JPH04332128A - 被洗浄体の洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば搬送用容器内の
半導体ウエハを洗浄用容器に移し替えて洗浄するための
洗浄方法及び移し替えシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを処理して多層構造の回路
パターンなどを得る場合、ある膜を生成した後その処理
時の残渣が残った状態で次の膜を積層すると、所要の特
性が得られないことがあるため、一般にウエハを洗浄す
ることが行われている。ここでウエハを洗浄するための
容器としては洗浄液に対する耐蝕性が要求されるので、
コストの面から搬送用容器と洗浄用容器とを区別して用
いている。

【０００３】従来ウエハを洗浄するためには、例えば２
５枚のウエハを収納した搬送用容器（以下「搬送用キャ
リア」という）を移し替えステーションにセットして、
その下方から突き上げ手段によりキャリア内のウエハを
突き上げ、これを把持機構により一括把持して洗浄用容
器（以下「洗浄用キャリア」という。）に移し替えると
共に、ウエハの洗浄後は同様にして洗浄用キャリアから
搬送用キャリアに移し替えるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで半導体デバイ
スの高集積化に伴い、ウエハへの不純物混入の許容範囲
は非常に狭いものとなっており、ウエハを洗浄するため
の一連の処理においても不純物混入に対してより一層注
意を払わなければならない。一方半導体テバイス構造の
複雑化に伴いウエハの処理工程が多くなっているため、
例えば単結晶シリコンウエハからデバイスとして完成品
に至るまでの時間を短くするためには、各処理工程及び
各処理ステーション間の搬送工程等についてできるだけ
高いスループットを得ることが強く要請されてきている
。

【０００５】このようなことから、ウエハ洗浄するシス
テムにおいても、スループットの向上という点について
着眼する必要がある。本発明はこのような事情のもとに
なされたものであり、その目的は、被洗浄体を洗浄する
にあたって、搬送用容器と洗浄用容器との間の移し替え
を必要とする場合に、被洗浄物への不純物の付着を防止
することのできる洗浄方法、及び高スループットを図る
ことのできる洗浄システムを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、搬送
用容器内の被洗浄体を移し替えステーションにて洗浄用
容器に移し替え、洗浄用容器内の被洗浄体を洗浄した後
、前記移し替えステーションにて搬送様容器に移し替え
る洗浄方法において、被洗浄体が取り出されて空になっ
た搬送用容器を洗浄し、洗浄された当該空の搬送用容器
内に洗浄用容器内の洗浄済みの被洗浄体を移し替えるこ
とを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、搬送用容器内の被処理
体を移し替えステーションにて処理用容器に移し替え、
処理用容器内の被処理体を受け渡し部を介して被処理体
処理部に送り、ここで処理した後、前記移し替えステー
ションにて搬送用容器に移し替えるシステムにおいて、
搬送用容器を外部との間で搬出入するための搬出入ステ
ーションと、複数の搬送用容器及び複数の処理用容器を
夫々収納する第１の容器収納部及び第２の容器収納部と
、前記搬出入ステーション、第１の容器収納及び、移し
替えステーションの間で搬送用容器を移載する第１の移
載手段と、前記受け渡し部、第２の容器収納部及び移し
替えステーションの間で処理用容器を移載する第２の移
載手段とを設けてなることを特徴とする。

【０００８】

【作用】例えば請求項１の方法を請求項２のシステムに
組み込んだとすると、被洗浄体を収納した搬送用容器は
搬出入ステーションを通じて例えば移し替えステーショ
ンに搬送され、ここで搬送用容器内の被洗浄体は洗浄用
容器に移し替えられる。次いで搬送用容器と被洗浄体が
別々に洗浄され、その後移し替えステーションにて被洗
浄体が洗浄用容器から搬送用容器に移し替えられて、搬
出入ステーションに戻される。そして搬送用容器専用の
収納部と洗浄用容器専用の収納部とが設けられているた
め、これら容器収納部がいわば２段のバッファとして機
能し、外部からの搬送用容器の受け取りの遅れや、搬送
用容器と被洗浄体の洗浄のタイミングのずれ等があって
も円滑な作業ができる。

【０００９】

【実施例】以下本発明を洗浄システムに適用した実施例
について説明するが、各部を詳述する前に、図１を参照
しながらこの洗浄システムの全体の流れについて簡単に
説明する。

【００１０】ウエハＷを収納した搬送用キャリアＣは、
２個を１組として先ず搬入ステージ１００に運ばれ、そ
の後入出力部１０１を介して搬送用キャリアエレベータ
１０３に受け渡され、図示しないストッカに一旦保管さ
れるかまたは主搬送路の下流側に搬送される。なお主搬
送路とは、受け渡し部１０１から後述のウエハ洗浄部へ
の受け渡し部１０８に至るまでの搬送路をいうものとす
る。次いで移載ロボット１０４により移し替えステーシ
ョン１０５に移載され、ここで搬送用キャリアＣ内のウ
エハは、ウエハ把持部１０６及び下方の図示しないウエ
ハ突き上げ手段の協働作用により、洗浄用キャリアＤに
移し替えられる。しかる後この洗浄用キャリアＤは、洗
浄用キャリアエレベータ１０７により図示しないストッ
カに一旦保管されるかあるいはウエハ洗浄部への受け渡
し部に搬送され、洗浄後は逆の流れで移し替えステーシ
ョン１０５に戻される。

【００１１】一方搬送用キャリアＣは、２つの空キャリ
ア搬送路Ｌ１、Ｌ２の一方の搬送路Ｌ１を通ってキャリ
ア洗浄部へ送られ、洗浄後は他方の搬送路Ｌ２を通って
戻され、移し替えステーション１０５に移載される。移
し替えステーション１０５と空キャリア搬送路Ｌ１、Ｌ
２との間の空キャリアＣの移載は、移載ロボット１０４
によって行われる。そして移し替えステーション１０５
にて洗浄用キャリアＤ内のウエハは搬送用キャリアＣに
移し替えられ、上述とは逆の流れで入出力部１０１に戻
された後、搬出ステージ１０２に運ばれ、次の工程に送
られることになる。なお搬入ステージ１０１、入出力部
１０１及び搬出ステージ１０２は、搬出入ステーション
ＩＯＳを構成している。

【００１２】次に図１の洗浄システムの各部について詳
述する。はじめに搬送用キャリアＣを保管するための第
１のキャリアストッカＳ１と洗浄用キャリアＤを保管す
るための第２のキャリアストッカＳ２とについて図２、
図３を参照しながら説明すると、各ストッカＳ１、Ｓ２
はキャリアの主搬送路の上方に設置されており、この例
ではキャリア収納ユニット２が夫々３段及び２段積み重
ねられた構造となっている。

【００１３】前記収納ユニット２は、２個を１組とした
キャリアの組を３組あるいは４組収納できる保管室２１
と、この保管室２１の床部及び天井部に夫々配置された
通気室２２、２３と、これら通気室２２、２３に連通し
て、保管室２１の側部に沿って配置されたリターンダク
ト２４とから構成されており、保管室２１と通気室２２
、２３との間には多数の通気孔が形成されている。天井
部の通気室２３には、ＵＬＰＡフィルタ２５が設けられ
ると共に、この上に送風ファン２６が配置され、この送
風ファン２６の作動により、天井部→保管室２１→床面
部→リターンダクト２４→天井部の経路で空気が循環す
る。従って保管室２１にて例えばキャリアの出し入れに
より発生したパーティクルは床部に吸い込まれて、フィ
ルタ２５により除去される。

【００１４】前記保管室２１に流れる空気の流量を調整
するためには、図３に示すように、リターンダクト２４
における保管室２１と対向する側壁に、外部から空気を
取り入れる空気穴２４ａを備えると共に当該空気穴２４
ａの開口量を規制して空気の取り込み量を調整できる風
量調整手段２４ｂを設けるようにしてもよいし、あるい
はまた保管室２１の底面に、図４に示すように当該底面
２７の通気孔２７ａと同一の大きさ、配列で形成された
通気孔２８ａをもつシャッタ板２８をスライドできるよ
うに組み合わせ、このシャッタ板２８を前記底面２７に
対してスライドさせて通気孔２７ａの開口量を規制し、
これにより風量を調整するようにしてもよく、更にまた
送風ファン２６の回転数を、例えば操作パネルのコント
ローラを操作することにより制御するようにしてもよい
。

【００１５】この例のようにストッカＳ１、Ｓ２の各棚
を、収納ユニット２としてユニット化し、収納ユニット
２を着脱自在の構造として任意の数だけ積み重ねるよう
にすると共に、各収納ユニット２に毎に独立した空気循
環機構を組み込んでおけば、システムアップに容易に対
応できるし、メンテナンスも容易であるという利点があ
る。

【００１６】また最上段の収納ユニット２のキャリアの
搬入出口（図３の左端に位置する面）の上方にフィルタ
を備えた送気手段２９を配置し、この送気手段２９から
洗浄空気を下降させて各収納ユニット２の搬入出口に臨
む領域にエアーカーテンを形成すると共に、例えば保管
室２１内の気圧をエアーカーテンの気圧よりも高くして
おけば、外部からの保管室２１内へのパーティクルの巻
き込みを抑えることができる。

【００１７】またこの実施例では、各ストッカＳ１、Ｓ
２のみならず、キャリアの主搬送路の周囲についてもパ
ーティクルの除去対策が講じられており、主搬送路の上
方に、例えばＵＬＰＡ及び吸い込みファンを備えた送気
手段３Ａ〜３Ｄが当該主搬送路に沿って配置されると共
に、主搬送路の下方に排気ファン３１が例えば３ヶ所に
配置され、これらによって下向きの清浄な空気層流を形
成するようにしている。　　次に洗浄システムの搬送系
に関して説明すると、搬入ステージ１００及び搬出ステ
ージ１０２は、各々２個の載置台よりなり、入出力部１
０１は、図２に示ように後述のインターフェイスロボッ
トＩＦの受け渡し位置と前記エレベータ１０３の作業領
域との間で例えば図２に示すようにエアシリンダＡＲの
動作で移動する移動ステージＭＳにより構成される。

【００１８】搬入ステージ１００と搬出ステージ１０２
を結ぶラインの下方側には、このラインに沿って移動す
るインターフェイスロボットＩＦが設置されており、こ
のロボットＩＦは、更に上下動、鉛直軸まわりの回動機
能を備えていて、各ステージ１００、１０２、ＭＳ間の
ウエハの受け渡しを行う。この受け渡しについては、各
ステージ１００、１０２、ＭＳにロボットＩＦのウエハ
支持部が上下に抜けられるように切り欠きを形成してお
くと共に、ロボットＩＦ側においてはキャリアを片持ち
支持の構造としておくことによって、前記ウエハ支持部
が各ステージ１００、１０２、ＭＳ間を自在に通り抜け
ることができ、これによりキャリアの受け渡しが行われ
る。

【００１９】前記主搬送路における入出力部１０１の下
流側には、当該主搬送路を挟んで搬送用キャリアエレベ
ータ１０３及び移載ロボット１０４が対向して設置され
ており、この実施例では、これらエレベータ１０３及び
移載ロボット１０４は、搬出入ステーションＩＯＳ、第
１のストッカＳ１及び移し替えステーション１０５の間
でキャリアを搬送するための第１の移載手段を構成して
いる。

【００２０】前記エレベータ１０３は図５に示すように
、キャリアを把持して水平面にて主搬送路の伸びる方向
（Ｘ方向）及びこれに直交する方向（Ｙ方向）に搬送す
るクランプユニット５を備え、このクランプユニット５
は、上下方向に伸びるボールネジ５１が左右両側にて支
持されており、このボールネジ５１が図示しない駆動機
構により駆動されることにより当該ボールネジ５１と共
に主搬送路とストッカＳ１の最上段との間を昇降する。 前記ボールネジ５１の周囲には、駆動動作により発生し
たパーティクルが主搬送路側あるいはストッカＳ１の搬
入出口側に飛ばないように、Ｌ字状の飛散防止カバー５
２（上方部分は図示していない）がボールネジ５１に沿
って配設されている。

【００２１】前記クランプユニット５は開閉自在でかつ
ガイド部５４に沿ってエアシリンダ等によりＹ方向に案
内される一対の把持アーム５３ａ、５３ｂを備えており
、これらアーム５３ａ、５３ｂの内面には、Ｙ方向に並
ぶ２個のキャリアを把持するように例えばフッ素樹脂よ
りなる把持部５５が設けられると共に、例えば一方のア
ーム５３ａの先端上面には、上方の送気装置等の損傷を
防止するために、障害物に衝突したときに上昇動作を停
止するための例えばリミットスイッチよりなる上限検出
センサ５６が取り付けられている。

【００２２】また前記ガイド部５４は、クランプユニッ
ト５にＸ方向に伸びるように設けられたボールネジ５７
により、入出力部１０１の受け渡し領域と移載ロボット
１０４の搬送領域との間を移動できるようになっている
。

【００２３】更に前記クランプユニット５の両側には、
ワイヤ５８及び滑車５８ａ、５８ｂを介してバランスウ
エイト５９が取り付けられており、前記滑車５８ａ、５
８ｂはエレベータ１０３の基枠５０の一部に固定されて
いる。前記バランスウエイト５９は、例えばキャリアの
重量に応じて重量が調整できるよう複数に分割されてお
り、前記基枠５０の図示しないレールに沿って上下方向
に案内されるようになっている。このようにバランスウ
エイト５９を設ければボールネジ５１を駆動するモータ
の負荷を小さくでき、この結果モーターの小型化を図れ
るという利点がある。

【００２４】前記移載ロボット１０４は、搬送用キャリ
アエレベータ１０３との間で、主搬送路の中間ステージ
６１（図１参照）を介して搬送用キャリアＣを受け渡す
と共に、中間ステージ６１のキャリアＣと後述する移動
ステージ７ａとの間、及び移動ステージ７ａと空キャリ
ア搬送路Ｌ１、Ｌ２との間でキャリアＣを移載する役割
を有するものであり、その構成については、例えば前記
エレベータ１０３にて説明したように一対の把持用アー
ムを備え、このアームが昇降しかつ主搬送路に沿って移
動できる構造のものであればよく、この場合にもアーム
を昇降させるためのモータの負荷を小さくするために、
アームを保持してこれと共に昇降するユニットに、前記
エレベータ１０３と同様にバランスウエイトを組み合わ
せることが望ましい。

【００２５】前記移し替えステーション１０５は、図１
に示すように主搬送路の下流側に位置し、図６に示すよ
うに、例えばボールネジ等の駆動機構により主搬送路に
沿って各々互に独立して移動可能な移動ステージ７ａ、
７ｂと主搬送路の上方側にて左右に（主搬送路の伸びる
方向に沿って）並んで配置された一対のアームよりなる
第１の把持部７１及び第２の把持部７２（図１ではこれ
らを１０６として示している。）と、主搬送路の下方側
にて前記把持部７１、７２に夫々対向するように設置さ
れた第１の突き上げ手段７３及び第２の突き上げ手段７
４とを備えている。前記移動ステージ７ａ、７ｂには、
２個のキャリアＣ（Ｄ）をＹ方向（主搬送路と直交する
方向）に並べて載置できる載置領域が形成されると共に
、夫々突き上げ手段７３、７４が通過できるように切欠
部７０が形成されている。また前記把持部７１、７２は
夫々移動ステージ７ａ、７ｂ上の２個のキャリアＣ（Ｄ
）を同時に把持できる構造となっており、突き上げ手段
７３、７４についても前記２個のキャリアＣ（Ｄ）内の
ウエハを突き上げることができるように構成されている
。　　そしてこの例では、不純物のコンタミネーション
を避けるため、第１の移動ステージ７ａ及び第２の移動
ステージ７ｂは夫々搬送用キャリア及び洗浄用キャリア
専用のものとし、また第１の把持部７１と第１の突き上
げ手段７３の組、及び第２の把持部７２と第２の突き上
げ手段７４の組についても、夫々洗浄前のウエハ及び洗
浄後のウエハを専用に取り扱うようにしている。

【００２６】前記第１の突き上げ手段７３の上流側には
、これに隣接して、例えば一対のローラを回動させてウ
エハのオリフラを所定の向きに揃えるためのウエハのオ
リフラ合わせ機構７５（図２参照）が昇降自在に設置さ
れており、第１の移動ステージ７ａは、このオリフラ合
わせ機構７５と第２の突き上げ手段７４との間を移動す
ると共に、第２の移動ステージ７ｂは、第１の突き上げ
手段７３と第２の突き上げ手段７４の下流側位置との間
を移動するように設定されている。

【００２７】ここで移し替えステーション１０５におけ
るウエハの移し替えについて説明すると、先ず第１の移
動ステージ７ａをオリフラ合わせ機構７５の上に位置さ
せておき、移載ロボット１０４により洗浄すべきウエハ
を収納した搬送用キャリアＣを当該第１の移動ステージ
７ａ上にて載置してオリフラ合わせを行い、次いでこの
移動ステージ７ａを第１の突き上げ手段７３上に移動す
る。その後第１の突き上げ手段７３により搬送用キャリ
アＣ内のウエハを突き上げて、第１の把持部７１に把持
させ、続いて第１の移動ステージ７ａを待避させると共
に、洗浄用キャリアＤを載せた第２の移動ステージ７ｂ
を第１の把持部７１の下に位置させ、上述の把持と逆の
動作で第１の把持部７１に把持されていたウエハを洗浄
用キャリアＤ内に収納する。

【００２８】これとは逆に洗浄用キャリアＤ内の洗浄済
みウエハを搬送用キャリアＣ内に移し替える場合には、
第２の把持部７２の下方に第２の移動ステージ７ｂ、第
１の移動ステージ７ａを順次に位置させて同様の操作を
行えばよい。

【００２９】前記主搬送路の下流端部と対向する領域に
は、搬送用キャリアエレベータ１０３と同様の構成の洗
浄用キャリアエレベータ１０７が設置されており、この
エレベータ１０７は、洗浄用キャリアをウエハ洗浄部（
図示せず）に対する受け渡し部１０８と移し替えステー
ション１０５と第２のストッカＳ２（図２参照）との間
で移載する第２の移載手段をなすものである。なお受け
渡し部１０８とはここからウエハ洗浄部が離れている場
合に、搬送ロボットに受け渡す出力ポート、あるいはウ
エハ洗浄部が隣接していてその移載機構に受け渡すため
の中間ステージなどに相当する。

【００３０】更に図１に示すように前記主搬送路の中間
部付近から当該主搬送路と直角方向に２つの空キャリア
搬送路Ｌ１、Ｌ２が伸びており、一方の空キャリア搬送
路Ｌ１、は、移載ロボット１０４の作業領域からキャリ
ア洗浄部（図示せず）あるいはキャリア洗浄部への受け
渡し部（図示せず）に未洗浄の空の搬送用キャリアＣを
搬送するためのものであり、他方の空キャリア搬送路Ｌ
２は洗浄済みの空のキャリアＣを逆の経路で搬送するた
めのものである。

【００３１】これら空キャリア搬送路Ｌ１、Ｌ２におけ
る搬送方法としては、例えば切欠部を備えた載置ステー
ジを並べておいて、下から搬送ロボットによりキャリア
を持ち上げ、１個づつ前送りする方法、あるいは搬送ベ
ルト等によって連続して搬送する方法等種々の方法を採
用することができる。

【００３２】次に上述の洗浄システムの作用について説
明する。先ず例えばＣＶＤ処理されたウエハＷを収納し
た搬送用キャリアＣが搬出入ステーションＩＯＳの搬入
ステージ１００に２個づつ把手側を手前にして運ばれる
。次いでインターフェイスロボットＩＦにより搬入ステ
ージ１００上の２個のキャリアＣを、把手側が互に反対
に向くように入出力部１０１に移載し、入出力部１０１
の移動ステージＭＳを搬送用キャリアエレベータ１０３
の作業領域まで引き込む。

【００３３】続いて前記エレベータ１０３がこれらキャ
リアＣを一括して把持し、例えば中間ステージ６１に載
置するか、あるいは移し替えステーション１０５が塞が
っているときには第１のストッカＳ１に一旦保管する。 しかる後移載ロボット１０４が中間ステージ６１上の２
個のキャリアＣを一括して把持すると共に、第１の移動
ステージ７１をオリフラ合わせ機構７５の上方に位置さ
せておいて、この移動ステージ７ａ上に移載し、ここで
オリフラ合わせを行う。

【００３４】その後既に詳述したようにして移し替えス
テーション１０５にて搬送用キャリアＣ内のウエハを洗
浄用キャリアＤ内に移し替え、この洗浄用キャリアＤを
洗浄用キャリアエレベータ１０７により、ウエハ洗浄部
に対する受け渡し部１０８に直接搬送するか、あるいは
この受け渡し部１０８に洗浄用キャリアＤが滞留してい
る場合には、第２のストッカＳ２に一旦保管する。

【００３５】一方移し替えステーション１０５にて空に
なった搬送用キャリアＣは、移載ロボット１０４により
空キャリア搬送路Ｌ１の上流端に移載され、この搬送路
Ｌ１を介してキャリア洗浄部（図示せず）に搬送される
。そして空キャリアはキャリア洗浄部にて洗浄された後
搬送路Ｌ２により移載ロボット１０４の作業領域まで搬
送される。

【００３６】次いで洗浄済みの、空の搬送用キャリアＣ
は移載ロボット１０４によって、また洗浄済みのウエハ
を収納した洗浄用キャリアＤは前記エレベータ１０７に
よって、夫々移し替えステーション１０５に運ばれ、こ
こで先述したようにしてウエハの移し替えが行われる。

【００３７】このように洗浄済みのウエハを収納した洗
浄済みの搬送用キャリアＤは、上述とは逆の流れで移載
ロボット１０４、前記エレベータ１０３を介して入出力
部１０１に戻され、インターフェイスロボットＩＦによ
り搬出ステージ１０２に移載されて外部に搬出されるこ
とになる。ここで洗浄用キャリアＤを移し替えステーシ
ョン１０５に戻す場合、及び搬送用キャリアＣを入出力
部１０１に戻す場合にもキャリアの滞留によって適宜ス
トッカＳ１、Ｓ２への保管、取り出しが行われる。

【００３８】以上において本発明では、上述の実施例の
システムに限らず種々の変更が可能であり、例えば主搬
送路や空キャリア搬送路のレイアウトによっては、搬出
入ステーションＩＯＳ、第１のストッカＳ１及び移し替
えステーション１０５の間のキャリアの搬送を１個の搬
送機構で行ってもよいし、あるいは搬送個数単位も１個
または３個以上であってもよい。

【００３９】更に移し替えステーション１０５において
は、ウエハの把持部及びウエハの突き上げ手段の組を、
洗浄用キャリア及び搬送用キャリア専用のものとして２
組用いる代りに、１組のみ用意し、把持爪及び突き上げ
用の櫛歯部分を交換することにより、クロスコンタミネ
ーションを避けるようにしてもよい。

【００４０】更にまた被洗浄体としては半導体ウエハに
限らずＬＣＤ基板等の洗浄にも適用することができる。

【００４１】なお本発明は、ウエハを洗浄する場合に限
らず、ウエハなどの被処理体を処理専用の処理用容器（
実施例の洗浄用キャリアに相当する）に移し替えて所定
の処理例えば熱拡散処理をし、処理後に搬送用容器に移
し替えるシステムにも適用することができる。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の発明では、例えば半導体ウエ
ハのように不純物の付着を極力押えなければならない被
洗浄体について、被洗浄体自体の洗浄や容器の移し替え
といった点に加えて搬送用容器にも着目し、これを別途
洗浄するようにしているため、洗浄前の被洗浄体に付着
していた不純物が搬送用容器を介して洗浄後の被洗浄体
に再付着するといったコンタミネーションを回避するこ
とができる。従って被洗浄体を洗浄するにあたっての所
期の目的を確実に達成することができるから、例えば今
後不純物の付着についてより一層の注意を払わなければ
ならない半導体ウエハを洗浄する場合に有効な方法であ
る。

【００４３】請求項２の発明によれば、搬送用容器及び
処理用容器を夫々専用に収納する第１及び第２の容器収
納部を設置し、搬出入ステーション、第１の容器収納部
及び被処理体の移し替えステーション間で搬送用容器の
移載を行うと共に、被処理体処理部への受け渡し部、第
２の容器収納部及び前記移し替えステーション間で処理
用容器の移載を行うようにしている。このため第１の容
器収納部内の搬送用容器は、未処理の被処理体を収納し
た搬送用容器を外部から処理システム内に取り込む場合
に、バッファとして機能すると共に、第２の容器収納部
内の処理用容器は、未処理の被処理体を移し替えステー
ションから処理部へ受け渡す場合、及び処理済みの被処
理体を移し替えステーションに戻す場合のいずれのフロ
ーにおいてもバッファとして機能する。従って搬出入ス
テーションから被処理体の処理部に至るまでに２段のバ
ッファが存在するので、外部から処理システム内への搬
送用容器の取り込みや、処理部からの処理済み被処理体
の送り出し等が中断してもその影響を小さく抑えること
ができる。

【００４４】そして請求項１の発明を被洗浄体と搬送用
容器とを夫々別個に洗浄する請求項１の発明に適用すれ
ば、被洗浄体及び搬送容器の洗浄処理のタイミングが狂
った場合にも円滑な作業できるから、非常に高いスルー
プットを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の全体の概観を示す概観図であ
る。

【図２】本発明の実施例のシステムにおけるストッカの
詳細構造を示す一部切欠側面図である。

【図３】本発明の実施例のシステムにおけるストッカの
詳細構造を示す一部切欠正面図である。

【図４】ストッカの風量を調整する手段の一例を示す平
面図である。

【図５】本発明の実施例に用いた搬送用キャリアエレベ
ータの一例を示す斜視図である。

【図６】移し替えステーションの一例を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

ＩＯＳ　　搬出入ステーション １０３　　搬送用キャリアエレベータ １０４　　移載ロボット １０５　　移し替えステーション １０７　　洗浄用キャリアエレベータ １０８　　受け渡し部 Ｌ１、Ｌ２　　空キャリア搬送路 Ｓ１　　第１のストッカ Ｓ２　　第２のストッカ ２　　収納ユニット Ｃ　　洗浄用キャリア Ｄ　　搬送用キャリア

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　搬送用容器内の被洗浄体を移し替えス
   テーションにて洗浄用容器に移し替え、洗浄用容器内の
   被洗浄体を洗浄した後、前記移し替えステーションにて
   搬送用容器に移し替える洗浄方法において、被洗浄体が
   取り出されて空になった搬送用容器を洗浄し、洗浄され
   た当該空の搬送用容器内に洗浄用容器内の洗浄済みの被
   洗浄体を移し替えることを特徴とする被洗浄体の洗浄方
   法。
2. 【請求項２】　　搬送用容器内の被処理体を移し替えス
   テーションにて処理用容器に移し替え、処理用容器内の
   被処理体を受け渡し部を介して被処理体処理部に送り、
   ここで処理した後、前記移し替えステーションにて搬送
   用容器に移し替えるシステムにおいて、搬送用容器を外
   部との間で搬出入するための搬出入ステーションと、複
   数の搬送用容器及び複数の処理用容器を夫々収納する第
   １の容器収納部及び第２の容器収納部と、前記搬出入ス
   テーション、第１の容器収納部及び、移し替えステーシ
   ョンの間で搬送用容器を移載する第１の移載手段と、前
   記受け渡し部、第２の容器収納部及び移し替えステーシ
   ョンの間で処理用容器を移載する第２の移載手段とを設
   けてなることを特徴とする被処理体の移し替えシステム
   。