JPH0791702A - エアシヤワー装置 - Google Patents
エアシヤワー装置Info
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- JPH0791702A JPH0791702A JP26573993A JP26573993A JPH0791702A JP H0791702 A JPH0791702 A JP H0791702A JP 26573993 A JP26573993 A JP 26573993A JP 26573993 A JP26573993 A JP 26573993A JP H0791702 A JPH0791702 A JP H0791702A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 エアシヤワー室内の空気を負圧とする。
【構成】 エアシヤワー室４と該室側壁に形成された浄
化空気供給室１２とを備え、浄化空気供給室において浄
化された空気を噴出ノズル１０からエアシヤワー室内に
噴出する。そしてこのエアシヤワー室内の空気を下方か
ら浄化空気供給室内に吸引し浄化して循環する。さらに
この浄化空気供給室には、外気に通ずる空気排出孔２１
を形成する。そしてこの排出孔には排出空気量を調整す
る調整部材２２を備え、循環空気の一部を排出し、エア
シヤワー室を負圧に保持する。 【効果】 浄化空気供給室内の圧力空気の一部を外部に
排出することにより、エアシヤワー室内に噴射される空
気量は送気フアンによりエアシヤワー室から吸引する空
気量より減少しエアシヤワー室内は負圧に保持される。
化空気供給室１２とを備え、浄化空気供給室において浄
化された空気を噴出ノズル１０からエアシヤワー室内に
噴出する。そしてこのエアシヤワー室内の空気を下方か
ら浄化空気供給室内に吸引し浄化して循環する。さらに
この浄化空気供給室には、外気に通ずる空気排出孔２１
を形成する。そしてこの排出孔には排出空気量を調整す
る調整部材２２を備え、循環空気の一部を排出し、エア
シヤワー室を負圧に保持する。 【効果】 浄化空気供給室内の圧力空気の一部を外部に
排出することにより、エアシヤワー室内に噴射される空
気量は送気フアンによりエアシヤワー室から吸引する空
気量より減少しエアシヤワー室内は負圧に保持される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの出入
口に設置し、衣服等に付着する塵埃等を除去するために
用いられるエアシヤワー装置に関する。
口に設置し、衣服等に付着する塵埃等を除去するために
用いられるエアシヤワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記エアシヤワー装置の一例を図４及び
図５に示す。このエアシヤワー装置５０は通路を兼ねる
エアシヤワー室５１と、その両側に浄化空気供給機構５
２、５３と、その下方に排気吸引機構５４、５５を備え
る。但し両浄化空気供給機構５２、５３、排気吸引機構
５４、５５はともに同一構造であり、以下一方の浄化空
気供給機構５２、排気吸引機構５４について述べる。こ
の浄化空気供給機構５２は高性能除塵用エアフイルタ６
０とエアシヤワー室側壁５６、５７に取付けた噴射ノズ
ル６１並びにエアフイルタ６０によって区画される浄化
空気供給室６２とを備え、浄化空気供給室６２には送気
フアン６３を連設し、該送気フアン６３の吸引口は排気
吸引機構５４に設けられる吸引室６５に開口する。この
排気吸引機構５４はエアシヤワー室５１の側壁の下方を
構成する吸引板６６の後方に配備されるプレフイルタ６
７及びこのプレフイルタ６７の後方に形成される前記吸
引室６５とよりなり、吸引板６６には多数の吸引孔６８
が穿孔されている。他方の浄化空気供給機構５３、排気
吸引機構５５については同一部品は同一記号を付して説
明を省略する。図中、５８は床面、７０、７１は前後の
開閉扉を示す。
図５に示す。このエアシヤワー装置５０は通路を兼ねる
エアシヤワー室５１と、その両側に浄化空気供給機構５
２、５３と、その下方に排気吸引機構５４、５５を備え
る。但し両浄化空気供給機構５２、５３、排気吸引機構
５４、５５はともに同一構造であり、以下一方の浄化空
気供給機構５２、排気吸引機構５４について述べる。こ
の浄化空気供給機構５２は高性能除塵用エアフイルタ６
０とエアシヤワー室側壁５６、５７に取付けた噴射ノズ
ル６１並びにエアフイルタ６０によって区画される浄化
空気供給室６２とを備え、浄化空気供給室６２には送気
フアン６３を連設し、該送気フアン６３の吸引口は排気
吸引機構５４に設けられる吸引室６５に開口する。この
排気吸引機構５４はエアシヤワー室５１の側壁の下方を
構成する吸引板６６の後方に配備されるプレフイルタ６
７及びこのプレフイルタ６７の後方に形成される前記吸
引室６５とよりなり、吸引板６６には多数の吸引孔６８
が穿孔されている。他方の浄化空気供給機構５３、排気
吸引機構５５については同一部品は同一記号を付して説
明を省略する。図中、５８は床面、７０、７１は前後の
開閉扉を示す。
【０００３】上記構成により、送気フアン６３により浄
化空気供給室６２に供給された圧力空気はエアフイルタ
６０により濾過されて噴射ノズル６１からエアシヤワー
室５１内に噴射され、該室内の空気は吸引孔６８からプ
レフイルタ６７を介して吸引されて吸引室６５に至り、
送気フアン６３により浄化空気供給室６２に送り込ま
れ、これを繰り返し循環する。
化空気供給室６２に供給された圧力空気はエアフイルタ
６０により濾過されて噴射ノズル６１からエアシヤワー
室５１内に噴射され、該室内の空気は吸引孔６８からプ
レフイルタ６７を介して吸引されて吸引室６５に至り、
送気フアン６３により浄化空気供給室６２に送り込ま
れ、これを繰り返し循環する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記エアシヤワー室は
通常外気と略々同一の空気圧を有し、扉の開閉に伴い外
気が侵入する。このエアシヤワー装置は通常クリーンル
ームに隣接され、該クリーンルームは外気の侵入を防ぐ
ため外気より若干高圧に保持されているが、エアシヤワ
ー室との扉の隙間または扉の開閉によりエアシヤワー室
内の流通空気の一部がクリーンルーム内に侵入するおそ
れがある。本発明はかゝる点に鑑み、エアシヤワー室内
の空気を負圧とし、クリーンルーム内への空気の流通を
確実に防止することを目的とする。
通常外気と略々同一の空気圧を有し、扉の開閉に伴い外
気が侵入する。このエアシヤワー装置は通常クリーンル
ームに隣接され、該クリーンルームは外気の侵入を防ぐ
ため外気より若干高圧に保持されているが、エアシヤワ
ー室との扉の隙間または扉の開閉によりエアシヤワー室
内の流通空気の一部がクリーンルーム内に侵入するおそ
れがある。本発明はかゝる点に鑑み、エアシヤワー室内
の空気を負圧とし、クリーンルーム内への空気の流通を
確実に防止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のエアシヤワー装置は、エアシヤワー室と該室
側壁に形成された浄化空気供給室とを備え、浄化空気供
給室において浄化された空気を側壁面に設けられた噴出
ノズルからエアシヤワー室内に噴出し、エアシヤワー室
内の空気を下方から浄化空気供給室内に吸引し浄化して
循環するエアシヤワー装置において、浄化空気供給室に
は、外気に通ずる空気排出孔を形成し、該排出孔には排
出空気量を調整する調整部材を備え、循環空気の一部を
排出し、エアシヤワー室を負圧に保持することを要旨と
する。
の本発明のエアシヤワー装置は、エアシヤワー室と該室
側壁に形成された浄化空気供給室とを備え、浄化空気供
給室において浄化された空気を側壁面に設けられた噴出
ノズルからエアシヤワー室内に噴出し、エアシヤワー室
内の空気を下方から浄化空気供給室内に吸引し浄化して
循環するエアシヤワー装置において、浄化空気供給室に
は、外気に通ずる空気排出孔を形成し、該排出孔には排
出空気量を調整する調整部材を備え、循環空気の一部を
排出し、エアシヤワー室を負圧に保持することを要旨と
する。
【０００６】
【作 用】エアシヤワー室内の空気の一部は空気排出
孔から外部に排出される。これによりエアシヤワー室内
は負圧に保持される。従ってクリーンルームとの間の扉
の隙間及び該扉の開閉に際し、エアシヤワー室内の空気
がクリーンルームに侵入することはない。
孔から外部に排出される。これによりエアシヤワー室内
は負圧に保持される。従ってクリーンルームとの間の扉
の隙間及び該扉の開閉に際し、エアシヤワー室内の空気
がクリーンルームに侵入することはない。
【０００７】
【実 施 例】図１乃至図３は本発明の実施例を示す。
エアシヤワー装置１はボツクス型とし、前後に出入用開
閉扉２を取り付けて内部をエアシヤワー室４とし、側壁
５、または６を介して一側または両側にシヤワー室４に
対する浄化空気供給機構７と排気吸引機構８とを備え
る。浄化空気供給機構７はシヤワー室４の側壁５、６に
設けられる噴射ノズル１０と、該噴射ノズル後方に配備
される高性能除塵フイルタ１１及びこのフイルタによっ
て一次側と二次側に区画形成される浄化空気供給室１２
を備え、浄化空気供給室１２の一次側の吸引口を、排気
吸引機構８の吸引室１３内に開口する送気フアン１４の
吹出口を連設する。
エアシヤワー装置１はボツクス型とし、前後に出入用開
閉扉２を取り付けて内部をエアシヤワー室４とし、側壁
５、または６を介して一側または両側にシヤワー室４に
対する浄化空気供給機構７と排気吸引機構８とを備え
る。浄化空気供給機構７はシヤワー室４の側壁５、６に
設けられる噴射ノズル１０と、該噴射ノズル後方に配備
される高性能除塵フイルタ１１及びこのフイルタによっ
て一次側と二次側に区画形成される浄化空気供給室１２
を備え、浄化空気供給室１２の一次側の吸引口を、排気
吸引機構８の吸引室１３内に開口する送気フアン１４の
吹出口を連設する。
【０００８】排気吸引機構８は側壁下部を形成する吸引
板５ａ、６ａに形成した多数の吸引孔１５と、その後方
に配備したプレフイルタ１６並びに前記吸引室１３と送
気フアン１４とからなる。以上の構造は従来構造（図４
乃至図５参照）と同一であり、詳細な説明は省略する。
板５ａ、６ａに形成した多数の吸引孔１５と、その後方
に配備したプレフイルタ１６並びに前記吸引室１３と送
気フアン１４とからなる。以上の構造は従来構造（図４
乃至図５参照）と同一であり、詳細な説明は省略する。
【０００９】本発明は上記構成において、浄化空気供給
室１２を形成する外壁２０に空気排出孔２１を形成し、
該空気排出孔２１には排出空気量を調整する調整部材２
２を備えてなるものである。この空気排出孔２１は複数
の横長孔とし、調整部材２２としては図例は空気排出孔
と同一形状の孔２３を形成し昇降可能に支持されたシヤ
ツタを利用したもので、このシヤツタ２２はこれに取付
けられた調整ボルト２４を外壁２０に穿孔した長孔２５
に沿って移行することにより空気排出孔２１と孔２３と
の重合度を調節し、排出風量を調整するようにしたもの
である。
室１２を形成する外壁２０に空気排出孔２１を形成し、
該空気排出孔２１には排出空気量を調整する調整部材２
２を備えてなるものである。この空気排出孔２１は複数
の横長孔とし、調整部材２２としては図例は空気排出孔
と同一形状の孔２３を形成し昇降可能に支持されたシヤ
ツタを利用したもので、このシヤツタ２２はこれに取付
けられた調整ボルト２４を外壁２０に穿孔した長孔２５
に沿って移行することにより空気排出孔２１と孔２３と
の重合度を調節し、排出風量を調整するようにしたもの
である。
【００１０】上記構成において、送気フアン１４の作動
により浄化空気供給室１２の一次側に圧力空気が押し込
まれ、該浄化空気供給室内の圧力空気はフイルタ１１に
より濾過されて二次側を経て噴射ノズル１０からエアシ
ヤワー室４内に噴射される。このエアシヤワー室４内の
空気は側壁下部の吸引板５ａ、６ａに穿孔した吸引孔１
５、１５から吸引され、プレフイルタ１６、１６により
濾過されて吸引室１３内に至り、送気フアン１４により
浄化空気供給室１２に送り出され、これを繰り返す。
により浄化空気供給室１２の一次側に圧力空気が押し込
まれ、該浄化空気供給室内の圧力空気はフイルタ１１に
より濾過されて二次側を経て噴射ノズル１０からエアシ
ヤワー室４内に噴射される。このエアシヤワー室４内の
空気は側壁下部の吸引板５ａ、６ａに穿孔した吸引孔１
５、１５から吸引され、プレフイルタ１６、１６により
濾過されて吸引室１３内に至り、送気フアン１４により
浄化空気供給室１２に送り出され、これを繰り返す。
【００１１】この際、シヤツタ２２を適宜調整し空気排
出孔２１の開口度を調整し、浄化空気室１２内に送り込
まれた空気の一部を外部に排出する。これにより噴射ノ
ズル１０からエアシヤワー室４内に吹込まれる空気量
は、送気フアン１４により吸引される空気量より減少す
る。即ちエアシヤワー室内は負圧となる。この負圧は空
気排出孔２１から排出される空気量に比例する。従って
該排出孔２１の開口度を調整することにより負圧々力を
任意に調整することができる。
出孔２１の開口度を調整し、浄化空気室１２内に送り込
まれた空気の一部を外部に排出する。これにより噴射ノ
ズル１０からエアシヤワー室４内に吹込まれる空気量
は、送気フアン１４により吸引される空気量より減少す
る。即ちエアシヤワー室内は負圧となる。この負圧は空
気排出孔２１から排出される空気量に比例する。従って
該排出孔２１の開口度を調整することにより負圧々力を
任意に調整することができる。
【００１２】また図３は本発明の別の実施例を示し、浄
化空気供給室１２の二次側の上方の天井外壁に空気排出
孔２１を配備するようにしたものである。３０は浄化空
気供給室１２と空気排出孔２１を連設するダクトを示
す。空気排出孔２１の構造は上記構造（図１乃至図２参
照）と同一であり、詳細な説明は省略する。
化空気供給室１２の二次側の上方の天井外壁に空気排出
孔２１を配備するようにしたものである。３０は浄化空
気供給室１２と空気排出孔２１を連設するダクトを示
す。空気排出孔２１の構造は上記構造（図１乃至図２参
照）と同一であり、詳細な説明は省略する。
【００１３】
【発明の効果】以上の如く本発明によるときは、外壁に
形成した空気排出孔より送気フアンにより供給される圧
力空気の一部を外部に排出するようにしたから、噴射ノ
ズルからエアシヤワー室内に噴射された空気量は上記送
気フアンによりエアシヤワー室から吸引する空気量より
減少する。従ってエアシヤワー室内は負圧となり、クリ
ーンルーム側への塵、埃等のリークがなくなり、かつ該
クリーンルーム内に外気が侵入することはない。又内部
は負圧となるため、扉は戸当たりのパツキン側に引き寄
せられ、気密性を向上することができる等の効果を有す
る。また空気排出口を高性能除塵フィルタの後方、すな
わち浄化空気供給室の二次側に配備するときはエアシャ
ワー室外の空気を汚すことがない。
形成した空気排出孔より送気フアンにより供給される圧
力空気の一部を外部に排出するようにしたから、噴射ノ
ズルからエアシヤワー室内に噴射された空気量は上記送
気フアンによりエアシヤワー室から吸引する空気量より
減少する。従ってエアシヤワー室内は負圧となり、クリ
ーンルーム側への塵、埃等のリークがなくなり、かつ該
クリーンルーム内に外気が侵入することはない。又内部
は負圧となるため、扉は戸当たりのパツキン側に引き寄
せられ、気密性を向上することができる等の効果を有す
る。また空気排出口を高性能除塵フィルタの後方、すな
わち浄化空気供給室の二次側に配備するときはエアシャ
ワー室外の空気を汚すことがない。
【図１】本発明のエアシヤワー装置の縦断面図である。
【図２】図１におけるＸ−Ｘ線に沿う矢視図である。
【図３】従来のエアシヤワー装置の縦断面図である。
【図４】図３におけるＹ−Ｙ線に沿う断面図である。
１ エアシヤワー装置 ４ エアシヤワー室 １０ 噴射ノズル １２ 浄化空気供給室 ２１ 空気排出孔 ２２ 調整部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年５月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアシヤワー装置の縦断面図である。
【図２】図１におけるＸ−Ｘ線に沿う矢視図である。
【図３】本発明の異なる実施例の説明図である。
【図４】従来のエアシヤワー装置の縦断面図である。
【図５】図４におけるＹ−Ｙ線に沿う断面図である。
【符号の説明】 １ エアシヤワー装置 ４ エアシヤワー室 １０ 噴射ノズル １２ 浄化空気供給室 ２１ 空気排出孔 ２２ 調整部材
Claims (1)
- 【請求項１】 エアシヤワー室と該室側壁に形成された
浄化空気供給室とを備え、浄化空気供給室において浄化
された空気を側壁面に設けられた噴出ノズルからエアシ
ヤワー室内に噴出し、エアシヤワー室内の空気を下方か
ら浄化空気供給室内に吸引し浄化して循環するエアシヤ
ワー装置において、浄化空気供給室には、外気に通ずる
空気排出孔を形成し、該排出孔には排出空気量を調整す
る調整部材を備え、循環空気の一部を排出し、エアシヤ
ワー室を負圧に保持することを特徴とするエアシヤワー
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265739A JP2645538B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | エアシヤワー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265739A JP2645538B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | エアシヤワー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791702A true JPH0791702A (ja) | 1995-04-04 |
| JP2645538B2 JP2645538B2 (ja) | 1997-08-25 |
Family
ID=17421326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5265739A Expired - Lifetime JP2645538B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | エアシヤワー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2645538B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003091A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワ装置 |
| JP2016044879A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000346419A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Nippon Muki Co Ltd | エアシャワーブース |
| KR101951569B1 (ko) * | 2017-11-02 | 2019-05-20 | 김상동 | 무덕트형 공기청정 환기장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311536U (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-26 | ||
| JPH01118046A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Sanken Setsubi Kogyo Kk | 空気清浄隔離装置 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP5265739A patent/JP2645538B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311536U (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-26 | ||
| JPH01118046A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Sanken Setsubi Kogyo Kk | 空気清浄隔離装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003091A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワ装置 |
| JP2016044879A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | 株式会社日立産機システム | エアシャワー装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2645538B2 (ja) | 1997-08-25 |
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