JPH0499351A - キャリアストッカ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、キャリアストッカに関するものである。

（従来の技術） 従来のキャリアストッカとしては、特開平２−３０１２
０号公報記載のものがある。

このキャリアストッカは、キャリアを載置する多段のキ
ャリア設置板と、垂直方向に昇降可能で水平方向にスラ
イド可能に設けられたキャリア保持体を有し、このキャ
リア保持体にキャリアを把持した後、このキャリアを所
定のキャリア設置板のところまで上昇させ所定のキャリ
ア設置板にキャリアを載置する。

そして、複数のキャリアを載置した搬送機構は、外部か
ら供給されるキャリアを搬入するキャリアポートと、熱
処理用石英ボートヘウエハを移替える移替え部の間を往
復移動可能に設けられている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このようなキャリアストッカでは、バッ
チ式熱処理炉用ウェハボートとウエハキャリア間の移替
え部においてウェハを石英ボートに移替えている間、キ
ャリアボートで外部から供給されるキャリアを搬入する
ことができず、キャリアストッカの機能の一部に時間待
ちが発生し、キャリアボートの前にキャリアが停滞して
スルーブツトが悪く、また一連の半導体製造工場のキャ
リア移動の流れが停止するという改善点を有する。

本発明は、上記点に鑑みてなされたもので、キャリアボ
ートに搬入搬出されるキャリアを停滞することなくキャ
リアストッカに搬入搬出し、スルーブツトの高いキャリ
アストッカを提供することにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 前述した目的を達成するために本発明は、本体の側壁に
鉛直方向に複数段設けられるキャリア載置棚と、前記本
体の下方に設けられキャリアを一時載置するキャリアボ
ートとの間でキャリアが受渡しされるキャリアステーシ
ョンと、前記本体の下方に設けられキャリアを搭載して
少なくとも一方向に移動し、でウェハ移替え部へ移動可
能なキャリアライナと、複数個のキャリアを把持し、前
記キャリアステーションと前記キャリアライナおよび前
記キャリア載置棚との間で前記キャリアライナの動作に
無関係に該キャリアの受渡しを行うキャリアアーム機構
と、を具備するキャリアストッカである。

（作用） 本発明では、キャリアステーションとキャリアライナお
よびキャリア載置棚との開で、キャリアアーム機構によ
ってキャリアの受渡しが行われるので、キャリアボート
からキャリアステーションへのキャリアの移載と、キャ
リアライナによるウェハ移替え部へのキャリア移動を同
時に行うことができる。

（実施例） 以下、図面に基づいて本発明がキャリア搬送装置に用い
られた実施例を詳細に説明する。

第１図はこのキャリア搬送装置が用いられる熱処理装置
全体の概略構成を示す斜視図である。

同図に示されるように、この熱処理装置は被熱処理体例
えば半導体ウェハが例えば２５枚収納されたウェハキャ
リアを多数個収納するキャリアストッカ１、ウェハ搬送
用ウェハキャリアに収納されたウェハを熱処理用ウェハ
ボートに移替える移替え機構３、ボート移載機構５、ウ
ェハボートを熱処理部へ搬送するボート搬送機構７、被
処理半導体ウェハを収納したウェハボートを縦型反応管
内にローディング、アンローディングするエレベータ９
、炉体１１、処理するためのガスを供給するガス供給＃
！１３を有する。

上記キャリアストッカ１は、被処理基板、たとえば半導
体ウェハを複数枚、たとえば２５枚収納するキャリアを
複数個予め定められた各位置に仮想の番地により、ウェ
ハの種類と対応してキャリアボートに搬入されるキャリ
アを収納する。

上記移替え機構３は、キャリアストッカ１から送られる
キャリアと、１００〜１５０枚のウェハを搭載可能な耐
熱性石英ボートとの間でウェハを自動的にロボットアー
ムにより移替える。

上記ボート移載機Ｊ４５は、ボート搬送機構７と、移替
え機構３との間でウェハボートを移送する。

上記エレベータ９は、ボート搬送機構７により移送され
たウェハボートを炉体１１の反応管内へ挿入出する。

炉体１１は、所望の酸化、拡散、ＣＶＤ処理等を行う。

ガス供給源１３は、炉体１１の各処理室に所定の処理ガ
スを供給する。

上記キャリアストッカ１、移替え機構３、ボート移載機
構５、ボート搬送機構７にはクリーンエアがダウンフロ
ーブで供給されるよう図示しない送風ファン、ＨＥ　Ｐ
Ａフィルター、排出ファンが設けられている。

第２図は、キャリアストッカ１およびその近傍の構成を
示す斜視図である。

キャリアストッカ１には、本体１２にキャリアを載置す
る棚１５が左右に、多段、たとえば４段形成される。

キャリアストッカ１の下方前面には、イン側ポ−ト１７
およびアウト側ボート１９か固定して設けられる。

キャリアストッカ１の内部下方にイン側ステーション２
１、アウト側ステーション２３が固設される。さらに、
複数のキャリアを載置して搬送可能なキャリアライナ２
５が水平方向に移動可能に設けられる。

搬送器２７ａは、イン側ボート１７の下方から鉛直上方
に移動し、イン側ポート１７に載置されたキャリアを受
取り、その後、水平方向に移動しイン側ステーション２
１の上部まで来ると、下方に移動し、キャリアをイン側
ステーション２１に載置し、その後、下方に移動し、所
定の位置まで来ると水平方向に移動して、もとの位置に
戻る。

逆に搬送器２７ｂは、アウト側ステーション２３下方か
ら上昇し、アウト側ステーション２３に載置されたキャ
リアを受取り、所定の位置まで上昇して水平方向に移動
し、アウト側ポート１９の上方まで来ると下降し、アウ
ト側ポート１９にキャリアを載置し、その後、所定量下
降した後、水平方向に移動し、もとの位置に戻る。

キャリアストツカ１内部には、キャリアを把持゛する６
個の把持機構が設けられたキャリアアーム機構２９が、
図中Ｙ軸およびＺ軸方向に移動可能に設けられる。

このキャリアアーム機構２９は、６個の把持機構が独立
に作動し、イン側ステーション２１、アウト側ステーシ
ョン２３、キャリアライナー２５および棚１５との間で
、キャリアの移替えを行う。

キャリアライナ２５は、６個のキャリアを載置してキャ
リアストッカ１と移替え機構３との間を、水平方向に移
動可能に設けられており、キャリアストッカ１と移替え
機構３との間でキャリアの搬送を行う。

次に、第２図に示すキャリアストッカ内のキャリアの移
動を説明する。

イン側ポート１７にウェハを収納したキャリア１４が搬
入載置されると、搬送器２７ａによって移動されこのキ
ャリアはイン側ステーション２１に載置される。

その後、キャリアアーム機構２９によってイン側ステー
ション２１に載置された６個のキャリア１４は、棚１５
またはキャリアライナ２５に一度に載置される。

キャリアライナ２５は、水平方向に移動して載置された
キャリアを移替え機構３に搬送する。その後、処理用例
えば被処理用ボート内にウェハが挿入され、ボート移載
機構５、ボート搬送機構７、エレベータ９によってウェ
ハが炉体１１に挿入され、熱処理が行われる。

熱処理の終了したウェハは、ニレペター９によって炉体
１１の縦型反応管の下方から取り出される。その後、移
替え機構３によってウェハボート内のウェハが１枚また
は２５枚同時に把持して取り出され、そのウェハはキャ
リア内に収納される。

そのキャリアがキャリアライナ２５に載置され、キャリ
アライナ２５がキャリアストッカ１下方まで移動する。

キャリアアーム２９は、キャリアライナ２５に載置され
たキャリアをアウト側ステーション２３に載置し、搬送
器２７ｂがアウト側ステーシーヨン２３上のキャリアを
アウト側ポート１９まで移動させる。

炉体１１は複数設けられているためミ移替え機構３にお
いてキャリアからボートにまたはその逆にたえずウェハ
を移替えているが、この間イン側ポートから未処理のウ
ェハが収容されたキャリアを搬入し、アウト側ポートか
ら処理済みのウェハが収容されたキャリアを搬出してい
る。したがって、イン側、アウト側ポートでキャリアが
停滞することかない。

上記実施例では、処理として熱処理について説明したが
、処理であればエツチング、塗布処理、イオン注入、な
どいずれでもよい。

［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によればキャリアボ
ートにキャリアが停滞することなくスルーブツトの高い
キャリアストッカを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るキャリアストッカを
有する熱処理装置の概略構成を示す図、第２図は、キャ
リアストッカ１およびその近傍の構成を示す一部切欠き
斜視図である。 １・・・キャリアストッカ １５・・・棚 ２１・・・イン側ステーション ２３・・・アウトステーション ２５・・・キャリアライナ ２９・・・キャリアアーム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 本体の側壁に鉛直方向に複数段設けられるキャリア載置
   棚と、 前記本体の下方に設けられキャリアを一時載置するキャ
   リアポートとの間でキャリアが受渡しされるキャリアス
   テーションと、 前記本体の下方に設けられキャリアを搭載して少なくと
   も一方向に移動し、でウェハ移替え部へ移動可能なキャ
   リアライナと、 複数個のキャリアを把持し、前記キャリアステーション
   と前記キャリアライナおよび前記キャリア載置棚との間
   で前記キャリアライナの動作に無関係に該キャリアの受
   渡しを行うキャリアアーム機構と、 を具備するキャリアストッカ。