、
該エリアからより多くの温度の高いエアが空調機１２に
戻る為、第一実施例に比べて、よりきめ細かな温度制御
が可能となりクリーンルーム１０内の温度むらの発生を
更に効率良く防止することができる。 【００１６】尚、上記実施例では、給気ダクトの吹出口
２１、給気用モータダンパ２２、温度センサ４０、排気
ダクトの吸込口５１、排気用モータダンパ５２をそれぞ
れ６台によって構成したが、これに限られるものではな
く、クリーンルームの広さ、機器の設置の仕方に応じて
それぞれの台数を設定すれば良い。上記実施例では、本
発明に係るクリーンルームの空調システムをファンフィ
ルタユニット方式のクリーンルームに適用しているが、
天井チャンバ方式のクリーンルームにも適用することが
できる。 【００１７】上記実施例では、リタンスペースを形成し
たクリーンルームの例で説明したがリタンスペースの無
いクリーンルームにも適用することができる。上記実施
例では、クリーンルーム内の温度制御システムの例で説
明したが、これに限られるものではなく、湿度センサを
用いることにより湿度制御システムとしても適用するこ
とが可能である。 【００１８】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルームの空調システムによれば、空調機から供給され
る空調エア自体の温度を変えることなく、各エリアごと
に供給するエアの冷房熱または温熱量を制御することが
できるので、クリーンルーム内に温度むらが発生しない
ようにすることができる。 【００１９】また、空調機から供給される空調エア自体
の温度を変える必要がないので、空調機の冷却部、加熱
部等の稼働が減少し省エネ化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るクリーンルームの空調システムの
第１実施例を説明する全体構成図 【図２】本発明に係るクリーンルームの空調システムの
第２実施例を説明する全体構成図 【図３】従来のクリーンルームの空調システムを説明す
る全体構成図 【符号の説明】 １０…クリーンルーム １２…空調機 ２０…給気ダクト ２１…吹出口 ２２…給気用モータダンパ ３１…仕切板 ４０…温度センサ ４２…コントロー
ラ ５０…排気ダクト ５１…吸込口 ５２…排気用モータダンパ ６０…発熱装置
第１実施例を説明する全体構成図 【図２】本発明に係るクリーンルームの空調システムの
第２実施例を説明する全体構成図 【図３】従来のクリーンルームの空調システムを説明す
る全体構成図 【符号の説明】 １０…クリーンルーム １２…空調機 ２０…給気ダクト ２１…吹出口 ２２…給気用モータダンパ ３１…仕切板 ４０…温度センサ ４２…コントロー
ラ ５０…排気ダクト ５１…吸込口 ５２…排気用モータダンパ ６０…発熱装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】空調空気を天井裏空間に配設された給気ダ
クトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設さ
れた多数のファンフィルタユニットからクリーンルーム
内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床面
を形成するグレーチング床から床下空間に排出するクリ
ーンルームの空調システムに於いて、 前記クリーンルーム内を縦方向に複数のエリアに分割す
ると共に、前記エリアごとの温度を個々に検出する温度
センサを設け、 前記給気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対
応させて形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用
開閉ダンパを設け、 前記温度センサで検出されるエリアごとの温度に基づい
て前記エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制
御し、 前記床下空間に、前記エリアごとに対応して吸込口が形
成された排気ダクトを設けると共に、前記吸込口にそれ
ぞれ排気用開閉ダンパを設け、前期温度センサで検出さ
れるエリアごとの温度に基づいて前記エリアに対応する
給気用開閉ダンパ及び前記排気用開閉ダンパの両方の 開
閉率を制御することを特徴とするクリーンルームの空調
システム。
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|---|---|---|---|
| JP11637195A JP3503265B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | クリーンルームの空調システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11637195A JP3503265B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | クリーンルームの空調システム |
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| JP3503265B2 true JP3503265B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=14685331
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11637195A Expired - Fee Related JP3503265B2 (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | クリーンルームの空調システム |
Country Status (1)
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1995
- 1995-04-18 JP JP11637195A patent/JP3503265B2/ja not_active Expired - Fee Related
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