JPH01118046A

JPH01118046A - 空気清浄隔離装置

Info

Publication number: JPH01118046A
Application number: JP27534087A
Authority: JP
Inventors: Toshiharu Okazaki; 岡崎　俊春
Original assignee: Sanken Setsubi Kogyo Co Ltd
Current assignee: Sanken Setsubi Kogyo Co Ltd
Priority date: 1987-10-30
Filing date: 1987-10-30
Publication date: 1989-05-10
Anticipated expiration: 2012-11-05
Also published as: JP2672098B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体製造工程などに使用される空気清浄室
において、人体に有害な物質や防災上危険な物質を取り
扱う場合、あるいは組み替えＤＮＡ実験などに使用され
るハザード対策施設において、高い清浄度が要求される
実験を行う場合、取扱い物質が周囲環境へ漏洩するのを
防ぎ、隔離しながら室内の空気清浄度を所望する程度に
保持するための装置に関する。

（従来の技術）半導体素子等の製造においては、従来から高清浄度の空
気環境が要求され、通常クリーンルームが使用されてい
るが、毒性が強かったりあるいは反応性の高いガスや薬
品を取り扱う場合には、かかる危険物質を室外に拡散さ
せずに隔離するために、室内空気圧を周囲環境に対し陰
圧となるように制御することが行われている。

また、組み替えＤＮＡ実験等のためのハザード対策施設
、例えば、Ｐ３対応の施設においても、実験取扱い物質
が室外へ漏出しないようにするために、室内空気圧を周
囲環境よりも低くする陰圧管理が行なわれている。

このような従来装置としては、例えば第７図に示すよう
な装置が知られている。第７図においては、聖人外気を
空調機１で所定の温湿度に空調し、送風ダクト２により
ＨＥＰＡフィルタ等の空気清浄化装置３へ送って清浄化
した空気を、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃへ送
入した後、排気ダクト４から排気処理装置５を経て周囲
環境Ｅへ排気することにより、クリーンルーム又はハザ
ード対策室Ｃの空調及び清浄保持を行っている。この場
合、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃ内の空気圧は
、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くなるように、送風量及
び排気量が制御されている。Ａは隣室であり、空調機６
によって所定の温湿度に空調された空気を、送風ダクト
７を介して送入し、還気ダクト８から再び空調機６へ循
環し、外気を一部取り入れながら再使用することにより
、空調している。また、Ｂは、送風ダクト２．７などが
配設されている天井裏である。

（発明が解決しようとする問題点）かかる従来の装置では、クリーンルーム又はハザード対
策室Ｃのあらゆる隙間をシールし、完全に気密とするこ
とが困難であるため、矢印ａ、ｂ、ｅで示すように、ど
うしても隣室Ａ、天井裏Ｂ、周囲環境Ｅなどから汚染空
気が漏入し、室内空気を高清浄度に保持することが極め
て困難である。

例えば、室内清浄度がクラス１，０００　、周囲の清浄
度がクラスｉ　、ｏｏｏ、ｏｏｏ相当、送風量が１００
回／時間の場合、リーク量が０．１回／時間でも、室内
清浄度を満足なレベルに維持することができない。

特に、クリーンルーム又はハザード対策室Ｃに電気、ガ
ス、水などの配管を行う場合は、配管取付部を完全にシ
ールすることが難しく、汚染空気の漏入を阻止すること
がますます困難になる。

（問題を解決するための手段）本発明は、かかる従来装置の問題点を解消し、室内で処
理している危険物質が周囲環境へ漏洩するのを防止、隔
離しながら室内の空気清浄度を高度に保持することがで
きる装置を提供するものであり、周囲環境の中に、所定
の清浄度および所定の空気圧に制御される空調室を配置
し、該空調室の空気圧を周囲環境の空気圧よりも低く維
持すると共に、周囲環境と該空調室との間に、周囲環境
の空気圧よりも高いか若しくは該空調室の空気圧よりも
低い空気圧に維持した絶縁領域を設け、該絶縁領域で該
空調室を実質的に包囲したことを特徴とする空気清浄隔
離装置である。

（作用）本発明の空気清浄隔離装置によれば、空調室の空気圧を
周囲環境の空気圧よりも低く維持すると共に、周囲環境
と該空調室との間に、周囲環境の空気圧よりも高いか若
しくは該空調室の空気圧よりも低い空気圧に維持した絶
縁領域を配置している。そのため、前者の場合は、第５
図に模式的に示すように、絶縁領域の空気圧が最も高く
なり、空調室からの空気（危険物質）の漏出は完全に防
止される。また、周囲環境からの清浄度の低い空気の漏
入も阻止される。一方、後者の場合は、第６図に示すよ
うに、絶縁領域の空気圧が最も低（なり、空調室からの
空気（危険物質）の漏洩があっても、絶縁領域に吸収さ
れ周囲環境へ排出されるようなことがない。また、周囲
環境からの清浄度の低い空気も、この絶縁領域に吸収さ
れ該絶縁領域よりも空気圧の高い空調室へは漏入しない
。

従って、室内の空気（危険物質）が周囲環境へ漏出する
のを防止しつつ、空調室内の空気清浄度を高度に保持す
ることができる。

（実施例）以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。

第１図は、本発明装置の一例を示す断面図であり、空調
室Ｃと周囲環境Ｅとの間に、空調室Ｃを実質的に包囲す
る絶縁領域Ｓが設けられている。

■は数人外気を所定の温湿度に空調する空調装置、２は
送風ダクト、３はダンパ、４はＨＥＰＡフィルタ等の送
風用空気清浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６は
ダンパ、７は排気ダクト、８は排気処理装置、９は絶縁
領域Ｓへ送風するためのダンパ、１０はその空気清浄化
装置である。

数人外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、送
風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清浄
化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの排
気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ６、
排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質などを
除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶８Ｍ領域Ｓ
へも、ダンパ９を経て、空気清浄化装置１０で清浄化さ
れた空気が送入されている。

ここで、空調室Ｃ内の空気圧は、周囲環境Ｅの空気圧よ
りも低くなるように、ダンパ３．６の開度を制御するこ
とによって調節されている。また、絶縁領域Ｓの空気圧
は、周囲環境Ｅの空気圧よりも高くなるように、ダンパ
９の開度を制御することによって８周節されている。

なお、周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は０．１〜
１５ｍｍ水柱、また、周囲環境Ｅと絶縁領域Ｓとの空気
圧の差は、０．１〜１０ｎＩＩＩ＋水柱とするのが好ま
しい。

この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及び
周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも高くなっているので
、空気の漏洩は、矢印Ｓで示すように絶縁領域Ｓがら空
調室Ｃ，絶！！領域Ｓから周囲環境Ｅの方向へ生じ、空
調室Ｃの空気（危険物質）が室外へ漏出するようなこと
がなく、また、周囲環境Ｅの清浄度の低い空気が空調室
Ｃ内へ漏入するようなこともない。

第２図は、第１図に示した装置の改良であり、空調室Ｃ
内に安全キャビネット、クリーンベンチ、ドラフトチャ
ンバ等の装置１１を設け、空調室Ｃ内の空気をファン１
２で一部循環させ、空気清浄化装置１３により、更に空
気の清浄度を高めている。また、安全キャビネット等の
装置１１の上部にも排気用空気清浄化装置１４、排気ダ
クト１５、排気処理装置１６が設けられている。また、
空調室Ｃと絶縁領域Ｓとの間には、画室の空気圧を調節
するための差圧調整装置１７が設けられている。なお、
１８はエアシャワー、１９はエアロツタ、２０はパスボ
ックス、２１は電線、２２は電線管、２３は排水管であ
る。電線管２２、排水管２３などは、第２図に示すよう
に絶縁領域Ｓ内で切り離しておくのが、隔離性を向上さ
せるうえで好ましい。また、パスボックス２０には、絶
縁領域Ｓへの開放部２４を設けることによって、隔離性
を向上させることができる。

なお、装置１１に付属するファン１２は、排気処理装置
１６等の排気ファン能力が十分であれば、設けなくでも
よい。また、空気清浄化装置１３は、要求される清浄度
がそれほど高くない場合には、設けなくてもよい。

第３図は、本発明の他の実施例を示す断面図であり、空
調室Ｃと周囲環境Ｅとの間に、やはり空調室Ｃを実質的
に包囲する絶縁領域Ｓが設けられている。１は数人外気
を所定の温湿度に空調する空調装置、２は、送風ダクト
、３はダンパ、４はＨＥＰＡフィルタ等の送風用空気清
浄化装置、５は排気用空気清浄化装置、６はダンパ、７
は排気ダクト、８は排気処理装置、２５は絶縁領域Ｓか
らの排気用空気清浄化装置、２６はダンパである。

数人外気は、空調装置１で所定の温湿度に空調され、送
風ダクト２、ダンパ３を経て、空気清浄化装置４で清浄
化された後、空調室Ｃへ送入される。空調室Ｃからの排
気は、空気清浄化装置５で清浄化された後、ダンパ６、
排気ダクト７を経て、排気処理装置８で危険物質などを
除去し、周囲環境Ｅへ排出される。また、絶縁領域Ｓか
らの排気は、空気清浄化装置２５で清浄化され、ダンパ
９を経て、排気ダクト７に合流する。

空調室Ｃの空気圧は、第１図に示した装置の場合と同様
にして、周囲環境Ｅの空気圧よりも低くな−るように制
御されている。また、絶縁領域Ｓの空気圧は、空調室Ｃ
の空気圧よりも低くなるように、ダンパ２６の開度を制
御することによって調節されている。

周囲環境Ｅと空調室Ｃとの空気圧の差は０．１〜１５ｍ
ｍ水柱、また、空調室Ｃと絶縁領域Ｓとの空気圧の差は
、０．１〜１０ｍｍ水柱とするのが好適である。

この実施例では、絶縁領域Ｓの空気圧が、空調室Ｃ及び
周囲環境Ｅのいずれの空気圧よりも低くなっているので
、空気の漏洩は矢印Ｃで示すように空調室Ｃから絶縁領
域Ｓへ、矢印ｅで示すように周囲環境Ｅから絶縁領域Ｓ
へと生じ、空調室Ｃから漏出した空気（危険物質）及び
周囲環境Ｅから漏入した清浄度の低い空気は、絶縁領域
Ｓから空気清浄化装置２５、ダンパ２６、排気ダクト７
を経て、排気処理装置８で危険物質を除去した後、周囲
環境Ｅへ排出される。

従って、室内空気（危険物質）が直接周囲環境Ｅへ漏出
するようなことがなく、また、周囲環境Ｅの清浄度の低
い空気が空調室Ｃ内へ漏入するようなこともない。

第４図は、第３図に示した装置を、第２図に示した装置
と同様に改良した装置を示すものである。

以上の各実施態様において、空調室Ｃ及び絶縁領域Ｓの
空気圧を所定の圧力に維持するには、各ダンパの開度を
事前にセットしておいてもよいが、各領域間の差圧又は
各領域の絶対圧を検出して、自動制御するようにしても
よい。

また、第２図及び第４図に示すように、床面のような、
十分に気密性を保持できる部分は、空調室を絶縁領域で
包囲しなくてもよい。

更に、絶縁領域Ｓは、該領域の清浄度及び危険度を考慮
したうえで、通路又はメンテナンススペースとすること
ができ、あるいは厚壁の中空隔壁とすることもできる。

（発明の効果）本発明によれば、危険物質等の取扱い物質が空調室から
周囲環境へ漏出するのを防ぎながら、空調室内の空気清
浄度を高度に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は、本発明装置の実施態様を示す断面図
、第５図及び第６図は、本発明装置の作用を示す説明図
、第７図は、従来装置を示す断面図である。Ｅ・・・・・・周囲環境、Ｃ・・・・・・空調室、Ｓ・・・・・・絶縁領域。

Claims

【特許請求の範囲】

１、周囲環境の中に、所定の清浄度および所定の空気圧
に制御される空調室を配置し、該空調室の空気圧を周囲
環境の空気圧よりも低く維持すると共に、周囲環境と該
空調室との間に、周囲環境の空気圧よりも高いか若しく
は該空調室の空気圧よりも低い空気圧に維持した絶縁領
域を設け、該絶縁領域で該空調室を実質的に包囲したこ
とを特徴とする空気清浄隔離装置。