JP2001028388A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】カセットローダがカセット受渡し装置からカセ
ットを直接受取ることにより、カセットの受渡し時間を
短縮し、基板処理装置フロアスペースを小さくすると共
に装置価格を低減する。 【解決手段】外部から搬入されたカセットを載置するカ
セット載置部３０と、基板処理装置内でカセットを搬送
するカセットローダ３７と、該カセットローダと前記カ
セット載置部との間でカセットを受渡しするカセット受
渡し装置２７を具備する基板処理装置２１に於いて、前
記カセット受渡し装置は、前記カセット載置部からカセ
ットを鉛直下方に移動可能なベースを有し、更に前記カ
セット受渡し装置が前記カセットローダに対するカセッ
ト受渡し位置と前記カセットを鉛直下方に降ろした位置
との間で水平方向に進退する進退フレームを有し、該進
退フレームにカセットを吊下げ状態で支持するカセット
支持部を設けた基板処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ
（以下ウェーハとする）を製造する為の縦型拡散ＣＶＤ
装置等の基板処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ウェーハに成膜処理等各種の処理
を行い半導体基板を製造する基板処理装置に於いて、作
業空間内でのパーティクル等の付着を防止する為クリー
ンルームが用いられており、該クリーンルームのクリー
ン度を緩和して経済性を高める為、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎ
ｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ＩｎｔｅｒＦａｃ
ｅ）ポッド（商標）の様なカセット収納容器を使用し、
カセットの運搬時にはカセットをＳＭＩＦポッドに収納
した状態で行っている。

【０００３】前記カセット収納容器を使用する従来のカ
セット受渡し装置の一例（特公平８−２１６０９号公
報）を図９〜図１４に於いて説明する。

【０００４】加工ステーション１の天井部にカセット収
納容器２が載置され、該カセット収納容器２の載置部に
カセット用ポート３が設けられ、該カセット用ポート３
にプラットホーム４が嵌装している。該プラットホーム
４は昇降機構５により昇降可能となっており、前記プラ
ットホーム４に前記カセット収納容器２の底板８及び該
底板８を介しカセット６が載置され、該カセット６内に
ウェーハ７が装填されている。

【０００５】前記カセット用ポート３が開口されると、
前記カセット６は前記底板８を介して前記プラットホー
ム４上に載置される。該プラットホーム４は前記昇降機
構５により降下され、前記カセット６が前記カセット収
納容器２から完全に抜出され、回動アーム９が回動され
て、連結装置１０が前記カセット６に係合される（図１
１）。

【０００６】矩形アーム１１が上昇されて前記カセット
６は前記プラットホーム４から上昇される。然る後前記
回動アーム９が回動して前記カセット６が前記連結装置
１０に吊下げらされ、該カセット６は前記プラットホー
ム４の外側に移動される（図１２）。

【０００７】前記プラットホーム４が上昇され、該プラ
ットホーム４により前記カセット用ポート３が閉塞され
る。然る後前記回動アーム９が下方に回動され、前記カ
セット６は主エレベータ装置１３の受渡しステージ１４
上に載置される（図１３）。

【０００８】前記連結装置１０は前記カセット６との係
合が解除され、前記矩形アーム１１及び前記回動アーム
９が退避する。前記主エレベータ装置１３により前記カ
セット６が下降され、該カセット６内の加工済みのウェ
ーハ７がコンベア１６により搬出される（図１４）。

【０００９】該コンベア１６によるウェーハ７の搬出と
前記主エレベータ装置１３による前記カセット６の下降
とが交互に繰返されて、前記カセット６内のウェーハ７
が全て搬出される。

【００１０】処理済のウェーハが前記コンベア１６によ
り運ばれて、前記カセット６内に装填され、前記と逆の
手順により前記カセット６が前記プラットホーム４上に
載置され、前記カセット６が前記カセット収納容器２内
に装入される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来例では、カ
セット６は連結装置１０により把持され、回動アーム９
及び矩形アーム１１により受渡しステージ１４に運ば
れ、前記カセット６内のウェーハ７は主エレベータ装置
１３及びコンベア１６の協動により搬出される。

【００１２】この為、前記カセット６を受渡しステージ
１４上に載置した状態で、前記カセット６内にウェーハ
７を出入れするので、該受渡しの時間が長くなり、生産
効率の向上を妨げる要因となっていた。

【００１３】又、前記カセット６への前記ウェーハ７の
出入れの為に、前記主エレベータ装置１３及びコンベア
１６が前記カセット収納容器２の下方に設置されるの
で、主エレベータ装置１３、コンベア１６を設置する為
の空間により基板処理装置が大型化する。更に、前記主
エレベータ装置１３等の設置に費用が掛かっていた。

【００１４】本発明は斯かる実情に鑑み、把持されたカ
セットを直接ロボットアームで受取ることにより、カセ
ットの受渡し時間を短縮し、ウェーハの出入れの為の主
エレベータ装置を不要にして、基板処理装置の小型化を
図ると共に装置価格の低減を図るものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、外部から搬入
されたカセットを載置するカセット載置部と、基板処理
装置内でカセットを搬送するカセットローダと、該カセ
ットローダと前記カセット載置部との間でカセットを受
渡しするカセット受渡し装置を具備する基板処理装置に
於いて、前記カセット受渡し装置は、前記カセット載置
部からカセットを鉛直下方に移動可能なベースを有し、
更に前記カセット受渡し装置が前記カセットローダに対
するカセット受渡し位置と前記カセットを鉛直下方に降
ろした位置との間で水平方向に進退する進退フレームを
有し、該進退フレームにカセットを吊下げ状態で支持す
るカセット支持部を設けた基板処理装置に係り、又前記
カセット支持部がカセットの搬送用取手を上下方向から
把持する支持片とカセット把持爪とを具備し、少なくと
も該カセット把持爪と前記支持片のいずれか一方を上下
移動可能とした基板処理装置に係り、又前記カセット受
渡し装置の前記ベースの鉛直方向の駆動と、前記進退フ
レームの進退方向との駆動とを独立して動作可能とした
基板処理装置に係り、又カセット搬入出口に臨接して形
成された授受空間と、該授受空間に対向して設けられた
カセットローダと、該カセットローダに対向して設けら
れたカセット棚と、前記カセットローダと前記授受空間
との間でカセットを搬送するカセット受渡し装置を具備
する基板処理装置に於いて、前記カセット受渡し装置が
前記カセットローダのカセット受渡し位置と前記授受空
間との間で水平方向に進退する進退フレームを有し、該
進退フレームにカセットを吊下げ状態で支持するカセッ
ト支持部を設けた基板処理装置に係り、又前記カセット
支持部がカセットの搬送用取手を上下方向から把持する
支持片とカセット把持爪とを具備し、該カセット把持爪
が前記支持片の上側に位置すると共に上下に移動可能と
した基板処理装置に係り、又前記カセット受渡し装置が
前記授受空間に対して下方から臨接し、カセット受載台
を兼ねるベースを昇降可能に具備し、前記進退フレーム
は前記ベースに対して独立して進退する基板処理装置に
係り、又前記進退フレームが進退方向に対して直角方向
に近接離反可能な側板を有し、前記カセット支持部は前
記側板に設けられた基板処理装置に係り、又前記側板が
水平軸心を中心に傾動可能である基板処理装置に係り、
又前記授受空間にはカセットを収納するカセット収納容
器が搬入され、前記ベースにはカセット収納容器の底板
を取外すラッチ開放機構が設けられている基板処理装置
に係り、又前記カセットローダはカセット受渡し位置で
前記支持部に対してカセットの受渡しを行う基板処理装
置に係り、更に又カセット搬入出口に臨接して形成され
た授受空間と、該授受空間に対向して設けられたカセッ
トローダと、該カセットローダに対向して設けられたカ
セット棚と、前記カセットローダと前記授受空間との間
でカセットを搬送するカセット受渡し装置を具備する基
板処理装置に於いて、前記カセット受渡し装置が前記カ
セットローダのカセット受渡し位置と前記授受空間との
間で水平方向に進退する進退フレームを有し、該進退フ
レームに進退方向に対して直角方向に近接離反可能な側
板が設けられ、該側板にカセットを吊下げ状態で支持す
るカセット支持部を設け、前記側板を水平軸心を中心に
傾動可能とし、前記カセット受渡し装置が前記授受空間
に対して下方から臨接し、カセット受載台を兼ねるベー
スを前記進退フレームに対して独立して昇降可能に設け
た基板処理装置に係るものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【００１７】図１〜図６に於いて第１の実施の形態を説
明する。

【００１８】図１は本発明の基板処理装置２１の構成の
概略を示すものであり、該基板処理装置２１の筐体２２
内にクリーンユニット２３が設置され、該クリーンユニ
ット２３の下方に収納容器授受空間１８が形成され、前
記筐体２２の前記収納容器授受空間１８に臨む位置に搬
入出口１９が設けられている。前記クリーンユニット２
３下方にカセット受渡し装置２７が設けられている。該
カセット受渡し装置２７は前記収納容器授受空間１８を
画成すると共に外部から搬入されたカセットを載置する
カセット載置部を兼ねるベース板３０を昇降可能に具備
し、該ベース板３０にはカセット収納容器２４が載置さ
れ、該カセット収納容器２４内にはカセット２５が収納
されており、該カセット２５には未処理のウェーハが装
填されている。

【００１９】前記カセット収納容器２４の底板２８はカ
セット収納容器本体２９に対し下方に開閉可能であり、
前記底板２８は前記ベース板３０上に載置される。該ベ
ース板３０の上面中央部にラッチ開閉機構３１が取付け
られ、該ラッチ開閉機構３１により前記底板２８が前記
カセット収納容器本体２９から脱離される様になってい
る。前記ベース板３０は後述する様に昇降可能となって
おり、該ベース板３０上に前記底板２８を介在して前記
カセット２５が載置される様になっている。

【００２０】前記カセット２５は図４に示す如く外周部
に搬送用取手３４が突出形成されると共に、該搬送用取
手３４の下側に嵌合用凹部３５が形成されている。

【００２１】前記カセット受渡し装置２７の後方にはカ
セットローダ３７が立設され、該カセットローダ３７は
エレベータ駆動用モータ３８により昇降されるロボット
アーム３９を具備している。該ロボットアーム３９は屈
伸するアーム４０及びすくい上げプレート４１を二段に
有し、該すくい上げプレート４１上に前記カセット２５
を載置し得る受載アーム４２が設けられ、該受載アーム
４２は前記アーム４０、すくい上げプレート４１の屈伸
により直線的に進退する。

【００２２】前記カセットローダ３７の後方にカセット
棚４４が配設され、前記クリーンユニット２３の上方に
バッファ棚４５が配設されている。

【００２３】図２に前記カセット受渡し装置２７の詳細
を示す。

【００２４】該カセット受渡し装置２７は垂直フレーム
４７と２つのサイドフレーム４８，４９とから成ってお
り、前記垂直フレーム４７は縦長矩形の枠状を成してお
り、前記各サイドフレーム４８，４９は夫々コの字状で
ある。

【００２５】前記垂直フレーム４７に２本のガイドシャ
フト５０，５１が垂直方向に取付けられ、該各ガイドシ
ャフト５０，５１は相互に平行になっている。該各ガイ
ドシャフト５０，５１にスライド軸受５２，５３が摺動
可能に取付けられ、該各スライド軸受５２，５３には支
持アーム５４，５５が水平方向に取付けられ、該各支持
アーム５４，５５により前記ベース板３０が両側部に於
いて支持されている。

【００２６】スクリューロッド５８が前記各ガイドシャ
フト５０，５１の間に該ガイドシャフト５０，５１と平
行に取付けられ、前記スクリューロッド５８は両端部が
軸受により回転自在に支持され、前記スクリューロッド
５８に昇降ナット５９が螺合され、前記スクリューロッ
ド５８の下端部には被動歯車６２が嵌着されている。前
記昇降ナット５９には水平に伸びる昇降アーム６０が取
付けられ、該昇降アーム６０は前記ベース板３０の下面
に固着されている。

【００２７】前記垂直フレーム４７の下部水平部材６３
にベース昇降用モータ６４が設けられ、該ベース昇降用
モータ６４の回転軸６５に駆動歯車６６が嵌着され、該
駆動歯車６６と前記被動歯車６２とがタイミングベルト
６７により連結されている。

【００２８】前記各サイドフレーム４８，４９の上部水
平ガイド６９，７０上に水平スライドブロック７１，７
２が摺動自在に取付けられ、該各水平スライドブロック
７１，７２は図示しないＸ方向エアシリンダにより矢印
Ｘ方向に水平移動し得る様になっており、前記上部水平
ガイド６９，７０、水平スライドブロック７１，７２、
エアシリンダ等は搬送部を構成する。

【００２９】前記各水平スライドブロック７１，７２上
に側支板７３，７４が夫々立設され、該各側支板７３，
７４の上端部に回転アーム７５，７６はピン７７，７８
により枢支され、前記両回転アーム７５，７６にはグリ
ッパプレート７９が掛渡され、前記側支板７３，７４、
グリッパプレート７９により門型状の進退フレーム８０
が形成される。前記一方の側支板７３内側面に傾動用エ
アシリンダ８１が筒体端部に於いて枢着され、該傾動用
エアシリンダ８１の傾動用ピストンロッド８２の先端部
が一方の前記回転アーム７５の先端に枢着され、前記回
転アーム７５及び前記回転アーム７６は前記各ピン７
７，７８を中心として一定角度θ傾動する様になってい
る。

【００３０】前記グリッパプレート７９の下面に一対の
側板用エアシリンダ８４，８５が取付けられ、該側板用
エアシリンダ８４，８５の側板用ピストンロッド８６，
８７は夫々外側に向き、且つ前記矢印Ｘ方向と直交する
矢印Ｙ方向に伸縮する様になっており、開閉駆動部を構
成する。

【００３１】前記各側板用ピストンロッド８６，８７の
先端に側板８８，８９が夫々固着され、該側板８８，８
９は前記矢印Ｙ方向と直交しており、該側板８８，８９
の内側面に支持片９０，９１が水平に突設され、前記側
板８８，８９の外側面に把持用エアシリンダ９２，９３
が垂直方向に取付けられ前記側板８８，８９に矩形孔９
４，９５が夫々穿設され、該各矩形孔９４，９５は前記
把持用エアシリンダ９２，９３の上方に位置している。

【００３２】把持用エアシリンダ９２，９３の把持用ピ
ストンロッド９６，９７の先端にカセット把持爪９８，
９９が夫々水平に取付けられ、該各カセット把持爪９
８，９９の先端は前記各矩形孔９４，９５を貫通し前記
支持片９０，９１と対向する様内側に突出している。而
して、前記側板用エアシリンダ８４、前記側板８８、支
持片９０、前記把持用エアシリンダ９２及び前記側板用
エアシリンダ８５、前記側板８９、前記支持片９１、前
記把持用エアシリンダ９３により２組の把持部が構成さ
れる。

【００３３】以下、作用について説明する。

【００３４】先ず、カセット収納容器２４内のカセット
２５をカセット受渡し装置２７及びロボットアーム３９
によりカセット棚４４又はバッファ棚４５に移載する手
順について説明する。

【００３５】前記カセット収納容器２４は前記搬入出口
１９を通して前記収納容器授受空間１８内に搬入され
る。図１に示す様に、前記カセット２５が前記カセット
収納容器２４内にある時、図２に示される前記カセット
受渡し装置２７のベース板３０は最も高い位置にあり、
前記グリッパプレート７９は前記垂直フレーム４７から
最も離れた位置にあり、前記側板８８，８９は相互に最
も離間した位置にあり、更に前記カセット把持爪９８と
支持片９０及びカセット把持爪９９と支持片９１との間
隔は最も開いた状態にある。

【００３６】前記カセット２５は前記カセット収納容器
２４の底板２８上にあり、該底板２８は前記ベース板３
０上のラッチ開閉機構３１に係合している。

【００３７】前記カセット収納容器２４から前記カセッ
ト２５を取出す時、前記ラッチ開閉機構３１が作動して
前記底板２８が前記カセット収納容器本体２９から離脱
し得る状態になる。

【００３８】前記ベース昇降用モータ６４が駆動される
と前記駆動歯車６６が回転し、前記タイミングベルト６
７を介在して前記被動歯車６２が回転されると共に、該
被動歯車６２を介してスクリューロッド５８が回転さ
れ、該スクリューロッド５８に螺合する昇降ナット５９
が下降される。該昇降ナット５９を介し前記昇降アーム
６０と一体に前記ベース板３０が下降する。この時、該
ベース板３０の両側部は支持アーム５４，５５、スライ
ド軸受５２，５３及びガイドシャフト５０，５１により
夫々支持されているので、前記ベース板３０は前記各ス
ライド軸受５２，５３を介し前記各ガイドシャフト５
０，５１にガイドされ、前記ベース板３０は水平に偏り
なくカセット受渡し位置Ａ迄下降される。

【００３９】次いで、搬送部の図示しないＸ方向エアシ
リンダにより前記水平スライドブロック７１，７２が前
記上部水平ガイド６９，７０に沿って垂直フレーム４７
側に移動され、前記各水平スライドブロック７１，７２
上の側支板７３，７４、グリッパプレート７９、側板８
８，８９も一体に前記垂直フレーム４７側に移動され、
前記支持片９０，９１が前記カセット受渡し位置Ａに至
る（図４）。

【００４０】次に開閉駆動部に於いて、前記グリッパプ
レート７９下面の各側板用エアシリンダ８４，８５は側
板用ピストンロッド８６，８７を引込み、該各側板用ピ
ストンロッド８６，８７に夫々取付けられた各側板８
８，８９が前記カセット２５を挾む様相互に近接し、前
記各側板８８，８９内側の各支持片９０，９１が前記カ
セット２５の嵌合用凹部３５に挿入される。前記ベース
板３０が再び下降されると、該ベース板３０と共に前記
底板２８及び前記カセット２５が下降し、該カセット２
５の搬送用取手３４が前記各支持片９０，９１に支持さ
れる。前記ベース板３０は更に下降され、前記搬送用取
手３４，３４が支持板９０，９１に乗置する。前記側板
８８，８９の把持用エアシリンダ９２，９３は各把持用
ピストンロッド９６，９７を引込み、カセット把持爪９
８，９９が前記搬送用取手３４に当接する。而して、前
記カセット２５は両側の搬送用取手３４に於いて前記各
支持片９０，９１及び前記各カセット把持爪９８，９９
により夫々把持され、吊下げ状態で支持される。（図
５）。

【００４１】前記傾動用エアシリンダ８１は前記傾動用
ピストンロッド８２を引込み、前記回転アーム７５が角
度θ回転され、該回転アーム７５及び他の回転アーム７
６、前記グリッパプレート７９、前記側板８８，８９を
介し前記カセット２５が角度θ傾動される（図３）。該
カセット２５が角度θ傾動されると、該カセット２５内
のウェーハが整列される。

【００４２】図示しないＸ方向エアシリンダにより前記
各水平スライドブロック７１，７２が前記上部水平ガイ
ド６９，７０に沿って前記カセットローダ３７側へ移動
し、前記カセット２５は前記各支持片９０，９１及び前
記各カセット把持爪９８，９９により把持された状態で
カセット移載位置Ｃ迄搬送される。

【００４３】該カセット移載位置Ｃに於いて、前記傾動
用ピストンロッド８２が突出され、前記各回転アーム７
５，７６、前記グリッパプレート７９、前記各側板８
８，８９を介し前記カセット２５が前記と逆方向に角度
θ傾動され、該カセット２５は水平状態に戻る。

【００４４】次いで、前記各把持用ピストンロッド９
６，９７が終端迄突出され、前記カセット把持爪９８，
９９が前記搬送用取手３４から離間し、ロボットアーム
３９に対し、カセットを受渡しする為のロボットアーム
３９の上昇（すくい上げ）空間を確保する。前記カセッ
トローダ３７のロボットアーム３９が前記カセット受渡
し装置２７側に伸張され、前記ロボットアーム３９はエ
レベータ駆動用モータ３８により前記カセット２５の下
方から上昇され、前記受載アーム４２が前記カセット２
５の底部に接し（図６）、該カセット２５が持上げら
れ、前記搬送用取手３４が前記カセット把持爪９８，９
９と干渉することなく前記各支持片９０，９１から離間
される。

【００４５】前記ロボットアーム３９が退縮し、前記受
載アーム４２上の前記カセット２５は前記カセット受渡
し装置２７外に搬送される。

【００４６】前記ロボットアーム３９は前記エレベータ
駆動用モータ３８により昇降され、前記ロボットアーム
３９の屈伸及び前記ロボットアーム３９の微少下降によ
り、前記カセット２５は前記カセット棚４４又はバッフ
ァ棚４５の所定位置に収納される（図１）。

【００４７】次に、前記カセット２５を前記カセット棚
４４又は前記バッファ棚４５から前記カセット収納容器
２４へ搬送する手順について説明する。

【００４８】前述の如く前記カセット２５を前記カセッ
ト棚４４又はバッファ棚４５に収納した後、前記ロボッ
トアーム３９は前記カセット棚４４の別の位置に移動さ
れ、前記ロボットアーム３９の屈伸及び該ロボットアー
ム３９の微少上昇により他のカセット２５が取出され
る。該カセット２５には処理済みのウェーハが装填され
ている。

【００４９】前記ロボットアーム３９はカセット移載位
置Ｃ迄下降された後伸張し、前記カセット２５は前記カ
セット受渡し装置２７内に搬入され、前記搬送用取手３
４が前記各支持片９０，９１及びカセット把持爪９８，
９９の間に挿入される。前記ロボットアーム３９が更に
降下され、前記搬送用取手３４は前記各支持片９０，９
１により支持され（前記図６に同じ）、前記把持用エア
シリンダ９２，９３により前記カセット把持爪９８，９
９が降下されて前記搬送用取手３４が前記各支持片９
０，９１及び前記各カセット把持爪９８，９９により把
持される（前記図５に同じ）。

【００５０】図示しないＸ方向エアシリンダにより前記
側支板７３，７４及び前記グリッパプレート７９が前記
垂直フレーム４７側に移動され、前記カセット２５は前
記カセット受渡し位置Ａ迄搬送される。前記把持シリン
ダ９２，９３により前記カセット把持爪９８，９９が上
昇される。前記ベース昇降用モータ６４が駆動し、駆動
歯車６６，タイミングベルト６７，歯車６２を介して前
記スクリューロッド５８が回転して、前記昇降ナット５
９を介して前記ベース板３０及び底板２８が上昇し、該
底板２８により前記カセット２５が僅かに持上げられて
支持された時、前記各側板用ピストンロッド８６，８７
が突出され、前記各側板８８，８９が前記カセット２５
から離間される（前記図４に同じ）。

【００５１】前記グリッパプレート７９及び前記各側支
板７３，７４が前記垂直フレーム４７とは反対側に移動
されると、前記ベース板３０が更に上昇され、前記カセ
ット２５が前記カセット収納容器本体２９内に装入され
ると共に、前記底板２８が前記カセット収納容器本体２
９に嵌合され、前記ラッチ開閉機構３１により前記底板
２８は前記カセット収納容器本体２９に固定される。

【００５２】然る後、前記カセット収納容器２４は図示
しない外部搬送装置により搬出される。

【００５３】図７及び図８に於いて本発明の第２の実施
の形態を説明する。

【００５４】尚、図７及び図８中、図１〜図６中と同等
のものには同符号を付し、説明は省略する。

【００５５】本第２の実施の形態は前記第１の実施の形
態の構成と略同様であり、グリッパプレート７９が片持
支持であり、又カセット２５は１方の搬送用取把手３４
のみが把持される様になっている。

【００５６】図７はカセット受渡し装置２７′の詳細を
示している。

【００５７】片側のサイドフレーム４８の上部水平ガイ
ド６９上に水平スライドブロック７１が取付けられ、該
水平スライドブロック７１は図示しないＸ方向エアシリ
ンダにより矢印Ｘ方向に移動し得る様になっている。

【００５８】前記水平スライドブロック７１上に側支板
７３が立設され、該側支板７３の上端部に回転アーム７
５がピン７７により枢着されている。前記回転アーム７
５にグリッパプレート７９が固着されている。前記側支
板７３、グリッパプレート７９、側板１０４により逆Ｌ
字状の進退フレーム１００が形成される。

【００５９】前記側支板７３内側面に傾動用エアシリン
ダ８１が筒体端部に於いて枢着され、該傾動用エアシリ
ンダ８１の傾動用ピストンロッド８２の先端部が一方の
前記回転アーム７５に枢着され前記回転アーム７５及び
前記グリッパプレート７９が前記ピン７７を中心として
一定角度θ傾動する様になっている。

【００６０】前記グリッパプレート７９の下面に側板用
エアシリンダ１０１が取付けられている。該側板用エア
シリンダ１０１は二つの側板用ピストンロッド１０２，
１０３を有しており、該各側板用ピストンロッド１０
２，１０３は夫々外側に向き、且つ該各側板用ピストン
ロッド１０２，１０３は前記矢印Ｘ方向と直交する矢印
Ｙ方向に出入する様になっている。

【００６１】前記各側板用ピストンロッド１０２，１０
３の先端に側板８８，１０４が夫々固着され、該各側板
８８，１０４は前記矢印Ｙ方向に対して垂直であり、該
側板１０４の内側面に支持片９１が水平に取付けられて
いる。

【００６２】前記側板８８の内側面に支持片９０が水平
に取付けられ、前記側板８８の外側面に把持用エアシリ
ンダ９２が垂直方向に取付けられ、前記側板８８に矩形
孔９４が穿設されている。該矩形孔９４は前記把持用エ
アシリンダ９２上方に位置している。前記各把持用エア
シリンダ９２の把持用ピストンロッド９６は上方に向
き、該各把持用ピストンロッド９６は矢印Ｚ′方向に出
入する様になっている。該把持用ピストンロッド９６の
先端にカセット把持爪９８が水平に取付けられ、該カセ
ット把持爪９８の先端は前記矩形孔９４を貫通して前記
側板８８の内側に突出している。

【００６３】以下、作用について説明する。

【００６４】カセット収納容器２４内のカセット２５を
カセット受渡し装置２７及びロボットアーム３９により
カセット棚４４又はバッファ棚４５に移載する手順につ
いて説明する。

【００６５】図１に示す様に、前記カセット２５が前記
カセット収納容器２４内にある時、図７に示される前記
カセット受渡し装置２７′のベース板３０は最も高い位
置にあり、前記側支板７３は前記垂直フレーム４７から
最も離れた位置にあり、前記各側板８８，１０４は相互
に最も離間した位置にあり、更に前記カセット把持爪９
８と支持片９０との間隔は最も開いた状態にある。

【００６６】前述の第１の実施の形態と同様の操作によ
り前記ベース板３０がカセット受渡し位置Ａ迄下降した
後、片側のみの前記水平スライドブロック７１が前記サ
イドフレーム４８の上部水平ガイド６９に沿って前記垂
直フレーム４７側に移動し、前記水平スライドブロック
７１上の側支板７３、グリッパプレート７９及び各側板
８８，１０４も前記垂直フレーム４７側に移動され、前
記各側板８８，１０４内側の各支持片９０，９１が前記
カセット受渡し位置Ａに至る。

【００６７】前記グリッパプレート７９下面の側板用エ
アシリンダ１０１は側板用ピストンロッド１０２，１０
３が夫々引込まれ、該各側板用ピストンロッド１０２，
１０３に夫々取付けられた前記各側板８８，１０４が前
記カセット２５を挾む様相互に近接し、前記各側板８
８，１０４内側の各支持片９０，９１が前記カセット２
５の嵌合用凹部３５に嵌入される。前記ベース板３０が
再び降下されると、該ベース板３０と共に前記底板２８
及び前記カセット２５が下降し、該カセット２５の搬送
用取手３４が前記各支持片９０，９１に支持される。前
記ベース板３０は更に降下され、前記各側板８８の把持
用エアシリンダ９２は把持用ピストンロッド９６が引込
まれ、該把持用ピストンロッド９６先端のカセット把持
爪９８が前記搬送用取手３４に当接する。而して、前記
カセット２５は搬送用取手３４の一側に於いて前記支持
片９１により支持され、他側に於いて前記支持片９０及
び前記カセット把持爪９８により夫々把持される（図
８）。

【００６８】前記側支板７３側面の傾動用エアシリンダ
８１は傾動用ピストンロッド８２が引込まれ、該傾動用
ピストンロッド８２の先端に枢着された回転アーム７５
が角度θ回転され、該回転アーム７５に取付けられてい
るグリッパプレート７９、前記各側板８８，１０４及び
前記カセット２５が角度θ傾動される。該カセット２５
が角度θ傾動されると、該カセット２５内に装填されて
いるウェーハが整列される。

【００６９】図示しないＸ方向シリンダにより前記水平
スライドブロック７１が前記上部水平ガイド６９に沿っ
て前記カセットローダ３７側へ移動され、前記カセット
２５はカセット移載位置Ｃ迄搬送される。

【００７０】前記傾動用ピストンロッド８２が突出さ
れ、前記各回転アーム７５、前記グリッパプレート７
９、前記各側板８８，１０４及び前記カセット２５が前
記と逆方向に角度θ傾動され、該カセット２５は水平状
態に戻る。

【００７１】次いで、前記把持用ピストンロッド９６が
突出され、前記カセット把持爪９８が前記搬送用取手３
４から離間する。前記ロボットアーム３９が前記カセッ
ト受渡し装置２７側に伸張し、前記ロボットアーム３９
はエレベータ駆動用モータ３８により前記カセット２５
の下方から上昇され、前記受載アーム４２が前記カセッ
ト２５を受載する。

【００７２】以下、前述の第１の実施の形態と同様の操
作により、前記カセット２５は前記カセット棚４４又は
バッファ棚４５に収納される。

【００７３】次に、前記カセット２５を前記カセット棚
４４又は前記バッファ棚４５から前記カセット収納容器
２４へ搬送する手順について説明する。

【００７４】前述の第１の実施の形態と同様の操作によ
り、前記ロボットアーム３９によって他のカセット２５
が取出され、前記ロボットアーム３９はカセット移載位
置Ｃ迄下降される。前記カセット２５は前記カセット受
渡し装置２７内に搬入され、前記カセット２５の一側の
前記搬送用取手３４が前記支持片９１の上方に位置決め
されると共に他側の前記搬送用取手３４が前記支持片９
０及びカセット把持爪９８の間に挿入される。

【００７５】前記ロボットアーム３９が下降され、前記
搬送用取手３４は前記支持片９１に支持されると共に、
前記把持用エアシリンダ９２により、前記搬送用取手３
４を前記支持片９０と前記カセット把持爪９８との間に
把持する。

【００７６】前記側支板７３及び前記グリッパプレート
７９が前記垂直フレーム４７側に移動され、前記カセッ
ト２５は前記カセット受渡し位置Ａ迄搬送される。前記
把持用エアシリンダ９２により前記搬送用取手３４の把
持が解除される。

【００７７】前記ベース昇降様モータ６４の駆動により
前記ベース板３０及び底板２８が上昇され、該底板２８
により前記カセット２５が僅かに持上げられて支持され
た時、前記各側板用ピストンロッド１０２，１０３が突
出され、前記各側板８８，１０４が前記カセット２５か
ら離間される。

【００７８】前記グリッパプレート７９及び前記側支板
７３が前記垂直フレーム４７とは反対側に移動される
と、前述の第１の実施の形態と同様の操作により、前記
カセット２５が前記カセット収納容器本体２９内に装入
される。

【００７９】尚、本発明の基板処理装置は、上述の実施
の形態に於けるエアシリンダを駆動源とするばかりでな
く油圧シリンダ或はモータ駆動に変えてもよいことは勿
論である。

【００８０】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
ト受渡し装置のカセット支持部により把持されたカセッ
トが直接カセットローダに受渡しされるので、カセット
の受渡し時間が短縮される。又従来の様なカセット受渡
しステージが不要となり、カセット受渡し装置の設置ス
ペースが小さくなると共に装置価格が低減される等種々
の優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す概略説明図で
ある。

【図２】該実施の形態におけるカセット受渡し装置の詳
細斜視図である。

【図３】該実施の形態に於けるカセットの搬送経過を示
す説明図である。

【図４】該実施の形態に於けるカセット受渡し装置の把
持部がカセットの側部に搬送された状態の背面図であ
る。

【図５】該実施の形態に於けるカセット受渡し装置の把
持部がカセットの搬送用取手を把持した状態を示す背面
図である。

【図６】該実施の形態に於けるカセット受渡し装置の把
持部のカセット把持爪が開いた状態を示す背面図であ
る。

【図７】本発明の第２の実施の形態に於けるカセット受
渡し装置の詳細斜視図である。

【図８】該実施の形態に於けるカセット受渡し装置の支
持部がカセットの搬送用取手を支持すると共に、把持部
が前記搬送用取手を把持した状態を示す背面図である。

【図９】従来例の全体を示す概略斜視図である。

【図１０】該従来例に於けるカセット搬送部を示す側面
図である。

【図１１】該従来例に於いてカセットが下降された状態
を示す側面図である。

【図１２】該従来例に於いてカセットが把持され、プラ
ットホームが上昇した状態を示す側面図である。

【図１３】該従来例に於いてカセットが主エレベータ装
置上に載置された状態を示す側面図である。

【図１４】該従来例に於いてカセットからウェーハが搬
送される状態を示す側面図である。

【符号の説明】

２１ 基板処理装置 ２２ 筐体 ２３ クリーンユニット ２４ カセット収納容器 ２５ カセット ２７ カセット受渡し装置 ２７′ カセット受渡し装置 ２８ 底板 ３０ ベース板 ３４ 搬送用取手 ３７ カセットローダ ３９ ロボットアーム ４０ アーム ４２ 受載アーム ４４ カセット棚 ５０ ガイドシャフト ５１ ガイドシャフト ５２ スライド軸受 ５３ スライド軸受 ５８ スクリューロッド ５９ 昇降ナット ６４ ベース昇降用モータ ７１ 水平スライドブロック ７２ 水平スライドブロック ７３ 側支板 ７４ 側支板 ７５ 回転アーム ７６ 回転アーム ７９ グリッパプレート ８１ 傾動用エアシリンダ ８４ 側板用エアシリンダ ８５ 側板用エアシリンダ ８８ 側板 ８９ 側板 ９０ 支持片 ９１ 支持片 ９２ 把持用エアシリンダ ９３ 把持用エアシリンダ ９８ カセット把持爪 ９９ カセット把持爪 １０１ 側板用エアシリンダ １０４ 側板

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA09 DA17 FA03 FA12 FA15 GA14 GA49 GA51 GA55 LA07 LA12 LA15 MA28 NA10 PA26

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部から搬入されたカセットを載置する
   カセット載置部と、基板処理装置内でカセットを搬送す
   るカセットローダと、該カセットローダと前記カセット
   載置部との間でカセットを受渡しするカセット受渡し装
   置を具備する基板処理装置に於いて、前記カセット受渡
   し装置は、前記カセット載置部からカセットを鉛直下方
   に移動可能なベースを有し、更に前記カセット受渡し装
   置が前記カセットローダに対するカセット受渡し位置と
   前記カセットを鉛直下方に降ろした位置との間で水平方
   向に進退する進退フレームを有し、該進退フレームにカ
   セットを吊下げ状態で支持するカセット支持部を設けた
   ことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 前記カセット支持部がカセットの搬送用
   取手を上下方向から把持する支持片とカセット把持爪と
   を具備し、少なくとも該カセット把持爪と前記支持片の
   いずれか一方を上下移動可能とした請求項１の基板処理
   装置。
3. 【請求項３】 前記カセット受渡し装置の前記ベースの
   鉛直方向の駆動と、前記進退フレームの進退方向との駆
   動とを独立して動作可能とした請求項１の基板処理装
   置。
4. 【請求項４】 前記進退フレームが進退方向に対して直
   角方向に近接離反可能な側板を有し、前記カセット支持
   部は前記側板に設けられた請求項１の基板処理装置。
5. 【請求項５】 前記側板が水平軸心を中心に傾動可能で
   ある請求項４の基板処理装置。