JP2006144585A - ファン装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 筐体内部の空気を排気するために設けられるファン装置の排気風量の制御を、電気的ノイズを発生させず、かつ簡易に行なう。
【解決手段】 筐体1の内部の空気を排気するために筐体1の内部空間に連通する排気ダクト4の流通経路上に設けられるファン装置5を、排気ダクト4の流通経路中に、排気空気の風量を制限するための絞り機構51を備えて構成する。
【選択図】 図2
【解決手段】 筐体1の内部の空気を排気するために筐体1の内部空間に連通する排気ダクト4の流通経路上に設けられるファン装置5を、排気ダクト4の流通経路中に、排気空気の風量を制限するための絞り機構51を備えて構成する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、筐体内部の空気を排気するために筐体内部に連通する排気ダクトの流通経路上に設けられるファン装置に関する。
半導体検査装置等の精密機器の動作には、クリーンかつ一定温度の動作環境を必要とするために、このような精密機器を収容して外界から遮蔽する筐体を使用する場合がある。図1にそのような精密機器を収納するための筐体の構成を示す。
筐体1は、半導体検査装置等の収容機器2をその内部に収容している。筐体1は、その上部に吸気用ダクト3を備え下部に排気用ダクト4を備える。吸気用ダクト3からは図示しないエアフィルタを経由した一定温度の空気が送風され、この空気を排気ダクト4の流通経路上に設けられるファン装置5により吸い出すことにより、装置筐体内部にダウンフローを生じさせる。これにより装置筐体内部は収容機器2が発生させる熱及びダストに関わらず、筐体1内部をクリーンかつ一定温度に維持することが可能である。
また、ファン装置5は、筐体1内部の空気を吸い出すことにより筐体1内部の気圧を収容機器2内部の気圧よりも僅かに下げ、筐体1内部にダストが存在したとしても、これが収容機器2に流入することをも防止する役割を果たしている。なお収容機器2には、筐体1の吸気用ダクト3とは別に空気流入経路21が設けられており、図示しないエアフィルタを経由した空気が供給されている。
なお、本発明に関して記載すべき先行技術文献はない。出願人が知っている先行技術が文献公知発明に係るものではないからである。
かかる筐体1のファン装置5においては、その排気風量が少なすぎると、収容機器2が発生させる熱により筐体1内部を一定温度に維持することができなくなり、一方で多すぎると振動を発生させて収容機器2の動作に悪影響を与える。したがって、ファン装置5による排気風量は適正な風量に調整される必要がある。
しかしながら、収容機器2を使用する設置環境によって排気用ダクト4の長さは様々であり、その管内抵抗によって排気流量も変化する。このような排気用ダクト4の長さの変化に応じてファン装置5の風量を変えるために駆動モータの回転数を制御しようとすると、インバータ制御が必要となりその発生ノイズが収容機器2に悪影響を及ぼす。一方排気用ダクト4の長さの変化に応じて、様々な定格の駆動モータを用意してファン装置5に取り付けるのは煩雑である。
上記問題点を鑑みて、本発明は、筐体内部の空気を排気するために設けられるファン装置の排気風量の制御を、電気的ノイズを発生させず、かつ簡易に行なうことを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るファン装置は、排気空気の流通経路中に、排気空気の風量を調節するための絞り機構を備える。
さらに、本発明に係るファン装置は、上記の絞り機構の開口径を変更する絞り量調節部を備える。このとき上記ファン装置は、筐体内部の温度を検出する温度センサを備え、上記絞り量調節部は、筐体内部の温度が所定の温度よりも高いとき、所定の温度よりも低いときよりも絞り機構の開口径を拡大する。
さらに、本発明に係るファン装置は、上記の絞り機構の開口径を変更する絞り量調節部を備える。このとき上記ファン装置は、筐体内部の温度を検出する温度センサを備え、上記絞り量調節部は、筐体内部の温度が所定の温度よりも高いとき、所定の温度よりも低いときよりも絞り機構の開口径を拡大する。
また、上記ファン装置は筐体内部の振動を検出する振動センサを備えることとしてよく、絞り量調節部は、筐体内部の所定周波数の振動が、所定の強度よりも強いとき、所定の強度よりも弱いときよりも絞り機構の開口径を縮小することとしてもよい。
さらにまた、上記ファン装置は筐体内部の気圧を検出する第1の圧力センサと、筐体に収容される装置の内部気圧を検出する第2の圧力センサと、を備えることとしてよく、絞り量調節部は、筐体内部の気圧が筐体に収容される装置の内部気圧よりも高いとき、筐体内部の気圧が筐体に収容される装置の内部気圧よりも低いときよりも絞り機構の開口径を拡大することとしてもよい。
さらにまた、上記ファン装置は筐体内部の気圧を検出する第1の圧力センサと、筐体に収容される装置の内部気圧を検出する第2の圧力センサと、を備えることとしてよく、絞り量調節部は、筐体内部の気圧が筐体に収容される装置の内部気圧よりも高いとき、筐体内部の気圧が筐体に収容される装置の内部気圧よりも低いときよりも絞り機構の開口径を拡大することとしてもよい。
上記絞り機構には、種々の可変式絞り機構を採用可能であり、例えばアイリス絞り機構を採用することとしてよい。
本発明によれば、排気空気の流通経路中に絞り機構を備えることにより、ファン装置のモータ回転数を制御することなく、排気流量を簡易に可変とすることが可能となる。これによりモータ回転制御により生じるノイズの発生を防止することが可能となる。
さらに、上記のように筐体内部やこれに収容される装置内部の温度、振動又は圧力に応じて絞り機構の開口径を変更することにより、排気風量をコントロールして筐体内部のコンディションを良好に維持することが可能となる。
また、上記絞り機構にアイリス絞りを採用することにより、絞り機構を薄く構成することが可能となり、ファン装置を小型にすることが可能となる。
また、上記絞り機構にアイリス絞りを採用することにより、絞り機構を薄く構成することが可能となり、ファン装置を小型にすることが可能となる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図2は、本発明の実施例に係るファン装置を備える機器収容用筐体の構成図である。図示するとおり、筐体1は、半導体検査装置等の収容機器2をその内部に収容している。筐体1は、その上部に吸気用ダクト3を備え下部に排気用ダクト4を備える。吸気用ダクト3からは図示しないエアフィルタを経由した一定温度の空気が送風され、この空気は、排気ダクト4の流通経路上に設けられるファン装置5により吸い出される。
排気空気の流通経路である排気ダクト4の経路中には、排気空気の風量を調節するための絞り機構51が設けられている。なお、絞り機構51はファン装置5よりも排気空気の上流側の位置51に設けてもよく、または下流側の位置51’に設けてもよい。
さらに、ファン装置5には、筐体1内部の温度、振動及び気圧をそれぞれ検出する温度センサ71、振動センサ72及び圧力センサ73と、筐体1内部に収容される収容機器2の内部の温度、振動及び気圧をそれぞれ検出する温度センサ74、振動センサ75及び圧力センサ76と、これらセンサの検出値に基づいて、後述の通り絞り機構51の開口径を変更する絞り量調節部52と、を備えている。
さらに、ファン装置5には、筐体1内部の温度、振動及び気圧をそれぞれ検出する温度センサ71、振動センサ72及び圧力センサ73と、筐体1内部に収容される収容機器2の内部の温度、振動及び気圧をそれぞれ検出する温度センサ74、振動センサ75及び圧力センサ76と、これらセンサの検出値に基づいて、後述の通り絞り機構51の開口径を変更する絞り量調節部52と、を備えている。
図3は、図2のファン装置に設けられる絞り機構51の構成図である。図3(A)に示すように、絞り機構51はいわゆるアイリス絞り機構を採用しており、絞り羽根54と回転部材53と、アクチュエータ58とを備えている。
絞り羽根54は、絞り機構51の回転軸ピン57に回転可能に固定されており、突起部55が回転部材53の切欠き部56に係合している。そして、図3(B)に示すように、アクチュエータ58が回転部材53の突起部59を移動させることにより、回転部材53が回転するのに伴って絞り羽根54も回転軸ピン57を中心軸として回転し、この結果絞り機構51の開口径が変更される。アクチュエータ58は、上記の絞り量調節部52からの制御信号によって、回転部材53の突起部59の回転位置(移動量)を変更することが可能である。
絞り羽根54は、絞り機構51の回転軸ピン57に回転可能に固定されており、突起部55が回転部材53の切欠き部56に係合している。そして、図3(B)に示すように、アクチュエータ58が回転部材53の突起部59を移動させることにより、回転部材53が回転するのに伴って絞り羽根54も回転軸ピン57を中心軸として回転し、この結果絞り機構51の開口径が変更される。アクチュエータ58は、上記の絞り量調節部52からの制御信号によって、回転部材53の突起部59の回転位置(移動量)を変更することが可能である。
再び図2に戻り、絞り量調節部52による絞り機構51の開口径の制御方法を説明する。絞り量調節部52は、温度センサ71により筐体1の内部の温度Td1を検出する。そして、検出温度Td1が所定の閾値温度Tthよりも低い場合には、絞り機構の開口径を比較的小さいDt1に絞り、反対に所定の閾値温度Tthよりも高い場合には、絞り機構の開口径をDt1より大きいDt2に拡大する。なお温度センサ71の代わりに、収容機器2の内部の温度を検出する温度センサ74を用いて、同様の制御を行なうこととしてもよく、また絞り量調節部52は、絞り機構51の開口径を検出温度Td1に応じて、検出温度Td1が高いとき開口径を拡大するように無段階に調節してもよい。
あるいは、絞り量調節部52は、排気風量が過多である際に生じる振動を抑制するために、筐体1内部における振動強度を振動センサ72によって検出し、この検出強度に応じて絞り機構51の開口径を制御することとしてもよい。すなわち、絞り量調節部52は、振動センサ72により筐体1の内部の所定の振動周波数の振動の強度Vd1を検出する。そして、検出強度Vd1が所定の閾値強度Vthよりも強い場合には、絞り機構の開口径を比較的小さいDv1にまで絞り、反対に所定の閾値強度Vthよりも弱い場合には、絞り機構の開口径をDv1より大きいDv2に拡大する。
ここで、排気により生じる振動の周波数が、ファン装置5のモータ回転数に依存することが分かっている場合には、振動センサ72が検出対象とする振動周波数を、ファン装置5のモータの既知のモータ回転数に応じて予め定めることとしてよい。
また、振動センサ72の代わりに、収容機器2の内部の温度を検出する振動センサ75を用いて、同様の制御を行なうこととしてもよい。また絞り量調節部52は、絞り機構51の開口径を検出強度Vd1に応じて、検出強度Vd1が強いとき開口径を縮小するように無段階に調節してもよい。
また、振動センサ72の代わりに、収容機器2の内部の温度を検出する振動センサ75を用いて、同様の制御を行なうこととしてもよい。また絞り量調節部52は、絞り機構51の開口径を検出強度Vd1に応じて、検出強度Vd1が強いとき開口径を縮小するように無段階に調節してもよい。
さらに、絞り量調節部52は、筐体1内部の空気を吸い出すことにより筐体1内部の気圧を収容機器2内部の気圧よりも僅かに下げ、筐体1内部にダストが存在したとしても、これが収容機器2に流入することを防止するために、筐体1内部における気圧と、収容機器2内部の気圧と、をそれぞれ圧力センサ73及び76によって検出し、この検出気圧の差に応じて絞り機構51の開口径を制御することとしてもよい。
すなわち、絞り量調節部52は、圧力センサ73及び圧力センサ76により、それぞれ筐体1の内部の気圧Pd1及び収容機器2内部の気圧Pd2を検出する。
そして、検出された筐体1の内部の気圧Pd1が収容機器2の内部の気圧Pd2よりも低い場合には、絞り機構の開口径を比較的小さいDp1にまで絞り、反対に筐体1の内部の気圧Pd1が収容機器2の内部の気圧Pd2よりも高い場合には、絞り機構の開口径をDp1より大きいDp2に拡大する。
そして、検出された筐体1の内部の気圧Pd1が収容機器2の内部の気圧Pd2よりも低い場合には、絞り機構の開口径を比較的小さいDp1にまで絞り、反対に筐体1の内部の気圧Pd1が収容機器2の内部の気圧Pd2よりも高い場合には、絞り機構の開口径をDp1より大きいDp2に拡大する。
なお、収容機器2には、図1と同様に、筐体1の吸気用ダクト3とは別に空気流入経路12が設けられており、図示しないエアフィルタを経由した空気が供給されていることとしてよい。また絞り量調節部52は、絞り機構51の開口径を、筐体1の内部の気圧Pd1及び収容機器2内部の気圧Pd2の差圧に応じて、差圧(Pd1−Pd2)が大きいとき開口径を拡大するように無段階に調節してもよい。
本発明は、筐体内部の空気を排気するために筐体内部に連通する排気ダクトの流通経路上に設けられるファン装置に広く適用可能であるが、特に、半導体検査装置等の収容機器を一定温度かつクリーンな環境で動作させるために、この収容機器を収容して外界から遮蔽する筐体の排気用ファン装置に好適に適用可能である。
1 筐体
2 収容機器
3 吸気ダクト
4 排気ダクト
5 ファン装置
51 絞り機構
52 絞り量調節部
71、74 温度センサ
72、75 振動センサ
73、76 圧力センサ
2 収容機器
3 吸気ダクト
4 排気ダクト
5 ファン装置
51 絞り機構
52 絞り量調節部
71、74 温度センサ
72、75 振動センサ
73、76 圧力センサ
Claims (6)
- 筐体内部の空気を排気するために、前記筐体の内部空間に連通する排気ダクトの流通経路上に設けられるファン装置において、
排気空気の流通経路中に、該排気空気の風量を調節するための絞り機構を備えることを特徴とするファン装置。 - さらに、前記絞り機構の開口径を変更する絞り量調節部を備えることを特徴とするファン装置。
- さらに、前記筐体内部の温度を検出する温度センサを備え、
前記絞り量調節部は、前記筐体内部の温度が所定の温度よりも高いとき、所定の温度よりも低いときよりも前記絞り機構の開口径を拡大することを特徴とする請求項2に記載のファン装置。 - さらに、前記筐体内部の振動を検出する振動センサを備え、
前記絞り量調節部は、前記筐体内部の所定周波数の振動が、所定の強度よりも強いとき、所定の強度よりも弱いときよりも前記絞り機構の開口径を縮小することを特徴とする請求項2に記載のファン装置。 - さらに、前記筐体内部の気圧を検出する第1の圧力センサと、該筐体に収容される装置の内部気圧を検出する第2の圧力センサと、を備え、
前記絞り量調節部は、前記筐体内部の気圧が該筐体に収容される装置の内部気圧よりも高いとき、前記筐体内部の気圧が該筐体に収容される装置の内部気圧よりも低いときよりも前記絞り機構の開口径を拡大することを特徴とする請求項2に記載のファン装置。 - 前記絞り機構は、アイリス絞り機構であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のファン装置。
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