KR20030022688A

KR20030022688A - 클린 룸용의 물품 보관 설비

Info

Publication number: KR20030022688A
Application number: KR1020020049266A
Authority: KR
Inventors: 나카오다쓰오
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2001-09-10
Filing date: 2002-08-20
Publication date: 2003-03-17
Also published as: US20030050005A1; TW593082B; JP3788296B2; CN1405072A; CN1187239C; JP2003081406A; KR100524359B1; US6682414B2

Abstract

구성이 복잡화되어 비용이 높아지는 불리(不利)를 회피하고, 또한 클린 에어의 기류가 흐트러져 다른 장치의 공기 청정도 유지에 악영향을 준다고 하는 불리를 회피시키는 것이 가능하게 되는 클린 룸용의 물품 보관 설비를 제공한다.

다운 플로식의 클린 룸 내에, 물품에 대하여 소정의 처리를 하는 물품 처리 장치(A)와, 복수의 물품 수납부(5)를 구비하는 물품 보관 장치(B)가 설치되고, 물품 처리 장치(A)에서의 물품 이송부(15)의 상방측에 상하 방향으로 중복되는 중복 장치 부분을 구비하고, 클린 룸의 천정부로부터 하향으로 분출되는 청정화된 에어가 배부측(背部側) 공기 통풍로(L)로부터 그 중복 장치 부분에서의 물품 수집부(5) 하방측으로 유도하는 도풍(導風) 통로(16)가 형성되고, 그 도풍 통로(16)에서 물품 수납부(5)의 하방측으로 유도된 에어를 물품 처리 장치(A)로 향해 하방측으로 분출하여 공급하는 에어 분출부(17)가 형성되어 있다.

Description

클린 룸용의 물품 보관 설비{STORAGE FACILITY FOR USE IN A CLEAN-ROOM}

본 발명은, 예를 들면, 액정 표시 소자나 반도체 제품 등의 물품을 먼지가 적은 청정한 환경에서 보관하기 위한 보관 설비에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는, 에어(air)가 천정부로부터 하방으로 분출되는 다운 플로(down-flow)식의 클린 룸에 구비되는 물품 보관 설비의 개량에 관한 것이다.

클린 룸용의 물품 보관 설비에는, 액정 표시 소자나 반도체 제품 등의 물품을 복수의 물품 수납부에 대하여 반입시키거나, 또, 물품 수납부에 보관되어 있는 물품을 외부에 반송시키기 위해 물품의 반송을 실행하는 물품 반송 수단이 구비되어 있다. 종래의 장치에서는, 이 물품 반송 수단이 구비되어 있는 것을 유효하게 이용하기 위해, 물품에 대하여 소정의 처리를 실행하기 위한 물품 처리 장치에 대한 물품의 반송을 실행할 수 있도록 물품 처리 장치를 물품 반송 수단에 근접시켜 설치하고 있는 것이 있다. 이 때문에, 반송 시간을 단축시켜 작업 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 물품 처리 장치의 상방측 공간도 수납 공간으로서 이용하기 위해, 물품 처리 장치의 물품 이송부 상방측에 위치하여 그 물품 이송부에 상하 방향으로 중복하도록 수납 공간을 구비하고 있다. 이 때문에, 설치 스페이스를 유효하게 이용하여 수납 보관 효율을 향상시키도록 하고 있다[예를 들면, 일본국 특개평 10(1998)-294351호 공보 참조].

그런데, 이와 같은 물품 보관 설비는 물품을 먼지가 적은 청정한 환경에서 보관할 필요가 있기 때문에, 천정부로부터 공기 청정화 필터를 통해 청정화된 클린 에어를 하방측으로 향해 분출하여 공급하는 다운 플로식의 클린 룸 내에 설치된다. 수납 선반의 상방측에 위치하는 천정부로부터 분출하여 공급되는 클린 에어는 상단부의 공기 흡입부로부터 흡입되어, 상기 배부측 공기 통풍로로부터 각 수납부의 수납 공간을 통과하여 전부측 공기 통풍로 내를 하방측으로 향해 유동한다. 그리고, 종래의 물품 보관 설비에서는, 예를 들면, 도 8에 나타내는 것과 같이, 물품 보관 장치(B)에서의 상기 중복 장치 부분(7)의 하단부(30)는 폐쇄 상태로 형성되고, 상단부의 공기 흡입부(13)로부터 흡입된 클린 에어의 모두가 물품 수납부(5)의 수납 공간과 전부측 공기 통풍로(M)를 통해 하방측으로 향해 유동하도록 구성되어 있었다. 그 결과, 상기 중복 장치 부분의 하방측에 위치하는 물품 처리 장치의 물품 이송부(15)에는, 천정면(2)으로부터의 클린 에어가 공급되지 않은 상태로 된다. 이 때문에, 물품 처리 장치(A)의 상부측에 송풍기와 공기 청정화 필터를 구비한 팬 필터 유닛(FU)을 구비하고, 물품 반송 수단에 의한 물품 처리 장치에 대한 물품의 반출입 개소에서의 청정도를 확보하도록 되어 있었다.

그러나, 상기한 종래의 구성에서는, 상기 물품 처리 장치에 대한 물품의 출입 개소에서의 청정도를 확보할 수는 있지만, 도 8에 나타내는 것과 같이 물품 보관 장치의 배면 개소를 하방으로 유동하고 있는 천정부로부터의 클린 에어가 상기 팬 필터 유닛에서 흡기(吸氣)되어, 상기 물품 이송부의 상방측에 위치하는 코너부(A부)에서, 클린 에어의 기류(다운 플로)가 흐트러져 난류(亂流)로 되어 버릴 우려가 있고, 그 결과, 다른 장치의 공기 청정도 유지에 악영향을 줄 우려가 있었다.

본 발명은 이 문제를 개량하기 위한 것이다. 따라서, 본 발명의 주요한 하나의 목적은 클린 룸에서의 클린 에어의 기류가 흐트러져 다른 장치의 공기 청정도 유지에 악영향을 준다고 하는 불리(不利)를 회피시키는 것이 가능하게 되는 클린 룸용의 물품 보관 설비를 제공하는 점에 있다.

도 1은 클린 룸에서의, 본 발명에 의한 물품 보관 설비의 설치 상태를 나타내는 측면도이다.

도 2는 물품 보관 장치를 위에서 본 평면도이다.

도 3은 물품 보관 장치와 물품 처리 장치를 나타내는 정면도이다.

도 4는 물품 보관 장치를 나타내는 후면도이다.

도 5는 물품 보관 장치의 종단 측면도이다.

도 6은 통풍 상태를 나타내는 도면이다.

도 7은 다른 실시 형태의 물품 보관 장치의 종단 측면도이다.

도 8은 종래의 물품 보관 설비의 통풍 상태를 나타내는 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

2: 천정부, 5: 물품 수납부, 9: 물품 반송 수단, 15: 물품 이송부, 16: 도풍 통로, 17: 에어 분출부, 20: 풍량 조절 수단, A: 물품 처리 장치, B: 물품 보관 장치, L: 배부측 공기 통풍로, M: 전부측 공기 통풍로, R1: 클린 룸, R2: 흡기 룸.

청구항에서 정의되는 본 발명에 의하면, 공기 흡입부로부터 흡입되는 청정화된 에어가 도풍 통로에 의해 배부측 공기 통풍로로부터 그 중복 장치 부분에서의 상기 수납부의 하방측으로 유도된다. 그 후, 그 도풍 통로에 의해 상기 수납부의 하방측으로 유도된 에어가 상기 에어 분출부로부터 물품 처리 장치로 향해 하방측으로 분출하여 공급된다. 따라서, 이와 같이 공급되는 청정화 에어에 의해 물품 반송 수단에 의한 물품 처리 장치에 대한 물품의 반출입 개소에서의 청정도를 확보하는 것이 가능하게 된다. 그리고, 이와 같이 물품 보관 장치로부터 청정화된 에어가 분출되어 공급되기 때문에, 물품 처리 장치측에 특별한 팬 필터 유닛을 설치할 필요가 없어, 그만큼 구성을 간소화시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 이와 같이 물품 처리 장치측에 팬 필터 유닛을 설치할 필요가 없으므로, 종래와 같이 물품 처리 장치의 상부 개소로부터 강제적으로 공기를 흡기할 필요가 없으므로, 천정부로부터의 클린 에어의 기류가 흐트러짐을 일으킬 우려를 적은 것으로 할 수 있다.

따라서, 클린 룸에서의 클린 에어에 의한 기류가 흐트러져 다른 장치의 공기 청정도 유지에 악영향을 주고 있다고 하는 불리를 회피시키는 것이 가능하게 되는 클린 룸용의 물품 보관 설비를 제공할 수 있기에 이르렀다.

구체적인 실시 형태에서는, 상기 에어 분출부에 에어 분출량을 변경 조정 가능한 풍량 조절 수단이 구비되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 풍량 조절 수단에 의해, 에어 분출부로부터 하방으로 분출하여 공급되는 에어 분출량을 변경 조정하는 것이 가능하게 되어, 에어 분출부로부터의 에어의 흐름 상태와 천정부로부터 분출되는 에어의 흐름 상태를 극력 동일 상태로 맞춤으로써, 클린 룸 내에서의 기류의 흐트러짐을 될 수 있는 한 적게 하는 것이 가능하게 된다.

이하, 본 발명에 의한 클린 룸용 물품 보관 설비에 대하여 도면에 따라 설명한다. 도 1에서는, 예를 들면, 반도체 제품이나 액정 표시 소자 등을 보관하기 위해 먼지가 적은 청정화된 실내 공간에 설치되는 물품 보관 설비가 나타나 있다. 상기한 것과 같은 제품의 초기 단계나 제조 도중에서는, 세세한 분진(粉塵) 등 먼지가 적은 환경에서 보관할 필요가 있다. 이 물품 보관 설비는 이와 같은 물품을 보관 대상으로 하여, 먼지가 적은 청정화된 공간에서 물품을 보관하도록 되어 있다.

이 물품 보관 설비가 설치되는 방은 에어가 천정부로부터 하방으로 분출되는 다운 플로식의 클린 룸으로서 구성되어 있다. 구체적으로 설명하면, 클린 룸(R1)의 바닥부는 통기 구멍이 다수 형성된 메시형의 그레이딩 바닥(1)으로서 형성되어 있다. 이 그레이딩 바닥(1)의 하방측에는, 흡기용 공간(Q)이 형성되는 흡기 룸(R2)이 형성되어 있다. 도 1에 나타내는 것과 같이, 클린 룸(R1) 내의 공기가 흡기 룸(R2) 내의 공간 및 순환로(Q)를 통해 통풍 팬(F)에 의해 흡기된다. 또한, 흡기된 공기는 클린 룸(R1)의 천정면(2) 상방측에 형성된 공기 체임버실(3)을 경유하여, 클린 룸(R1)의 천정면(2)에 구비된, 예를 들면, HEPA(High EfficiencyParticulate Air) 필터 등으로 이루어지는 에어 필너(4)를 통해 청정화된 후에, 클린 룸(R1) 내로 향해 하향으로 분출하여 공급된다. 따라서, 클린 룸(R1)의 공기가 상기한 것과 같은 경로를 통해 순환되어, 항상 청정화된 공기가 천정면(2)으로부터 하방으로 분출되는 상태에서 공급되기 때문에 청정도가 높은 상태를 유지할 수 있다.

다음에, 도 2∼도 6을 참조하면서, 물품 보관 설비의 구성에 대하여 설명한다. 이 물품 보관 설비는, 크게 나누어, 물품에 대하여 소정의 처리를 하는 물품 처리 장치(A)와, 복수의 물품 수납부(5)를 구비하는 물품 보관 장치(B)를 구비한다. 상술하면, 상기 물품 보관 장치(B)는 상하 방향 및 가로 방향으로 복수 병렬되는 상태에서, 물품(C)을 수납하는 복수의 물품 수납부(5)가 형성된 한 쪽의 선반 본체(6)와, 상하 방향으로 일렬 상태에서, 가로 방향으로 복수 병렬하는 상태에서 복수의 물품 수납부(5)가 형성된 다른 쪽의 선반 본체(7)를 가진다. 이들 선반 본체(6, 7)가 전후 방향으로 소정 간격을 두고 나란히 구비되어 있다. 이들 한 쌍의 선반 본체(6, 7) 사이의 간격에 복수의 물품 수납부(5)와, 후술하는 물품 반출입용의 컨베이어 장치(8) 사이에서의 물품 반송을 실행하는 물품 반송 수단으로서의 스태커 크레인(stacker crane)(9)이 구비되어 있다. 이 스태커 크레인(9)은 하나의 물품 수납부(5)와, 다른 물품 수납부(5) 사이의 물품 반송도 실행한다. 물품 반송 수단으로서는, 스태커 크레인에 대신하여, 수평으로 연장되고 상하 방향으로 이동하는 엘리베이터와 이 엘리베이터 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 적재(積載) 장치를 가지는 장치를 이용하는 것도 가능하다.

여기에서, 물품 보관 설비를 위로부터 아래로 내려다 본 상태를 나타내는 도면, 즉 평면도인 도 2를 참조하여, 본 명세서에서 이용되는 방향에 연관되는 표현에 대하여 명확화한다. 선반 본체(6)의 물품 수납부(5)는 스태커 크레인(9)측에 개구되어 있다. 따라서, 선반 본체(6)의 앞 방향을 D6으로 나타나는 화살표의 방향으로서 정의한다. 동일하게 선반 본체(7)의 앞 방향을 D2로 나타나는 화살표의 방향으로서 정의한다. 따라서, D1 또는 D2에 따르는 방향이 선반 본체(6, 7)의 전후 방향으로 불린다. 또한, D3으로 나타나는 방향이 가로 방향으로 정의된다.

물품 보관 장치(B)의 가로 방향 단부측 개소에, 외부에 대하여 물품을 반출입하기 위한 물품 반출입부(10)가 형성되어 있다. 이 물품 반출입부(10)에, 스태커 크레인(9)으로부터 물품(C)을 수취하여 외부로 반송시키거나, 외부로부터 수취한 물품을 스태커 크레인(9)에 수도(受渡)하기 위한 컨베이어 장치(8)가 구비되어 있다. 상기 스태커 크레인(9)은 바닥부에 설치된 주행 레일(9a) 상을 주행하면서 상단부가 천정부에 설치된 안내 레일(9b)에 따라 안내되어 가로 방향으로 이동 주행 가능한 이동 캐리지(9c)를 가진다. 이 이동 캐리지(9c)에 복수의 물품 수납부(5)와 상기 컨베이어 장치(8) 사이나, 복수의 물품 수납부(5)끼리의 사이나, 상기 컨베이어 장치(8) 사이에서의 물품을 이송시키는 이송 장치(9d)를 승강 가능하게 구비하고 있다. 이 스태커 크레인(9)에 의해, 복수의 물품 수납부(5), 상기 컨베이어 장치(8), 또한 나중에 설명되는 물품 처리 장치(A) 사이에서 물품을 이송시킬 수 있다.

상기 각 선반 본체(6, 7)에 관해서는 스태커 크레인(9)측인 전면(前面)측과는 반대측을 배면(背面)측이라고 부른다. 도 5에서 나타나 있는 것과 같이, 상기 각 선반 본체(6, 7) 각각의 배면측 개소에는, 선반 본체(6, 7)와, 이들의 외주부를 폐쇄 상태에서 덮는 커버 몸체(11) 사이에 배부(背部)측 공기 통풍로(L)가 각각 형성되어 있다. 또한, 상기 각 선반 본체(6, 7) 각각의 전면측 개소에는 스태커 크레인(9)이 배치되는 공간인 전부(前部)측 공기 통풍로(M)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 각 선반 본체(6, 7) 상단부 및 전부측 공기 통풍로(M)의 상단부는 통풍 억제체(12)에 의해 덮여져 있어, 상하 방향의 통풍이 억제되는 구성으로 되어 있다. 각 배부측 공기 통풍로(L)의 상단부에 공기 흡입부(13)가 형성되어 있다. 상기 각 물품 수납부(5)의 전면측은 스태커 크레인(9)에 의해 물품(C)을 출입하기 위해 개방 상태로 되어 있다. 상기 각 물품 수납부(5)의 배면측에는, 그곳을 통과하는 공기의 양, 즉 통과 공기량을 조정 가능한 풍량 조정기(14)가 각각 설치되어 있다. 풍량 조정기(14)는 1장, 또는 복수의 폐쇄판을 이용하여 개구부를 부분적으로, 또는 완전히 폐쇄함으로써 개구량을 조정하는 수단을 구비하고 있다. 이 수단으로서, 폐쇄판이 개구 부분에 대하여 슬라이드 이동하여 폐쇄되는 구성을 이용해도 되고, 개구부에 대하여 요동하여 이 개구부를 폐쇄하는 구성을 이용해도 된다.

도 2나 도 3에서 나타나는 것과 같이, 각 선반 본체(6, 7) 중 한 쪽의 선반 본체(7) 하방측에는, 그 선반 본체(7)와 상하 방향으로 중복되는 상태에서 물품 처리 장치(A)가 위치하도록 배치되어 있다. 즉, 선반 본체(7)의 적어도 일부가 물품 처리 장치(A)에서의 물품 이송부(15)의 상방측에 위치하여 그 물품 이송부(15)에 상하 방향으로 중복되는 중복 장치 부분이다. 또, 상기 물품 처리 장치(A)는 물품수납부(5)의 가로 병렬 방향에 따라 나란히 하는 상태로 복수 병렬 배치되어 있다. 이들 복수의 물품 처리 장치(A)는 구체적인 처리 내용에 대하여 상술하지는 않지만, 예를 들면, 반도체 제품이나 액정 표시 소자를 제조하기 위한 화학적인 복수 종의 처리를 차례로 실행하는 구성으로 되어 있다.

그리고, 도 6에 나타나는 것과 같이, 클린 룸(R1)의 천정부(2)로부터 하향으로 분출되는 청정화된 에어가 상부의 공기 흡입부(13)로부터 흡입되어 배부측 공기 통풍로(L)로부터 각 물품 수납부(5)의 수납 공간을 통과하고 전부측 공기 통풍로(M) 내를 하방측으로 향해 유동한다. 또한, 물품 보관 장치(B)에서의 한 쪽의 선반 본체(7)에 공기 흡입부(13)로부터 흡입된 에어를 배부측 공기 통풍로(L)로부터 그 선반 본체(7)에서의 물품 수납부(5)의 하방측으로 유도하는 도풍 통로(16)가 형성되어 있다. 또, 그 도풍 통로(16)로부터 물품 수납부(5)의 하방측으로 유도된 에어를 물품 처리 장치(A)로 향해 하방측으로 분출하여 공급하는 에어 분출부(17)가 형성되어 있다.

다음에, 상기 구조와 에어의 흐름에 관하여 더욱 상세하게 설명한다.

물품 보관 장치(B)에서의 물품 처리 장치(A)가 상하로 중복 배치되어 있지 않은 선반 본체(6)에서는, 물품 수납부(5)가 상하 방향으로 4단 나란히 배치되어 있고, 배부측 공기 통풍로(L)가 상단부의 공기 흡입부(13)로부터 장치 하단부에 가까운 위치까지 연속되는 상태로 형성되어 있고, 배부측 공기 통풍로(L)의 하단부는 에어가 하방측으로 유출되지 않도록 차폐판(18)으로 폐쇄되어 있다. 또, 상기 스태커 크레인(9)이 배치되는 전부측 공기 통풍로(M)의 하단부에는 하방으로 향해 공기가 유출되는 공기 유출부(19)가 형성되어 있다. 따라서, 클린 룸(R1)의 천정부(2)로부터 하향으로 분출되는 청정화된 에어가 상부의 공기 흡입부(13)로부터 흡입된 후에 배부측 공기 통풍로(L)로부터 각 물품 수납부(5)의 수납 공간을 통과하고, 전부측 공기 통풍로(M) 내를 하방측으로 향해 유동하게 된다. 이 때, 각 물품 수납부(5)의 배면에 설치된 상기 풍량 조정기(14)에 의해, 각 물품 수납부(5)의 수납 공간을 통과하는 에어의 통풍량을 거의 균등하게 하도록 조정할 수 있다.

상기 물품 처리 장치(A)가 상하로 중복 배치되는 선반 본체(7)에는, 복수의 물품 수납부(5)가 가로 방향으로 일렬로 나란히 하는 상태로 형성되고, 배부측 공기 통풍로(L)는 그 일렬의 물품 수납부(5)의 배부측에 형성되어 있다. 다른 쪽의 선반 본체(6)와 동일하게, 클린 룸(R1)의 천정부(2)로부터 하향으로 분출되는 청정화된 에어가 상부의 공기 흡입부(13)로부터 흡입된다. 그 후, 에어는 배부측 공기 통풍로(L)로부터 각 물품 수납부(5)의 수납 공간을 통과하고, 전부측 공기 통풍로(M) 내를 하방측으로 향해 유동한다. 또, 도 6에 나타내는 것과 같이, 배부측 공기 통풍로(L)의 하단부에 연속되도록, 공기 흡입부(13)로부터 흡입된 에어를 배부측 공기 통풍로(L)로부터 그 선반 본체(7)에서의 물품 수납부(5) 하방측으로 유도하는 도풍 통로(16)가 형성되어 있다. 도풍 통로(16)는 도 5나 도 6에서 나타나는 것과 같이, 전체적으로 수평으로 연장되어, 물품 수납부(5)의 바닥부와 커버 몸체(11)의 수평 부분(11a)에 의해 형성되어 있다. 또한, 상기 도풍 통로(16)로부터 상기 전부측 공기 통풍로(M)로 에어가 새나가지 않도록 상기 도풍 통로(16)와 상기 전부측 공기 통풍로(M) 사이에는 벽(11b)이 형성되어 있다. 그 도풍통로(16)에 의해 물품 수납부(5)의 하방측으로 유도된 에어를 물품 처리 장치(A)로 향해 하방측으로 분출하여 공급하는 에어 분출부(17)가 형성되어 있다. 상기 에어 분출부(17)는 측면에서 보아 상기 중복 장치 부분(7)의 상기 물품 수납부(5)와 상기 물품 처리 장치(A) 사이에 배치되어 있다.

이와 같이 하여, 물품 처리 장치(A)의 물품 이송부(15)에 대하여 청정화된 에어를 하향으로 분출하여 공급함으로써, 물품 이송부(15)에서의 청정도를 확보하도록 하고 있다. 또한, 상기 에어 분출부(17)에는, 에어 분출량을 변경 조정 가능한 풍량 조절 수단으로서의 풍량 조정기(20)가 설치되어 있다. 이 풍량 조정기(20)는 상술하지는 않지만, 상기 각 물품 수납부(5)에 구비되는 풍량 조정기(14)와 동일하게, 슬라이드 조작 기구나 요동 조작 기구 등의 일반적인 개구량 조정 수단에 의해, 그곳을 통과하는 공기의 양, 즉, 통과 공기량을 변경 조정 가능한 구성으로 되어 있다. 이 풍량 조정기(20)에 의해 에어 분출량을 변경 조정함으로써, 클린 룸(R1)의 천정부(2)로부터 하향으로 분출되는 에어 분출량과 거의 동일 상태로 하는 것이 가능하게 되어 기류의 흐트러짐을 일으킬 우려가 적은 것으로 할 수 있다.

[다른 실시 형태]

이하, 다른 실시 형태를 열기한다.

(1) 상기 실시 형태에서는, 상기 에어 분출부에 에어 분출량을 변경 조정 가능한 풍량 조절 수단으로서, 단지 통과하는 공기의 양을 변경 조정 가능한 풍량 조정기(20)가 구비되는 구성으로 했다. 그러나, 이 풍량 조절 수단으로서의 풍량 조정기(20)나 각 물품 수납부(5)의 배면에 설치된 상기 풍량 조정기(14)는 이와 같은 것에 한정될 필요는 없다. 풍량 조정기(14)나 풍량 조정기(20)의 기능은 이들의 출력측으로부터 나오는 공기의 풍량을 조절하는 것이며, 이것을 실행하기 위해, 설명된 것과 같은, 폐쇄판을 이용하여 개구량을 조절하는 방법에 대신하여, 송풍량을 조절할 수 있는 모터 구동식 송풍기를 이용해도 된다. 또한, 이들 2개의 방법을 조합하여 이용해도 된다. 또, 송풍기에 공기 청정화 필터를 장착하여 이용해도 된다. 예를 들면, 송풍기의 송풍량을 변화시킴으로써 풍량 조정기(14)나 풍량 조정기(20)로부터의 풍량을 인위적, 또는 자동적으로 조절하기 위한 조절 장치가 구비되어 있는 것이 바람직하다. 각 물품 수납부(5)의 배면에 설치된 복수의 풍량 조정기(14)에 관해서는 각각의 풍량 조정기(14)를 독립하여 조절할 수 있도록, 개별 조절 장치를, 예를 들면, 선반 본체(6)의 하부 등에 설치해도 되며, 전부를 조절하기 위해 하나의 조절 장치를 설치해도 된다. 또한, 송풍기의 송풍량을 조절하는 데 있어서, 예를 들면, "고속", "중속", "저속" 등의 복수 단계로 조작할 수 있도록 구성하는 것도 가능하며, 인버터를 이용하여 무단계로 제어하도록 구성하는 것도 가능하다. 조정 장치를 인위적으로 조작할 수 있는 경우, 조작구로서 손잡이를 이용해도 되고, 디지털 표시와 입력 버튼을 가지는 것을 이용해도 된다.

본 발명에서는, 이와 같은 풍량 조절 수단을 설치하지 않고, 항상 일정량의 분출량으로 에어를 분출하여 공급하는 구성으로 해도 된다.

(2) 상기 실시 형태에서는, 상기 물품 처리 장치에서의 상기 물품 이송부에 상하 방향으로 중복되는 중복 장치 부분으로서, 복수의 물품 수납부가 가로 방향으로 1렬 상태로 나란히 하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 물품 수납부가 상하 방향으로 복수 단 나란히 하는 상태로 배치되는 구성으로 해도 된다.

(3) 상기 실시 형태에서는, 상기 각 물품 수납부의 배부측에 단지 통과하는 공기의 양을 변경 가능한 풍량 조정기를 구비하는 구성으로 했지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 각 물품 수납부의 배부측에, 송풍기와 공기 청정화 필터를 구비한 팬 필터 유닛을 각각 구비하게 하고, 이 팬 필터 유닛으로 청정화된 공기를 물품 수납부의 수납 공간에 강제적으로 통풍시켜 전부측 공기 통풍로 내를 하방측으로 향해 유동시키는 구성으로 해도 된다.

(4) 상기 실시 형태에서는, 상기 물품 보관 장치로서 한 쌍의 선반 본체(6, 7) 중 어느 한 쪽에, 물품 처리 장치(A)를 상하로 중복 배치하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 도 7에 나타내는 것과 같이, 한 쌍의 선반 본체(6, 7) 각각에 물품 처리 장치(A)를 상하에 중복 배치하는 구성으로 해도 된다. 또, 상기 물품 보관 장치로서는, 전후 한 쌍의 선반 본체를 설치하는 구성에 한정되지 않고, 물품 처리 장치를 상하에 중복 배치하는 하나의 선반 본체만을 설치하는 구성으로 해도 된다.

본 발명에 의하면, 클린 룸에서의 클린 에어에 의한 기류가 흐트러져 다른 장치의 공기 청정도 유지에 악영향을 준다고 하는 불리를 회피시키는 것이 가능하게 되는 클린 룸용의 물품 보관 설비를 제공한다.

Claims

에어(air)가 천정부로부터 하방으로 분출되는 클린 룸(clean room R1) 내에, 물품에 대하여 소정의 처리를 실행하는 물품 처리 장치(A)와, 복수의 물품 수납부(5)를 구비하는 물품 보관 장치가 설치되고,

상기 물품 보관 장치는 물품 처리 장치(A)에 배치되어 물품의 출입을 실행하는 물품 이송부(15)와 상기 각 물품 수납부(5) 사이에서 물품 반송을 실행하는 물품 반송 수단(9)을 구비하고, 또한 상기 물품 처리 장치(A)의 상기 물품 이송부(15) 상방측에 배치되어, 상기 물품 이송부(15)와 상하 방향으로 중복되는 중복 장치 부분(7)을 구비하고 있으며,

상기 각 물품 수납부(5)의 배면측 개소에 배부측(背部側) 공기 통풍로(L)가 형성되는 동시에,

상기 각 물품 수납부(5) 전면측의 상기 물품 반송 수단(9)이 배치되는 공간에 전부측(前部側) 공기 통풍로(M)가 형성되고,

클린 룸(R1)의 천정부로부터 하향으로 분출되는 청정화된 에어가, 이것을 상기 배부측 공기 통풍로(L)로 흡입하는 공기 흡입부(13)와 상기 배부측 공기 통풍로(L)를 통해, 다시 상기 각 물품 수납부(5)의 수납 공간을 통과하고, 상기 전부측 공기 통풍로(M) 내를 하방측으로 향해 유동하도록 구성되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비로서,

상기 물품 보관 장치의 상기 중복 장치 부분(7)에, 상기 공기 흡입부(13)로부터 흡입된 에어를 상기 배부측 공기 통풍로(L)로부터 그 중복 장치 부분(7)의 상기 물품 수납부(5) 하방측으로 유도하는 도풍(導風) 통로(16)가 형성되는 동시에, 그 도풍 통로(16)에 의해 상기 물품 수납부(5) 하방측으로 유도된 에어를 상기 물품 처리 장치(A)로 향해 하방측으로 분출하는 에어 분출부(17)가 형성되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비.
제1항에 있어서,

상기 에어 분출부(17)에 에어 분출량을 변경하는 풍량 조절 수단(20)이 구비되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비.
제1항에 있어서,

상기 도풍 통로(16)는 전체적으로 수평인 클린 룸용의 물품 보관 설비.
제1항에 있어서,

상기 에어 분출부(17)는 측면에서 보아 상기 중복 장치 부분(7)의 상기 물품 수납부(5)와 상기 물품 처리 장치(A) 사이에 배치되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비.
제1항에 있어서,

상기 도풍 통로(16)는 상기 중복 장치 부분(7)의 상기 물품 수납부(5)의 바닥부와 상기 에어 분출부(17)가 배치되어 있는 커버 몸체의 일부(11a)에 의해 형성되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비.
제1항 또는 제5항에 있어서,

상기 도풍 통로(16)로부터 상기 전부측 공기 통풍로(M)로 에어가 새나가지 않도록 상기 도풍 통로(16)와 상기 전부측 공기 통풍로(M) 사이에 벽(11b)이 형성되어 있는 클린 룸용의 물품 보관 설비.