JP3082784B2 - 被洗浄体の洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば搬送用容器内の
半導体ウエハを洗浄用容器に移し替えて洗浄するための
洗浄方法及び洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを処理して多層構造の回路
パターンなどを得る場合、ある膜を生成した後その処理
時の残渣が残った状態で次の膜を積層すると、所要の特
性が得られないことがあるため、一般にウエハを洗浄す
ることが行われている。ここでウエハを洗浄するための
容器としては洗浄液に対する耐蝕性が要求されるので、
コストの面から搬送用容器と洗浄用容器とを区別して用
いている。

【０００３】従来ウエハを洗浄するためには、例えば２
５枚のウエハを収納した搬送用容器（以下「搬送用キャ
リア」という）を移し替えステーションにセットして、
その下方から突き上げ手段によりキャリア内のウエハを
突き上げ、これを把持機構により一括把持して洗浄用容
器（以下「洗浄用キャリア」という。）に移し替えると
共に、ウエハの洗浄後は同様にして洗浄用キャリアから
搬送用キャリアに移し替えるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで半導体デバイ
スの高集積化に伴い、ウエハへの不純物混入の許容範囲
は非常に狭いものとなっており、ウエハを洗浄するため
の一連の処理においても不純物混入に対してより一層注
意を払わなければならない。一方半導体テバイス構造の
複雑化に伴いウエハの処理工程が多くなっているため、
例えば単結晶シリコンウエハからデバイスとして完成品
に至るまでの時間を短くするためには、各処理工程及び
各処理ステーション間の搬送工程等についてできるだけ
高いスループットを得ることが強く要請されてきてい
る。

【０００５】このようなことから、ウエハ洗浄するシス
テムにおいても、スループットの向上という点について
着眼する必要がある。本発明はこのような事情のもとに
なされたものであり、その目的は、被洗浄物への不純物
の付着を防止することのできる洗浄方法、及び高スルー
プットを図ることのできる洗浄装置を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被洗
浄体を収納し、底部が開口している搬送用容器を搬出入
ステ−ションＳＴ１内の搬入ステージに外部から搬入
し、ここから別のステ−ションＳＴ２に移載するか、ま
たは清浄空気の下降流雰囲気が形成された容器収納部に
移載して一旦保管した後、前記ステ−ションＳＴ２に移
載する工程と、前記ステ−ションＳＴ２にて搬送用容器
内の被洗浄体を第１の突き上げ手段により突き上げて取
り出した後、この被洗浄体を洗浄する工程と、被洗浄体
が取り出されて空になった搬送用容器を洗浄する工程
と、前記ステ−ションＳＴ２にて、洗浄済みの被洗浄体
を第２の突き上げ手段に受け渡し当該第２の突き上げ手
段を下降させて洗浄済みの搬送用容器内に収納する工程
と、続いて前記ステ−ションＳＴ２から搬送用容器を前
記搬出入ステ−ションＳＴ１内の搬出ステージに移載す
るか、または前記容器収納部に移載して一旦保管した
後、前記搬出ステージに移載する工程と、前記搬出ステ
ージから搬送用容器を外部に搬出する工程と、を含むこ
とを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、被洗浄体を収納し、底
部が開口している搬送用容器を搬出入ステ−ションＳＴ
１内の搬入ステージに外部から搬入し、ここから別のス
テ−ションＳＴ２に移載するか、または清浄空気の下降
流雰囲気が形成された容器収納部に移載して一旦保管し
た後、前記ステ−ションＳＴ２に移載する工程と、前記
ステ−ションＳＴ２にて搬送用容器内の被洗浄体を突き
上げ手段により突き上げ、突き上げた被洗浄体を把持部
で把持し、突き上げ手段を介して底部が開口している洗
浄用容器に移し替える工程と、次いで洗浄用容器内の被
洗浄体を洗浄する工程と、被洗浄体が取り出されて空に
なった搬送用容器を洗浄する工程と、前記ステ−ション
ＳＴ２にて、洗浄用容器内の洗浄済みの被洗浄体を突き
上げ手段により突き上げ、突き上げた被洗浄体を把持部
で把持し、突き上げ手段を介して洗浄された搬送用容器
に移し替える工程と、続いて前記ステ−ションＳＴ２か
ら搬送用容器を前記搬出入ステ−ションＳＴ１内の搬出
ステージに移載するか、または前記容器収納部に移載し
て一旦保管した後、前記搬出ステージに移載する工程
と、前記搬出ステージから搬送用容器を外部に搬出する
工程と、を含み、洗浄前の被洗浄体に接触する突き上げ
手段と洗浄後の被洗浄体に接触する突き上げ手段とは別
のものであることを特徴とする。

【０００８】請求項３の発明は、底部が開口している搬
送用容器内の被洗浄体を移し替えステーションにて底部
が開口している洗浄用容器に移し替え、洗浄用容器内の
被洗浄体を受け渡し部を介して洗浄処理部に送り、ここ
で洗浄した後、前記移し替えステーションにて搬送用容
器に移し替える洗浄装置において、前記搬送用容器を外
部との間で搬入するための搬入ステージ及び搬出するた
めの搬出ステージを備えた搬出入ステーションと、前記
搬出入ステーションと移し替えステーションとの間の主
搬送路から外れた位置に設けられると共に清浄空気の下
降流雰囲気が形成された、複数の搬送用容器を収納する
第１の容器収納部と、前記搬出入ステーション、第１の
容器収納部及び、移し替えステーションの間で搬送用容
器を移載する第１の移載手段と、前記移し替えステーシ
ョンに設けられ、搬送容器内の被洗浄体を突き上げる第
１の突き上げ手段、及びこの第１の突き上げ手段で突き
上げられた被洗浄体を把持して洗浄用容器に移し替える
ための第１の把持部と、前記移し替えステーションに設
けられ、洗浄用容器内の洗浄済みの被洗浄体を突き上げ
る第２の突き上げ手段、及びこの第２の突き上げ手段で
突き上げられた被洗浄体を把持して搬送用容器に移し替
えるための第２の把持部と、前記移し替えステーション
と受け渡し部との間の主搬送路から外れた位置に設けら
れると共に清浄空気の下降流雰囲気が形成された、複数
の洗浄用容器を収納する第２の容器収納部と、前記受け
渡し部、第２の容器収納部、及び移し替えステーション
の間で洗浄用容器を移載する第２の移載手段とを設け、
前記搬出入ステーションと移し替えステーションとの間
の搬送用容器の移載は、主搬送路を介して直接行われる
かまたは第１の容器収納部を経由して行われ、前記移し
替えステーションと受け渡し部との間の洗浄用容器の移
載は、主搬送路を介して直接行われるかまたは第２の容
器収納部を経由して行われることを特徴とする。

【０００９】

【作用】例えば請求項２の方法を請求項３の装置に組み
込んだとすると、被洗浄体を収納した搬送用容器は搬出
入ステーションを通じて例えば移し替えステーションに
搬送され、ここで搬送用容器内の被洗浄体は洗浄用容器
に移し替えられる。次いで搬送用容器と被洗浄体が別々
に洗浄され、その後移し替えステーションにて被洗浄体
が洗浄用容器から搬送用容器に移し替えられて、搬出入
ステーションに戻される。そして搬送用容器専用の収納
部と洗浄用容器専用の収納部とが設けられているため、
これら容器収納部がいわば２段のバッファとして機能
し、外部からの搬送用容器の受け取りの遅れや、搬送用
容器と被洗浄体の洗浄のタイミングのずれ等があっても
円滑な作業ができる。

【００１０】

【実施例】以下本発明の実施例について説明するが、各
部を詳述する前に、図１を参照しながらこの洗浄システ
ムの全体の流れについて簡単に説明する。

【００１１】ウエハＷを収納した搬送用キャリアＣは、
２個を１組として先ず搬入ステージ１００に運ばれ、そ
の後入出力部１０１を介して搬送用キャリアエレベータ
１０３に受け渡され、図示しないストッカに一旦保管さ
れるかまたは主搬送路の下流側に搬送される。なお主搬
送路とは、受け渡し部１０１から後述のウエハ洗浄部へ
の受け渡し部１０８に至るまでの搬送路をいうものとす
る。次いで移載ロボット１０４により移し替えステーシ
ョン１０５に移載され、ここで搬送用キャリアＣ内のウ
エハは、ウエハ把持部１０６及び下方の図示しないウエ
ハ突き上げ手段の協働作用により、洗浄用キャリアＤに
移し替えられる。しかる後この洗浄用キャリアＤは、洗
浄用キャリアエレベータ１０７により図示しないストッ
カに一旦保管されるかあるいはウエハ洗浄部への受け渡
し部に搬送され、洗浄後は逆の流れで移し替えステーシ
ョン１０５に戻される。

【００１２】一方搬送用キャリアＣは、２つの空キャリ
ア搬送路Ｌ１、Ｌ２の一方の搬送路Ｌ１を通ってキャリ
ア洗浄部へ送られ、洗浄後は他方の搬送路Ｌ２を通って
戻され、移し替えステーション１０５に移載される。移
し替えステーション１０５と空キャリア搬送路Ｌ１、Ｌ
２との間の空キャリアＣの移載は、移載ロボット１０４
によって行われる。そして移し替えステーション１０５
にて洗浄用キャリアＤ内のウエハは搬送用キャリアＣに
移し替えられ、上述とは逆の流れで入出力部１０１に戻
された後、搬出ステージ１０２に運ばれ、次の工程に送
られることになる。なお搬入ステージ１０１、入出力部
１０１及び搬出ステージ１０２は、搬出入ステーション
ＩＯＳを構成している。

【００１３】次に図１の洗浄システムの各部について詳
述する。はじめに搬送用キャリアＣを保管するための第
１のキャリアストッカＳ１と洗浄用キャリアＤを保管す
るための第２のキャリアストッカＳ２とについて図２、
図３を参照しながら説明すると、各ストッカＳ１、Ｓ２
はキャリアの主搬送路の上方に設置されており、この例
ではキャリア収納ユニット２が夫々３段及び２段積み重
ねられた構造となっている。

【００１４】前記収納ユニット２は、２個を１組とした
キャリアの組を３組あるいは４組収納できる保管室２１
と、この保管室２１の床部及び天井部に夫々配置された
通気室２２、２３と、これら通気室２２、２３に連通し
て、保管室２１の側部に沿って配置されたリターンダク
ト２４とから構成されており、保管室２１と通気室２
２、２３との間には多数の通気孔が形成されている。天
井部の通気室２３には、ＵＬＰＡフィルタ２５が設けら
れると共に、この上に送風ファン２６が配置され、この
送風ファン２６の作動により、天井部→保管室２１→床
面部→リターンダクト２４→天井部の経路で空気が循環
する。従って保管室２１にて例えばキャリアの出し入れ
により発生したパーティクルは床部に吸い込まれて、フ
ィルタ２５により除去される。

【００１５】前記保管室２１に流れる空気の流量を調整
するためには、図３に示すように、リターンダクト２４
における保管室２１と対向する側壁に、外部から空気を
取り入れる空気穴２４ａを備えると共に当該空気穴２４
ａの開口量を規制して空気の取り込み量を調整できる風
量調整手段２４ｂを設けるようにしてもよいし、あるい
はまた保管室２１の底面に、図４に示すように当該底面
２７の通気孔２７ａと同一の大きさ、配列で形成された
通気孔２８ａをもつシャッタ板２８をスライドできるよ
うに組み合わせ、このシャッタ板２８を前記底面２７に
対してスライドさせて通気孔２７ａの開口量を規制し、
これにより風量を調整するようにしてもよく、更にまた
送風ファン２６の回転数を、例えば操作パネルのコント
ローラを操作することにより制御するようにしてもよ
い。

【００１６】この例のようにストッカＳ１、Ｓ２の各棚
を、収納ユニット２としてユニット化し、収納ユニット
２を着脱自在の構造として任意の数だけ積み重ねるよう
にすると共に、各収納ユニット２に毎に独立した空気循
環機構を組み込んでおけば、システムアップに容易に対
応できるし、メンテナンスも容易であるという利点があ
る。

【００１７】また最上段の収納ユニット２のキャリアの
搬入出口（図３の左端に位置する面）の上方にフィルタ
を備えた送気手段２９を配置し、この送気手段２９から
洗浄空気を下降させて各収納ユニット２の搬入出口に臨
む領域にエアーカーテンを形成すると共に、例えば保管
室２１内の気圧をエアーカーテンの気圧よりも高くして
おけば、外部からの保管室２１内へのパーティクルの巻
き込みを抑えることができる。

【００１８】またこの実施例では、各ストッカＳ１、Ｓ
２のみならず、キャリアの主搬送路の周囲についてもパ
ーティクルの除去対策が講じられており、主搬送路の上
方に、例えばＵＬＰＡ及び吸い込みファンを備えた送気
手段３Ａ〜３Ｄが当該主搬送路に沿って配置されると共
に、主搬送路の下方に排気ファン３１が例えば３ヶ所に
配置され、これらによって下向きの清浄な空気層流を形
成するようにしている。 次に洗浄システムの搬送系に
関して説明すると、搬入ステージ１００及び搬出ステー
ジ１０２は、各々２個の載置台よりなり、入出力部１０
１は、図２に示ように後述のインターフェイスロボット
ＩＦの受け渡し位置と前記エレベータ１０３の作業領域
との間で例えば図２に示すようにエアシリンダＡＲの動
作で移動する移動ステージＭＳにより構成される。

【００１９】搬入ステージ１００と搬出ステージ１０２
を結ぶラインの下方側には、このラインに沿って移動す
るインターフェイスロボットＩＦが設置されており、こ
のロボットＩＦは、更に上下動、鉛直軸まわりの回動機
能を備えていて、各ステージ１００、１０２、ＭＳ間の
ウエハの受け渡しを行う。この受け渡しについては、各
ステージ１００、１０２、ＭＳにロボットＩＦのウエハ
支持部が上下に抜けられるように切り欠きを形成してお
くと共に、ロボットＩＦ側においてはキャリアを片持ち
支持の構造としておくことによって、前記ウエハ支持部
が各ステージ１００、１０２、ＭＳ間を自在に通り抜け
ることができ、これによりキャリアの受け渡しが行われ
る。

【００２０】前記主搬送路における入出力部１０１の下
流側には、当該主搬送路を挟んで搬送用キャリアエレベ
ータ１０３及び移載ロボット１０４が対向して設置され
ており、この実施例では、これらエレベータ１０３及び
移載ロボット１０４は、搬出入ステーションＩＯＳ、第
１のストッカＳ１及び移し替えステーション１０５の間
でキャリアを搬送するための第１の移載手段を構成して
いる。

【００２１】前記エレベータ１０３は図５に示すよう
に、キャリアを把持して水平面にて主搬送路の伸びる方
向（Ｘ方向）及びこれに直交する方向（Ｙ方向）に搬送
するクランプユニット５を備え、このクランプユニット
５は、上下方向に伸びるボールネジ５１が左右両側にて
支持されており、このボールネジ５１が図示しない駆動
機構により駆動されることにより当該ボールネジ５１と
共に主搬送路とストッカＳ１の最上段との間を昇降す
る。前記ボールネジ５１の周囲には、駆動動作により発
生したパーティクルが主搬送路側あるいはストッカＳ１
の搬入出口側に飛ばないように、Ｌ字状の飛散防止カバ
ー５２（上方部分は図示していない）がボールネジ５１
に沿って配設されている。

【００２２】前記クランプユニット５は開閉自在でかつ
ガイド部５４に沿ってエアシリンダ等によりＹ方向に案
内される一対の把持アーム５３ａ、５３ｂを備えてお
り、これらアーム５３ａ、５３ｂの内面には、Ｙ方向に
並ぶ２個のキャリアを把持するように例えばフッ素樹脂
よりなる把持部５５が設けられると共に、例えば一方の
アーム５３ａの先端上面には、上方の送気装置等の損傷
を防止するために、障害物に衝突したときに上昇動作を
停止するための例えばリミットスイッチよりなる上限検
出センサ５６が取り付けられている。

【００２３】また前記ガイド部５４は、クランプユニッ
ト５にＸ方向に伸びるように設けられたボールネジ５７
により、入出力部１０１の受け渡し領域と移載ロボット
１０４の搬送領域との間を移動できるようになってい
る。

【００２４】更に前記クランプユニット５の両側には、
ワイヤ５８及び滑車５８ａ、５８ｂを介してバランスウ
エイト５９が取り付けられており、前記滑車５８ａ、５
８ｂはエレベータ１０３の基枠５０の一部に固定されて
いる。前記バランスウエイト５９は、例えばキャリアの
重量に応じて重量が調整できるよう複数に分割されてお
り、前記基枠５０の図示しないレールに沿って上下方向
に案内されるようになっている。このようにバランスウ
エイト５９を設ければボールネジ５１を駆動するモータ
の負荷を小さくでき、この結果モーターの小型化を図れ
るという利点がある。

【００２５】前記移載ロボット１０４は、搬送用キャリ
アエレベータ１０３との間で、主搬送路の中間ステージ
６１（図１参照）を介して搬送用キャリアＣを受け渡す
と共に、中間ステージ６１のキャリアＣと後述する移動
ステージ７ａとの間、及び移動ステージ７ａと空キャリ
ア搬送路Ｌ１、Ｌ２との間でキャリアＣを移載する役割
を有するものであり、その構成については、例えば前記
エレベータ１０３にて説明したように一対の把持用アー
ムを備え、このアームが昇降しかつ主搬送路に沿って移
動できる構造のものであればよく、この場合にもアーム
を昇降させるためのモータの負荷を小さくするために、
アームを保持してこれと共に昇降するユニットに、前記
エレベータ１０３と同様にバランスウエイトを組み合わ
せることが望ましい。

【００２６】前記移し替えステーション１０５は、図１
に示すように主搬送路の下流側に位置し、図６に示すよ
うに、例えばボールネジ等の駆動機構により主搬送路に
沿って各々互に独立して移動可能な移動ステージ７ａ、
７ｂと主搬送路の上方側にて左右に（主搬送路の伸びる
方向に沿って）並んで配置された一対のアームよりなる
第１の把持部７１及び第２の把持部７２（図１ではこれ
らを１０６として示している。）と、主搬送路の下方側
にて前記把持部７１、７２に夫々対向するように設置さ
れた第１の突き上げ手段７３及び第２の突き上げ手段７
４とを備えている。前記移動ステージ７ａ、７ｂには、
２個のキャリアＣ（Ｄ）をＹ方向（主搬送路と直交する
方向）に並べて載置できる載置領域が形成されると共
に、夫々突き上げ手段７３、７４が通過できるように切
欠部７０が形成されている。また前記把持部７１、７２
は夫々移動ステージ７ａ、７ｂ上の２個のキャリアＣ
（Ｄ）を同時に把持できる構造となっており、突き上げ
手段７３、７４についても前記２個のキャリアＣ（Ｄ）
内のウエハを突き上げることができるように構成されて
いる。 そしてこの例では、不純物のコンタミネーショ
ンを避けるため、第１の移動ステージ７ａ及び第２の移
動ステージ７ｂは夫々搬送用キャリア及び洗浄用キャリ
ア専用のものとし、また第１の把持部７１と第１の突き
上げ手段７３の組、及び第２の把持部７２と第２の突き
上げ手段７４の組についても、夫々洗浄前のウエハ及び
洗浄後のウエハを専用に取り扱うようにしている。

【００２７】前記第１の突き上げ手段７３の上流側に
は、これに隣接して、例えば一対のローラを回動させて
ウエハのオリフラを所定の向きに揃えるためのウエハの
オリフラ合わせ機構７５（図２参照）が昇降自在に設置
されており、第１の移動ステージ７ａは、このオリフラ
合わせ機構７５と第２の突き上げ手段７４との間を移動
すると共に、第２の移動ステージ７ｂは、第１の突き上
げ手段７３と第２の突き上げ手段７４の下流側位置との
間を移動するように設定されている。

【００２８】ここで移し替えステーション１０５におけ
るウエハの移し替えについて説明すると、先ず第１の移
動ステージ７ａをオリフラ合わせ機構７５の上に位置さ
せておき、移載ロボット１０４により洗浄すべきウエハ
を収納した搬送用キャリアＣを当該第１の移動ステージ
７ａ上にて載置してオリフラ合わせを行い、次いでこの
移動ステージ７ａを第１の突き上げ手段７３上に移動す
る。その後第１の突き上げ手段７３により搬送用キャリ
アＣ内のウエハを突き上げて、第１の把持部７１に把持
させ、続いて第１の移動ステージ７ａを待避させると共
に、洗浄用キャリアＤを載せた第２の移動ステージ７ｂ
を第１の把持部７１の下に位置させ、上述の把持と逆の
動作で第１の把持部７１に把持されていたウエハを洗浄
用キャリアＤ内に収納する。

【００２９】これとは逆に洗浄用キャリアＤ内の洗浄済
みウエハを搬送用キャリアＣ内に移し替える場合には、
第２の把持部７２の下方に第２の移動ステージ７ｂ、第
１の移動ステージ７ａを順次に位置させて同様の操作を
行えばよい。

【００３０】前記主搬送路の下流端部と対向する領域に
は、搬送用キャリアエレベータ１０３と同様の構成の洗
浄用キャリアエレベータ１０７が設置されており、この
エレベータ１０７は、洗浄用キャリアをウエハ洗浄部
（図示せず）に対する受け渡し部１０８と移し替えステ
ーション１０５と第２のストッカＳ２（図２参照）との
間で移載する第２の移載手段をなすものである。なお受
け渡し部１０８とはここからウエハ洗浄部が離れている
場合に、搬送ロボットに受け渡す出力ポート、あるいは
ウエハ洗浄部が隣接していてその移載機構に受け渡すた
めの中間ステージなどに相当する。

【００３１】更に図１に示すように前記主搬送路の中間
部付近から当該主搬送路と直角方向に２つの空キャリア
搬送路Ｌ１、Ｌ２が伸びており、一方の空キャリア搬送
路Ｌ１、は、移載ロボット１０４の作業領域からキャリ
ア洗浄部（図示せず）あるいはキャリア洗浄部への受け
渡し部（図示せず）に未洗浄の空の搬送用キャリアＣを
搬送するためのものであり、他方の空キャリア搬送路Ｌ
２は洗浄済みの空のキャリアＣを逆の経路で搬送するた
めのものである。

【００３２】これら空キャリア搬送路Ｌ１、Ｌ２におけ
る搬送方法としては、例えば切欠部を備えた載置ステー
ジを並べておいて、下から搬送ロボットによりキャリア
を持ち上げ、１個づつ前送りする方法、あるいは搬送ベ
ルト等によって連続して搬送する方法等種々の方法を採
用することができる。

【００３３】次に上述の洗浄システムの作用について説
明する。先ず例えばＣＶＤ処理されたウエハＷを収納し
た搬送用キャリアＣが搬出入ステーションＩＯＳの搬入
ステージ１００に２個づつ把手側を手前にして運ばれ
る。次いでインターフェイスロボットＩＦにより搬入ス
テージ１００上の２個のキャリアＣを、把手側が互に反
対に向くように入出力部１０１に移載し、入出力部１０
１の移動ステージＭＳを搬送用キャリアエレベータ１０
３の作業領域まで引き込む。

【００３４】続いて前記エレベータ１０３がこれらキャ
リアＣを一括して把持し、例えば中間ステージ６１に載
置するか、あるいは移し替えステーション１０５が塞が
っているときには第１のストッカＳ１に一旦保管する。
しかる後移載ロボット１０４が中間ステージ６１上の２
個のキャリアＣを一括して把持すると共に、第１の移動
ステージ７ａをオリフラ合わせ機構７５の上方に位置さ
せておいて、この移動ステージ７ａ上に移載し、ここで
オリフラ合わせを行う。

【００３５】その後既に詳述したようにして移し替えス
テーション１０５にて搬送用キャリアＣ内のウエハを洗
浄用キャリアＤ内に移し替え、この洗浄用キャリアＤを
洗浄用キャリアエレベータ１０７により、ウエハ洗浄部
に対する受け渡し部１０８に直接搬送するか、あるいは
この受け渡し部１０８に洗浄用キャリアＤが滞留してい
る場合には、第２のストッカＳ２に一旦保管する。

【００３６】一方移し替えステーション１０５にて空に
なった搬送用キャリアＣは、移載ロボット１０４により
空キャリア搬送路Ｌ１の上流端に移載され、この搬送路
Ｌ１を介してキャリア洗浄部（図示せず）に搬送され
る。そして空キャリアはキャリア洗浄部にて洗浄された
後搬送路Ｌ２により移載ロボット１０４の作業領域まで
搬送される。

【００３７】次いで洗浄済みの、空の搬送用キャリアＣ
は移載ロボット１０４によって、また洗浄済みのウエハ
を収納した洗浄用キャリアＤは前記エレベータ１０７に
よって、夫々移し替えステーション１０５に運ばれ、こ
こで先述したようにしてウエハの移し替えが行われる。

【００３８】このように洗浄済みのウエハを収納した洗
浄済みの搬送用キャリアＤは、上述とは逆の流れで移載
ロボット１０４、前記エレベータ１０３を介して入出力
部１０１に戻され、インターフェイスロボットＩＦによ
り搬出ステージ１０２に移載されて外部に搬出されるこ
とになる。ここで洗浄用キャリアＤを移し替えステーシ
ョン１０５に戻す場合、及び搬送用キャリアＣを入出力
部１０１に戻す場合にもキャリアの滞留によって適宜ス
トッカＳ１、Ｓ２への保管、取り出しが行われる。

【００３９】以上において本発明では、上述の実施例の
システムに限らず種々の変更が可能であり、例えば主搬
送路や空キャリア搬送路のレイアウトによっては、搬出
入ステーションＩＯＳ、第１のストッカＳ１及び移し替
えステーション１０５の間のキャリアの搬送を１個の搬
送機構で行ってもよいし、あるいは搬送個数単位も１個
または３個以上であってもよい。

【００４０】更に移し替えステーション１０５において
は、ウエハの把持部及びウエハの突き上げ手段の組を、
洗浄用キャリア及び搬送用キャリア専用のものとして２
組用いる代りに、１組のみ用意し、把持爪及び突き上げ
用の櫛歯部分を交換することにより、クロスコンタミネ
ーションを避けるようにしてもよい。

【００４１】更にまた被洗浄体としては半導体ウエハに
限らずＬＣＤ基板等の洗浄にも適用することができる。

【００４２】なお本発明は、ウエハを洗浄する場合に限
らず、ウエハなどの被処理体を処理専用の処理用容器
（実施例の洗浄用キャリアに相当する）に移し替えて所
定の処理例えば熱拡散処理をし、処理後に搬送用容器に
移し替えるシステムにも適用することができる。

【００４３】

【発明の効果】請求項１、２の発明では、例えば半導体
ウエハのように不純物の付着を極力押えなければならな
い被洗浄体について、被洗浄体自体の洗浄や例えば容器
の移し替えといった点に加えて搬送用容器にも着目し、
これを別途洗浄するようにしているため、洗浄前の被洗
浄体に付着していた不純物が搬送用容器を介して洗浄後
の被洗浄体に再付着するといったコンタミネーションを
回避することができる。従って被洗浄体を洗浄するにあ
たっての所期の目的を確実に達成することができるか
ら、例えば今後不純物の付着についてより一層の注意を
払わなければならない半導体ウエハを洗浄する場合に有
効な方法である。

【００４４】更にまた搬出入ステ−ションと被洗浄体を
取り出すためのステ−ションとの間で搬送用容器を移載
するにあたって、直接移載するかまたは一端容器収納部
に置くようにしているため、両ステ−ションのいずれか
が塞がっていても容器収納部がいわばバッファ機能を果
たすので、搬送用容器の流れの滞りを避けられる。

【００４５】請求項３の発明によれば、搬送用容器及び
洗浄用容器を夫々専用に収納する第１及び第２の容器収
納部を設置し、搬出入ステーション、第１の容器収納部
及び被洗浄体の移し替えステーション間で搬送用容器の
移載を行うと共に、洗浄処理部への受け渡し部、第２の
容器収納部及び前記移し替えステーション間で洗浄用容
器の移載を行うようにしている。このため第１の容器収
納部内の搬送用容器は、未洗浄の被洗浄体を収納した搬
送用容器を外部から処理システム内に取り込む場合に、
バッファとして機能すると共に、第２の容器収納部内の
洗浄用容器は、未洗浄の被洗浄体を移し替えステーショ
ンから洗浄処理部へ受け渡す場合、及び洗浄済みの被洗
浄体を移し替えステーションに戻す場合のいずれのフロ
ーにおいてもバッファとして機能する。従って搬出入ス
テーションから洗浄処理部に至るまでに２段のバッファ
が存在するので、外部から処理システム内への搬送用容
器の取り込みや、洗浄処理部からの洗浄済み被洗浄体の
送り出し等が中断してもその影響を小さく抑えることが
できる。

【００４６】そして請求項３の発明を被洗浄体と搬送用
容器とを夫々別個に洗浄する請求項１の発明に適用すれ
ば、被洗浄体及び搬送容器の洗浄処理のタイミングが狂
った場合にも円滑な作業ができるから、非常に高いスル
ープットを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の全体の概観を示す概観図であ
る。

【図２】本発明の実施例のシステムにおけるストッカの
詳細構造を示す一部切欠側面図である。

【図３】本発明の実施例のシステムにおけるストッカの
詳細構造を示す一部切欠正面図である。

【図４】ストッカの風量を調整する手段の一例を示す平
面図である。

【図５】本発明の実施例に用いた搬送用キャリアエレベ
ータの一例を示す斜視図である。

【図６】移し替えステーションの一例を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

ＩＯＳ 搬出入ステーション １０３ 搬送用キャリアエレベータ １０４ 移載ロボット １０５ 移し替えステーション １０７ 洗浄用キャリアエレベータ １０８ 受け渡し部 Ｌ１、Ｌ２ 空キャリア搬送路 Ｓ１ 第１のストッカ Ｓ２ 第２のストッカ ２ 収納ユニット Ｃ 洗浄用キャリア Ｄ 搬送用キャリア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 博文 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (72)発明者 原田 浩二 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (72)発明者 友枝 隆之 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東 京エレクトロン九州株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−30334（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−64949（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−132829（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−241033（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−27025（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−60805（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄体を収納し、底部が開口している
   搬送用容器を搬出入ステ−ションＳＴ１内の搬入ステー
   ジに外部から搬入し、ここから別のステ−ションＳＴ２
   に移載するか、または清浄空気の下降流雰囲気が形成さ
   れた容器収納部に移載して一旦保管した後、前記ステ−
   ションＳＴ２に移載する工程と、 前記ステ−ションＳＴ２にて搬送用容器内の被洗浄体を
   第１の突き上げ手段により突き上げて取り出した後、こ
   の被洗浄体を洗浄する工程と、 被洗浄体が取り出されて空になった搬送用容器を洗浄す
   る工程と、 前記ステ−ションＳＴ２にて、洗浄済みの被洗浄体を第
   ２の突き上げ手段に受け渡し当該第２の突き上げ手段を
   下降させて洗浄済みの搬送用容器内に収納する工程と、 続いて前記ステ−ションＳＴ２から搬送用容器を前記搬
   出入ステ−ションＳＴ１内の搬出ステージに移載する
   か、または前記容器収納部に移載して一旦保管した後、
   前記搬出ステージに移載する工程と、 前記搬出ステージから搬送用容器を外部に搬出する工程
   と、を含むことを特徴とする被洗浄体の洗浄方法。
2. 【請求項２】 被洗浄体を収納し、底部が開口している
   搬送用容器を搬出入ステ−ションＳＴ１内の搬入ステー
   ジに外部から搬入し、ここから別のステ−ションＳＴ２
   に移載するか、または清浄空気の下降流雰囲気が形成さ
   れた容器収納部に移載して一旦保管した後、前記ステ−
   ションＳＴ２に移載する工程と、 前記ステ−ションＳＴ２にて搬送用容器内の被洗浄体を
   突き上げ手段により突き上げ、突き上げた被洗浄体を把
   持部で把持し、突き上げ手段を介して底部が開口してい
   る洗浄用容器に移し替える工程と、 次いで洗浄用容器内の被洗浄体を洗浄する工程と、 被洗浄体が取り出されて空になった搬送用容器を洗浄す
   る工程と、 前記ステ−ションＳＴ２にて、洗浄用容器内の洗浄済み
   の被洗浄体を突き上げ手段により突き上げ、突き上げた
   被洗浄体を把持部で把持し、突き上げ手段を介して洗浄
   された搬送用容器に移し替える工程と、 続いて前記ステ−ションＳＴ２から搬送用容器を前記搬
   出入ステ−ションＳＴ１内の搬出ステージに移載する
   か、または前記容器収納部に移載して一旦保管した後、
   前記搬出ステージに移載する工程と、 前記搬出ステージから搬送用容器を外部に搬出する工程
   と、を含み、 洗浄前の被洗浄体に接触する突き上げ手段と洗浄後の被
   洗浄体に接触する突き上げ手段とは別のものであること
   を特徴とする被洗浄体の洗浄方法。
3. 【請求項３】 底部が開口している搬送用容器内の被洗
   浄体を移し替えステーションにて底部が開口している洗
   浄用容器に移し替え、洗浄用容器内の被洗浄体を受け渡
   し部を介して洗浄処理部に送り、ここで洗浄した後、前
   記移し替えステーションにて搬送用容器に移し替える洗
   浄装置において、 前記搬送用容器を外部との間で搬入するための搬入ステ
   ージ及び搬出するための搬出ステージを備えた搬出入ス
   テーションと、 前記搬出入ステーションと移し替えステーションとの間
   の主搬送路から外れた位置に設けられると共に清浄空気
   の下降流雰囲気が形成された、複数の搬送用容器を収納
   する第１の容器収納部と、 前記搬出入ステーション、第１の容器収納部及び、移し
   替えステーションの間で搬送用容器を移載する第１の移
   載手段と、 前記移し替えステーションに設けられ、搬送容器内の被
   洗浄体を突き上げる第１の突き上げ手段、及びこの第１
   の突き上げ手段で突き上げられた被洗浄体を把持して洗
   浄用容器に移し替えるための第１の把持部と、 前記移し替えステーションに設けられ、洗浄用容器内の
   洗浄済みの被洗浄体を突き上げる第２の突き上げ手段、
   及びこの第２の突き上げ手段で突き上げられた被洗浄体
   を把持して搬送用容器に移し替えるための第２の把持部
   と、 前記移し替えステーションと受け渡し部との間の主搬送
   路から外れた位置に設けられると共に清浄空気の下降流
   雰囲気が形成された、複数の洗浄用容器を収納する第２
   の容器収納部と、 前記受け渡し部、第２の容器収納部、及び移し替えステ
   ーションの間で洗浄用容器を移載する第２の移載手段と
   を設け、 前記搬出入ステーションと移し替えステーションとの間
   の搬送用容器の移載は、主搬送路を介して直接行われる
   かまたは第１の容器収納部を経由して行われ、 前記移し替えステーションと受け渡し部との間の洗浄用
   容器の移載は、主搬送路を介して直接行われるかまたは
   第２の容器収納部を経由して行われることを特徴とする
   被洗浄体の洗浄装置。