JPH11334812A - モータ設置の作動設備 - Google Patents

モータ設置の作動設備

Info

Publication number
JPH11334812A
JPH11334812A JP14819298A JP14819298A JPH11334812A JP H11334812 A JPH11334812 A JP H11334812A JP 14819298 A JP14819298 A JP 14819298A JP 14819298 A JP14819298 A JP 14819298A JP H11334812 A JPH11334812 A JP H11334812A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
clean
gas
blower
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14819298A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Matsuzaki
宏 松崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daifuku Co Ltd
Original Assignee
Daifuku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Co Ltd filed Critical Daifuku Co Ltd
Priority to JP14819298A priority Critical patent/JPH11334812A/ja
Publication of JPH11334812A publication Critical patent/JPH11334812A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 密閉型モータの内部からガスなど気体がクリ
ーン域に流出することを防止できるモータ設置の作動設
備を提供する。 【解決手段】 クリーン域1に密閉型モータ24を設
け、非クリーン域6に、密閉型モータ24の内部29に
連通した連通体34,35,36の開放部を位置させ
る。クリーン域1の密閉型モータ24を連続運転させ、
その内部29の温度上昇により発生したガスの膨張によ
り内部の気体圧が上昇した際、内部29の気体は連通体
34,35,36を通して非クリーン域6に放出でき、
以て密閉型モータ24からガスなど気体が流出すること
を防止した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばクリーン
設備などに採用されるモータ設置の作動設備に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、たとえば特開平6−345206
号公報に見られるクリーン装置付き荷保管設備において
は、上下方向に複数段の収納空間を有する棚が設けら
れ、この棚は前面が開放されるとともに、後面側は空間
を置いてカバーにより閉塞されている。そして空間内に
は、クリーンエア供給ユニットが上下複数段に設けら
れ、またカバー側にはエア取り入れ口が設けられてい
る。
【0003】クリーンエア供給ユニットは、前面が開放
した箱枠状の本体と、この本体の前面側を覆うべく設け
たフィルタと、本体の後面側に設けた送風機(ファン)
などにより構成される。この送風機は、モータと、この
モータの出力軸に取り付けられた羽根体などにより構成
され、その吐出部がフィルタに向き、そして吸引部が空
間に開口されている。
【0004】この従来構成によると、各送風機の稼動に
よって空間内のエアが吸引され、そして吐出されるエア
が、フィルタを通してクリーン度の高いクリーンエアと
され、棚に対して後面側から供給される。したがって棚
の各収納空間内に格納されている荷は、後面から前面へ
と流れるクリーンエアによって高クリーン度に維持され
る。
【0005】ところで、モータとしては、本体に通気孔
が形成されている開放型モータと、本体に通気孔が形成
されていない密閉型モータとがある。開放型モータは、
その連続運転により本体内部が必要に温度上昇されるこ
とを、通気孔を通しての通気により抑えることができ
る。しかし、本体内部の温度は、たとえば外気に等しい
温度ではなく、かなりの高温度になる。そのため、たと
えばコイルに塗布されたワニスなどの樹脂が、この高温
度により加熱されて微量ではあるがガスを発生し、この
ガスが通気孔を通して流出されることになって、この開
放型モータが設置された場所、周辺に拡散される恐れが
ある。
【0006】そこで、ガスの流出を好まない場所、たと
えば前述したクリーン装置付き荷保管設備における送風
機のモータなどには、密閉型モータが使用されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記した密閉型モータ
においても、その出力軸が本体に対して貫通されている
ことから、その貫通部からガスが流出されることにな
る。そのため、貫通部にはたとえばゴムシールが配設さ
れて、ガスの流出を防止している。しかし、本体内にお
いては、高温度によりガスが発生される際に、ガス膨張
(約1.5倍)により内部の気体圧が上昇され、以て気
体圧がシール圧以上になると、ゴムシールの部分からガ
スが流出されることになる。このガスの流出量はごく微
量であり、現状の要求環境では問題にならない。しかし
ながら、今後はより高い環境が要求されてくるものと思
われ、その対処が必要になってくる。
【0008】そこで本発明のうち請求項1記載の発明
は、密閉型モータの内部からガスなど気体がクリーン域
に流出することを防止し得るモータ設置の作動設備を提
供することを目的としたものである。
【0009】また請求項2記載の発明は、荷保管装置の
棚に格納された荷に対して、ガスが混合されていないク
リーンエアを供給し得るモータ設置の作動設備を提供す
ることを目的としたものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項1記載のモータ設置の作
動設備は、クリーン域に密閉型モータが設けられ、非ク
リーン域には、前記密閉型モータの内部に連通された連
通体の開放部が位置されることを特徴としたものであ
る。
【0011】したがって請求項1の発明によると、クリ
ーン域の密閉型モータを連続運転させ、その内部の温度
上昇により発生されたガスの膨張により内部の気体圧が
上昇された際、内部の気体は連通体を通して非クリーン
域に放出し得、以てシール部分からガスなど気体が流出
されることを防止し得る。
【0012】また本発明の請求項2記載のモータ設置の
作動設備は、上記した請求項1記載の構成において、ク
リーン域には、荷保管装置が設けられ、この荷保管装置
は、前後面が開放された棚と、後面側に設けられたフィ
ルタと、このフィルタに対して前記後面開放側とは反対
側にエアの供給を行う送風機とからなり、この送風機の
駆動源に密閉型モータが使用されていることを特徴とし
たものである。
【0013】したがって請求項2の発明によると、送風
機の密閉型モータの稼動によってエアを吸引し得、そし
て吐出されるエアを、フィルタを通してクリーン度の高
いクリーンエアにし得、棚に対して後面側から供給し得
る。したがって棚に格納されている荷は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度に維持し
得る。その際に、密閉型モータからガスなど気体が流出
されないことから、フィルタを通って棚側に供給される
クリーン度の高いクリーンエアにはガスが混合されない
ことになり、以て格納されている荷は、クリーンエアに
よって高クリーン度が維持されるとともに、ガスが付着
されないことになる。
【0014】そして本発明の請求項3記載のモータ設置
の作動設備は、上記した請求項2記載の構成において、
棚には上下方向に複数段の収納空間が設けられ、前記棚
は前面が開放されるとともに、後面側は空間を置いてカ
バーにより閉塞され、前記空間内には、送風機とフィル
タとからなるクリーンエア供給ユニットが上下複数段に
設けられるとともに、各送風機の密閉型モータの内部に
連通された連通体群が設けられ、前記カバー側にエア取
り入れ口が設けられていることを特徴としたものであ
る。
【0015】したがって請求項3の発明によると、各ク
リーンエア供給ユニットにおいては、送風機の密閉型モ
ータの稼動によって空間内のエアを吸引し得、吐出され
るエアを、フィルタを通してクリーン度の高いクリーン
エアにし得る。そして空間内には、エア取り入れ口を通
して取り入れたエアを補充し得る。
【0016】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
クリーン設備に採用した状態として図に基づいて説明す
る。
【0017】図1において、1はクリーンルーム(クリ
ーン域の一例)で、天井側(あるいは側壁側など)から
フィルタ2を通してクリーンエア3が下吹きされ、下降
するクリーンエア3がメッシュ形式の床4を通して床下
に吸引されるように構成してある。クリーンルーム1
は、壁などの縦仕切り体5により区画され、この縦仕切
り体5の外側には、屋外開放場所(非クリーン域の一例
で、非クリーンルームなどであってもよい。)6とされ
ている。
【0018】図1〜図3において、前記クリーンルーム
1内には密閉式の荷保管装置10が設置され、この荷保
管装置10の箱状の本体外板(カバーの一例)11内に
は、棚板や腕木12などにより上下方向に複数の収納空
間13を区画形成した棚14が、前面を通路15に対向
させて左右一対に設けられる。
【0019】これら棚14は、通路15側に向いた前面
と、反対側の後面とが開放され、そして後面と前記本体
外板11の後板部11Aとの間に空間16が形成される
とともに、この空間16内に、前記収納空間13の後面
を覆うようにしてクリーンエア供給ユニット20が上下
五段(複数段)に設けられる。ここでは横方向で二列の
クリーンエア供給ユニット20を示しているが、これは
一列や二列以上であってもよい。
【0020】なお前記本体外板11は、前述した後板部
11Aと、天板部11Bと、側板部11Cと、底板部1
1Dと、棚14の下方に位置する仕切り板部11Eなら
びに前板部11Fなどにより形成され、これら11A〜
11Fの適宜なもので、カバーの一部が形成される。
【0021】図2〜図4において、前記クリーンエア供
給ユニット20は、前面が開放された箱枠状のユニット
本体21と、このユニット本体21の前面側を覆うべく
設けられたフィルタ22と、ユニット本体21の後面側
に設けられた送風機(ファン)23などにより構成され
る。この送風機23は、駆動源として使用される密閉型
モータ24と、この密閉型モータ24の出力軸25に取
り付けられた羽根体31などにより構成され、その吐出
部32が前記フィルタ22に向き、そして吸引部33が
前記空間16に開口されている。
【0022】前記密閉型モータ24は、本体26と、こ
の本体26に形成された貫通部27に挿通される前記出
力軸25と、前記貫通部27に配設されたシール材(ゴ
ムシールなど)28と、本体26の内部29に配設され
た回転子30などにより構成される。
【0023】各密閉型モータ24の本体26にはそれぞ
れ個別連通体34の一端が、密閉型モータ24の内部2
9に連通された状態で固定され、そして個別連通体34
群の他端は、列毎に縦連通体35に接続されている。さ
らに縦連通体35群の下端は集合連通体36に接続さ
れ、この集合連通体36の遊端の開放部は、屋外開放場
所6に設置された放出装置37に連通された状態で固定
されている。なお、各連通体34,35,36は、ホー
ス体やパイプ体などにより形成され、また放出装置37
には放出口38が形成されている。
【0024】前記通路15内には搬入出装置40が設け
られる。この搬入出装置40は、前記底板部11D上に
敷設されかつ通路15のほぼ全長に亘るガイド部(レー
ル)41と、このガイド部41に支持案内されて棚14
の前面に沿って移動自在な下部フレーム42と、この下
部フレーム42から立設された一本(または二本)のポ
スト43と、このポスト43に支持案内されて昇降自在
な昇降台44と、この昇降台44上に設けられた出し入
れ具(フォーク)45などにより構成されている。そし
て出し入れ具45は横方向に出退自在に構成されてい
る。
【0025】前記天板部11Bで空間16の上部に対向
する部分と、仕切り板部11Eで空間16の下部に対向
する部分には、それぞれエア取り入れ口17,18Aが
形成され、また前板部11Fには、通路15と前記空間
16の下部とを連通するエア取り入れ口18Bが形成さ
れており、さらに底板部11Dで通路15に対向する部
分にはエア流出口19が形成されている。なお各口1
7,18A,18B,19は多孔状やスリット状に形成
されている。
【0026】前記荷保管装置10では、取り扱われる荷
55の入出庫を行うために、搬入装置や搬出装置が設け
られる。これら搬入装置や搬出装置は種々の形式があ
り、たとえば図1や図2の仮想線で示すように、一方の
棚14において上段の収納空間13の一部を利用して搬
入装置50が設けられ、そして下段の収納空間13の一
部を利用して搬出装置51が設けられている。その際に
搬入装置50や搬出装置51は開閉自在な扉体などを有
し、また搬入装置50の入口部外方には、たとえば自走
台車形式の荷搬送手段52が配設される。
【0027】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。荷保管装置10においては常に高いクリー
ン度が保たれている。すなわち各送風機23の密閉型モ
ータ24の稼動によって羽根体31が回転されること
で、空間16内のエアが吸引部33から吸引され、そし
て吐出部32からユニット本体21内に吐出される。こ
の吐出されたエアは、対向しているフィルタ22を通っ
てクリーン度の高いクリーンエア39となり、棚14に
対して後面側から供給される。
【0028】したがって棚14の各収納空間13内に格
納されている荷55は、後面から前面へと流れるクリー
ンエア39によって高クリーン度が維持されている。そ
して棚14を通ったクリーンエア39は通路15内に流
入したのち下方へと流れ、その一部はエア流出口19を
通って床4下へ流出し、また残りの大部分は、送風機2
3群の稼動により生じた吸引力によってエア取り入れ口
18B,18Aを通って空間16内に流入し、循環使用
される。その際に天井側からのクリーンエア3の一部
が、エア取り入れ口17を通って空間16内に流入する
ことで補充される。
【0029】たとえば荷搬送手段52により搬送されて
きた入庫しようとする荷55は、搬入装置50を介して
搬入出装置40に受け取られる。そして搬入出装置40
における昇降台44の昇降動と、下部フレーム42の移
動と、出し入れ具45の受け渡し出退動(図3における
実線と仮想線参照。)との組合せ動作によって、目的と
する収納空間13に納められる。また搬入出装置40の
逆作動によって、目的とする収納空間13の荷55を搬
出装置51を介して出庫し得る。
【0030】前述したように、各送風機23の密閉型モ
ータ24の稼動時には、この密閉型モータ24を連続運
転させることで、その内部29の温度が次第に上昇さ
れ、この温度上昇により、たとえばコイルに塗布された
ワニスなどの樹脂からガスが発生され、また、ガス膨張
により内部29の気体圧が上昇されていく。その際に、
内部29の気体は、個別連通体34群から縦連通体35
に流入され、そして縦連通体35から集合連通体36に
流入されたのち、屋外開放場所6に設置された放出装置
37に流入され、この放出装置37の放出口38から放
出される。
【0031】これにより各密閉型モータ24において
は、その内部29の気体圧がシール圧よりも高くならな
いように自動的に調整され、以て貫通部27、すなわち
シール材28の部分からガスが流出されることを防止し
得る。したがって、フィルタ22を通って棚14に対し
後面側から供給されるクリーン度の高いクリーンエア3
9にはガスが混合されないことになり、以て棚14の各
収納空間13内に格納されている荷55は、クリーンエ
ア39によって高クリーン度が維持されるとともに、ガ
スが付着されないことになる。したがって、特にガスの
付着を避けたい物品(荷)の保管に好適に採用し得る。
【0032】なお、密閉型モータ24の運転を停止させ
たときには、温度下降に伴って内部29の気体圧が次第
に下降されることになり、以て放出装置37側から外気
が連通体36,35,34群を通って内部29へ逆流さ
れる。
【0033】前記クリーンエア供給ユニット20として
は種々な構造のものが採用され、またエア取り入れ口1
7,18A,18Bの形成位置は任意となる。そしてエ
アの補充は、図1の構成に加えて、底板部11Dに形成
したエア取り入れ口を通してクリーンルーム1側から、
あるいは底板部11Dに形成したエア取り入れ口を通し
て床4側から、または後板部11Aに形成したエア取り
入れ口を通してクリーンルーム1側から、さらにはこれ
らの組み合わせにより行ってもよい。
【0034】上記した実施の形態では、集合連通体36
の開放部が、屋外開放場所6に設置された放出装置37
に連通された状態で固定され、この放出装置37に流入
された気体が放出口38から放出される形式が示されて
いるが、これは放出装置37を設けることなく、集合連
通体36の開放部から気体が放出される形式であつても
よい。なお放出装置37は、ガス捕捉手段が内装された
形式であってもよく、また放出装置37に代えてタンク
体などが設けられた形式であってもよい。
【0035】上記した実施の形態では、密閉型モータ2
4を装備した荷保管装置10がクリーンルーム1内に設
置されているが、これは荷保管装置10が通常の室に設
置された形式であってもよい。この場合、集合連通体3
6の開放部は、通常の室内、または通常の室外に位置さ
れる。
【0036】上記した実施の形態では、作動装置として
荷保管装置10が示されているが、これは搬送手段など
他の作動装置であってもよく、この場合、搬送手段の駆
動源に密閉型モータ24が使用される。
【0037】上記した実施の形態では、全ての密閉型モ
ータ24を連続稼動(連続運転)させているが、これは
密閉型モータ24群を、種々な設定パターンに基づいて
可動、停止させてもよい。
【0038】上記した実施の形態においては、荷保管装
置10として、通路15内に流入したのち下方へと流れ
るクリーンエア35の大部分を、エア取り入れ口18
B,18Aを通して空間16内に流入させ循環使用しす
る形式が示されているが、これは、全てをエア流出口1
9から床4下へ流出させ、そしてエア取り入れ口17か
ら空間16内にエアを取り入れる形式であってもよい。
【0039】上記した実施の形態では、棚14に対し
て、送風機23とフィルタ22とからなるクリーンエア
供給ユニット20が上下複数段に設けられた形式の荷保
管装置10が示されているが、これは底板部11Dと仕
切り板部11Eとの間に形成されている空所に送風機2
3が設けられ、エア取り入れ口18Aを通して空間16
にエアが吐出される形式であってもよい。
【0040】上記した実施の形態においては、左右一対
の棚14間に搬入出装置40が配設された形式を示した
が、これは一方の棚14と搬入出装置40とを組み合わ
せた形式、一対の棚14または一方の棚14のみで搬入
出装置40が省略された形式などであってもよい。また
搬入出装置40として全体が走行するクレーン形式が示
されているが、これは、移動や走行を行わない定置形式
など種々な形式が採用される。
【0041】
【発明の効果】上記した本発明の請求項1によると、ク
リーン域の密閉型モータを連続運転させ、その内部の温
度上昇により発生したガスの膨張により内部の気体圧が
上昇した際、内部の気体は連通体を通して非クリーン域
に放出でき、以てシール部分からガスなど気体がクリー
ン域に流出して拡散されることを防止でき、より高い環
境が要求されてくるクリーン域に対処することができ
る。
【0042】また上記した本発明の請求項2によると、
送風機の密閉型モータの稼動によってエアを吸引し、そ
して吐出したエアを、フィルタを通してクリーン度の高
いクリーンエアにして、棚に対し後面側から供給でき
る。したがって棚に格納している荷は、後面から前面へ
と流れるクリーンエアによって高クリーン度に維持でき
る。その際に、密閉型モータからガスなど気体が流出し
ないことから、ガスが混合されていないクリーンエアを
供給でき、以て格納されている荷は、クリーンエアによ
って高クリーン度を維持できるとともに、ガスの付着を
防止できる。
【0043】そして上記した本発明の請求項3による
と、各クリーンエア供給ユニットにおいては、送風機の
密閉型モータの稼動によって空間内のエアを吸引し、吐
出したエアを、フィルタを通してクリーン度の高いクリ
ーンエアにできる。そして空間内には、エア取り入れ口
を通して取り入れたエアを補充できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示し、モータ設置
の作動設備の一部切り欠き正面図である。
【図2】同モータ設置の作動設備における荷保管装置部
分の縦断正面図である。
【図3】同モータ設置の作動設備における荷保管装置部
分の横断平面図である。
【図4】同モータ設置の作動設備における密閉型モータ
ならびに配管部分の一部切り欠き説明図である。
【符号の説明】
1 クリーンルーム(クリーン域) 5 縦仕切り体 6 屋外開放場所(非クリーン域) 10 荷保管装置 11 本体外板(カバー) 13 収納空間 14 棚 16 空間 17 エア取り入れ口 18A エア取り入れ口 18B エア取り入れ口 19 エア流出口 20 クリーンエア供給ユニット 21 ユニット本体 22 フィルタ 23 送風機 24 密閉型モータ 25 出力軸 26 本体 27 貫通部 28 シール材 29 内部 31 羽根体 34 個別連通体 35 縦連通体 36 集合連通体 37 放出装置 39 クリーンエア 40 搬入出装置 50 搬入装置 51 搬出装置 52 荷搬送手段 55 荷

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クリーン域に密閉型モータが設けられ、
    非クリーン域には、前記密閉型モータの内部に連通され
    た連通体の開放部が位置されることを特徴とするモータ
    設置の作動設備。
  2. 【請求項2】 クリーン域には、荷保管装置が設けら
    れ、この荷保管装置は、前後面が開放された棚と、後面
    側に設けられたフィルタと、このフィルタに対して前記
    後面開放側とは反対側にエアの供給を行う送風機とから
    なり、この送風機の駆動源に密閉型モータが使用されて
    いることを特徴とする請求項1記載のモータ設置の作動
    設備。
  3. 【請求項3】 棚には上下方向に複数段の収納空間が設
    けられ、前記棚は前面が開放されるとともに、後面側は
    空間を置いてカバーにより閉塞され、前記空間内には、
    送風機とフィルタとからなるクリーンエア供給ユニット
    が上下複数段に設けられるとともに、各送風機の密閉型
    モータの内部に連通された連通体群が設けられ、前記カ
    バー側にエア取り入れ口が設けられていることを特徴と
    する請求項2記載のモータ設置の作動設備。
JP14819298A 1998-05-29 1998-05-29 モータ設置の作動設備 Pending JPH11334812A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14819298A JPH11334812A (ja) 1998-05-29 1998-05-29 モータ設置の作動設備

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14819298A JPH11334812A (ja) 1998-05-29 1998-05-29 モータ設置の作動設備

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11334812A true JPH11334812A (ja) 1999-12-07

Family

ID=15447320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14819298A Pending JPH11334812A (ja) 1998-05-29 1998-05-29 モータ設置の作動設備

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11334812A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100524359B1 (ko) * 2001-09-10 2005-10-27 가부시키가이샤 다이후쿠 클린 룸용의 물품 보관 설비

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100524359B1 (ko) * 2001-09-10 2005-10-27 가부시키가이샤 다이후쿠 클린 룸용의 물품 보관 설비

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0179405B1 (ko) 크린장치가 부착된 하물보관설비
US6224679B1 (en) Controlling gas in a multichamber processing system
US5261167A (en) Vertical heat treating apparatus
JPWO2015166710A1 (ja) パージ装置及びパージ方法
KR100887320B1 (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
US10239101B2 (en) Purge device and method of diffusing gas including purge gas
JP6583482B2 (ja) Efem
JPH11334812A (ja) モータ設置の作動設備
JP2009186127A (ja) 清浄空気循環システム、及び清浄空気循環方法
JP7417023B2 (ja) Efem
JP3697275B2 (ja) 局所クリーン化におけるインターフェイスボックス及びそのクリーンルーム
KR102208017B1 (ko) 기판 반송 장치
JP6853489B2 (ja) Efem
TW200920668A (en) Vertical circulation conveying facility
JP2000357641A (ja) クリーンルーム設備
JP2911964B2 (ja) 保管庫
JP4262505B2 (ja) 気流制御方法
JP3067528B2 (ja) 荷保管設備
JP3400145B2 (ja) クリーン搬送通路
KR101764851B1 (ko) 이에프이엠
JP2001284426A (ja) ウェハの昇降装置
JPH06345206A (ja) クリーン装置付き荷保管設備
EP3581521B1 (en) Stocker
JPS63150545A (ja) 清浄雰囲気下の物体の保管及び転送装置
JP2969976B2 (ja) ウエハ保管棚