TW593082B - Storage facility for use in a clean-room - Google Patents

Description

593082 五、發明説明 [技術領域] 本發明係有關於一種保管設備，其係用以於塵埃少且潔 淨之環境中，保管諸如液晶顯示零件或半導體產品等物2 者。更具體言之，係有關於一種設置於有空氣（air)由天 花板部朝下方吹出之降流（d〇wn-fl〇w )式無塵室的物品保 管設備之改良。 [習知背景] 無塵室用物品保管設備中，設置有一用以進行物品搬運 之物品搬運機構，其係用以對多數物品收納部，將液 不零件或半導體產品等物品搬入，及將保管於物品收納部 之物品搬運至外部者。習知裝置中，為有效利用該物品搬 運機構，有將物品處理裝置設置靠近物品搬運機構者， 使其可進行對用以對物品執行預定處理之物品處理裝置 物品搬運。按此，可使搬運時間縮短，而作業效率提高 且，為將物品處理裝置之上側空間亦利用作為收納空間 故設置一收納空間使其位處物品處理裝置之物品移載部_ 上侧，且與該物品移載部於上下方向上重疊。按此，可使 設置空間有效利用，而收納保管效率提高。（參照諸如日本 特許公開公報特開平1〇_294351 ) 此外，該物品保管設備，由於須於塵埃少且潔淨之環境 中保管物品，故係設置於有藉空氣淨化過濾器淨化之潔淨 空氣由天花板部朝下側吹出供給之降流式無塵室内。由位 於收納架上側之天花板部吹出供給之潔淨空氣，從上端之 空氣吸取部吸進後，自前述背側空氣通風路流通過各收納 顯 俾 之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ Φ. 本紙張尺度適用中國國家標準（⑽）A4規格（21〇χ297公爱） -4- 593082 A7 ______ B7 五、發明説明（2 ) 部之收納空間，再於前側空氣通風路内朝下侧流動。因此， 在習知之物品保管設備中，例如，如第8圖所示，係構造 成·物品保官裝置B之前述重疊裝置部分（？）之下端部 3〇形成閉塞狀態，而由上端之空氣吸取部13所吸進之潔 淨空氣，全部皆通過物品收納部5之收納空間和前側空氣 通風路Μ後，朝下侧流動。結果’導致位於前述重疊裝置 部分下侧之物品處理裝置之物品移㈣15並無來自天花 板面2之潔淨空氣供給之狀態。因此，於物品處理裝置Α 之上部，設置具有送風機和空氣淨化過濾器之扇形過濾器 單元FU，俾確保以物品搬運機構對物品處理裝置所行之物 品搬出暨搬入部位之潔淨度。 然:而，在前述習知之結構中，雖可確保前述對物品處理 裝置之物品進出部位之潔淨度，但如第8圖所示，以扇形 過濾器單元FU吸取來自天花板部朝下方流動過物品保管 裝置之背面部位之潔淨空氣，位於前述物品移載部之上側 之角口P ( A部）中，可能有潔淨空氣之氣流（降流）混亂 而致成為亂流之虞，結果，對其他裝置之空氣潔淨度之維 持恐產生不好影響。

[發明之揭示;I 本發明乃係用以改良此問題者。因此，本發明主要之 -㈣在於提供—種無塵室用物品保管設備，其係可避免 …塵至之空氣之氣流混I而致對其他裝置之空氣潔淨 度之維持產生不好影響的不利點。 、Λ、/ 依申請專利範圍所定義之本發明，由空氣吸取部所吸 本紙張尺度適财關家標準（CNS) Α4規格⑵GX297公楚） 593082 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 進之業經淨化之空氣，藉導風通路自背側空氣通風路導至 前述重疊裝置部分之前述收納部之下側。其後，藉該導風 通路而導至前述收納部下側之空氣，由前述空氣吹出部朝 物品處理裝置向下側吹出供給。從而，藉如此供給之淨化 空氣，可確保以物品搬運機構對物品處理裝置所行之物品 搬出暨搬入部位之潔淨度。且，由於如前所述，由物品保 管裝置吹出供給業經淨化之空氣，故毋須於物品處理裝置 側設置特別之扇形過濾器單元，據此即可簡化結構。且， 由於如前所述毋須於物品處理裝置側設置特別之扇形過濾 器單元，因而毋須如習知由物品處理裝置之上部部位強制 吸取空氣，故可減少引起來自天花板部之潔淨空氣氣流混 亂之虞。 從而，達成可提供一種無塵室用物品保管設備，其係 可避免無塵室之潔淨空氣之氣流混亂而致對其他裝置之空 氣潔淨度之維持產生不好影響的不利點。 具體之實施型態宜為於前述空氣吹出部設有可自由改 變調整空氣吹出量之風量調節機構。即，藉風量調節機構， 可改變調整由空氣吹出部朝下方吹出供給之空氣吹出量， 而將來自空氣吹出部之空氣之流通狀態與由天花板部所吹 出之空氣之流通狀態極力調整成同一狀態，藉此，可儘量 減少無塵室内氣流之混亂。 [發明之實施形態] 以下，依圖示說明本發明之無塵室用物品保管設備。在 第1圖中，顯示設置於業經淨化塵埃少之室内空間之用以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -6- 593082

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 保管諸如半導體產品或液晶顯示零件等之物品保管設備。 二上述之產_之初期階段或製造途中，須保管於細微粉 =塵埃=之環境中。該物品保管設備，係構造成以該等 勿时為保B對象，於業經淨化塵埃少之空間保管物品者。 設有該物品保管設備之房間，係構造成為有空氣UiO 由天花板部朝下方吹出之降流（down-flow)式無塵室。更 具體說明之，無塵t R1之地板部，係形成為具有多數通 氣孔之網眼狀格拇地板1。於該格栅地板1之下侧設有且 備吸氣用空間Q之吸氣室R2。如笛1闰& 八 孔至R2 如第1圖所示，無塵室ri 内之空氣，係透過吸氣室R2 Μ之空間及循環路q，再藉 通：扇F吸取者。進而，業經吸取之空氣，經由形成於‘ .訂i 塵室R1之天花板面2上側之空氣室3，透過由諸如hepa (High EffiClenCy Partlculate Air ;高效率微粒空氣）過濾 裔等所構成之空氣過遽器4加以淨化後，朝無塵室幻内 向下吹出供給。從而，由於無塵g R1之空氣透過前述路 徑循環，而在始終有業經淨化之空氣由天花板面2朝下方 吹出之狀態下供給，故可維持潔淨度高之狀態。 接著，參照第2圖〜第6圖，說明物品保管設備之結構。 該物品保管設備大致區分，包含有用以對物品進行預定處 理之物品處理裝置A及具有多數物品收納部5之物品保管 裝置B。更詳而言之，該物品保管裝置6具有在上下方向 及橫向上多數並列之狀態下，設有多數用以收納物品 物品收納部5的一方架本體6 ;及，在上下方向上一列而 橫向上多數並列之狀態下，設有多數物品收納部5的另一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 593082 A7 ----- -B7____ 五、發明説明（5 ) 方架本體7。該等架本體6與7，係於前後方向間隔預定距 離並列設置。於該成對架本體6、7間之間隔，設有用以進 行在多數物品收納部5與後述之物品搬出暨搬入用運送機 裝置8間之物品搬運的物品搬運機構之塔式起重機9 (stacker crane)。該塔式起重機9亦進行一物品收納部5 另物σσ收納部5間之物品搬運。亦可利用具有延伸於 水平向，用以沿上下方向移動之升降機；及，在該升降機 上，可沿水平方向移動之載置構件的裝置取代塔式起重機 作為物品搬運機構。 在此，參照用以顯示由上而下俯視物品保管設備之狀態 之圖示，即，參照為俯視圖之第2圖，針對與以本說明書 所利用之方向相關之表現加以明確化。架本體6之物品收 納部5係朝塔式起重機9侧開口。因而將架本體6之前向 ，義為以D1所標示之箭頭方向。同樣將架本體7之前向 定義為以D2所標示之箭頭方向。從而，將沿D1或D2之 方向稱為架本體6、7之前後向。更進—步，將以D3所標 示之方向定義為橫向。 於物品保管裝置B之橫向端部側部位，設有用以對外 部將物品搬出暨搬入之物品搬出暨搬入部1〇。該物品搬出 暨搬入部10係具有一運送機裝置8，其係用以自塔式起重 機9接收物品C而搬運至外部，及將自外部接收之物品交 予塔式起重機9。該塔式起重機9係具有一移動台車9c， 其係一邊於設置於地板部之移動軌9a上移動，一邊使其上 端部沿設置於天花板部之導軌9b而引導以於橫向上自、由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2〗〇χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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發明説明 移動者。該移動台車9 甘〆 具有一自由升降之移載裝置9d， 其係用以在多數物品收 罝9d， ^ ^ 文肩邛5與前述運送機裝置8 或多數物品收納部5彼 之間， 、 之間，或則述運送機裝置8夕pq 移載物品者。藉前述塔式 間 ,式起重機9，可在複數物品收納邱 5、前述運送機裝置8， 4文、，、内邛 # 夂更進一步，之後將說明之物口考 理裝置Α之間移載物品。 物口口處 關於前述各架本體6、7 & 將位於與塔式起重機9侧之 别側相反之側稱為背側。 1則之 弟圖所不，於前述架本體6、 7各自之背側部位，在牟太_ 在木本體0、7與覆蓋其等外周 閉塞狀態之罩體11之間，& 成 1各自形成有背側空氣通路推 而’於前述架本體6、7各自之前側部位上形成有二 塔式起重機9之空間之前側空氣通風路M。且，前述^ 本體6、7之上端部及前側空氣通風路木 風抑制…以覆蓋，形成可抑制上下方向:二= 造。於各㈣空氣通風路L之上端部形成有空氣吸取^ U。前述各物品收納部5之前側’為藉塔式起重機9將二 品C搬出暨搬人，故形成開放狀態。於前述各物品收 5 ^背側’各自設有可調節通過該處之空氣量，即，通見 空氣量之風量調整器14。該風量調整器14係具有 即其利用-片或多片封鎖板’而將開口部部份或完全封 閉’以調整開口量。該機構係可利用封鎖板相對於=部 進行滑料狀㈣之結構，亦可_相對於開口部進^ 擺動而將該開口部封閉之結構。 仃 如第2圖或第3圖所示，於各架本體6、 ”中一方之 (請先閲讀背面之注意事项再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（〇lS) A4規格（210Χ297公釐） -9- 593082 A7 五、發明説明 7 架本體7之下側，配置成物品處理裝置A位於與該架本體 7在上下方向上重疊之狀態。換言之，架本體了之至少一 部份，係位於物品處理裝置A之物品移載部15之上側且 與該物品移載部15在上下方向上重疊之重疊裝置部分。 又，該物品處理裝置A，係在沿物品收納部5之橫列方向 上並列之狀態下，多數並列配備者。該等多數物品處理裝 置A，在此雖不對其具體處理内容詳加敘述，不過其係形 成依次執行用以製造半導體產品或液晶顯示零件之多種 學處理之結構。 另，如第6圖所示，由無塵室R1之天花板部2朝下 出之業經淨化之空氣，由上端之空氣吸取部丨3吸進後， 月側二氣通風路L流通過各物品收納部5之收納空間，^ 於刚側玉氣通風路M内朝下側流動。進而，於物品保管裝 置B之方之架本體7,形成有一導風通路16，藉此將 空氣吸取部13所吸進之空氣自背側空氣通風路L導至 架本體7之物品收納部5下側。又，形成有一空氣吹出 ^7,藉此將藉該導風通路16而導至物品收納部5下側之 氣’朝物品處理裝置A向下側吹出供給。 接著’更詳細說明關於前述之構造和空氣之流通。 口在物品保管裝置B之並無在上下方向上重疊配備有彩 处衣置A之架本體6中，配備有在上下方向上四層 排之物品收納却q 、σ| 5 ’而背側空氣通風路L形成自上端部< 空氣吸取部1 3 拉π主 運接至靠近裝置下端部位置之狀態，而背办 空氣通風路L夕'ττ Μα <下、部，藉遮蔽板1 8堵塞，以免空氣桌 化 吹 再 由 該 部 空 並 之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂| 本紙張尺度樹_辑 -10- 593082 五、發明説明 風技 又，於配備有前述塔式起重機9之前側空氣通 之下端部形成有空氣流出之空氣流出部Μ。從而， =塵室〜花板部2朝下吹出之業經淨化之空氣， 、“：Γ?乳吸取部13吸進後，從背側空氣通風路l流 品收納部5之收納m，再於前侧空氣通風路Μ

I 風旦1敕爪動此時’藉設於各物品收納部5背面之前述 1 里调正器14’可將流通過各物品收納部5之收納空間之 二軋通風量調整成大約均等。 别述=上下方向上重疊配備有物品處理裝置Α之架本 北 向上並列—列之狀態設有多數物品收納部5 ,而 "空氣通風路L係形成於該單—列物品收納部5之背 則。與另-方之架本體6情況相同，由無塵室 朝下吹_經淨化之空氣，從上部之空氣吸取部 ㈣Γ λ後’空I自背侧空氣通風路[流通過各物品收 動。Η之收納空間’再於前侧空氣通風路Μ内朝下側流 又，如第6圖所示，形成有一導風通路16，其係 =背側空氣通風路L之下端部，藉此將從空氣吸取部Η 進之空氣，自前述背側空氣通風路L導至該架本體7之 物品:納部5之下侧者。導風通路16如第5圖或第6圖所 丁正體於水平向延伸，藉物品收納部5底部和罩體u ::平部分1U所形成。更進一步’前述導風通路μ與前 U刖側空氣通風路M之間設有一障壁i比， 户 沭邋Γ7、2 兄工氣自前 V風通路16漏至前述前側空氣通風路Μ。 ^ 心成有一空 Ρ人出部17’藉此將藉前述導風通路16而導至物品收納 本紙張尺度相中國國家標準（⑽）嫩格（2歌297公楚） -11- 9 五、發明説明 二5下側之空氣，朝物品處理裝置A向下 二氣吹出部17在側視中，係配置於 ：給。該 之前述物品收納部5與前述物品處理裝置A之;;^分7 如此-來，藉對物品處理裝置A之物品移。 :出供給業經淨化之空氣，使可確保物品移載部;下 度。且，於前述空氣吹出部17設置有風量調整:淨 =變調整空氣吹出量之風量調節機構。該風量= 風旦二T詳加敘述’但其與設於前述各物品收納部：： =調…相同’係形成藉滑動操作機構或 料一叙之開口量調整機構，可改變調整通過該處之^ 通過空氣量之結構。透過該風量調整器2〇改= 出量，可將其調整成與由無塵室天花板^ 人出之空氣吹出量大約同-狀態，II此，可減少弓丨 起氣流混亂之虞。 咸^弓丨 【其他實施型態】以下，列出其他實施型態。 CD在前述實施型態中，於前述空氣吹出部，係構造成以 具有=自由改變調整通過空氣量之風量調整器2〇作為自 ^改變調整空氣吹出量之風量調節機構。然而，該作為風 量調節機構之風量調整器20,或設於各物品收納部5背面 之前述風量調整器14，毋須侷限於此類者。風量調整器14 或風里调整器2〇之機能，係用以調節由其等輸出側流出之 工氣風I，為執行此機能，亦可利用可調節送風量之馬達 驅動式送風機，取代如前述說明之利用封鎖板以調節開口 置之方法。更進一步，亦可利用組合該兩種方法。又，亦 本紙張尺度翻巾國K標準（CNS) M規格（2歌297公爱） -12- 10 五、發明説明 可利用在廷風機安裳空氣淨化過遽器 送風機之送風旦4 叹有猎诸如改變 或風量調整^ ’ I或自動調節來自風量調整器 之夕數風里调整器14，可於$ l加丄 部設置個別之^壯番 μ 了於堵如架本體6下 調節，亦了即衣置’以使各自之風量調整器U獨立而 二一 t 置用以調節整體之單-調節裳置。進而，關 於调卽送風機之择厨旦甘# 1从 Μ 「m 為以諸如「高速」、「中速」、 低速」專多數階段操作之結構 刺之結構。當調整裝置係可人工操：:=用無 U作為操作器’亦可制具有數位顯示和輸人按钮者。 、二明亦可為在不設前述風量調節機構下，而為一始終 以一定量吹出量吹出供給空氣之結構。 、 ⑺，前述實施型態中，雖絲例顯示與前述物品處理裝 置之前述物品移載部在上下方向上重疊之重疊裝 多數物品收納部在橫向上以一列狀態並列之結構，但並不 揭限於此種結構，亦可為物品收納部在上下方向上以多層 並列狀態配置之結構。 θ (3)在前述實施型態中，係於前述各物品收納部之背側設 有僅自由改變通過空氣量之風量調整器之結構，但並不侷 限於此種結構，亦彳為於各物品收 包含有具有送風機和空氣淨化過據器之二:單：自 措该扇形過處器單元強制使業經淨化之空氣流通過物品收 納部之收納空間，再於前側空氣通風路内朝下側流動之結 構0 5…物品收納部 6…架本體 7···架本體（重疊裝置部 分） 州U82 A7 ^·---------B7_ 五、^ " s^· (4)在前述實施型態中，雖係舉例顯示前述物品保管裝 置，於成對之架本體0、7其中任一方，在上下方向上重疊 配置物品處理裝置A之結構，但並不侷限於此種結構，二 第7圖所示，亦可為各於成對之架本體6、7,在上下方向 上重疊配置物品處理裝置A之結構。又，前述物品保管裝 置，並不侷限於為設有前後成對架本體之結構，亦可為僅 ° 又有與物品處理裝置A在上下方向上重疊配置之單一架本 體之結構。 [圖式之簡單說明] 第1圖係顯示無塵室之本發明之物品保管設備設置狀 態之侧視圖。 第2圖係自上方觀看物品保管裝置之俯視圖。 第3圖係顯示物品保管裝置和物品處理裝置之正視圖。 第4圖係顯示物品保管裝置之後視圖。 第5圖係物品保管裝置之縱截面側視圖。 第6圖係顯示通風狀態之圖示。 第7圖係另一實施型態之物品保管裝置之縱截面侧視 圖。 第8圖係顯示習知物品保管設備之通風狀態之圖示。 [圖中標號說明] 1…格概地板 2…天化板部 3…空氣室 4…空氣過濾器 本紙張尺度適用中國國'來標準（CNs) A4規格（210X297公爱) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-14- 593082 A7 B7 D1...架本體6之前向 D2...架本體7之前向 D3...橫向 F...通風扇 FU...扇形過濾器單元 L···背側空氣通風路 M...前側空氣通風路 Q...吸氣用空間 R1...無塵室 R2···吸氣室 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（12 ) 8.. .運送機裝置 9.. .物品搬運機構 9a…移動執 9b...導執 9c...移動台車 9d...移載裝置 10.. .物品搬出暨搬入部 11…罩體 11a...水平部分 llb_障壁 12.. .通風抑制體 13…空氣吸取部 14.. .風量調整器 15…物品移載部 16.. .導風通路 17.. .空氣吹出部 1 8...遮蔽板 19.. .空氣流出部 20.··風量調節機構 30…下端部 A. ..物品處理裝置 A部...角部 B. ..物品保管裝置 C…物品 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -15-

Claims (1)

1. 園 六、申請專利範 h一種無塵室用物品保管設備，係設有： 物品處理裝置（A )，传用 七咖尸 朝下太^山, 係用以於一有空氣由天花板部 =下方“之無塵室（R1)㈣物品進行預定處理者； 物品保管裝置，係具有多數物品收納部(5)者； 該物-保官裝置係.具有—用以於配置於物品處理裝 =且用以進行物品之進出之物品移载部（15)與前 : 收納部（5)之間進行物品搬運之物品搬運機 、=?，進而設有一重疊裝置部分⑺，其係配置於前 ’*·-處理$置（A)之前述物品移載部（⑴之上側， 且與前述物品移載部（15)於上下方向上重疊者，· 匕又’於前述各物品收納部（5)之背侧部位形成有— 月側空氣通風路（L )，同時； 、於前述各物品收納部（5)前側之配備有前述物品搬 運機構（9 )之空間形成有前側空氣通風路（％); 使無塵至（R1 )之自天花板部向下吹出之業經淨化 之空氣’經由用以將其吸往前述㈣空氣通風路⑴ 之空氣吸取部（13)和前述背侧空氣通風路⑴，進 :，流通過前述各物品收納部（5)之收納空間，再於 刖述七側空氣通風路（Μ)内朝下側流動； 而，於前述物品保管裝置之重疊裝置部& (7)形成 有一導風通路（16)，其係用以將從前述空氣吸取部（13) 吸進之空^ ’自前述背側空氣通風路⑴導至該重疊 裝置部分（7)之前述物品收納部（5)之下側者；同時， -16 - 593082 A8 B8 C8 一- D8 7T、申請專利範圍 ^成有一空氣吹出部（1 7 )，其係用以將藉前述導風通 路（16 )而導至前述物品收納部（5 )下側之空氣，朝 前述物品處理農置（Α)向下侧吹出者。 2· t申，專利範圍第1項之無塵室用物品保管設備，其中 引述玉氣°人出部（17 )，係具有用以改變空氣吹出量之 風量調節機構（2〇)者。 如申叫專利範圍第1項之無塵室用物品保管設備，其中 前述導風通路（16)，係整體為水平者。 4·如申叫專利範圍第1項之無塵室用物品保管設備，其中 刖述二氣°人出部（17 )，在側視中，係配置於前述重疊 裝置邛分（7 )之前述物品收納部（5 )與前述物品處理 裝置（Α)之間者。 5·如申研專利範圍第1項之無塵室用物品保管設備，其中 前述導風通路（16)，係藉前述重疊裝置部分（7)之前 述物品收納部（5)之底部及配置有前述空氣喷出部（17) 之罩體之一部份（lla)所形成者。 6.如申請專利範圍第！項或第5項之無塵室用物品保管設 備，其中前述導風通路（16)與前述前側空氣通風路（m) 間設^一障壁（11b)，俾防止空氣自前述導風通路（i6) 漏至前述前側空氣通風路（M )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、可| -17-